JPH09181145A - チップマウント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＳＡＷデバイスを、全自動で、精度良く、か
つ歩留り良く形成できるチップマウント装置を提供す
る。 【構成】 ＳＡＷチップ７がマウントされる外囲器１を
複数保持するキャリア１１を間欠的に送り駆動し、この
キャリア１１に保持された外囲器１内に順次チップ７を
マウントするチップマウント装置であって、前記キャリ
ア１１をガイド保持するキャリア搬送路１９と、このキ
ャリア搬送路上１９に、チップ７がマウントされていな
い外囲器１を多数保持するキャリア１１を供給するキャ
リア供給装置１７と、上記搬送路１９上でキャリア１１
を間欠的に送り駆動するキャリア搬送装置２０と、上記
キャリア１１に保持された外囲器１内にチップ７をマウ
ントするマウント装置２２と、全ての外囲器１にチップ
７がマウントされたキャリア１１を順次上記搬送路１９
から回収するキャリア回収装置１８とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、微小な
半導体チップ（この発明では「チップ部品」という）で
あるＳＡＷチップ（弾性表面波素子）を外囲器内にマウ
ントし固定するチップマウント装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話等の移動体通信装置は、
パーソナル化、ディジタル化及びコンピュータネットワ
ーク化の流れの中で大きな変化を遂げている。このよう
な流れの中で、上記移動体通信装置に搭載される周波数
変換フィルタには、小型、軽量及びフィルタとしての急
俊遮断性等を満たすことが求められ、この要求を満たす
フィルタとして、現在ＳＡＷチップ(Surface Acoustic
Wave chip ：弾性波表面波素子) が注目され、実用化さ
れつつある。

【０００３】このようなＳＡＷチップは、セラミック製
の外囲器内に実装（チップマウント及びワイヤボンディ
ング）され、パッケージとして供給される。以下、この
パッケージを、ＳＡＷデバイスと称することとする。

【０００４】図２２（ａ）、（ｂ）に示すのは、ＳＡＷ
デバイスの外囲器１である。この外囲器１は、セラミッ
クスの多層焼結体であり、少なくとも、外部電極が設け
られていると共にＳＡＷチップがマウントされるベース
となる第１の層３と、上記ＳＡＷチップの挿入される挿
入孔４ａが形成されていると共にその周囲に上記ＳＡＷ
チップ２とワイヤ接続される回路パターン５が形成され
た第２の層４と、この第２の層４に積層され上記ＳＡＷ
チップの挿入口を区画する第３の層６とからなる。

【０００５】上記ＳＡＷチップの実装は、図２３（ａ）
に示すように、上記外囲器１の第１の層３の表面に銀ペ
ースト８等の接着剤を塗布した後、同図（ｂ）に示すよ
うに、この銀ペースト８上に上記ＳＡＷチップ７をマウ
ントし、ついで、このＳＡＷチップ７の電極パッドと上
記第２の層に形成された回路パターン５の端子部とをワ
イヤ８で接続（ワイヤボンディング）することで行われ
る。そして最後に、上記第３の層６に図に９で示す蓋体
を接合し上記ＳＡＷチップ７の実装部分を覆い隠すこと
でこのＳＡＷデバイスは完成する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来、上記
ＳＡＷデバイスの製造には、以下に説明する解決すべき
課題がある。

【０００７】まず、上記外囲器１は前述したようにセラ
ミックスの多層焼結体であるため、成形後の寸法精度が
非常に悪いということがある。

【０００８】すなわち、上記各外囲器１は、あらかじめ
外部電極等が形成された上記第１の層３と上記回路パタ
ーン５が形成された第２の層４と上記ＳＡＷチップ７の
挿入口が形成された第３の層６とを積層し焼結した後、
この積層焼結体を格子状に切断し、個々の外囲器１に分
割することで多数同時に形成される。

【０００９】この切断は、上記焼結体に楔状の切り込み
を入れ、この切り込み部分に軽荷重を印加することで行
う。このため、その切断面の仕上がり寸法には、一定の
ばらつきが生じることになる。

【００１０】また、上記第２の層４に形成された回路パ
ターン５は、上記各層を積層・焼結する前にあらかじめ
印刷等の手段によって一定寸法精度の下で形成されるの
であるが、上記焼結時に生じる変形（膨脹等）によっ
て、その寸法誤差が何倍にも拡大されてしまうというこ
とがある。

【００１１】さらに、各層間の位置合わせも問題にな
る。すなわち、接合前に高精度に位置合わせを行って
も、焼結後は微細なずれが何倍にも拡大されてしまうと
いうことがある。

【００１２】したがって、チップマウント時には、この
外囲器１と上記ＳＡＷチップ７とを高精度に位置合わせ
する必要があるが、このとき、それぞれの外形を認識し
て位置合わせを行うだけでは正確な位置合わせは行えな
いこととなる。

【００１３】さらに、ＳＡＷチップ７は非常に小さな部
品であり、保持や位置決めが非常に難しい。このこと
も、精度の高いチップマウントを行うことの妨げになっ
ていたということがある。

【００１４】したがって、従来、上記ＳＡＷチップ７の
チップマウントを自動チップマウント装置で行い上記Ｓ
ＡＷデバイスの大量生産を行うことは非常に困難であり
歩留りが非常に悪いと考えられていた。

【００１５】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたものであり、上記ＳＡＷデバイスを、全自動で、精
度良く、かつ歩留り良く形成できるチップマウント装置
を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、チップ部品がマウントされる外囲器を複数保持する
キャリアを間欠的に送り駆動し、このキャリアに保持さ
れた外囲器内に順次チップ部品をマウントするチップマ
ウント装置であって、前記キャリアをガイド保持するキ
ャリア搬送路と、このキャリア搬送路上に、チップ部品
がマウントされていない外囲器を複数保持するキャリア
を供給するキャリア供給機構と、上記搬送路上でキャリ
アを間欠的に送り駆動するキャリア送り機構と、上記キ
ャリアに保持された外囲器内にチップ部品をマウントす
るマウント機構と、全ての外囲器にチップ部品がマウン
トされたキャリアを順次上記搬送路から回収するキャリ
ア回収機構とを有することを特徴とするチップマウント
装置である。

【００１７】第２の手段は、第１の手段のチップマウン
ト装置において、前記キャリア送り機構は、キャリア搬
送時にキャリアを把持するキャリア把持機構と、上記キ
ャリアの非搬送時に上記キャリアを前記搬送路に押さえ
付け、前記キャリアをその位置で固定するキャリア押さ
え機構と、上記キャリア把持機構及びキャリア押さえ機
構をカム駆動し、１つのカムで、少なくとも、把持・押
さえ解除、把持解除・押さえ、把持解除・押さえ解除の
各動作を選択的に行わせるカム機構とを有することを特
徴とするチップマウント装置である。

【００１８】第３の手段は、第２の手段のチップマウン
ト装置において、上記キャリア送り機構は、上記キャリ
ア把持機構と上記キャリア押さえ機構を上記搬送路に沿
って一体的に位置決め駆動する駆動手段を有し、上記カ
ム機構は、上記搬送路と平行に延出されかつ搬送路と平
行な軸線まわりに回転駆動されるカムを有し、このカム
を回転駆動することで上記キャリア把持機構及びキャリ
ア押さえ機構を動作させるものであることを特徴とする
チップマウント装置である。

【００１９】第４の手段は、第１の手段のチップマウン
ト装置において、前記キャリア供給機構は、それぞれ、
複数のマガジンを保持できる上段及び下段と、上段に保
持され、キャリアが収納されたマガジンを、上段から下
段へと移送する移送機構とを有し、この移送機構は、上
段と下段間で、上記マガジンに収納された任意のキャリ
アを前記キャリア搬送路に供給できる高さに位置決めす
る手段を有することを特徴とするチップマウント装置で
ある。

【００２０】第５の手段は、第１の手段のチップマウン
ト装置において、前記キャリア回収機構は、それぞれ、
複数のマガジンを保持できる上段及び下段と、下段に保
持され、キャリアが収納されていないマガジンを、この
下段から上段へと移送する移送機構とを有し、この移送
機構は、上段と下段間で、上記マガジンに設けられた任
意のキャリア収納棚を前記キャリア搬送路からキャリア
を回収できる高さに位置決めする手段を有することを特
徴とするチップマウント装置である。

【００２１】第６の手段は、第１の手段のチップマウン
ト装置において、前記マウント機構は、チップマウント
前に、前記キャリアに保持された外囲器内の位置決めマ
ークを検出する検出手段を有し、この検出手段による検
出に基づき上記チップ部品を外囲器内にマウントするマ
ウント手段とを有することを特徴とするチップマウント
装置である。

【００２２】第７の手段は、第６の手段のチップマウン
ト装置において、前記検出手段は、前記外囲器内の位置
決めマークを撮像する撮像手段を有し、前記マウント手
段は、前記チップ部品を保持する保持ヘッドを有し、前
記撮像手段は上記保持ヘッドに一体的に設けられている
ことを特徴とするチップマウント装置である。

【００２３】第８の手段は、第１の手段のチップマウン
ト装置において、前記チップマウント機構は、チップマ
ウント前にチップ部品の姿勢を補正する姿勢補正手段
と、この姿勢補正装置からチップ部品を取り出して上記
キャリアに保持された外囲器にマウントするマウント手
段とを有し、前記姿勢補正手段は、チップ部品が載置さ
れる透光性のチップ部品保持部と、この透光性のチップ
部品保持部を通してこのチップ部品保持部に保持された
上記チップ部品の姿勢を認識する姿勢認識手段と、この
姿勢認識手段の認識に基づいて上記チップ部品保持部を
回転駆動することで上記チップ部品の姿勢を補正する保
持部駆動手段と、この透光性保持部から前記マウント手
段により前記チップ部品が取り出された直後に、上記透
光性テーブルを介して取り出されたチップ部品の位置を
検出する位置認識手段とを有することを特徴とするチッ
プマウント装置である。

【００２４】第９の手段は、第８の手段のチップマウン
ト装置において、上記姿勢認識手段と位置認識手段は、
同じ撮像手段を用いて上記チップ部品の認識を行うもの
であることを特徴とするチップマウント装置である。

【００２５】第１の手段によれば、キャリア供給機構と
回収機構との間に搬送路を設け、この搬送路上でキャリ
アを間欠送り駆動することで、このキャリアに保持され
た複数の外囲器に順次チップ部品をマウントすることが
できる。このことで大量のチップマウントを自動的かつ
連続的に行うことができる効果がある。

【００２６】第２の手段によれば、キャリアに対して、
搬送のための把持と、固定のための押さえとを、カム機
構を用いることで、一つの駆動源で行うことができる。

【００２７】第３の手段によれば、カム機構を用いるこ
とで、上記把持機構及び押さえ機構が送り駆動された場
合でも、上記把持機構の把持状態や押さえ解除状態を維
持することができる。また、このカム機構は、上記把持
機構や押さえ機構と別体に設けられているので送り駆動
時の駆動慣性力を小さくすることができる。

【００２８】第４の手段によれば、マガジンからキャリ
アを順次搬送路上に送出することができる。そして、キ
ャリアを収納したマガジンは上段側に、キャリアを給出
した後のマガジンは下段側に収納するようにしたこと
で、このマガジンに収納したキャリアに塵埃等が付着す
ることを有効に防止することができる。また、マガジン
の搬送とキャリアの送出が同じ移送機構で行えるから、
このキャリアの送出が連続的に行える。

【００２９】第５の手段によれば、キャリアをマガジン
内に順次回収することができる。そして、空のマガジン
は下段側に、回収されたキャリアが満載されたマガジン
は上段側に保持するようにしたので、マガジン内のキャ
リアに塵埃等が付着することを有効に防止することがで
きる。

【００３０】第６、第７の手段によれば、チップマウン
ト前に直接外囲器に設けられた位置決めマークを認識す
るようにしたので、外囲器の外形のみを認識する場合等
と比較してチップマウントをより高精度に行える。

【００３１】第８の手段によれば、姿勢補正のためのチ
ップ部品の姿勢認識と、取り出された直後のチップ部品
の位置認識を姿勢補正手段の同じチップ部品保持部上で
行えるから、別にチップ位置認識装置を設ける必要がな
く、装置全体を小型化することができる。

【００３２】第９の手段によれば、上記チップ部品の姿
勢認識と位置認識とを同じ撮像手段で行えるから、より
装置全体の構成を簡略化小型化できる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施例を図面
を参照して説明する。なお、従来技術の項で説明した構
成要素（外囲器１やＳＡＷチップ７等）については、同
一符号を用いてその説明は省略する。

【００３４】図１は、この発明のチップマウント装置の
全体概略構成図を示すものである。このチップマウント
装置は、前述したＳＡＷデバイスの製造工程（図２３
（ａ）、（ｂ）参照）のうち、多層のセラミックス焼結
体からなる外囲器１内に銀ペースト８を塗布し、上記微
小なＳＡＷチップ７をこの外囲器１内にマウントするま
での工程を行うものである。

【００３５】この発明では、チップマウントを精度良く
行うために、上記外囲器１内に認識マークを設けてい
る。この認識マークは、例えば、図２（ａ）に１０、１
０で示すように、上記ＳＡＷチップ７を搭載する第１の
層３の表面の対称な位置に２つ設けられ、同図（ｂ）、
（ｃ）に示すように、この第１の層３と第２の層４とが
ずれた場合でも、各認識マーク１０、１０と上記第２の
層４との重なり方あるいは重なり量とによって、上記第
２の層４に形成されたチップ搭載孔４ａの位置を認識で
きるようになっている。

【００３６】また、上記外囲器１は、図３に示すような
キャリア１１に保持された状態で供給される。キャリア
１１は、例えばこの図に示すようなものであり、長尺な
る帯状の基材１２を有し、この基材１２の上面に、上記
外囲器１を収容しうる多数の凹部１３が、長手方向に沿
って並列に所定間隔で配置されている。

【００３７】なお、このキャリア１１は、例えば、上記
凹部１３に対応する貫通孔が設けられている板材を、孔
の設けられていない板材に重ねるようにして形成するよ
うにしても良い。

【００３８】次に、この装置の全体構成について図１を
参照して説明する。

【００３９】図中１５は、この装置の基台である。この
基台１５上の一端側には、上記キャリア１１を順次供給
するキャリア供給装置１７（供給機構）が設けられてい
る。このキャリア供給装置１７は、多数のキャリア１１
を収納したマガジン１６を保持し、このマガジン１６内
から上記キャリア１１を送出するようになっている。ま
た、基台１５の他端側にはキャリア１１を回収するキャ
リア回収装置１８（回収機構）が設けられている。

【００４０】このキャリア供給装置１７とキャリア回収
装置１８との間には上記キャリア１１が搬送されるキャ
リア搬送路１９が架設されている。そして、この搬送路
１９の側方には、上記キャリア１１を、上記キャリア供
給装置１７側から上記キャリア回収装置１８側へ搬送す
ると共にこのキャリア１１を上記キャリア回収装置１８
へ収納するキャリア搬送装置２０（送り機構）が設けら
れている。

【００４１】また、この搬送装置の２０の側方には、上
記キャリア１１に保持された外囲器１内に銀ペースト
（接着剤）８を塗布する銀ペースト塗布装置２１と、銀
ペースト８の塗布された外囲器１内に上記ＳＡＷチップ
７をマウントするマウント装置２２とが設けられてい
る。この銀ペースト塗布装置２１とマウント装置２２
（マウント機構）は、基台１５上に、上記キャリア１１
の送り方向に沿って並列に設置されている。

【００４２】すなわち、このチップマウント装置は、キ
ャリア供給装置１７からキャリア１１を引き出して搬送
すると共に、このキャリア１１に保持された各外囲器１
内に銀ペースト８を塗布した後、ＳＡＷチップ７をマウ
ントし（図２３（ａ）参照）、このキャリア１１を上記
キャリア回収装置１８に収納するものである。

【００４３】また、このチップマウント装置には、図１
に示すように、各機構を制御する制御装置２３及び、こ
の制御装置２３に接続された操作盤２４や視覚認識用モ
ニター２５が設けられている。

【００４４】次に、各部の構成についてさらに詳しく説
明する。

【００４５】まず、上記キャリア供給装置１７、キャリ
ア搬送装置２０及びキャリア回収装置１８について説明
する。図４は、この３つの装置のみを取り出して示す斜
視図である。

【００４６】まず、上記キャリア供給装置１７について
図５および図６を参照して詳しく説明する。なお、前記
キャリア回収装置１８は、このキャリア供給装置１７と
同様の構成であるので、その説明は省略する。

【００４７】図５中２７は前記基台１５に据え付けられ
るベースである。このベース２７上には、平板からなる
下段２８と上段２９とが平行に設けられている。上記下
段２８は、上記ベース２７上に立設された脚部３０によ
って保持され、上記下段２８と上段２９とは図中左端部
に設けられた側板３１によって連結されている。そし
て、下段２８と上段２９間の距離（間隔）はこの間に図
に１６で示すマガジンを収納するため、マガジン１６の
高さよりも大きく設定されている。

【００４８】また、上記下段２８及び上段２９の幅方向
両縁部には、この図に示すように、上記マガジン１６を
保持するための一対の保持片３２（下段側）、３３（上
段側）が立設されている。この保持片３２、３３の上端
には、マガジン１６一つ分のポジションを区画する凹部
３２ａ、３３ａが所定の間隔で設けられている。上記マ
ガジン１６は、両端の下端部をこの保持片３２、３３の
各凹部３２ａ、３３ａ内に挿入することで、この保持片
３２、３３上に複数個並列に保持されるようになってい
る。

【００４９】そして、このキャリア供給装置１７は、上
記上段２９と下段２８との間に、図に３４で示すマガジ
ン駆動機構を有している。このマガジン駆動機構３４
は、上記上段２９及び下段２８に保持された各マガジン
１６を、上記保持片３２、３３の凹部３２ａ、３３ａに
よって区画された隣のポジションに順次移動させる機能
を有する。

【００５０】次に、このマガジン駆動機構３４の構成に
ついて上段用の機構と下段用の機構とに分けて説明す
る。

【００５１】まず、上段用の機構について説明する。

【００５２】この上段用の機構は、図６（ａ）に示すよ
うに、上記マガジン１６を上記保持片３３から持ち上げ
るための持ち上げ用カム機構３５と、持ち上げられたマ
ガジン１６を隣のポジションに移動させる移動用カム機
構３６とからなる。

【００５３】図５に示すように、持ち上げ用カム機構３
５のカム３７と移動用カム機構３６のカム３８は、上記
下段２８と上段２９との間に配設された同一の原動軸３
９に固定されている。この原動軸３９は、軸線を上記マ
ガジン１６の送り方向と直交させた状態で水平に設けら
れ、上記下段２８の下側に配置された駆動モータ４０と
プーリ４１、４２及び動力伝達ベルト４３を介して接続
されている。したがってこの駆動モータ４０を作動させ
ることで上記原動軸３９が回転駆動され、上記２つのカ
ム３７、３８は同じだけ角度回動することとなる。な
お、この原動軸３９には、後述するように下段用の２つ
のカムも固定されている。

【００５４】また、同図に示すように、上記上段２９に
設けられた上記一対の保持片３３間には、上記マガジン
１６を移送するための駆動片４５が設けられている。こ
の駆動片４５は、上記上段２９に上下自在に保持された
上下移動体４６と、この上下移動体４６に水平方向スラ
イド自在に設けられたスライド体４７とからなる。この
スライド体４７の表面には、上記マガジン１６と係止す
る係止部材４４が所定の間隔で突設されている。

【００５５】そして、図６（ａ）に示すように、上記持
ち上げ用カム機構３５は、上記下段２８と上段２９との
間に、上記持ち上げ用カム３７の回転に応じて上記上下
移動体４６を上下させる持ち上げ用リンク４８を有す
る。この持ち上げ用リンク４８は、一端を上記側板３１
に揺動自在に保持されると共に、中途部に設けられたカ
ムフォロア４９を上記持ち上げ用カム３７に摺接させ、
他端を上記上下移動体４６に連結している。

【００５６】また、上記移動用カム機構３６は、上記下
段２８と上段２９との間に、上記スライド体４７をスラ
イド駆動するスライド用リンク５０を有する。このスラ
イド用リンク５０は、一端を上記側板３１に揺動自在に
保持されると共に、中途部に設けられたカムフォロア５
１を上記持ち上げ用カム３８に摺接させ、他端を上記上
下スライド体４７に連結している。また、各リンク４
８、５０に設けられたカムフォロア４９、５１は、例え
ば、図示しない付勢手段によって上記カム３７、３８に
常に摺接するように付勢されている。

【００５７】このような構成によれば、上記２つのカム
３７、３８を駆動することによって、上記上下移動体４
６を上方向に駆動し上記マガジン１６を持ち上げた後、
この持ち上げ状態を維持したまま上記スライド体４７を
上下移動体４６に対して水平方向にスライドさせ、持ち
上げたマガジン１６を隣のポジション側に移し、ついで
上記上下移動体４６を下降させることで、このマガジン
１６を隣のポジションに載置することができるようにな
っている。

【００５８】次に、下段用の機構について説明する。

【００５９】この機構は、上記上段用の機構と同様の構
成を有する。すなわち、上記下段２８に設けられた一対
の保持片３２間には、図５に示すように、上記上下移動
体５７とこの上下移動体５７に送り方向スライド自在に
取着されたスライド体５８とからなる駆動片５９が設け
られている。そして、図６（ａ）に示すように、これら
を駆動する持ち上げ用カム機構５３と移動用カム機構５
４とが設けられている。

【００６０】上記持ち上げ用カム機構５３と移動用カム
機構５４は、それぞれ、上記原動軸３９に同軸に取り付
けられた持ち上げ用カム５５及びスライド用カム５６を
有する。そして、上記上段２９と下段２８との間には、
上記側板３１に一端を保持された持ち上げ用リンク６０
とスライド用リンク６１とが設けられ、これらのリンク
６０、６１は、それぞれ中途部に設けられたカムフォロ
ア６２、６３を上記持ち上げ用カム５５及びスライド用
カム５６に当接させ、他端部をそれぞれ上記上下移動体
５７とスライド体５８とに接続している。

【００６１】したがって、この下段用の機構によれば、
上記上段用の機構と同様に、上記保持片上３２に保持さ
れたマガジン１６を持ち上げて隣のポジションに移動さ
せることができる。ただし、上記原動軸３９の回転方向
が同じ場合、上記上段用の機構と下段用の機構とではマ
ガジン１６の移送方向が逆になるように構成されてい
る。すなわち、上記上段用の機構が上記マガジン１６を
左から右へと移載させる際には、この下段用の機構は上
記マガジン１６を右から左へと移載させるように構成さ
れている。

【００６２】また、このキャリア供給装置１７は、上記
上段２９の右端に移送されたマガジン１６を順次下段２
８側に降ろすためのエレベータ装置６５（移送手段）を
有する。

【００６３】このエレベータ装置６５は、上記基台１５
上に立設された垂直壁６６を有する。この垂直壁６６の
一面側には、図５に示すように一対のガイドレール６７
が取着され、このガイドレール６７にはスライダ６８が
上下スライド自在に設けられている。そして、このスラ
イダ６８には、マガジン１６を保持できる棚６９を有す
るマガジン保持体７０が固定されている。このマガジン
保持体７０の棚６９は上記一対の保持片３２の間隔より
も小さい幅で形成されていると共に、上面には、上記マ
ガジン１６を位置決めした状態で保持するための突起６
９ａ（図６（ａ））が設けられている。

【００６４】また、このエレベータ装置６５は、図６
（ａ）に示すように、上記マガジン保持体７０を上下方
向に位置決め駆動するボールねじ機構７１を有する。こ
のボールねじ機構７１は、上記垂直壁６６の上端と下端
との間に軸線を垂直にした状態で回転自在に保持された
ねじ軸７２と、上記垂直壁６６の裏面側に設けられプー
リ７３ａ、７３ｂ及びベルト７４とによって上記ねじ軸
７２を駆動自在に連結された駆動用モータ７５と、上記
保持体７０内に埋設され上記ねじ軸７２の中途部に螺着
されたナット７６とを有する。

【００６５】したがって、上記駆動用モータ７５が作動
することで、上記マガジン保持体７０は上下方向に位置
決め駆動されるようになっている。

【００６６】一方、上記上段２９の他端部には、上記マ
ガジン１６を上記エレベータ装置６５のマガジン保持体
７０に受け渡すためのマガジン受渡し機構７７が設けら
れている。この受渡し機構７７は、図８（ｄ）に示すよ
うに、上記マガジン保持体７０が最下降位置にある状態
で、上段２９の受渡し位置にマガジン１６を待機させる
ためのもので、上記保持片３３に上下方向揺動可能に設
けられ、上記マガジン１６の両端を保持できるアーム７
８を有する。

【００６７】この受渡し機構７７のアーム７８は、図５
に７９で示す駆動シリンダによって、上記上下段のカム
機構とは別に駆動されるようになっており、上記上段２
９のマガジン１６を右側に１ポジション移載する際に跳
ね上がるようになっている。

【００６８】次に、このマガジン供給装置１７の動作に
ついて、図６（ａ）〜図１２（ｇ）に示す動作図を用い
て説明する。

【００６９】このキャリア供給装置１７の動作は、上段
２９及び下段２８においてマガジン１６を左右に移送す
る第１の工程と、上記エレベータ機構６５に受け渡され
たマガジン１６を上段２９から下段２８へと位置決め行
いつつ上下に移動させる第２の工程と、この第２の工程
において、上記マガジン１６に保持された複数のキャリ
ア１１のうち供給するキャリア１１を前記搬送路１９と
同じ高さに順次位置決めし、このキャリア１１を搬送路
１９上に取り出させる第３の工程とからなる。

【００７０】まず、第１の工程から説明する。図６
（ａ）では、上段２９の保持片３３上に、キャリア１１
が満載された３つのマガジン１６が保持され、下段２８
の保持片３２上にはキャリア１１がすべて取り出された
後の空のマガジン１６が２つ保持されている。そして、
エレベータ機構６５には空のマガジン１６が保持されて
おり、このマガジン１６は下段２８の保持片３２上に保
持されたマガジン１６と同じ高さに位置決めされてい
る。

【００７１】この状態から、図７（ｂ）に示すように、
上記原動軸３９を７０°回転させる。このことによっ
て、上段２９側の持ち上げ用カム機構３５が動作し、上
段２９の保持片３３に保持されたマガジン１６は、図に
矢印（イ）で示すように、上記保持片３３の凹部３３ａ
から持ち上げられる。そして、このとき、上記保持片３
３の右端に設けられたアーム７８が図に矢印（ロ）で示
すように上方向に揺動して上記保持片３３の凹部３３ａ
と同じ高さで停止し、この保持片３３の右側に連続する
もう一つのポジションを形成する。

【００７２】また、上記原動軸３９の回転によって同時
に上記下段２８側の移動カム機構５４も作動する。この
ことによって、下側２８に設けられたスライド体５８
は、持ち上げられない状態で、図に矢印（ハ）で示すよ
うに右側に移動しその右端部を上記エレベータ機構６５
のマガジン保持体７０上に保持されたマガジン１６の下
側に進入させる。なお、このマガジン保持体７０の棚６
９には上記スライド体５８が進入できる切欠部が設けら
れている。

【００７３】ついで、図７（ｃ）に示すように、上記原
動軸３９をさらに５０°（トータル１２０°）回動させ
ることで上段２９側の移動用カム機構３６が作動し、上
記スライド体４７を図に矢印（ニ）で示す方向に駆動す
る。このことで、保持片３３から持ち上げられた上段２
９側のマガジン１６は、右側に１ポジション分移動させ
られる。

【００７４】さらに、図８（ｄ）に示すように、上記原
動軸３９を３０°（トータル１８０°）回動させること
で、今度は下段２８側の持ち上げ用カム機構５３が作動
し（矢印（ホ））、上記下段２８側のマガジン１６を持
ち上げる。このとき、上記エレベータ機構６５のマガジ
ン保持体７０に保持されたマガジン１６も持ち上げられ
ることとなる。

【００７５】さらに、図８（ｅ）に示すように、上記原
動軸３９を６０°（トータル２４０°）回動させること
で、上記上段２９側の持ち上げ用カム機構３５と、下段
２８側のスライド機構５４とが作動する。このことで、
上記上段２９側のマガジン１６は矢印（ヘ）で示すよう
に下降し、上記保持片３３の凹部３３ａ内及び上記受渡
し機構７７のアーム７８上に保持される。また、下段２
８側のマガジン１６は、持ち上げられた状態で、図に矢
印（ト）で示すように左側に１ポジション分移送され
る。このことで、上記エレベータ機構６５のマガジン保
持体７０上からマガジン１６が撤去されることとなる。

【００７６】そして、この状態から、図９（ｆ）に示す
ように、原動軸３９をさらに５０°（トータル２９０
°）回動させることで、上記上段２９側の移動用カム機
構３６が作動し、図に矢印（リ）で示すように上記スラ
イド体４７を元の位置に復帰させる。このとき、上記上
下移動体４６は下がった状態にあるからこのスライド体
４７が上記マガジン１６に衝突することはない。

【００７７】そしてさらに、図９（ｇ）に示すように、
原動軸３９をさらに６０°（トータル３５０°）回動さ
せることで、上記下段２８側の持ち上げ用カム機構５３
が作動し、図に矢印（ヌ）で示すように上記マガジン１
６を上記保持片３２（凹部３２ａ）上に載置する。

【００７８】ついで、この図に示すように、上記エレベ
ータ機構６５が作動し、上記マガジン保持体７０を上段
２９側へ移動させる（矢印（ル））。そして、図１０
（ｈ）に示すように、このマガジン保持体７０の棚６９
を上記受渡し機構のアーム７８上に保持されたマガジン
１６の下面に当接させ、このマガジン１６を保持する。

【００７９】そして、最後に、上記受渡し機構７７を作
動させ、図１０（ｉ）に示すように、上記アーム７８を
矢印（ヲ）で示すように下側に揺動させることで、上記
マガジン１６は上記エレベータ機構６５のマガジン保持
体７０上に完全に受け渡されることとなる。この間、上
記原動軸３９はさらに１０°回転し、元の状態に復帰す
る。このように、このキャリア供給装置１７は、上記原
動軸３９を一回転させることで、一連のマガジン移送動
作を終了させる。

【００８０】次に、このマガジン供給装置１７は、上記
マガジン１６内に収納されたキャリア１１の供給を行う
ために第２の工程の動作を行う。

【００８１】すなわち、図１１に示すように、上記エレ
ベータ機構６５を作動させることで上記マガジン１６を
下降させ（矢印（ワ）で示す）、上記マガジン１６内に
満載されたキャリア１１のうち、まず、このマガジン１
６の最下段に保持されたキャリア１１（最下部のラッ
ク）を上記搬送路１９と同じ高さに位置決めする。

【００８２】そして、このキャリア１１が搬送路１９上
に送出されたならば、上記エレベータ機構６５を１ラッ
ク分下降させ、次のキャリア１１を上記搬送路１９と同
じ高さに保持する。このように、上記エレベータ機構６
５は、各キャリア１１を順次搬送路１９と同じ高さに位
置決めすることで、マガジン１６内に保持されたキャリ
ア１１を順次上記搬送路１９上に送出する（第３の工
程）。なお、上記キャリア１１の上記搬送路１９への送
出は、図４に８１で示す引き出し機構８１によって行わ
れるようになっている。

【００８３】そして、このマガジン１６内からすべての
キャリア１１が取り出されたならば上記エレベータ機構
６５は図６（ａ）に示すように、この空のマガジン１６
を上記下段２８と同じ高さに位置決めする。ついで上述
したマガジン送り動作（図６（ｂ）〜図１０（ｆ））を
行わせることで、上段２９に保持されたマガジン１６を
上記エレベータ機構６５に受け渡すようにする。

【００８４】次に、このキャリア供給装置１７からキャ
リア１１を取り出して搬送するキャリア搬送機構２０に
ついて説明する。

【００８５】まず、図４に示すように、このキャリア搬
送機構２０は、前述したように前記搬送路１９の側方に
設けられている。このキャリア搬送路１９は、上記キャ
リア１１の両側部を保持する一対のガイドレール８４、
８５からなり、その搬送高さは、上記キャリア供給装置
１７（回収装置１８）の上段２９と下段２８との間に設
定されている。

【００８６】また、図１２に示すように、上記ガイドレ
ール８４、８５のうち、一方のガイドレール８４は断面
Ｌ字状に形成され、このキャリア１１の下面及び側面を
支持しているが、他方のガイドレール８５（搬送機構２
０側に位置するガイドレール）はキャリア１１の下面の
みを支持するようになっている。したがって、このキャ
リア１１は、一側部をこのガイドレール８５の外側（搬
送機構８２側）へ突出させた状態で保持されている。こ
れは、次に説明するようにキャリア搬送機構２０で、こ
のキャリア１１の一側部を把持して送り駆動できるよう
にするためである。

【００８７】以下、このキャリア搬送装置２０につい
て、図１２〜図１７を参照して詳しく説明する。

【００８８】図１２中８８で示すのは、上記搬送路１９
と平行にかつこの搬送路１９の全長に亘って設けられた
ガイドである。このガイド８８には、図に８９で示す移
動体が図示しないスライダを介してスライド自在に設け
られている。

【００８９】そして、この移動体８９は、ボールねじ機
構９０（駆動手段）によって位置決め駆動されるように
なっている。すなわち、上記ガイド８８の一端部には、
このボールねじ機構９０の駆動モータ９１が固定されて
おり、この駆動モータ９１には上記ガイド８８の他端に
亘って架設されたねじ軸９２が接続されている。そし
て、このねじ軸９２の中途部には、図示しないナットが
螺着されており、このナットは上記移動体８９の背面側
に固定されている。

【００９０】したがって、上記駆動モータ９１が上記ね
じ軸を回転駆動することで、上記移動体８９は、このガ
イド８８に沿って、上記搬送路１９と平行な方向に位置
決め駆動されるようになっている。

【００９１】また、上記搬送路１９上には、図４及び図
１２に示すように２つのキャリア１１を保持されるよう
になっており、各キャリア１１は、それぞれ前記銀ペー
スト塗布装置２１及びチップマウント装置２２に対向す
る位置に保持されるようになっている。そして、上記移
動体８９には、上記銀ペースト塗布位置に保持されたキ
ャリア１１を保持するための第１のキャリア搬送部９３
と、チップマウント位置に保持されたキャリア１１を保
持するための第２のキャリア搬送部９４とが設けられて
いる。

【００９２】この第１のキャリア搬送部９３と第２のキ
ャリア搬送部９４は、設けられている位置が異なるだけ
で全く同じ構成を有するものであるから、第１のキャリ
ア搬送部９３の構成についてのみ説明し、上記第２の保
持部９４については同一符号を付してその詳しい説明は
省略する。

【００９３】図１３は、この第１のキャリア搬送部９３
のみを示す斜視図である。図１３（ａ）は、説明の便宜
上、上記搬送路１９を省略して示すものであり、同図
（ｂ）は、搬送路１９と共に示すものである。

【００９４】この第１の保持部９３は、クランプ機構９
６（把持機構）と、押さえ機構９７とを有する（第２の
保持部９４も同じ）。このクランプ部９６は、上記キャ
リア１１を搬送する際にこのキャリア１１を把持するも
のであり、上記押さえ機構９７は、上記搬送されたキャ
リア１１をその位置で固定するために上記キャリア１１
を上記搬送路１９に押さえ付けるものである。

【００９５】そして、このクランプ機構９６と押さえ機
構９７は、図に９８で示す偏心カム軸（カム）によって
同期して作動するようになっている。以下、この構成に
ついて説明する。

【００９６】図１３に示すように、上記移動体８９に
は、一対のブラケット１００、１０１が水平方向に突設
されている。上記クランプ機構９６と押さえ機構９７は
各ブラケット１００、１０１にそれぞれ固定されてい
る。

【００９７】まず、クランプ機構９６について図１４を
参照して説明する。なお、図１４（ｂ）に示すのが、こ
のクランプ機構９６であり、図１４（ａ）は、説明の便
宜上、このクランプ機構９６を分解して示したものであ
る。まず図１４（ａ）から説明する。

【００９８】この図１４（ａ）に１００で示す平板は前
述したブラケットである。このブラケット１００の側面
には、２本の回転軸１０２、１０３が突設されている。
この回転軸１０２、１０３は、上下平行かつ水平に設け
られ、このブラケット１０１に固定された軸受１０４
（下側の回転軸１０３の軸受は図示しない）によって回
転自在に保持されている。

【００９９】また、各回転軸１０２、１０３には、上側
ブロック１０７及び下側ブロック１０８が固定されてい
る。また、上記上側ブロック１０７の他端部には図に１
０９で示すカムフォロアが設けられ、上記偏心カム軸９
８の外面と当接するように構成されている。

【０１００】すなわち、上記偏心カム軸９８は、例えば
図１５（ａ）で示すように、偏心軸線Ｌ回りに回転自在
に保持されたものであり、この偏心カム軸９８が偏心回
転駆動され、図１５（ｂ）に示すようにθ＝９０°に位
置決めされることで上記カムフォロア１０９は上方に押
し上げられる。このことによって上記上側ブロック１０
７は上記上側回転軸１０２の軸線まわりにこの回転軸１
０２と共に回動する。

【０１０１】一方、上記上側ブロック１０７と下側ブロ
ック１０８は、図１４（ａ）に示すように、上記下側ブ
ロック１０８に突設されたシャフト１１０によって連結
されている。すなわち、上記上側ブロック１０７には、
下方に開放するスリット１１１が設けられ上記シャフト
１１０をこのスリット１１１内に位置させている。

【０１０２】このシャフト１１０は、上記上側回転軸１
０２及び下側回転軸１０３とずれた位置に設けられてい
るから、上記上側ブロック１０７が回動すると上記スリ
ット１１１とが上記シャフト１１０と係合することによ
ってこのシャフト１１０が横方向にずれる。このこと
で、上記上側ブロック１０７の回動に連動して下側ブロ
ック１０８が下側回転軸１０３まわりにこの回転軸１０
３と共に回動駆動され、この下側回動軸１０３は上記上
側回転軸１０２と逆方向に回動駆動されるようになって
いる。

【０１０３】図１４（ｂ）に示すように、上側回転軸１
０２と下側回転軸１０３とにはそれぞれ上側把持部材１
１２と下側把持部材１１３が固定されている。したがっ
て、前述したように前記上側回転軸１０２及び下側回転
軸１０３とが互いに反対の方向に駆動されると、このこ
とで、図１４（ｂ）、（ｃ）に示すように、上記上側把
持部材１１２と下側把持部材１１３は開いたり閉じたり
する。

【０１０４】なお、この上側把持部材１１２と下側把持
部材１１３の先端部には、弾性体（例えば硬質ゴム）か
らなる爪部材１１４、１１５が設けられている上記上側
把持部材１１２と下側把持部材１１３とが開閉すること
で、このクランプ機構９６は、上記爪部材１１４、１１
５間に上記キャリア１１の縁部をクランプ・アンクラン
プできるようになっている。なお、上記偏心カム軸９８
の回転角度と、クランプ・アンクランプの関係は、図１
５（ａ）、（ｂ）に付記したようになる。

【０１０５】次に、上記押さえ機構９７について図１６
を参照して説明する。

【０１０６】図中１０１で示すのは、上記移動体８９に
固定されたブラケットである。このブラケット１０１に
は押さえ部材１１７が水平方向（搬送路１９と直行する
方向）に移動自在に保持されている。この押さえ部材１
１７は、上記搬送路１９に近接する方向に駆動されるこ
とでこの押さえ部材１１７の先端に設けられた押さえ片
１１８で上記搬送路１９上に保持されたキャリア１１を
押さえるものであり、図に１２０で示すスプリングによ
って常に「押さえ方向」に付勢されている。

【０１０７】この押さえ部材１１７の他端部にはカムフ
ォロア１２１が設けられており、このカムフォロア１２
１は、上記偏心カム軸９８と水平方向に当接している。
また、上記スプリング１２０の作用により上記カムフォ
ロア１２１は上記偏心カム軸９８に常に当接するように
なっているから、この偏心カム軸９８が偏心回転するこ
とによって上記押さえ部材１１７は、上記搬送路１９か
ら接離する方向に駆動されることになる。

【０１０８】具体的には、図１７（ａ）に示すように、
上記偏心カム軸９８がθ＝１８０°に位置決めされるこ
とにより、上記押さえ部材１１７は上記スプリング１２
０の付勢力によって上記搬送路１９上のキャリア１１を
押さえるようになっている。

【０１０９】また、同図１７（ｂ）に示すように、上記
偏心カム軸９８がθ＝１８０°以外のポジションにある
ときは、上記押さえ部材１１７は前記スプリング１２０
の付勢力に抗して上記搬送路１９から離れ、上記キャリ
ア１１の押さえを解除するようになっている。

【０１１０】次に、上記偏心カム軸９８を駆動するため
の手段について図１３を参照して説明する。上記偏心カ
ム軸９８の両端部は保持ブラケットによって回転自在に
設けられている。この図には、この保持ブラケットのう
ち、上記偏心カム軸９８の一端側を保持する保持ブラケ
ット１２２のみが示されている。

【０１１１】一方、この偏心カム軸９８の他端部は、図
に１２３で示すカム機構によりカム駆動自在に保持され
ている。このカム機構１２３は、上記偏心カム軸９８と
係合するスリット１２４ａが形成されてなるアーム１２
４と、このアーム１２４を駆動する往復駆動機構１２５
とを有する。したがって、このアーム１２４を駆動する
ことで上記偏心カム軸９８を少なくともθ＝０°〜１８
０°の角度ポジション（図１５、図１７参照）に位置決
めすることができるようになっている。θ＝０°〜１８
０°の範囲で駆動できれば上記クランプ機構９６及び押
さえ機構９７を制御することができるからである。

【０１１２】すなわち、図１５及び図１７に示すよう
に、角度ポジションθ＝０°の時、上記クランプ機構９
６はアンクランプの状態、押し付け機構９７は押し付け
解除の状態であり、θ＝９０°の時、上記クランプ機構
９６はクランプ、上記押し付け機構９７は押し付け解除
の状態であり、θ＝１８０°の時、上記クランプ機構９
６はアンクランプ、上記押し付け機構９７は押し付けの
状態とすることができる。

【０１１３】従って、このような駆動方式によれば、一
つの駆動源で２つの機構９６、９７を独立に制御するこ
とが可能となる。

【０１１４】上記キャリア１１を送り駆動する場合に
は、まず、上記偏心カム軸９８の角度ポジションをθ＝
９０°に位置決めし、上記キャリア１１をクランプす
る。ついで、上記ボールねじ機構９０を作動させて上記
移動体８９を駆動することで上記キャリア１１を送り駆
動することができる。このとき、上記偏心カム軸９８の
角度ポジションを固定している限りは、クランプ状態を
維持することができる。

【０１１５】上記キャリア１１を所定の位置に送り駆動
したならば、上記偏心カム軸９８を偏心回転駆動し、角
度ポジションをθ＝１８０°とする。このことで、上記
キャリア１１のクランプが解除されると同時に、上記押
さえ機構９７が作動し、上記キャリア１１はその位置で
上記搬送路１９に押し付けられる。なお、クランプから
押さえへの変更は、上記偏心カム軸９８が断面円形であ
ることから滑らかかつ連続的に行われる。したがって、
この際に上記キャリア１１に衝撃が加わって位置ずれが
生じるということはない。

【０１１６】また、上記移動体８９を初期位置（ガイド
８８の左端）に復帰させる場合には、上記偏心カム軸９
８を例えばθ＝０°の角度ポジションに位置決めする。
このことで、上記両機構９６、９７が、共にアンクラン
プ、押し付け解除の状態となるから、上記キャリア１１
に接触することなく上記移動体８９をもとの位置に復帰
させることができる。

【０１１７】なお、チップマウント側に保持されたキャ
リア１１を駆動するための第２のキャリア搬送部９４
は、図１２に示すように、以上に説明した第１のキャリ
ア搬送部９３と同じ移動体８９に固定されている。従っ
て、銀ペースト塗布位置にあるキャリア１１とマウント
位置にあるキャリア１１は、同時に把持されて同じピッ
チだけ送り駆動されるようになっている。

【０１１８】また、この図１２に示すように、第２のキ
ャリア搬送部９４の上記押さえ機構９７及びクランプ機
構９６を駆動する偏心カム軸及びこの偏心カム軸を偏心
回転させる駆動機構は図に９８´、１２３´で示すよう
に、上記第１のキャリア搬送部９３のものとは別体に設
けられている。ただし、両駆動機構９３、９４は同期し
てクランプ、押さえの角動作を行うことが好ましい。従
って、同じ偏心カム軸９８及びカム駆動機構１２３で駆
動されるようになっていても良い。

【０１１９】この２つの送り駆動機構９３、９４によっ
て送りが終了したキャリア１１、すなわち、銀ペースト
の塗布とチップ７のマウントが終了したキャリア１１
は、上記搬送路１９の他端部に設けられた収納機構８３
（図４に示す）が作動することによって順次キャリア回
収機構１８のエレベータ装置６５に保持されたマガジン
１６内に収納されるようになっている。

【０１２０】このキャリア回収機構１８は、前述したよ
うに、上記キャリア供給装置１７と略同じ構成を有する
ものであり、このキャリア供給装置１７とは逆の動作に
より、上記キャリア１１を回収する。すなわち、下段２
８側に空のマガジン１６を保持しており、上記エレベー
タ機構６５にこのマガジン１６を保持して上方向に移動
させることで、最上段から最下段のラックを順次上記搬
送路１９の高さに位置決めし、各ラックにキャリア１９
を収納させる。そして、キャリア１１が満載されたマガ
ジン１６は上段２９に保持されることとなる。

【０１２１】なお、前述したキャリア１１の送りに関す
る各機構を駆動する駆動源は、それぞれドライバなどを
介して前記制御装置２３（図１）に接続されている。な
お、図１に示すように、この制御装置２３には、操作盤
２４等の入力装置及び視覚認識用モニター２５が接続さ
れており、作業者はこのモニター２５を見ながら必要な
情報を操作盤２４を通じて入力し、上記制御装置２３は
このデータに基づき前述した各機構に必要な動作を行わ
せるようになっている。

【０１２２】なお、この制御装置２３は、図１８に示す
ような動作データ編集装置を有している。

【０１２３】このデータ編集装置は、作業者がチップマ
ウントに必要な作業データ（ＮＣデータ）を入力する
際、データ入力項目だけでなくデータ入力項目に関係す
る図形をモニター２５に表示し、データの入力を容易に
行えるようにするものである。このため、この編集装置
は以下に示す構成を有する。

【０１２４】図に１３０で示すのはＮＣデータの項目名
を格納する項目名テーブルであり、１３１で示すのはＮ
Ｃデータの表示位置を格納する表示位置テーブルであ
る。また、このデータ編集装置は、データ画面作成部１
３２を有し、このデータ画面作成部１３２は、上記２つ
のテーブル１３０、１３１からＮＣデータの項目名と表
示位置を読み込み、「項目の初期画面」を作成するよう
になっている。

【０１２５】一方、このデータ編集装置は、図形画面作
成部１３３を有する。この図形画面作成部１３３は、上
記「項目の初期画面」と組み合わされる「図形の初期画
面」を作成するようになっている。

【０１２６】さらに、このデータ編集装置は、表示制御
装置１３４を有し、この表示制御装置１３４は、上記
「項目の初期画面」と「図形の初期画面」とを組み合わ
せ、モニター２５に出力するようになっている。モニタ
ー２５に表示される画面の一部を図１９（ｂ）に示す。
これは、上記マガジン１６とキャリア１１の位置関係を
入力する画面である。

【０１２７】作業者は、この画面を見ながら、入力装置
（キーボード等）からデータを入力する。例えば、マガ
ジン１６の段数（ラック数）が７段であることを示す
「７」を所定の位置に入力する。この入力がなされる
と、前記データ画面作成部１３２は、データの表示位置
を表示位置テーブルを参照して取り込み、そのデータを
示す画面を作成する。また、上記図形画面作成部１３２
は、上記入力データに基づいて前記図形の初期画面を修
正し、図１９（ｂ）に示すように７段のマガジンの画面
を作成する。

【０１２８】そして、上記表示制御装置１３２は、上記
項目データの画面と図形の画面とを組み合わせ、上記表
示装置２５（モニター）に表示させる。

【０１２９】このようなデータ編集装置によれば、図１
９（ａ）に示すように単にデータ入力項目のみが表示さ
れている場合（従来）と比較して、目で見て入力項目を
理解することができる。また、入力結果を図形で確認す
ることができるので入力の間違いが少ないということが
ある。

【０１３０】次に、銀ペースト塗布装置２１について図
１を参照して説明する。

【０１３１】この銀ペースト塗布装置２１は、図に１４
０で示す銀ペースト供給台と、１４１で示すペースト転
写機構とからなる。

【０１３２】銀ペースト供給台１４０は略水平に設けら
れた円形の銀ペースト保持面１４０ａを有する。また、
この銀ペースト供給台１４０の内部には、図示しない
が、銀ペーストをこの銀ペースト保持面１４０ａ上に供
給する銀ペースト供給部が設けられている。さらに、こ
の銀ペースト供給台１４０には、上記保持面１４０ａ上
に供給された銀ペーストを、この保持面１４０ａ上に均
一な厚さに伸ばすスキージ機構１４２が設けられてい
る。このスキージ機構１４２は、この銀ペースト供給台
１４０と平行に移動するスキージを有し、このスキージ
を往復駆動することで、上記保持面１４０ａ上に供給さ
れた銀ペーストを所定の厚さに均一に伸ばす機能を有す
る。

【０１３３】また、銀ペースト転写機構１４１は、上記
銀ペースト保持台１４０上に伸ばされた銀ペーストをス
タンプ的に上記キャリア１１に保持された各外囲器１内
に転写する機能を有する。このため、以下の構成を有す
る。

【０１３４】図中１４３はスタンプヘッドである。この
スタンプヘッド１４３は、下方向に突没自在に設けられ
た棒状のスタンプツール１４４を有する。このスタンプ
ツール１４４は、下端部を上記保持台１４０上に供給さ
れた銀ペーストに接触させることで、この接触した部分
の銀ペーストをスタンプツール１４４の下端に付着保持
する。そして、この銀ペーストを上記キャリア１１に保
持された外囲器１内に押し付けて転写する。

【０１３５】このスタンプヘッド１４３は、上記搬送路
１９の側方に配置された第１のＸＹ位置決め装置に保持
されている。この第１のＸＹ位置決め装置は、上記基台
１５上に固定されたＹ位置決め装置１４６とこのＹ位置
決め装置１４６に保持されたＸ位置決め装置１４７とか
らなる。

【０１３６】このＸ位置決め装置１４７は、一端部を上
記搬送路１９の上方に延出させており、上記スタンプヘ
ッド１４３をＸ方向に位置決め駆動するようになってい
る。

【０１３７】また、上記スタンプヘッド１４３には、図
に１５０で示す第１の撮像カメラが撮像面を下方に向け
た状態で固定されている。この第１の撮像カメラ１５０
は、上記スタンプツール１４４の先端に銀ペーストを付
着させる前に上記保持台１４０を認識し、また、スタン
プツール１４４の先端部に保持した銀ペーストを上記外
囲器１に転写する際に、上記キャリア１１内の位置決め
マーク１０（図２参照）を認識するようになっている。

【０１３８】前述したように、この位置決めマーク１０
は、第１の層３と第２の層４との重なり具合によって形
状が変わるから、この形状の変化により、前記ＳＡＷチ
ップ７を装着する搭載孔４ａの位置を認識することがで
きるようになっている。

【０１３９】上記撮像カメラ１５０は、上記ＸＹ駆動装
置及び上記スタンプヘッド１４３を制御する制御装置２
３に接続されており、この制御装置２３は、この撮像カ
メラ１５０の認識に基づいて上記スタンプヘッド１４３
のスタンプツール１４４を正確な位置に位置決めし、上
記スタンプツール１４４を下降させるようになってい
る。

【０１４０】次に、上記マウント装置２２について説明
する。

【０１４１】このマウント装置２２は、前記ＳＡＷチッ
プ７をトレイに載せられた状態で供給するチップ供給機
構１５２と、トレイを保持しこのトレイ内の任意のチッ
プ７を所定のチップ取り出し位置に位置決めするチップ
位置決め機構１５３と、チップ位置決め機構１５３から
チップを取り出して図に１５４で示すチップ姿勢補正機
構に移載するチップ移載機構１５５と、チップ姿勢補正
機構１５４によって姿勢が補正された後のチップ７を上
記搬送路１９上のキャリア１１に移載し、上記銀ペース
トが転写された外囲器１内に上記チップ７をマウントす
るマウント部１５６とからなる。

【０１４２】上記チップ供給機構１５２は、図に１５７
で示すエレベータ機構を有する。このエレベータ機構１
５７は、多数のチップ７を収納するトレイ１５８を多数
段保持するマガジン１５９を上下方向に駆動し、任意の
トレイ１５８を所定の高さに位置決めする機能を有す
る。

【０１４３】また、チップ位置決め機構１５３は、この
位置決めされたトレイ１５８を取り出して所定の高さに
保持すると共に、このトレイ１５８に収納された任意の
チップ７を所定のチップ取り出し位置に位置決めする。

【０１４４】前記チップ移載機構１５５は、具体的に
は、いわゆるピックアップアンドトレースユニットであ
り、図２０に示すように、水平方向に揺動しかつ上下す
るアーム部１４８と、このアーム部１４８の先端部に設
けられた吸着ノズル１４９を有する。この吸着ノズル１
４９の下端には、後述するように、前記ＳＡＷチップ７
を保持するための吸着コレット１５１が設けられてい
る。この移載機構１５５は、前記吸着ノズルで上記チッ
プ７を吸着保持し取り出すと共に、揺動することで、こ
のチップ７を上記チップ姿勢補正機構１５４に移載する
ようになっている。

【０１４５】次に、このチップ姿勢補正機構１５４を図
２０、２１を参照して説明する。同図中１６１は、ベー
スである。このベース１６１の一端部には、図に１６２
で示すチップ認識ステージが、軸受１６３を介して回転
自在に設けられている。このチップ認識ステージ１６２
は、上記軸受１６３によって回転自在に保持された本体
１６４と、この本体１６４内に嵌挿され上面を部品保持
面１６５ａとする透光性材料（例えばガラス部材）から
なる部品保持部材１６５とからなる。なお、上記本体１
６４の外周面には、ギアベルト用の従動ギア（図示しな
い）が形成されている。

【０１４６】一方、上記ベース１６１の他端部には、上
記チップ認識ステージ１６２を回転駆動し任意の角度ポ
ジションに位置決めするためのステージ駆動機構１６６
が設けられている。このステージ駆動機構１６６は、ベ
ース１６１の下面に固定された駆動用モータ１６７と、
この駆動用モータ１６７の駆動軸１６７ａ（図２１）に
取着され、上記チップ認識ステージ１６２の本体１６４
（従動ギア）と同じ高さに設けられた駆動用ギア１７０
とからなる。

【０１４７】上記本体１６２（従動ギア）と上記駆動ギ
ア１７０との間には、図に１７１で示すギアベルトが巻
回され、上記駆動用モータ１６７が作動することで、上
記チップ認識ステージ１６２（本体１６４及び部品保持
部材１６５）は回転駆動されるようになっている。

【０１４８】また、上記ベース１６１内には、図２１に
示すように、上記部品保持部材１６５と連通しこのベー
ス１６１の下面に開口する貫通孔１７２が設けられ、こ
の貫通孔１７２内には、上記保持部材１６５と同径に形
成された透光仕切部材１７３が上記保持部材１６５と同
軸上に嵌入されている。さらに、このベース１６１の下
面には、上記透光仕切部材１７３及び前記保持部材１６
５を通して、上記保持部材１６５上に位置するチップ７
を撮像する撮像装置１７４が取着されている。

【０１４９】この撮像装置１７４は、上記ベース１６１
の下面に固定された鏡筒１７５と、この鏡筒１７５内に
撮像面を対向させた状態で固定されかつ光軸を略水平に
した第２の撮像カメラ１７６と、上記鏡筒１７５内に設
けられ、上記保持部材１６５上のチップ７の像を上記撮
像カメラ１７６に捕捉させるための反射ミラー１７７と
からなる。

【０１５０】この第２の撮像カメラ１７６は、この図２
１に示すように、画像認識部１７８に接続されている。
この画像認識部１７８は、上記認識ステージ１６２上に
保持されたチップ７の姿勢（傾き角度）を認識するため
のチップ姿勢認識部１７８ａと、後述するように上記マ
ウント装置２２に受け渡された後のチップ７の位置（チ
ップ７の中心座標）を認識するためのチップ位置認識部
１７８ｂとを有する。

【０１５１】また、上記保持部材１６５の上面に保持さ
れたチップ７は、以下に説明する吸着保持手段によって
上記認識ステージ１６２上に吸着保持されるようになっ
ている。すなわち、この吸着保持手段は、上記保持部材
１６５の回転中心軸線に沿って上下貫通して設けられた
第１の吸引孔１８０と、上記透光仕切部材１７３に設け
られ、一端が上記第１の吸引孔１８０と連通すると共
に、他端はこの透光仕切部材１７３の側面に開口する第
２の吸引孔１８１と、上記ベース１６１に設けられ一端
が上記第２の吸引孔１８１と連通し他端は上記ベース１
６１の側面に開口する第３の吸引孔１８２とからなる。
この第３の吸引孔１８２には、図に１８３で示す吸引管
が接続されており、この吸引管１８３は真空発生装置１
８４に接続されている。

【０１５２】従って、真空発生装置１８４が作動するこ
とで、上記チップ７は、上記保持部材１６５の上面に吸
着保持されるようになっている。なお、上記透光仕切部
材１７３は上記ベース１６１に固定されており、この透
光仕切部材１７３の第２の吸引孔１８１と上記保持部材
１６５の第１の吸引孔１８０は、この保持部材１６５の
回転中心で連通しているから、上記保持部材１６５が回
転駆動されている間でも両者はずれることはなく、上記
保持部材１６５の上面に吸着力を発生し続けることがで
きる。

【０１５３】従って、上記真空発生装置１８４を作動さ
せた状態で、上記チップ認識ステージ１６２の保持部材
１６５上に保持されたチップ７の傾き角度を上記撮像装
置１７４（チップ姿勢認識部１７８ａ）で認識し、これ
に基づいて上記チップ認識ステージ１６２を回転させる
ことで、上記チップ７の姿勢（傾き角度）を補正するこ
とができるようになっている。なお、このチップ７の姿
勢の補正は、後述するチップマウント装置２２に設けら
れた部品吸着コレットで正確な吸着が行えるようにする
ためである。

【０１５４】次に、このチップマウント装置２２につい
て図１他を参照して説明する。

【０１５５】図１中１９０は部品吸着ヘッドである。こ
の部品吸着ヘッド１９０は、上下移動自在に設けられた
吸着ノズル１９１を有する。吸着ノズル１９１の下端に
は、図２０に示すように、部品吸着コレット１９２が設
けられている。このコレット１９２の下面の形状は、上
方に凹なるＶ字溝状（あるいは角錐状）をなし、上記チ
ップ７の表面に接触せずに、このチップ７を吸着保持で
きるようになっている。

【０１５６】また、図１に示すように、上記部品吸着ヘ
ッド１９０は、上記搬送路１９の側方に配置されたＸＹ
駆動装置に保持されている。このＸＹ駆動装置は、上記
基台１５上に固定されたＹ位置決め装置１９６とこのＹ
位置決め装置１９６に保持されたＸ位置決め装置１９７
とからなる。

【０１５７】このＸ位置決め装置１９７は、一端部を上
記搬送路１９の上方に延出させ、上記部品吸着ヘッド１
９０をＸ方向に位置決め駆動できるようになっている。

【０１５８】また、この部品吸着ヘッド１９０には、前
述したように上記部品吸着ノズル１９１が固定されてい
ると共に、図に２００で示す第３の撮像カメラが撮像面
を下方に向けた状態で固定されている。この第３の撮像
カメラ２００は、上記吸着ノズル１９１（吸着コレット
１９２）で上記チップ姿勢補正装置１５４からチップ７
を吸着保持する前に、このチップ姿勢補正装置１５４に
保持されたチップ７を認識し、また、このチップ７を上
記キャリア１１に保持された外囲器１にマウントする直
前に、上記外囲器１内の前記位置決めマーク１０を認識
するのに用いられるようになっている。

【０１５９】すなわち、この第３の撮像カメラ２００
は、上記ＸＹ駆動装置及び上記吸着ヘッド１９０を制御
する制御装置２３に接続されている。そして、この制御
装置２３は、まず、上記撮像カメラ２００によって撮像
認識された上記チップ姿勢補正装置１５４上のチップ７
の位置に基づいて上記ＸＹ駆動装置を作動させ、上記吸
着ヘッド１９０の吸着ノズル１９１（吸着コレット１９
２）を上記チップ７に対向位置決めする。

【０１６０】ついで、上記部品吸着ヘッド１９０を作動
させることで上記吸着ノズル１９１を下降駆動し、上記
チップ姿勢補正装置１５４のチップ認識ステージ１６２
上から上記チップ７を吸着保持する。このとき、上記チ
ップ姿勢補正装置１５４の真空発生装置１８４の動作は
停止され、上記チップ７は上記チップ姿勢補正装置１５
４からマウント装置２２側に受け渡されることとなる。

【０１６１】なお、上記チップ姿勢補正装置１５４（図
２０、２１）は、上記チップ７が上記マウント装置２２
に受け渡されたならば、再度上記撮像装置１７４（チッ
プ位置認識部１７８ｂ）を作動させ、上記透光仕切部材
１７３及び部品保持部材１６５を通して上記マウント装
置２２の吸着ノズル１９１（部品吸着コレット１９２）
に保持されたチップ７を撮像する。このことで、図に１
７８ｂで示すチップ位置認識部を通して、上記マウント
装置２２に保持されたチップ７の位置が認識されるよう
になっている。

【０１６２】上記チップ７の位置認識が終了したなら
ば、上記マウント装置２２は、上記ＸＹ駆動装置（Ｙ位
置決め装置１９６、Ｘ位置決め装置１９７）を作動させ
ることで、上記吸着保持したチップ７を上記搬送路１９
上のキャリア１１に移載する。

【０１６３】そして、まず、上記第３の撮像カメラ２０
０に固定された第３の撮像カメラを上記キャリア１１に
保持された外囲器１に対向させる。このことで上記銀ペ
ーストの塗布の場合と同様に、外囲器１内の前記位置決
めマーク１０を認識する。ついで、上記制御装置２３
は、この第３の撮像カメラ２００による上記外囲器１の
位置認識結果と、前記チップ姿勢補正装置１５４の撮像
装置１７４（第２の撮像カメラ１７６、チップ位置認識
部１７８ｂ）による上記チップ７の位置認識結果とに基
づいて、上記マウント装置２２を作動させ、チップ７と
上記外囲器１の搭載孔４ａとを対向位置決めする。

【０１６４】そして、上記吸着ノズル１９１を下降駆動
することで上記チップ７を上記外囲器１の搭載孔４ａ内
に装着する。この外囲器１の搭載孔４ａ内には、すでに
上記銀ペースト８が塗布されているから、この銀ペース
ト８を介してこのチップ７は外囲器１内に仮付けされ
る。

【０１６５】次に、この装置の全体動作（チップマウン
ト工程）を簡単に説明する。

【０１６６】前述したように、上記キャリア供給装置１
７の上段２９には、あらかじめ複数の保持孔１３のそれ
ぞれに外囲器１が固定されてなるキャリア１１を満載し
たマガジン１６が保持され、このマガジン１６をエレベ
ータ装置６５で順次上段２９から下段２８へと移送す
る。そして、その途中このエレベータ装置６５を制御す
ることで、所望のキャリア１１を前記搬送路１９の高さ
に順次位置決めし、このキャリア１１を搬送路１９上に
送出する。

【０１６７】上記搬送路１９上に送出されたキャリア１
１に保持された各外囲器１内には、まず銀ペースト８
（図２３（ａ）参照）が塗布される。

【０１６８】このために、上記キャリア１１は、上記キ
ャリア搬送装置２０の第１のキャリア搬送部９３によっ
て、上記外囲器１の保持間隔を１ピッチとして間欠送り
駆動される。このために、上記搬送装置２０は、前記カ
ム機構１２３を作動させ上記偏心カム軸９８を偏心回転
駆動することで、上記クランプ機構９６で上記キャリア
１１をクランプ保持すると共に押さえ機構９７によるキ
ャリアの押さえを解除する。そして、上記ボールねじ機
構９０を作動させることで上記クランプ機構９６を保持
する移動体８９を駆動し、上記キャリア１１を１ピッチ
分送り駆動する。ついで、上記偏心カム軸９８を偏心回
転駆動することで上記クランプ機構９６によるクランプ
を解除すると共に、キャリア押さえ機構９７によりキャ
リア１１を押さえる。前述したように、上記クランプ機
構９６と押さえ機構９７は、上記一つのカム機構１２３
で作動させることができるようになっている。

【０１６９】上記キャリア１１が１ピッチずつ送り駆動
され、銀ペースト８の塗布されていない外囲器１が上記
銀ペースト塗布装置２１に対向する位置に位置決めされ
たならば、まず、この銀ペースト塗布装置２１のスタン
プヘッド１４３に保持された第１の撮像カメラ１５０で
上記外囲器１を認識する。この外囲器１内には、前述し
たように各層３、４の位置ずれにかかわらずチップ搭載
位置を認識できる位置決めマーク１０が形成されてお
り、このマーク１０を撮像することで、上記制御装置２
３は銀ペースト塗布位置を認識する。

【０１７０】この認識結果に基づいて、上記銀ペースト
塗布装置２１は、上記スタンプヘッド１４３を位置決め
駆動し、上記スタンプツール１４４を突没駆動すること
で、上記銀ペースト供給台１４０から銀ペースト８を上
記外囲器１内に転写する。

【０１７１】次に、並列に保持されたもう一つの外囲器
１内にも同様に銀ペースト８を塗布したならば、上記搬
送装置２０を作動させることで上記キャリア１１を１ピ
ッチ送り駆動すると共に、その位置でこのキャリア１１
を固定する。そして、同様の手段により、上記銀ペース
ト塗布装置２１に対向位置決めされた外囲器１内に銀ペ
ースト８を塗布する。

【０１７２】このような動作を繰り返すことによって上
記キャリア１１に保持された全ての外囲器１内に銀ペー
スト８が塗布されたならば、そのキャリア１１は上記搬
送路１９の中途部で上記第２のキャリア搬送部９４に受
け渡される。

【０１７３】この第２のキャリア搬送部９４は、上記第
１のキャリア搬送部９３と同様にクランプ及び押さえを
繰り返すことで、上記キャリア１１を間欠送り駆動し、
上記銀ペースト８の塗布された外囲器１を順次チップマ
ウント装置２２対向させる。

【０１７４】上記チップマウント装置２２は、まず、チ
ップ７をチップ姿勢補正装置１５４上に移載し、このチ
ップ姿勢補正装置１５４は、チップマウント部１５６の
吸着ヘッド１９０（吸着ノズル１９１）でこのチップ７
を吸着保持できるように、撮像装置１７４（第２の撮像
カメラ１７６）の撮像認識に基づいて上記チップ７の姿
勢を補正する。姿勢が補正されたチップ７は、上記吸着
ヘッド１９０の吸着ノズル１９１に受け渡される。

【０１７５】ここで、上記チップ姿勢補正装置１５４
は、再度撮像装置１７４（チップ位置認識部１７８ｂ）
を作動させ、上記吸着ヘッド１９０に受け渡されたチッ
プ７を認識し、このチップ７の位置（中心座標）を求め
る。

【０１７６】ついで、上記マウント部１５６は、上記吸
着ヘッド１９０を上記キャリア１１に保持された外囲器
１上に移動させ、この吸着ヘッド１９０に設けられた第
３の撮像カメラ２００を用いて、上記外囲器１内の前記
位置決めマーク１０を撮像する。このことで、上記チッ
プ７の装着位置を認識する。

【０１７７】ついで、上記制御装置２３は、上記チップ
７の位置と、上記外囲器１内のチップの装着位置とに基
づいて、上記マウント装置２２を作動させ、上記チップ
７を上記外囲器１に対向位置決めする。ついで、上記吸
着ノズル１９１を下降駆動することで、この外囲器１内
に上記チップ７を挿着（マウント）する。

【０１７８】次に、並列に保持されたもう一つの外囲器
１内にも同様の手法で上記チップ７を位置決めし挿着し
たならば、上記搬送装置２０を作動させ、上記キャリア
１１をピッチ送りする。そして、上記チップマウント及
び送りの動作を繰り返すことで上記キャリア１１に保持
された全ての外囲器１内にチップ７をマウントする。

【０１７９】なお、このチップマウント動作中、上記銀
ペースト塗布動作も並行的に行われる。すなわち、上記
第１のキャリア搬送部９３から第２のキャリア搬送部９
４にキャリア１１が受け渡されたならば、上記キャリア
供給装置１７から新たなキャリアが送出され上記第１の
搬送部９３に受け渡される。

【０１８０】この第１のキャリア搬送部９３と第２のキ
ャリア搬送部９４は、前述したように一体的に送り駆動
されるようになっているから、上記銀ペースト塗布動作
とチップマウント動作は同期して行われることになる。

【０１８１】全ての外囲器１内にチップ７がマウントさ
れたキャリア１１は、上記第２のキャリア搬送部９４か
らキャリア収納機構８３を介して上記キャリア回収装置
１８に収納される。このキャリア回収装置１８は、エレ
ベータ装置６５に保持したマガジン１６を下段２８側か
ら上段２９側へと上記キャリア１１を保持する棚を順次
上記搬送路１９の高さに位置決めしつつ駆動すること
で、このマガジン１６内にキャリア１１を収納していく
ようになっている。

【０１８２】このようにして、マガジン１６内にキャリ
ア１１が満載されたならば、このマガジン１６は、上段
２９上に受け渡される。このキャリア回収装置１８の動
作は、前記キャリア供給装置１７の動作と全く逆の動作
を行われせることで行える。

【０１８３】なお、作業者（自動装置でも良い）は、上
記キャリア回収装置１８の上段２９から上記キャリア１
１が満載されたマガジン１６を取り出し、次工程を行う
装置（例えばボンディング装置や封止装置等）に移送す
る。

【０１８４】以上述べた構成によれば、以下に説明する
効果を得ることができる。

【０１８５】第１に、キャリア１１の搬送機構を省スペ
ース化、軽量化することができ、キャリア１１の高速搬
送時の振動等を防止し、高精度で信頼性の高いチップマ
ウントを実現することが可能となる。

【０１８６】すなわち、この装置では、上記キャリア１
１を送り駆動する際に上記キャリア１１を把持するクラ
ンプ機構９６と、銀ペースト８を塗布する際あるいはチ
ップ７をマウントする際にキャリア１１を押さえるキャ
リア押さえ機構９７とを有し、これらを一つのカム機構
１２３で作動させるようにした。すなわち、一つの駆動
源で、これらを作動させることができるため、搬送装置
２０を小型省スペース化、及び軽量化することができる
効果がある。

【０１８７】また、偏心カム軸９８の偏心回転駆動によ
り、上記クランプと押さえを切り替えるようにしたの
で、滑らかで衝撃の少ない切替えが行える。このことに
より、押さえる際に上記キャリア１１が位置ずれした
り、振動が生じたりすることを有効に防止することがで
きる。

【０１８８】さらに、カム機構２３（偏心カム軸９８）
を、上記クランプ機構９６及び押さえ機構９７とは別体
に設け、移動しない構成としたので、移動部分（上記押
さえ機構９７及びクランプ機構９６）を軽量化すること
ができる。これにより、キャリア１１の駆動時の慣性力
を小さくすることができるので、より高速で送り駆動で
きかつ正確な位置決めを行うことができる効果がある。

【０１８９】また、搬送路１９上に、同時に２つのキャ
リア１１を保持するようにし、銀ペーストの塗布と、チ
ップマウントを同時並行的に行えるようにした。また、
第１の搬送部９３と第２の搬送部９４を同時に駆動する
ことで、上記２つのキャリア１１を同時にピッチ送りす
るようにした。このことで、外囲器１内へのチップマウ
ントが非常に効率良く行えると共に、送り駆動機構（ボ
ールねじ機構９０）が一つで済むので、装置が構成が簡
略化できる効果もある。

【０１９０】これらのことより、非常に高速で信頼性の
高いチップマウントを行える効果がある。

【０１９１】第２に、キャリア供給装置１７では、複数
個のキャリア１１が収納されてなるマガジン１６を保持
し、このマガジン１６を上段２９から下段２８へ移送す
る途中で上記マガジン１６内からキャリア１１を順次送
出するようにした。

【０１９２】このことにより、キャリア１１の供給を連
続的に行える効果がある。また、キャリア１１が満載さ
れたマガジン１６を上段２９に保持し、空のマガジン１
６を下段２８に収納するようにしたので、キャリア１１
に塵埃等が付着することを極力防止することができる効
果がある。

【０１９３】すなわち、上記供給装置１７には、段取り
替え等により、マガジン１６を供給したり排除したりす
る必要があるが、この際に塵埃等が発生するおそれがあ
る。このとき、キャリア１１を保持したマガジン１６が
下段２８側にあると、このキャリア１１に塵埃が付着す
るおそれがある。しかし、この発明の装置によれば、こ
のような事態を有効に防止することができるのである。

【０１９４】また、上記エレベータ装置６５で、送出キ
ャリア１１の位置決めが行えるので構成が簡略化でき、
また、上段２９から下段２８へのマガジン１６の移載と
送出の両方の動作が同時に行える高速かつ連続的にキャ
リア１１の送出を行える効果がある。

【０１９５】さらに、この装置によれば、マガジン１６
の段取り替えがマウント作業中にも行えるので、装置を
停止させず、連続的に運転を行うことができる効果があ
る。

【０１９６】第３に、キャリア回収装置１８では、上記
キャリア供給装置１７とは逆に、マガジン１６を下段２
８から上段２９へと移載する途中でこのマガジン１６内
にキャリア１１を順次収納し、かつキャリア１１が収納
された後のマガジン１６を上段２９に保持するようにし
た。

【０１９７】このことで、上記第２の効果と同様に、マ
ガジン１６内に収納されたキャリア１１の各外囲器１に
塵埃等が付着するのを有効に防止できる効果がある。

【０１９８】第４に、従来技術の項で説明したように、
微細なＳＡＷチップ７とセラミックス製の外囲器１の位
置決めは非常に難しいとされてきたが、この装置では、
これを高精度に行える。

【０１９９】すなわち、この装置では、まず、チップ姿
勢補正装置１５４でチップ７の姿勢の補正を行うと共
に、同じくチップ姿勢補正装置１５４で認識したチップ
７の位置とマウント装置２２で認識した外囲器１のマウ
ント位置とに基づいて、チップマウントを行うようにし
た。このことで、上記チップ７の正確な位置決めを行う
ことができる。

【０２００】なお、外囲器１内には、外囲器１の成形精
度にかかわらず、正確な挿着位置を認識しうる位置決め
マーク１０を設けているので、上記マウント位置の認識
は正確に行える。

【０２０１】また、上記マウント装置２２の吸着ノズル
１９１に吸着保持されたチップ７の位置認識を、チップ
７の姿勢補正を行うチップ姿勢補正装置１５４で行え、
しかも同じ第３の撮像カメラ１７６を用いて行うことが
できる。このため、別にチップ７の位置認識を行う装置
は不要であり、構成を非常に簡略化できると共に、チッ
プ７のマウントを高速で行うことが可能になる。

【０２０２】第５に、動作データを作成する際、作業者
がデータ項目の内容を容易に理解し、データの誤入力を
防止することができる効果がある。

【０２０３】以上第１〜第５の効果により、搬送や位置
決めが難しいセラミック製の外囲器１へのＳＡＷチップ
７のマウントを自動で行うことが可能となった。

【０２０４】なお、この発明は、上記一実施形態に限定
されるものではない。発明の要旨を変更しない範囲で種
々変形可能である。例えば、上記一実施形態では、搭載
されるチップはＳＡＷチップであったが、これに限定さ
れるものではない。他の種類のチップ部品であっても良
い。

【０２０５】

【発明の効果】以上説明した構成によれば、第１に、キ
ャリア供給機構と回収機構との間に搬送路を設け、この
搬送路上でキャリアを間欠送り駆動することで、このキ
ャリアに保持された複数の外囲器に順次チップ部品をマ
ウントすることができる。このことで大量のチップマウ
ントを自動的かつ連続的に行うことができる効果があ
る。

【０２０６】第２に、キャリアに対して、搬送のための
把持と、固定のための押さえとを、カム機構を用いるこ
とで、一つの駆動源で行うことができる。このことで、
キャリアの搬送装置の構成の簡略化及び省スペース化を
図ることができる。また、カム機構を用いることで、把
持と押さえの切換を連続的に滑らかに行え、キャリアに
与える衝撃を非常に小さくすることができる。このこと
で、キャリアの位置ずれや振動等を有効に防止でき、信
頼性の高いチップマウントを行える効果がある。

【０２０７】第３に、カム機構を用いることで、上記把
持機構及び押さえ機構が送り駆動された場合でも、上記
把持機構の把持状態や押さえ解除状態を維持することが
できる。従って、このカム機構は、上記把持機構や押さ
え機構と別体に設けることができ、上記把持機構及び押
さえ機構の送り駆動時の駆動慣性力を小さくすることが
できる。

【０２０８】このことにより、キャリアの位置決めをよ
り高速かつ正確に行えるから、高精度なチップマウント
を高速で行える効果がある。

【０２０９】第４の手段によれば、マガジンからキャリ
アを順次搬送路上に送出することができる。そして、キ
ャリアを収納したマガジンは上段側に、キャリアを給出
した後のマガジンは下段側に収納するようにしたこと
で、このマガジンに収納したキャリアに塵埃等が付着す
ることを有効に防止することができる。

【０２１０】また、このような装置によれば、チップマ
ウント作業中も、マガジンの段取り換えを行うことがで
き、連続運転が実現される。

【０２１１】第５に、キャリアをマガジン内に順次回収
することができる。そして、空のマガジンは下段側に、
回収されたキャリアが満載されたマガジンは上段側に保
持するようにしたので、マガジン内のキャリアに塵埃等
が付着することを有効に防止することができる。

【０２１２】第６に、チップマウント前に直接外囲器に
設けられた位置決めマークを認識するようにしたので、
外囲器の外形のみを認識する場合等と比較してチップマ
ウントをより高精度に行える。

【０２１３】また、撮像カメラを吸着ノズルと一体的に
設けることで、高精度なチップマウントを行うことがで
きる。

【０２１４】第７に、姿勢補正のためのチップ部品の姿
勢認識と、取り出された直後のチップ部品の位置認識を
同一の撮像手段で行えるから、別にチップ位置認識装置
を設ける必要がなく、装置全体を小型化することができ
る効果がある。

【０２１５】以上より、この発明の目的、すなわち、Ｓ
ＡＷデバイスのような微細なセラミックス製の外囲器等
に対するチップマウントであっても、全自動で、精度良
く、かつ歩留まり良くチップマウントすることが達成さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す全体概略構成図。

【図２】同じく、外囲器に設けられた位置決めマークを
示す平面図。

【図３】同じく、キャリアを示す斜視図。

【図４】同じく、キャリア供給装置、キャリア搬送装置
およびキャリア回収装置を示す斜視図。

【図５】同じく、キャリア供給装置を示す斜視図。

【図６】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図７】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図８】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図９】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図１０】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図１１】同じく、キャリア供給装置の動作を示す工程
図。

【図１２】同じく、キャリア搬送装置を示す斜視図。

【図１３】同じく、第１のキャリア搬送部を示す斜視
図。

【図１４】同じく、キャリア把持機構を示す斜視図。

【図１５】同じく、偏心カム軸の回動角度とカムポジシ
ョンの関係を示す説明図。

【図１６】同じく、キャリア押さえ部を示す斜視図。

【図１７】同じく、偏心カム軸の回動角度とカムポジシ
ョンの関係を示す説明図。

【図１８】同じく、表示画面作成装置を示すブロック
図。

【図１９】同じく、（ａ）は従来の表示画面の例、
（ｂ）はこの実施形態による表示画面の例を示す説明
図。

【図２０】同じく、チップ姿勢補正部を示す斜視図。

【図２１】同じく、縦断面図。

【図２２】一般的な、外囲器を示す斜視図及び縦断面
図。

【図２３】ＳＡＷデバイスの製造工程を示す工程図。

【符号の説明】

１…外囲器、７…ＳＡＷチップ（チップ部品）、８…銀
ペースト、１０…位置決めマーク、１１…キャリア、１
２…基材、１３…凹部、１５…基台、１６…マガジン、
１７…キャリア供給装置（キャリア供給機構）、１８…
キャリア回収装置（キャリア回収機構）、１９…キャリ
ア搬送路、２０…キャリア搬送装置（キャリア送り機
構）、２１…銀ペースト塗布装置、２２…マウント装置
（キャリアマウント機構）、２３…制御装置、２４…操
作盤、２５…視覚認識用モニター、２７…ベース、２８
…下段、２９…上段、３０…脚部、３１…側板、３２…
保持片、３３…保持片、３２ａ…凹部、３３ａ…凹部、
３４…マガジン駆動機構、３５…持ち上げ用カム機構、
３６…移動用カム機構、３７…カム、３８…カム、３９
…原動軸、４０…駆動モータ、４４…係止部材、４５…
駆動片、４６…上下移動体、４７…スライド体、４８…
持ち上げ用リンク、４９…カムフォロア、５０…スライ
ド用リンク、５１…カムフォロア、５３…持ち上げ用カ
ム機構、５４…移動用カム機構、５５…持ち上げ用カ
ム、５６…スライド用カム、５７…上下移動体、５８…
スライド体、５９…駆動片、６０…持ち上げ用リンク、
６１…スライド用リンク、６２…カムフォロア、６３…
カムフォロア、６５…エレベータ装置（移送機構、マガ
ジンの位置決め手段）、６６…垂直壁、６７…ガイドレ
ール、６８…スライダ、６９…棚、６９ａ…突起、７０
…マガジン保持体、７１…ボールねじ機構、７２…ねじ
軸、７３ａ…プーリ、７３ｂ…プーリ、７４…ベルト、
７５…駆動モータ、７６…ナット、７７…受け渡し機
構、７８…アーム、７９…駆動シリンダ、８１…キャリ
ア引き出し機構、８３…キャリア収納機構、８４…ガイ
ドレール、８５…ガイドレール、８８…ガイド、８９…
移動体、９０…ボールねじ機構、９１…駆動モータ、９
２…ねじ軸、９３…第１のキャリア搬送部、９４…第２
のキャリア搬送部、９６…クランプ機構（キャリア把持
機構）、９７…押さえ機構（キャリア押さえ機構）、９
８…偏心カム軸（カム機構、カム）、１００…ブラケッ
ト、１０１…ブラケット、１０２…回転軸、１０３…回
転軸、１０４…軸受、１０７…上側ブロック、１０８…
下側ブロック、１０９…カムフォロア、１１０…シャフ
ト、１１１…スリット、１１２…上側把持部材、１１３
…下側把持部材、１１４…爪部材、１１５…爪部材、１
１７…押さえ部材、１１８…押さえ片、１２０…スプリ
ング、１２１…カムフォロア、１２２…保持ブラケッ
ト、１２３…カム機構、１２４…アーム、１２４ａ…ス
リット、１２５…往復駆動機構、１３０…項目名テーブ
ル、１３１…表示位置テーブル、１３２…データ画面作
成部、１３３…図形画面作成部、１３４…表示制御装
置、１４０…銀ペースト供給台、１４１…ペースト転写
機構、１４２…スキージ機構、１４０ａ…保持面、１４
３…スタンプヘッド、１４４…スタンプツール、１４６
…Ｙ位置決め装置、１４７…Ｘ位置決め装置、１４８…
アーム部、１４９…吸着ノズル、１５０…第１の撮像カ
メラ、１５１…吸着コレット、１５２…チップ供給機
構、１５３…チップ位置決め機構、１５４…チップ姿勢
補正機構（姿勢補正手段）、１５５…チップ移載機構、
１５６…マウント部、１５７…エレベータ機構、１５８
…トレイ、１５９…マガジン、１６１…ベース、１６２
…チップ認識ステージ、１６３…軸受、１６４…本体、
１６５…部品保持部材（チップ部品保持部）、１６５ａ
…部品保持面、１６６…ステージ駆動機構、１６７…駆
動用モータ、１６７ａ…駆動軸、１７２…貫通孔、１７
３…透光仕切部材、１７４…撮像装置、１７５…鏡筒、
１７６…第２の撮像カメラ（姿勢認識手段、位置認識手
段、撮像手段）、１８０…第１の吸引孔、１８１…第２
の吸引孔、１８２…第３の吸引孔、１８３…吸引管、１
８４…真空発生装置、１８７…部品認識部、１８７ａ…
チップ姿勢認識部（姿勢認識手段）、１８７ｂ…チップ
位置認識部（位置認識手段）、１９０…部品吸着ヘッド
（マウント手段、保持ヘッド）、１９１…吸着ノズル、
１９２…部品吸着コレット、１９６…Ｙ位置決め装置、
１９７…Ｘ位置決め装置、２００…第３の撮像カメラ
（検出手段、撮像手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 謙吾 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップ部品がマウントされる外囲器を複
   数保持するキャリアを間欠的に送り駆動し、このキャリ
   アに保持された外囲器内に順次チップ部品をマウントす
   るチップマウント装置であって、 前記キャリアをガイド保持するキャリア搬送路と、 このキャリア搬送路上に、チップ部品がマウントされて
   いない外囲器を複数保持するキャリアを供給するキャリ
   ア供給機構と、 上記搬送路上でキャリアを間欠的に送り駆動するキャリ
   ア送り機構と、 上記キャリアに保持された外囲器内にチップ部品をマウ
   ントするマウント機構と、 全ての外囲器にチップ部品がマウントされたキャリアを
   順次上記搬送路から回収するキャリア回収機構とを有す
   ることを特徴とするチップマウント装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記キャリア送り機構は、 キャリア搬送時にキャリアを把持するキャリア把持機構
   と、 上記キャリアの非搬送時に上記キャリアを前記搬送路に
   押さえ付け、前記キャリアをその位置で固定するキャリ
   ア押さえ機構と、 上記キャリア把持機構及びキャリア押さえ機構をカム駆
   動し、１つのカムで、少なくとも、把持・押さえ解除、
   把持解除・押さえ、把持解除・押さえ解除の各動作を選
   択的に行わせるカム機構とを有することを特徴とするチ
   ップマウント装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のチップマウント装置にお
   いて、 上記キャリア送り機構は、 上記キャリア把持機構と上記キャリア押さえ機構を上記
   搬送路に沿って一体的に位置決め駆動する駆動手段を有
   し、 上記カム機構は、 上記搬送路と平行に延出されかつ搬送路と平行な軸線ま
   わりに回転駆動されるカムを有し、このカムを回転駆動
   することで上記キャリア把持機構及びキャリア押さえ機
   構を動作させるものであることを特徴とするチップマウ
   ント装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記キャリア供給機構は、 それぞれ、複数のマガジンを保持できる上段及び下段
   と、 上段に保持され、キャリアが収納されたマガジンを、上
   段から下段へと移送する移送機構とを有し、 この移送機構は、上段と下段間で、上記マガジンに収納
   された任意のキャリアを前記キャリア搬送路に供給でき
   る高さに位置決めする手段を有することを特徴とするチ
   ップマウント装置。
5. 【請求項５】 請求項１記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記キャリア回収機構は、 それぞれ、複数のマガジンを保持できる上段及び下段
   と、 下段に保持され、キャリアが収納されていないマガジン
   を、この下段から上段へと移送する移送機構とを有し、 この移送機構は、上段と下段間で、上記マガジンに設け
   られた任意のキャリア収納棚を前記キャリア搬送路から
   キャリアを回収できる高さに位置決めする手段を有する
   ことを特徴とするチップマウント装置。
6. 【請求項６】 請求項１記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記マウント機構は、 チップマウント前に、前記キャリアに保持された外囲器
   内の位置決めマークを検出する検出手段を有し、 この検出手段による検出に基づき上記チップ部品を外囲
   器内にマウントするマウント手段とを有することを特徴
   とするチップマウント装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記検出手段は、前記外囲器内の位置決めマークを撮像
   する撮像手段を有し、 前記マウント手段は、前記チップ部品を保持する保持ヘ
   ッドを有し、 前記撮像手段は上記保持ヘッドに一体的に設けられてい
   ることを特徴とするチップマウント装置。
8. 【請求項８】 請求項１記載のチップマウント装置にお
   いて、 前記チップマウント機構は、 チップマウント前にチップ部品の姿勢を補正する姿勢補
   正手段と、 この姿勢補正装置からチップ部品を取り出して上記キャ
   リアに保持された外囲器にマウントするマウント手段と
   を有し、 前記姿勢補正手段は、 チップ部品が載置される透光性のチップ部品保持部と、 この透光性のチップ部品保持部を通してこのチップ部品
   保持部に保持された上記チップ部品の姿勢を認識する姿
   勢認識手段と、 この姿勢認識手段の認識に基づいて上記チップ部品保持
   部を回転駆動することで上記チップ部品の姿勢を補正す
   る保持部駆動手段と、 この透光性保持部から前記マウント手段により前記チッ
   プ部品が取り出されたのに基づき、上記透光性テーブル
   を介して取り出されたチップ部品の位置を検出する位置
   認識手段とを有することを特徴とするチップマウント装
   置。
9. 【請求項９】 請求項８記載のチップマウント装置にお
   いて、 上記姿勢認識手段と位置認識手段は、同じ撮像手段を用
   いて上記チップ部品の認識を行うものであることを特徴
   とするチップマウント装置。