JPH09186453A - 配線基板の製造方法とその配線基板構造 - Google Patents

配線基板の製造方法とその配線基板構造

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JPH09186453A
JPH09186453A JP34179795A JP34179795A JPH09186453A JP H09186453 A JPH09186453 A JP H09186453A JP 34179795 A JP34179795 A JP 34179795A JP 34179795 A JP34179795 A JP 34179795A JP H09186453 A JPH09186453 A JP H09186453A
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JP
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insulating sheet
bump
wiring board
conductive
lsi
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JP34179795A
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Masaru Murohara
勝 室原
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Original Assignee
Toshiba Corp
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/182Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/328Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by welding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4007Surface contacts, e.g. bumps

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造工程を簡素化して、コスト低下が図れると
ともに、LSI等の配線接続部を高密度化することがで
きる配線基板の製造方法とその配線基板構造を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】バンプ突設体13の導電性バンプ16を熱
及び圧力を用いて絶縁性シート14内に刺入させて貫通
させ、かつ銅箔15を絶縁性シート14の一面側に接合
させて一体化させた状態で、絶縁性シート14の他面側
に突出された導電性バンプ16の突出部によって電気的
接点18を形成したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSIが直接実装
される配線基板の製造方法とその配線基板構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、配線基板上にLSIを直接実装
し、LSIと配線基板上の配線パターンとを電気的に接
続する方法として、ワイヤーボンティング方式や、フリ
ップチップ方式がある。ここで、配線基板上にLSIが
実装される面とは反対側の面の配線パターンにLSIの
電極を接続する場合には次に示すような2通りの接続方
法がある。
【0003】その第1の接続方法は配線基板のスルーホ
ールである両面間配線部を通してLSI側の電極をLS
Iが実装されている面とは反対側の面の配線パターンに
接続するものである。
【0004】また、第2の接続方法は図7および図8に
示すように配線基板1に貫通穴2を開け、LSI3側の
電極に一端部が接続された金ワイヤ4をその貫通穴2内
に通してLSI3が実装されている面1aとは反対側の
面1bの配線パターン5と接続するものである。この場
合、貫通穴2は配線パターン5と対応する位置に配置さ
れ、かつこの配線パターン5の幅より小さい穴径で形成
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来構
成の基板構造で第1の接続方法を採用した場合には配線
基板にスルーホールを設け、両面基板とする必要がある
ので、配線基板の製造工程が比較的複雑になり、コスト
高になる問題がある。
【0006】また、第2の接続方法を採用した場合には
配線基板1に形成される貫通穴2内に金ワイヤ4を通す
必要があるので、貫通穴2の穴径を極端に小さくする事
が困難である。そのため、図7に示すようにLSI3の
1辺当りに形成できる貫通穴2の数が比較的少なくなる
ので、LSI3の配線接続部を高密度化することが難し
い問題がある。
【0007】さらに、配線基板1に形成される隣接する
貫通穴2間の間隔を小さくした場合には配線基板1の破
断や、白化等の問題がある。そのため、隣接する貫通穴
2間の間隔は配線基板1の破断や、白化等を防止できる
程度に大きく設定する必要があるので、この点からもL
SI3の1辺当りに形成できる貫通穴2の数が制限さ
れ、LSI3の配線接続部の高密度化が困難となる問題
がある。
【0008】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、製造工程を簡素化して、コスト低下が
図れるとともに、LSI等の配線接続部を高密度化する
ことができる配線基板の製造方法とその配線基板構造を
提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は電気回
路形成用の導電性フイルムに導電性バンプが突設された
バンプ突設体の上記導電性バンプを熱及び圧力を用いた
熱プレスによって絶縁性材料からなる絶縁性シート内に
刺入させて貫通させ、かつ上記導電性フイルムを上記絶
縁性シートの一面側に接合させて一体化させた状態で、
上記絶縁性シートの他面側に突出された上記導電性バン
プの突出部によって電気的な接点を形成する電気接点形
成工程を設けたことを特徴とする配線基板の製造方法で
ある。
【0010】そして、本請求項1の発明では電気接点の
形成時にはバンプ突設体の導電性バンプを熱プレスによ
って絶縁性材料からなる絶縁性シート内に刺入させて貫
通させ、同時に導電性フイルムを絶縁性シートの一面側
に接合させて一体化させ、このとき絶縁性シートの他面
側に突出された導電性バンプの突出部によって電気的な
接点を形成するようにしたものである。
【0011】請求項2の発明は電気回路形成用の導電性
フイルム上に導電性バンプが突設されたバンプ突設体
と、絶縁性材料からなる絶縁性シートと、上記バンプ突
設体の導電性バンプを熱及び圧力を用いた熱プレスによ
って上記絶縁性シート内に刺入させて貫通させ、かつ上
記導電性フイルムを上記絶縁性シートの一面側に接合さ
せて一体化させた状態で、上記絶縁性シートの他面側に
突出された上記導電性バンプの突出部によって形成され
た電気的接点とを具備したことを特徴とする配線基板構
造である。
【0012】そして、本請求項2の発明では電気接点の
形成時にはバンプ突設体の導電性バンプを熱プレスによ
って絶縁性材料からなる絶縁性シート内に刺入させて貫
通させ、同時に導電性フイルムを絶縁性シートの一面側
に接合させて一体化させ、このとき絶縁性シートの他面
側に突出された導電性バンプの突出部によって電気的な
接点を形成するようにしたものである。
【0013】請求項3の発明は電気回路形成用の金属箔
上に導電性バンプが突設されたバンプ突設体と、絶縁性
材料からなる絶縁性シートと、上記バンプ突設体の導電
性バンプを熱及び圧力を用いた熱プレスによって上記絶
縁性シート内に刺入させて貫通させ、かつ上記金属箔を
上記絶縁性シートの一面側に接合させて一体化させた状
態で、上記絶縁性シートの他面側に突出された上記導電
性バンプの突出部によって形成された電気的接点とを具
備した配線基板本体を設け、この配線基板本体上に実装
されたLSIを上記接点に接続させたLSI接続部を設
けたことを特徴とする配線基板構造である。
【0014】そして、本請求項3の発明では配線基板本
体上に実装されたLSIを絶縁性シートに突出された導
電性バンプの突出部の電気的接点に接続させたものであ
る。請求項4の発明は上記電気的接点は表面にメッキ処
理が施されたものであることを特徴とする請求項3に記
載の配線基板構造である。
【0015】そして、本請求項4の発明では配線基板本
体上に実装されたLSIを絶縁性シートに突出された導
電性バンプの突出部の電気的接点にメッキ処理されたメ
ッキ処理面に接続させたものである。
【0016】請求項5の発明は上記LSI接続部は上記
LSIの一辺に集中して配置されたものであることを特
徴とする請求項3に記載の配線基板構造である。そし
て、本請求項5の発明では配線基板本体上に実装された
LSIを絶縁性シートに突出され、このLSIの一辺に
集中して配置された導電性バンプの突出部の電気的接点
に接続させたものである。
【0017】請求項6の発明は電気回路形成用の導電性
フイルムに導電性バンプが突設されたバンプ突設体の上
記導電性バンプを熱及び圧力を用いた熱プレスによって
絶縁性材料からなり、LSI装着穴が形成された絶縁性
シート内に刺入させて貫通させ、かつ上記導電性フイル
ムを上記絶縁性シートの一面側に接合させて一体化させ
た状態で、上記絶縁性シートの他面側に突出された上記
導電性バンプの突出部によって電気的な接点を形成する
電気接点形成工程を設けたことを特徴とする配線基板の
製造方法である。
【0018】そして、本請求項6の発明では電気接点の
形成時にはバンプ突設体の導電性バンプを熱プレスによ
ってLSI装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁
性シート内に刺入させて貫通させ、同時に導電性フイル
ムを絶縁性シートの一面側に接合させて一体化させ、こ
のとき絶縁性シートの他面側に突出された導電性バンプ
の突出部によって電気的な接点を形成するようにしたも
のである。
【0019】請求項7の発明は電気回路形成用の導電性
フイルム上に導電性バンプが突設されたバンプ突設体
と、LSI装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁
性シートと、上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び
圧力を用いた熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺
入させて貫通させ、かつ上記導電性フイルムを上記絶縁
性シートの一面側に接合させて一体化させた状態で、上
記絶縁性シートの他面側に突出された上記導電性バンプ
の突出部によって形成された電気的接点とを具備したこ
とを特徴とする配線基板構造である。
【0020】そして、本請求項7の発明では電気接点の
形成時にはバンプ突設体の導電性バンプを熱プレスによ
ってLSI装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁
性シート内に刺入させて貫通させ、同時に導電性フイル
ムを絶縁性シートの一面側に接合させて一体化させ、こ
のとき絶縁性シートの他面側に突出された導電性バンプ
の突出部によって電気的な接点を形成するようにしたも
のである。
【0021】請求項8の発明は電気回路形成用の金属箔
上に導電性バンプが突設されたバンプ突設体と、LSI
装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁性シート
と、上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び圧力を用
いた熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺入させて
貫通させ、かつ上記金属箔を上記絶縁性シートの一面側
に接合させて一体化させた状態で、上記絶縁性シートの
他面側に突出された上記導電性バンプの突出部によって
形成された電気的接点とを具備した配線基板本体を設
け、この配線基板本体上の上記金属箔上で上記LSI装
着穴内に実装されたLSIを上記接点に接続させたLS
I接続部を設けたことを特徴とする配線基板構造であ
る。
【0022】そして、本請求項8の発明では配線基板本
体上のLSI装着穴内に実装されたLSIを絶縁性シー
トに突出された導電性バンプの突出部の電気的接点に接
続させたものである。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の実施の形態
を図1乃至図5を参照して説明する。図1は本発明の第
1の実施の形態における配線基板11に実装されたLS
I12と配線基板11との配線接続状態を示すものであ
る。
【0024】また、配線基板11には図2に示すように
バンプ突設体13と、絶縁性シート14とが設けられて
いる。ここで、バンプ突設体13には例えば厚さ18μ
m程度の電気回路形成用の銅箔(導電性フイルム)15
と、この銅箔15に突設された略円錘状の突起部である
複数の導電性バンプ16とが設けられている。なお、導
電性バンプ16は例えば銀ペーストを硬化させて形成さ
れている。
【0025】また、絶縁性シート14は例えば厚さ10
0μm程度のガラスエポキシプリプレグ等の絶縁性材料
によって形成されている。この絶縁性シート14にはL
SI12装着用の略矩形状のLSI装着穴17が形成さ
れている。
【0026】さらに、この絶縁性シート14の一面側に
は銅箔15が重ねられた状態で熱及び圧力を用いた熱プ
レスによって接合されて一体化されている。この熱プレ
ス時には同時に、バンプ突設体13の導電性バンプ16
が絶縁性シート14に刺入されて貫通されている。そし
て、この絶縁性シート14の他面側に突出された導電性
バンプ16の突出部は圧潰されて略円形状の電気的接点
18が形成されている。
【0027】また、配線基板11に電気的接点18が形
成されたのち、バンプ突設体13の銅箔15はエッチン
グ加工されて配線パターン19が形成されている。さら
に、圧潰された電気的接点18にはニッケル(Ni)/
金(Au)メッキが行われてメッキ層20が形成されて
いる。そして、配線基板11に実装されたLSI12の
電極に一端部が接続された金ワイヤ21の他端部がこの
電気的接点18のメッキ層20にワイヤーボンディング
方式で接続されている。
【0028】次に、上記構成の本実施の形態の配線基板
11の製造方法について説明する。本実施の形態の配線
基板11の製造時には図3に示すように上型21と下型
22とを備えた熱プレス装置23が使用される。そし
て、予め銅箔15に複数の導電性バンプ16が突設され
たバンプ突設体13と、絶縁性シート14とが重ねられ
た状態で熱プレス装置23の上型21と下型22との間
にセットされる。ここで、バンプ突設体13の導電性バ
ンプ16は例えば銅箔15に印刷等の手段によって塗布
されたのち、略円錘状に成形された銀ペーストを硬化さ
せて作られている。なお、バンプ突設体13の導電性バ
ンプ16の高さは絶縁性シート14の厚さ(100μm
程度)より少し高く、例えば130μm程度に設定され
ている。
【0029】続いて、熱プレス装置23による熱及び圧
力を用いた熱プレスによって図4に示すようにバンプ突
設体13の導電性バンプ16を絶縁性シート14内に刺
入させて貫通させ、かつ銅箔15を絶縁性シート14の
一面側に接合させて一体化させた熱プレス成形体24が
形成される。このとき、絶縁性シート14の他面側に突
出された導電性バンプ16の突出部は熱プレス装置23
の上型21に押圧されて圧潰され、例えば直径φ0.3
mm程度の略円形状の電気的接点18が形成される(電
気接点形成工程)。
【0030】さらに、熱プレス成形体24の成形後、銅
箔15を例えばフォト・エッチング等の手段によってエ
ッチング加工し、図1に示すような配線パターン19を
形成する。この配線パターン19の形成は従来と同様に
フォト・エッチング等の手段によって行われ、フォトレ
ジストで配線パターン19のマスク等が形成される。
【0031】また、配線基板11の配線パターン19の
形成後、圧潰された電気的接点18にニッケル(Ni)
/金(Au)メッキが行われてメッキ層20が形成され
る。このメッキ層20の形成後、図5に示すように配線
基板11のLSI装着穴17にLSI12が実装され
る。
【0032】続いて、このLSI12の電極に一端部が
接続された金ワイヤ21の他端部が配線基板11の電気
的接点18のメッキ層20にワイヤーボンディング方式
で接続される。さらに、金ワイヤ21のワイヤーボンデ
ィングの終了後、図示しないトランスファーモールド装
置によって、LSI12の配線接続部の周囲に所定の厚
さの封止剤25がモールド成形され、LSI12の配線
接続部がこの封止剤25で封止される。
【0033】そこで、上記構成のものにあっては次の効
果を奏する。すなわち、本実施の形態は配線基板11の
電気的接点18の形成時にはバンプ突設体13の導電性
バンプ16を熱プレスによって絶縁性シート14内に刺
入させて貫通させ、同時に銅箔15を絶縁性シート14
の一面側に接合させて一体化させ、このとき絶縁性シー
ト14の他面側に突出された導電性バンプ16の突出部
によって電気的接点18を形成したものである。そのた
め、銅箔15に導電バンプ16を設けて熱プレスを行う
だけの簡単な製造工程であるため、製造工程が複雑なス
ルーホールを使う場合に比べて配線基板11の製造工程
を簡素化して、コスト低下が図れる。
【0034】また、本実施の形態では配線基板11の製
造時に絶縁性シート14から突出された導電性バンプ1
6の突出部を圧潰して電気的接点18を形成したので、
LSI12の大きさが同じ場合でも配線基板に貫通穴を
開けてLSIの電極接続用の金ワイヤを挿入する場合に
比べてLSI12の配線接続部を小さくすることができ
る。そのため、配線基板11上にLSI12が実装され
る面11aとは反対側の面11bの配線パターン19に
LSI12の電極を接続する際にLSI12の配線接続
部を高密度化することができる。
【0035】例えば、図7の従来構成の配線基板ではL
SIの1辺当りに形成できる配線接続部(貫通穴2)の
数は3つが限界となっているが、図1の本実施の形態の
配線基板11ではLSI12の大きさが同じ場合でもL
SI12の1辺当りに5つの配線接続部(電気的接点1
8)を形成することができる。
【0036】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
るものではない。例えば、本実施の形態では電気的接点
18にニッケル/金メッキによるメッキ層20を設けた
が、図6に示すようにフリップチップ方式でLSI31
を配線基板11に実装する場合にはLSI31側のバン
プ32に導電ペーストを塗布し、このバンプ32を配線
基板11の電気的接点18に接続しても良い。この場合
には電気的接点18にニッケル/金メッキによるメッキ
層20を設けることが不要となる。
【0037】なお、絶縁性シート14は本実施の形態の
ガラスエポキシプリプレグに代えて例えばPET(ポリ
エチレン・テレフタレート)等の絶縁性の合成樹脂シー
トでも良い。さらに、その他、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々変形実施できることは勿論である。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、製造工程を簡素化し
て、コスト低下が図れるとともに、LSI等の配線接続
部を高密度化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態におけるLSIが実
装された配線基板へのLSIの配線接続状態を示す平面
図。
【図2】図1のL1 −L1 線断面図。
【図3】第1の実施の形態の配線基板の製造時にバンプ
突設体とガラスエポキシプリプレグとを熱プレスする前
の状態を示す縦断面図。
【図4】第1の実施の形態のバンプ突設体とガラスエポ
キシプリプレグとを熱プレス後の状態を示す縦断面図。
【図5】第1の実施の形態の配線基板にLSIが実装さ
れた状態を示す縦断面図。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示す要部の縦断面
図。
【図7】LSIが実装された従来の配線基板へのLSI
の配線接続状態を示す平面図。
【図8】図7のL1 −L1 線断面図。
【符号の説明】
11 配線基板 12 LSI 13 バンプ突設体 14 絶縁性シート 15 銅箔(導電性フイルム) 16 導電性バンプ 18 電気的接点

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気回路形成用の導電性フイルムに導電
    性バンプが突設されたバンプ突設体の上記導電性バンプ
    を熱及び圧力を用いた熱プレスによって絶縁性材料から
    なる絶縁性シート内に刺入させて貫通させ、かつ上記導
    電性フイルムを上記絶縁性シートの一面側に接合させて
    一体化させた状態で、上記絶縁性シートの他面側に突出
    された上記導電性バンプの突出部によって電気的な接点
    を形成する電気接点形成工程を設けたことを特徴とする
    配線基板の製造方法。
  2. 【請求項2】 電気回路形成用の導電性フイルム上に導
    電性バンプが突設されたバンプ突設体と、 絶縁性材料からなる絶縁性シートと、 上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び圧力を用いた
    熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺入させて貫通
    させ、かつ上記導電性フイルムを上記絶縁性シートの一
    面側に接合させて一体化させた状態で、上記絶縁性シー
    トの他面側に突出された上記導電性バンプの突出部によ
    って形成された電気的接点とを具備したことを特徴とす
    る配線基板構造。
  3. 【請求項3】 電気回路形成用の金属箔上に導電性バン
    プが突設されたバンプ突設体と、 絶縁性材料からなる絶縁性シートと、 上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び圧力を用いた
    熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺入させて貫通
    させ、かつ上記金属箔を上記絶縁性シートの一面側に接
    合させて一体化させた状態で、上記絶縁性シートの他面
    側に突出された上記導電性バンプの突出部によって形成
    された電気的接点とを具備した配線基板本体を設け、 この配線基板本体上に実装されたLSIを上記接点に接
    続させたLSI接続部を設けたことを特徴とする配線基
    板構造。
  4. 【請求項4】 上記電気的接点は表面にメッキ処理が施
    されたものであることを特徴とする請求項3に記載の配
    線基板構造。
  5. 【請求項5】 上記LSI接続部は上記LSIの一辺に
    集中して配置されたものであることを特徴とする請求項
    3に記載の配線基板構造。
  6. 【請求項6】 電気回路形成用の導電性フイルムに導電
    性バンプが突設されたバンプ突設体の上記導電性バンプ
    を熱及び圧力を用いた熱プレスによって絶縁性材料から
    なり、LSI装着穴が形成された絶縁性シート内に刺入
    させて貫通させ、かつ上記導電性フイルムを上記絶縁性
    シートの一面側に接合させて一体化させた状態で、上記
    絶縁性シートの他面側に突出された上記導電性バンプの
    突出部によって電気的な接点を形成する電気接点形成工
    程を設けたことを特徴とする配線基板の製造方法。
  7. 【請求項7】 電気回路形成用の導電性フイルム上に導
    電性バンプが突設されたバンプ突設体と、 LSI装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁性シ
    ートと、 上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び圧力を用いた
    熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺入させて貫通
    させ、かつ上記導電性フイルムを上記絶縁性シートの一
    面側に接合させて一体化させた状態で、上記絶縁性シー
    トの他面側に突出された上記導電性バンプの突出部によ
    って形成された電気的接点とを具備したことを特徴とす
    る配線基板構造。
  8. 【請求項8】 電気回路形成用の金属箔上に導電性バン
    プが突設されたバンプ突設体と、 LSI装着穴が形成された絶縁性材料からなる絶縁性シ
    ートと、 上記バンプ突設体の導電性バンプを熱及び圧力を用いた
    熱プレスによって上記絶縁性シート内に刺入させて貫通
    させ、かつ上記金属箔を上記絶縁性シートの一面側に接
    合させて一体化させた状態で、上記絶縁性シートの他面
    側に突出された上記導電性バンプの突出部によって形成
    された電気的接点とを具備した配線基板本体を設け、 この配線基板本体上の上記金属箔上で上記LSI装着穴
    内に実装されたLSIを上記接点に接続させたLSI接
    続部を設けたことを特徴とする配線基板構造。
JP34179795A 1995-12-27 1995-12-27 配線基板の製造方法とその配線基板構造 Pending JPH09186453A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102680748A (zh) * 2011-03-07 2012-09-19 日本特殊陶业株式会社 电子部件测试装置用线路板及其制造方法
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US8981237B2 (en) 2011-03-07 2015-03-17 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Wiring board for electronic parts inspecting device and its manufacturing method
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