JPS60257967A - 複数金属板の接合方法 - Google Patents
複数金属板の接合方法Info
- Publication number
- JPS60257967A JPS60257967A JP11453384A JP11453384A JPS60257967A JP S60257967 A JPS60257967 A JP S60257967A JP 11453384 A JP11453384 A JP 11453384A JP 11453384 A JP11453384 A JP 11453384A JP S60257967 A JPS60257967 A JP S60257967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- brazing
- welding
- plate
- lap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/005—Soldering by means of radiant energy
- B23K1/0056—Soldering by means of radiant energy soldering by means of beams, e.g. lasers, E.B.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、複数金属板の接合方法に関するもので、特に
、半導体製造装置の電極などの金属板同士の接合に好適
なものである。
、半導体製造装置の電極などの金属板同士の接合に好適
なものである。
従来の半導体製造装置の電極の接合例を第３゜４図に示
す。すなわち、上板ｌに冷却水路用の溝３を加工し、一
方、下板２にその出入口６，７を設け、この両者をプレ
ージングシート４を介してブレージング施工したもので
ある。５は、例えば電極と他の部品とを結合するボルト
用の貫通穴である。
す。すなわち、上板ｌに冷却水路用の溝３を加工し、一
方、下板２にその出入口６，７を設け、この両者をプレ
ージングシート４を介してブレージング施工したもので
ある。５は、例えば電極と他の部品とを結合するボルト
用の貫通穴である。
この接合方法によれば、ブレージングの施工面積が広い
ため部分的にろう付は部に剥離を生ずることがあり、場
合によっては冷却水路用の渭３から貫通穴５へ冷却水が
洩れる虞れがある。
ため部分的にろう付は部に剥離を生ずることがあり、場
合によっては冷却水路用の渭３から貫通穴５へ冷却水が
洩れる虞れがある。
なお、ブレージング施工盛こ関連するものには、例えば
特公昭５４−２１１９０号公報がある。
特公昭５４−２１１９０号公報がある。
本発明の目的は、ブレージング施工の短所であるろう付
は部の未溶着および剥離による洩れなどの問題を解決し
得る信頼性の高い複数金属板の接合方法を提供すること
にある。
は部の未溶着および剥離による洩れなどの問題を解決し
得る信頼性の高い複数金属板の接合方法を提供すること
にある。
上記ブレージング施工は、複数の金属板の接合部にプレ
ージングシート（ろう）をはさみ、これらを均一加熱し
て接合する方法であり、その部品の用途、形状、材料な
どに応じて加熱、真空、加圧などの方法および諸条件を
選定するものである。
ージングシート（ろう）をはさみ、これらを均一加熱し
て接合する方法であり、その部品の用途、形状、材料な
どに応じて加熱、真空、加圧などの方法および諸条件を
選定するものである。
また、インサートメタルを用いた拡散接合法も、施工要
領としてはブレージング施工とほぼ同じである。ところ
が、これらの接合では、接合部の金属板の表面状態や加
熱などによる歪から部分的に未溶着および剥離を生じ、
この現象は施工面積が広でなるほど顕著になり、そのた
め、気密性が劣るという欠点があった。
領としてはブレージング施工とほぼ同じである。ところ
が、これらの接合では、接合部の金属板の表面状態や加
熱などによる歪から部分的に未溶着および剥離を生じ、
この現象は施工面積が広でなるほど顕著になり、そのた
め、気密性が劣るという欠点があった。
そこで、本発明は信頼性の高い融接である電子ビーム溶
接とブレージングとを併用し、複数の金属板とこれらの
間に介在せしめたプレージングシートとを電子ビーム溶
接法により重ね溶接し、金属板を電子ビーム溶接とさら
にその近辺を電子ビーム溶接の溶接熱でもってブレージ
ングして二重の接合手段を実施するようにしたものであ
る。
接とブレージングとを併用し、複数の金属板とこれらの
間に介在せしめたプレージングシートとを電子ビーム溶
接法により重ね溶接し、金属板を電子ビーム溶接とさら
にその近辺を電子ビーム溶接の溶接熱でもってブレージ
ングして二重の接合手段を実施するようにしたものであ
る。
電子ビーム溶接は異種金属の接合に最適であることから
、電子ビーム溶接により金属板とプレージングシートと
を共に重ね溶接する。この場合、通常はプレージングシ
ートの融点は金属板の融点より低いものであるから、上
記重ね溶接がされた近辺は電子ビーム溶接時に発生する
熱によってプレージングシートが溶け、ブレージングが
行われる。
、電子ビーム溶接により金属板とプレージングシートと
を共に重ね溶接する。この場合、通常はプレージングシ
ートの融点は金属板の融点より低いものであるから、上
記重ね溶接がされた近辺は電子ビーム溶接時に発生する
熱によってプレージングシートが溶け、ブレージングが
行われる。
金属板とプレージングシートとの融接が材質的に不向き
の場合は、重ね溶接する部分のみプレージングシートを
切欠き金属板同士のみの電子ビーム溶接として重ね溶接
をする。この場合、上記同様その近辺は電子ビーム溶接
時に発生する熱でもってプレージングシートが溶け、ブ
レージングがなされる。
の場合は、重ね溶接する部分のみプレージングシートを
切欠き金属板同士のみの電子ビーム溶接として重ね溶接
をする。この場合、上記同様その近辺は電子ビーム溶接
時に発生する熱でもってプレージングシートが溶け、ブ
レージングがなされる。
なお、ブレージングを全面に施工する場合、従来のブレ
ージングの要領で均一加熱することで電子ビームによる
重ね溶渉の前にすることができ、また、電子ビーム溶接
後でも、未溶着プレージングシートを同様の要領で均一
加熱することで行うことができる。
ージングの要領で均一加熱することで電子ビームによる
重ね溶渉の前にすることができ、また、電子ビーム溶接
後でも、未溶着プレージングシートを同様の要領で均一
加熱することで行うことができる。
ＪＥＴ、オ、□。−□ヶ□１゜１ｏよ、、□オ ）る。
図は、半導体製造装置の電極への本発明接合方法の適用
例である。すなわち、上板１に冷却水路用の溝３を加工
し、下板２との間にプレージングシート４を介在させて
電子ビーム溶接法により三者を重ね溶接する。溶接時、
重ね溶接部８の近辺は高温になり、それにより上板ｌ、
上下板より融点の低いプレージングシート４の一部分が
ブレージングされる。ろう付は部９がその範囲である。
例である。すなわち、上板１に冷却水路用の溝３を加工
し、下板２との間にプレージングシート４を介在させて
電子ビーム溶接法により三者を重ね溶接する。溶接時、
重ね溶接部８の近辺は高温になり、それにより上板ｌ、
上下板より融点の低いプレージングシート４の一部分が
ブレージングされる。ろう付は部９がその範囲である。
第２図は本発明の他の実施例を示し、金属板とプレージ
ングシートとの電子ビーム溶接が不向きの場合の一例で
ある。この場合は、電子ビーム溶接する部分のみプレー
ジングシート４を切欠き上板ｌに突起を設けて下板２と
直接接触するようにし、上板ｌと下板２とを電子ビーム
溶接法で重ね溶接したものである。しかして、この時に
発生する溶接熱でもって重ね溶接部８近辺のプレージン
グシート４の一部分はろう付は部９となる。
ングシートとの電子ビーム溶接が不向きの場合の一例で
ある。この場合は、電子ビーム溶接する部分のみプレー
ジングシート４を切欠き上板ｌに突起を設けて下板２と
直接接触するようにし、上板ｌと下板２とを電子ビーム
溶接法で重ね溶接したものである。しかして、この時に
発生する溶接熱でもって重ね溶接部８近辺のプレージン
グシート４の一部分はろう付は部９となる。
上記両実節制によれば、従来のブレージング施工よりも
簡単に金属板同士の接合ができ、しかも信頼性の高い接
合部が得られる。
簡単に金属板同士の接合ができ、しかも信頼性の高い接
合部が得られる。
なお、上記電子ビーム溶接は上下板を適宜加圧し、また
は加圧せずに行うものである。しかして、ブレージング
に代えてインサートメタルを用いる拡散接合を実施し、
また、電子ビーム溶接に代えてレーザ溶接を実施するこ
ともできる。
は加圧せずに行うものである。しかして、ブレージング
に代えてインサートメタルを用いる拡散接合を実施し、
また、電子ビーム溶接に代えてレーザ溶接を実施するこ
ともできる。
本発明によれば、ブレージング施工の短所であるろう付
は部の未溶着および剥離による洩れの問題が解決でき、
信頼性の高い接合部を得ることができるという効果があ
る。
は部の未溶着および剥離による洩れの問題が解決でき、
信頼性の高い接合部を得ることができるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
！Ｊ１図は、半導体製造装置の電極に本発明の接合方法
を適用した一実施例の縦断面図、第２図は、他の実施例
の縦断面図、第３図は、従来の半導体製造装置の電極の
ブレージング施工前の縦断面図、第４図は、第３図のＡ
−Ａ親図である。 ｌ・・・・・・上板、２・・・・・・下板、３・・・・
・・冷却水路用の溝、４・・・・・・プレージングシー
ト、５・・・・・・貫通穴、６・・・・・・出口、７・
・・・・・入口、８・曲・重ね溶接部、９才２図 第３図 第４ｆＪ
を適用した一実施例の縦断面図、第２図は、他の実施例
の縦断面図、第３図は、従来の半導体製造装置の電極の
ブレージング施工前の縦断面図、第４図は、第３図のＡ
−Ａ親図である。 ｌ・・・・・・上板、２・・・・・・下板、３・・・・
・・冷却水路用の溝、４・・・・・・プレージングシー
ト、５・・・・・・貫通穴、６・・・・・・出口、７・
・・・・・入口、８・曲・重ね溶接部、９才２図 第３図 第４ｆＪ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数の金属板とこれらの間に介在せしめたプレージ
ングシートとを電子ビーム溶接法により重ね溶接し、上
記金属板を電子ビーム溶接とその電子ビーム溶接の溶接
熱によるブレージングとにより接合するようにしたこと
を特徴とする複数金属板の接合方法。 ２、重ね溶接する部分は、プレージングシートを切欠き
金属板同士を接触せしめ特許請求の範囲第１項記載の複
数金属板の接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11453384A JPS60257967A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 複数金属板の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11453384A JPS60257967A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 複数金属板の接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60257967A true JPS60257967A (ja) | 1985-12-19 |
Family
ID=14640130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11453384A Pending JPS60257967A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 複数金属板の接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60257967A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996022854A1 (en) * | 1995-01-23 | 1996-08-01 | Dresser-Rand Company | Energy beam joining process producing a dual weld/braze joint |
| US5786559A (en) * | 1995-10-17 | 1998-07-28 | Meyer Tool, Inc. | Weld-braze process |
| JP2007136532A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 建設機械の作業機構成部材と補強部材の接合方法 |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP11453384A patent/JPS60257967A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996022854A1 (en) * | 1995-01-23 | 1996-08-01 | Dresser-Rand Company | Energy beam joining process producing a dual weld/braze joint |
| US5786559A (en) * | 1995-10-17 | 1998-07-28 | Meyer Tool, Inc. | Weld-braze process |
| JP2007136532A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 建設機械の作業機構成部材と補強部材の接合方法 |
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