JPH09196657A - 周波数解析システム - Google Patents

周波数解析システム

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JPH09196657A
JPH09196657A JP436596A JP436596A JPH09196657A JP H09196657 A JPH09196657 A JP H09196657A JP 436596 A JP436596 A JP 436596A JP 436596 A JP436596 A JP 436596A JP H09196657 A JPH09196657 A JP H09196657A
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JP
Japan
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frequency
analysis
frequency analysis
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shape data
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JP436596A
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Inventor
Takeshi Tada
武 多田
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 対象となる被検物の加工条件や仕様などの加
工情報を参照して，精度良く最終的な周波数解析を行え
るようにすると共に，形状データの測定後，すぐに周波
数解析システムによる周波数解析を開始できるようにす
る。 【解決手段】 周波数解析システム１０１は，形状測定
機１０４から形状データを直接入力するための第１の通
信手段および加工情報データベース１０３から加工情報
を直接入力するための第２の通信手段としてのネットワ
ークＩ／Ｆ（インターフェイス）１０６と，ネットワー
クＩ／Ｆ１０６を介して入力した形状データの周波数解
析を行う周波数解析手段としての周波数解析装置１０７
と，周波数解析装置１０７の解析結果およびネットワー
クＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情報を表示する表
示手段としての表示装置１０８とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，形状測定機で測定
した被検物の形状データを入力し，該形状データの周波
数解析を行って，解析結果を出力する周波数解析システ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の周波数解析システムでは，記憶媒
体から形状データを入力し，該形状データの周波数解析
を行って，周波数解析後のデータ（解析結果である周波
数スペクトル）をディスプレイ等に表示している。な
お，記憶媒体には，あらかじめ形状測定機によって測定
された被検物の形状データがデータファイルとして記憶
されている。
【０００３】また，一般的には，このようにして得た周
波数解析後のデータ（周波数スペクトル）に対して，さ
らにオペレータが所定の方法や経験等に基づいて，粗さ
の成分（周波数）を解釈することにより最終的な周波数
解析が行われる。
【０００４】また，関連する技術として，例えば，特開
平４−７４６３号『データ収集システム』に開示された
ものがある。このシステムでは，周波数解析手段を用い
てデータの周波数解析を行ってデータ（形状データ）の
信号周波数を得て，さらに信号周波数よりデータの信号
周期を割り出すことにより，データを加算平均し，デー
タ中の雑音成分を除去するものである。これによって，
周波数解析後のデータとして雑音成分を除去したデータ
を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記従
来の技術によれば，以下の問題点があった。
【０００６】第１に，オペレータが所定の方法や経験等
に基づいて解釈することにより最終的な周波数解析を行
っているが，この際に周波数解析後の周波数スペクトル
から粗さの成分をみるだけで解釈を行っているため，オ
ペレータによっては必ずしも精度良く最終的な周波数解
析を行うことができないという問題点があった。
【０００７】換言すれば，対象となる被検物の加工条件
や仕様などの加工情報を考慮した上で解析を行うことが
望ましいが，従来の周波数解析システムとして，周波数
解析後の周波数スペクトルと一緒にこれらの加工情報を
提供するものがなかったため，オペレータが加工情報を
考慮して解析を行うことは困難であった。
【０００８】第２に，形状測定機で測定した被検物の形
状データを記憶媒体に一旦記憶させた後，周波数解析シ
ステムに記憶媒体をセットして，該記憶媒体から形状デ
ータを読み込んで周波数解析を行うシステム構成である
ため，記憶媒体を用いた形状データの移動に時間がかか
り，また，形状測定機による形状データの測定から周波
数解析システムによる周波数解析の開始までの作業が煩
雑になるという問題点があった。
【０００９】第３に，被検物を形状測定機にセットした
際にセット誤差から傾きが生じるため，形状データ中に
傾き成分が存在することがある。この状態でＦＦＴ（高
速フーリエ変換）などで周波数解析を行うとこの傾き成
分によって周波数スペクトルに誤差を生じるため，オペ
レータが最終的に周波数解析を行う際に，誤った解析を
行う虞があるという問題点があった。
【００１０】特に，セット誤差による傾き量が微小な場
合，これに気付かずに解析を行ってしまう虞があった。
【００１１】本発明は上記に鑑みてなされたものであっ
て，対象となる被検物の加工条件や仕様などの加工情報
を参照して，精度良く最終的な周波数解析を行えるよう
にすると共に，形状測定機による形状データの測定後，
すぐに周波数解析システムによる周波数解析を開始でき
るようにすることを目的とする。
【００１２】また，本発明は上記に鑑みてなされたもの
であって，被検物を形状測定機にセットした際のセット
誤差によって生じる傾き成分を補正することにより，傾
き成分に起因する誤った解析を防止することを目的とす
る。
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に，請求項１に係る周波数解析システムは，形状測定機
で測定した被検物の形状データを入力し，該形状データ
の周波数解析を行って，解析結果を出力する周波数解析
システムにおいて，前記形状測定機から前記形状データ
を直接入力するための第１の通信手段と，前記第１の通
信手段を介して入力した前記形状データの周波数解析を
行う周波数解析手段と，前記被検物の加工条件・仕様
や，被検物を加工した加工機の特性等の加工情報を記憶
した加工情報データベースから前記加工情報を直接入力
するための第２の通信手段と，前記周波数解析手段の解
析結果および前記第２の通信手段を介して入力した前記
加工情報を表示する表示手段と，を備えたものである。
【００１３】すなわち，周波数解析システムと加工情報
データベースおよび形状測定機とを第１の通信手段およ
び第２の通信手段を介して接続し，互いの情報をアクセ
ス可能な状態にすることで解析スピードを向上させると
共に，誤った解析をすることを防止するものである。
【００１４】また，請求項２に係る周波数解析システム
は，前記請求項１記載の周波数解析システムに加えて，
前記第２の通信手段を介して入力した前記加工情報に基
づいて，前記周波数解析手段の解析結果から特定の周波
数成分を抽出する特定周波数抽出手段と，前記特定周波
数抽出手段で抽出した特定の周波数の周期計算を行う周
期計算手段と，を備え，前記表示手段が，前記周波数解
析手段の解析結果および前記第２の通信手段を介して入
力した前記加工情報に加えて，前記周期計算手段で求め
た前記特定の周波数の周期を表示するものである。
【００１５】すなわち，周波数解析手段で周波数解析を
行った場合，いくつかの周波数成分が生じることがあ
る。より詳しい解析を行うためには得られた周波数スペ
クトルのうち加工に関係のある特定の周波数成分に着目
し，それがどのくらいの周期を持っているのかを明らか
にする必要がある。そこで，前記加工情報データベース
の加工条件を参照して，特定の周波数成分に着目し，そ
の周期計算を行って，実際に生じると考えられる周期成
分との関連付けを行うものである。
【００１６】また，請求項３に係る周波数解析システム
は，前記請求項１記載の周波数解析システムに加えて，
前記第２の通信手段を介して入力した前記加工情報に基
づいて，加工に関連する周波数の候補を決定する候補周
波数決定手段を備え，前記表示手段が，前記周波数解析
手段の解析結果および前記第２の通信手段を介して入力
した前記加工情報に加えて，前記候補周波数決定手段で
決定した候補周波数を表示するものである。
【００１７】すなわち，周波数解析手段で周波数解析を
行った後，オペレータが得られた周波数スペクトルから
特定の周波数成分に着目して，さらに詳しい解析を行う
必要がある。ところが周波数スペクトルだけではどの成
分が加工に関連のあるデータかどうかはわからない。そ
こで加工情報データベースからのデータを基に問題とな
る周波数をあらかじめ候補周波数として予想し，周波数
解析で周波数を特定する際の指針として提供するもので
ある。
【００１８】また，請求項４に係る周波数解析システム
は，形状測定機で測定した被検物の形状データを入力
し，該形状データの周波数解析を行って，解析結果を出
力する周波数解析システムにおいて，前記入力した形状
データに対して１次の回帰分析を行って，回帰直線を求
める１次回帰分析手段と，前記１次回帰分析手段で求め
た回帰直線に基づいて，前記形状測定機に前記被検物を
載置した際の傾き成分を除去する傾き成分除去手段と，
前記傾き成分除去手段で傾き成分を除去した後の形状デ
ータを入力し，周波数解析を行う周波数解析手段と，前
記周波数解析手段の解析結果を表示する表示手段と，を
備えたものである。
【００１９】すなわち，周波数解析を行う前に，あらか
じめ形状データの１次の回帰分析を行って傾き成分を補
正したのち，周波数解析を行うことで誤った解析を行う
ことを防止すると共に解析精度を向上させるものであ
る。
【００２０】また，請求項５に係る周波数解析システム
は，形状測定機で測定した被検物の形状データを入力
し，該形状データの周波数解析を行って，解析結果を出
力する周波数解析システムにおいて，前記形状測定機か
ら前記形状データを直接入力するための第１の通信手段
と，前記第１の通信手段を介して入力した形状データに
対して１次の回帰分析を行って，回帰直線を求める１次
回帰分析手段と，前記１次回帰分析手段で求めた回帰直
線に基づいて，前記形状測定機に前記被検物を載置した
際の傾き成分を除去する傾き成分除去手段と，前記傾き
成分除去手段で傾き成分を除去した後の形状データを入
力し，周波数解析を行う周波数解析手段と，前記被検物
の加工条件・仕様や，被検物を加工した加工機の特性等
の加工情報を記憶した加工情報データベースから前記加
工情報を直接入力するための第２の通信手段と，前記第
２の通信手段を介して入力した前記加工情報に基づい
て，加工に関連する周波数の候補を決定する候補周波数
決定手段と，前記周波数解析手段の解析結果および前記
候補周波数決定手段で決定した候補周波数を表示する表
示手段と，を備えたものである。
【００２１】すなわち，周波数解析を行う前に，あらか
じめ形状データの１次の回帰分析を行って傾き成分を補
正したのち，周波数解析を行うと共に，加工情報データ
ベースからのデータを基に問題となる周波数をあらかじ
め候補周波数として予想し，周波数解析で周波数を特定
する際の指針として提供するものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下，本発明の周波数解析システ
ムについて，〔実施例１〕，〔実施例２〕，〔実施例
３〕，〔実施例４〕，〔実施例５〕の順で図面を参照し
て詳細に説明する。
【００２３】〔実施例１〕図１は，本発明の実施例１に
係る周波数解析システムの構成図を示す。周波数解析シ
ステム１０１は，図示の如く，被検物の加工条件・仕様
や，被検物を加工した加工機１０２の特性等の加工情報
を記憶した加工情報データベース１０３にネットワーク
を介して接続されており，また，形状測定機１０４とネ
ットワークを介して接続されている。
【００２４】なお，加工機１０２は，ネットワークを介
して加工情報データベース１０３と接続されており，加
工情報データベース１０３の加工条件等にしたがって，
被検物を加工（製造）する装置であり，特に限定するも
のではない。また，形状測定機１０４としては，非接触
式あるいは触針式の測定機を用いることができる。加工
機１０２で加工された被検物は形状測定機１０４でその
表面粗さが測定される。形状測定機１０４で測定された
形状データは形状データファイル１０５として記憶媒体
に記録される他，形状測定機１０４とネットワークを介
して接続された加工情報データベース１０３および周波
数解析システム１０１に転送される。
【００２５】周波数解析システム１０１は，形状測定機
１０４から形状データを直接入力するための第１の通信
手段および加工情報データベース１０３から加工情報を
直接入力するための第２の通信手段としてのネットワー
クＩ／Ｆ（インターフェイス）１０６と，ネットワーク
Ｉ／Ｆ１０６を介して入力した形状データの周波数解析
を行う周波数解析手段としての周波数解析装置１０７
と，周波数解析装置１０７の解析結果およびネットワー
クＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情報を表示する表
示手段としての表示装置１０８とから構成される。
【００２６】以上の構成において，周波数解析システム
１０１は，形状測定機１０４で測定した形状データ（形
状データファイル１０５）を記憶媒体もしくはネットワ
ークを通して読み取り，周波数解析装置１０７でＦＦＴ
（高速フーリエ変換）のような手法を用いて周波数解析
を行い，解析結果（周波数スペクトル）を表示装置１０
８に表示する。
【００２７】また，前述したように加工情報データベー
ス１０３とネットワークを介して接続されており，互い
の情報にアクセスすることが可能となっている。したが
って，ネットワークを介して加工情報データベース１０
３から被検物の加工条件・仕様や，被検物を加工した加
工機１０２の特性等の加工情報を入力し，解析結果と共
に表示装置１０８に表示する。
【００２８】前述したように実施例１では，周波数解析
システム１０１と形状測定機１０４とを，ネットワーク
Ｉ／Ｆ１０６およびネットワークを介して接続した構成
であるため，形状測定機１０４による形状データの測定
後，形状データをすぐに周波数解析システム１０１内に
取り込んで，周波数解析を開始することができる。
【００２９】また，周波数解析システム１０１と加工情
報データベース１０３とを，ネットワークＩ／Ｆ１０６
およびネットワークを介して接続した構成であるため，
対象となる被検物の加工条件や仕様などの加工情報を加
工情報データベース１０３から取り込んで，表示装置１
０８に表示することができる。すなわち，オペレータ
は，周波数解析装置１０７の解析結果（周波数スペクト
ル）と加工情報とを同時に参照して，精度良く最終的な
周波数解析を行うことができる。
【００３０】〔実施例２〕図２は，本発明の実施例２に
係る周波数解析システムの構成図を示す。実施例２の周
波数解析システム２０１は，実施例１と同様に加工情報
データベース１０３および形状測定機１０４にネットワ
ークを介して接続されている。なお，実施例１と共通の
符号は同一の構成を示すため，ここでは異なる部分のみ
を説明する。
【００３１】周波数解析システム２０１は，形状測定機
１０４から形状データを直接入力するための第１の通信
手段および加工情報データベース１０３から加工情報を
直接入力するための第２の通信手段としてのネットワー
クＩ／Ｆ（インターフェイス）１０６と，ネットワーク
Ｉ／Ｆ１０６を介して入力した形状データの周波数解析
を行う周波数解析手段としての周波数解析装置１０７
と，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情
報に基づいて，周波数解析装置１０７の解析結果から特
定の周波数成分を抽出する特定周波数抽出回路２０２
と，特定周波数抽出回路２０２で抽出した特定の周波数
の周期計算を行う周期計算回路２０３と，周波数解析装
置１０７の解析結果およびネットワークＩ／Ｆ１０６を
介して入力した加工情報に加えて，周期計算回路２０３
で求めた特定の周波数の周期を表示する表示手段として
の表示装置１０８とから構成される。
【００３２】以上の構成において，周波数解析システム
２０１は，形状測定機１０４で測定した形状データ（形
状データファイル１０５）を記憶媒体もしくはネットワ
ークを通して読み取り，周波数解析装置１０７でＦＦＴ
（高速フーリエ変換）のような手法を用いて周波数解析
を行い，解析結果（周波数スペクトル）を表示装置１０
８に表示する。
【００３３】また，前述したように加工情報データベー
ス１０３とネットワークを介して接続されており，互い
の情報にアクセスすることが可能となっている。したが
って，ネットワークを介して加工情報データベース１０
３から被検物の加工条件・仕様や，被検物を加工した加
工機１０２の特性等の加工情報を入力し，解析結果と共
に表示装置１０８に表示する。
【００３４】一方，形状データファイル１０５を読み取
り，粗さの周波数解析を行うと，幾つかの周波数成分が
生じることがある。したがって，より詳しい解析を行う
ために，特定周波数抽出回路２０２で，周波数解析装置
１０７で得られた周波数スペクトルのうち加工条件に関
係のある特定の周波数成分を抽出する。これは，複数の
周波数スペクトルのピークのうち特定の周波数成分の領
域を切り出し，簡易的にはカーソル移動によるピーク位
置の同定，また，データを微分しそれが０になる位置を
探索する方法などでピーク周波数の値を計算して，抽出
する。
【００３５】次に，このようにして得られたピーク周波
数から周期計算回路２０３で周期を計算する。周波数が
わかればその周期はその逆数であるので容易に求まる。
但し，データの横軸がポイント数である場合にはその周
期が具体的に何μｍという数値にはならない。そこで，
必要な情報を加工情報データベース１０３にアクセスす
ることで得る。
【００３６】その後，表示装置１０８に，周波数解析装
置１０７の解析結果およびネットワークＩ／Ｆ１０６を
介して入力した加工情報に加えて，周期計算回路２０３
で求めた特定の周波数の周期を表示する。得られた周期
は，加工情報と比較することで加工条件との関係を明ら
かにできる。
【００３７】前述したように実施例２では，実施例１の
効果に加えて，周波数解析を行ったのち，詳しい解析を
行うために加工情報データベース１０３の加工情報（加
工条件）を参照して，特定の周波数成分に着目し，その
周期計算を行っているので，実際に生じると考えられる
周期成分との関連付けを容易に行うことができる。
【００３８】〔実施例３〕図３は，本発明の実施例３に
係る周波数解析システムの構成図を示す。実施例３の周
波数解析システム３０１は，実施例１と同様に加工情報
データベース１０３および形状測定機１０４にネットワ
ークを介して接続されている。なお，実施例１と共通の
符号は同一の構成を示すため，ここでは異なる部分のみ
を説明する。
【００３９】周波数解析システム３０１は，形状測定機
１０４から形状データを直接入力するための第１の通信
手段および加工情報データベース１０３から加工情報を
直接入力するための第２の通信手段としてのネットワー
クＩ／Ｆ（インターフェイス）１０６と，ネットワーク
Ｉ／Ｆ１０６を介して入力した形状データの周波数解析
を行う周波数解析手段としての周波数解析装置１０７
と，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情
報に基づいて，加工に関連する周波数の候補を決定する
候補周波数決定手段としての候補周波数決定回路３０２
と，周波数解析装置１０７の解析結果およびネットワー
クＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情報に加えて，候
補周波数決定回路３０２で決定した候補周波数を表示す
る表示手段としての表示装置１０８とから構成される。
【００４０】以上の構成において，周波数解析システム
３０１は，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して加工情報
を入力し，候補周波数決定回路３０２で，該加工情報に
基づいて加工に関連する周波数の候補を決定する。
【００４１】次に，形状測定機１０４で測定した形状デ
ータ（形状データファイル１０５）を記憶媒体もしくは
ネットワークを通して読み取り，周波数解析装置１０７
でＦＦＴ（高速フーリエ変換）のような手法を用いて周
波数解析を行い，解析結果（周波数スペクトル）を表示
装置１０８に表示する。
【００４２】また，ネットワークを介して加工情報デー
タベース１０３から被検物の加工条件・仕様や，被検物
を加工した加工機１０２の特性等の加工情報を入力し，
解析結果と共に表示装置１０８に表示し，さらに候補周
波数決定回路３０２で決定した候補周波数を表示装置１
０８に表示する。
【００４３】前述したように実施例３では，実施例１の
効果に加えて，周波数解析システム３０１内で加工情報
データベース１０３から加工条件などの加工情報を読み
取り，予め問題となりそうな周波数（候補周波数）を抽
出する。これは加工機１０２の構造解析や振動解析で得
られた加工機の固有振動数や加工機主軸の回転数から計
算される回転周波数がある。これらの情報（解析結果，
候補周波数，加工情報）を表示装置１０８に表示するの
で，オペレータは全ての情報を考慮して周波数解析を行
い，得られた周波数スペクトルから特定の周波数成分を
抽出することができる。つまり，オペレータによる周波
数解析で周波数を特定する際の指針とすることができ
る。
【００４４】〔実施例４〕加工された被検物を形状測定
機にセットする際に被検物が傾いた状態でセットされて
しまうと測定される形状にこの傾いた成分が加わってし
まう場合がある。このデータで周波数解析を行うと誤っ
た結果を生じる場合がある。そこで，実施例４の周波数
解析システム４０１では，形状データファイル１０５を
読み込んだのち周波数解析システム内でまず，１次の回
帰分析を行い，回帰直線を求める。この後，形状データ
からこの１次傾き成分を除去する。そして，傾き成分を
除去した形状データを用いて周波数解析を行うものであ
る。
【００４５】図４は，本発明の実施例４に係る周波数解
析システムの構成図を示す。実施例４の周波数解析シス
テム４０１は，実施例１と同様に加工情報データベース
１０３および形状測定機１０４にネットワークを介して
接続されている。なお，実施例１と共通の符号は同一の
構成を示すため，ここでは異なる部分のみを説明する。
【００４６】周波数解析システム４０１は，ネットワー
クＩ／Ｆ１０６と，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して
入力した形状データに対して１次の回帰分析を行って，
回帰直線を求める１次回帰分析手段としての１次回帰分
析回路４０２と，１次回帰分析回路４０２で求めた回帰
直線に基づいて，形状データから形状測定機１０４に被
検物を載置した際の傾き成分を除去する傾き成分除去手
段としての傾き成分除去回路４０３と，傾き成分除去回
路４０３で傾き成分を除去した後の形状データを入力
し，周波数解析を行う周波数解析手段としての周波数解
析装置１０７と，周波数解析装置１０７の解析結果を表
示する表示手段としての表示装置１０８とから構成され
る。
【００４７】以上の構成において，周波数解析システム
４０１は，形状測定機１０４で測定した形状データ（形
状データファイル１０５）を記憶媒体もしくはネットワ
ークを通して読み取り，１次回帰分析回路４０２で形状
データに対して１次の回帰分析を行って回帰直線を求め
る，次に，傾き成分除去回路４０３で，該回帰直線を用
いて形状データから形状測定機１０４に被検物を載置し
た際の傾き成分を除去する。その後，周波数解析装置１
０７が，傾き成分を除去した後の形状データを入力し，
周波数解析を行い，表示装置１０８が解析結果を表示す
る。
【００４８】また，前述したように加工情報データベー
ス１０３とネットワークを介して接続されており，互い
の情報にアクセスすることが可能となっている。したが
って，ネットワークを介して加工情報データベース１０
３から被検物の加工条件・仕様や，被検物を加工した加
工機１０２の特性等の加工情報を入力し，解析結果と共
に表示装置１０８に表示する。
【００４９】前述した実施例４では，あらかじめ形状デ
ータの回帰分析を行って傾き成分を補正したのち周波数
解析を行うので，オペレータは，形状測定機１０４に被
検物をセットした際のセット誤差に注意を払うことな
く，最終的な周波数解析を行うことができる。また，こ
れによる誤った解析をすることを防止することができ，
解析精度の向上を図ることができる。
【００５０】なお，実施例４では，周波数解析システム
４０１と加工情報データベース１０３および形状測定機
１０４とをネットワークを介して接続した構成例を示し
たが，特にこれに限定するものではなく，記憶媒体を介
して形状データを入力する構成とし，さらに表示装置１
０８に解析結果のみを表示する構成でも良い。
【００５１】〔実施例５〕実施例５の周波数解析システ
ムは，周波数解析を行う前に，あらかじめ形状データの
１次の回帰分析を行って傾き成分を補正したのち，周波
数解析を行うと共に，加工情報データベースからのデー
タを基に問題となる周波数をあらかじめ候補周波数とし
て予想し，周波数解析で周波数を特定する際の指針とし
て提供するものである。
【００５２】図５は，本発明の実施例５に係る周波数解
析システムの構成図を示す。周波数解析システム５０１
は，実施例１と同様に加工情報データベース１０３およ
び形状測定機１０４にネットワークを介して接続されて
いる。なお，実施例１と共通の符号は同一の構成を示す
ため，ここでは異なる部分のみを説明する。
【００５３】周波数解析システム５０１は，ネットワー
クＩ／Ｆ１０６と，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して
入力した形状データに対して１次の回帰分析を行って，
回帰直線を求める１次回帰分析手段としての１次回帰分
析回路５０２と，１次回帰分析回路５０２で求めた回帰
直線に基づいて，形状データから形状測定機１０４に被
検物を載置した際の傾き成分を除去する傾き成分除去手
段としての傾き成分除去回路５０３と，傾き成分除去回
路５０３で傾き成分を除去した後の形状データを入力
し，周波数解析を行う周波数解析手段としての周波数解
析装置１０７と，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して入
力した加工情報に基づいて，加工に関連する周波数の候
補を決定する候補周波数決定手段としての候補周波数決
定回路５０４と，周波数解析装置１０７の解析結果およ
びネットワークＩ／Ｆ１０６を介して入力した加工情報
に加えて，候補周波数決定回路５０４で決定した候補周
波数を表示する表示手段としての表示装置１０８とから
構成される。
【００５４】以上の構成において，周波数解析システム
５０１は，ネットワークＩ／Ｆ１０６を介して加工情報
を入力し，候補周波数決定回路５０４で，該加工情報に
基づいて加工に関連する周波数の候補を決定する。
【００５５】また，形状測定機１０４で測定した形状デ
ータ（形状データファイル１０５）を記憶媒体もしくは
ネットワークを通して読み取り，１次回帰分析回路５０
２で形状データに対して１次の回帰分析を行って回帰直
線を求める，次に，傾き成分除去回路５０３で，該回帰
直線を用いて形状データから形状測定機１０４に被検物
を載置した際の傾き成分を除去する。その後，周波数解
析装置１０７が，傾き成分を除去した後の形状データを
入力し，周波数解析を行い，表示装置１０８が解析結果
を表示する。
【００５６】さらに，ネットワークを介して加工情報デ
ータベース１０３から被検物の加工条件・仕様や，被検
物を加工した加工機１０２の特性等の加工情報を入力
し，解析結果と共に表示装置１０８に表示し，さらに候
補周波数決定回路５０４で決定した候補周波数を表示装
置１０８に表示する。
【００５７】前述した実施例５では，実施例１の効果に
加えて，あらかじめ形状データの回帰分析を行って傾き
成分を補正したのち周波数解析を行うので，オペレータ
は，形状測定機１０４に被検物をセットした際のセット
誤差に注意を払うことなく，最終的な周波数解析を行う
ことができる。また，これによる誤った解析をすること
を防止することができ，解析精度の向上を図ることがで
きる。
【００５８】また，周波数解析システム５０１内で加工
情報データベース１０３から加工条件などの加工情報を
読み取り，予め問題となりそうな周波数（候補周波数）
を決定し，表示装置１０８に表示するので，オペレータ
は全ての情報を考慮して周波数解析を行い，得られた周
波数スペクトルから特定の周波数成分を抽出することが
できる。つまり，オペレータによる周波数解析で周波数
を特定する際の指針とすることができる。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように，本発明の周波数解
析システム（請求項１）は，周波数解析システムと加工
情報データベースおよび形状測定機とを第１の通信手段
および第２の通信手段を介して接続したため，対象とな
る被検物の加工条件や仕様などの加工情報を参照して，
精度良く最終的な周波数解析を行えるようにすると共
に，形状測定機による形状データの測定後，すぐに周波
数解析システムによる周波数解析を開始できる。すなわ
ち，解析スピードの向上を図ることができると共に，オ
ペレータが誤った解析をすることを防止できる。
【００６０】また，本発明の周波数解析システム（請求
項２）は，加工情報データベースの加工条件を参照し
て，特定の周波数成分に着目し，その周期計算を行って
いるため，実際に生じると考えられる周期成分との関連
付けを容易に行うことができる。換言すれば，さらに精
度良く周波数解析を行うことができる。
【００６１】また，本発明の周波数解析システム（請求
項３）は，加工情報データベースからのデータを基に問
題となる周波数をあらかじめ候補周波数として予想し，
周波数解析で周波数を特定する際の指針として提供する
ため，さらに精度良く周波数解析を行うことができる。
【００６２】また，本発明の周波数解析システム（請求
項４）は，周波数解析を行う前に，あらかじめ形状デー
タの１次の回帰分析を行って傾き成分を補正したのち，
周波数解析を行うため，傾き成分に起因する誤った解析
を防止することができると共に，解析精度の向上を図る
ことができる。
【００６３】また，本発明の周波数解析システム（請求
項５）は，周波数解析を行う前に，あらかじめ形状デー
タの１次の回帰分析を行って傾き成分を補正したのち，
周波数解析を行うと共に，加工情報データベースからの
データを基に問題となる周波数をあらかじめ候補周波数
として予想し，周波数解析で周波数を特定する際の指針
として提供するため，傾き成分に起因する誤った解析を
防止することができると共に，さらに精度良く周波数解
析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１に係る周波数解析システムの構成図で
ある。
【図２】実施例２に係る周波数解析システムの構成図で
ある。
【図３】実施例３に係る周波数解析システムの構成図で
ある。
【図４】実施例４に係る周波数解析システムの構成図で
ある。
【図５】実施例５に係る周波数解析システムの構成図で
ある。
【符号の説明】
１０１ 周波数解析システム １０２ 加工機 １０３ 加工情報データベース １０４ 形状測定機 １０５ 形状データファイル １０６ ネットワークＩ／Ｆ １０７ 周波数解析装置 １０８ 表示装置 ２０１ 周波数解析システム ２０２ 特定周波数抽出回路 ２０３ 周期計算回路 ３０１ 周波数解析システム ３０２ 候補周波数決定回路 ４０１ 周波数解析システム ４０２ １次回帰分析回路 ４０３ 傾き成分除去回路 ５０１ 周波数解析システム ５０２ １次回帰分析回路 ５０３ 傾き成分除去回路 ５０４ 候補周波数決定回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 形状測定機で測定した被検物の形状デー
    タを入力し，該形状データの周波数解析を行って，解析
    結果を出力する周波数解析システムにおいて，前記形状
    測定機から前記形状データを直接入力するための第１の
    通信手段と，前記第１の通信手段を介して入力した前記
    形状データの周波数解析を行う周波数解析手段と，前記
    被検物の加工条件・仕様や，被検物を加工した加工機の
    特性等の加工情報を記憶した加工情報データベースから
    前記加工情報を直接入力するための第２の通信手段と，
    前記周波数解析手段の解析結果および前記第２の通信手
    段を介して入力した前記加工情報を表示する表示手段
    と，を備えたことを特徴とする周波数解析システム。
  2. 【請求項２】 前記第２の通信手段を介して入力した前
    記加工情報に基づいて，前記周波数解析手段の解析結果
    から特定の周波数成分を抽出する特定周波数抽出手段
    と，前記特定周波数抽出手段で抽出した特定の周波数の
    周期計算を行う周期計算手段と，を備え，前記表示手段
    が，前記周波数解析手段の解析結果および前記第２の通
    信手段を介して入力した前記加工情報に加えて，前記周
    期計算手段で求めた前記特定の周波数の周期を表示する
    ことを特徴とする請求項１記載の周波数解析システム。
  3. 【請求項３】 前記第２の通信手段を介して入力した前
    記加工情報に基づいて，加工に関連する周波数の候補を
    決定する候補周波数決定手段を備え，前記表示手段が，
    前記周波数解析手段の解析結果および前記第２の通信手
    段を介して入力した前記加工情報に加えて，前記候補周
    波数決定手段で決定した候補周波数を表示することを特
    徴とする請求項１記載の周波数解析システム。
  4. 【請求項４】 形状測定機で測定した被検物の形状デー
    タを入力し，該形状データの周波数解析を行って，解析
    結果を出力する周波数解析システムにおいて，前記入力
    した形状データに対して１次の回帰分析を行って，回帰
    直線を求める１次回帰分析手段と，前記１次回帰分析手
    段で求めた回帰直線に基づいて，前記形状測定機に前記
    被検物を載置した際の傾き成分を除去する傾き成分除去
    手段と，前記傾き成分除去手段で傾き成分を除去した後
    の形状データを入力し，周波数解析を行う周波数解析手
    段と，前記周波数解析手段の解析結果を表示する表示手
    段と，を備えたことを特徴とする周波数解析システム。
  5. 【請求項５】 形状測定機で測定した被検物の形状デー
    タを入力し，該形状データの周波数解析を行って，解析
    結果を出力する周波数解析システムにおいて，前記形状
    測定機から前記形状データを直接入力するための第１の
    通信手段と，前記第１の通信手段を介して入力した形状
    データに対して１次の回帰分析を行って，回帰直線を求
    める１次回帰分析手段と，前記１次回帰分析手段で求め
    た回帰直線に基づいて，前記形状測定機に前記被検物を
    載置した際の傾き成分を除去する傾き成分除去手段と，
    前記傾き成分除去手段で傾き成分を除去した後の形状デ
    ータを入力し，周波数解析を行う周波数解析手段と，前
    記被検物の加工条件・仕様や，被検物を加工した加工機
    の特性等の加工情報を記憶した加工情報データベースか
    ら前記加工情報を直接入力するための第２の通信手段
    と，前記第２の通信手段を介して入力した前記加工情報
    に基づいて，加工に関連する周波数の候補を決定する候
    補周波数決定手段と，前記周波数解析手段の解析結果お
    よび前記候補周波数決定手段で決定した候補周波数を表
    示する表示手段と，を備えたことを特徴とする周波数解
    析システム。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1265066A2 (en) * 2001-05-31 2002-12-11 Aktiebolaget SKF Method and device for quality control using frequency analysis
JP2007175847A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Ricoh Co Ltd 表面処理装置と現像スリーブと現像装置および画像形成装置
JP2008040483A (ja) * 2006-07-10 2008-02-21 Ricoh Co Ltd 現像剤担持体と現像装置とプロセスカートリッジと画像形成装置および中空体の製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1265066A2 (en) * 2001-05-31 2002-12-11 Aktiebolaget SKF Method and device for quality control using frequency analysis
US6708128B2 (en) 2001-05-31 2004-03-16 Aktiebolaget Skf Device, computer program product and method for indicating a function deviation of one or more details of manufacturing equipment using frequency component analysis
EP1265066A3 (en) * 2001-05-31 2007-05-30 Aktiebolaget SKF Method and device for quality control using frequency analysis
JP2007175847A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Ricoh Co Ltd 表面処理装置と現像スリーブと現像装置および画像形成装置
JP2008040483A (ja) * 2006-07-10 2008-02-21 Ricoh Co Ltd 現像剤担持体と現像装置とプロセスカートリッジと画像形成装置および中空体の製造方法

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