JPH09210623A

JPH09210623A - 位置ずれ測定装置

Info

Publication number: JPH09210623A
Application number: JP3566496A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Kumagai; 芳宏熊谷
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1996-01-30
Filing date: 1996-01-30
Publication date: 1997-08-12

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定物のＸＹ軸方向の位置ずれをＺ軸上で
常に測定でき、被測定物のＺ軸位置にかかわらずＸＹ軸
方向の位置ずれを予測して補正値を出力する位置ずれ測
定装置を提供する。【解決手段】検出部１は検出器１Ｐ・１Ｑから構成さ
れ、被測定物６に関し、Ｘ軸方向の位置の測定データ１
ｘａと１ｘｂ、及びＹ軸方向の位置の測定データ１ｙａ
と１ｙｂを検出する。演算部２は、測定データ１ｘａと
１ｘｂの差Δｘ、及び測定データ１ｙａと１ｙｂの差Δ
ｙをとり、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量に比例し
たアナログデータ２ｘ及び２ｙを出力する。変換部３
は、アナログデータ２ｘ・２ｙをデジタルデータ３ｘ・
３ｙに変換する。補正部４は、デジタルデータ３ｘ・３
ｙに基づいて補正値４ｘ・４ｙを演算する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、位置ずれ測定装
置、特にプリント板加工機に使用されるドリルの位置ず
れを測定する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プリント板加工機において
は、ドリルを使用してワーク部材であるプリント板に穴
をあけたり、またプリント板を切削加工している。従来
のドリル６は、図１０（Ａ）に示すように、チャック７
に把持されている。ドリル６の先端にピックテスタ６Ａ
を当てて、ドリル６の位置ずれを測定する。

【０００３】このドリル６を用いて実際にプリント板８
を加工する場合は、先ず、図１０（Ｂ）に示すように、
Ｚ軸上のある位置において、ドリル６をＸＹ軸方向に位
置決めした後、前記ピックテスタ６ＡによりＸＹ軸方向
の位置ずれを確認する。その後、図示するように、ドリ
ル６をＺ軸方向に降下させることにより、加工位置にお
いて、ＸＹテーブル９上に戴置されたプリント板８を加
工する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来は、既述
したように、ドリル６の位置ずれは、Ｚ軸上の一箇所、
例えば、位置決め位置において確認されるだけなので、
ドリル６が降下する途中の位置ずれ量は分からない。

【０００５】ドリル６は、それ自体曲がっている場合も
あり、またドリル６の交換時における取付け不完全、あ
るいはチャック７内の汚れ等により、図１０（Ｃ）に示
すようにら、加工位置に到達するまでに位置ずれが生じ
る場合がある。

【０００６】この結果、例えば、図１０（Ｃ）に示す状
態でブリント板８に穴あけ加工した場合には、穴の位置
がずれたり、穴が垂直にあかない等の弊害が生じる。

【０００７】更に、従来は、高速で移動するドリル６の
位置ずれは、測定困難であり、たとえ測定できたとして
も熟練工のみが可能であり、その場合でも、ドリル６の
調整時だけ位置ずれを測定するのが通例であって、常時
測定はしていない。従って、従来のドリル６は、ＮＣ制
御装置等の自動制御装置に適用することは困難である。

【０００８】この発明の目的は、被測定物のＸＹ軸方向
の位置ずれをＺ軸上で常に測定でき、被測定物のＺ軸位
置にかかわらずＸＹ軸方向の位置ずれを予測して補正値
を出力すると共に、Ｚ軸上を高速で移動する被測定物に
も適用可能な位置ずれ測定装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明は、図１に示すように、少なくとも２つの
検出器１Ｐ・１Ｑから構成された検出部１と、演算部２
と、変換部３と、補正部４を備え、補正値４ｘ、４ｙを
出力することにより、制御部５を介して被測定物である
ドリル６の位置が制御されるようになっている。

【００１０】従って、例えば、図３に示すように、ドリ
ル６の位置決め位置Ｚｐと加工位置Ｚｑに２つの検出器
１Ｐ・１Ｑを設置し、Ｘ軸方向の測定データ１ｘａと１
ｘｂ、及びＹ軸方向の測定データ１ｙａと１ｙｂを検出
することにより、これらの測定データ１ｘａ〜１ｙｂに
基づいて補正値４ｘ、４ｙを演算できるので、被測定物
のＸＹ軸方向の位置ずれをＺ軸上で常に測定でき、被測
定物のＺ軸位置にかかわらずＸＹ軸方向の位置ずれを予
測して補正値を出力すると共に、Ｚ軸上を高速で移動す
る被測定物にも適用可能なように作用する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明を実施の形態によ
り添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の実
施形態を示す回路図である。図１に示す位置ずれ測定装
置は、Ｚ軸上を移動する被測定物６、例えば、後述する
ドリル６のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれを測定し、
補正値４ｘ、４ｙを出力する装置であり、制御部５によ
りドリル６の位置が制御される。前記位置ずれ測定装置
は、検出部１と、演算部２と、変換部３と、補正部４を
備えている。

【００１２】検出部１は、前記被測定物６に関し、Ｘ軸
方向の位置を表す測定データ１ｘａと１ｘｂ、及びＹ軸
方向の位置を表す測定データ１ｙａと１ｙｂを検出し、
少なくとも２つの検出器１Ｐ・１Ｑを備えている。

【００１３】ここで、前記Ｘ軸方向の位置を表す測定デ
ータ１ｘａと１ｘｂとは、例えば、図２と図４と図８
（Ａ）と図８（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の互いに反
対側、即ち、後述する受光面１２Ａと１２Ｂの中心Ｏを
基準として受光面１２Ａ側と受光面１２Ｂ側における位
置を表すデータであり、前記Ｙ軸方向の位置を表す測定
データ１ｙａと１ｙｂとは、同様に、Ｙ軸方向の互いに
反対側である受光面１２Ａ側と受光面１２Ｂ側における
位置を表すデータである。

【００１４】前記検出器１Ｐ・１Ｑは、例えば、図３に
示すように、Ｚ軸上であって、ドリル６の位置決め位置
Ｚｐに設置された検出器１Ｐと、ドリル６の加工位置Ｚ
ｑに設置された検出器１Ｑである。

【００１５】２つの検出器１Ｐ・１Ｑは、共に同じ構成
を備え、図２に示すように、Ｘ軸方向検出器１Ｘ及びＹ
軸方向検出器１Ｙを備えている。

【００１６】Ｘ軸方向検出器１Ｘは、Ｘ軸方向の位置を
表す測定データ１ｙａと１ｙｂを検出し、Ｙ軸方向検出
器１Ｙは、Ｙ軸方向の位置を表す測定データ１ｙａと１
ｙｂを検出する。

【００１７】Ｘ軸方向検出器１ＸとＹ軸方向検出器１Ｙ
は、いづれも同じ構成を備え、例えば、図２に示すよう
に、スリット光光源１１と、多素子型フォトダイオード
１２から構成されている。

【００１８】前記多素子型フォトダイオード１２は、２
つ以上の受光面１２Ａと１２Ｂを備えるフォトダイオー
ドであって、スリット光光源１１から受けたスリット光
１３を電流に変換する素子である。

【００１９】従って、多素子型フォトダイオード１２が
例えばＸ軸方向検出器１Ｘを構成する場合は、スリット
光１３を遮断するドリル６について（図４）、Ｘ軸方向
の受光面１２Ａ側における位置を表す測定データである
光電流Ｉｘａと（図８（Ａ））、Ｘ軸方向の受光面１２
Ｂ側における位置を表す測定データである光電流Ｉｘｂ
（図８（Ｂ））を検出する（図２）。

【００２０】同様に、多素子型フォトダイオード１２が
Ｙ軸方向検出器１Ｙを構成する場合も、測定データであ
る光電流ＩｙａとＩｙｂを検出する（図２、図４、図８
（Ａ）、図８（Ｂ）））。

【００２１】この実施の形態では、前記多素子型フォト
ダイオード１２により構成されたＸ軸方向検出器１Ｘと
Ｙ軸方向検出器１Ｙを備えた検出器１Ｐと検出器１Ｑ
を、図３に示すように、ドリル６の位置決め位置Ｚｐと
加工位置Ｚｑに設置しておき、ドリル６がＺｐとＺｑに
移動したときに、検出部１により（図１）、前記測定デ
ータ１ｘａと１ｘｂ及び１ｙａと１ｙｂを検出しようと
するものである。

【００２２】前記演算部２は、前段の検出部１により検
出された測定データＩｘａとＩｘｂ及びＩｙａとＩｙｂ
の差Δｘ及びΔｙをとり（図８（Ｃ））、被測定物６の
位置ずれ量に比例したアナログデータ２ｘ及び２ｙを演
算する（図９）。

【００２３】演算部２は、図５に示すように、検出器切
換スイッチ２１と、ＸＹ切換スイッチ２２と、電圧変換
回路２３と、差動アンプ２４と、増幅アンプ２５を備え
ている。

【００２４】検出器切換スイッチ２１は、検出器１Ｐと
検出器１Ｑへの接続を切り換えるスイッチである。

【００２５】即ち、検出器切換スイッチ２１は、ドリル
６が位置決め位置Ｚｐへ来たときには（図３）、演算部
２を検出器１Ｐ側へ接続し、加工位置Ｚｑへ来たときに
は、検出器１Ｑ側へ接続するようになっており、図示す
る例では、検出器１Ｐ側へ切り換わっている。

【００２６】ＸＹ切換スイッチ２２は、検出器１Ｐ又は
１Ｑを構成するＸ軸方向検出器１ＸとＹ軸方向検出器１
Ｙへの接続を切り換えるスイッチである。

【００２７】即ち、ＸＹ切換スイッチ２２は、検出器１
Ｐ又は１Ｑが、ドリル６のＸ軸方向の位置を表す測定デ
ータＩｘａとＩｘｂを検出する場合は、演算部２をＸ軸
方向検出器１Ｘ側へ（図２）切り換え、Ｙ軸方向の位置
を表す測定データＩｙａとＩｙｂを検出する場合は、Ｙ
軸方向検出器１Ｙ側へ（図２）切り換えるようになって
おり、図示する例では、Ｘ軸方向検出器１Ｘ側へ切り換
わっている。

【００２８】電圧変換回路２３は、ＸＹ切換スイッチ２
２を介して入力された測定データである光電流Ｉｘａと
Ｉｘｂ及びＩｙａとＩｙｂを電圧ＶｘａとＶｘｂ及びＶ
ｙａとＶｙｂに変換する回路であり、例えば、図示する
ように、電圧を検出する検出抵抗Ｒ１により構成されて
いる。

【００２９】差動アンプ２４は、前記電圧ＶｘａとＶｘ
ｂ及びＶｙａとＶｙｂを入力することにより、Ｖｘａと
Ｖｘｂの差Δｘ及びＶｙａとＶｙｂの差Δｙを出力し、
入力抵抗Ｒ２、接地抵抗Ｒ３、帰還抵抗Ｒ４、バイパス
コンデンサＣ１を備えている。

【００３０】増幅アンプ２５は、前記差動アンプ２４で
得られた差Δｘ及びΔｙを入力して増幅し、位置ずれ量
に比例したアナログデータ２ｘ及び２ｙを出力する装置
であり、結合抵抗Ｒ５と、帰還抵抗Ｒ６と、バイパスコ
ンデンサＣ２を備えている。

【００３１】前記変換部３は（図１）、演算部２の増幅
アンプ２５から出力されたアナログデータ２ｘ及び２ｙ
を入力し、デジタルデータ３ｘ及び３ｙに変換する装置
であり、例えば、図６に示すように、Ａ／Ｄ変換器３１
により構成されている。

【００３２】前記補正部４は（図１）、デジタルデータ
３ｘ及び３ｙを入力し、被測定物６のＸ軸方向の補正値
４ｘ及びＹ軸方向の補正値４ｙを演算する装置であり、
例えば、図７に示すように、補正演算プログラム４１１
を格納したパソコン４１により構成されている。

【００３３】また、補正部４の後段には、図１に示すよ
うに、破線で示す制御部５が接続され、制御部５は、補
正値４ｘ及び４ｙを入力し、ドリル６に対して指令信号
５ａを送信することにより、位置ずれを補正する他ドリ
ル６のＺ軸方向の移動や、ＸＹ軸方向の位置決め等（図
３）全ての制御をする。

【００３４】ドリル６は、チャック７に装着され（図
３）、ＸＹテーブル９上のプリント板８を加工する部材
であり、既述したように制御部５からの指令信号５ａに
より制御される。

【００３５】以下、前記構成を備えた位置ずれ測定装置
の動作を説明する。（１）Ｚｐにおける測定先ず、制御部５からの指令信号５ａにより（図１）ドリ
ル６をＺｐに移動させ、図３に示すように、位置決め位
置Ｚｐに設置した検出器１Ｐにより、ドリル６の位置ず
れを測定する。このために、演算部２の検出器切換スイ
ッチ２１により、演算部２を検出器１Ｐ側に切り換える
（図５）。

【００３６】Ｘ軸方向の位置ずれ測定次に、ＸＹ切換スイッチ２２により（図５）、演算部２
をＸ軸方向検出器１Ｘ側に切り換え、検出器１ＰのＸ軸
方向検出器１Ｘによって検出された光電流ＩｘａとＩｘ
ｂを入力する（図１）。

【００３７】この場合、演算部２に入力される光電流Ｉ
ｘａとＩｘｂの大きさは、図４に示すように、多素子型
フォトダイオード１２の受光面１２Ａと１２Ｂの中心Ｏ
を基準として、ドリル６がスリット光１３を遮断する割
合に依存する（図８（Ａ）、図８（Ｂ））。

【００３８】即ち、図４（Ａ）に示すように、ドリル６
の中心Ｃが、受光面１２Ａと１２Ｂの中心Ｏと一致する
場合には、受光面１２Ａ側から出力される光電流Ｉｘａ
と、受光面１２Ｂ側から出力される光電流Ｉｘｂは等し
くなる。

【００３９】しかし、図４（Ｂ）に示すように、ドリル
６の中心Ｃが、受光面１２Ａと１２Ｂの中心Ｏからずれ
た場合には、受光面１２Ａ側から出力される光電流Ｉｘ
ａと、受光面１２Ｂ側から出力される光電流Ｉｘｂは異
なる。

【００４０】多素子型フォトダイオード１２の受光面１
２Ａ側の出力特性は、図８（Ａ）に、受光面１２Ｂ側の
出力特性は、図８（Ｂ）にそれぞれ図示されている。

【００４１】図８（Ａ）の直線Ａは、受光面１２Ａ側か
ら出力される光電流Ｉｘａと、そのときの受光面１２Ａ
側におけるドリル６の位置との関係を表し、図８（Ｂ）
の直線Ｂは、受光面１２Ｂ側から出力される光電流Ｉｘ
ｂと、そのときの受光面１２Ｂ側におけるドリル６の位
置との関係を表している。

【００４２】前記演算部２に入力した光電流ＩｘａとＩ
ｘｂは、電圧変換回路２３により所定の電圧ＶｘａとＶ
ｘｂに変換され（図５）、次段の差動アンプ２４に入力
して両者ＶｘａとＶｘｂの差Δｘが出力される。

【００４３】この場合の差動アンプ２４の出力特性は、
図８（Ｃ）に示すとおりであり、図示する直線Ｅは、差
動アンプ２４の出力Δｘと、そのときのドリル６のＸ軸
方向の位置ずれ量との関係を表している。

【００４４】図８（Ｃ）から明らかなように、ドリル６
の位置ずれ量は、差動アンプ２４の出力Δｘの絶対値に
比例しており、ドリル６の位置ずれ量が０の場合は、差
動アンプ２４の出力Δｘも０である。

【００４５】前記差動アンプ２４から出力された電圧Ｖ
ｘａとＶｘｂの差Δｘは、図５に示すように、結合抵抗
Ｒ５を介して、次段の増幅アンプ２５に入力され、増幅
されてＸ軸方向の位置ずれ量に比例したアナログデータ
２ｘが得られる。

【００４６】この場合のアナログデータ２ｘと、Ｘ軸方
向の位置ずれ量との関係は、図９に示すとおりであり、
増幅アンプの出力（縦軸）の単位はＶ、ドリル６の位置
ずれ量（横軸）の単位はμｍである。

【００４７】図９において、増幅アンプの出力と、ドリ
ル６の位置ずれ量との関係を表す直線Ｅの傾きは、30／
1000であり、位置ずれ量１μｍ当りの増幅アンプ出力
は、0.03Ｖ＝30ｍＶである。

【００４８】増幅アンプ２５から出力されたアナログデ
ータ２ｘは、次段の変換部３に入力し、Ａ／Ｄ変換器３
１により（図６）デジタル変換されてデジタルデータ３
ｘが出力される。

【００４９】Ｙ軸方向の位置ずれ測定次に、検出器切換スイッチ２１はそのままの状態、即
ち、演算部２を検出器１Ｐ側に接続した状態にしておい
て（図５）、ＸＹ切換スイッチ２２により（図５）、演
算部２をＹ軸方向検出器１Ｙ側に切り換え、Ｙ軸方向の
測定データである光電流１ｙａと１ｙｂを入力する（図
１）。

【００５０】その後は、前記「Ｘ軸方向の位置ずれ測
定」で述べた動作と同じ動作によりデータ処理がなさ
れ、変換部からはデジタルデータ３ｙが出力される。

【００５１】（２）Ｚｑにおける測定次に、図３に示すように、制御部５からの指令信号５ａ
により（図１）ドリル６をＺｑに移動させ、加工位置Ｚ
ｑに設置した検出器１Ｑにより、ドリル６の位置ずれを
測定する。このために、演算部２の検出器切換スイッチ
２１により、演算部２を検出器１Ｑ側に切り換える（図
５）。

【００５２】Ｘ軸方向の位置ずれ測定ＸＹ切換スイッチ２２により（図５）、演算部２をＸ軸
方向検出器１Ｘ側に切り換え、検出器１ＱのＸ軸方向検
出器１Ｘによって検出された光電流ＩｘａとＩｘｂを入
力し、その後は、「（１）Ｚｐにおける測定」で述べた
のと同じ動作により、電圧変換回路２３と差動アンプ２
４と増幅アンプ２５と変換部３で処理がなされ、変換部
３からはデジタルデータ３ｘが出力される。

【００５３】Ｙ軸方向の位置ずれ測定更に、ＸＹ切換スイッチ２２により（図５）、演算部２
をＹ軸方向検出器１Ｙ側に切り換え、検出器１ＱのＹ軸
方向検出器１Ｙによって検出された光電流ＩｙａとＩｙ
ｂを入力し、その後は、「（１）Ｚｐにおける測定」で
述べたのと同じ動作により、電圧変換回路２３と差動ア
ンプ２４と増幅アンプ２５と変換部３で処理がなされ、
変換部３からはデジタルデータ３ｙが出力される。

【００５４】（３）補正値の演算前記「（１）Ｚｐにおける測定」と、「（２）Ｚｑにお
ける測定」において述べた変換部３（図１、図６）から
のデジタルデータ３ｘ、３ｙは、補正部４に入力され
る。

【００５５】補正部４に入力されたデジタルデータ３
ｘ、３ｙは、図７に示すパソコン４１に格納された補正
演算プログラム４１１により、処理がなされ、補正値４
ｘ、４ｙが演算される。

【００５６】検出器１Ｐで検出された測定データ１ｘａ
〜１ｙｂに基づいて（図３）変換部３から出力されたデ
ジタルデータ３ｘ、３ｙを、Ｄ（Ｘｐ，Ｙｐ）とし、検
出器１Ｑで検出された測定データ１ｘａ〜１ｙｂに基づ
いて（図３）変換部３から出力されたデジタルデータ３
ｘ、３ｙを、Ｄ（Ｘｑ，Ｙｑ）とする。

【００５７】このような関係にあるデジタルデータ３
ｘ、３ｙを、補正演算プログラム４１１により処理すれ
ば、例えば、次の式で与えられるＤ（Ｘ，Ｙ）が補正値
４ｘ、４ｙとして演算される。

【００５８】Ｄ〔−Ｘｐ−｛（Ｘｐ−Ｘｑ）／（Ｚｐ−
Ｚｑ）｝Ｚ、−Ｙｐ−｛（Ｙｐ−Ｙｑ）／（Ｚｐ−Ｚ
ｑ）｝Ｚ〕＝Ｄ（Ｘ，Ｙ）＝補正値４ｘ、４ｙ

【００５９】前記補正値４ｘ、４ｙは、補正部４から出
力されて次段の制御部５に入力し、制御部５からの指令
信号５ａにより、ドリル６の位置ずれが補正される（図
１）。

【００６０】

【発明の効果】上述したように、この発明の構成によれ
ば、被測定物のＸＹ軸方向の位置ずれをＺ軸上で常に測
定でき、被測定物のＺ軸位置にかかわらずＸＹ軸方向の
位置ずれを予測して補正値を出力すると共に、Ｚ軸上を
高速で移動する被測定物にも適用可能な位置ずれ測定装
置を提供するという効果がある。

【００６１】

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態を示す回路図である。

【図２】この発明の検出器の構成を示す図である。

【図３】この発明の検出器の設置位置を示す図である。

【図４】この説明の検出器と被測定物との関係を示す図
である。

【図５】この発明の演算部の構成を示す図である。

【図６】この発明の変換部の構成を示す図である。

【図７】この発明の補正部の構成を示す図である。

【図８】この発明の検出器の出力特性と差動アンプの出
力特性を示す図である。

【図９】この発明の増幅アンプの出力特性を示す図であ
る。

【図１０】従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１検出部２演算部３変換部４補正部５制御部６被測定物１Ｐ、１Ｑ検出器１ｘａ、１ｘｂ、１ｙａ、１ｙｂ測定データ２ｘ、２ｙアナログデータ３ｘ、３ｙデジタルデータ４ｘ、４ｙ補正値５ａ指令信号１ＸＸ軸方向検出器１ＹＹ軸方向検出器１１スリット光光源１２多素子型フォトダイオード１３スリット光１２Ａ、１２Ｂ受光面２１検出器切換スイッチ２２ＸＹ切換スイッチ２３電圧変換回路２４差動アンプ２５増幅アンプ３１Ａ／Ｄ変換器４１パソコン４１１補正演算プログラム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも２つの検出器(1P)・(1Q)から
構成され、被測定物(6) に関し、Ｘ軸方向の位置を表す
測定データ「１ｘａ」と「１ｘｂ」、及びＹ軸方向の位
置を表す測定データ「１ｙａ」と「１ｙｂ」を検出する
検出部(1) と、測定データ「１ｘａ」と「１ｘｂ」の差「Δｘ」、及び
測定データ「１ｙａ」と「１ｙｂ」の差「Δｙ」をと
り、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量に比例したアナ
ログデータ「２ｘ」及び「２ｙ」を出力する演算部(2)
と、アナログデータ「２ｘ」及び「２ｙ」をデジタルデータ
「３ｘ」及び「３ｙ」に変換する変換部(3) と、デジタルデータ「３ｘ」及び「３ｙ」に基づいて補正値
「４ｘ」及び「４ｙ」を演算する補正部(4) を備えるこ
とを特徴とする位置ずれ測定装置。
【請求項２】前記検出器(1P)・(1Q)が、Ｘ軸方向検出
器(1X)とＹ軸方向検出器(1Y)により構成されている請求
項１記載の位置ずれ測定装置。
【請求項３】前記Ｘ軸方向検出器(1X)とＹ軸方向検出
器(1Y)が、受光面(12A) ・(12B) を２つ以上備えた多素
子型フォトダイオード(12)により構成されている請求項
２記載の位置ずれ測定装置。
【請求項４】前記演算部(2) が、検出器切換スイッチ
(21)と、ＸＹ切換スイッチ(22)と、電圧変換回路(23)
と、差動アンプ(24)と、増幅アンプ(25)により構成され
ている請求項１記載の位置ずれ測定装置。
【請求項５】前記変換部(3) が、Ａ／Ｄ変換器(31)に
より構成されている請求項１記載の位置ずれ測定装置。
【請求項６】前記補正部(4) が、補正演算プログラム
(411) を格納したパソコン(41)により構成されている請
求項１記載の位置ずれ測定装置。