JPH09188963A - エレクトレット体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被処理誘電体の両方向から逆極性電荷を同時
に作用できるエレクトレット体の製造方法、及びその製
造装置を提供する。 【解決手段】 （１）第１イオン反発性電極４１及び第
１イオン吸引性電極４２間の誘電体１１と第１反発性電
極の間に第１イオン発生手段２１から供給されたイオン
の１種を誘電体へ転移させ、そして（２ａ）第２反発性
電極４２と誘電体１１の間に第２発生手段２２から供給
されたイオンの内、誘電体転移イオンと反対極性イオン
を誘電体上へ転移させるか、（２ｂ）第１反発性電極と
反対側の第２発生手段から供給されたイオンの内、第１
発生手段からの転移イオンと反対極性のイオンを、荷電
誘電体吸引力により誘電体へ転移させることを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エレクトレット体
の製造方法及び製造装置に関する。本発明によれば、誘
電体を効率よく分極することができ、例えば、表面が高
度にヘテロ荷電（すなわち、正極性及び負極性の両イオ
ンによって荷電）された表面帯電型エレクトレット体、
圧電性エレクトレット体、又は焦電性エレクトレット体
等を製造することができる。

【０００２】

【従来の技術】従来、エレクトレット繊維シートなどの
表面帯電型エレクトレット体の製造方法としては、例え
ば、特公平３−５４６２０号、特公平４−８５３９号及
び特公平３−８３２８３号各公報に記載されているよう
に、直流コロナ放電を利用する方法が一般的に知られて
いた。この方法によれば、例えば、図１に示すように、
不織布などの被エレクトレット化繊維シート１をスチー
ルドラムや水電極からなる接地極８に接触させた状態
で、ワイヤー電極又は針状電極などの放電極９と前記接
地極８との間に直流高電圧を印加し、直流コロナ放電に
より繊維シート１をエレクトレット化する。

【０００３】これらの方法で得られたエレクトレット繊
維シートでは、電荷が分極電荷として構成繊維内に保持
される。すなわち、一般に直流高電圧を印加する側の表
面では印加電圧と同極に、接地極と接触させた側の表面
では印加電圧と逆の極に帯電される。しかし、その帯電
の程度や持続性は、必ずしも満足することのできるもの
ではなかった。そもそも、直流コロナ放電によるエレク
トレット化は、図１に示すように、従来から針状電極９
と平板電極８とから形成される著しい不平等電界に基づ
く直流コロナ放電を用いていた。このコロナ放電を発生
させるためには、針状電極９と平板電極８との間に或る
一定以上の電界強度を発生させること、すなわち、コロ
ナ開始電圧以上にすることが必要である。このコロナ開
始電圧は、針状電極９と平板電極８との距離が大きくな
るほど高くなる。

【０００４】例えば、図１の被エレクトレット化物１が
コロナ放電により帯電され、その表面とコロナ放電極
（針電極）９との間の電位差が、コロナ開始電圧を下回
るとコロナ放電は起こらなくなる。これは、直流コロナ
において、放電極と対極（アース）とが常にリンクして
いるためである。被エレクトレット化体１の表面電位
（すなわち表面の電荷量）を更に上げようとすれば、よ
り高電圧をかける必要がある。しかし、あまり高電圧に
しすぎると、被エレクトレット化体の弱い箇所を通して
電極間でスパーク放電に至り、被エレクトレット化体に
大きな穴を開けるなどの損傷を生じることがある。ま
た、フェルトのような厚手の不織布を被エレクトレット
化体として処理する場合には、フェルト表面の電荷量が
上がらないためにアース面からの逆電荷の注入が起こら
ず全体としての電荷量が上がらない。従って、得られた
フェルトをフィルターとして用いた場合もその効果は小
さく、不充分であった〔静電気学会誌Vol. 18, No. 2
(1994), P. 119〜127 及び、静電気学会誌 Vol. 18, N
o. 5 (1994), P. 444〜448 〕。

【０００５】更に、前記の直流コロナ放電法では、繊維
シートなどの被エレクトレット化体をスチールドラムな
どの平坦な電極表面上に緊密に接触させる必要がある。
従って、例えばマスクやプリーツ加工製品のように平板
状でない被処理体の場合には、完成品に加工した後では
帯電処理を行うことができなかった。すなわち、従来は
繊維シートなどを帯電処理した後に、製品への成形加工
を行っていたが、成形加工時の熱処理などにより電荷が
消失するなどの問題があった。なお、エレクトレット化
された製品を長期に渡って使用しているとエレクトレッ
トの効果が低下してくるため、再エレクトレット化する
ことを要求される場合がある。しかしながら、被エレク
トレット化体の形状が立体的な成形品である場合には、
従来のエレクトレット化方法では、再エレクトレット化
処理を実施することは困難であった。

【０００６】一方、エレクトレット体の中でも、圧電性
を示すエレクトレット体は、その圧電性を利用して、例
えば、音響素子又は変位素子等に用いられている。従
来、圧電性エレクトレット体の製造方法としては、例え
ば、被処理誘電体の表面に電極を直接に接触させて設
け、高電圧を印加する方法が知られていた。一般に、圧
電性エレクトレット体を製造する場合には、印加電圧が
高いほど被処理誘電体の分極が容易に行なわれ、そし
て、キュリー温度（低温相で圧電性エレクトレット体に
みられた圧電効果が、その温度で相転移を起こし、その
温度以上では圧電効果を示さない温度）を越えない範囲
内で、被処理誘電体の温度が高いほど被処理誘電体の分
極が容易に行なわれる。しかし、仮に空気中で電極間に
或る一定以上の直流高電圧を印加すると、被処理誘電体
の端部で電極と電極との間に放電が生じ、空気層の絶縁
破壊が生じることがある。空気層の絶縁破壊が生じる
と、高電圧を維持することができなくなるので、分極効
率が著しく低下する。また、例えば、ヒーター又は赤外
線等で被処理誘電体の温度を上げた状態で、空気中で直
流高電圧を印加すると、被処理誘電体の分極が容易にな
るが、空気の温度も同時に上昇しているので、空気層の
絶縁破壊がより起こりやすくなる欠点があった。

【０００７】そこで、例えば図２に示すように、所定の
形状に成型した被処理誘電体２の分極面に、その表面積
よりやや小さい表面積を有する一対の電極３ａ，３ｂを
設け、被処理誘電体２及び電極３ａ，３ｂを絶縁オイル
４中に浸した状態で、それらの電極３ａ，３ｂの間に直
流高電圧を印加し、被処理誘電体２を分極化する方法が
採用されていた。例えば、被処理誘電体２としてセラミ
ック材料を用いる場合には、グリーンシートを焼結した
後、銀ペーストを表面に塗布し、焼付けを行なうことに
よって、被処理誘電体２の表面に電極３ａ，３ｂを設
け、続いて、被処理誘電体２及び電極３ａ，３ｂを絶縁
オイル４中に浸した状態で直流高電圧を印加することに
よって、空気層の絶縁破壊を防止しながら分極化してい
た。分極効率を高めるために、通常、絶縁オイル４の温
度を１００℃前後に加熱して分極化処理を行なっている
が、絶縁オイル中では、被処理誘電体２の温度をそれ以
上に上げることが困難であるので、空気層の絶縁破壊は
防止できるものの、分極効率が悪いという欠点があっ
た。

【０００８】また、図２に示す方法では、被処理誘電体
２の表面に電極３ａ，３ｂを設ける必要があるので、被
処理誘電体が絶縁破壊に到りやすい欠点があった。なぜ
なら、被処理誘電体の表面に微小な凹凸が存在すると、
表面に設けた電極自体も微小な凹凸を有することになる
ため、電界が誘電体の凹部に集中して絶縁破壊が生じる
ことがあった。また、他の原因で絶縁破壊した場合も、
電極が接触しているため、電極に蓄積した電荷が絶縁破
壊部分に一気に流れ込み、被処理誘電体を損傷すること
があった。絶縁破壊を起こすと、その後の電圧が上がら
なくなり、しかも被処理誘電体の損傷も大きい。この場
合、被処理誘電体の分極面が広くなると、絶縁破壊の確
率が高くなり、同時に絶縁破壊部分に流れ込む電荷量も
大きくなるので、大面積の分極面を有する被処理誘電体
の分極は困難であった。また、電極を設ける必要がある
ため、被処理誘電体の形状も限られていた。更には、こ
の方法では、被処理誘電体の表面に電極を設ける必要が
あり、絶縁オイル中に浸す必要があるので、操作が煩雑
であり、連続加工にも不適当であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、電極と接触させる必要がないので被処理誘電体の大
きさや形状が制限されず、従って、非平板状や厚手の被
処理誘電体でも効果的に処理することができ、高電圧を
印加することができ、必要な場合には被処理誘電体の温
度を容易に制御することができ、スパーク放電や絶縁破
壊などによる被処理誘電体の損傷が起こりにくく、しか
も帯電の程度や持続性も満足することのできるエレクト
レット化手段を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記の目的は、本発明に
よる （１）対向して配置し、直流電圧による電位差を設けた
第１のイオン反発性電極と第１のイオン吸引性電極との
間に、それらの電極とはそれぞれ非接触状態で配置した
被処理誘電体と、前記の第１のイオン反発性電極との間
に、第１のイオン発生手段から供給された正極性イオン
又は負極性イオンのいずれか１種のみを、前記の電位差
によって前記の第１のイオン反発性電極から前記の第１
のイオン吸引性電極の方向へ移動させ、前記の被処理誘
電体上へ転移させる工程、及び （２）前記工程（１）と実質的に同時に、（２ａ）前記
の被処理誘電体と非接触状態で、しかも前記の被処理誘
電体に関して前記の第１のイオン反発性電極とは反対側
に対向して配置した第２のイオン反発性電極と、前記の
被処理誘電体との間に、第２のイオン発生手段から供給
された正極性イオン又は負極性イオンの内、前記の第１
のイオン発生手段から被処理誘電体に転移させたイオン
とは反対の極性のイオンのみを、前記の被処理誘電体と
非接触状態で、しかも前記の被処理誘電体に関して前記
の第１のイオン吸引性電極とは反対側に対向して配置し
た第２のイオン吸引性電極と前記の第２のイオン反発性
電極との間に設けた直流電圧による電位差によって、前
記の第２のイオン反発性電極から前記の第２のイオン吸
引性電極の方向へ移動させ、前記の被処理誘電体上へ転
移させる工程、あるいは、（２ｂ）前記の被処理誘電体
と非接触状態で、しかも前記の被処理誘電体に関して前
記の第１のイオン反発性電極とは反対側に対向して配置
した第２のイオン発生手段から供給された正極性イオン
又は負極性イオンの内、前記の第１のイオン発生手段か
ら被処理誘電体に転移され、前記の被処理誘電体を荷電
したイオンとは反対の極性のイオンのみを、前記の荷電
被処理誘電体の吸引力により、第２のイオン発生手段か
ら被処理誘電体へ転移させる工程、を含むことを特徴と
する、前記の被処理誘電体からエレクトレット体を製造
する方法によって達成することができる。

【００１１】また、本発明は、イオン反発性電極；その
イオン反発性電極と対向して配置されたイオン吸引性電
極；前記のイオン反発性電極と前記のイオン吸引性電極
との間にそれぞれに非接触状態で被処理誘電体を配置す
ることのできる手段；前記の被処理誘電体を配置するこ
とのできる手段によって配置される被処理誘電体と前記
のイオン反発性電極との間に、正極性イオン及び／又は
負極性イオンを供給することのできるイオン発生手段；
及び前記のイオン発生手段によって供給される正極性イ
オン又は負極性イオンのいずれか１種のみを、前記のイ
オン反発性電極から前記のイオン吸引性電極の方向へ移
動させ、前記の被処理誘電体に転移させることのできる
電位差を、前記のイオン反発性電極と前記のイオン吸引
性電極との間に直流電圧を印加することによって発生さ
せることのできる手段；を含むことを特徴とする、エレ
クトレット体の製造装置にも関する。

【００１２】

【発明の実施の形態】本明細書において『エレクトレッ
ト体』とは、少なくとも一部が分極している誘電体を意
味する。エレクトレット体には、通常、少なくとも表面
の一部が分極している状態、表面とその近傍が分極して
いる状態、更には、表面及びその近傍だけでなく深く内
部も分極している状態など、種々の分極状態が存在し、
これらの種々の分極状態を有するエレクトレット体はい
ずれも本発明のエレクトレット体に含まれる。従って、
本発明のエレクトレット体には、表面及び場合により更
に表面近傍が分極している表面帯電型エレクトレット
体、表面だけでなく内部まで分極しているエレクトレッ
ト体、例えば、圧電性又は焦電性エレクトレット体など
が含まれる。

【００１３】本発明によるエレクトレット体における分
極状態の前記の相違は、例えば、被処理誘電体の材料の
種類や形状、及びエレクトレット化条件などの相違によ
り生じる。例えば、ポリエチレン若しくはポリプロピレ
ンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリエステル樹脂、又
はポリカーボネート樹脂などの誘電体からなる繊維シー
トやフィルムをエレクトレット化する場合、主として表
裏面及びその近傍、あるいは多少内部に至る範囲におい
て、正負の電荷がトラップされて分極状態が生じると共
に、外部電界が生じる。一方、例えば、チタン酸バリウ
ムなどの無機強誘電体をエレクトレット化する場合、結
晶構造中のチタンイオン（Ｔｉ⁴⁺）が外部電界によって
変位し、この変位に基づく分子レベルでの分極が生じ
て、材料表面層から内部に向かって微小分極（双極子）
が連続的に存在する構造が得られる。このチタン酸バリ
ウムなどのエレクトレット体では圧電性を示すが、分子
レベルでの分極が連続的であるため、外部電界はほとん
ど示さない。

【００１４】本発明においては、誘電体であるかぎり、
任意の有機材料又は無機材料からなる任意の成形体を処
理して、エレクトレット体を得ることができる。有機誘
電体材料としては、各種の有機高分子化合物、例えば、
ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、
ポリエステル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、フ
ッ素化エチレンプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリフ
ッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、又はフッ化ビニリデン−
トリフルオロエチレン共重合体等を挙げることができ
る。これらの中で、特に、フッ素化エチレンプロピレン
共重合体（ＦＥＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤ
Ｆ）、又はフッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共
重合体等は強誘電体である。強誘電体を本発明によって
処理すると、一般的には、圧電性又は焦電性エレクトレ
ット体が得られる。また、無機誘電体材料としては、例
えば、セラミック材料などを挙げることができ、特に、
チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸鉛、又はチ
タン酸バリウム等の無機強誘電体を用いることが好まし
い。

【００１５】更に、本発明においては、無機材料と有機
材料との複合材料を用いることもできる。複合材料とし
ては、例えば、圧電セラミックとゴムとの組合せ、又は
圧電セラミックと熱可塑性樹脂（例えば、ポリアセター
ル、若しくはポリフッ化ビニリデン）との組合せなどを
挙げることができる。従来法では、少なくとも一方の電
極と接触した状態で電極間に被処理材料を配置する必要
があったために、被処理材料の形状は、電極間に配置可
能な厚さを有するシートやフィルムなどに限定されてい
たのに対し、本発明では、原則としてそうした制限はな
い。すなわち、本発明では、イオン発生手段から供給さ
れる正極性イオン又は負極性イオンを、イオン反発性電
極からイオン吸引電極の方向へ移動させ被処理誘電体に
転移させることができる距離に、被処理誘電体とイオン
発生手段とイオン反発性電極とイオン吸引電極とを配置
することができれば、被処理誘電体は、任意の形状であ
ることができる。例えば、多面体状、柱状、棒状、球
状、半球状、楕円球状、錐体状、板状、波板状、シート
状、フィルム状、又はパイプ状の成形加工品が含まれ
る。また、従来法では、工程上の制約から、エレクトレ
ット化を行った後に最終製品への加工を行う必要があっ
たが、本発明では最終製品に成形加工（例えば、成形マ
スク用に顔の形状に合わせて椀状に成形加工）を行って
からエレクトレット化を実施することができる。更に、
前記の成形体は、多孔質体又は非多孔質体であることが
でき、多孔質体としては、繊維質多孔質体や発泡体であ
ることができる。

【００１６】繊維質多孔質体としては、例えば、織物、
編物、繊維状ポーラスフィルム、又は不織布からなる成
形体を挙げることができる。不織布としては、例えば、
乾式不織布、スパンボンド不織布、メルトブロー不織
布、水流絡合不織布、又は湿式不織布等を挙げることが
できる。これらの繊維質多孔質体は、比較的大きな口径
の多数の空隙を有しているので、たとえ繊維質多孔質体
が強誘電体材料からなる場合であっても、本発明で処理
すると、一般的には、表面帯電型エレクトレット体が得
られる。特に、繊維油剤や接着剤の付着がないメルトブ
ロー不織布や水流絡合不織布などの繊維シートは、表面
帯電型エレクトレットの製造に適している。また、発泡
体としては、例えば、ポリオレフィン系、ポリエステル
系、又はポリウレタン系などの樹脂などからなる連続気
泡型発泡体などを挙げることができる。

【００１７】本発明において、第１のイオン発生手段及
び第２のイオン発生手段は、被処理誘電体を荷電するの
に使用する正極性イオン及び／又は負極性イオンを発生
することのできる手段であれば特に制限されないが、例
えば、交流沿面放電素子、イオナイザー素子、直流コロ
ナ型イオン発生素子、又は交流コロナ型イオン発生素子
等を用いることができ、イオン発生量が豊富で、しかも
簡単に安定した放電を起こすことができる点で、交流沿
面放電素子を用いることが好ましい。第１のイオン発生
手段及び第２のイオン発生手段として、それぞれ交流沿
面放電素子を用いる本発明の代表的な一態様を図３に示
す。この態様においては、２つの交流沿面放電素子２
１，２２を、所定の空間をあけて対向するように配置す
る。各交流沿面放電素子２１，２２は、それぞれ誘電体
３１，３２の一方の表面上に放電極４１，４２を担持
し、他方の表面上に誘起電極５１，５２を担持した構造
からなり、放電極４１，４２を担持した表面が相互に向
かい合うように２つの交流沿面放電素子２１，２２を配
置する。放電極４１，４２と誘起電極５１，５２とは、
図３に示すように、各々交流電源６１，６２に接続され
る。一般に交流沿面放電素子を用いて沿面放電を発生さ
せる場合には、放電極をアースするのに対し、本発明に
おいては、各放電極４１，４２を、それぞれ直流電源７
１，７２に接続する。また、各直流電源７１，７２は、
それぞれ、各交流電源６１，６２を介して誘起電極５
１，５２とも接続することになる。一般に交流電源６
１，６２は交流発生部とトランスとからなり、直流電源
７１，７２には、トランスの２次側アース端子から接続
させることができる。

【００１８】図３に示す２つの交流沿面放電素子２１，
２２の間に、それらの素子と非接触状態で、被処理誘電
体１１を配置し、交流電源６１，６２から交流高電圧を
印加すると、放電極４１，４２から誘電体表面の放電極
担持面側に沿って電離が生じ、正極性イオンと負極性イ
オンの両イオンが生成されて沿面放電が発生する。この
際に同時に、直流電源７１及び７２からそれぞれ放電極
４１及び４２に、異なる電位の直流電圧Ｖ１及びＶ２を
印加すると、交流沿面放電素子２１，２２の間（すなわ
ち、放電極４１，４２の間）に直流電界（以下、荷電電
界と称することがある）が形成される。なお、各直流電
圧は同時に誘起電極５１及び５２にも印加される。例え
ば、交流沿面放電素子２１の放電極４１には正電圧Ｖ１
を印加し、交流沿面放電素子２２の放電極４２には負電
圧Ｖ２を印加した場合に発生する各交流沿面放電素子２
１，２２における交流波形を図４に示す。すなわち、交
流沿面放電素子２１にはアース電位（０Ｖ：図４のｘ）
に対して直流正電位Ｖ１（図４のａ）が印加されている
ので、誘起電極５１の交流波（図４のｂ）は直流成分Ｖ
１だけ昇圧し、放電極４１の電位もＶ１となる。一方、
交流沿面放電素子２２にはアース電位（０Ｖ：図４の
ｘ）に対して直流負電位Ｖ２（図４のｃ）が印加されて
いるので、誘起電極５２の交流波（図４のｄ）は直流成
分Ｖ２だけ降圧し、放電極４２の電位もＶ２となる。

【００１９】こうして、交流沿面放電素子２１，２２の
間に荷電電界が形成されると、放電極４１，４２は、そ
れぞれイオン吸引性電極及びイオン反発性電極として作
用する。例えば、交流沿面放電素子２１の誘電体表面に
生じた正極性イオン及び負極性イオンの内、正極性イオ
ンのみが、第１のイオン反発性電極として作用する放電
極４１から第１のイオン吸引性電極として作用する放電
極４２の方向へ選択的に移動し、その途中に配置されて
いる被処理誘電体１１に付着し、被処理誘電体を荷電す
る。一方、交流沿面放電素子２２の誘電体表面に生じた
正極性イオン及び負極性イオンの内、負極性イオンのみ
が、第２のイオン反発性電極として作用する放電極４２
から第２のイオン吸引性電極として作用する放電極４１
の方向へ選択的に移動し、その途中に配置されている被
処理誘電体１１に付着し、被処理誘電体を荷電する。こ
うして被処理誘電体１１は、一方から正極性イオンによ
り、他方から負極性イオンにより同時に処理され、被処
理誘電体１１は高度にヘテロに荷電（すなわち、正極性
及び負極性の両イオンによって荷電）される。被処理誘
電体１１の両面に帯電した電荷によって被処理誘電体１
１の内部に電界が形成され、被処理誘電体１１を分極化
する。

【００２０】直流電圧Ｖ１及びＶ２は、両者が異なって
いればよく、一方がアースで他方が正電位又は負電位で
あってもよい。この場合も、放電極４１，４２は、それ
ぞれ対向する放電極４２，４１に対してイオン反発性電
極及びイオン吸引性電極として作用するので、交流沿面
放電素子２１，２２の各誘電体表面に生じた正極性イオ
ン及び負極性イオンの内、正極性イオン又は負極性イオ
ンのいずれか一方のみが、選択的に移動し、途中に配置
されている被処理誘電体１１に付着し、被処理誘電体を
荷電する。なお、例えば、直流電源装置７１，７２の機
構内にコンデンサー等を設けて、交流波が直流電源に直
接入るのを防止し、短絡などの危険を防止することがで
きる。

【００２１】交流電源により沿面放電を発生させるため
に印加する高周波の交流電圧は特に限定されるものでは
ないが、好ましくは０．２ＫＶｐ−ｐ以上、より好まし
くは１ＫＶｐ−ｐ以上（ＫＶｐ−ｐは、交流電圧の最大
値ピークから最小値ピークまでの電圧差を示す）であ
る。交流電圧の上限は、沿面放電素子の誘電体を損傷す
ることがない限り、特に限定されない。周波数も特に限
定されるものではないが好ましくは０．１〜１００ＫＨ
ｚ、より好ましくは１〜５０ＫＨｚである。電圧が０．
２ＫＶｐ−ｐ未満になると実質的に放電が起こらなくな
り、周波数が０．１ＫＨｚ未満になると放電には極めて
大きな電圧が必要となり、１００ＫＨｚを越えると誘電
加熱により誘電体が過熱状態になって破壊するおそれが
生じるなどの問題がある。放電極４１，４２に印加する
直流電位差も、目的とする帯電が得られ、かつ絶縁破壊
が生じない範囲である限り、特に限定されるものではな
いが、好ましくは０．５ＫＶ以上、より好ましくは１Ｋ
Ｖ以上である。電位差が０．５ＫＶ未満になると、実質
的な帯電量が小さくなるため十分な帯電効果が得られな
くなる。

【００２２】なお、図３に示す装置を用いる前記の方法
により圧電性エレクトレット体を製造する場合には、印
加直流電圧は、被処理体の厚さ、分極の容易さ、及び／
又は分極温度に影響を受けるため、一般的に規定するこ
とはできないが、印加直流電圧（Ｖ：単位＝ＫＶ）を被
処理体の厚さ（ｔ：単位＝ｍｍ）で割った値（Ｖ／ｔ）
が５ＫＶ／ｍｍ以上であるのが望ましい。放電極４１，
４２に非常に高い荷電電圧をかけた場合は、電極間を広
くすることによって、電界強度を小さくすることがで
き、電極間のスパーク放電による被処理誘電体の損傷を
防止することができる。但し、電極間を広げすぎると、
電界強度が小さくなりすぎて、イオンの移動速度が遅く
なるため、被処理誘電体に付着するイオン量が少なくな
り、エレクトレット体の帯電効率が低下するので好まし
くない。

【００２３】本発明で用いる交流沿面放電素子として
は、公知の素子を用いることができる。例えば、誘電体
には、板状又はシート状のガラス、セラミック又はプラ
スチックなどを用いることができる。誘電体の厚みは特
に限定されないが、あまり厚いと放電させるのに非常に
高い電圧が必要となり、あまり薄いと機械的強度が低下
し、絶縁破壊が生じやすくなるので０．１〜５ｍｍ程度
のものが好適である。また、図５に示すように、交流沿
面放電素子２１の放電極４１としては、プラスチックフ
ィルムなどの表面に導電性塗料を塗布したり金属層や導
電性樹脂層によって格子状電極やメッシュ状電極などを
形成したもの、又はアルミニウムや銅などの導電性金属
などから形成される格子状電極やメッシュ状電極などが
適している。

【００２４】誘電体３１が放電極４１の下から表面に露
出するように、放電極４１は開孔を有する構造となって
いることが望ましい。誘起電極５１も特に限定されるも
のではないが、プラスチックフィルムなどの表面に導電
性塗料を塗布したり金属層や導電性樹脂層によって平板
電極やあみ状電極を形成したもの、又はアルミニウムや
銅などの導電性金属などから形成される平板電極や網状
電極などが適している。交流沿面放電素子においては、
交流沿面放電素子の端部で放電極と誘起電極との間で直
接放電が生じないように誘電体の長さは放電極及び誘起
電極の長さよりも長いことが望ましい。誘電体の長さを
充分に長くすることができない場合には、誘起電極の端
面又は誘起電極の全体を、セラミック膜や高分子化合物
膜などの誘電体で絶縁被覆するのが好ましい。また、放
電極の上にセラミック膜や高分子化合物膜などの誘電体
膜を被覆すると、沿面放電による放電極の消耗を防止す
ることができるので好ましい。

【００２５】交流沿面放電素子などのイオン発生手段の
中間にそれらのイオン発生手段とそれぞれ非接触状態で
被処理誘電体を配置することのできる手段としては、被
処理誘電体へのイオンの作用を実質的に妨げずに被処理
誘電体を荷電空間内に配置することのできる手段である
限り特に限定されるものではないが、例えば、被処理誘
電体がシート状などの連続体であれば、荷電空間の両側
にロールなどの支持手段を設置し、このロールの間に被
処理誘電体を通して荷電空間内を通るように配置すれば
よい。また、被処理誘電体が成形マスクのように一つ一
つ独立している場合には、上記のロール間に絶縁性のメ
ッシュなどからなる搬送体を通し、この上に被処理誘電
体を置いて荷電空間内を通るように配置すればよい。

【００２６】図３及び図５では、平板状の交流沿面放電
素子について説明したが、交流沿面放電素子は種々の形
状であることができる。例えば、断面弧状の１対の交流
沿面放電素子２１，２２を用いて本発明を実施すること
により断面弧状の被処理誘電体を効率よく処理すること
もできる。更に、図６に示すように、円筒状の１対の交
流沿面放電素子２１，２２を用いて円筒状の被処理誘電
体を効率よく処理することもできる。すなわち、直径が
大きな円筒状交流沿面放電素子２１と直径が小さな円筒
状交流沿面放電素子２２を、所定の空間をあけて同心円
状に配置する。各交流沿面放電素子２１，２２は、それ
ぞれ誘電体３１，３２の一方の表面上に放電極４１，４
２を担持し、他方の表面上に誘起電極５１，５２を担持
した構造からなり、放電極４１，４２を担持した表面が
相互に向かい合うように２つの交流沿面放電素子２１，
２２を配置する。放電極４１，４２と誘起電極５１，５
２とは、図３に示した態様と同様に、各々交流電源（図
示せず）に接続され、更に各放電極４１，４２を、それ
ぞれ直流電源（図示せず）に接続する（実質的に誘起電
極５１，５２も交流電源を介して直流電源と接続されて
いる）。なお、本発明では被処理誘電体の形状による制
限を受けずに分極化することができるので、円筒状以外
の形状の交流沿面放電素子を用いても、円筒状の被処理
誘電体を処理することができる。

【００２７】本発明は、交流沿面放電と直流コロナ放電
素子との組合せによって実施することもできる。すなわ
ち、第１イオン発生手段として交流沿面放電素子を用
い、第２イオン発生手段として直流コロナ放電素子を用
いる本発明の代表的な一態様を図７に示す。なお、本発
明において、直流コロナ放電素子とは、被処理誘電体と
の間で直流コロナ放電を起こすことのできる電極を有す
る素子であれば特に制限されず、例えば、針状電極など
の放電極を有する素子を挙げることができる。この態様
においては、交流沿面放電素子２１と直流コロナ放電素
子２３とを、所定の空間をあけて対向するように配置す
る。交流沿面放電素子２１は、前記と同様に誘電体３１
の一方の表面上に放電極４１を担持し、他方の表面上に
誘起電極５１を担持した構造からなり、放電極４１を担
持した表面が前記直流コロナ放電素子２３と向かい合う
ように２つの素子２１，２３を配置する。放電極４１と
誘起電極５１とは、前記と同様に、交流電源６１に接続
される。また、放電極４１は、一般の沿面放電を発生さ
せる場合と同様に、アースする。

【００２８】一方、直流コロナ放電素子２３は、直流電
源７３と連絡する少なくとも１つ（好ましくは複数個：
図７に示す態様では７個）の放電極（例えば、針状電
極）４３を含む。直流コロナ放電素子における放電極の
種類は特に限定されないが、図７には、針金状の電極を
示す。なお、別の態様として、直流コロナ放電素子２３
をアースして、交流沿面放電素子２１の放電極４１に直
流電圧を印加する手段もある。

【００２９】図７に示す交流沿面放電素子２１と直流コ
ロナ放電素子２３との間に、それらの素子と非接触状態
で、被処理誘電体１１を配置し、交流電源６１から交流
高電圧を印加すると、誘電体表面の放電極担持面側に正
極性イオンと負極性イオンの両イオンが生成されて沿面
放電が発生する。この際に同時に、直流電源７３から放
電極４３に直流高電圧を印加すると、交流沿面放電素子
２１と直流コロナ放電素子２３との間（すなわち、交流
沿面放電素子２１の放電極４１と直流コロナ放電素子２
３の放電極４３との間）に直流電界（荷電電界）が形成
される。この荷電電界において、交流沿面放電素子２１
の放電極４１はイオン反発性電極として作用し、直流コ
ロナ放電素子２３の放電極４３はイオン吸引性電極とし
て作用する。すなわち、交流沿面放電素子２１の誘電体
表面に生じた正極性イオン及び負極性イオンの内、放電
極４３に印加された電圧極性と反対極性のイオンのみ
が、直流コロナ放電素子２３の放電極４３に選択的に吸
引されて、直流コロナ放電素子２３の方向に移動し、そ
の途中に配置されている被処理誘電体１１に付着し、被
処理誘電体を荷電する。更に、被処理誘電体１１の荷電
状態が進行するのに従って、直流コロナ放電素子２３の
放電極４３から被処理誘電体１１に対してコロナ放電が
発生して、前記の交流沿面放電素子２１から吸引された
イオンとは逆の極性を有するイオンが被処理誘電体１１
に付着し、被処理誘電体を荷電する。こうして被処理誘
電体１１は、一方から正極性イオンにより、他方から負
極性イオンにより同時に処理され、高度にヘテロに荷電
される。被処理誘電体１１の両面に帯電した電荷によっ
て被処理誘電体１１の内部に電界が形成され、被処理誘
電体１１を分極化する。なお、この方法では、被処理誘
電体１１は直流コロナ放電素子２３から、できる限り低
い印加電圧でコロナ放電が発生できるように、交流沿面
放電素子２１よりも直流コロナ放電素子２３にできるだ
け近い位置に配置することが望ましい。

【００３０】交流沿面放電は、前記と同様の高周波の交
流電圧及び周波数により発生させることができる。直流
コロナ放電素子に印加する直流電圧も特に限定されるも
のではないが、帯電量が被処理誘電体と直流コロナ放電
素子との距離に大きく依存するので、その電界強度が好
ましくは１〜１５ＫＶ／ｃｍ、より好ましくは３〜１０
ＫＶ／ｃｍとなるように印加することが望ましい。電界
強度が１ＫＶ／ｃｍ未満になると実質的に放電しにくく
なり、１５ＫＶ／ｃｍを越えると空気の絶縁破壊により
スパーク放電を生じることがある。なお、これらの値は
電極形状や被処理誘電体の材質にも大きく依存するの
で、上記の範囲からはずれて使用されることもある。

【００３１】本発明は、第１イオン発生手段及び第２イ
オン発生手段としてそれぞれイオナイザー素子を用いて
実施することもでき、その代表的な一態様を図８に示
す。この態様においては、２つのイオナイザー素子２
４，２５を、相互に所定の空間をあけて配置する。各イ
オナイザー素子２４，２５は、それぞれワイヤー電極、
針状電極などからなる直流コロナ放電極８４ａ，８５
ａ、アース極８４ｂ，８５ｂ、及び発生したイオンを荷
電空間に送り込むためのガイド板８４ｃ，８５ｃからな
り、放電極８４ａ，８５ａはそれぞれ直流高圧電源７４
ａ，７５ａ（ただし、７４ａと７５ａは逆極性）と連絡
し、アース極８４ｂ，８５ｂはそれぞれアースと連絡し
ている。２つのイオナイザー素子２４，２５は、それぞ
れ直流高電圧を印加することによって矢印Ｂで示される
方向から供給される反応ガス（例えば、空気）をイオン
化することにより、正極性イオン及び負極性イオンを生
成し、ガイド板８４ｃ，８５ｃから、矢印Ｃで示される
方向へ放出される。一方、イオン移動用電極４４，４５
はそれぞれ直流電源７４ａ，７５ａと連絡して各々８４
ａ，８５ａと電位極性が同じであるので、イオン移動用
電極４４はガイド板８４ｃから放出されたイオンに対し
てはイオン反発性電極として作用し、ガイド板８５ｃか
ら放出されたイオンに対してはイオン吸引性電極として
作用する。一方、イオン移動用電極４５はガイド板８４
ｃから放出されたイオンに対してはイオン吸引性電極と
して作用し、ガイド板８５ｃから放出されたイオンに対
してはイオン反発性電極として作用する。従って、図８
に示すように、イオナイザー素子２４から放出された正
極性イオンはイオン移動用電極４４からイオン移動用電
極４５の方向に移動し、その途中に配置されている被処
理誘電体１１に付着し、被処理誘電体を荷電する。一
方、イオナイザー素子２５から放出された負極性イオン
はイオン移動用電極４５からイオン移動用電極４４の方
向に移動し、その途中に配置されている被処理誘電体１
１に付着し、被処理誘電体を荷電する。こうして被処理
誘電体１１は、一方から正極性イオンにより、他方から
負極性イオンにより同時に処理され、高度にヘテロに荷
電される。被処理誘電体１１の両面に帯電した電荷によ
って被処理誘電体１１の内部に電界が形成され、被処理
誘電体１１を分極化する。

【００３２】本発明は、第１イオン発生手段及び第２イ
オン発生手段としてそれぞれ直流コロナ型イオン発生素
子を用いて実施することもでき、その代表的な一態様を
図９に示す。この態様においては、２つの直流コロナ型
イオン発生素子２６，２７を、所定の空間をあけて対向
するように配置する。各直流コロナ型イオン発生素子２
６，２７はそれぞれ対電極８６ａ，８７ａ、及び放電極
８６ｂ，８７ｂからなり、対電極８６ａ，８７ａはそれ
ぞれ直流電源７６ａ，７７ａ（ただし、７６ａと７７ａ
は逆極性）と連絡し、放電極８６ｂ，８７ｂはそれぞれ
直流電源７６ｂ，７７ｂ（ただし、７６ｂと７７ｂは逆
極性）と連絡している。図９に示す直流コロナ型イオン
発生素子２６，２７はそれぞれ５個の対電極８６ａ，８
７ａ、及び４個の放電極８６ｂ，８７ｂを有するが、使
用する環境又は目的に応じて電極の数を変更することが
できる。なお、対電極８６ａ，８７ａ及び放電極８６
ｂ，８７ｂは、コロナ放電を起こすことができる形状で
あれば、特に限定されず、例えば、対電極として棒状電
極を用い、放電極として線状電極、又は針状電極等を用
いることができる。

【００３３】直流コロナ型イオン発生素子２６におい
て、直流電源７６ａ及び７６ｂからそれぞれ対電極８６
ａ及び放電極８６ｂに、同極性であって、しかも異なる
電位の直流電圧Ｖ１１及びＶ１２を印加する。電圧Ｖ１
１とＶ１２との電位差がコロナ放電が起こる電界強度よ
りも大きく、電圧Ｖ１２の絶対値が電圧Ｖ１１の絶対値
よりも大きい場合には、直流電源７６ａ及び７６ｂによ
り印加された電圧極性と同極性のイオンが、対電極８６
ａと放電極８６ｂとの間に生成する。この場合に、電圧
Ｖ１１，Ｖ１２が、例えば、負電圧であると、直流コロ
ナ型イオン発生素子２６の対電極８６ａと放電極８６ｂ
との間に負極性イオンが発生する。また、直流コロナ型
イオン発生素子２７においても、直流電源７７ａ及び７
７ｂからそれぞれ対電極８７ａ及び放電極８７ｂに、直
流電源７６ａ及び７６ｂにより印加された電圧極性と反
対極性であって、しかも異なる電位の直流電圧Ｖ１３及
びＶ１４を印加し、電圧Ｖ１３とＶ１４との電位差がコ
ロナ放電が起こる電界強度よりも大きく、電圧Ｖ１４の
絶対値が電圧Ｖ１３の絶対値よりも大きい場合には、直
流コロナ型イオン発生素子２６の対電極８６ａと放電極
８６ｂとの間に生成するイオンと反対極性のイオンが、
対電極８７ａと放電極８７ｂとの間に生成する。この場
合に、電圧Ｖ１３，Ｖ１４が、例えば、正電圧である
と、直流コロナ型イオン発生素子２７の対電極８７ａと
放電極８７ｂとの間に正極性イオンが発生する。

【００３４】この際に同時に、直流コロナ型イオン発生
素子２６と直流コロナ型イオン発生素子２７との間に直
流電界（荷電電界）が形成されるので、対電極８６ａ及
び放電極８６ｂ並びに対電極８７ａ及び放電極８７ｂ
は、それぞれイオン反発性電極及びイオン吸引性電極と
して作用する。例えば、先に例示した電圧Ｖ１１〜Ｖ１
４を印加する場合、直流コロナ型イオン発生素子２６に
生じた負極性イオンが、イオン反発性電極として作用す
る対電極８６ａ及び放電極８６ｂから、イオン吸引性電
極として作用する対電極８７ａ及び放電極８７ｂの方向
に移動し、その途中に配置されている被処理誘電体１１
に付着し、被処理誘電体を荷電する。一方、直流コロナ
型イオン発生素子２７に生じた正極性イオンが、イオン
反発性電極として作用する対電極８７ａ及び放電極８７
ｂから、イオン吸引性電極として作用する対電極８６ａ
及び放電極８６ｂの方向に移動し、その途中に配置され
ている被処理誘電体１１に付着し、被処理誘電体を荷電
する。こうして、被処理誘電体１１は、前記と同様に高
度にヘテロに荷電され、分極化される。

【００３５】直流コロナ放電を起こすことのできる対電
極と放電極との距離は、約１ｍｍ〜２０ｍｍが好まし
く、その間の電位差は、電極形状又は距離に依存する
が、約０．１ＫＶ〜２０ＫＶが好ましい。また、直流コ
ロナ型イオン発生素子２６と直流コロナ型イオン発生素
子２７との電位差は、特に限定されるものではないが、
好ましくは１ＫＶ以上である。電位差が１ＫＶ未満にな
ると、実質的な帯電量が小さくなるため十分な帯電効果
が得られなくなる。この電位差の上限は、絶縁破壊を起
こさない範囲である限り特には限定されない。また、対
電極及び放電極の両方でコロナ放電が起こる（両極性コ
ロナ）直流コロナ型イオン発生素子を用いることもでき
るが、先に説明した単一極性イオンを生成することがで
きる直流コロナ型イオン発生素子の方が、帯電効率が高
い。

【００３６】本発明は、第１イオン発生手段及び第２イ
オン発生手段としてそれぞれ交流コロナ型イオン発生素
子を用いて実施することもでき、その代表的な一態様を
図１０に示す。この態様においては、２つの交流コロナ
型イオン発生素子２８，２９を、所定の空間をあけて対
向するように配置する。各交流コロナ型イオン発生素子
２８，２９はそれぞれ誘起電極８８ａ，８９ａ、及び放
電極８８ｂ，８９ｂからなり、誘起電極８８ａ，８９ａ
と放電極８８ｂ，８９ｂとはそれぞれ交流電源６８，６
９と連絡している。この態様においては、各誘起電極８
８ａ，８９ａを、それぞれ直流電源７８，７９に接続す
ると共に、直流電源７８，７９は交流電源６８，６９に
も接続される。一般に交流電源６８，６９は交流発生部
とトランスとからなり、直流電源７８，７９には、トラ
ンスの２次側アース端子から接続させることができる。
図１０に示す交流コロナ型イオン発生素子２８，２９は
それぞれ５個の誘起電極８８ａ，８９ａ、及び４個の放
電極８８ｂ，８９ｂを有するが、使用する環境又は目的
に応じて電極の数を変更することができる。なお、誘起
電極８８ａ，８９ａは、図１０に示すように、例えば、
ガラス、セラミック、又はプラスチック等からなる誘電
体３８，３９で被覆することが好ましい。火花放電を防
止し、安定なコロナ放電を行なうことできるからであ
る。

【００３７】２つの交流コロナ型イオン発生素子２８，
２９の間に、それらの素子と非接触状態で、被処理誘電
体１１を配置し、交流電源６８，６９から交流高電圧を
印加すると、放電極８８ｂ，８９ｂと誘起電極８８ａ，
８９ａとの間に正極性イオンと負極性イオンの両イオン
が生成する。この際に同時に、直流電源７８、７９から
異なる電位の直流電圧Ｖ２１，Ｖ２２を印加すると、先
に説明した交流沿面放電素子の場合と同様に、交流コロ
ナ型イオン発生素子２８，２９の間に直流電界（以下、
荷電電界と称することがある）が形成される。交流コロ
ナ型イオン発生素子２８，２９の間に荷電電界が形成さ
れると、誘起電極８８ａ，８９ａ及び放電極８８ｂ，８
９ｂは、それぞれイオン反発性電極及びイオン吸引性電
極として作用する。例えば、直流電源７９に正電圧Ｖ２
２を印加すると、交流コロナ型イオン発生素子２８に生
じた正極性イオン及び負極性イオンの内、負極性イオン
のみが、イオン反発性電極として作用する誘起電極８８
ａ及び放電極８８ｂから、イオン吸引性電極として作用
する誘起電極８９ａ及び放電極８９ｂの方向に移動し、
その途中に配置されている被処理誘電体１１に付着し、
被処理誘電体を荷電する。一方、交流コロナ型イオン発
生素子２９に生じた正極性イオン及び負極性イオンの
内、正極性イオンのみが、イオン反発性電極として作用
する誘起電極８９ａ及び放電極８９ｂから、イオン吸引
性電極として作用する誘起電極８８ａ及び放電極８８ｂ
の方向に移動し、その途中に配置されている被処理誘電
体１１に付着し、被処理誘電体を荷電する。こうして被
処理誘電体１１は、前記と同様に高度にヘテロに荷電さ
れ、分極化される。

【００３８】交流電源により交流コロナ放電を発生させ
るために印加する高周波の交流電圧は特に限定されるも
のではないが、好ましくは約０．１ＫＶｐ−ｐ〜５０Ｋ
Ｖｐ−ｐであり、周波数も特に限定されるものではない
が好ましくは０．１〜１００ＫＨｚである。電圧が０．
１ＫＶｐ−ｐ未満になると実質的に放電が起こらなくな
り周波数が０．１ＫＨｚ未満になると放電には極めて大
きな電圧が必要となり、１００ＫＨｚを越えると誘電加
熱により誘電体が過熱状態になって破壊するおそれが生
じるなどの問題がある。交流コロナ放電を起こすことの
できる誘起電極と放電極との距離は、約０．１ｍｍ〜１
０ｍｍが好ましい。交流コロナ型イオン発生素子２８と
交流コロナ型イオン発生素子２９との電位差、すなわ
ち、直流電源７８，７９に印加する電圧差（Ｖ２２−Ｖ
２１）は絶縁破壊を起こさない範囲である限り特に限定
されるものではないが、好ましくは０．５ＫＶ以上、よ
り好ましくは１ＫＶ以上である。電位差が０．５ＫＶ未
満になると、実質的な帯電量が小さくなるため十分なエ
レクトレット効果が得られなくなる。

【００３９】なお、本発明は、図３、図７、図８、図９
及び図１０に示した前記の組合せの他にも、交流沿面放
電素子とイオナイザー素子との組合せ、交流沿面放電素
子と直流コロナ型イオン発生素子との組合せ、交流沿面
放電素子と交流コロナ型イオン発生素子との組合せ、イ
オナイザー素子と直流コロナ放電素子との組合せ、イオ
ナイザー素子と直流コロナ型イオン発生素子との組合
せ、イオナイザー素子と交流コロナ型イオン発生素子と
の組合せ、直流コロナ型イオン発生素子と交流コロナ型
イオン発生素子との組合せ、直流コロナ型イオン発生素
子と直流コロナ放電素子との組合せ、又は交流コロナ型
イオン発生素子と直流コロナ放電素子との組合せによっ
ても実施することができる。なお、本発明には、第１イ
オン発生手段及び第２イオン発生手段としてそれぞれ直
流コロナ放電素子を用いる態様は含まれない。先に説明
したように、直流コロナ放電素子を用いる荷電処理で
は、電極間に高電圧を印加する必要があり、電圧が高す
ぎるとスパーク放電や絶縁破壊などを起こし、被処理誘
電体の損傷を生じることがあるからである。また、圧電
性エレクトレット体を製造する場合には、被処理誘電体
の表面の帯電荷電により形成される電界の作用によって
被処理誘電体を分極化するが、直流コロナ放電素子を用
いる荷電処理による帯電荷電では、分極化に必要とされ
る充分な電界を形成するために必要な帯電電荷を付与す
ることは困難である。

【００４０】本発明においては、イオン発生手段から正
極性及び／又は負極性イオンを被処理誘電体に移動させ
る工程を、被処理誘電体を加熱された状態で実施するこ
とができる。加熱条件としては、誘電体の温度を室温か
ら被処理誘電体の融点未満の温度範囲に維持することが
望ましい。特に、圧電性又は焦電性エレクトレット体を
製造する場合には、強誘電体の温度を室温から処理対象
である被処理誘電体のキュリー温度未満の温度範囲内に
維持しながら、前記のイオン移動工程を行なうことが好
ましい。加熱手段は、特に制限されるものではなく、従
来公知の種々の加熱手段、例えば、オーブン若しくは電
熱線等のヒーター、又は赤外線等を用いることができ
る。

【００４１】前記イオン移動工程中の被処理誘電体の温
度は、例えば、荷電処理の対象となる被処理誘電体の種
類、荷電処理の条件、又はエレクトレット体に求められ
る分極状態などに応じて適宜選択することができる。例
えば、高い分極効率を示す圧電性又は焦電性エレクトレ
ット体を製造する場合には、用いる被処理誘電体のキュ
リー温度を越えない範囲内で、できるだけ高い温度を選
択することが好ましい。ただし、場合によってはイオン
移動工程領域の出口での被処理誘電体の温度がキュリー
温度を越えない温度であれば、工程の途中でキュリー温
度以上になってもよい。

【００４２】前記加熱手段は、荷電空間と加熱空間とが
重複するように配置しても、又は荷電空間と加熱空間と
を分離して配置してもよい。また、加熱処理は、イオン
移動工程前及び／又はイオン移動工程中に行なうことが
できる。例えば、イオン移動工程と加熱処理とを分離
し、イオン移動工程前に加熱処理を施す本発明の一態様
を図１１に示す。一対の加熱手段（例えば、ヒーター９
２及び９３）及び一対のイオン発生手段（例えば、交流
沿面放電素子２１及び２２）を直列に配置し、それらの
間に絶縁性のメッシュなどからなり、加熱空間から荷電
空間へ被処理誘電体１１を矢印Ａで示す方向に搬送する
搬送体９４を設ける。この搬送体９４上を搬送させる被
処理誘電体１１は、先にヒーター９２及び９３の間を通
過しながら充分に加熱された後に、交流沿面放電素子２
１及び２２の間を通過しながら荷電処理が施される。ヒ
ーター９２及び９３による加熱の程度は、被処理誘電体
１１が交流沿面放電素子２１及び２２の間を通過する際
に、所望の温度になっているように加熱すればよい。一
般に、処理対象である被処理誘電体の温度が高いほど被
処理誘電体の分極が容易に行なわれるので、被処理誘電
体を加熱することによってエレクトレット体の分極効率
を向上させることができる。

【００４３】また、被処理誘電体１１を充分に時間をか
けて交流沿面放電素子２１及び２２の間を通過させる
と、放熱によって荷電処理中の被処理誘電体の温度が下
がるので、分極化したままの状態で被処理誘電体１１は
冷却される。一般に、高温状態でイオン移動工程を実施
し、続けて、電界を印加した状態で冷却することによっ
て、分極状態をよりよく固定することができるので、エ
レクトレット体の分極効率を更に向上させることができ
る。

【００４４】本発明においては、被処理誘電体をイオン
発生手段、イオン反発性電極及びイオン吸引性電極と接
触させる必要がないので、実質的に任意の形状の被処理
誘電体を処理することができる。また、一対のイオン発
生手段、イオン反発性電極及びイオン吸引性電極の間に
配置するか又は通過させるだけで荷電処理することがで
き、被処理誘電体の加熱又は冷却などの温度制御も容易
であるので、煩雑な操作が必要でなく、連続加工にも適
している。しかも、単に荷電電圧を強くすることによっ
て帯電量を多くすることができる。

【００４５】更に、沿面放電、イオナイザー、直流コロ
ナ型イオン発生素子、及び／又は交流コロナ型イオン発
生素子を利用する本発明の態様においては、イオン発生
手段に印加する放電電圧と、被処理誘電体にイオンを作
用させるためのイオン反発性電極及びイオン吸引性電極
に印加する荷電電圧とが実質的に独立しているため、最
終的な帯電量は両イオン発生手段間の距離に無関係であ
り、イオン反発性電極とイオン吸引性電極との間に印加
した電位差のみに依存する。このため、被処理誘電体の
形状による制限を受けずにエレクトレット化することが
可能である。更には、フェルトのような厚手の繊維シー
トにおいても、従来の直流コロナのみを印加する方法で
は、逆電離による反対電荷の注入が効果的に起こらず、
帯電量は低かったが、本発明では、被処理誘電体の表裏
から正負のイオンを各々作用させるため、逆電離を起こ
す必要はなく、効果的に帯電させることができる。ま
た、本発明では、イオン反発性電極とイオン吸引性電極
との間の電界強度を小さくすることができる（非常に高
い荷電電圧をかけた場合は電極間を広くするとよい）の
で、電極間のスパーク放電や絶縁破壊などによる被処理
誘電体の損傷の危険性が極めて少なくなった。仮に、荷
電処理中の被処理誘電体の一部で絶縁破壊を起こして
も、その周辺から流れ込む電荷量が限られるため、被処
理誘電体の損傷も少ない。また、絶縁破壊を起こして
も、帯電荷電による分極であるので、そのまま荷電処理
を続けることができ、大面積の被処理誘電体であって
も、分極化することができる。例えば、マイクロホンに
用いられているようなフィルムエレクトレットを製造す
る場合、従来法では、フィルム成形後に直流コロナ放電
などの方法によりフィルムをアース電極と密着させた状
態でエレクトレット化を実施していた。

【００４６】これに対して、本発明においては、被処理
誘電体を電極板などのイオン発生手段と密着させる必要
がないので、フィルムの成形と同時に帯電処理すること
ができる。例えば、図１２に示すように、Ｔダイ９１
（又はインフレーションダイ）から吐出した樹脂１２
が、溶融状態にあるうちから、例えば、交流沿面放電素
子２１，２２を用いて帯電処理を行なうことができる。
もちろん、延伸処理を施しながら帯電したりすることも
できる。また、熱処理しながら帯電すると、電荷が安定
するので好ましい。なお、フィルムにおいてもその形状
が波型などであってもよい。

【００４７】本発明によって得られるエレクトレット体
は、例えば、フィルタ、マスク、防塵衣料など、あるい
はマイクロホンや放射線量計などのセンサーに利用する
ことができ、更にはリューマチ治療の貼付材などのメデ
ィカル分野にも利用することができる。また、特に本発
明によって得られる圧電性又は焦電性エレクトレット体
は、例えば、音波発生装置、音波感知装置、電子フィル
ター、又は高電圧発生器等に利用することができ、具体
的には、例えば、圧電ブザー、着火素子、加速度センサ
ー、スピーカー、深傷用深触子、医療用深触子、血圧モ
ニター、血流モニター、ハイドロホン、又は表面弾性波
（ＳＡＷ）フィルター等を挙げることができる。

【００４８】

【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
するが、これらは本発明の範囲を限定するものではな
い。実施例１ サンプルとして目付４５ｇ／ｍ² 、厚み０．７ｍｍのポ
リプロピレン製メルトブロー不織布を用いた。エレクト
レット化装置としては図３に示す装置を用い、対向する
沿面放電素子の電極間の距離を４０ｍｍとした。上記サ
ンプルを沿面放電素子２１と沿面放電素子２２との中間
に通し、電圧６ＫＶｐ−ｐ、周波数２３ＫＨｚの交流を
印加することにより各沿面放電素子に沿面放電を発生さ
せると共に、放電極間の電位差を１０ＫＶにして、サン
プルを１分間帯電させた。得られたエレクトレット化さ
れたメルトブロー不織布に、大気塵を面風速５ｃｍ／秒
の条件で通過させて、初期圧力損失と０．３〜０．５μ
ｍの大気塵の捕集効率とを求めた。なお、捕集効率はメ
ルトブロー不織布の通過前後での０．３〜０．５μｍの
粒子の数をパーティクルカウンターで計測して求めた。
初期圧力損失は１．１〜１．５ｍｍａｑで、捕集効率は
９０〜９５％であった。

【００４９】比較例１ 直径３０μｍで長さ２５０ｍｍのワイヤー２０本からな
る放電極と銅製の平板アース極とを２０ｍｍの間隔で配
置した。この放電極とアース極との間に１６ＫＶの電圧
を印加し、実施例１で用いたのと同じサンプル（ポリプ
ロピレン製メルトブロー不織布）を、この放電極とアー
ス極の中間に通し、１分間帯電処理した。得られたエレ
クトレット化されたメルトブロー不織布の初期圧力損失
は１．１〜１．５ｍｍａｑで、捕集効率は５０〜６０％
であった。実施例１よりも電極間距離が短く、印加電圧
が大きい条件でエレクトレット化したにもかかわらず、
捕集効率はかなり低く、十分にエレクトレット化されて
いないことがわかる。

【００５０】実施例２ 対向する沿面放電素子の電極間の距離を１２０ｍｍとし
たこと以外は実施例１の操作を繰り返してエレクトレッ
ト化メルトブロー不織布を得た。得られたエレクトレッ
ト化メルトブロー不織布の初期圧力損失は１．１〜１．
５ｍｍａｑで、捕集効率は９０〜９５％であった。電極
間の距離を広げても実施例１と同様にエレクトレット化
できることがわかった。

【００５１】実施例３ エレクトレット化装置としては図７に示す装置を用い、
直径３０μｍで長さ２５０ｍｍのワイヤー２０本からな
るコロナ放電極４３と４０ｍｍの間隔をあけて沿面放電
素子２１を配置した。電圧６ＫＶｐ−ｐ、周波数２３Ｋ
Ｈｚの交流を印加することにより沿面放電素子２１に沿
面放電を発生させると共に、放電極４３と沿面放電素子
２１との間の電位差を１０ＫＶとし、実施例１で用いた
のと同じサンプル（ポリプロピレン製メルトブロー不織
布）を、放電極４３から約５ｍｍの位置に通し、１分間
帯電処理した。得られたエレクトレット化メルトブロー
不織布の初期圧力損失は１．２〜１．６ｍｍａｑで、捕
集効率は９０〜９５％であった。

【００５２】実施例４ サンプルとして、ポリプロピレン繊維８５重量％とポリ
エチレン／ポリプロピレン複合繊維１５重量％とからな
る目付１２０ｇ／ｍ² の水流絡合不織布と、目付８０ｇ
／ｍ² のメルトブロー不織布と、ポリプロピレン繊維４
０重量％とポリエチレン／ポリプロピレン複合繊維６０
重量％とからなる目付１２０ｇ／ｍ² のニードルパンチ
不織布とを積層し、顔の形状に沿うようにお椀形状に成
形したマスクを使用した。エレクトレット化装置として
は図３に示す装置を用い、対向する沿面放電素子２１，
２２の放電極間の距離を１２０ｍｍとした。上記サンプ
ルを沿面放電素子２１と沿面放電素子２２との中間に通
し、電圧６ＫＶｐ−ｐ、周波数２３ＫＨｚの交流を印加
することにより各沿面放電素子に沿面放電を発生させる
と共に、放電極４１，４２の電位差を１５ＫＶにして、
サンプルを１分間帯電させた。得られたエレクトレット
化されたマスクに、平均粒径０．４５μｍのシリカ微粒
子を濃度３０ｍｇ／ｍ³ で含む試験塵を面風速８ｃｍ／
秒の条件で通過させて、初期圧力損失と捕集効率とを求
めた。なお、捕集効率はマスクの通過前後での粒子の濃
度を光散乱式濃度計で計測して求めた。初期圧力損失は
３．３〜３．８ｍｍａｑで、捕集効率は９９．８８〜９
９．９７％と非常に優れた捕集能力を示した。

【００５３】比較例２ 比較例１と同様の装置を用いたが、放電極とアース極と
を６０ｍｍの間隔で配置した。これらの放電極とアース
極との間に３０ＫＶの電圧を印加し、実施例４で用いた
のと同じサンプル（マスク）を、この放電極とアース極
の中間に通し、１分間帯電した。得られたエレクトレッ
ト化されたマスクの初期圧力損失は３．３〜３．８ｍｍ
ａｑで、捕集効率は８０〜９０％であった。実施例４よ
りも電極間距離が短く、印加電圧が大きい条件でエレク
トレット化したにもかかわらず、捕集効率はかなり低
く、十分にエレクトレット化されていないことがわか
る。なお、このマスクをエレクトレット化処理しない状
態での捕集効率は７５〜８５％である。

【００５４】実施例５ サンプルとして、ポリプロピレン繊維８０重量％とレー
ヨン繊維２０重量％とからなる目付２４０ｇ／ｍ² 、厚
み１．５ｍｍのニードルパンチ不織布を用いた。エレク
トレット化装置としては図３に示す装置を用い、対向す
る沿面放電素子２１，２２の放電極間の距離を１２０ｍ
ｍとした。上記サンプルを沿面放電素子２１と沿面放電
素子２２との中間に通し、電圧６ＫＶｐ−ｐ、周波数２
３ＫＨｚの交流を印加することにより各沿面放電素子に
沿面放電を発生させると共に、放電極間の電位差を１５
ＫＶにして、サンプルを１分間帯電させた。得られたエ
レクトレット化されたニードルパンチ不織布に、大気塵
を面風速５ｃｍ／秒の条件で通過させて、初期圧力損失
と０．３〜０．５μｍの大気塵の捕集効率とを求めた。
なお、捕集効率はニードルパンチ不織布の通過前後での
０．３〜０．５μｍの粒子の数をパーティクルカウンタ
ーで計測して求めた。初期圧力損失は１．０〜１．３ｍ
ｍａｑで、捕集効率は９０〜９６％であった。

【００５５】比較例３ 比較例１と同様の装置を用いたが、放電極とアース極と
を２０ｍｍの間隔で配置した。これらの放電極とアース
極との間に１６ＫＶの電圧を印加し、実施例５で用いた
のと同じサンプル（ニードルパンチ不織布）を、アース
極と接触させた状態で通し、１分間帯電した。得られた
エレクトレット化されたニードルパンチ不織布の初期圧
力損失は１．０〜１．３ｍｍａｑで、捕集効率は６０〜
７０％であった。実施例５よりも電極間距離が短い条件
でエレクトレット化したにもかかわらず、捕集効率はか
なり低く、十分にエレクトレット化されていないことが
わかる。

【００５６】実施例６ サンプルとして厚さ５０μｍのポリテトラフルオロエチ
レン（ＰＴＦＥ）フィルムを使用した。エレクトレット
化装置としては図３に示す装置を用い、対向する沿面放
電素子２１，２２の放電極間の距離を４０ｍｍとした。
上記サンプルを沿面放電素子２１と沿面放電素子２２と
の中間に通し、電圧６ＫＶｐ−ｐ、周波数２３ＫＨｚの
交流を印加することにより各沿面放電素子に沿面放電を
発生させると共に、直流電源７１に−１ＫＶ、−２ＫＶ
又は−５ＫＶを印加し、直流電源７２をアースに代えて
放電極間の電位差を各々１ＫＶ、２ＫＶ又は５ＫＶとし
て、サンプルを１分間帯電させた。帯電直後のサンプル
を銅製アース板に乗せ、帯電直後のサンプルの表面電位
をトレック表面電位計モデル３４４を用いて測定した。
結果を以下の表１に示す。

【００５７】

【表１】 印加電圧 −１ＫＶ −２ＫＶ −５ＫＶ 表面電位（表） −800 〜−900 −1500〜−1800 −4400〜−4700 表面電位（裏） ＋800 〜＋900 ＋1500〜＋1800 ＋4400〜＋4700 表面電位はほとんどの場所で、同極性でその均一性も高
かった。

【００５８】比較例４ 比較例１と同様の装置を用いたが、放電極とアース極と
を２０ｍｍの間隔で配置した。これらの放電極とアース
極との間に−１０ＫＶの電圧を印加し、実施例６で用い
たのと同じサンプル（ＰＴＦＥフィルム）を、この放電
極とアース極の中間に通し、１分間帯電した。実施例６
と同様にして帯電直後の表面電位を測定した。 放電面 −１００Ｖ以下 反対面 −５０Ｖ以下 帯電量は非常に小さく帯電圧もばらついた。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、被エレクトレット化体
の大きさや形状が制限されず、従って、非平板状や厚手
の被エレクトレット化体でも効果的に処理することがで
き、高電圧を印加することができ、必要な場合には被処
理誘電体の温度を容易に制御することができ、スパーク
放電や絶縁破壊などによる被エレクトレット化体の損傷
が起こりにくく、しかも被エレクトレット化体の両方向
から異なった極性の電荷を同時に作用させることにより
帯電の程度や持続性も満足することのできるエレクトレ
ット化処理を実施することができる。フィルムへの帯電
においても、Ｔダイあるいはインフレーションダイ直後
に帯電させることができ、更には、延伸工程中など各種
の処理工程中にも帯電させることができる。

【００６０】また、本発明によれば、帯電量はイオン反
発性電極とイオン吸引性電極との間の電界強度によら
ず、イオン反発性電極とイオン吸引性電極間の電位差の
みに依存するので、両イオン電極間を充分広くすること
ができ、被エレクトレット化体の処理空間を広くするこ
とができる。また、一対のイオン発生手段、イオン反発
性電極及びイオン吸引性電極の間に配置するか又は通過
させるだけで荷電処理することができるので、煩雑な操
作が必要でなく、連続加工にも適している。更に、高い
電界強度を用いる必要がないので、電極間のスパーク放
電がなく、被帯電体の損傷がない。以上、本発明を特定
の態様に従って説明したが、当業者に自明の変形は本発
明の範囲に含まれるものと理解されたい。

【図面の簡単な説明】

【図１】コロナ放電に用いる従来法の装置を模式的に示
す断面図である。

【図２】従来法の圧電性エレクトレット体の製造装置を
模式的に示す断面図である。

【図３】一対の交流沿面放電素子を用いる本発明装置の
一態様を模式的に示す断面図である。

【図４】図３の装置を用いて交流及び直流電圧を印加し
た場合に得られる交流波形を示すグラフである。

【図５】本発明装置で用いる交流沿面放電素子の斜視図
である。

【図６】一対の円筒状交流沿面放電素子を用いる本発明
装置の別の態様を模式的に示す断面図である。

【図７】交流沿面放電素子と直流コロナ放電素子とを用
いる本発明装置の一態様を模式的に示す断面図である。

【図８】一対のイオナイザーを用いる本発明装置の一態
様を模式的に示す断面図である。

【図９】一対の直流コロナ型イオン発生素子を用いる本
発明装置の一態様を模式的に示す断面図である。

【図１０】一対の交流コロナ型イオン発生素子を用いる
本発明装置の一態様を模式的に示す断面図である。

【図１１】加熱装置を設ける本発明装置の一態様を模式
的に示す説明図である。

【図１２】Ｔダイ押出成形に本発明装置を利用する一態
様を模式的に示す説明図である。

【符号の説明】

１１・・被処理誘電体；２１，２２・・交流沿面放電素
子；２３・・直流コロナ放電素子；２４，２５・・イオ
ナイザー；２６，２７・・直流コロナ型イオン発生素
子；２８，２９・・交流コロナ型イオン発生素子；３
１，３２，３８，３９・・誘電体；４１，４２，４３，
８６ｂ，８７ｂ，８８ｂ，８９ｂ・・放電極；４４，４
５・・イオン吸引電極；５１，５２，８８ａ，８９ａ・
・誘起電極；６１，６２，６８，６９・・交流電源；７
１，７２，７３，７４ａ，７５ａ，７６ａ，７６ｂ，７
７ａ，７７ｂ，７８，７９・・直流電源；８４ａ，８５
ａ・・コロナ放電極；８４ｂ，８５ｂ・・アース極；８
４ｃ，８５ｃ・・ガイド板；８６ａ，８７ａ・・対電
極；９１・・Ｔダイ；９２，９３・・ヒーター；９４・
・搬送体。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）対向して配置し、直流電圧による
   電位差を設けた第１のイオン反発性電極と第１のイオン
   吸引性電極との間に、それらの電極とはそれぞれ非接触
   状態で配置した被処理誘電体と、前記の第１のイオン反
   発性電極との間に、第１のイオン発生手段から供給され
   た正極性イオン又は負極性イオンのいずれか１種のみ
   を、前記の電位差によって前記の第１のイオン反発性電
   極から前記の第１のイオン吸引性電極の方向へ移動さ
   せ、前記の被処理誘電体上へ転移させる工程、及び （２）前記工程（１）と実質的に同時に、（２ａ）前記
   の被処理誘電体と非接触状態で、しかも前記の被処理誘
   電体に関して前記の第１のイオン反発性電極とは反対側
   に対向して配置した第２のイオン反発性電極と、前記の
   被処理誘電体との間に、第２のイオン発生手段から供給
   された正極性イオン又は負極性イオンの内、前記の第１
   のイオン発生手段から被処理誘電体に転移させたイオン
   とは反対の極性のイオンのみを、前記の被処理誘電体と
   非接触状態で、しかも前記の被処理誘電体に関して前記
   の第１のイオン吸引性電極とは反対側に対向して配置し
   た第２のイオン吸引性電極と前記の第２のイオン反発性
   電極との間に設けた直流電圧による電位差によって、前
   記の第２のイオン反発性電極から前記の第２のイオン吸
   引性電極の方向へ移動させ、前記の被処理誘電体上へ転
   移させる工程、あるいは、（２ｂ）前記の被処理誘電体
   と非接触状態で、しかも前記の被処理誘電体に関して前
   記の第１のイオン反発性電極とは反対側に対向して配置
   した第２のイオン発生手段から供給された正極性イオン
   又は負極性イオンの内、前記の第１のイオン発生手段か
   ら被処理誘電体に転移され、前記の被処理誘電体を荷電
   したイオンとは反対の極性のイオンのみを、前記の荷電
   被処理誘電体の吸引力により、第２のイオン発生手段か
   ら被処理誘電体へ転移させる工程、を含むことを特徴と
   する、前記の被処理誘電体からエレクトレット体を製造
   する方法。
2. 【請求項２】 圧電性エレクトレット体を製造する、請
   求項１に記載の方法。
3. 【請求項３】 前記工程（１）及び工程（２）におい
   て、被処理誘電体の温度を室温以上で前記被処理誘電体
   のキュリー温度未満の温度範囲内に維持する、請求項１
   又は請求項２に記載の方法。
4. 【請求項４】 表面帯電型エレクトレット体を製造す
   る、請求項１に記載の方法。
5. 【請求項５】 前記工程（１）及び工程（２）におい
   て、被処理誘電体の温度を室温以上で前記被処理誘電体
   の融点未満の温度範囲内に維持する、請求項１又は請求
   項４に記載の方法。
6. 【請求項６】 第１のイオン発生手段が、交流沿面放電
   素子、イオナイザー、交流コロナ型イオン発生素子、又
   は直流コロナ型イオン発生素子であり、そして第２のイ
   オン発生手段が、交流沿面放電素子、直流コロナ放電素
   子、イオナイザー、交流コロナ型イオン発生素子、又は
   直流コロナ型イオン発生素子である、請求項１〜５のい
   ずれか一項に記載の方法。
7. 【請求項７】 第１のイオン発生手段及び第２のイオン
   発生手段が共に交流沿面放電素子であり、第１のイオン
   発生手段である交流沿面放電素子の放電極が、第１のイ
   オン発生手段から放出されるイオンの反発性電極である
   と共に、第２のイオン発生手段から放出されるイオンの
   吸引性電極であり、第２のイオン発生手段である交流沿
   面放電素子の放電極が、第２のイオン発生手段から放出
   されるイオンの反発性電極であると共に、第１のイオン
   発生手段から放出されるイオンの吸引性電極である、請
   求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
8. 【請求項８】 第１のイオン発生手段が交流沿面放電素
   子であり、第２のイオン発生手段が直流コロナ放電素子
   であり、第１のイオン発生手段である交流沿面放電素子
   の放電極が第１のイオン発生手段から放出されるイオン
   の反発性電極であり、直流コロナ放電素子の放電極が第
   １のイオン吸引性電極であり、前記の直流コロナ放電素
   子と、前記の交流沿面放電素子から吸引されたイオンに
   よって荷電された被処理体との間でコロナ放電を行う、
   請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
9. 【請求項９】 イオン反発性電極；そのイオン反発性電
   極と対向して配置されたイオン吸引性電極；前記のイオ
   ン反発性電極と前記のイオン吸引性電極との間にそれぞ
   れに非接触状態で被処理誘電体を配置することのできる
   手段；前記の被処理誘電体を配置することのできる手段
   によって配置される被処理誘電体と前記のイオン反発性
   電極との間に、正極性イオン及び／又は負極性イオンを
   供給することのできるイオン発生手段；及び前記のイオ
   ン発生手段によって供給される正極性イオン又は負極性
   イオンのいずれか１種のみを、前記のイオン反発性電極
   から前記のイオン吸引性電極の方向へ移動させ、前記の
   被処理誘電体に転移させることのできる電位差を、前記
   のイオン反発性電極と前記のイオン吸引性電極との間に
   直流電圧を印加することによって発生させることのでき
   る手段；を含むことを特徴とする、エレクトレット体の
   製造装置。
10. 【請求項１０】 前記の被処理誘電体を配置することの
    できる手段によって配置される被処理誘電体に関して前
    記のイオン反発性電極とは反対側に対向して配置され、
    前記の被処理誘電体を配置することのできる手段によっ
    て配置される被処理誘電体と接触しない第２のイオン反
    発性電極；前記の被処理誘電体を配置することのできる
    手段によって配置される被処理誘電体に関して前記のイ
    オン吸引性電極とは反対側に対向して配置され、前記の
    被処理誘電体を配置することのできる手段によって配置
    される被処理誘電体と接触しない第２のイオン吸引性電
    極；前記の被処理誘電体を配置することのできる手段に
    よって配置される被処理誘電体と前記の第２のイオン反
    発性電極との間に、正極性イオン及び／又は負極性イオ
    ンを供給することのできる第２のイオン発生手段；及び
    前記の第２のイオン発生手段によって供給される正極性
    イオン又は負極性イオンの内、前記のイオン発生手段か
    ら被処理誘電体に転移させたイオンとは反対の極性のイ
    オンのみを、前記の第２のイオン反発性電極から前記の
    第２のイオン吸引性電極の方向へ移動させ、前記の被処
    理誘電体に転移させることのできる電位差を、前記の第
    ２のイオン反発性電極と前記の第２のイオン吸引性電極
    との間に直流電圧を印加することによって発生させるこ
    とのできる手段；を更に含む、請求項９に記載の装置。
11. 【請求項１１】 イオン発生手段を、交流沿面放電素
    子、イオナイザー、交流コロナ型イオン発生素子、及び
    直流コロナ型イオン発生素子からなる群から選ぶ、請求
    項９又は請求項１０に記載の装置。
12. 【請求項１２】 １対の交流沿面放電素子を用いる請求
    項９〜１１のいずれか一項に記載の装置。
13. 【請求項１３】 前記の被処理誘電体を配置することの
    できる手段によって配置される被処理誘電体に関して前
    記のイオン反発性電極とは反対側に対向して配置され、
    前記の被処理誘電体を配置することのできる手段によっ
    て配置される被処理誘電体と接触しない第２のイオン発
    生手段である直流コロナ放電素子を更に含み、前記の直
    流コロナ放電素子の放電極をイオン吸引性電極とする、
    請求項９に記載の装置。
14. 【請求項１４】 被処理誘電体を加熱することのできる
    手段を更に含む、請求項９〜１３のいずれか一項に記載
    の装置。