JPH09191197A - ワークの吸着固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】真空吸引することによって回路基板等のワーク
を吸着固定する装置に対して汎用性をもたせ、各種の回
路基板に広く使用可能な構造を提案する。 【解決手段】回路基板１４を加工する際に、この回路基
板１４の吸着固定装置の上面に配置する吸着シート５２
のみを専用とし、その下側に全面が空気を通過する多孔
質のブロック状保持体５６を置き、このような保持体５
６を減圧ケース１８の上部開口３２に臨むように収納し
た構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワークの吸着固定装
置に係り、とくにワークを真空吸引して固定するように
した吸着固定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば回路基板上にクリーム半田を印刷
によって塗布したり、回路基板上に実装機を用いて電子
部品をマウントする場合に、回路基板から成るワークを
真空吸着等の方法によって固定し、正しく位置決めして
おくことを要する。

【０００３】クリーム半田の印刷や電子部品の実装の際
における回路基板の位置決めのための固定方法には、外
形クランプ、接着シート、真空吸着等の方法がある。こ
れらは何れの方法も汎用性がなく、生産する回路基板の
機種毎に専用の吸着固定装置を設けなければならない。

【０００４】とくに真空吸着方式において、従来はプリ
ント基板から成る回路基板を固定する吸着板は、生産す
るそれぞれの機種に専用にし、吸着される回路基板の機
種毎に１個１個製作しなければならなかった。あるいは
また回路基板を吸着固定する吸着板に、真空吸着用の穴
を等間隔であけ、ダイレクトに、もしくはその穴と連結
するような吸着穴が連通しているステーを立て、その穴
から回路基板を吸着している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに吸着される回
路基板は、その形状が複雑な場合が多く、等間隔で吸引
孔を配置した構成によれば、回路基板を吸着することが
できない。また回路基板から成るワークを吸着固定する
場合においては、回路基板内にも部品の挿入穴や取付け
穴があり、なおさら等間隔で対応することができない。
また回路基板の穴と吸着板の穴とが一致した場合には、
回路基板の穴から外気が吸引され、回路基板を吸着する
ことができなくなってしまうために、何等かの方法によ
って吸着板の穴を塞がなければならなかった。

【０００６】このような状況に鑑みて、真空吸着方式に
よって吸着される回路基板の形状毎に専用の吸着ブロッ
ク作製することなく、共用部を多くもち、汎用性を高め
ることによって、製作コストの削減と、製作時間の短縮
が図られ、各ワークの専用の部分をその場で製作できる
ようにした真空吸着装置が求められている。

【０００７】本発明は、ワークの形状毎に専用の吸着ブ
ロックを作製することなく、必要最小限の部分のみを各
ワーク毎に専用に構成するとともに、その他の部分につ
いては汎用性を有するようにしたワークの吸着固定装置
を提供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを真空
吸引して固定するようにした吸着固定装置において、上
部が開口によって開放されかつ吸引減圧手段と接続され
ているケースと、ワークの吸着部位と対応する位置に吸
引孔を有し、前記ケースの上部開口を覆う吸引板と、を
それぞれ具備するワークの吸着固定装置に関するもので
ある。

【０００９】前記吸引板が所定のピッチで多数の吸引孔
を配列して成り、ワークの吸着部位と対応する位置の吸
引孔を残して他の吸引孔を閉塞するようにしてよい。

【００１０】ワークの貫通穴と対応する吸引板の吸引孔
およびワークによって覆われない吸引板の吸引孔がコー
キング材で閉塞されてよい。

【００１１】吸引板のワークによって覆われない領域に
形成されたコーキング材層によってワークの位置決めが
行なわれてよい。

【００１２】ワークの貫通穴と対応する吸引板の吸引孔
がコーキング材によって閉塞されるとともに、吸引板の
ワークの貫通穴と対応する２つ以上の部位に位置決め用
突部が形成され、該突部によってワークの位置決めが行
なわれてよい。

【００１３】ワークの貫通穴と対応する吸引板の２つ以
上の部位にピンが取付けられ、該ピンによってワークの
位置決めが行なわれてよい。

【００１４】別の発明は、ワークを真空吸引して固定す
るようにした吸着固定装置において、上部が開口によっ
て開放されかつ吸引減圧手段と接続されているケース
と、前記ケース内に配され、ワークの重量に耐えかつワ
ークを真空吸引することによって変形しない強度を有
し、厚さ方向に通気孔を有する保持体と、ワークの吸着
部位と対応する位置に吸引孔を有し、前記ケースの上部
開口を覆うように前記保持体上に配されるシートまたは
フィルムと、をそれぞれ具備するワークの吸着固定装置
に関するものである。

【００１５】さらに別の発明は、ワークを真空吸引して
固定するようにした吸着固定装置において、上部が開口
によって開放されかつ吸引減圧手段と接続されているケ
ースと、前記ケース内に配され、ワークの重量に耐えか
つワークを真空吸引することによって変形しない強度を
有し、多孔質で全体が通気性を有する保持体と、ワーク
の吸着部位と対応する位置に吸引孔を有し、前記ケース
の上部開口を覆うように前記保持体上に配されるシート
またはフィルムと、をそれぞれ具備するワークの吸着固
定装置に関するものである。

【００１６】上記さらに別の発明において、前記保持体
が多孔質の焼結体から構成されてよい。

【００１７】上記さらに別の発明において、前記保持体
が金属繊維を固着して通気性にした成形体から構成され
てよい。

【００１８】上記別の発明またはさらに別の発明におい
て、ワークをテンプレートとしてシートまたはフィルム
のワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔を形成する
ようにしてよい。

【００１９】前記シートまたはフィルムが所定のピッチ
で多数の吸引孔を配列して成り、ワークの吸着部位と対
応する吸引孔を残して他の吸引孔を閉塞するようにして
よい。

【００２０】ワークの貫通穴と対応するシートまたはフ
ィルムの吸引孔およびワークによって覆われないシート
またはフィルムの吸引孔がコーキング材で閉塞されてよ
い。

【００２１】シートまたはフィルムのワークによって覆
われない領域に形成されたコーキング材層によってワー
クの位置決めが行なわれてよい。

【００２２】ワークの貫通穴と対応するシートまたはフ
ィルムの吸引孔がコーキング材によって閉塞されるとと
もに、シートまたはフィルムのワークの貫通穴と対応す
る２つ以上の部位に位置決め用突部が形成され、該突部
によってワークの位置決めが行なわれてよい。

【００２３】ワークの貫通穴と対応するシートまたはフ
ィルムの２カ所以上の部位にピンが取付けられ、該ピン
によってワークの位置決めが行なわれてよい。

【００２４】

【発明の属する技術分野】図１は本発明の一実施の形態
に係る回路基板の吸着固定装置を示している。この吸着
固定装置はベース１０を備えるとともに、ベース１０上
に支持フレーム１１が配されている。そして支持フレー
ム１１上には左右一対のサイドフレーム１２が取付けら
れており、このようなサイドフレーム１２の内側にそれ
ぞれ搬送コンベア１３が紙面に垂直方向に延びるように
配されている。これらの搬送コンベア１３によって回路
基板１４が搬送されるようになっている。

【００２５】回路基板１４が減圧ケース１８上において
吸着固定されるように、この減圧ケース１８の上部に所
定のピッチで多数の吸引孔４８を形成した吸着板１９
（図２参照）が取付けられている。そして減圧ケース１
８はバックアップケース２０上に載置されている。そし
てバックアップケース２０を介して減圧ケース１８が支
持台２１上に載置されている。支持台２１は左右に配さ
れているロッド２２によって昇降動作されるように、昇
降板２３と連結されている。

【００２６】ロッド２２は直立するリニアガイド２６に
よって上下方向に摺動可能に案内されている。しかも昇
降板２３はエアシリンダ２７のピストンロッド２８の先
端部と連結されており、エアシリンダ２７の出力によっ
て昇降動作が行なわれるようになっている。

【００２７】次に減圧ケース１８について説明すると、
減圧ケース１８は図２に示すようにその上部が開口３２
に構成されており、この開口３２によって上部が開放さ
れている。そして減圧ケース１８には、その前後から移
動調整可能にガイド３４が取付けられている。

【００２８】また減圧ケース１８の側面側には案内溝３
５が形成されおり、この案内溝３５によって摺動子３６
が摺動可能に保持されている。なお摺動子３６は位置決
めピン３７を備え、この位置決めピン３７によって回路
基板１４の位置決めを行なうようにしている。すなわち
一方の位置決めピン３７が回路基板１４の円形孔３８に
受入れられるとともに、他方の位置決めピン３７が回路
基板１４の長孔３９に受入られるようになっている。そ
して上記一対の摺動子３６の位置を調整するように、減
圧ケース１８の前面側と後面側にはそれぞれ調整ノブ４
０が取付けられている。

【００２９】このような本実施の形態において、上部が
開放され、しかも排気口を通して減圧される減圧ケース
１８の上部に、回路基板１４の吸着部位の吸引孔４８を
残し、他の吸引孔４８を塞いだ吸引板１９を載置してい
る。そしてその上に回路基板１４を載置し、減圧ケース
１８内の空気を排気して内部を減圧保持することによ
り、回路基板１４の吸着を行なうようにしたものであっ
て、専用部が少ない吸着ブロックを構成することを可能
にしている。

【００３０】すなわちとくに図２に示されるように、上
部が開放され、排気口と接続された減圧ケース１８の上
部開口３２を閉塞するように吸引板１９を装着載置して
いる。吸引板１９はその全面に一定のピッチで穿設され
た吸引孔４８の内、回路基板１４の吸着部位のみの吸引
孔４８を残し、他の吸引孔４８を塞ぐようにしたパンチ
ング板であって、このパンチング板１９を減圧ケース１
８の上部に空隙がないように配置する。そして吸引板１
９上に回路基板１４を載置して位置決めを行なうことに
よって、吸引板１９の吸引孔４８が塞がれ、減圧ケース
１８内の気密が保たれるために、減圧ケース１８内の空
気を排気して内部を減圧することにより、回路基板１４
の吸着を行なうことができる。

【００３１】吸引板１９は回路基板１４の重量に耐えら
れるとともに、回路基板１４を吸着したときに変形しな
い強度を有する厚みに設定されている。そしてその全面
には、所定のピッチで吸引孔４８が形成されている。従
って回路基板１４の貫通穴の位置やその大きさ等に応じ
て、吸引板１９の吸引孔４８を適宜閉塞することを要す
る。

【００３２】回路基板１４の吸着面を構成するパンチン
グ板１９の吸引孔４８の内、吸着部位以外の吸引孔を塞
ぐ方法として、回路基板１４を吸着面を構成する吸引板
１９に仮止めした後に、回路基板１４の上下に穴が貫通
している部分の吸引孔４８および回路基板１４によって
覆われない領域の吸引孔４８を吸引板１９の反対側から
接着テープ等によって塞ぎ、その後に回路基板１４を取
去ればよい。

【００３３】吸引板１９の不要の吸引孔４８を閉塞する
別の方法は、回路基板１４を吸着面を構成する吸引板１
９上に仮止めした後に、回路基板１４の上下に穴が貫通
している部分および回路基板１４の外側であってこの回
路基板１４によって覆われない領域をシリコンゴム、エ
ポキシ樹脂等のコーキング材等によって塞ぎ、コーキン
グ材が硬化した後に回路基板１４を取去り、吸引板１９
の上面に突出しているコーキング材を削り取るようにし
てもよい。

【００３４】不要の吸引孔４８を塞ぐさらに別の方法
は、全面に吸引孔４８が形成されている吸引板１９上に
回路基板１４を仮止めした後に、回路基板１４の上下に
穴が貫通している部分と回路基板１４によって覆われな
い回路基板１４の外側の部分をコーキング材によって塞
ぎ、コーキング材が硬化した後に回路基板１４を取去
り、回路基板１４の外側を残して吸引板１９の上面から
突出する突部を除去してコーキング材を削り取ればよ
い。これによって回路基板１４の位置決めを兼用するこ
とが可能になる。

【００３５】吸引板１９の不必要な吸引孔４８を閉塞す
るためのさらに別の方法は、回路基板１４を吸引板１９
の吸着面に仮止めした後に、回路基板１４の上下に穴が
貫通している部分および回路基板１４の外側をコーキン
グ材によって塞ぎ、コーキング材が硬化した後に回路基
板１４を取去る。そして回路基板１４の貫通穴と対応す
る吸引板１９の吸引孔４８にコーキング材を注入して硬
化させる。しかも回路基板１４の貫通穴と対応する２つ
以上の部位に位置決め用突部をコーキング材によって形
成し、吸引板１９の上に突出する他の突部を削り取るこ
とによって、回路基板１４の位置決めを上記の２つ以上
の突部で兼用することが可能になる。

【００３６】吸引板１９の吸引孔４８の内の不要の部分
を閉塞するためのさらに別の方法は、吸引板１９の吸着
面上に回路基板１４を仮止めする。そして回路基板１４
の上下に貫通している部分と対応する部位の吸引孔４８
の内の少なくとも２カ所以上にピンを挿入し、この吸引
板１９のピンを挿入した吸引孔４８と回路基板１４の上
下に穴が貫通している部分と整合する吸引孔４８および
回路基板１４の外側をコーキング材で塞ぎ、コーキング
材が硬化した後に回路基板１４を取去り、挿入したピン
を残し、吸引板１９の上面のコーキング材の突部を削り
取ることによって、回路基板１４の位置決めを上記ピン
で兼ねることが可能になる。

【００３７】次に別の実施の形態を図３によって説明す
る。この実施の形態は、減圧ケース１８の内部に上記吸
引板１９を支持する突条４４を形成するとともに、これ
らの突条４４間の凹部に連通孔４５を形成し、連通孔４
５および下側のバックアップケース２０を介して減圧ケ
ース１８内の吸引減圧を行なうようにしている。なおこ
の実施の形態においても、吸引板１９として所定のピッ
チで多数の吸引孔４８が形成されたものが用いられてい
る。

【００３８】このような構成によれば、上記突条４４に
よって減圧ケース１８の底部と吸引板１９の下面との間
に空間が形成され、従って吸引板１９の吸引孔４８を通
して吸引することにより、回路基板１４の固定を行なう
ことが可能になる。しかも突条４４よって吸引板１９が
支持されているために、吸引板１９の変形がより確実に
防止される。

【００３９】次にさらに別の実施の形態を図４によって
説明する。この実施の形態は、減圧ケース１８の上部開
口３２を塞ぐように保持板５０を配置するとともに、こ
の保持板５０の上に吸引用のシート５２を配するように
したものである。すなわちここで保持板５０はフレキシ
ブルなシート５２を担持するための支持体を構成するよ
うになっている。そしてシート５２の吸着位置に吸引孔
を形成することによって、回路基板１４の吸着保持を行
なうようにしている。なおシート５２として、厚さが
０．３〜０．５ｍｍのポリスチレンシート等が用いられ
てよい。

【００４０】すなわち上部が開放されて開口３２を有す
るとともに、連通孔４５を通して吸引するようにした減
圧ケース１８上に、厚さ方向に上下に貫通する多数の吸
引孔４８を所定のピッチで形成し、回路基板１４の重量
に耐えるとともに、この回路基板１４を吸着することに
よって変形しない強度を有する保持板５０を置くように
している。そして保持板５０上に吸着用のシート５２ま
たフィルムを配置している。シート５２またはフィルム
によって減圧ケース１８および保持体５０を空隙がない
ように覆うようにしている。

【００４１】吸着用のシート５２またはフィルムは回路
基板１４に合わせ、回路基板１４の吸着部位にみに吸引
孔をあける。

【００４２】すなわちこの実施の形態においては、当初
吸引孔があいていないシート５２が用いられている。吸
引孔があいていないシート５２に吸引孔をあける方法
は、回路基板１４をシート５２上に仮止めした後に、回
路基板１４側からシート５２に穴が貫通していない部分
にボール盤等によってシート５２に吸引孔を穿設し、そ
の後に回路基板１４を取去る。

【００４３】吸引孔があいていないシート５２に吸着用
の穴をあける別の方法は、回路基板１４をシート５２上
に仮止めした後に、シート５２側から回路基板１４の上
下に穴が貫通していない部分に錐等によってシート５２
に貫通する吸引孔をあけ、その後に回路基板１４を取去
るようにすればよい。

【００４４】このようなシート５２を用いることによっ
て、対応する回路基板１４の所定の吸着部位を確実に吸
着することが可能になる。しかも回路基板１４の種類毎
にシート５２の穴の位置を変更するだけで対応すること
が可能になり、保持板５０および減圧ケース１８から成
る吸着ブロックを汎用化することが可能になる。

【００４５】次に別の実施の形態を図５によって説明す
る。この実施の形態においては、シート５２として予め
所定のピッチでその全面に吸引孔５３が形成されている
シートが用いられている。従ってこのようなシート５２
においては、吸着部位以外の吸引孔５３を塞ぐことによ
って減圧ケース１８内の気密が保たれるようになり、減
圧ケース１８内の空気を排気して減圧保持することによ
り、回路基板１４の吸着が行なわれる。

【００４６】全面に吸引孔５３があいているシート５２
において、吸着部位以外の吸引孔５３を塞ぐ方法とし
て、回路基板１４をシート５２に仮止めした後に、回路
基板１４の上下に穴が貫通している部分のシート５２の
吸引孔５３を接着テープ等で塞ぎ、その後に回路基板１
４を取去ればよい。

【００４７】全面に吸引孔５３が形成されているシート
５２の吸引孔５３の内、吸着部位以外の吸引孔５３を塞
ぐ別の方法として、回路基板１４をシート５２に仮止め
した後に、回路基板１４の上下に穴が貫通している部分
および回路基板１４によって覆われない領域をコーキン
グ材等によって塞ぎ、コーキング材が硬化した後に回路
基板１４を取去る。そしてシート５２上に突状に残って
いるコーキング材を削り取ればよい。

【００４８】全面に吸引孔５３が形成されているシート
５２の吸引孔５３の内、吸着部以外の吸引孔５３を塞ぐ
さらに別の方法として、回路基板１４を吸着面を構成す
るシート５２に仮止めした後に、回路基板１４の上下に
穴が貫通している部分および回路基板１４によって覆わ
れない領域をコーキング材で塞ぎ、コーキング材が硬化
した後に回路基板１４を取去り、回路基板１４の外側の
エッジと係合する部分を残してシート５２上の突部を除
去することによって、回路基板１４の位置決め手段を有
するシート５２が得られる。

【００４９】全面に吸引孔５３を有するシート５２の吸
引孔５３の内、吸着部以外の吸引孔５３を塞ぐさらに別
の方法として、回路基板１４をシート５２に仮止めした
後に、回路基板１４の上下に穴が貫通している部分およ
び回路基板１４の外側をコーキング材等で塞ぎ、コーキ
ング材が硬化した後に回路基板１４を取去り、回路基板
１４の上下に貫通している穴と係合する少なくとも２カ
所以上のコーキング材から成る突部を残すようにし、シ
ート５２上に残存する他の突部を削り取ることによっ
て、上記２カ所以上の突部による回路基板１４の位置決
めを兼用することが可能になる。

【００５０】全面に吸引孔５３が形成されているシート
５２の内、吸引孔５３以外の穴を塞ぐさらに別の方法と
して、回路基板１４をシート５２に仮止めした後に、回
路基板１４の上下に穴が貫通している部分の少なくとも
２カ所以上にピンを挿入し、このピンを挿入した穴を含
めてシート５２の回路基板１４の上下に穴が貫通してい
る部分と対応する部位および回路基板１４の外側であっ
て回路基板１４によって覆われていない領域をコーキン
グ材で塞ぎ、コーキング材が硬化した後に回路基板１４
を取除き、挿入したピンを取除き、シート５２の上面の
凸になったコーキング材を削り取ることによって回路基
板１４の位置決めを兼用することが可能になる。

【００５１】次にさらに別の実施の形態を図６および図
７によって説明する。この実施の形態においては、吸引
用のシート５２を保持する保持体５０に代えて、板状の
金属繊維成形体５５が用いられている。金属繊維成形体
５５は例えばステンレス繊維等の金属繊維を絡ませてほ
ぼ板状に成形したものであって、その全面が空気を通過
させる性質を有している。しかもこのような金属繊維成
形体５５は、回路基板１４の重量に耐えるとともに、回
路基板１４を真空吸引して吸着するときに変形しない強
度を有しており、その上にシート５２を載置するように
している。

【００５２】図７はこのような金属繊維成形体５５を用
いた吸着ブロックの縦断面を示しており、成形体５５が
載置される減圧ケース１８の突条４４間には連通孔４５
が形成されるとともに、この連通孔４５が減圧ケース１
８の下側のバックアップケース２０に形成されている減
圧孔５８と連通されている。なお減圧孔５８は真空ポン
プ等の減圧手段に接続されている。なおこの実施の形態
においては、金属繊維成形体５５上に穴がないシート５
２が載置されるようになっているが、このようなシート
５２に吸引孔を形成することは、図４に示す構成と同様
であってよい。また金属繊維成形体５５上に全面に吸引
孔５３を有するシート５２を配してもよい。

【００５３】次にさらに別の実施の形態を図８によって
説明する。この実施の形態においては、シート５２をそ
の上に載置するための保持体５０に代えて、多孔質の焼
結体５６が用いられている。このような焼結体５６は、
金属あるいは無機材料の粉末を高温で焼結したものであ
ってよく、その内部に多数の小孔が形成されており、こ
のような小孔によって通気性を有する構造になってい
る。しかも焼結体５６は回路基板１４の重量に耐えると
ともに、回路基板１４を吸着することによって変形しな
い強度をもつようになっている。なおこの実施の形態に
おいては、シート５２としてその全面に吸引孔５３が形
成されているシートが用いられているが、必要でない吸
引孔５３を塞ぐ方法は、図５に示す形態の場合と同様で
あってよい。また吸引孔を有しないシート５２と組合わ
せ、後から吸引孔を形成するようにしてもよい。

【００５４】

【発明の効果】上部が開口によって開放されているケー
スを吸引式減圧手段と接続するとともに、ワークの吸着
部位と対応する位置に吸引孔を有する吸引板をケースの
上部開口を覆うようにした吸着固定装置によれば、吸引
板の吸引孔を通してワークを吸引して吸着固定すること
が可能になる。しかも吸引板の吸引孔の位置を変更する
ことによって、各種のワークに対応することが可能にな
る。

【００５５】上部が開口によって開放されているケース
を吸引減圧手段と接続し、ワークの重量に耐えかつワー
クを真空吸引することによって変形しない強度を有し、
厚さ方向に通気性を有する保持体をケース内に配し、ケ
ースの上部開口を覆うようにワークの吸着部位と対応す
る位置に吸引孔を有するシートまたはフィルムを上記保
持体上に配するようにした吸着固定装置によれば、上記
シートまたはフィルムの吸引孔を通してワークを確実に
吸着固定することが可能になる。しかもシートまたはフ
ィルムをワーク毎に交換することによって、他の部分を
汎用化することが可能になる。

【００５６】上部が開口によって開放されているケース
を吸引減圧手段と接続し、ワークの重量に耐えかつワー
クを真空吸引することによって変形しない強度を有し、
多孔質で全体が通気性を有する保持体をケース内に配
し、ワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔を有する
シートまたはフィルムをケースの上部開口を覆うように
保持体上に配するようにしたワークの吸着固定装置によ
れば、シートまたはフィルムの吸引孔を通してワークを
吸引することにより吸着固定を行なうことが可能にな
る。しかもシートまたはフィルムをそれぞれのワークに
対応して用意することにより、他の部分については汎用
性をもたせることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】回路基板の吸着固定装置を示す縦断面図であ
る。

【図２】同要部分解斜視図である。

【図３】別の実施の形態の吸着固定装置の要部分解斜視
図である。

【図４】さらに別の実施の形態の吸着固定装置の要部分
解斜視図である。

【図５】さらに別の実施の形態の吸着固定装置の要部分
解斜視図である。

【図６】さらに別の実施の形態の吸着固定装置の要部分
解斜視図である。

【図７】吸着固定装置の要部縦断面図である。

【図８】さらに別の実施の形態の吸着固定装置の要部分
解斜視図である。

【符号の説明】

１０ ベース １１ 支持フレーム １２ サイドフレーム １３ 搬送コンベア １４ 回路基板 １８ 減圧ケース １９ 吸引板 ２０ バックアップケース ２１ 支持台 ２２ ロッド ２３ 昇降板 ２６ リニアガイド ２７ エアシリンダ ２８ ピストンロッド ３２ 上部開口 ３４ ガイド ３５ 案内溝 ３６ 摺動子 ３７ 位置決めピン ３８ 位置決め孔（円形孔） ３９ 位置決め孔（長孔） ４０ 調整ノブ ４４ 突条 ４５ 連通孔 ４８ 吸引孔 ５０ 保持板 ５２ シート ５３ 吸引孔 ５５ 金属繊維成形体 ５６ 焼結体 ５８ 減圧孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 薄 昭二 東京都品川区東中延１丁目13番18号 昭立 工業株式会社内

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークを真空吸引して固定するようにした
   吸着固定装置において、 上部が開口によって開放されかつ吸引減圧手段と接続さ
   れているケースと、 ワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔を有し、前記
   ケースの上部開口を覆う吸引板と、 をそれぞれ具備するワークの吸着固定装置。
2. 【請求項２】前記吸引板が所定のピッチで多数の吸引孔
   を配列して成り、ワークの吸着部位と対応する位置の吸
   引孔を残して他の吸引孔を閉塞するようにしたことを特
   徴とする請求項１に記載のワークの吸着固定装置。
3. 【請求項３】ワークの貫通穴と対応する吸引板の吸引孔
   およびワークによって覆われない吸引板の吸引孔がコー
   キング材で閉塞されていることを特徴とする請求項２に
   記載のワークの吸着固定装置。
4. 【請求項４】吸引板のワークによって覆われない領域に
   形成されたコーキング材層によってワークの位置決めが
   行なわれることを特徴とする請求項２または請求項３に
   記載のワークの吸着固定装置。
5. 【請求項５】ワークの貫通穴と対応する吸引板の吸引孔
   がコーキング材によって閉塞されるとともに、吸引板の
   ワークの貫通穴と対応する２つ以上の部位に位置決め用
   突部が形成され、該突部によってワークの位置決めが行
   なわれることを特徴とする請求項３に記載のワークの吸
   着固定装置。
6. 【請求項６】ワークの貫通穴と対応する吸引板の２つ以
   上の部位にピンが取付けられ、該ピンによってワークの
   位置決めが行なわれることを特徴とする請求項２に記載
   のワークの吸着固定装置。
7. 【請求項７】ワークを真空吸引して固定するようにした
   吸着固定装置において、 上部が開口によって開放されかつ吸引減圧手段と接続さ
   れているケースと、 前記ケース内に配され、ワークの重量に耐えかつワーク
   を真空吸引することによって変形しない強度を有し、厚
   さ方向に通気孔を有する保持体と、 ワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔を有し、前記
   ケースの上部開口を覆うように前記保持体上に配される
   シートまたはフィルムと、 をそれぞれ具備するワークの吸着固定装置。
8. 【請求項８】ワークを真空吸引して固定するようにした
   吸着固定装置において、 上部が開口によって開放されかつ吸引減圧手段と接続さ
   れているケースと、 前記ケース内に配され、ワークの重量に耐えかつワーク
   を真空吸引することによって変形しない強度を有し、多
   孔質で全体が通気性を有する保持体と、 ワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔を有し、前記
   ケースの上部開口を覆うように前記保持体上に配される
   シートまたはフィルムと、 をそれぞれ具備するワークの吸着固定装置。
9. 【請求項９】前記保持体が多孔質の焼結体から構成され
   ることを特徴とする請求項８に記載のワークの吸着固定
   装置。
10. 【請求項１０】前記保持体が金属繊維を固着して通気性
    にした成形体から構成されることを特徴とする請求項８
    に記載のワークの吸着固定装置。
11. 【請求項１１】ワークをテンプレートとしてシートまた
    はフィルムのワークの吸着部位と対応する位置に吸引孔
    を形成するようにしたことを特徴とする請求項７または
    請求項８に記載のワークの吸着固定装置。
12. 【請求項１２】前記シートまたはフィルムが所定のピッ
    チで多数の吸引孔を配列して成り、ワークの吸着部位と
    対応する位置の吸引孔を残して他の吸引孔を閉塞するよ
    うにしたことを特徴とする請求項７または請求項８に記
    載のワークの吸着固定装置。
13. 【請求項１３】ワークの貫通穴と対応するシートまたは
    フィルムの吸引孔およびワークによって覆われないシー
    トまたはフィルムの吸引孔がコーキング材で閉塞されて
    いることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の
    ワークの吸着固定装置。
14. 【請求項１４】シートまたはフィルムのワークによって
    覆われない領域に形成されたコーキング材層によってワ
    ークの位置決めが行なわれることを特徴とする請求項７
    または請求項８に記載のワークの吸着固定装置。
15. 【請求項１５】ワークの貫通穴と対応するシートまたは
    フィルムの吸引孔がコーキング材によって閉塞されると
    ともに、シートまたはフィルムのワークの貫通穴と対応
    する２つ以上の部位に位置決め用突部が形成され、該突
    部によってワークの位置決めが行なわれることを特徴と
    する請求項７または請求項８に記載のワークの吸着固定
    装置。
16. 【請求項１６】ワークの貫通穴と対応するシートまたは
    フィルムの２カ所以上の部位にピンが取付けられ、該ピ
    ンによってワークの位置決めが行なわれることを特徴と
    する請求項７または請求項８に記載のワークの吸着固定
    装置。