JPH0921872A - 走査型距離測定装置 - Google Patents

走査型距離測定装置

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Publication number
JPH0921872A
JPH0921872A JP7168588A JP16858895A JPH0921872A JP H0921872 A JPH0921872 A JP H0921872A JP 7168588 A JP7168588 A JP 7168588A JP 16858895 A JP16858895 A JP 16858895A JP H0921872 A JPH0921872 A JP H0921872A
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JP
Japan
Prior art keywords
mirror
prism
laser beam
rotating
image
Prior art date
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Pending
Application number
JP7168588A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuichi Isogawa
秀一 五十川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 目的は、走査ミラーや走査プリズムの回転方
向の分解能を低下させずに、検知範囲を拡大させること
にある。 【構成】 レーザ光源と、レーザ光源から出射された光
束をスリット状に成形する光学素子とを有し、被測定物
までの距離を測定する距離測定装置において、回転軸の
回りに回転可能であって、前記スリット状に成形された
光束を反射させるミラーと、前記ミラーとの回転角の関
係が常に1/2となるように、回転軸の回りに回転する
像回転プリズムとによって構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスレーザ光を走査
して対象物からの反射光を受光し、パルスレーザ光を出
射して受光するまでの往復時間から、対象物までの距離
を演算する距離測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来は、円形またはスポットビームを走
査ミラーや走査プリズムの回転により広角度に走査する
ものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】走査ミラーや走査プリ
ズムの回転によってレーザ光を走査させた場合には、回
転方向に対して垂直な方向の投影角を拡大すると、走査
ミラーや走査プリズムの回転位置によって、投影像が回
転してしまうといった問題があった。本発明の目的は、
走査ミラーや走査プリズムの回転方向の分解能を低下さ
せずに、検知範囲を拡大させることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】レーザ光源と、レーザ光
源から出射された光束をスリット状に成形する光学素子
とを有し、被測定物までの距離を測定する距離測定装置
において、回転軸の回りに回転可能であって、前記スリ
ット状に成形された光束を反射させるミラーと、前記ミ
ラーとの回転角の関係が常に1/2となるように、回転
軸の回りに回転する像回転プリズムとによって構成し
た。
【0005】
【作用】本発明では、レーザ光を垂直方向にのみ広がる
スリット状に成形し、これを走査しながら被測定物に照
射して、その反射光を受光している。スリット状に成形
されたレーザ光は高エネルギ密度を有しているので、遠
距離にある被測定物からでも十分な反射光を受光するこ
とができる。また、ミラーは360度回転することがで
きるので、あらゆる場所に存在する被測定物の距離を精
度よく測定することができる。
【0006】
【実施例】図1は本発明による距離測定装置の基本構成
を示す。この距離測定装置は、レーザ光を出射する光源
1、レーザ光源1から出射されたレーザ光を入射させ、
これをスリット状に成形するための光学素子である投影
レンズ2、スリット状に成形されたレーザ光を反射さ
せ、かつ被測定物によって反射されたレーザ光を透過さ
せるビームスプリッター3、像の方向を回転させる像回
転プリズム4、像回転プリズム4を透過したレーザ光を
反射させ、被測定物に照射させるための走査ミラー5を
有している。また、走査ミラー5は回転軸の回りに36
0度回転が可能であり、この走査ミラー5の回転角を検
出する回転角検出部6、走査ミラー5及び像回転プリズ
ム4を回転軸の回りに回転させるための駆動力を発生さ
せる回転駆動部8、回転駆動部8の回転数を減じるため
の減速伝達装置7、走査ミラー5が固定されていて、か
つ第1のベアリング14aによって回転可能な状態に支
持されている第1のハウジング15a、及び像回転プリ
ズム4が固定されていて、かつ第2のベアリング14b
によって回転可能な状態に支持されている第2のハウジ
ングに対して減速伝達装置7から出力される駆動力を伝
達する第1の歯付ベルト13a及び第2の歯付ベルト1
3bを有している。なお、第1の歯付ベルト13aと第
2の歯付ベルト13bの回転比は2:1にしてある。反
射光を受光するための受光素子10、被測定物によって
反射されたレーザ光を受光素子10の受光面上に集光さ
せるための対物レンズ9、レーザ光がレーザ光源1を出
射してから受光素子10に入射するまでの時間を計時
し、被測定物までの距離を求める演算処理部11、走査
空間における被測定物の分布状態を表示する表示装置1
2を有している。
【0007】発光素子1から出射されたパルスレーザ光
は、投影レンズ2によりスリット状に成形された後、ビ
ームスプリッタ3によって反射され、像回転プリズム4
に入射する。像回転プリズム4に入射したスリット像
は、像回転プリズム内部の反射によって像の方向を回転
させた後、走査ミラー5に出射する。走査ミラー5は光
軸周りの回転により、装置の全周にわたってスリット像
を走査できる。走査ミラー5の回転角度は回転角検出部
6で検出され、測定装置に対する被測定物の角度(方
向)を知ることができる。走査ミラー5は90度回転す
ることにより、投影像を90度回転させ、像回転プリズ
ム4は光軸周りの回転角度の2倍の回転角度だけ像を回
転させる。よって、走査ミラー5の回転角度の1/2の
回転角度で、像回転プリズム4が走査ミラー5と連動し
て回転するように、減速伝達装置7によって回転駆動部
8の回転運動を減速して像回転プリズム4と走査ミラー
5に伝達すれば、投影レンズ2によりスリット状に成形
された投影像は、スリットの方向を回転させることなく
装置の全周に照射できる。
【0008】レーザ光の照射された範囲に被測定物が存
在すると、レーザ光は対象物に反射された後走査ミラー
5で再び反射され、像回転プリズム6とビームスプリッ
タ3を透過して対物レンズ9に進む。対物レンズ9によ
って集光されたレーザ光は、受光素子10によって受光
され、光電変換された後演算処理部に進む。レーザ光が
発光素子1を出射してから受光素子10に受光されるま
での時間Tを、演算処理部11で測定することにより、
被測定物までの距離L=CT/2(C:光速)を求め
る。表示装置12には、被測定物の角度(方向)と距離
データから走査空間における被測定物の分布状態が表示
される。
【0009】また、上述した実施例では、減速伝達装置
から出力される駆動力を伝達する手段として、歯付ベル
トを使用しているが、それに限定されるものではなく、
駆動力を伝達する機構であればよいので、例えば歯車な
どを使用してもよい。
【0010】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、像回転プ
リズムは走査ミラーの回転角度に対して1/2の回転角
度を保ちつつ、走査ミラーと連動して回転するので、ス
リット状の投影像は走査範囲の全周において回転するこ
とはない。よって、回転方向の分解能を低下させること
なく、検知範囲を拡大することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明による距離測定装置の基本構成を示
す。
【符号の説明】
1・・・発光素子 2・・・投影レンズ 3・・・ビームスプリッタ 4・・・像回転プリズム 5・・・走査ミラー 6・・・回転角検出部 7・・・減速伝達装置 8・・・回転駆動部 9・・・対物レンズ 10・・・受光素子 11・・・演算処理部 12・・・表示装置 13a、13b・・・歯付ベルト 14a、14b・・・ベアリング 15a、15b・・・ハウジング

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光源と、前記レーザ光源から出射
    された光束をスリット状に成形する光学素子とを有し、
    被測定物までの距離を測定する距離測定装置において、
    回転軸の回りに回転可能であって、前記スリット状に成
    形された光束を反射させるミラーと、前記ミラーとの回
    転角の関係が常に1/2となるように、回転軸の回りに
    回転する像回転プリズムと、を備えたことを特徴とする
    距離測定装置。
JP7168588A 1995-07-04 1995-07-04 走査型距離測定装置 Pending JPH0921872A (ja)

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JP7168588A JPH0921872A (ja) 1995-07-04 1995-07-04 走査型距離測定装置

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JP7168588A JPH0921872A (ja) 1995-07-04 1995-07-04 走査型距離測定装置

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JPH0921872A true JPH0921872A (ja) 1997-01-21

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ID=15870845

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