JPH09181237A - 半導体装置のリード成形加工装置 - Google Patents
半導体装置のリード成形加工装置Info
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Abstract
リード成形を行うとともに、成形する辺の変更を自動化
する。 【解決手段】 受け台1は半導体装置12の下部が嵌合
する凹部を有し、凹部に嵌合した半導体装置12とリー
ド13の根元部分とを保持する。押え部品2はリード1
3の根元部分を受け台1側に圧着し、その圧着力は昇降
アクチュエータが保持部11を上下動することで可変さ
れる。リード成形爪3a,3b,4a,4bはリード1
3を折り曲げて成形し、リード13の保持力はアクチュ
エータ5,6によって可変される。成形部7,8はリー
ド成形爪3a,3b,4a,4bをX方向及びZ方向に
微動させながら円弧状に移動させる。圧力可変部9はア
クチュエータ5,6によるリード13の保持力の可変動
作を制御する。NCモータ10は受け台1を回転させ、
NCモータ14は押え部品2を回転させる。
Description
成形加工装置に関し、特に半導体装置の製造工程におけ
る半製品のリード成形加工に関する。
は、QFP(Quad Flat Package)や
SOP(Small Outline Packag
e)タイプの半導体装置の場合、封入工程と半田メッキ
工程とリード切断工程と枠個片分離工程とが終了した後
に、リードを折り曲げるリード成形加工工程が実行され
ている。
リード成形加工装置は、図11に示すように、半導体装
置12を保持する保持部41,42と、半導体装置12
のリード13の根元部分を固定するリード固定爪43,
44と、リード13の先端部分を保持してリード成形を
行うリード成形爪45a,45b,46a,46bと、
リード成形爪45a,45b,46a,46bを移動す
るX方向移動テーブル47,49及びZ方向移動テーブ
ル48,50と、リード13の位置を認識するカメラ5
1及び認識装置52とから構成されている。
3の成形加工を行う場合、まず保持部41,42によっ
て半導体装置12を保持し、リード13の根元部分をリ
ード固定爪43,44で固定する。
のリード13の先端部分をリード成形爪45a,45b
で挟み、右側のリード13の先端部分をリード成形爪4
6a,46bで挟む。
形爪45a,45b,46a,46bをX方向移動テー
ブル47,49及びZ方向移動テーブル48,50でX
方向及びZ方向に微動させながら円弧状(矢印E,Fの
方向)に移動させてリード13の曲げ成形を行う。
開平5−308112号公報に詳述されている。
成形加工装置では、半導体装置のリードをリード成形爪
で挟んで成形しており、リードに対するリード成形爪の
クランプ力が一定となっている。
さが異なる場合でもリードに対するリード成形爪のクラ
ンプ力が一定となっているので、半導体装置の品種やそ
の大きさによっては単位面積当たりにかかる圧力が異な
ることになり、それが原因で品質劣化等を招くことがあ
る。
一定となっているので、半導体装置が反っているような
場合にはそれが原因で安定したリード成形が行えないこ
とがある。
とともに、リードの根元部分がリード固定爪で固定され
ているので、半導体装置あるいはリードに無理な負荷を
与えながらリード成形が行われる。その結果、半導体装
置あるいはリードの消耗(摩耗)が激しくなり、それら
のうちのどちらかが破損する事故も頻繁に発生してい
る。
ように、4つの辺夫々にリードが形成されている場合に
は、対向する辺各々のリードを成形してから、一度保持
部による半導体装置の保持を解除し、半導体装置の向き
を変えて再度保持部に保持させなければならない。
消し、品質劣化や破損等を招くことなく、安定したリー
ド成形を行うことができ、成形する辺の変更を自動的に
行うことができるリード成形加工装置を提供することに
ある。
体装置のリード成形加工装置は、少なくとも互いに対向
する辺各々にリードが形成された半導体装置を保持し、
前記リードの先端部分を保持して前記リードを成形する
半導体装置のリード成形加工装置であって、前記半導体
装置の下半部が嵌合する凹部を含みかつ前記凹部に嵌合
された半導体装置及びそのリードを保持する受け台と、
前記受け台に前記リードを圧着する押え部材と、前記リ
ードの先端部分の保持力を可変する手段と、前記押え部
材の前記リードへの圧着力を可変する手段とを備えてい
る。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記リードの先端
部分の保持力及び前記押え部材の前記リードへの圧着力
を外部指示に応じて可変制御する手段を具備している。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記半導体装置の
種別に応じた前記リードの先端部分の保持力及び前記押
え部材の前記リードへの圧着力を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段の記憶内容を基に前記リードの先端部分の
保持力及び前記押え部材の前記リードへの圧着力を可変
制御する手段とを具備している。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記受け台を回転
駆動する手段を具備している。
形加工装置は、少なくとも互いに対向する辺各々にリー
ドが形成された半導体装置を保持し、前記リードの先端
部分を保持して前記リードを成形する半導体装置のリー
ド成形加工装置であって、前記半導体装置の下半部が嵌
合する凹部を含みかつ前記凹部に嵌合された半導体装置
及びそのリードを保持する受け台と、前記受け台に前記
半導体装置を圧着する押え部材と、前記リードの先端部
分の保持力を可変する手段と、前記押え部材の前記半導
体装置への圧着力を可変する手段とを備えている。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記リードの先端
部分の保持力及び前記押え部材の前記半導体装置への圧
着力を外部指示に応じて可変制御する手段を具備してい
る。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記半導体装置の
種別に応じた前記リードの先端部分の保持力及び前記押
え部材の前記半導体装置への圧着力を記憶する記憶手段
と、前記記憶手段の記憶内容を基に前記リードの先端部
分の保持力及び前記押え部材の前記リードへの圧着力を
可変制御する手段とを具備している。
形加工装置は、上記の構成のほかに、前記受け台を回転
駆動する手段を具備している。
形加工装置は、上記の構成において、前記押え部材が、
前記半導体装置との接触面の形状に合わせて上下動自在
な複数の可動ピンを具備している。
に述べる。
かつその半導体装置及びリードを保持する受け台に押え
部品でリードまたは半導体装置を圧着し、その圧着力を
圧力可変部及び昇降アクチュエータで可変自在とすると
ともに、リードを成形する際のリード成形爪による先端
部分の保持力を圧力可変部及びアクチュエータで可変自
在とする。 これによって、品質劣化やリード成形不良
(リード成形寸法不良)をなくし、高品質で安定したリ
ード成形が行える。また、半導体装置及びリードを保持
する受け台及び押え部品をNCモータで回転駆動する。
体装置及びリードを保持したまま、まだ成形していない
他の辺のリードを自動的にリード成形爪側に移動させる
ことができるので、簡略化したユニット構成にてタクト
アップしたリード成型加工が行え、装置自体のコストダ
ウンが図れる。
して説明する。図1は本発明の一実施例の正面図であ
り、図2は本発明の一実施例の側面図である。これらの
図において、受け台1と、押え部品2と、リード成形爪
3a,3b,4a,4bと、アクチュエータ5,6と、
成形部7,8と、圧力可変部9,16と、NC(Num
erically Controlled)モータ1
0,14と、保持部11と、昇降アクチュエータ15と
から構成されている。
13よりも下の部分の形状)に合わせて予め加工された
凹部を有しており、凹部に嵌合された半導体装置12と
リード13の根元部分とを保持する。この受け台1は半
導体装置12の品種に合わせて交換可能となっており、
つまりNCモータ10に着脱自在となっており、NCモ
ータ10によって回転駆動される。
装置12のリード13の根元部分を受け台1側に圧着し
ている。この場合、押え部品2によるリード13に対す
る圧着力は保持部11が昇降アクチュエータ15によっ
て上下方向(矢印Bの方向)に移動されることによって
可変される。
導体装置12の互いに対向する辺に形成されたリード1
3を夫々折り曲げて成形する。その際、リード成形爪3
a,3bによるリード13の保持力及びリード成形爪4
a,4bによるリード13の保持力は夫々アクチュエー
タ5,6によって可変自在に構成されている。
4a,4bをX方向及びZ方向に微動させながら円弧状
に移動させるX方向移動テーブル及びZ方向移動テーブ
ルから構成されている。
るリード成形爪3a,3b,4a,4bのリード13に
対する保持力の可変動作を制御する。圧力可変部16は
昇降アクチュエータ15によって保持部11を上下動さ
せ、押え部品2のリード13に対する圧着力を可変制御
する。
に回転させる。NCモータ14は押え部品2を矢印Aの
方向に回転させる。尚、NCモータ10,14は夫々同
期して受け台1及び押え部品2を回転させる。
ード13の成形加工の動作順序を示す図である。これら
図1〜図4を用いて本発明の一実施例によるリード13
の成形加工の動作順序について説明する。尚、半導体装
置12はQFPタイプとし、その外周の各辺(4つの
辺)夫々にリード13が形成されているものとする。
に、昇降アクチュエータ15によって保持部11を下降
させ、押え部品2でリード13を圧着する[図3(a)
参照]。これによって、半導体装置12及びリード13
は受け台1及び押え部品2によって保持(クランプ)さ
れる。
成形爪3a,3b,4a,4bをリード13の先端部分
まで移動させ、アクチュエータ5,6によってリード成
形爪3a,3b間の距離及びリード成形爪4a,4b間
の距離を詰めさせてリード成形爪3a,3b,4a,4
bでリード13の先端部分を挟んで保持(クランプ)す
る[図3(b)参照]。このときのリード成形爪3a,
3b,4a,4bによるリード13の保持力はアクチュ
エータ5,6によって可変することができる。
a,4bを成形部7,8のX方向移動テーブル及びZ方
向移動テーブルでX方向及びZ方向に微動させながら円
弧状に移動させてリード13の曲げ成形を行う[図3
(c)参照]。
ド13に対する曲げ成形が終了すると、リード成形爪3
a,3b,4a,4bによるリード13の先端部分の保
持を解除し、受け台1及び押え部品2によって半導体装
置12及びリード13を保持したまま、NCモータ1
0,14によって受け台1及び押え部品2を90°回転
させ、成形していない他の辺のリード13をリード成形
爪3a,3b,4a,4b側に移動させる[図4(a)
参照]。
成形爪3a,3b,4a,4bをリード13の先端部分
まで移動させ、アクチュエータ5,6によってリード成
形爪3a,3b間の距離及びリード成形爪4a,4b間
の距離を詰めさせてリード成形爪3a,3b,4a,4
bでリード13の先端部分を挟んで保持(クランプ)す
る。このときのリード成形爪3a,3b,4a,4bに
よるリード13の保持力はアクチュエータ5,6によっ
て可変することができる。
a,4bを成形部7,8のX方向移動テーブル及びZ方
向移動テーブルでX方向及びZ方向に微動させながら円
弧状に移動させてリード13の曲げ成形を行う[図4
(b)参照]。
と、昇降アクチュエータ15によって保持部11を上昇
させ、押え部品2をリード13から離して半導体装置1
2及びリード13を受け台1及び押え部品2から開放
(アンクランプ)する[図4(c)参照]。
ロック図である。図において、圧力可変部9はパーソナ
ルコンピュータ(以下、パソコンとする)17と、変換
器18と、コントローラ19と、電空レギュレータ20
と、電磁弁21とから構成されている。
給する空気圧力を設定するためのホスト装置である。変
換器18はパソコン17で設定された内容をコントロー
ラ19に伝達する。
力されたパソコン17からの設定内容に応じて電空レギ
ュレータ20に設定電気信号を供給する。電空レギュレ
ータ20はコントローラ19からの設定電気信号に比例
した制御空気圧力を電磁弁21に供給する。
制御空気圧力を切替えてアクチュエータ5,6に供給
し、リード成形爪3a,3b,4a,4bによるリード
13の保持力を可変制御する。
bによるリード13の保持力の可変制御について、図1
と図2と図5とを用いて説明する。
るリード13の保持力の可変する場合、まずパソコン1
7にてアクチュエータ5,6に対して供給する空気圧力
を設定する。
に対応付けてその空気圧力をパソコン17のメモリ装置
(図示せず)に記憶させておけば、半導体装置12の品
種や大きさをパソコン17に入力するだけで空気圧力を
自動的に設定することも可能である。
器18を通してコントローラ19に伝達される。コント
ローラ19は設定された空気圧力に応じた電気信号を電
空レギュレータ20に供給するので、その電気信号に対
応した制御空気圧力が電空レギュレータ20から電磁弁
21に供給される。
ード13をクランプする時、その制御空気圧力が電磁弁
21からアクチュエータ5,6に供給されるので、制御
空気圧力によって制御されるアクチュエータ5,6の動
作によって、リード成形爪3a,3b,4a,4bによ
るリード13の保持力が可変される。
リード13のクランプ力を可変することができるので、
リード13に対するクランプ力が一定であるために従来
技術で発生していた品質劣化につながる要因、例えば打
痕、半田削れによるショートやキズ、及び曲り等を取り
除くことが可能となる。
2及びリード13の保持動作を示す図であり、図7は図
1の受け台1及び押え部品2による半導体装置12及び
リード13の保持動作を示す図である。これらの図にお
いて、受け台1は半導体装置12の外形に合わせて予め
加工され、半導体装置12のリード13よりも下の部分
が嵌合する凹部を有しており、その凹部に嵌合された半
導体装置12とリード13の根元部分とを保持する。
の根元部分を押え部品2で押付け、押え部品2によって
リード13を受け台1側に圧着する。この場合、押え部
品2によるリード13に対する圧着力は保持部11が昇
降アクチュエータ15によって上下方向に移動すること
によって可変される。
半導体装置12及びリード13の保持動作を示す図であ
り、図9は本発明の他の実施例の受け台及び押え部品に
よる半導体装置12及びリード13の保持動作を示す図
である。
置12の外形に合わせて予め加工されかつ半導体装置1
2のリード13よりも下の部分が嵌合する凹部と、凹部
に嵌合された半導体装置12の底面を支える保持ピン2
2〜24とを有しており、その凹部に嵌合された半導体
装置12とリード13の根元部分とを保持する。
部品25の可動ピン26〜28で押付け、押え部品25
によって半導体装置12を受け台1側に圧着する。この
場合、押え部品25による半導体装置12に対する圧着
力は保持部11が昇降アクチュエータ15によって上下
方向に移動することによって可変される。
8は圧縮コイルバネ30によって下方向に付勢されてお
り、ブッシュ29によって上下方向(矢印Dの方向)に
移動自在に保持されている。
装置12の上面の形状に合わせて、つまり反っている部
分(山状になった部分)や逆に反った部分(谷状になっ
た部分)に合わせて上下動するので、押え部品25によ
って半導体装置12あるいはリード13に無理な負荷を
与えることなく、リード13の成形を行うことができ
る。よって、半導体装置12あるいはリード13の消耗
(摩耗)が激しくなくなるので、それらのうちのどちら
かが破損する事故も防止することが可能となる。
すブロック図である。図において、圧力可変部16はパ
ソコン17と、変換器18と、コントローラ31と、電
空レギュレータ32と、電磁弁33とから構成されてい
る。
供給する空気圧力を設定するためのホスト装置である。
変換器18はパソコン17で設定された内容をコントロ
ーラ31に伝達する。
力されたパソコン17からの設定内容に応じて電空レギ
ュレータ32に設定電気信号を供給する。電空レギュレ
ータ32はコントローラ31からの設定電気信号に比例
した制御空気圧力を電磁弁33に供給する。
制御空気圧力を切替えて昇降アクチュエータ15に供給
し、押え部品2(あるいは押え部品25)によるリード
13(または半導体装置12)の保持力を可変制御す
る。
5)によるリード13(または半導体装置12)の保持
力の可変制御について、図1と図2と図10とを用いて
説明する。
るリード13(または半導体装置12)の保持力を可変
する場合、まずパソコン17にて昇降アクチュエータ1
5に対して供給する空気圧力を設定する。
に対応付けてその空気圧力をパソコン17のメモリ装置
(図示せず)に記憶させておけば、半導体装置12の品
種や大きさをパソコン17に入力するだけで空気圧力を
自動的に設定することも可能である。
器18を通してコントローラ31に伝達される。コント
ローラ31は設定された空気圧力に応じた電気信号を電
空レギュレータ32に供給するので、その電気信号に対
応した制御空気圧力が電空レギュレータ32から電磁弁
33に供給される。
ード13(または半導体装置12)をクランプする時、
その制御空気圧力が電磁弁33から昇降アクチュエータ
15に供給されるので、制御空気圧力によって制御され
る昇降アクチュエータ15の動作によって、押え部品2
(あるいは押え部品25)によるリード13(または半
導体装置12)の保持力が可変される。
リード13(または半導体装置12)のクランプ力を可
変することができるので、リード13(または半導体装
置12)に対するクランプ力が一定であるために従来技
術で発生していた品質劣化につながる要因、例えば打
痕、半田削れによるショートやキズ、及び曲り等を取り
除くことが可能となる。
の方向に回転させ、NCモータ14で押え部品2を矢印
Aの方向に回転させることで、受け台1及び押え部品2
によって半導体装置12及びリード13を保持したまま
受け台1及び押え部品2を回転させることが可能とな
る。よって、成形していない他の辺のリード13を自動
的にリード成形爪3a,3b,4a,4b側に移動させ
ることができる。
たユニット構成にてタクトアップしたリード成型加工を
行うことができ、装置自体のコストダウンを図ることが
できる。
合する凹部を含みかつその半導体装置12及びリード1
3を保持する受け台1に押え部品2,25でリード13
または半導体装置12を圧着し、その圧着力を圧力可変
部16及び昇降アクチュエータ15で可変自在にすると
ともに、リード13を成形する際のリード成形爪3a,
3b,4a,4bによる先端部分の保持力を圧力可変部
9及びアクチュエータ5,6で可変自在とすることによ
って、品質劣化やリード成形不良(リード成形寸法不
良)をなくし、高品質で安定したリード成形を行うこと
ができる。
持する受け台1及び押え部品2,25をNCモータ1
0,14で回転駆動することによって、受け台1及び押
え部品2,25で半導体装置12及びリード13を保持
したまま、まだ成形していない他の辺のリード13を自
動的にリード成形爪3a,3b,4a,4b側に移動さ
せることができるので、簡略化したユニット構成にてタ
クトアップしたリード成型加工を行うことができ、装置
自体のコストダウンを図ることができる。
導体装置の下半部が嵌合する凹部を含みかつその半導体
装置及びリードを保持する受け台に押え部材とリードを
圧着し、この圧着力を可変自在にするとともに、リード
を成形する際の先端部分の保持力を可変自在とすること
によって、品質劣化や破損等を招くことなく、安定した
リード成形を行うことができ、成形する辺の変更を自動
的に行うことができるという効果がある。
た状態を示す図、(b)は図1のリード成形爪でリード
の先端部分を挟んで保持した状態を示す図、(c)は図
1のリード成形爪によるリードの曲げ成形を示す図であ
る。
たまま受け台及び押え部品を回転させた状態を示す図、
(b)は図1のリード成形爪によるリードの曲げ成形を
示す図、(c)は図1の受け台及び押え部品による半導
体装置及びリードの保持を開放した状態を示す図であ
る。
る。
持動作を示す図である。
びリードの保持動作を示す図である。
及びリードの保持動作を示す図である。
る半導体装置及びリードの保持動作を示す図である。
ある。
である。
形加工を示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 少なくとも互いに対向する辺各々にリー
ドが形成された半導体装置を保持し、前記リードの先端
部分を保持して前記リードを成形する半導体装置のリー
ド成形加工装置であって、前記半導体装置の下半部が嵌
合する凹部を含みかつ前記凹部に嵌合された半導体装置
及びそのリードを保持する受け台と、前記受け台に前記
リードを圧着する押え部材と、前記リードの先端部分の
保持力を可変する手段と、前記押え部材の前記リードへ
の圧着力を可変する手段とを有することを特徴とするリ
ード成形加工装置。 - 【請求項2】 前記リードの先端部分の保持力及び前記
押え部材の前記リードへの圧着力を外部指示に応じて可
変制御する手段を含むことを特徴とする請求項1記載の
リード成形加工装置。 - 【請求項3】 前記半導体装置の種別に応じた前記リー
ドの先端部分の保持力及び前記押え部材の前記リードへ
の圧着力を記憶する記憶手段と、前記記憶手段の記憶内
容を基に前記リードの先端部分の保持力及び前記押え部
材の前記リードへの圧着力を可変制御する手段とを含む
ことを特徴とする請求項1記載のリード成形加工装置。 - 【請求項4】 前記受け台を回転駆動する手段を含むこ
とを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか記載の
リード成形加工装置。 - 【請求項5】 少なくとも互いに対向する辺各々にリー
ドが形成された半導体装置を保持し、前記リードの先端
部分を保持して前記リードを成形する半導体装置のリー
ド成形加工装置であって、前記半導体装置の下半部が嵌
合する凹部を含みかつ前記凹部に嵌合された半導体装置
及びそのリードを保持する受け台と、前記受け台に前記
半導体装置を圧着する押え部材と、前記リードの先端部
分の保持力を可変する手段と、前記押え部材の前記半導
体装置への圧着力を可変する手段とを有することを特徴
とするリード成形加工装置。 - 【請求項6】 前記リードの先端部分の保持力及び前記
押え部材の前記半導体装置への圧着力を外部指示に応じ
て可変制御する手段を含むことを特徴とする請求項5記
載のリード成形加工装置。 - 【請求項7】 前記半導体装置の種別に応じた前記リー
ドの先端部分の保持力及び前記押え部材の前記半導体装
置への圧着力を記憶する記憶手段と、前記記憶手段の記
憶内容を基に前記リードの先端部分の保持力及び前記押
え部材の前記リードへの圧着力を可変制御する手段とを
含むことを特徴とする請求項5記載のリード成形加工装
置。 - 【請求項8】 前記受け台を回転駆動する手段を含むこ
とを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか記載の
リード成形加工装置。 - 【請求項9】 前記押え部材は、前記半導体装置との接
触面の形状に合わせて上下動自在な複数の可動ピンを含
むことを特徴とする請求項5から請求項8のいずれか記
載のリード成形加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33453895A JP3146277B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 半導体装置のリード成形加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33453895A JP3146277B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 半導体装置のリード成形加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09181237A true JPH09181237A (ja) | 1997-07-11 |
| JP3146277B2 JP3146277B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=18278535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33453895A Expired - Fee Related JP3146277B2 (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 半導体装置のリード成形加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3146277B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101800300A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-08-11 | 陈义忠 | 一种自动整耳模 |
| CN103316967A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-09-25 | 浙江海悦自动化机械股份有限公司 | 一种极耳整形机构 |
-
1995
- 1995-12-22 JP JP33453895A patent/JP3146277B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101800300A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-08-11 | 陈义忠 | 一种自动整耳模 |
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| JP3146277B2 (ja) | 2001-03-12 |
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