JPH09216066A - プラズマ電極の消耗検出方法 - Google Patents
プラズマ電極の消耗検出方法Info
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- JPH09216066A JPH09216066A JP8021518A JP2151896A JPH09216066A JP H09216066 A JPH09216066 A JP H09216066A JP 8021518 A JP8021518 A JP 8021518A JP 2151896 A JP2151896 A JP 2151896A JP H09216066 A JPH09216066 A JP H09216066A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 水冷式プラズマ切断装置における電極の消耗
を無人で検出可能で、かつ電極の溶損を高精度で予想可
能なプラズマ電極の消耗検出方法を提供する。 【解決手段】 プラズマ切断装置１３に導入される冷却
水（導入冷却水）の温度と、電極Ｄにより加熱された冷
却水（排出冷却水）の温度とをそれぞれ測定し、上記導
入冷却水と排出冷却水との温度差に基づき、電極Ｄの消
耗を検出する。
を無人で検出可能で、かつ電極の溶損を高精度で予想可
能なプラズマ電極の消耗検出方法を提供する。 【解決手段】 プラズマ切断装置１３に導入される冷却
水（導入冷却水）の温度と、電極Ｄにより加熱された冷
却水（排出冷却水）の温度とをそれぞれ測定し、上記導
入冷却水と排出冷却水との温度差に基づき、電極Ｄの消
耗を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ切断装置
におけるプラズマ電極（以下、単に「電極」という。）
の消耗検出方法に関する。
におけるプラズマ電極（以下、単に「電極」という。）
の消耗検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマ切断装置は、ノズル内に設けら
れた電極と被切断物との間にアークを発生させて上記ノ
ズルから噴射される作動ガスをプラズマ化し、その結果
生じたプラズマ流により上記被切断物を切断するもので
ある。切断電流がある程度以上大きな切断装置では、上
記電極及びノズルの冷却を水冷にて行っている。水冷式
プラズマ切断装置の構造を図１に例示する。
れた電極と被切断物との間にアークを発生させて上記ノ
ズルから噴射される作動ガスをプラズマ化し、その結果
生じたプラズマ流により上記被切断物を切断するもので
ある。切断電流がある程度以上大きな切断装置では、上
記電極及びノズルの冷却を水冷にて行っている。水冷式
プラズマ切断装置の構造を図１に例示する。
【０００３】図中符号１は装置本体で、この装置本体１
は先端側に開口する有底円筒状をなし、その先端には、
同じく円筒状をなす、銅や銅合金製の電極基体２が、装
置本体１と同軸をなすよう着脱自在に支持されている。
電極基体２の先端には、円形断面を有する孔部３が基体
１と同軸をなすよう形成され、かつ孔部３は、電極基体
２とともに電極Ｄを形成する、ハフニウムやジルコニウ
ム製の挿入電極４により閉鎖されている。また、符号５
は、装置本体１及び電極基体２の内部に形成された空間
で、空間５には、基端側から冷却管６が同軸をなすよう
挿通されている。
は先端側に開口する有底円筒状をなし、その先端には、
同じく円筒状をなす、銅や銅合金製の電極基体２が、装
置本体１と同軸をなすよう着脱自在に支持されている。
電極基体２の先端には、円形断面を有する孔部３が基体
１と同軸をなすよう形成され、かつ孔部３は、電極基体
２とともに電極Ｄを形成する、ハフニウムやジルコニウ
ム製の挿入電極４により閉鎖されている。また、符号５
は、装置本体１及び電極基体２の内部に形成された空間
で、空間５には、基端側から冷却管６が同軸をなすよう
挿通されている。
【０００４】符号７はノズルで、このノズルは電極Ｄの
周囲を空間８を介して同心円状をなすよう覆い、かつそ
の先端部は電極Ｄより先端側に突出している。また、ノ
ズル７の先端には、円形断面を有する噴射孔９が電極Ｄ
と同軸をなすよう形成され、その結果、空間８と外部と
は、挿入電極４の先端側にて、噴射孔９を介して連通さ
れている。
周囲を空間８を介して同心円状をなすよう覆い、かつそ
の先端部は電極Ｄより先端側に突出している。また、ノ
ズル７の先端には、円形断面を有する噴射孔９が電極Ｄ
と同軸をなすよう形成され、その結果、空間８と外部と
は、挿入電極４の先端側にて、噴射孔９を介して連通さ
れている。
【０００５】符号１０は外筒で、この外筒１０はノズル
７の周囲を空間１１を介して同心円状をなすよう覆い、
かつ空間１１の先端はノズル７の先端部にて閉鎖されて
いる。また、空間１１の基端部は、装置本体１内に形成
された流路１２を介して、空間５の基端部と連結されて
いる。そして、上記装置本体１ないし外筒１０から、プ
ラズマ切断装置１３が概略構成されている。
７の周囲を空間１１を介して同心円状をなすよう覆い、
かつ空間１１の先端はノズル７の先端部にて閉鎖されて
いる。また、空間１１の基端部は、装置本体１内に形成
された流路１２を介して、空間５の基端部と連結されて
いる。そして、上記装置本体１ないし外筒１０から、プ
ラズマ切断装置１３が概略構成されている。
【０００６】一方、符号１４は冷却装置である。この冷
却装置１４は、冷却水タンク１５と冷却水冷却器１６と
から概略構成され、かつ冷却水タンク１５は、それぞれ
管路１７，１８を介して、冷却管６及び空間１１に連結
されている。また、冷却管６に連結された管路１７に
は、ポンプ１９が設けられている。
却装置１４は、冷却水タンク１５と冷却水冷却器１６と
から概略構成され、かつ冷却水タンク１５は、それぞれ
管路１７，１８を介して、冷却管６及び空間１１に連結
されている。また、冷却管６に連結された管路１７に
は、ポンプ１９が設けられている。
【０００７】被切断物２０の切断に際しては、空間８内
に作動ガスを供給し、この作動ガスを噴射孔９から先端
側に噴射させるとともに、挿入電極４と被切断物２０と
の間に通電し、アークを発生させる。すると、噴射孔９
から噴射される作動ガスが上記アークによりプラズマ化
されてプラズマ流２１を生じ、被切断物２０が切断され
る。また、切断中は、ポンプ１９を作動させ、冷却水
を、冷却水タンク１５−管路１７−冷却管６−空間５−
流路１２−空間１１−管路１８−冷却水タンク１５の順
で循環させることにより、電極Ｄ及びノズル７を冷却す
る。
に作動ガスを供給し、この作動ガスを噴射孔９から先端
側に噴射させるとともに、挿入電極４と被切断物２０と
の間に通電し、アークを発生させる。すると、噴射孔９
から噴射される作動ガスが上記アークによりプラズマ化
されてプラズマ流２１を生じ、被切断物２０が切断され
る。また、切断中は、ポンプ１９を作動させ、冷却水
を、冷却水タンク１５−管路１７−冷却管６−空間５−
流路１２−空間１１−管路１８−冷却水タンク１５の順
で循環させることにより、電極Ｄ及びノズル７を冷却す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電極Ｄは切
断に伴い徐々に消耗、溶損するが、電極Ｄの溶損はプラ
ズマ切断装置１３の破損原因となるばかりではなく、プ
ラズマ流２１の偏向と、それに伴う被切断物２０におけ
る加工精度の低下等の原因ともなるため、電極Ｄの溶損
を予測し、溶損前に電極Ｄを更新する必要がある。しか
しながら、電極Ｄの消耗は使用限界に近づくと急速に進
行し、その予測が困難であるため、従来では、電極Ｄの
消耗を常時監視しつつ、作業者の経験的判断により溶損
を予測していた。また、電極Ｄの消耗検出装置も考案さ
れているが、溶損を高精度で予測することは困難であっ
た。
断に伴い徐々に消耗、溶損するが、電極Ｄの溶損はプラ
ズマ切断装置１３の破損原因となるばかりではなく、プ
ラズマ流２１の偏向と、それに伴う被切断物２０におけ
る加工精度の低下等の原因ともなるため、電極Ｄの溶損
を予測し、溶損前に電極Ｄを更新する必要がある。しか
しながら、電極Ｄの消耗は使用限界に近づくと急速に進
行し、その予測が困難であるため、従来では、電極Ｄの
消耗を常時監視しつつ、作業者の経験的判断により溶損
を予測していた。また、電極Ｄの消耗検出装置も考案さ
れているが、溶損を高精度で予測することは困難であっ
た。
【０００９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、プラズマ切断装置における電極Ｄの消耗検出方法に
係り、特に、電極Ｄの消耗を無人で検出可能で、かつ電
極Ｄの溶損を高精度で予想可能な電極Ｄの消耗検出方法
の提供をその目的としている。
で、プラズマ切断装置における電極Ｄの消耗検出方法に
係り、特に、電極Ｄの消耗を無人で検出可能で、かつ電
極Ｄの溶損を高精度で予想可能な電極Ｄの消耗検出方法
の提供をその目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、種々検討
の結果、電極の冷却前後における冷却水の温度差が、電
極の消耗度に応じ一次的かつ鋭敏に変化し、しかも、電
極が消耗し使用限界に近づくと、上記温度差が急激に増
大することを見いだし、本発明を完成するに至った。
の結果、電極の冷却前後における冷却水の温度差が、電
極の消耗度に応じ一次的かつ鋭敏に変化し、しかも、電
極が消耗し使用限界に近づくと、上記温度差が急激に増
大することを見いだし、本発明を完成するに至った。
【００１１】すなわち、本発明は、ノズル内に設けられ
た電極と被切断物との間にアークを発生させて上記ノズ
ルから噴射される作動ガスをプラズマ化し、その結果生
じたプラズマ流により上記被切断物を切断するととも
に、上記電極を冷却水により冷却するプラズマ切断装置
における上記電極の消耗検出方法であって、特に、上記
切断装置に導入される冷却水（導入冷却水）の温度と、
上記電極により加熱された冷却水（排出冷却水）の温度
とをそれぞれ測定し、上記導入冷却水と排出冷却水との
温度差、あるいはこの温度差と上記冷却水の流量から算
出した、上記電極における単位時間当たりの発熱量か
ら、上記電極の消耗を検出することをその特徴としてい
る。
た電極と被切断物との間にアークを発生させて上記ノズ
ルから噴射される作動ガスをプラズマ化し、その結果生
じたプラズマ流により上記被切断物を切断するととも
に、上記電極を冷却水により冷却するプラズマ切断装置
における上記電極の消耗検出方法であって、特に、上記
切断装置に導入される冷却水（導入冷却水）の温度と、
上記電極により加熱された冷却水（排出冷却水）の温度
とをそれぞれ測定し、上記導入冷却水と排出冷却水との
温度差、あるいはこの温度差と上記冷却水の流量から算
出した、上記電極における単位時間当たりの発熱量か
ら、上記電極の消耗を検出することをその特徴としてい
る。
【００１２】ここで、上記電極の消耗は、上記温度差あ
るいは上記発熱量が所定値を越えた際に検出してもよ
く、上記温度差あるいは上記発熱量の単位時間当たりの
変化率が所定値を越えた際に検出してもよい。また、上
記所定値は、例えば、上記電極の初期使用時における上
記温度差あるいは上記発熱量と上記電極の消耗度との関
係から決定される。上記所定値を、切断電流の変化に応
じて変化させることももちろん可能である。
るいは上記発熱量が所定値を越えた際に検出してもよ
く、上記温度差あるいは上記発熱量の単位時間当たりの
変化率が所定値を越えた際に検出してもよい。また、上
記所定値は、例えば、上記電極の初期使用時における上
記温度差あるいは上記発熱量と上記電極の消耗度との関
係から決定される。上記所定値を、切断電流の変化に応
じて変化させることももちろん可能である。
【００１３】また、上記排出冷却水の温度としては、上
記電極からの出口における冷却水の温度、あるいは、上
記切断装置からの出口における冷却水の温度を用いるこ
とが望ましい。上記消耗検出方法に、上記電極と上記ノ
ズル間における電圧を測定し、この電圧の変化から、上
記電極の消耗を検出する方法を併用することも可能であ
る。
記電極からの出口における冷却水の温度、あるいは、上
記切断装置からの出口における冷却水の温度を用いるこ
とが望ましい。上記消耗検出方法に、上記電極と上記ノ
ズル間における電圧を測定し、この電圧の変化から、上
記電極の消耗を検出する方法を併用することも可能であ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面とともに、本発明の実
施形態について説明する。なお、本発明は、電極の冷却
前後における冷却水の温度差から上記電極の消耗を検出
することを特徴とするものであるため、説明に際しては
図１を用い、かつプラズマ切断装置の各構成について
は、その説明を省略する。
施形態について説明する。なお、本発明は、電極の冷却
前後における冷却水の温度差から上記電極の消耗を検出
することを特徴とするものであるため、説明に際しては
図１を用い、かつプラズマ切断装置の各構成について
は、その説明を省略する。
【００１５】本発明の実施に際しては、管路１７から冷
却管６への冷却水の導入箇所（図１中Ｐ1）の水温を導
入冷却水の温度Ｔ1として、また、空間５から空間１１
に至る流路１２（電極からの出口、図１中Ｐ2）の水温
を排出冷却水の温度Ｔ2としてそれぞれ測定し、導入冷
却水と排出冷却水との温度差（Ｔ2−Ｔ1）を算出する。
上記温度差と電極Ｄの消耗との関係を図２に模式的に示
す。
却管６への冷却水の導入箇所（図１中Ｐ1）の水温を導
入冷却水の温度Ｔ1として、また、空間５から空間１１
に至る流路１２（電極からの出口、図１中Ｐ2）の水温
を排出冷却水の温度Ｔ2としてそれぞれ測定し、導入冷
却水と排出冷却水との温度差（Ｔ2−Ｔ1）を算出する。
上記温度差と電極Ｄの消耗との関係を図２に模式的に示
す。
【００１６】そして、Ｔ2−Ｔ1の値が所定値（図２中符
号Ｘ1）を越えた際に、電極Ｄが消耗して使用限界に近
づいたものと判断し、電極Ｄの消耗を検出するととも
に、例えばブザーや警告灯の点灯等の公知の方法によ
り、電極Ｄの消耗を作業員に通知する。
号Ｘ1）を越えた際に、電極Ｄが消耗して使用限界に近
づいたものと判断し、電極Ｄの消耗を検出するととも
に、例えばブザーや警告灯の点灯等の公知の方法によ
り、電極Ｄの消耗を作業員に通知する。
【００１７】また、図２に示すように、Ｔ2−Ｔ1の値
は、電極が消耗し使用限界に近づくと急激に増大する。
従って、上記温度差の単位時間当たりの変化率（図２に
示すグラフの傾き）が所定値を越えた際（図２中符号Ｘ
2）に、電極Ｄの消耗を検出してもよい。なお、上記所
定値の決定に際しては、電極Ｄの初期使用時に、上記温
度差と電極Ｄの消耗度との関係を図２に示すように予め
測定しておき、その結果から上記所定値を決定すること
が望ましい。
は、電極が消耗し使用限界に近づくと急激に増大する。
従って、上記温度差の単位時間当たりの変化率（図２に
示すグラフの傾き）が所定値を越えた際（図２中符号Ｘ
2）に、電極Ｄの消耗を検出してもよい。なお、上記所
定値の決定に際しては、電極Ｄの初期使用時に、上記温
度差と電極Ｄの消耗度との関係を図２に示すように予め
測定しておき、その結果から上記所定値を決定すること
が望ましい。
【００１８】一方、上記温度差は冷却水の流量により変
化するため、電極Ｄの消耗をより一定の尺度に基づき検
出する目的で、上記温度差と冷却水の流量から、電極Ｄ
における単位時間当たりの発熱量を算出し、この発熱量
から、電極Ｄの消耗を検出してもよい。この場合には、
上記発熱量の値が所定値を越えた際に、電極Ｄが消耗し
て使用限界に近づいたものと判断し、電極Ｄの消耗を検
出する。
化するため、電極Ｄの消耗をより一定の尺度に基づき検
出する目的で、上記温度差と冷却水の流量から、電極Ｄ
における単位時間当たりの発熱量を算出し、この発熱量
から、電極Ｄの消耗を検出してもよい。この場合には、
上記発熱量の値が所定値を越えた際に、電極Ｄが消耗し
て使用限界に近づいたものと判断し、電極Ｄの消耗を検
出する。
【００１９】また、上記発熱量は、上記温度差と同様、
電極が消耗し使用限界に近づくと急激に増大する。従っ
て、上記発熱量の単位時間当たりの変化率が所定値を越
えた際に、電極Ｄの消耗を検出してもよい。更に、上記
所定値の決定に際しても、電極Ｄの初期使用時に、上記
発熱量と電極Ｄの消耗度との関係を予め測定しておき、
その結果から上記所定値を決定することが望ましい。
電極が消耗し使用限界に近づくと急激に増大する。従っ
て、上記発熱量の単位時間当たりの変化率が所定値を越
えた際に、電極Ｄの消耗を検出してもよい。更に、上記
所定値の決定に際しても、電極Ｄの初期使用時に、上記
発熱量と電極Ｄの消耗度との関係を予め測定しておき、
その結果から上記所定値を決定することが望ましい。
【００２０】ところで、上記温度差または発熱量は、切
断電流の変化に応じ、電極Ｄの実際の消耗度に係わらず
変化する。従って、検出精度を向上させる目的で、上記
温度差または発熱量の所定値を切断電流の変化に応じ変
化させ、この（変化した）所定値を基準として、電極Ｄ
の消耗を検出してもよい。本発明の方法と、電極Ｄとノ
ズル７間における電圧を測定し、この電圧の変化から、
電極Ｄの消耗を検出する方法との併用により、検出精度
の向上を図ることも可能である。
断電流の変化に応じ、電極Ｄの実際の消耗度に係わらず
変化する。従って、検出精度を向上させる目的で、上記
温度差または発熱量の所定値を切断電流の変化に応じ変
化させ、この（変化した）所定値を基準として、電極Ｄ
の消耗を検出してもよい。本発明の方法と、電極Ｄとノ
ズル７間における電圧を測定し、この電圧の変化から、
電極Ｄの消耗を検出する方法との併用により、検出精度
の向上を図ることも可能である。
【００２１】なお、空間５から空間１１に至る流路１２
（図１中Ｐ2）の水温を排出冷却水の温度Ｔ2として測定
する代わりに、プラズマ切断装置１３から冷却装置１４
に至る管路１８のうち、特にプラズマ切断装置１３の出
口部分（図１中Ｐ3）の水温を排出冷却水の温度Ｔ2とし
て測定してもよい。
（図１中Ｐ2）の水温を排出冷却水の温度Ｔ2として測定
する代わりに、プラズマ切断装置１３から冷却装置１４
に至る管路１８のうち、特にプラズマ切断装置１３の出
口部分（図１中Ｐ3）の水温を排出冷却水の温度Ｔ2とし
て測定してもよい。
【００２２】このように、本発明の方法は、プラズマ切
断装置１３における電極Ｄの消耗を、電極Ｄの冷却前後
における冷却水の温度差から検出するものである。しか
も、本発明の方法に用いられる各種操作は、上述したよ
うに、いずれも簡単な電気回路等で容易に実施可能な操
作である。すなわち、本発明によれば、電極Ｄの消耗を
無人で検出でき、その結果、電極の消耗を監視するため
の作業員が不要となる。
断装置１３における電極Ｄの消耗を、電極Ｄの冷却前後
における冷却水の温度差から検出するものである。しか
も、本発明の方法に用いられる各種操作は、上述したよ
うに、いずれも簡単な電気回路等で容易に実施可能な操
作である。すなわち、本発明によれば、電極Ｄの消耗を
無人で検出でき、その結果、電極の消耗を監視するため
の作業員が不要となる。
【００２３】更に、電極Ｄの消耗を、上記温度差または
発熱量という、電極Ｄの消耗度に応じ一次的かつ鋭敏に
変化する数値に基づき検出するため、電極Ｄの消耗及び
溶損を、高精度で把握、予想することができる。また、
本発明の方法は、電極Ｄ及びノズル７の冷却を水冷にて
行う水冷式のプラズマ切断装置１３であれば、あらゆる
装置に適用可能な方法である。
発熱量という、電極Ｄの消耗度に応じ一次的かつ鋭敏に
変化する数値に基づき検出するため、電極Ｄの消耗及び
溶損を、高精度で把握、予想することができる。また、
本発明の方法は、電極Ｄ及びノズル７の冷却を水冷にて
行う水冷式のプラズマ切断装置１３であれば、あらゆる
装置に適用可能な方法である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、電
極を冷却水により冷却するプラズマ切断装置における電
極の消耗を無人で検出可能で、かつ電極の溶損を高精度
で予想可能である。
極を冷却水により冷却するプラズマ切断装置における電
極の消耗を無人で検出可能で、かつ電極の溶損を高精度
で予想可能である。
【図１】水冷式プラズマ切断装置の構造の例を示す断面
図である。
図である。
【図２】プラズマ切断装置における導入冷却水と排出冷
却水との温度差と電極の消耗との関係を模式的に示す図
である。
却水との温度差と電極の消耗との関係を模式的に示す図
である。
７ ノズル １３ プラズマ切断装置 ２０ 被切断物 ２１ プラズマ流 Ｄ 電極
Claims (13)
- 【請求項１】 ノズル内に設けられた電極と被切断物と
の間にアークを発生させて上記ノズルから噴射される作
動ガスをプラズマ化し、その結果生じたプラズマ流によ
り上記被切断物を切断するとともに、上記電極を冷却水
により冷却するプラズマ切断装置における上記電極の消
耗検出方法であって、 上記切断装置に導入される冷却水（導入冷却水）の温度
と、上記電極により加熱された冷却水（排出冷却水）の
温度とをそれぞれ測定し、上記導入冷却水と排出冷却水
との温度差に基づき、上記電極の消耗を検出することを
特徴とするプラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項２】 上記温度差が所定値を越えた際に、上記
電極の消耗を検出することを特徴とする請求項１記載の
プラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項３】 上記温度差の単位時間当たりの変化率が
所定値を越えた際に、上記電極の消耗を検出することを
特徴とする請求項１記載のプラズマ電極の消耗検出方
法。 - 【請求項４】 上記所定値を、上記電極の初期使用時に
おける上記温度差と上記電極の消耗度との関係から決定
することを特徴とする請求項２または３記載のプラズマ
電極の消耗検出方法。 - 【請求項５】 上記所定値を、切断電流の変化に応じて
変化させることを特徴とする請求項２，３または４記載
のプラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項６】 ノズル内に設けられた電極と被切断物と
の間にアークを発生させて上記ノズルから噴射される作
動ガスをプラズマ化し、その結果生じたプラズマ流によ
り上記被切断物を切断するとともに、上記電極を冷却水
により冷却するプラズマ切断装置における上記電極の消
耗検出方法であって、 上記切断装置に導入される冷却水（導入冷却水）の温度
と、上記電極により加熱された冷却水（排出冷却水）の
温度とをそれぞれ測定し、上記導入冷却水と排出冷却水
との温度差と上記冷却水の流量から、上記電極における
単位時間当たりの発熱量を算出し、この発熱量から、上
記電極の消耗を検出することを特徴とするプラズマ電極
の消耗検出方法。 - 【請求項７】 上記発熱量が所定値を越えた際に、上記
電極の消耗を検出することを特徴とする請求項６記載の
プラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項８】 上記発熱量の単位時間当たりの変化率が
所定値を越えた際に、上記電極の消耗を検出することを
特徴とする請求項６記載のプラズマ電極の消耗検出方
法。 - 【請求項９】 上記所定値を、上記電極の初期使用時に
おける上記発熱量と上記電極の消耗度との関係から決定
することを特徴とする請求項７または８記載のプラズマ
電極の消耗検出方法。 - 【請求項１０】 上記所定値を、切断電流の変化に応じ
て変化させることを特徴とする請求項７，８または９記
載のプラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項１１】 上記排出冷却水の温度として、上記電
極からの出口における冷却水の温度を用いることを特徴
とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のプラ
ズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項１２】 上記排出冷却水の温度として、上記切
断装置からの出口における冷却水の温度を用いることを
特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の
プラズマ電極の消耗検出方法。 - 【請求項１３】 上記電極と上記ノズル間における電圧
を測定し、この電圧の変化から、上記電極の消耗を検出
する方法を併用することを特徴とする請求項１ないし１
２のいずれか１項に記載のプラズマ電極の消耗検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02151896A JP3307820B2 (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | プラズマ電極の消耗検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02151896A JP3307820B2 (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | プラズマ電極の消耗検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09216066A true JPH09216066A (ja) | 1997-08-19 |
| JP3307820B2 JP3307820B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=12057192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02151896A Expired - Lifetime JP3307820B2 (ja) | 1996-02-07 | 1996-02-07 | プラズマ電極の消耗検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3307820B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002003440A1 (fr) * | 2000-07-04 | 2002-01-10 | Tokyo Electron Limited | Procede de prediction de la consommation de piece consommable, procede de prediction de l'epaisseur de film depose, et processeur au plasma |
| US6933462B2 (en) | 2003-02-06 | 2005-08-23 | Komatsu Industries Corporation | Plasma processing apparatus for monitoring and storing lifetime usage data of a plurality of interchangeable parts |
| KR100646915B1 (ko) * | 2003-10-16 | 2006-11-23 | 고이께 산소 고교 가부시끼가이샤 | 플라즈마 토치용 노즐 |
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-
1996
- 1996-02-07 JP JP02151896A patent/JP3307820B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| CN107042354A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-08-15 | 柯利佳 | 水再压缩等离子弧切割机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3307820B2 (ja) | 2002-07-24 |
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