JPH09189624A - トルクセンサ - Google Patents
トルクセンサInfo
- Publication number
- JPH09189624A JPH09189624A JP8002696A JP269696A JPH09189624A JP H09189624 A JPH09189624 A JP H09189624A JP 8002696 A JP8002696 A JP 8002696A JP 269696 A JP269696 A JP 269696A JP H09189624 A JPH09189624 A JP H09189624A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- rotating shaft
- side rotating
- magnet member
- torque
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転体のトルクを検出するトルクセンサにお
いて、２つの出力パルスの位相差からトルク量に換算す
る方法では、任意の位置で静止した拘束状態でのトルク
検出は、正確に検出できない問題があった。 【解決手段】 駆動側回転軸１０の軸上に一定周期で着
磁された第１の磁石部材１４と、従動側回転軸１１の軸
上に一定周期で着磁された第２の磁石部材１５と、これ
らに近接・対向して磁石部材１４、１５からの磁束を検
出する第１および第２の磁気検出素子１６、１７とを設
け、前記磁気検出素子１６、１７の正弦波状からなる検
出出力と、この２つの検出出力から検出出力の位相差を
求める位相差演算手段４４を備えた。
いて、２つの出力パルスの位相差からトルク量に換算す
る方法では、任意の位置で静止した拘束状態でのトルク
検出は、正確に検出できない問題があった。 【解決手段】 駆動側回転軸１０の軸上に一定周期で着
磁された第１の磁石部材１４と、従動側回転軸１１の軸
上に一定周期で着磁された第２の磁石部材１５と、これ
らに近接・対向して磁石部材１４、１５からの磁束を検
出する第１および第２の磁気検出素子１６、１７とを設
け、前記磁気検出素子１６、１７の正弦波状からなる検
出出力と、この２つの検出出力から検出出力の位相差を
求める位相差演算手段４４を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動力伝達機構に
おいて、静止あるいは回転駆動している物体のトルクを
非接触で検出するトルクセンサに関するものである。
おいて、静止あるいは回転駆動している物体のトルクを
非接触で検出するトルクセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回転駆動している物体のトルク検
出には、回転軸のねじれを利用した検出がよく使われて
いる。例えば、回転軸に少なくとも２つのロータリーエ
ンコーダを設け、それぞれのロータリーエンコーダから
の出力パルスの位相差から回転軸のねじれ角を求めて、
トルクに換算する方法である。（特開昭６０−１８７３
４号）また、前記ロータリーエンコーダのほかに、電磁
誘導や静電誘導を用いた検出方法により、回転信号を検
出して位相差を求めトルクに換算する方法がある。
出には、回転軸のねじれを利用した検出がよく使われて
いる。例えば、回転軸に少なくとも２つのロータリーエ
ンコーダを設け、それぞれのロータリーエンコーダから
の出力パルスの位相差から回転軸のねじれ角を求めて、
トルクに換算する方法である。（特開昭６０−１８７３
４号）また、前記ロータリーエンコーダのほかに、電磁
誘導や静電誘導を用いた検出方法により、回転信号を検
出して位相差を求めトルクに換算する方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
出力パルスの位相差から回転軸のねじれ角を求めて、ト
ルクに換算する方法には、次に説明する問題点がある。
出力パルスの位相差から回転軸のねじれ角を求めて、ト
ルクに換算する方法には、次に説明する問題点がある。
【０００４】図６は、従来の出力パルスの位相差からト
ルクを求める原理図である。まず図６（ａ）は、回転軸
にトルクがかかっていない無負荷の状態にある。この場
合、駆動側と従動側にある回転検出器（例えばロータリ
ーエンコーダ）の検出器出力Ａ５０と検出器出力Ｂ５１
は同位相のままである。したがって、位相差は０である
のでトルクも０となる。次に、負荷が加わり駆動側と従
動側を結合している弾性体がねじれると、従動側に設け
られた回転検出器の出力Ｂ５１は、ねじれた分だけ時間
的に遅れるため、図６（ｂ）に示すように検出器出力Ａ
５０とのあいだに位相差φ５２が生じる。
ルクを求める原理図である。まず図６（ａ）は、回転軸
にトルクがかかっていない無負荷の状態にある。この場
合、駆動側と従動側にある回転検出器（例えばロータリ
ーエンコーダ）の検出器出力Ａ５０と検出器出力Ｂ５１
は同位相のままである。したがって、位相差は０である
のでトルクも０となる。次に、負荷が加わり駆動側と従
動側を結合している弾性体がねじれると、従動側に設け
られた回転検出器の出力Ｂ５１は、ねじれた分だけ時間
的に遅れるため、図６（ｂ）に示すように検出器出力Ａ
５０とのあいだに位相差φ５２が生じる。
【０００５】この位相差φ５２は、負荷トルクの量に比
例しているため、この位相差量から定量的にトルク値を
知ることができる。この位相差φ５２の検出には、検出
器Ａ、Ｂの出力パルスの立ち上がりあるいは立ち下がり
のエッジを監視している。このため、回転軸が常に回転
していてパスルを出力しなければ位相差は検出できな
い。
例しているため、この位相差量から定量的にトルク値を
知ることができる。この位相差φ５２の検出には、検出
器Ａ、Ｂの出力パルスの立ち上がりあるいは立ち下がり
のエッジを監視している。このため、回転軸が常に回転
していてパスルを出力しなければ位相差は検出できな
い。
【０００６】そこで、回転軸が図６（ａ）のt0の位置で
停止している状態を考える。この停止位置t0からトルク
が加わり、図６（ｃ）に示すように検出器出力ＡとＢの
あいだに位相差φ５２が生じたとする。この場合、出力
パルスの立ち上がりエッジで検出される位相差はφｐ５
４となる。つまり、このような出力パスルの位相差を検
出するだけでは、検出できない位相差φｄ５３が生じて
しまい、正確なトルク量を検出できない問題がある。
停止している状態を考える。この停止位置t0からトルク
が加わり、図６（ｃ）に示すように検出器出力ＡとＢの
あいだに位相差φ５２が生じたとする。この場合、出力
パルスの立ち上がりエッジで検出される位相差はφｐ５
４となる。つまり、このような出力パスルの位相差を検
出するだけでは、検出できない位相差φｄ５３が生じて
しまい、正確なトルク量を検出できない問題がある。
【０００７】また、電磁誘導や静電誘導を用いた検出方
法では、構造が複雑なため検出装置自体が大型化且つ大
重量化になる傾向があり、省スペースでトルクセンサを
構成しなければならない駆動力伝達機構では問題とな
る。
法では、構造が複雑なため検出装置自体が大型化且つ大
重量化になる傾向があり、省スペースでトルクセンサを
構成しなければならない駆動力伝達機構では問題とな
る。
【０００８】本発明は、このような問題を解決するため
のもので、駆動力伝達機構において、任意の位置で静止
あるいは回転駆動している回転体のトルクを非接触で検
出するトルクセンサを提供することを第１の目的として
いる。また、本発明は、シンプルな構成により小形・軽
量で安価なトルクセンサを提供することを第２の目的と
している。
のもので、駆動力伝達機構において、任意の位置で静止
あるいは回転駆動している回転体のトルクを非接触で検
出するトルクセンサを提供することを第１の目的として
いる。また、本発明は、シンプルな構成により小形・軽
量で安価なトルクセンサを提供することを第２の目的と
している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のトルクセンサは、駆動側回転軸と従動側回
転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆動力伝達機構
において、前記駆動側回転軸の軸上に一定周期で着磁さ
れた第１の磁石部材と、この第１の磁石部材から所定の
距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に一定周期で着
磁された第２の磁石部材と、前記第１および第２の磁石
部材に近接・対向してこの磁石部材からの磁束を検出す
る第１および第２の磁気検出素子とを設け、前記第１お
よび第２の磁気検出素子の正弦波状からなる検出出力
と、この検出出力を差動検出する手段と、絶対値に変換
する手段と、平滑化する手段とを備えたことを特徴とす
る。
に、本発明のトルクセンサは、駆動側回転軸と従動側回
転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆動力伝達機構
において、前記駆動側回転軸の軸上に一定周期で着磁さ
れた第１の磁石部材と、この第１の磁石部材から所定の
距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に一定周期で着
磁された第２の磁石部材と、前記第１および第２の磁石
部材に近接・対向してこの磁石部材からの磁束を検出す
る第１および第２の磁気検出素子とを設け、前記第１お
よび第２の磁気検出素子の正弦波状からなる検出出力
と、この検出出力を差動検出する手段と、絶対値に変換
する手段と、平滑化する手段とを備えたことを特徴とす
る。
【００１０】このように構成することにより、駆動力伝
達機構の回転軸が低速回転状態から高速回転状態まで広
範囲なトルク検出が可能となる。
達機構の回転軸が低速回転状態から高速回転状態まで広
範囲なトルク検出が可能となる。
【００１１】また、本発明のトルクセンサは、駆動側回
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力から、第１の磁気検出素子の一周期分の検
出出力値と、各位相差における第２の磁気検出素子の検
出出力値より位相差を求める位相差演算手段を備えたこ
とを特徴とする。したがって、駆動力伝達機構の回転軸
が停止（拘束）した状態でもトルクの検出が可能とな
る。
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力から、第１の磁気検出素子の一周期分の検
出出力値と、各位相差における第２の磁気検出素子の検
出出力値より位相差を求める位相差演算手段を備えたこ
とを特徴とする。したがって、駆動力伝達機構の回転軸
が停止（拘束）した状態でもトルクの検出が可能とな
る。
【００１２】また、本発明のトルクセンサは、駆動側回
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１または第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力を計数する計数手段を備えたことを特徴と
するしたがって、トルク検出値と同時に駆動力伝達機構
の回転速度が得られ、トルクを制御したりする上での利
便性が向上する。
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１または第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力を計数する計数手段を備えたことを特徴と
するしたがって、トルク検出値と同時に駆動力伝達機構
の回転速度が得られ、トルクを制御したりする上での利
便性が向上する。
【００１３】また、本発明のトルクセンサは、前記磁気
検出素子の背面側に、高透磁率材料もしくは軟磁性材を
用いた集磁部材を設けたことを特徴とする。
検出素子の背面側に、高透磁率材料もしくは軟磁性材を
用いた集磁部材を設けたことを特徴とする。
【００１４】したがって、この集磁部材により、磁石部
材が生成する磁束を磁気検出素子に集束化できるので、
磁気検出素子のセンサ感度を向上させることができる。
材が生成する磁束を磁気検出素子に集束化できるので、
磁気検出素子のセンサ感度を向上させることができる。
【００１５】また、本発明のトルクセンサは、前記第１
と第２の磁石部材および第１と第２の磁気検出素子を、
磁気シールドを備えたケース内に収納したことを特徴と
する。
と第２の磁石部材および第１と第２の磁気検出素子を、
磁気シールドを備えたケース内に収納したことを特徴と
する。
【００１６】これにより、電動機等から発生する電磁的
なノイズの影響を最小限にでき、ケース外の粉塵等の雰
囲気から隔離されるので、良好な計測精度を効果的に確
保することができる。
なノイズの影響を最小限にでき、ケース外の粉塵等の雰
囲気から隔離されるので、良好な計測精度を効果的に確
保することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例について
説明する。図１は本発明の一実施例にかかわるトルクセ
ンサを示す断面図である。このトルクセンサは、電動バ
イクや車等にある駆動力伝達装置の駆動側に加わるトル
クを検出するもので、駆動側と従動側のあいだに接続さ
れた弾性体１８（本例ではトーションバー）のねじれを
トルク値として検出するものである。この弾性体１８
は、トルクに応じたねじれを発生するものであれば、ト
ーションバーに限定されず、ねじりコイルばねなど任意
のものを用いてもよい。
説明する。図１は本発明の一実施例にかかわるトルクセ
ンサを示す断面図である。このトルクセンサは、電動バ
イクや車等にある駆動力伝達装置の駆動側に加わるトル
クを検出するもので、駆動側と従動側のあいだに接続さ
れた弾性体１８（本例ではトーションバー）のねじれを
トルク値として検出するものである。この弾性体１８
は、トルクに応じたねじれを発生するものであれば、ト
ーションバーに限定されず、ねじりコイルばねなど任意
のものを用いてもよい。
【００１８】あらかじめ定められた寸法と材質により形
成され、所定のばね定数が確保されているこのトーショ
ンバーからなる弾性体１８の端部１２、１３には、リン
グ状の多極着磁された第１の磁石部材１４と第２の磁石
部材１５が固着されていると共に、集磁部材１９に納め
られた第１の磁気検出素子１６と第２の磁気検出素子１
７が前記磁石部材１４、１５に近接・対向した位置にて
構成されている。そして、この第１の磁気検出素子１６
と第２の磁気検出素子１７が設けられた集磁部材１９
は、円筒状のケース２０に固定されている。駆動側と従
動側の回転軸１０，１１は、ケース２０に固定された軸
受け２１を介して回転可能に軸支されている。
成され、所定のばね定数が確保されているこのトーショ
ンバーからなる弾性体１８の端部１２、１３には、リン
グ状の多極着磁された第１の磁石部材１４と第２の磁石
部材１５が固着されていると共に、集磁部材１９に納め
られた第１の磁気検出素子１６と第２の磁気検出素子１
７が前記磁石部材１４、１５に近接・対向した位置にて
構成されている。そして、この第１の磁気検出素子１６
と第２の磁気検出素子１７が設けられた集磁部材１９
は、円筒状のケース２０に固定されている。駆動側と従
動側の回転軸１０，１１は、ケース２０に固定された軸
受け２１を介して回転可能に軸支されている。
【００１９】この集磁部材１９は、高透磁率材料もしく
は軟磁性材を用いて形成されいる。したがって、第１ま
たは第２の磁石部材１４、１５から所定のギャップを介
して磁気検出素子に到達する磁束量は、この集磁部材１
９が存在することによりこれに誘導されて、効率良く磁
束が検出できる。
は軟磁性材を用いて形成されいる。したがって、第１ま
たは第２の磁石部材１４、１５から所定のギャップを介
して磁気検出素子に到達する磁束量は、この集磁部材１
９が存在することによりこれに誘導されて、効率良く磁
束が検出できる。
【００２０】また、磁気検出素子としては、ホール素子
が用いられ、このホール素子の検知部は、温度特性が良
好なガリウム・ヒ素タイプを用いている。更に、一定周
期で着磁されたリング状の第１および第２の磁石部材１
４、１５も同様に、良好な温度特性を有するサマリウム
コバルト系が用いられる。なお、磁気検出素子としてＭ
Ｒ（磁気抵抗効果）素子を用いても構成することができ
る。
が用いられ、このホール素子の検知部は、温度特性が良
好なガリウム・ヒ素タイプを用いている。更に、一定周
期で着磁されたリング状の第１および第２の磁石部材１
４、１５も同様に、良好な温度特性を有するサマリウム
コバルト系が用いられる。なお、磁気検出素子としてＭ
Ｒ（磁気抵抗効果）素子を用いても構成することができ
る。
【００２１】このような構成を磁気シールドを備えたケ
ース２０内に収納しているため、電動機等から発生する
電磁的なノイズや、周囲の粉塵などから本センサを防ぐ
ことができ、検出精度や信頼性、寿命といった面を向上
させることができる。
ース２０内に収納しているため、電動機等から発生する
電磁的なノイズや、周囲の粉塵などから本センサを防ぐ
ことができ、検出精度や信頼性、寿命といった面を向上
させることができる。
【００２２】さらに、磁石部材と磁気検出素子を用いた
シンプルな構成であるため、電磁誘導や静電誘導を用い
た検出方法等に比べ、小形・軽量化しやすい。
シンプルな構成であるため、電磁誘導や静電誘導を用い
た検出方法等に比べ、小形・軽量化しやすい。
【００２３】次に、本発明の動作原理について説明す
る。図２は、本発明のトルク検出手段を示すブロック図
である。弾性体１８がねじれることによって発生する磁
気検出素子の検出出力Ａ、Ｂは、信号線２２を通り、図
２のトルク検出手段に入る。このトルク検出手段では、
検出出力Ａ、Ｂをいったん増幅手段３２で信号増幅して
から、差動増幅手段３３、位相差演算手段４４、パルス
計数手段４０にそれぞれ入力される。差動増幅手段３３
に入った検出出力Ａ、Ｂは、差信号３７を得る。この差
信号３７の占める面積は、トルク量と比例しているが、
このままでは両極性を持つ信号であるため、トルク検出
値として不都合である。このため、絶対値変換手段３４
により差信号３７は絶対値化される。そして、この絶対
値化した差信号３８は、回転判別手段４３により駆動側
回転軸１０が回転していれば平滑化手段３５に入り、平
滑化されてトルク値３６を得る。また、パルス計数手段
４０からの出力がなく、回転判別手段４３は、駆動側回
転軸１０が回転していないと判断すれば、位相差演算手
段４４からの停止トルク値４５が平滑化手段３５へ出力
され、トルク値３６を得る。
る。図２は、本発明のトルク検出手段を示すブロック図
である。弾性体１８がねじれることによって発生する磁
気検出素子の検出出力Ａ、Ｂは、信号線２２を通り、図
２のトルク検出手段に入る。このトルク検出手段では、
検出出力Ａ、Ｂをいったん増幅手段３２で信号増幅して
から、差動増幅手段３３、位相差演算手段４４、パルス
計数手段４０にそれぞれ入力される。差動増幅手段３３
に入った検出出力Ａ、Ｂは、差信号３７を得る。この差
信号３７の占める面積は、トルク量と比例しているが、
このままでは両極性を持つ信号であるため、トルク検出
値として不都合である。このため、絶対値変換手段３４
により差信号３７は絶対値化される。そして、この絶対
値化した差信号３８は、回転判別手段４３により駆動側
回転軸１０が回転していれば平滑化手段３５に入り、平
滑化されてトルク値３６を得る。また、パルス計数手段
４０からの出力がなく、回転判別手段４３は、駆動側回
転軸１０が回転していないと判断すれば、位相差演算手
段４４からの停止トルク値４５が平滑化手段３５へ出力
され、トルク値３６を得る。
【００２４】このトルク検出手段について、図３から図
５を用いてさらに詳細に説明する。まず、従動側回転軸
１１にトルクがかかっていない無負荷の状態で回転して
いる場合は、弾性体１８はねじれていないため、駆動側
回転軸１０と従動側回転軸１１にある磁気検出素子の出
力は、同位相のままである。したがって、トルク値は０
となる。
５を用いてさらに詳細に説明する。まず、従動側回転軸
１１にトルクがかかっていない無負荷の状態で回転して
いる場合は、弾性体１８はねじれていないため、駆動側
回転軸１０と従動側回転軸１１にある磁気検出素子の出
力は、同位相のままである。したがって、トルク値は０
となる。
【００２５】次に、回転中、従動側回転軸１１にトルク
（負荷）が加わると、トーションバーからなる弾性体１
８には、トルク量に比例したねじりが生じて、駆動側回
転軸１０と従動側回転軸１１とのあいだには、ねじれ角
に応じた角度変位が生じる。その結果、図３（ａ）に示
すように、第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０と
第２の磁気検出素子の検出出力Ｂ３１には、このねじれ
角に比例して位相差φ４２があらわれる。トルク検出手
段は、差動増幅手段３３により、この２つの検出信号の
差をとり、差信号３７をつくる。そして、この差信号３
７を絶対値変換手段３４により図３（ｂ）に示すように
絶対値化する。この場合、回転軸は回転中であるため、
パルス計数手段４０から速度値４１が出力されている。
したがって、回転判別手段４３は回転中と判断し、絶対
値化された差信号３８は平滑化手段３５にそのまま入
り、この信号を平滑化させて図３（ｃ）のようなトルク
値３６が得られる。このようにして、回転している回転
軸のトルク検出が可能となる。
（負荷）が加わると、トーションバーからなる弾性体１
８には、トルク量に比例したねじりが生じて、駆動側回
転軸１０と従動側回転軸１１とのあいだには、ねじれ角
に応じた角度変位が生じる。その結果、図３（ａ）に示
すように、第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０と
第２の磁気検出素子の検出出力Ｂ３１には、このねじれ
角に比例して位相差φ４２があらわれる。トルク検出手
段は、差動増幅手段３３により、この２つの検出信号の
差をとり、差信号３７をつくる。そして、この差信号３
７を絶対値変換手段３４により図３（ｂ）に示すように
絶対値化する。この場合、回転軸は回転中であるため、
パルス計数手段４０から速度値４１が出力されている。
したがって、回転判別手段４３は回転中と判断し、絶対
値化された差信号３８は平滑化手段３５にそのまま入
り、この信号を平滑化させて図３（ｃ）のようなトルク
値３６が得られる。このようにして、回転している回転
軸のトルク検出が可能となる。
【００２６】次に、回転軸が任意の位置で停止した状態
において、駆動側回転軸１０が拘束されて、従動側回転
軸１１にトルクが加わるような場合を考える。図４は、
ある所定のトルクが従動側回転軸１１に加わり、第２の
磁気検出素子の出力１７に位相差が生じている様子を示
している。なお、黒点は、停止時の検出出力値Ａ３０、
Ｂ３１を示し、破線は、一定回転時に発生する検出出力
波形を示す。
において、駆動側回転軸１０が拘束されて、従動側回転
軸１１にトルクが加わるような場合を考える。図４は、
ある所定のトルクが従動側回転軸１１に加わり、第２の
磁気検出素子の出力１７に位相差が生じている様子を示
している。なお、黒点は、停止時の検出出力値Ａ３０、
Ｂ３１を示し、破線は、一定回転時に発生する検出出力
波形を示す。
【００２７】今、回転軸が任意の位置、例えばＰ０で停
止している場合、第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ
３０の値は０、第２の磁気検出素子１７の検出出力Ｂ３
１は−０．８６が出力されている。この２つの値は、位
相差演算手段４４に入り、停止トルクを得るための変換
テーブルで参照される。図５は、位相差演算手段４４に
構成される停止トルク変換テーブルの詳細を示すもので
ある。この変換テーブルは、第１の磁気検出素子１６の
０から３６０度までの一周期分の検出出力値Ａ６０に対
して、各位相差φ６２のときの第２の磁気検出素子１７
の検出出力値Ｂ６１が対応する構成となっている。した
がって、検出出力Ａ３０が０、検出出力Ｂ３１が−０．
８６である場合、まず位相差演算手段４４は、検出出力
Ａ６０の中から検出出力Ａ３０の値０と一致するものを
探す。すると検出出力Ａ６０の中で、０になる状態は３
つ（Ｐ０，Ｐ２，Ｐ０）存在する。次に、この３つのう
ち、検出出力Ｂ６１の中から検出出力Ｂ３１の値−０．
８６と一致するものを探す。すると−０．８６になる状
態は２つ（Ｐ０，Ｐ０）存在し、この２つは同じ位相差
φ６２の６０度のテーブル中にあるため、検出出力Ａ３
０と検出出力Ｂ３１の位相差は６０度と判明する。
止している場合、第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ
３０の値は０、第２の磁気検出素子１７の検出出力Ｂ３
１は−０．８６が出力されている。この２つの値は、位
相差演算手段４４に入り、停止トルクを得るための変換
テーブルで参照される。図５は、位相差演算手段４４に
構成される停止トルク変換テーブルの詳細を示すもので
ある。この変換テーブルは、第１の磁気検出素子１６の
０から３６０度までの一周期分の検出出力値Ａ６０に対
して、各位相差φ６２のときの第２の磁気検出素子１７
の検出出力値Ｂ６１が対応する構成となっている。した
がって、検出出力Ａ３０が０、検出出力Ｂ３１が−０．
８６である場合、まず位相差演算手段４４は、検出出力
Ａ６０の中から検出出力Ａ３０の値０と一致するものを
探す。すると検出出力Ａ６０の中で、０になる状態は３
つ（Ｐ０，Ｐ２，Ｐ０）存在する。次に、この３つのう
ち、検出出力Ｂ６１の中から検出出力Ｂ３１の値−０．
８６と一致するものを探す。すると−０．８６になる状
態は２つ（Ｐ０，Ｐ０）存在し、この２つは同じ位相差
φ６２の６０度のテーブル中にあるため、検出出力Ａ３
０と検出出力Ｂ３１の位相差は６０度と判明する。
【００２８】回転軸がＰ０以外、例えば図４のＰ１の位
置でも同様である。Ｐ１の位置では、検出出力Ａ３０の
値は０．８６、検出出力Ｂ３１も同じく０．８６が出力
されている。この場合、検出出力Ａ６０の中で検出出力
Ａ３０の値０．８６と一致する状態は２つある。次に、
この２つの状態のうち、検出出力Ｂ６１の中から検出出
力Ｂ３１の値０．８６と一致するものを探すと位相差φ
６２の６０度のテーブル中にあることが判明する。
置でも同様である。Ｐ１の位置では、検出出力Ａ３０の
値は０．８６、検出出力Ｂ３１も同じく０．８６が出力
されている。この場合、検出出力Ａ６０の中で検出出力
Ａ３０の値０．８６と一致する状態は２つある。次に、
この２つの状態のうち、検出出力Ｂ６１の中から検出出
力Ｂ３１の値０．８６と一致するものを探すと位相差φ
６２の６０度のテーブル中にあることが判明する。
【００２９】回転軸がＰ０、Ｐ１以外で停止しているよ
うな場合、例えば図４のＰ２そしてＰ３などといった場
所においても前記同様に図５に示す変換テーブルから位
相差φを知ることができる。
うな場合、例えば図４のＰ２そしてＰ３などといった場
所においても前記同様に図５に示す変換テーブルから位
相差φを知ることができる。
【００３０】このように、図４の停止トルク状態におい
ても、位相差演算手段４４により、位相差は６０度と判
別でき、この位相差６０度に対応した所定の電圧が停止
トルク値４５となる。そして、回転判別手段４３に入
り、パルス計数手段４０からの出力がなければ、絶対値
変換手段３４からの絶対値化された差信号３８は出力さ
れず、停止トルク値４５が平滑化手段３５へ出力され、
滑らかに平滑化されたあとトルク値３６となる。
ても、位相差演算手段４４により、位相差は６０度と判
別でき、この位相差６０度に対応した所定の電圧が停止
トルク値４５となる。そして、回転判別手段４３に入
り、パルス計数手段４０からの出力がなければ、絶対値
変換手段３４からの絶対値化された差信号３８は出力さ
れず、停止トルク値４５が平滑化手段３５へ出力され、
滑らかに平滑化されたあとトルク値３６となる。
【００３１】なお、図５に示した位相差演算手段４４の
構成は、本実施例のような変換テーブルによるものでな
くても関数式などを用いた演算方法でもよい。
構成は、本実施例のような変換テーブルによるものでな
くても関数式などを用いた演算方法でもよい。
【００３２】このように、駆動力伝達機構の回転軸が、
回転中であっても、あるいは、任意の位置で停止した状
態においてもトルクの検出が可能でとなる。
回転中であっても、あるいは、任意の位置で停止した状
態においてもトルクの検出が可能でとなる。
【００３３】本トルクセンサのトルク検出手段は、第１
および第２の磁気検出素子１６、１７の正弦波状の検出
出力をみているため、正弦波状出力の１８０度を超える
位相差（トルク値）は検出できない。このため、トルク
検出範囲としては、第１および第２の磁気検出素子１
６、１７の正弦波状波形の０以上１８０度未満までとな
る。すなわち、この範囲以内に、弾性体１８のねじれ範
囲を設定すれば、検出感度を最大にでき、検出精度も向
上させることができる。
および第２の磁気検出素子１６、１７の正弦波状の検出
出力をみているため、正弦波状出力の１８０度を超える
位相差（トルク値）は検出できない。このため、トルク
検出範囲としては、第１および第２の磁気検出素子１
６、１７の正弦波状波形の０以上１８０度未満までとな
る。すなわち、この範囲以内に、弾性体１８のねじれ範
囲を設定すれば、検出感度を最大にでき、検出精度も向
上させることができる。
【００３４】次に、本トルクセンサを利用した、速度セ
ンサについて説明する。
ンサについて説明する。
【００３５】先の図２に示した実施例は、トルク検出手
段の第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０の増幅手
段３２のあとに、パルス計数手段４０を構成したもので
ある。磁気検出素子の検出出力Ａ３０の正弦波状出力
は、このパルス計数手段４０によりパルスに変換・カウ
ントされる。これにより、回転軸の速度値４１が得られ
るようになる。
段の第１の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０の増幅手
段３２のあとに、パルス計数手段４０を構成したもので
ある。磁気検出素子の検出出力Ａ３０の正弦波状出力
は、このパルス計数手段４０によりパルスに変換・カウ
ントされる。これにより、回転軸の速度値４１が得られ
るようになる。
【００３６】このパルス計数手段４０は、あるカウント
タイミングと、次のカウントタイミングまでの時間差を
計測して、回転速度を算出してもよいし、また、ある所
定時間内に計測されたカウント数から算出しても良い。
タイミングと、次のカウントタイミングまでの時間差を
計測して、回転速度を算出してもよいし、また、ある所
定時間内に計測されたカウント数から算出しても良い。
【００３７】なお、第１または第２の磁気検出素子の検
出出力のどちらか一方でも回転軸の速度を計測すること
ができる。本実施例の場合には、停止トルク検出のため
の回転判別に使っているため、拘束される側である第１
の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０を速度検出する方
が望ましい。また、回転速度の検出精度を要求する場合
には、負荷側に直結している従動側回転軸１１の第２の
磁気検出素子１７の検出出力Ｂ３１に基づき、回転速度
を検出する方が、より正確になり望ましい。
出出力のどちらか一方でも回転軸の速度を計測すること
ができる。本実施例の場合には、停止トルク検出のため
の回転判別に使っているため、拘束される側である第１
の磁気検出素子１６の検出出力Ａ３０を速度検出する方
が望ましい。また、回転速度の検出精度を要求する場合
には、負荷側に直結している従動側回転軸１１の第２の
磁気検出素子１７の検出出力Ｂ３１に基づき、回転速度
を検出する方が、より正確になり望ましい。
【００３８】このように、トルクセンサに用いられる磁
気検出素子を利用して、速度センサを構成しているた
め、コストダウンが図られるとともにセンサとしての付
加価値もあがり、利便性が向上する。
気検出素子を利用して、速度センサを構成しているた
め、コストダウンが図られるとともにセンサとしての付
加価値もあがり、利便性が向上する。
【００３９】なお、上述したトルク検出手段のうち、差
動増幅手段３３や、絶対値変換手段３４、平滑化手段３
５、回転判別手段４３、そしてパルス計数手段４０は、
オペアンプ等を用いたハードウェアでも、あるいはＣＰ
Ｕ等を用いたソフトウェアでも実現でき、その別は問わ
ない。
動増幅手段３３や、絶対値変換手段３４、平滑化手段３
５、回転判別手段４３、そしてパルス計数手段４０は、
オペアンプ等を用いたハードウェアでも、あるいはＣＰ
Ｕ等を用いたソフトウェアでも実現でき、その別は問わ
ない。
【００４０】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、駆動側回
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力と、この検出出力を差動検出する手段と、
絶対値に変換する手段と、平滑化する手段とを備えたこ
とを特徴とするトルクセンサである。したがって、駆動
力伝達機構の回転軸が低速状態から高速回転状態に至る
まで連続的にトルクが検出できる。さらに、磁石部材お
よび磁気検出素子を用いたシンプルな構成であるため、
電磁誘導や静電誘導を用いた検出方法等に比べ、小形・
軽量化しやすい。
転軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる
駆動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一
定周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石
部材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上
に一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１お
よび第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材から
の磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力と、この検出出力を差動検出する手段と、
絶対値に変換する手段と、平滑化する手段とを備えたこ
とを特徴とするトルクセンサである。したがって、駆動
力伝達機構の回転軸が低速状態から高速回転状態に至る
まで連続的にトルクが検出できる。さらに、磁石部材お
よび磁気検出素子を用いたシンプルな構成であるため、
電磁誘導や静電誘導を用いた検出方法等に比べ、小形・
軽量化しやすい。
【００４１】請求項２記載の発明によれば、駆動側回転
軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆
動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一定
周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石部
材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に
一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１およ
び第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材からの
磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力から、第１の磁気検出素子の一周期分の検
出出力値と、各位相差における第２の磁気検出素子の検
出出力値より位相差を求める位相差演算手段を備えたこ
とを特徴とするトルクセンサである。したがって、駆動
力伝達機構の回転軸が拘束されている状態においても正
確なトルク検出が可能となる。
軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆
動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一定
周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石部
材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に
一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１およ
び第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材からの
磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１および第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力から、第１の磁気検出素子の一周期分の検
出出力値と、各位相差における第２の磁気検出素子の検
出出力値より位相差を求める位相差演算手段を備えたこ
とを特徴とするトルクセンサである。したがって、駆動
力伝達機構の回転軸が拘束されている状態においても正
確なトルク検出が可能となる。
【００４２】請求項３記載の発明によれば、駆動側回転
軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆
動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一定
周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石部
材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に
一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１およ
び第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材からの
磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１または第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力を計数する計数手段を備えたことを特徴と
するトルクセンサである。このように、トルク検出手段
を速度センサとしても兼用できるので、追加する回路機
器等を不要にでき、低コスト化を図ることができる。ま
た、トルク検出値と同時に駆動力伝達機構の回転速度が
得られ、トルクを制御したりする上での利便性が向上す
る。
軸と従動側回転軸とを弾性体部材によって伝達させる駆
動力伝達機構において、前記駆動側回転軸の軸上に一定
周期で着磁された第１の磁石部材と、この第１の磁石部
材から所定の距離を隔てて、前記従動側回転軸の軸上に
一定周期で着磁された第２の磁石部材と、前記第１およ
び第２の磁石部材に近接・対向してこの磁石部材からの
磁束を検出する第１および第２の磁気検出素子とを設
け、前記第１または第２の磁気検出素子の正弦波状から
なる検出出力を計数する計数手段を備えたことを特徴と
するトルクセンサである。このように、トルク検出手段
を速度センサとしても兼用できるので、追加する回路機
器等を不要にでき、低コスト化を図ることができる。ま
た、トルク検出値と同時に駆動力伝達機構の回転速度が
得られ、トルクを制御したりする上での利便性が向上す
る。
【００４３】請求項４記載の発明によれば、前記磁気検
出素子の背面側に、高透磁率材料もしくは軟磁性材を用
いた集磁部材を設けたことを特徴とするトルクセンサで
ある。したがって、この集磁部材により、磁石部材が生
成する磁束を磁気検出素子に集束化できるので、磁気検
出素子のセンサ感度および検出精度を向上させることが
できる。
出素子の背面側に、高透磁率材料もしくは軟磁性材を用
いた集磁部材を設けたことを特徴とするトルクセンサで
ある。したがって、この集磁部材により、磁石部材が生
成する磁束を磁気検出素子に集束化できるので、磁気検
出素子のセンサ感度および検出精度を向上させることが
できる。
【００４４】請求項５記載の発明によれば、第１と第２
の磁石部材および第１と第２の磁気検出素子を、磁気シ
ールドを備えたケース内に収納したことを特徴とするト
ルクセンサである。これにより、電動機等から発生する
電磁的なノイズの影響を最小限にできる。また、ケース
外の粉塵等の雰囲気から隔離されるので、周囲の粉塵な
どから本センサを防ぐことができ、検出精度や信頼性お
よび寿命を効果的に確保することができる。
の磁石部材および第１と第２の磁気検出素子を、磁気シ
ールドを備えたケース内に収納したことを特徴とするト
ルクセンサである。これにより、電動機等から発生する
電磁的なノイズの影響を最小限にできる。また、ケース
外の粉塵等の雰囲気から隔離されるので、周囲の粉塵な
どから本センサを防ぐことができ、検出精度や信頼性お
よび寿命を効果的に確保することができる。
【図１】本発明のトルクセンサを示す断面図。
【図２】本発明のトルク検出手段を示すブロック図。
【図３】本発明のトルクセンサの動作原理図（回転
時）。
時）。
【図４】本発明のトルクセンサの動作原理図（停止
時）。
時）。
【図５】本発明の位相差演算手段の停止トルク変換テー
ブルを示す構成図。
ブルを示す構成図。
【図６】従来のトルク検出を示す動作原理図。
１０ 駆動側回転軸 １１ 従動側回転軸 １２ 弾性体端部 １３ 弾性体端部 １４ 第１の磁石部材 １５ 第２の磁石部材 １６ 第１の磁気検出素子 １７ 第２の磁気検出素子 １８ 弾性体 １９ 集磁部材 ２０ ケース ２１ 軸受け ２２ 信号線 ３０ 磁気検出素子の検出出力Ａ ３１ 磁気検出素子の検出出力Ｂ ３２ 増幅手段 ３３ 差動増幅手段 ３４ 絶対値変換手段 ３５ 平滑化手段 ３６ トルク値 ３７ 差信号 ３８ 絶対値化された差信号 ３９ 平滑化された差信号 ４０ パルス計数手段 ４１ 速度値 ４２ 位相差φ ４３ 回転判別手段 ４４ 位相差演算手段 ４５ 停止トルク値 ５０ 検出器出力Ａ ５１ 検出器出力Ｂ ５２ 発生する位相差φ ５３ 検出不可能領域φｄ ５４ 検出可能領域φｐ ６０ 第１の磁気検出素子の一周期分の検出出力Ａ ６１ 各位相差における第２の磁気検出素子の検出出力
Ｂ ６２ 停止トルク値に対応した位相差φ
Ｂ ６２ 停止トルク値に対応した位相差φ
Claims (5)
- 【請求項１】 駆動側回転軸と従動側回転軸とを弾性体
部材によって伝達させる駆動力伝達機構において、前記
駆動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第１の磁石
部材と、この第１の磁石部材から所定の距離を隔てて、
前記従動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第２の
磁石部材と、前記第１および第２の磁石部材に近接・対
向してこの磁石部材からの磁束を検出する第１および第
２の磁気検出素子とを設け、前記第１および第２の磁気
検出素子の正弦波状からなる検出出力と、この検出出力
を差動検出する手段と、絶対値に変換する手段と、平滑
化する手段とを備えたことを特徴とするトルクセンサ。 - 【請求項２】 駆動側回転軸と従動側回転軸とを弾性体
部材によって伝達させる駆動力伝達機構において、前記
駆動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第１の磁石
部材と、この第１の磁石部材から所定の距離を隔てて、
前記従動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第２の
磁石部材と、前記第１および第２の磁石部材に近接・対
向してこの磁石部材からの磁束を検出する第１および第
２の磁気検出素子とを設け、前記第１および第２の磁気
検出素子の正弦波状からなる検出出力から、第１の磁気
検出素子の一周期分の検出出力値と、各位相差における
第２の磁気検出素子の検出出力値より位相差を求める位
相差演算手段を備えたことを特徴とするトルクセンサ。 - 【請求項３】 駆動側回転軸と従動側回転軸とを弾性体
部材によって伝達させる駆動力伝達機構において、前記
駆動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第１の磁石
部材と、この第１の磁石部材から所定の距離を隔てて、
前記従動側回転軸の軸上に一定周期で着磁された第２の
磁石部材と、前記第１および第２の磁石部材に近接・対
向してこの磁石部材からの磁束を検出する第１および第
２の磁気検出素子とを設け、前記第１または第２の磁気
検出素子の正弦波状からなる検出出力を計数する計数手
段を備えたことを特徴とするトルクセンサ。 - 【請求項４】 前記磁気検出素子の背面側に、高透磁率
材料もしくは軟磁性材を用いた集磁部材を設けたことを
特徴とする請求項１、２、および３記載のトルクセン
サ。 - 【請求項５】 前記第１と第２の磁石部材および第１と
第２の磁気検出素子を、磁気シールドを備えたケース内
に収納したことを特徴とする請求項１、２、および３記
載のトルクセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002696A JPH09189624A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | トルクセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002696A JPH09189624A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | トルクセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189624A true JPH09189624A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11536450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8002696A Pending JPH09189624A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | トルクセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189624A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005148063A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Snr Roulements | 絶対トルクを検出するシステムと該システムからなるモジュール |
| JP2005265593A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Favess Co Ltd | トルク検出装置 |
| US6957590B2 (en) | 2003-02-28 | 2005-10-25 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Rotational angle detecting apparatus and torque detecting apparatus |
| JP2009078792A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Denso Corp | 車両用操舵装置 |
| US8085036B2 (en) | 2009-01-14 | 2011-12-27 | Infineon Technologies Ag | Sensor including two code rings and a magnetic field sensor between the code rings |
| JP2016095208A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | 日本精工株式会社 | 磁気検出装置 |
| JP2019020287A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 日本精工株式会社 | トルク測定装置付回転伝達装置 |
| US10983019B2 (en) | 2019-01-10 | 2021-04-20 | Ka Group Ag | Magnetoelastic type torque sensor with temperature dependent error compensation |
| US11486776B2 (en) | 2016-12-12 | 2022-11-01 | Kongsberg Inc. | Dual-band magnetoelastic torque sensor |
| US11821763B2 (en) | 2016-05-17 | 2023-11-21 | Kongsberg Inc. | System, method and object for high accuracy magnetic position sensing |
-
1996
- 1996-01-10 JP JP8002696A patent/JPH09189624A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6957590B2 (en) | 2003-02-28 | 2005-10-25 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Rotational angle detecting apparatus and torque detecting apparatus |
| JP2005148063A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Snr Roulements | 絶対トルクを検出するシステムと該システムからなるモジュール |
| JP2005265593A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Favess Co Ltd | トルク検出装置 |
| JP2009078792A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Denso Corp | 車両用操舵装置 |
| US8085036B2 (en) | 2009-01-14 | 2011-12-27 | Infineon Technologies Ag | Sensor including two code rings and a magnetic field sensor between the code rings |
| JP2016095208A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | 日本精工株式会社 | 磁気検出装置 |
| US11821763B2 (en) | 2016-05-17 | 2023-11-21 | Kongsberg Inc. | System, method and object for high accuracy magnetic position sensing |
| US11486776B2 (en) | 2016-12-12 | 2022-11-01 | Kongsberg Inc. | Dual-band magnetoelastic torque sensor |
| JP2019020287A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 日本精工株式会社 | トルク測定装置付回転伝達装置 |
| US10983019B2 (en) | 2019-01-10 | 2021-04-20 | Ka Group Ag | Magnetoelastic type torque sensor with temperature dependent error compensation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1203210B1 (en) | Magnetised transducer element for torque or force sensor | |
| JP4691313B2 (ja) | 回転位置センサ | |
| JP2536566Y2 (ja) | 回転センサ | |
| JPH09189624A (ja) | トルクセンサ | |
| WO2000070300A9 (en) | Position encoder utilizing fluxgate sensors | |
| WO2013120374A1 (zh) | 一种多圈旋转编码器 | |
| US6598490B2 (en) | Apparatus for contact-less measuring the value of a difference angle between two parts rotating about a common axis | |
| US4926121A (en) | Magnetic type position sensor for use in the construction of position indicators or torque meters | |
| CA2153118C (en) | Rotating torque sensor | |
| JP2898675B2 (ja) | 回転捩り試験機における捩り角度検出装置 | |
| JPH06109750A (ja) | 回転センサ | |
| JPH03245062A (ja) | 伝動装置出力速度センサ | |
| JP4309838B2 (ja) | 部材の運動を捕捉する方法および装置 | |
| EP0368687A2 (en) | Position sensing device | |
| JP2005526249A (ja) | エレメントの運動を検出する方法およびセンサ装置 | |
| JPS60207477A (ja) | 電動アクチユエ−タ | |
| US6157187A (en) | Inductive wheel-speed sensor for an improved output signal indicative of a rotational speed of a motor vehicle wheel | |
| JP2003315178A (ja) | トルク検出装置 | |
| JP3351310B2 (ja) | 回転軸の位置測定システム、それを備えた磁気軸受及び同期モータ | |
| JP2020153980A (ja) | 回転部材の少なくとも１つの回転パラメータを決定するシステム | |
| JP3395648B2 (ja) | 回転トルク測定装置 | |
| JP2001506755A (ja) | 渦電流測定機構 | |
| JP2004212347A (ja) | 回転速度センサ装置および該回転速度センサ装置付き転動装置 | |
| US20230003592A1 (en) | Torque Measurement at a Disk | |
| JP2000046513A (ja) | 回転センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040202 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040614 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041124 |