JPH09219414A - 封止成形用集塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 封止成形材料の供給部から封止成形装置内に
粉塵を持ち込まないように集塵する封止成形用集塵装置
を提供する。 【解決手段】 本発明に係わる封止成形用集塵装置は、
封止樹脂粉体材料よりタブレット状に形成されたタブレ
ット２８を、封止成形装置４に装着された金型５に供給
するタブレット供給部２２において、該供給部２２とし
て配設された各装置の適宜な位置に複数の吸気口２２ｄ
を設けると共に、該吸気口２２ｄと連通する集塵装置２
３を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等を封止成
形する封止成形装置へ封止樹脂材料であるタブレットを
供給する供給部の集塵装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のものとしては、図４に示
すようなものがある。すなわち、図４に示すように、１
はリングブロワ、２はフィルタである。また、３は前進
・後退自在に設けられた金型５清掃用のノズルである。
４は封止成形装置で封止成形用の上下金型５ａ，５ｂが
装着されている。

【０００３】そして、この金型５間で封止成形が行なわ
れ、半導体の封止成形が完了し型開きすると吸気ノズル
３が金型５間に前進し成形後の成形滓を吸引排出して、
次の成形に備える方法をとっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものにあっては、成形後の成形滓を排除する
だけであり、タブレット２８の供給部２２であるパーツ
フィーダ２２ａやピック＆プレース２２ｂにおいて、振
動フィードされる時に発生する粉塵が、タブレット２８
と共に金型５に持ち込まれる粉塵については考慮されず
集塵の対象とされていなかった。

【０００５】従って、供給部２２からタブレット２８が
金型５に投入されると付着粉塵は飛び散り、金型５の成
形表面に付着するといち速く溶融して硬化し異物となっ
て成形品に混入したり、硬化膜となり成形条件を狂わし
たり、センサ面に付着して成形の誤動作を起こさせたり
するという問題があった。

【０００６】そこで、この発明は、封止成形材料の供給
部から封止成形装置内に粉塵を持ち込まないように集塵
する封止成形用集塵装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載された封止成形用集塵装置の発明
は、封止樹脂粉体材料よりタブレット状に形成されたタ
ブレットを、封止成形装置に装着された金型に供給する
タブレットの供給部において、該供給部として配設され
た各装置の適宜な位置に複数の吸気口を設けると共に、
該吸気口と連通する集塵装置を設けたことを特徴として
いる。

【０００８】このようなものにあっては、供給部から発
生した粉塵は供給部内で集塵できるようになり、封止成
形装置内に粉塵を持ち込むことがなくなる。

【０００９】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載の封止成形用集塵装置において、前記供給部の各装
置であるパーツフィーダ・ピック＆プレース・トランス
ホルダに設けた各吸気口に連通する前記集塵装置は、該
集塵装置本体において、入口と排出口である出口とは離
間した位置に配設すると共に、前記両口の間には少なく
とも一個の集塵フィルタを装着したことを特徴としてい
る。

【００１０】このようなものにあっては、離間した位置
に集塵装置の入口と出口がおけれているので、集塵装置
本体内のエアーの流れが広がって集塵フィルタ面を広く
使うことができる。

【００１１】請求項３に記載された発明は、請求項１に
記載の封止成形用集塵装置において、前記集塵装置は、
排気が広面から排出できるように前記集塵装置本体内に
開口板の内壁を設けたことを特徴としている。

【００１２】このようなものにあっては、集塵フィルタ
が排気口に吸い込まれて排気口を塞いだり集塵フィルタ
が破損したりすることがなくなる。

【００１３】

【発明の実施の形態】

【００１４】

【発明の実施の形態１】以下、本発明の実施の形態１を
図１及び図２に基づいて説明する。

【００１５】図１は封止成形用集塵装置の系統図であ
り、封止成形時の集塵構成を示している。

【００１６】図２は三面図により集塵装置の構造を示し
ている。（ａ）は上面図であり、（ｂ）は裏面図であ
り、（ｃ）は側面図である。

【００１７】まず、この構成を図１及び図２に基づいて
説明する。なお、従来例と同一または同等部分には同一
符号を付して示す。

【００１８】図１において、１はリングブロワであり全
体を吸排気する装置である。２は大型のクリーンフィル
タでリングブロワ１の吸気側に連結されており、このク
ーリングフィルタ２から延びるダクトは、伸縮自在なダ
クトを有し金型５部を前進・後退自在に移動するノズル
３に連結されている。またこのノズル３は吸込口３ａと
吹出口３ｂとを一体に備えた構造としている。

【００１９】また、一方クリーンフィルタ２とノズル３
との間からダクト分岐して、封止成形用集塵装置２１を
構成するタブレットの供給部２２と集塵装置２３とにダ
クト結合されている。 そして、この供給部２２には、
パーツフィーダ２２ａとピック＆プレース２２ｂとトラ
ンスホルダ２８ａとの各装置が配設されており、この各
装置２２ａ，２２ｂ，２８ａの適宜な位置に複数の吸気
口２２ｄ（＃１，＃２，＃３，＃４，＃５）を設けてい
る。この吸気口２２ｄ（＃１〜＃５）はダクトを介して
集塵装置２３に連通されている。

【００２０】また、この集塵装置２３内部には、集塵フ
ィルタ２６Ａが設けられている。この集塵フィルタ２６
Ａは二種類設けられており、袋状の一次、平面状の二次
フィルタ２６，２７を設けている。

【００２１】すなわち、この二次フィルタ２７は、集塵
装置本体２３ａの前面側２３ｄにおいて、上下左右の四
方の角部から適宜に隔たった位置に、前面側２３ｄから
裏面側２３ｅに向けて適宜な高さに突設して排気が流入
しないように矩形の囲い枠２３ｉを設け、この囲い枠２
３ｉに重ねるように矩形のバックプレート２７ａを装着
させている。このバックプレート２７ａには多数の開口
を設け排気が通過できるようにしている。

【００２２】さらに、このバックプレート２７ａの面上
を覆うように二次フィルタ２７が装着されている。

【００２３】また、一次フィルタ２６は、集塵装置本体
２３ａ上面側２３ｆの中央部内側に、扉２３ｂ側である
裏面側２３ｅから前面側２３ｄに向けて設けたレール部
２３ｃに、一次フィルタ２６の口部フランジ２６ａを挿
入することにより装着される。

【００２４】次に作用について説明する。

【００２５】封止成形用集塵装置２１は、金型５で封止
成形され型開きして成形品が脱型されると、直ちに集塵
作動に入る。

【００２６】すなわち、リンクブロワ１に連通され集塵
系統が吸気状態にある掃除用のノズル３が上下金型５
ａ，５ｂ間に前進して金型５の表面の清掃を行なう。こ
のノズル３は吸込口３ａと吹出口３ｂとを有しているの
で、金型５面等に付着している成形滓を吹き上げながら
吸い込み排気させる。

【００２７】一方タブレット２８の供給部２２では、リ
ングブロワ１により吸気されている状態で、パーツフィ
ーダ２２ａでは、タブレット２８送入部に吸気口２２ｄ
（＃１）を、タブレット２８の移行部に吸気口２２ｄ
（＃２）を、タブレット２８の出口部に吸気口２２ｄ
（＃３）を設けている。

【００２８】さらに、パーツフィーダ２２ａから搬送さ
れてきたタブレット２８のピック部に吸気口２２ｄ（＃
４）を設けている。

【００２９】さらに又、ピックされたタブレット２８が
トランスホルダ２２ｃに挿入され移動されるトランスホ
ルダ２２ｃの下部に吸気口２２ｄ（＃５）を設けてい
る。

【００３０】そして、それら吸気口２２ｄからは各々ダ
クトを介して集塵装置２３に吸気され一次、二次フィル
タ２６，２７を介してリンクブロワ１側に吸引される。

【００３１】従って、タブレット２８は、パーツフィー
ダ２２ａで振動を受けている時点でも、ピック＆プレー
ス２２ｂでタブレット２８を摘みトランスホルダ２８ａ
に移す時点でも、各装置に設けた吸気口２２ｄで吸気さ
れるので、タブレット２８から発生した粉塵は集塵装置
２３へ吸気されて粉塵を金型５部へ持ち込むことはな
い。よって、粉塵が焼けて硬化し異物化する等の不良発
生の原因が取り除かれる。

【００３２】ここで、バックプレートは開口板とするこ
となく、太い針金等により枠組し二次フィルタであるガ
ラスクロス等をはめ込んだものとしてもよい。何れにし
ても通気性を妨げることなく、排気によって変形されな
い剛性を有しておればよい。

【００３３】

【発明の実施の形態２】本実施の形態２を図１及び図３
に基づいて、以下に実施の形態１との差異を説明する。

【００３４】図３は、三面図として集塵装置の構造を示
しており、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は裏面図であ
り、（ｃ）は側面図である。

【００３５】なお、実施の形態１と同一または同等部品
には同一の符号を付して示す。

【００３６】図３において差異のあるところは、集塵装
置２３の本体２３ａの内側に前面・底面・両側面２３
ｄ，２３ｇ，２３ｈの四面を一体に形成した開口２９ａ
を有する開口板２９を集塵装置２３の本体２３ａの内側
より浮かせた状態に内臓させた点と、この開口板２９の
内側に一次フィルタである紙パック・フィルタ２６のみ
を装着させる構成とし、二次フィルタ２７を削除した点
である。

【００３７】すなわち、本実施の形態２では、図３に示
すようにに入口２４側である上面側２３ｆは紙パック・
フィルタ２６が装着できるように開口とし、また扉側で
ある裏面側２３ｅは紙パック・フィルタ２６の取付・取
り外しのために開口とし、その他の四面は開口板２９を
約１５ｍｍ程度浮かせた状態に装着している。

【００３８】よって、排気時に紙パック・フィルタ２６
が開口板２９に接触しても、開口板２９により出口２５
から浮き上がった状態に保てるので、排気は紙パック・
フィルタ２６の外周から通過することができる。

【００３９】従って、一部からのみ強く吸引されること
がないので破損することがなく紙パック・フィルタ２６
は目一杯になるまで使用することができる。

【００４０】ここで、この開口板２９は一体に組み付け
るだけでなく、集塵装置の本体２３ａの内面から適宜な
高さに浮かせた状態に各内面毎に内張りする状態に装着
してもよい。

【００４１】その他の構成及び作用は実施の形態１と同
様であるので説明を省略する。

【００４２】

【実施例】以下のような条件で製作した結果、極めて集
塵性がよく破損せず長期に使用できるようになった。

【００４３】 実施の形態１において、 ＜種類＞ ＊一次フィルタ： 紙パック・フィルタ ＊二次フィルタ： 乾式集塵用処理ガラスクロス ＊バックプレート： １０ｍｍ孔×８ｍｍピッチ 実施の形態２において、 ＊フィルタ：紙パック・フィルタ ＊開口板 ：１０ｍｍ孔×１５ｍｍピッチ 千鳥孔

【００４４】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００４５】請求項１の発明によれば、従来行なわれて
いなかったタブレットの供給部からの粉塵を取り除くこ
とが可能になり、封止成形装置内に粉塵を持ち込むこと
がなくなるので、粉塵が金型に接して熱硬化し異物とな
り成形品へ混入することにより成形不良となったり、金
型表面の熱硬化膜により硬化時間が変動して成形条件が
狂ったり、センサに付着して誤動作を起こす条件を取り
除くことがでる。従って、成形条件が安定すると同時
に、不良の低減を図ることができる。

【００４６】また、請求項２の発明によれば、二個のフ
ィルタを使用することにより、一次フィルタが破損して
も二次フィルタで集塵できるので、粉塵が一度に激しく
排出され飛散することはなく粉塵飛散を応急的に防ぐこ
とができる。

【００４７】さらに、請求項３の発明によれば、集塵装
置内に開口板の内張りを設けるので、フィルタの破損を
防止することができる。従って、長時間に亘り目一杯の
使用が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１、２を示す封止成形用集
塵装置の系統図である。

【図２】図１における同実施の形態１における集塵装置
の詳細図である。

【図３】図１における同実施の形態２における集塵装置
の詳細図である。

【図４】従来例を示す封止成形用集塵装置の系統図であ
る。

【符号の説明】

２１…封止成形用集塵装置 ２２…供給部 ２２ａ…パーツフィーダ ２２ｂ…ピック＆プレース ２２ｄ…吸気口 ２３…集塵装置 ２４…入口 ２５…出口 ２６，２７…一次、二次フィルタ ２８…タブレット ２８ａ…トランスホルダ ２９…開口板 ４…封止成形装置 ５…金型

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 封止樹脂粉体材料よりタブレット状に形
   成されたタブレットを、封止成形装置に装着された金型
   に供給するタブレットの供給部において、 該供給部として配設された各装置の適宜な位置に複数の
   吸気口を設けると共に、該吸気口と連通する集塵装置を
   設けたことを特徴とする封止成形用集塵装置。
2. 【請求項２】 前記供給部の各装置であるパーツフィー
   ダ・ピック＆プレース・トランスホルダに設けた各吸気
   口に連通する前記集塵装置は、該集塵装置本体におい
   て、入口と排出口である出口とは離間した位置に配設す
   ると共に、 前記両口の間には少なくとも一個の集塵フィルタを装着
   したことを特徴とする請求項１に記載の封止成形用集塵
   装置。
3. 【請求項３】 前記集塵装置は、排気が広面から排出で
   きるように前記集塵装置本体内に開口板の内壁を設けた
   ことを特徴とする請求項１に記載の封止成形用集塵装
   置。