JPH09197150A - 光分岐回路の導波路チップ用ボードおよび導波路チップの製造方法 - Google Patents
光分岐回路の導波路チップ用ボードおよび導波路チップの製造方法Info
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- JPH09197150A JPH09197150A JP8006698A JP669896A JPH09197150A JP H09197150 A JPH09197150 A JP H09197150A JP 8006698 A JP8006698 A JP 8006698A JP 669896 A JP669896 A JP 669896A JP H09197150 A JPH09197150 A JP H09197150A
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Abstract
数の導波路チップを歩留まりよく切出せるようにするこ
とにある。 【解決手段】 導波路チップ用ボード10は、平板状の
導波路基板11と、この基板11に形成された入力導波
路15およびこの入力導波路15から光学的に分岐する
複数の出力導波路16を含む2以上の光分岐要素回路1
2とを具備し、各要素回路12をそれぞれ入力導波路1
5と出力導波路16が交互に逆向きとなるように基板1
1の幅方向に隣り合わせかつ各要素回路12間に非導波
路部分18を残して基板11上に要素回路12が形成さ
れている。このボード10を非導波路部分18において
切断することにより、入力導波路15側の幅が狭く出力
導波路16側が広いテーパ状の導波路チップ30を得
る。
Description
信号処理等の分野において、信号光を分岐する光分岐回
路に使われる導波路チップ用ボードおよび導波路チップ
の製造方法に関する。
めの分岐構造として、Y分岐導波路や光方向性結合器が
知られている。これらの分岐構造は、石英基板やシリコ
ンウエハ等の導波路基板上に、二酸化けい素(SiO
2 )やGaAsなどの半導体材料を主成分とするコアと
クラッド層からなる光導波路を形成し、この光導波路に
よってY分岐導波路や光方向性結合器を構成している。
そして上記分岐構造を導波路チップ内に集積化し、各導
波路の端部を光ファイバに接続することにより、光分岐
回路(光スターカプラ)として機能させることができ
る。
路を用いた1入力16出力すなわち1×16分岐、ある
いは方向性結合器を用いた2入力16出力すなわち2×
16分岐などが代表的である。現在生産されている石英
系シングルモード光ファイバは、クラッドおよびその外
側の外皮を含む外径が約250μmである。このため導
波路端部における光ファイバとの接続部のピッチは約2
50〜255μmとなる。
のスターカプラでは、導波路チップ1個当たりのサイズ
は入力導波路側の幅が500〜1000μmもあれば十
分であるが、反対側の出力導波路側の幅は250μm×
16=4000μm以上も必要となる。これらの寸法に
より、理想的な導波路チップの形状は、図7に2点鎖線
で輪郭を示す導波路チップ1のように、入力側の端面1
aの幅W1 を上底、出力側の端面1bを下底、チップ全
長Hを高さとする台形となる。
法では、図8に示す1×16分岐の導波路2を有するス
ターカプラのように、平板状の導波路基板3の片側の辺
3aに導波路2の入力側を一様に揃え、反対側の辺3b
に導波路2の出力側を所定ピッチで一様に揃えるような
配置で基板3の幅方向に複数の導波路2を並べて形成し
たのち、各導波路2間の非導波路部分4で基板3を切断
することにより、導波路チップを切離すようにしてい
た。こうして製造された従来の導波路チップは、導波路
2を内包する長方形すなわち光の伝搬方向に長い矩形チ
ップ形状であり、その両端において光ファイバと接続さ
れる。
基板あるいは矩形の基板から切出すことのできる導波路
チップ数は、基板の出力側の寸法すなわち16分岐であ
れば250μm×16=4000μm程度の長さをいく
つとることができるかによって決まってしまう。つまり
導波路チップを長方形に切断すると、チップの入力側で
は導波路が存在しない領域の占める面積が多くなり、そ
の分だけ無駄なチップ面積をとり、1枚の基板から得ら
れるチップ数が少なくなってしまう。このことは歩留ま
りの悪化につながる。
膜技術やエッチング技術などに関してLSIなどの半導
体チップを製造する装置と共通しているため、導波路製
造装置によって処理される基板は円形のウエハであるこ
とが前提条件となっている。こうした円形のウエハから
長方形の導波路チップを切出すと、1枚の基板から得ら
れるチップ数が限られてしまい、コストアップにつなが
ってしまう。
複数の分岐導波路の配置を改善することにより、1枚の
基板から導波路チップを歩留まりよく切出すことができ
る導波路チップ用ボードと、導波路チップの製造方法を
提供することにある。
に開発された第1の観点による本発明の導波路チップ用
ボードは、請求項1に記載したように、平板状の導波路
基板と、上記導波路基板に形成された入力導波路および
この入力導波路から光学的に分岐する複数の出力導波路
を含む2以上の光分岐要素回路とを具備し、上記光分岐
要素回路をそれぞれ入力導波路と出力導波路が交互に逆
向きとなるように導波路基板の幅方向に隣り合わせかつ
各光分岐要素回路間にこれら要素回路を切離す際に切断
される非導波路部分を残して上記要素回路を導波路基板
上に形成したものである。
プ用ボードは、請求項2に記載したように、円板状の導
波路基板と、上記導波路基板に形成された入力導波路お
よびこの入力導波路から光学的に分岐しかつ上記導波路
基板の径方向に延びる複数の出力導波路を含む2以上の
光分岐要素回路とを具備し、上記光分岐要素回路を全て
入力導波路が上記導波路基板の中心側を向くように導波
路基板の周方向に隣り合わせかつ各光分岐要素回路間に
これら要素回路を切離す際に切断される非導波路部分を
残して上記要素回路を導波路基板上に形成したことを特
徴とする。
は、請求項3に記載したように、平板状の導波路基板に
入力導波路とこの入力導波路から光学的に分岐する複数
の出力導波路とを含む2以上の光分岐要素回路をそれぞ
れ入力導波路と出力導波路が交互に逆向きとなるように
導波路基板の幅方向に隣り合わせて形成する工程と、上
記光分岐要素回路間の非導波路部分において導波路基板
を切断することにより入力導波路側の幅が狭く出力導波
路側の幅が広いテーパ状の導波路チップを切離す工程と
を具備している。
は、請求項4に記載したように、円板状の導波路基板に
入力導波路とこの入力導波路から光学的に分岐する複数
の出力導波路とを含む2以上の光分岐要素回路を全て入
力導波路が上記導波路基板の中心側を向くように導波路
基板の周方向に隣り合わせて放射状に形成する工程と、
上記光分岐要素回路間の非導波路部分において導波路基
板を切断することにより入力導波路側の幅が狭く出力導
波路側の幅が広いテーパ状の導波路チップを切離す工程
とを具備している。
路チップは、従来の長方形の導波路チップに比較する
と、基板の入力側において導波路が存在しない面積が減
少し、歩留まりが大幅に向上する。また、円板状の基板
(ウエハ)から導波路チップを切出す場合において無駄
がきわめて少ないチップ形状が提供される。
て、図1から図5を参照して説明する。図1に示した導
波路チップ用ボード10は、導波路基板11上に2以上
の光分岐要素回路12が形成されている。これらの光分
岐要素回路12は、それぞれ1本の入力導波路15と、
この入力導波路15から光学的に2本ずつ多段に分岐し
て最終的な分岐数が16本になる出力導波路16とを含
む1入力16出力(1×16分岐)のスターカプラを構
成している。分岐構造の一例は図2に示すようなY分岐
であるが、図3に示すような方向性結合器を用いた分岐
構造、あるいは2入力16出力(2×16分岐)のスタ
ーカプラであってもよい。
示すように入力導波路15と出力導波路16が交互に逆
向きとなるように導波路基板11の幅方向に隣り合わせ
て配置されている。各要素回路12間には、要素回路1
2を切離す際に切断される非導波路部分18が設けられ
ている。
の一例を以下に述べる。図4に示すようにSiウエハあ
るいは石英等からなる基板11の表面にCVD法(Chem
ical Vapor Deposition :化学気相蒸着法)あるいはF
HD法(FlameHydrolysis Deposition :火炎堆積法)
などの膜形成方法によって、SiO2 を主成分とする低
屈折率の下部クラッド層21を形成する。また、下部ク
ラッド層21の上に、SiO2 にドープ剤を添加するな
どの手段によって屈折率をクラッド層21よりも0.2
%〜0.4%程度高めたコア22を形成する。なお、屈
折率を下げるドープ剤をクラッド層21に添加すること
により、クラッド層21の屈折率を下げる方法をとって
もよい。
にフォトレジストによって所定の導波路パターンを形成
したのち、RIE(Reactive Ion Etching)などの方法
によってエッチングを行うことにより、所定パターンの
導波路コア22を成形する。その後、再びCVD法ある
いはFHD法などによりコア22を埋込むように上部ク
ラッド層25を形成する。これによって、ステップイン
デックス型屈折率分布をもつ光分岐要素回路12が形成
される。
によって予め高めに設定しておき、加熱によりドープ剤
を熱拡散させるなどの導波路製造方法を用いて、グレー
テッド型の屈折率分布をもつ導波路を形成してもよい。
また、上記の説明とは異なる公知の導波路製造プロセス
によって、グレーテッドインデックス型の屈折率分布を
もつ導波路を形成してもよい。図4は埋込み型導波路構
造であるが、図5に示すようなリッジ型導波路構造をC
VD法によって形成してもよい。
用ボード10(図1)を、図示しないカッタによって図
1中に2点鎖線で示す位置で切断することにより、入力
導波路15側の幅が狭く、出力導波路16側の幅が広い
テーパ状の導波路チップ30が切出される。
となるフォトマスクを設計製作する際に光分岐要素回路
12のパターンを図1のように配置しておき、実際の導
波路形成時にこのフォトマスクにより微細加工を実施す
れば、所定の導波路パターンを基板11上に作ることが
できる。これにより、図8の従来例に比較して、同じ大
きさの基板11から導波路チップ30の数をほぼ2倍と
ることができる。このような実施形態の導波路配置であ
っても、導波路形成後の研磨・切断工程を何ら問題なく
処理することができる。
ップ用ボード10を示す。この実施形態の導波路チップ
用ボード10は、円板状の導波路基板11と、この導波
路基板11に形成された2以上の光分岐要素回路12と
を具備している。これらの光分岐要素回路12は、それ
ぞれ1本の入力導波路15と、入力導波路15から2本
ずつ多段に分岐して最終的な分岐数が16本になる出力
導波路16を含んでいる。出力導波路16は基板11の
径方向に延びている。これらの光分岐要素回路12は全
て入力導波路15が基板11の中心C側を向くように基
板11の周方向に所定ピッチで隣り合わせて放射状に配
置されている。各要素回路12間には導波路チップ30
を切離す際に切断される非導波路部分18が設けられて
いる。
ド10も、前述した第1の実施形態のものと同様に、S
iウエハあるいは石英等からなる基板11の表面にCV
D法あるいはFHD法等の膜形成方法とRIE等によっ
て形成される。そして導波路形成後に、図6中に2点鎖
線で示す位置で切断することにより、入力導波路15側
の幅が狭く、出力導波路16側の幅が広いテーパ状の導
波路チップ30が切出される。
切出されるテーパ状の導波路チップ30であれば、半導
体の製造に使用されるシリコンウエハや石英ウエハ等の
円形の基板11上に無駄なスペースをほとんどとらずに
歩留まりよく多分岐導波路チップ30を形成することが
できる。
30aのように、基板11の中心Cを点対称の中心とし
て対向する一対の光分岐要素回路12a,12bの各導
波路15が互いに連続するような形状に導波路チップ3
0aを切出すことによって、N×N(N=2,4,8,
16,…)のスターカプラを容易に製造することができ
る。
導波路チップを歩留まりよく切出すことができ、導波路
チップの低コスト化に寄与できる。
用ボードの一部の平面図。
の平面図。
面図。
用ボードの一部の平面図。
面図。
Claims (4)
- 【請求項1】平板状の導波路基板と、 上記導波路基板に形成された入力導波路およびこの入力
導波路から光学的に分岐する複数の出力導波路を含む2
以上の光分岐要素回路とを具備し、 上記光分岐要素回路をそれぞれ入力導波路と出力導波路
が交互に逆向きとなるように導波路基板の幅方向に隣り
合わせかつ各光分岐要素回路間にこれら要素回路を切離
す際に切断される非導波路部分を残して上記要素回路を
導波路基板上に形成したことを特徴とする光分岐回路の
導波路チップ用ボード。 - 【請求項2】円板状の導波路基板と、 上記導波路基板に形成された入力導波路およびこの入力
導波路から光学的に分岐しかつ上記導波路基板の径方向
に延びる複数の出力導波路を含む2以上の光分岐要素回
路とを具備し、 上記光分岐要素回路を全て入力導波路が上記導波路基板
の中心側を向くように導波路基板の周方向に隣り合わせ
かつ各光分岐要素回路間にこれら要素回路を切離す際に
切断される非導波路部分を残して上記要素回路を導波路
基板上に形成したことを特徴とする光分岐回路の導波路
チップ用ボード。 - 【請求項3】平板状の導波路基板に入力導波路とこの入
力導波路から光学的に分岐する複数の出力導波路とを含
む2以上の光分岐要素回路をそれぞれ入力導波路と出力
導波路が交互に逆向きとなるように導波路基板の幅方向
に隣り合わせて形成する工程 と、上記光分岐要素回路間の非導波路部分において導波
路基板を切断することにより入力導波路側の幅が狭く出
力導波路側の幅が広いテーパ状の導波路チップを切離す
工程と、 を具備したことを特徴とする導波路チップの製造方法。 - 【請求項4】円板状の導波路基板に入力導波路とこの入
力導波路から光学的に分岐する複数の出力導波路とを含
む2以上の光分岐要素回路を全て入力導波路が上記導波
路基板の中心側を向くように導波路基板の周方向に隣り
合わせて放射状に形成する工程と、 上記光分岐要素回路間の非導波路部分において導波路基
板を切断することにより入力導波路側の幅が狭く出力導
波路側の幅が広いテーパ状の導波路チップを切離す工程
と、 を具備したことを特徴とする導波路チップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00669896A JP3537247B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 光分岐回路の導波路チップ用ボードおよび導波路チップの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00669896A JP3537247B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 光分岐回路の導波路チップ用ボードおよび導波路チップの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09197150A true JPH09197150A (ja) | 1997-07-31 |
JP3537247B2 JP3537247B2 (ja) | 2004-06-14 |
Family
ID=11645560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00669896A Expired - Fee Related JP3537247B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 光分岐回路の導波路チップ用ボードおよび導波路チップの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3537247B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008064936A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
-
1996
- 1996-01-18 JP JP00669896A patent/JP3537247B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008064936A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
US7471853B2 (en) | 2006-09-06 | 2008-12-30 | Fujitsu Limited | Optical modulator |
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---|---|
JP3537247B2 (ja) | 2004-06-14 |
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