JPH09189787A - イオン源の電極板 - Google Patents
イオン源の電極板Info
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- JPH09189787A JPH09189787A JP8002120A JP212096A JPH09189787A JP H09189787 A JPH09189787 A JP H09189787A JP 8002120 A JP8002120 A JP 8002120A JP 212096 A JP212096 A JP 212096A JP H09189787 A JPH09189787 A JP H09189787A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
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- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長寿命で、高い信頼性のイオン源の電極板を
提供することを課題とする。 【解決手段】 第１の発明は高融点材料あるいは高熱伝
導材料からなる２枚の薄板を冶金的に接合してなる電極
板において、前記２枚の薄板の表面に耐腐食性の金属を
成膜した後に接合し、冷却水出入口の近傍に耐腐食性の
金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的に接合し
てなることを特徴とする。また、第２の発明は高融点材
料あるいは高熱伝導材料からなる２枚の薄板の間に溝を
設け、この溝にチタンまたは銅合金材料からなる冷却水
路用の管を挟んで静水圧成型法により接合・一体化させ
たことを特徴とする。
提供することを課題とする。 【解決手段】 第１の発明は高融点材料あるいは高熱伝
導材料からなる２枚の薄板を冶金的に接合してなる電極
板において、前記２枚の薄板の表面に耐腐食性の金属を
成膜した後に接合し、冷却水出入口の近傍に耐腐食性の
金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的に接合し
てなることを特徴とする。また、第２の発明は高融点材
料あるいは高熱伝導材料からなる２枚の薄板の間に溝を
設け、この溝にチタンまたは銅合金材料からなる冷却水
路用の管を挟んで静水圧成型法により接合・一体化させ
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、核融合装置のプラ
ズマを加熱または駆動するための中性粒子入射装置やイ
オンミキシング装置等に用いられるイオン源の電極板に
関する。
ズマを加熱または駆動するための中性粒子入射装置やイ
オンミキシング装置等に用いられるイオン源の電極板に
関する。
【０００２】
【従来の技術】大出力、長パルス運転のイオン源におい
て、電極板は熱的に厳しい条件下で使用されため、一般
的には水冷構造が採用されている。
て、電極板は熱的に厳しい条件下で使用されため、一般
的には水冷構造が採用されている。
【０００３】図３は従来の電極板の要部を示し、図４は
図３中の丸枠Ｘで示す冷却水入口ヘッダ近傍の詳細を示
している。これらの図において、電極板１は、上面に複
数本の矩形状の冷却溝２を切った薄板３ａと、その上面
に配置した薄板３ｂと、薄板３ｂの上面の両端に配置し
た冷却水入口ヘッダ４および冷却水出口ヘッダ５とを備
えており、これらの構成部材を冶金的に同時接合して作
られている。薄板３ａ，３ｂには、イオンを引き出し、
あるいは加速するための電極孔６が、冷却溝２以外の位
置に多数個設けられているが、これらの電極孔６は薄板
３ａと３ｂを接合した後で透設される。
図３中の丸枠Ｘで示す冷却水入口ヘッダ近傍の詳細を示
している。これらの図において、電極板１は、上面に複
数本の矩形状の冷却溝２を切った薄板３ａと、その上面
に配置した薄板３ｂと、薄板３ｂの上面の両端に配置し
た冷却水入口ヘッダ４および冷却水出口ヘッダ５とを備
えており、これらの構成部材を冶金的に同時接合して作
られている。薄板３ａ，３ｂには、イオンを引き出し、
あるいは加速するための電極孔６が、冷却溝２以外の位
置に多数個設けられているが、これらの電極孔６は薄板
３ａと３ｂを接合した後で透設される。
【０００４】冷却水入口ヘッダ４と冷却水出口ヘッダ５
には、冷却水配管７，８の先端に溶接により固着された
取付フランジ９，１０が、それぞれボルト１１を介して
取付けられている。図４に示すように、取付フランジ９
は、その内面に形成したＬ形の透孔９ａが冷却水入口ヘ
ッダ４側の透孔４ａに合致するよう配置され、また、そ
れらの接合面にはガスケット１２が介挿され、冷却水配
管７から冷却水入口ヘッダ４内の連通孔４ｂに供給され
る冷却水をシールしている。なお、図示はしていない
が、冷却水出口ヘッダ５と取付フランジ１０の取付け部
も上記と同様に構成されている。したがって、冷却水配
管７から供給された冷却水は取付フランジ９を通って冷
却水入口ヘッダ４内に入り、その連通孔４ｂから、薄板
３ａ、３ｂ間の冷却溝２内に分流し、電極板１を冷却し
た後、冷却水出口ヘッダ５および取付フランジ１０を通
り、冷却水配管８から排出される。
には、冷却水配管７，８の先端に溶接により固着された
取付フランジ９，１０が、それぞれボルト１１を介して
取付けられている。図４に示すように、取付フランジ９
は、その内面に形成したＬ形の透孔９ａが冷却水入口ヘ
ッダ４側の透孔４ａに合致するよう配置され、また、そ
れらの接合面にはガスケット１２が介挿され、冷却水配
管７から冷却水入口ヘッダ４内の連通孔４ｂに供給され
る冷却水をシールしている。なお、図示はしていない
が、冷却水出口ヘッダ５と取付フランジ１０の取付け部
も上記と同様に構成されている。したがって、冷却水配
管７から供給された冷却水は取付フランジ９を通って冷
却水入口ヘッダ４内に入り、その連通孔４ｂから、薄板
３ａ、３ｂ間の冷却溝２内に分流し、電極板１を冷却し
た後、冷却水出口ヘッダ５および取付フランジ１０を通
り、冷却水配管８から排出される。
【０００５】なお、高熱負荷を受ける電極板１はモリブ
デンのような高融点金属材料、あるいは銅合金のような
高熱伝導材料で構成されるが、フランジ９，１０は溶接
等の施工が容易なステンレス鋼で構成される。したがっ
て、冷却水ヘッダ部４，５と取付フランジ９，１０の接
続面は異種金属の接触面となる。
デンのような高融点金属材料、あるいは銅合金のような
高熱伝導材料で構成されるが、フランジ９，１０は溶接
等の施工が容易なステンレス鋼で構成される。したがっ
て、冷却水ヘッダ部４，５と取付フランジ９，１０の接
続面は異種金属の接触面となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように構成した
従来の電極板には、次の２つの大きな問題があった。
従来の電極板には、次の２つの大きな問題があった。
【０００７】（１） 電極板は高電位状態で使用される
ため、モリブデン製の電極板の場合には、冷却水による
腐食が大きい。この腐食は冷却水の出入口の冷却水入口
ヘッダ４および冷却水出口ヘッダ５と取付フランジ９，
１０との異種金属接触面近傍で特に大きく、長寿命の電
極板を得ることは困難であった。
ため、モリブデン製の電極板の場合には、冷却水による
腐食が大きい。この腐食は冷却水の出入口の冷却水入口
ヘッダ４および冷却水出口ヘッダ５と取付フランジ９，
１０との異種金属接触面近傍で特に大きく、長寿命の電
極板を得ることは困難であった。
【０００８】（２） 電極板は大面積の薄板構成である
ため、２枚の薄板３ａ，３ｂを冶金的に接合した後で冷
却溝２の近傍に多数の電極孔６を穿孔すると、冷却水が
リークし易く、高信頼性の電極板を得ることは困難であ
った。また逆に、リークが生じ難いようにするために
は、冷却溝２から十分な距離をとって電極孔６を穿孔す
る必要があるが、その場合には電極孔の数が減少し、大
電流のイオンを引出すことが困難となる。
ため、２枚の薄板３ａ，３ｂを冶金的に接合した後で冷
却溝２の近傍に多数の電極孔６を穿孔すると、冷却水が
リークし易く、高信頼性の電極板を得ることは困難であ
った。また逆に、リークが生じ難いようにするために
は、冷却溝２から十分な距離をとって電極孔６を穿孔す
る必要があるが、その場合には電極孔の数が減少し、大
電流のイオンを引出すことが困難となる。
【０００９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、長寿命で、高い信頼性の電極板を提供することを課
題とするものである。
で、長寿命で、高い信頼性の電極板を提供することを課
題とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の発明
は、モリブデンなどの高融点材料、あるいは銅合金など
の高熱伝導材料からなる２枚の薄板を冶金的に接合して
なる電極板において、前記２枚の薄板の表面に耐腐食性
の金属を成膜した後に接合し、冷却水出入口の近傍に耐
腐食性の金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的
に接合したことを特徴とするものである。また、請求項
２の発明は、高融点材料あるいは高熱伝導材料からなる
２枚の薄板の間に溝を設け、この溝に、チタンまたは銅
合金材料からなる管を挟み、静水圧成型法により接合・
一体化させたことを特徴とするものである。
は、モリブデンなどの高融点材料、あるいは銅合金など
の高熱伝導材料からなる２枚の薄板を冶金的に接合して
なる電極板において、前記２枚の薄板の表面に耐腐食性
の金属を成膜した後に接合し、冷却水出入口の近傍に耐
腐食性の金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的
に接合したことを特徴とするものである。また、請求項
２の発明は、高融点材料あるいは高熱伝導材料からなる
２枚の薄板の間に溝を設け、この溝に、チタンまたは銅
合金材料からなる管を挟み、静水圧成型法により接合・
一体化させたことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】上述の請求項１の発明では、２枚
の薄板の表面にチタン等の耐腐食性の金属を成膜してか
ら冶金的に接合し、また耐腐食性膜を成膜し難い場所で
ある冷却水出入り口近傍には耐腐食性の金属ブッシユを
設置したので、冷却水による腐食を低減させることがで
き、したがって長寿命の電極板を得ることができる。ま
た、請求項２の発明では、冷却水境界は耐腐食性のチタ
ンや銅合金材料で構成されているため、腐食の問題が無
い。更に、冷却水路が管で構成され、冷却水境界に接合
面が露出しないためリーク発生の懸念はなく、しかも電
極孔を冷却水境界に近付けて穿孔できるため、イオンの
引出し効率を高めることかができる。さらに冷却水路を
矩形断面とすれば、除熱効率を一段と高めることができ
る。
の薄板の表面にチタン等の耐腐食性の金属を成膜してか
ら冶金的に接合し、また耐腐食性膜を成膜し難い場所で
ある冷却水出入り口近傍には耐腐食性の金属ブッシユを
設置したので、冷却水による腐食を低減させることがで
き、したがって長寿命の電極板を得ることができる。ま
た、請求項２の発明では、冷却水境界は耐腐食性のチタ
ンや銅合金材料で構成されているため、腐食の問題が無
い。更に、冷却水路が管で構成され、冷却水境界に接合
面が露出しないためリーク発生の懸念はなく、しかも電
極孔を冷却水境界に近付けて穿孔できるため、イオンの
引出し効率を高めることかができる。さらに冷却水路を
矩形断面とすれば、除熱効率を一段と高めることができ
る。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。なお、以下の説明においては、図３，４における
と同一部分には、同一の符号を付して説明する。
する。なお、以下の説明においては、図３，４における
と同一部分には、同一の符号を付して説明する。
【００１３】図１は本発明の第１の実施例を示すもの
で、２枚のモリブデン製の薄板３ａ，３ｂのうち、下側
の薄板３ａの上面には、複数本の冷却溝２が適当間隔を
おいて形成されている。これらの薄板３ａ，３ｂには、
冷却溝２の表面を含めて接合面側の全面にチタン膜２１
が成膜されており、接合面では、これらのチタン膜２１
を介して薄板３ａ，３ｂが接合されている。また、モリ
ブデン製の冷却水入口ヘッダ４の接合面および連通孔４
ｂの内面にもチタン膜２１が成膜されている。冷却水入
口ヘッダ４の透孔４ａ近傍はその幾何形状からチタン膜
の成膜は信頼性が乏しいため、この部分にはチタン製の
ブッシュ２２が接合されている。このブッシュ２２の上
端近傍には大径のフランジ部２２ａが形成されており、
その上面にはガスケット１２が装着されている。なお、
図示はしていないが、冷却水出口ヘッダ側も冷却水入口
ヘッダ４と同様に構成されている。
で、２枚のモリブデン製の薄板３ａ，３ｂのうち、下側
の薄板３ａの上面には、複数本の冷却溝２が適当間隔を
おいて形成されている。これらの薄板３ａ，３ｂには、
冷却溝２の表面を含めて接合面側の全面にチタン膜２１
が成膜されており、接合面では、これらのチタン膜２１
を介して薄板３ａ，３ｂが接合されている。また、モリ
ブデン製の冷却水入口ヘッダ４の接合面および連通孔４
ｂの内面にもチタン膜２１が成膜されている。冷却水入
口ヘッダ４の透孔４ａ近傍はその幾何形状からチタン膜
の成膜は信頼性が乏しいため、この部分にはチタン製の
ブッシュ２２が接合されている。このブッシュ２２の上
端近傍には大径のフランジ部２２ａが形成されており、
その上面にはガスケット１２が装着されている。なお、
図示はしていないが、冷却水出口ヘッダ側も冷却水入口
ヘッダ４と同様に構成されている。
【００１４】このような構成のイオン源の電極板では、
冷却水路は耐腐食性のチタンで覆われており、モリブデ
ンが直接冷却水に接しないため、電極板の腐食はかなり
低減される。また、ガスケット１２はブッシュ２３側に
取付けてあるため、冷却水は取付フランジ９，１０とモ
リブデン製冷却水出入口ヘッダ４，１０との隙間には入
り込めない。したがって長寿命の電極板を得ることがで
きる。
冷却水路は耐腐食性のチタンで覆われており、モリブデ
ンが直接冷却水に接しないため、電極板の腐食はかなり
低減される。また、ガスケット１２はブッシュ２３側に
取付けてあるため、冷却水は取付フランジ９，１０とモ
リブデン製冷却水出入口ヘッダ４，１０との隙間には入
り込めない。したがって長寿命の電極板を得ることがで
きる。
【００１５】図２は本発明は第２の実施例を示すもの
で、２枚のモリブデン製の薄板３ａ，３ｂのうち、下側
の薄板３ａの上面には、複数本の冷却溝２が適当間隔を
おいて形成されている。これらの薄板３ａ，３ｂには、
接合面側の全面にチタン膜２１が成膜されており、接合
面では、これらのチタン膜２１を介して薄板３ａ，３ｂ
が接合されている。冷却溝２内には、冷却水路を形成す
るチタン管２３が挿入され、薄板３ａ，３ｂと共に、静
水圧成型法で固相拡散接合されている。また、モリブデ
ン製の冷却水入口ヘッダ４の接合面および連通孔４ｂの
内面にもチタン膜が成膜されている。冷却水入口ヘッダ
４の透孔４ａの部分にはチタン製のブッシュ２２が接合
されており、その上端近傍のフランジ部２２ａの上面に
はガスケット１２が装着されている。なお、図示はして
いないが、冷却水出口ヘッダ側も冷却水入口ヘッダ４と
同様に構成されている。また、この実施例では、薄板３
ａ，３ｂの端面近傍は冷却水入口ヘッダ４の連通孔４ｂ
内に挿入され、接合されている。
で、２枚のモリブデン製の薄板３ａ，３ｂのうち、下側
の薄板３ａの上面には、複数本の冷却溝２が適当間隔を
おいて形成されている。これらの薄板３ａ，３ｂには、
接合面側の全面にチタン膜２１が成膜されており、接合
面では、これらのチタン膜２１を介して薄板３ａ，３ｂ
が接合されている。冷却溝２内には、冷却水路を形成す
るチタン管２３が挿入され、薄板３ａ，３ｂと共に、静
水圧成型法で固相拡散接合されている。また、モリブデ
ン製の冷却水入口ヘッダ４の接合面および連通孔４ｂの
内面にもチタン膜が成膜されている。冷却水入口ヘッダ
４の透孔４ａの部分にはチタン製のブッシュ２２が接合
されており、その上端近傍のフランジ部２２ａの上面に
はガスケット１２が装着されている。なお、図示はして
いないが、冷却水出口ヘッダ側も冷却水入口ヘッダ４と
同様に構成されている。また、この実施例では、薄板３
ａ，３ｂの端面近傍は冷却水入口ヘッダ４の連通孔４ｂ
内に挿入され、接合されている。
【００１６】この実施例のイオン源の電極板では、冷却
水路は耐腐食性のチタン管２３で構成されているため冷
却水による腐食の問題がなく、冷却水境界に接合面が露
出していないためリークが生じる懸念はない。また、電
極孔６を冷却水路に近付けて穿孔できるから、より多く
の電極孔を設けることができる。なお、冷却水ヘッダ部
には入熱がないため、これらのヘッダ部とチタン管２３
は必ずしも接合する必要はない。
水路は耐腐食性のチタン管２３で構成されているため冷
却水による腐食の問題がなく、冷却水境界に接合面が露
出していないためリークが生じる懸念はない。また、電
極孔６を冷却水路に近付けて穿孔できるから、より多く
の電極孔を設けることができる。なお、冷却水ヘッダ部
には入熱がないため、これらのヘッダ部とチタン管２３
は必ずしも接合する必要はない。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、電極板
の冷却水路は耐腐食性のチタンで覆われており、モリブ
デン板が直接冷却水に接することはないため、冷却水に
よるモリブデン電極の腐食問題を解決し、長寿命の電極
板を提供することができる。また、第２の発明によれ
ば、冷却水路に近付けて電極孔を穿孔できるため、より
多くの電極孔を設けることができ、長寿命、高信頼で、
高いイオン引出し効率を備えた電極板を提供することが
できる。
の冷却水路は耐腐食性のチタンで覆われており、モリブ
デン板が直接冷却水に接することはないため、冷却水に
よるモリブデン電極の腐食問題を解決し、長寿命の電極
板を提供することができる。また、第２の発明によれ
ば、冷却水路に近付けて電極孔を穿孔できるため、より
多くの電極孔を設けることができ、長寿命、高信頼で、
高いイオン引出し効率を備えた電極板を提供することが
できる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す冷却水ヘッダ近傍
の斜視断面図。
の斜視断面図。
【図２】本発明の第２の実施例を示す冷却水ヘッダ近傍
の斜視断面図。
の斜視断面図。
【図３】従来のイオン源の電極板の要部を示す斜視断面
図。
図。
【図４】図３中の丸枠Ｘ近傍の斜視断面図。
１……電極板 ２……冷却溝 ３ａ，３ｂ……薄板 ４……冷却水入口ヘッダ ５……冷却水出口ヘッダ ６……電極孔 ７，８……冷却水配管 ９，１０……取付フランジ １２……ガスケット ２１……チタン膜 ２２……チタン製ブツシュ ２３……チタン管
Claims (3)
- 【請求項１】 高融点材料あるいは高熱伝導材料からな
る２枚の薄板を冶金的に接合してなる電極板において、
前記２枚の薄板の表面に耐腐食性の金属を成膜して接合
し、冷却水出入口の近傍に耐腐食性の金属材料からなる
ブッシュを圧入または冶金的に接合してなることを特徴
とするイオン源の電極板。 - 【請求項２】 高融点材料あるいは高熱伝導材料からな
る２枚の薄板の間に溝を設け、この溝に、チタンまたは
銅合金材料からなる管を挟んで静水圧成型法により接合
・一体化させたことを特徴とするイオン源の電極板。 - 【請求項３】 薄板の間に設ける溝および管を矩形断面
としたことを特徴とする請求項２に記載のイオン源の電
極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002120A JPH09189787A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | イオン源の電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002120A JPH09189787A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | イオン源の電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189787A true JPH09189787A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11520499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8002120A Pending JPH09189787A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | イオン源の電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189787A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013045747A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-01-10 JP JP8002120A patent/JPH09189787A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013045747A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Toshiba Corp | イオン源用電極及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040316 |