JPH09207047A - ポリッシング装置又は搬送・洗浄装置のドレンパン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 たとえ漏液が強酸性又は強アルカリ性であっ
てもその腐食が防止でき、且つ強度が強くて厚みを薄く
できるポリッシング装置又は搬送・洗浄装置のドレンパ
ンを提供すること。 【解決手段】 ポリッシング装置３０と搬送・洗浄装置
５０内の各種機器から漏れて来る漏液を受け止めるドレ
ンパン１０，２０である。ドレンパン１０，２０を、ポ
リッシング装置３０と搬送・洗浄装置５０の底面を覆う
形状であってその外周を上方向に折り曲げてなるステン
レス製の板で構成し、該板の少なくとも漏液が付着する
恐れのある面、即ちドレンパン１０，２０上面の凹状と
なっている部分全体に腐食防止用の樹脂皮膜１９，２９
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等のポ
リッシング対象物の表面を研磨するポリッシング装置の
底面又は該ポリッシング対象物の搬送・洗浄を行なう搬
送・洗浄装置の底面に取り付けられるドレンパンに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハの製造工程においては、半
導体ウエハ表面を平坦且つ鏡面化するためにポリッシン
グ装置が使用されている。

【０００３】この種のポリッシング装置の中には例え
ば、各々独立した回転数で回転するターンテーブルとト
ップリングとドレッシングリングとを有し、トップリン
グが保持した半導体ウエハをターンテーブル上に設けた
研磨クロスに接触して該半導体ウエハの表面を研磨する
とともに、ドレッシングリングをターンテーブルに接触
して研磨後の研磨クロス表面の目立て・再生を行なう構
造のものがある。

【０００４】一方このポリッシング装置には搬送・洗浄
装置を併設させる場合がある。この搬送・洗浄装置は例
えば、外部から半導体ウエハを受け取ってこれを前記ポ
リッシング装置に搬送するワーク搬送ロボットや、ポリ
ッシングが完了した半導体ウエハの表面を洗浄する洗浄
装置や、洗浄後の半導体ウエハを乾燥する乾燥装置など
を収納して構成されている。

【０００５】ところでこれらポリッシング装置や搬送・
洗浄装置の底には、該底面を覆うようにドレンパンが取
り付けられる。ポリッシング装置や搬送・洗浄装置内の
各種機器には通常防水対策が施されているので、通常は
これら各種機器から液体が漏れることはないが、万一各
種機器の故障などによって液体が漏れた場合は、このド
レンパンが該漏液を受け止める。このドレンパンの材質
としては、ステンレス製の板が用いられていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例には以下のような問題点があった。 前記ポリッシング装置や搬送・洗浄装置内の各種機器
からの漏液の中には酸性又はアルカリ性の液体がある。
そしてたとえこの漏液が弱酸性・弱アルカリ性であって
も漏液と蒸発を繰り返すことによって強酸性又は強アル
カリ性の液体となり得る。

【０００７】そして漏液が強酸性又は強アルカリ性にな
った場合は、ステンレス製のドレンパンは腐食されてし
まうという問題点があった。

【０００８】この腐食を防止するためには、ドレンパン
の材質を腐食に強い合成樹脂、例えばＰＶＣ（ポリ塩化
ビニル）で構成すれば良い。

【０００９】しかしながらドレンパンの材質として合成
樹脂を用いた場合、その強度があまり強くないので、ポ
リッシング装置などの搬送中に破損してしまう恐れがあ
る。一方その強度を保つためにはその厚みを厚くしなけ
ればならないが、そうするとドレンパン設置スペースが
大きくなり、装置全体の高さを低くしてコンパクト化を
図ることが阻害される。またステンレスの場合に比べて
その製造が困難である。

【００１０】ポリッシング装置等が高さ制限を受ける
ような場合は、ドレンパンと床面の間の隙間を小さくし
なければならなくなるが、このように構成するとこのポ
リッシング装置等を例えばフォークリフトで搬送するよ
うな場合、差し込まれたフォークによってドレンパンが
破損する恐れがある。

【００１１】ポリッシング装置が故障した場合や点検
する場合は、その修理や点検をポリッシング装置の底面
から行なう必要があるが、そのとき一々ドレンパンを取
り外す作業が煩雑であった。

【００１２】また取り外したドレンパンはポリッシン
グ装置の底から手前側に引き出されるが、該ドレンパン
はポリッシング装置等の底面全体を覆っているためその
表面積が大きい。このためドレンパンを引き出すために
は少なくともポリッシング装置等の奥行き寸法とほぼ同
じ寸法分だけポリッシング装置の手前側に他の装置等を
設置できず、スペースの有効利用を阻害するという問題
点もあった。

【００１３】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、たとえ漏液が強酸性又は強アルカリ性
であってもその腐食が防止でき、且つ強度が強くて厚み
を薄くでき、装置搬送時にその破損が防止でき、また引
き出しに必要なスペースが小さくて済むポリッシング装
置又は搬送・洗浄装置のドレンパンを提供することにあ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ポリッシング対象物の表面を研磨するポリ
ッシング装置の底面又は該ポリッシング装置にポリッシ
ング対象物を搬送するとともに研磨後のポリッシング対
象物を洗浄する搬送・洗浄装置の底面を覆って該ポリッ
シング装置又は搬送・洗浄装置内の各種機器から漏れて
来る漏液を受け止めるポリッシング装置又は搬送・洗浄
装置のドレンパンにおいて、前記ドレンパンを、ポリッ
シング装置又は搬送・洗浄装置の底面を覆う形状であっ
てその外周を上方向に折り曲げてなるステンレス製の板
であって、該板の少なくとも漏液が付着する面に樹脂皮
膜を設けて構成した。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１乃至図４は本発明を適用
したポリッシング装置と搬送・洗浄装置全体の構造を示
す図であり、図１は概略側断面図、図２は概略平面図、
図３は図２のＡ−Ａ概略断面矢視図、図４は図２のＢ−
Ｂ概略断面矢視図である。

【００１６】ここでまずポリッシング装置３０と搬送・
洗浄装置５０の全体構成について簡単に説明する。

【００１７】図２に示すように、ポリッシング装置３０
は、その中央にターンテーブル３３を配置し、その両側
にトップリング３５を取り付けたポリッシングユニット
３７と、ドレッシングリング３９を取り付けたドレッシ
ングユニット４１を配置し、さらにポリッシングユニッ
ト３７の横にワーク受渡装置４３を設置して構成されて
いる。

【００１８】一方、搬送・洗浄装置５０は、その中央に
矢印Ｃ方向に移動可能な２台のワーク搬送ロボット５
１，５３を設置し、その一方側に１次・２次洗浄機５
５，５７とスピン乾燥機５９を並列に配設し、他方側に
２つのワーク反転機６１，６３を並列に配設して構成さ
れている。

【００１９】またワーク搬送ロボット５３の一端には、
多数枚の半導体ウエハを収納する２つのカセット６５，
６７が設置される。

【００２０】そして例えば研磨前の半導体ウエハを収納
したカセット６５が図２に示す位置にセットされると、
ワーク搬送ロボット５３が該カセット６５から半導体ウ
エハを１枚ずつ取り出してワーク反転機６３に受け渡し
反転された後、ワーク搬送ロボット５１がワーク受渡装
置４３に搬送する。

【００２１】ワーク受渡装置４３上の半導体ウエハは、
一点鎖線の矢印で示すように回動するポリッシングユニ
ット３７のトップリング３５に受け渡されて、ターンテ
ーブル３３上で研磨された後、再びワーク受渡装置４３
に戻されワーク搬送ロボット５１によってワーク反転機
６３に受け渡されて反転された後に、１次・２次洗浄機
５５，５７で洗浄された後、スピン乾燥機５９でスピン
乾燥されて、カセット６５に戻される。

【００２２】ところでポリッシング装置３０の底面と搬
送・洗浄装置５０の底面には、図１，３，４に示すよう
に、本発明にかかるドレンパン１０，２０が設置されて
いる。

【００２３】これらドレンパン１０，２０はいずれもポ
リッシング装置３０の底面と搬送・洗浄装置５０の底面
を覆う寸法形状に形成されており、その外周４辺は上方
向に折り曲げられて外周壁１１，２１を形成している。

【００２４】またポリッシング装置３０のドレンパン１
０の左右２辺は図１に示すように、外周壁１１，２１を
さらに直角に外側に折り曲げることでつば部１３，１３
を形成している。これらつば部１３，１３は、ポリッシ
ング装置３０の下面に設けたレール部４７，４７上に載
置される。これによってドレンパン１０は、ポリッシン
グ装置３０の底面からスライド自在に引き抜くことがで
きる構造となっている。

【００２５】またドレンパン１０は図３に示すように、
引き抜き方向Ｄにほぼ直行する方向の直線で２枚（１０
−１，１０−２）に分割されており、分割された辺の一
方は上方向に折り曲げられて係止辺１５を形成し、他方
は下方向に折り曲げられて係止辺１７を形成し、該分割
されたそれぞれの辺の部分を両者の係止辺１５，１７が
噛み合うように重ね合わせている。

【００２６】なおドレンパン２０は１枚で形成されてお
り、且つその外周は搬送・洗浄装置５０の底面にボルト
等の固定手段で固定されている。

【００２７】そして本発明にかかるドレンパン１０，２
０は、いずれもステンレス製（この実施形態では耐食性
のあるＳＵＳ３０４製）の板であって、該板の上面の漏
液が付着する恐れのある面、即ちその中央の表面から外
周壁１１，２１の内側面に到る部分全体（即ちドレンパ
ン１０，２０の凹状となっている内側面全体）に、耐食
性のある樹脂皮膜１９，２９（点線で示す）をコーティ
ングしている。この樹脂皮膜としては例えばＰＶＣを用
いる。

【００２８】コーティングの方法としては、ディッピン
グ（漬け込んだ後に高温加熱によって皮膜を形成する方
法）や、ライニング（接着剤による貼り付け）や、塗装
（吹き付け等）等を用いる。

【００２９】なお図では省略しているが、各装置３０，
５０の底の周囲にはドレンパン１０，２０の下に到る脚
が設けられており、ドレンパン１０，２０が直接床面に
接触しないようにしている。

【００３０】次に本発明の作用について説明する。図１
に示すように、ポリッシング装置３０内においては、研
磨やドレッシング等のためターンテーブル３３上に砥液
や純水が供給され、これら各種液体はターンテーブル３
３の周囲に設けた砥液受け４５に受け止められて排水さ
れる。しかしながら該砥液受け４５の破損などによって
砥液受け４５から液体が漏れて落ちる恐れがある。

【００３１】またターンテーブル３３の下方のロータリ
ージョイント４８に接続した温度調整用の冷却液供給管
４９の接続部分等からも冷却液などが漏れて落ちる恐れ
がある。

【００３２】また１次・２次洗浄機５５，５７等の排水
管６９や、洗浄液供給管７１、カバー７３等の破損によ
って液体が漏れる恐れもある。

【００３３】これら各機器の予期せぬ故障や破損によっ
て漏れ出た液体は、ドレンパン１０，２０の上に落ちる
ので、床を汚したりする恐れはない。

【００３４】そして該漏液の中には酸性又はアルカリ性
の液体があるが、たとえこの漏液が弱酸性・弱アルカリ
性であっても漏液と蒸発を繰り返すことによってドレン
パン１０，２０上で強酸性又は強アルカリ性の液体とな
る恐れがある。

【００３５】しかしながら本発明にかかるドレンパン１
０，２０は表面に腐食に強い材質からなる樹脂皮膜１
９，２９が施されているので、たとえ漏液が強酸性・強
アルカリ性になったとしても、腐食の恐れはない。

【００３６】なおドレンパン１０，２０にはそれぞれ図
示しない排水管が接続されており、溜った液体は排水さ
れる。

【００３７】一方ポリッシング装置３０に点検の必要や
故障が生じて、その底面から点検・修理を行なう必要が
生じた場合は、ドレンパン１０を矢印Ｄ方向（図３参
照）に引き出して抜き取る。

【００３８】このとき分割されたドレンパン１０−１，
１０−２は、係止辺１５と係止辺１７が係合することで
一体に引き出せる。

【００３９】またこれらドレンパン１０は手前側のドレ
ンパン１０−１を引き出した後は、該ドレンパン１０−
１の上に重ねるようにもう一方のドレンパン１０−２を
引き出した上で抜き取れるので、引き出した際のドレン
パン１０のポリッシング装置３０の手前側に張り出す寸
法は、ポリッシング装置３０の奥行き寸法のほぼ半分に
なる。従ってポリッシング装置３０の手前側のスペース
を有効に利用できる。

【００４０】なお搬送・洗浄装置５０の場合、この実施
形態においては、点検や故障時に該搬送・洗浄装置５０
の上側から修理などが行なえる構造となっているので、
あえてポリッシング装置３０のようにドレンパン２０を
引き出し可能とせず、固定している。なお必要に応じて
前記ドレンパン１０と同様に引き出し可能な構造として
も良いことは言うまでもない。

【００４１】またポリッシング装置３０の場合は、ドレ
ンパン１０が抜き取れるので、このポリッシング装置３
０を例えばフォークリフトによって搬送するような場
合、ドレンパン１０を抜き取った状態でフォークを差し
込んで搬送し、搬送後にドレンパン１０を容易に装着で
きるので、ドレンパン１０の破損が防止できる。

【００４２】本発明は上記実施形態に限定されるもので
はなく、例えば以下のような変形が可能である。 ドレンパンの樹脂皮膜としてＰＶＣ皮膜を用いたが、
耐食性のある樹脂材であれば他の樹脂材を用いても良
い。

【００４３】上記実施形態では１枚のドレンパンを２
枚に分割したが、３枚以上に分割しても良い。

【００４４】上記実施形態ではドレンパンの漏液が付
着する恐れのある上面側の凹部の内面だけに樹脂皮膜を
設けたが、ドレンパン全体を樹脂皮膜で覆っても良い。

【００４５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 ステンレス板の少なくとも漏液が付着する面に樹脂皮
膜を設けたので、ポリッシング装置や搬送・洗浄装置内
の各種機器からの漏液が、たとえ強酸性又は強アルカリ
性の液体であっても腐食される恐れはない。

【００４６】ステンレス板に薄い樹脂皮膜を設ける構
造なので、その全体を樹脂成形品で構成する場合に比
べ、その厚みが薄くできて装置全体の高さを低く保て、
また強度が強く保てるのでその破損を防止でき、しかも
製造が容易である。

【００４７】ドレンパンを容易に引き抜きできるよう
に構成したので、たとえ高さ制限によってドレンパンと
床面の隙間が小さくても、ポリッシング装置等を搬送す
る際にドレンパンを抜き取ることによって、その破損が
未然に防止できる。

【００４８】ポリッシング装置等の底面側からメンテ
ナンス等をする必要が生じた場合でも、ドレンパンの引
き抜きが容易にできるので、その作業が容易に行なえ
る。

【００４９】またドレンパンを複数枚に分割してこれ
を引き抜く際に両者を一体に係合する構造としたので、
引き出した際のドレンパンのポリッシング装置等の手前
側に張り出す寸法を小さくでき、従ってポリッシング装
置等の手前側のスペースを有効に利用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したポリッシング装置と搬送・洗
浄装置全体の構造を示す概略側断面図である。

【図２】本発明を適用したポリッシング装置と搬送・洗
浄装置全体の構造を示す概略平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ概略断面矢視図である。

【図４】図２のＢ−Ｂ概略断面矢視図である。

【符号の説明】

１０（１０−１，１０−２） ドレンパン １１，２１ 外周壁 １５，１７ 係止辺 １９，２９ 樹脂皮膜 ２０ ドレンパン ３０ ポリッシング装置 ５０ 搬送・洗浄装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポリッシング対象物の表面を研磨するポ
   リッシング装置の底面又は該ポリッシング装置にポリッ
   シング対象物を搬送するとともに研磨後のポリッシング
   対象物を洗浄する搬送・洗浄装置の底面を覆って該ポリ
   ッシング装置又は搬送・洗浄装置内の各種機器から漏れ
   て来る漏液を受け止めるポリッシング装置又は搬送・洗
   浄装置のドレンパンにおいて、 前記ドレンパンは、ポリッシング装置又は搬送・洗浄装
   置の底面を覆う形状であってその外周を上方向に折り曲
   げてなるステンレス製の板であって、該板の少なくとも
   漏液が付着する面に樹脂皮膜を設けたことを特徴とする
   ポリッシング装置又は搬送・洗浄装置のドレンパン。
2. 【請求項２】 前記ドレンパンはその左右両辺が前記ポ
   リッシング装置又は搬送・洗浄装置の底部にスライド自
   在に支持されることで該底面からスライド自在に引き抜
   く構造とされていることを特徴とする請求項１記載のポ
   リッシング装置又は搬送・洗浄装置のドレンパン。
3. 【請求項３】 前記ドレンパンは引き抜き方向にほぼ直
   行する方向の直線で複数枚に分割され、分割されたそれ
   ぞれの辺には一方を上方向に折り曲げ他方を下方向に折
   り曲げることによって係止辺を形成し、該分割された辺
   同士を両者の係止辺が噛み合うように重ね合わせ、ドレ
   ンパンを引き抜く際に該両係止辺を係合せしめることを
   特徴とする請求項２記載のポリッシング装置又は搬送・
   洗浄装置のドレンパン。