JPH09180176A - 磁気ディスク及び記録再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高密度磁気記録用磁気ディスク及び当該磁気デ
ィスクの性能を十分引き出すことが出来る記録再生方法
を提供する。 【解決手段】（１）コンタクトスタートアンドストップ
（ＣＳＳ）方式によって記録再生を行う磁気ディスクで
あって、磁気ヘッドの停止領域と離着陸領域（ランディ
ング領域）から成るＣＳＳ領域に複数の突起を有し、上
記の離着陸領域は、複数の突起にて形成され且つ磁気デ
ィスク中心からデータ記録領域に向かって低くなる傾斜
面であって、その勾配が１×１０^-6〜５×１０^-5の範囲
であり、そして、ＣＳＳ領域に存在する最小突起の高さ
は、磁気ヘッドの浮上高さよりも低く、ＣＳＳ領域に存
在する最大突起の高さは、磁気ヘッドの浮上高さよりも
高い磁気ディスク。（２）上記の磁気ディスクを使用
し、突起の最大突起高さよりも低い高さで磁気ヘッドを
飛行させて記録再生を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク及び
記録再生方法に関するものであり、詳しくは、コンタク
トスタートアンドストップ（ＣＳＳ）方式で使用される
磁気ディスク及び記録再生方法に関するものである。

【０００２】通常、ハードディスクへの情報の書き込み
／読み出し等は磁気ヘッドを介して行われ、その際、磁
気ディスクは高速で回転して磁気ヘッドを浮上させる。
ところで、磁気ディスクには、磁気特性の向上のため、
その円周方向にほぼ同心円状に機械的研磨を行って加工
痕を残す加工（以下、機械的テキスチャという）が施さ
れている。通常、機械的テキスチャは、非磁性基板面上
または当該基板上に設けられたＮｉ−Ｐメッキ等の下地
層上に施される。

【０００３】近年の情報量の増大と装置の小型軽量化の
要求により、線記録密度およびトラック密度が高くな
り、１ビット当りの面積が小さくなった場合、従来の様
な機械的テキスチャによるスクラッチ傷は、情報読み出
しの際にエラーとなる確率が高くなる。そのため、磁気
ディスク内周部にあるＣＳＳ領域のみに機械的テキスチ
ャを施しデータ記録領域はそのままにする方法も提案さ
れている。ところが、この場合は、データ記録領域の面
がＣＳＳ領域の面よりも高くなり、磁気ヘッドがシーク
する際にクラッシュすると言う問題がある。

【０００４】また、機械的テキスチャに代えて、レーザ
ビームでテキスチャパターンを形成する方法も提案され
ている。例えば、米国特許第５，０６２，０２１号明細
書、同第５，１０８，７８１号明細書などには、パルス
幅が非常に狭く且つエネルギー密度が大きいＮｄ−ＹＡ
ＧのＱスイッチレーザビームにより、Ｎｉ−Ｐ層を局所
的に溶融してクレータ状の突起を形成し、その円環状リ
ムによって磁気ヘッドのＣＳＳ特性を改善する試みが提
案されている。

【０００５】上記のレーザテキスチャはＣＳＳ領域のみ
に行うことが可能であるが、この場合も、突起高さは、
磁気ヘッドのスティッキングを防止するため、ある一定
値以上が必要であり、その突起の高さの分だけグライド
高さが高くなる。従って、磁気ディスクのグライド高さ
がＣＳＳ領域のグライド高さで規定される結果、データ
記録領域では過剰なヘッド浮上高さになるため、記録密
度を十分上げることが出来ないと言う問題がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従って、従来より、磁
気ディスクの記録再生方法においては、データ記録領域
における磁気ヘッドの安定浮上高さを如何に低くする
か、また、磁気ヘッドの停止領域では如何にしてスティ
ッキングが起こらない様にするかが重要な課題とされて
いる。本発明は、斯かる実情に鑑みなされたものであ
り、その目的は、高密度磁気記録用磁気ディスク及び当
該磁気ディスクの性能を十分引き出すことが出来る記録
再生方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【０００７】すなわち、本発明の第１の要旨は、コンタ
クトスタートアンドストップ（ＣＳＳ）方式によって記
録再生を行う磁気ディスクであって、磁気ヘッドの停止
領域と離着陸領域（ランディング領域）から成るＣＳＳ
領域に複数の突起を有し、上記の離着陸領域は、複数の
突起にて形成され且つ磁気ディスク中心からデータ記録
領域に向かって低くなる傾斜面であって、その勾配が１
×１０^-6〜５×１０^-5の範囲であり、そして、ＣＳＳ領
域に存在する最小突起の高さは、磁気ヘッドの浮上高さ
よりも低く、ＣＳＳ領域に存在する最大突起の高さは、
磁気ヘッドの浮上高さよりも高いことを特徴とする磁気
ディスクに存する。

【０００８】そして、本発明の第２の要旨は、磁気ヘッ
ドによる磁気ディスクに対するデータの読み出し及び／
又は書き込みをコンタクトスタートアンドストップ（Ｃ
ＳＳ）方式によって行う記録再生方法において、磁気ヘ
ッドの停止領域と離着陸領域（ランディング領域）から
成るＣＳＳ領域に複数の突起を有し、上記の離着陸領域
は、複数の突起にて形成され且つ磁気ディスク中心から
データ記録領域に向かって低くなる傾斜面であって、そ
の勾配が１×１０^-6〜５×１０^-5の範囲である磁気ディ
スクを使用し、そして、当該突起の最大突起高さよりも
低い高さで磁気ヘッドを飛行させて記録再生を行うこと
を特徴とする記録再生方法に存する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
先ず、本発明の磁気ディスクについて説明する。本発明
の磁気ディスクは、コンタクトスタートアンドストップ
（ＣＳＳ）方式によって行う記録再生を行う磁気ディス
クである。本発明の磁気ディスクは、ＣＳＳ領域に特定
の条件を満たす複数の突起を有する。

【００１０】磁気ディスクは、非磁性基板上に、必要に
応じて下地層とその上の中間層を介し、少なくとも磁性
層を有し、場合により磁性層上に保護層を設けて構成さ
れるが、上記の突起は、前記の基板、下地層、中間層、
磁性層、保護層の少なくとも何れかに存在すればよい。

【００１１】非磁性基板としては、アルミニウム合金基
板、ガラス基板またはケイ素基板が好適に使用される
が、銅、チタン等のその他の金属基板、カーボン基板、
セラミック基板または樹脂基板を使用することも出来
る。上記のケイ素基板は、純ケイ素基板の他、ケイ素に
強度増加のための微量元素を添加したケイ素合金基板を
使用することが出来る。

【００１２】基板の材質は、上記の突起の形成がレーザ
等のエネルギービームの照射による場合は、照射による
発熱と熱伝導による放熱の関係から、表面の反射率が小
さく、また、熱拡散率の小さなものが好適である。ま
た、基板としては、磁気ディスクのデータ記録領域での
安定浮上高さを小さくするため、ポリッシュして出来る
限り平らになされた基板を使用するのが好ましい。

【００１３】磁気ディスクは、基板の表面に直接に磁性
層を形成して構成することも出来るが、一般的には、基
板の表面に下地層を形成し、当該下地層を介して磁性層
を形成する。下地層としては、Ｎｉ−Ｐ合金から成る非
磁性下地層が好適であり、斯かる下地層は、通常、無電
解メッキ法またはスパッタ法により形成される。下地層
の厚さは、通常５０〜２０，０００ｎｍ、好ましくは１
００〜１５，０００ｎｍである。

【００１４】基板または下地層と磁性層との間には、Ｃ
ｒ層、Ｃｕ層などの中間層を設けるのが好ましい。中間
層の厚さは、通常２０〜２００ｎｍ、好ましくは５０〜
１００ｎｍである。磁性層（磁気記録層）は、Ｃｏ−
Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−
Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金等の強磁性合金薄膜によって構成
され、無電解メッキ、電気メッキ、スパッタ、蒸着など
の方法によって形成される。磁気記録層の厚さは、通常
３０〜７０ｎｍ程度である。

【００１５】通常、上記の磁気記録層の表面には保護層
が設けられる。保護層は、炭素膜、水素化カーボン膜、
ＴｉＣ、ＳｉＣ等の炭化物膜、ＳｉＮ、ＴｉＮ等の窒化
膜、ＳｉＯ、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、ＺｒＯ等の酸化物膜などで構
成され、蒸着、スパッタ、プラズマＣＶＤ、イオンプレ
ーティング、湿式法等の方法により形成される。保護層
としては、炭素質膜が好ましく、水素化炭素膜または窒
化炭素膜が特に好ましい。

【００１６】また、通常、上記の保護層の表面には潤滑
剤層が設けられる。潤滑剤としては、例えば、フッ素系
液体潤滑剤が好適に使用され、潤滑剤層は、通常、浸漬
法などにより保護層の表面に形成される。ただし、スラ
イダー面にダイヤモンド状カーボンの層を有する磁気ヘ
ッドを使用する場合は、当該磁気ヘッドと磁気ディスク
とのトライボロジ的な性質が改善されるため、必ずしも
保護層や潤滑剤層を設ける必要はない。

【００１７】磁気ヘッドがＣＳＳを行うＣＳＳ領域に突
起を形成させる方法としては、レーザビーム照射装置を
使用したレーザテキスチャ加工が好適に採用される。図
１は、レーザビーム照射装置の一例の基本的構成の説明
図である。図１に例示したレーザビーム照射装置は、パ
ルス状レーザビーム発生手段（１）、集光手段（２）、
スポット移動手段（３）、基板移動手段（４）、基板回
転手段（５）、（５）から主として構成されている。

【００１８】パルス状レーザビーム発生手段（１）は、
機能的には、固体レーザ光源を使用したレーザビーム発
生手段と当該レーザビームを変調してパルス状レーザビ
ームを生成する光学変調手段とから成る。なお、図中の
符号（６）は基板を表し、また、基板回転手段（５）は
２基備えられているが、その数は任意である。

【００１９】集光手段（２）としては、所望の微小スポ
ットが得られる限り通常の集光手段（対物レンズ）を採
用することが出来る。集光手段（２）は、通常、オート
フォーカス（ＡＦ）システムと組み合わせて使用され
る。また、スポット移動手段（３）及び基板移動手段
（４）としては、例えば、リニアースライダーが好適に
使用される。スポット移動手段（３）は、パルス状レー
ザビーム発生手段（１）と集光手段（２）とを搭載して
これらを直線方向に一体的に移動させる。基板移動手段
（４）は、後述の基板回転手段（５）を搭載してこれを
直線方向に一体的に移動させる。

【００２０】スポット移動手段（３）は、スポットの加
工面上における位置を連続的に変化せしめる機能を有す
るが、斯かる位置変化は、スポットと加工面との相対的
関係である。従って、図１に示すレーザビーム照射装置
においては、スポット移動手段（３）及び基板移動手段
（４）の何れ一方を備えていればよい。通常は、基板移
動手段（４）によってスポット自体を移動させるのが好
ましい。

【００２１】基板回転手段（５）としては、例えば、ス
ピンドルモータが好適に使用され、基板（６）は、スピ
ンドルモータの回転軸に支持され、一定の回転数または
線速度で移動させられる。

【００２２】図２は、レーザテキスチャによって形成さ
れた実施例１の突起の形状の説明図であり、（ａ）は斜
視図、（ｂ）は突起の中心を通りレーザビームの走査方
向を含む垂直断面図である。レーザテキスチャによる突
起の生成機構は未だ十分解明されていないが、次の様に
考えられる。

【００２３】すなわち、パルスレーザの照射による、突
起形成面上の局所的に過熱されたスポット部は、一部溶
融し、当該溶融部分は、基板の回転またはレーザビーム
の走査によって移動する。そして、最初にビームが当っ
た部分は、その後、温度が下がり温度勾配が生ずる。一
般に、溶融液体においては、低温側の方が表面張力が大
きく、この表面張力の差により、最初に溶融し、その
後、低温になった部分が後から溶融した部分の液体を取
り込み盛り上がり、図２に示す様な突起形状となる。従
って、最後に溶融した部分には凹部が出来る。そして、
この場合は、レーザビームの走査方向に対し、凸状突起
の後部に凹部を有することが多い。

【００２４】また、レーザビームの走査あるいは基板の
回転が遅いか、または、レーザビームのパワーが大きい
等の条件によっては、熱収縮により突起の周囲には凹部
が出来る場合もある。この現象の解明は十分ではない
が、次の様に考えられる。すなわち、局所的に加熱され
たスポット部は膨張するが、その回りは冷えていて変形
し難いため、膨張した部分が外気で直ぐに冷やされて突
起として残る。そして、突起の周囲は熱収縮による凹み
が形成される。

【００２５】突起高さは、レーザの強度とその平均照射
時間および基板の線速度を調節することによって自由に
制御することが出来る。突起の密度は、１周当たりの突
起の個数、パルスレーザの半径方向の照射間隔および上
記の突起の高さを制御する条件を調節することにより自
由に制御することが出来る。突起の高さは、ＪＩＳ表面
粗さ（Ｂ０６０１−１９８２）により規定される、粗さ
曲線の中心線を基準とした場合の突起の高さを表す。ま
た、突起の密度は、磁気ディスク全体での平均密度では
なく、突起存在部での単位面積当たりの密度をいう。

【００２６】通常、レーザの強度は２０〜５００ｍＷ、
平均照射時間は０．０５〜１００μｓｅｃ、レーザのス
ポット径は０．２〜４μｍ、基板の線速度は０．８〜１
５ｍ／ｓｅｃが好ましい。ただし、スパイラル状の山脈
状突起を形成する場合には、レーザビームを半径方向に
走査しながら連続的に発振する様にする。

【００２７】本発明の磁気ディスクは、磁気ヘッドの停
止領域と離着陸領域（ランディング領域）から成るＣＳ
Ｓ領域に複数の突起を有し、上記の離着陸領域は、複数
の突起にて形成され且つ磁気ディスク中心からデータ記
録領域に向かって低くなる傾斜面であって、その勾配が
１×１０^-6〜５×１０^-5の範囲であり、そして、ＣＳＳ
領域に存在する最小突起の高さは、磁気ヘッドの浮上高
さよりも低く、ＣＳＳ領域に存在する最大突起の高さ
は、磁気ヘッドの浮上高さよりも高いことを特徴とす
る。

【００２８】本発明の磁気ディスクにおいては、通常、
磁気ヘッドの停止領域の外周に離着陸領域が配置され、
磁気ヘッドの離着陸領域の外周にデータ記録領域が配置
される。従って、データ記録領域を浮上して飛行した磁
気ヘッドは、離着陸領域を経由して停止領域に停止され
る。

【００２９】磁気ヘッドの離着陸領域の傾斜面は、磁気
ディスク中心からデータ記録領域に向かって直線的に低
くなっているのが理想的であるが、斯かる理想的な傾斜
面の形成は実際上容易ではない。そのため、上記の傾斜
面は、通常、同一周方向（同一トラック内）に存在する
突起の平均突起高さをデータ記録領域に向かって段階的
に低くすることにより形成される。

【００３０】従って、磁気ヘッドの離着陸領域の傾斜面
の勾配は、離着陸領域の半径方向の長さをＡとし、磁気
ヘッドの離着陸領域の最内周における突起の平均突起高
さをＢ、磁気ヘッドの離着陸領域の最外周おける突起の
平均突起高さをＣとした場合、（Ｂ−Ｃ）／Ａで表すこ
とが出来る。磁気ヘッドの離着陸領域の傾斜面の好まし
い勾配は、５×１０^-6〜２×１０^-5の範囲である。

【００３１】本発明の磁気ディスクにおいて、磁気ヘッ
ドの停止領域は、複数の突起にて形成され且つ磁気ヘッ
ドの離着陸領域の傾斜面と同一方向で同一勾配を備えた
連続する傾斜面か、または、複数の突起にて形成された
水平面であるのが好ましい。

【００３２】本発明の磁気ディスクにおいて、ＣＳＳ領
域の同一周方向（同一トラック内）に存在する突起の平
均突起高さは１〜６０ｎｍ、ＣＳＳ領域の突起密度（個
／ｍｍ² ）は１０〜１０⁸ 、各突起の頂点から１ｎｍ下
の高さにおける等高線で囲まれた図形の面積（以下「等
高線面積」と言う）の平均値は１μｍ² 以下であること
が好ましい。

【００３３】上記の平均突起高さが６０ｎｍを超える場
合は、ＣＳＳ特性は良いが磁気ヘッドの安定浮上高さを
下げられない。逆に、平均突起高さが１ｎｍ未満の場合
は、当該突起が基板固有の細かな凹凸に埋もれてしまい
所望の効果が得られない。また、上記の突起密度が１０
（個／ｍｍ² ）未満の場合は、基板のうねり等により磁
気ヘッド下面を突起のみで支えるのが困難である。逆
に、突起密度が１０⁸ を超える場合は、突起高さを揃え
るのが困難となる。等高線面積が１μｍ² を超える場合
は、磁気ヘッドとの間においてスティッキングが発生し
易くなり、ＣＳＳ特性が低下する傾向にある。

【００３４】本発明の磁気ディスクにおいて、ＣＳＳ領
域の複数の突起は、エネルギービームの走査により形成
され、突起の中心を通り且つエネルギービームの走査方
向を含む垂直断面形状が突起底部の片側部分に凹部を有
することが好ましい。また、磁気ディスク上の半径方向
の任意の幅５０μｍの領域に存在する突起の高さの標準
偏差値をσとした際の２σの値は１５％以内であること
が好ましい。すなわち、磁気ディスク表面の突起の高さ
は、ばらつきの少ないことが好ましく、上記の２σの好
ましい範囲は１０％以内である。

【００３５】本発明の磁気ディスクにおいて、磁気ヘッ
ドの離着陸領域の突起密度は、磁気ヘッド停止領域にお
ける突起密度に較べて高くなっているのが好ましい。斯
かる磁気ディスクによれば、ＣＳＳ時の突起部分の摩耗
を少なくすることが出来る。通常、データ記録領域との
境界部から半径方向に幅１ｍｍの領域の任意の地点の突
起密度がＣＳＳ領域最内周から半径方向に幅１ｍｍの領
域の任意の地点の突起密度に対して１〜１００、好まし
くは２〜２０、更に好ましくは２〜１０の範囲とされ
る。

【００３６】本発明の磁気ディスクによれば、磁気記録
装置の停止時、磁気ヘッドは、ＣＳＳ領域のスティッキ
ングが小さく且つ突起高さが高い部分に置かれる。そし
て、ドライブが起動されると、磁気ディスクの回転に伴
い、磁気ヘッドはＣＳＳ領域の突起高さが低い部分に移
動する。この部分は、磁気ヘッドが磁気ディスク表面で
停止するとスティックするが、摺動状態での摩擦力は十
分小さく設計されており、また、突起密度が高いため、
耐摩耗性に優れている。磁気ディスクの回転数が規定の
高速回転に達すると、磁気ヘッドは完全に磁気ディスク
から離れ、データ記録領域を自由に動くことが出来る様
になる。

【００３７】次に、本発明の記録再生方法について説明
する。本発明の記録再生方法は、磁気ヘッドによる磁気
ディスクに対するデータの読み出し及び／又は書き込み
をコンタクトスタートアンドストップ（ＣＳＳ）方式に
よって行う記録再生方法において、磁気ヘッドの停止領
域と離着陸領域（ランディング領域）から成るＣＳＳ領
域に複数の突起を有し、上記の離着陸領域は、複数の突
起にて形成され且つ磁気ディスク中心からデータ記録領
域に向かって低くなる傾斜面であって、その勾配が１×
１０^-6〜５×１０^-5の範囲である磁気ディスクを使用
し、そして、当該突起の最大突起高さよりも低い高さで
磁気ヘッドを飛行させて記録再生を行うことを特徴とす
る。そして、前述した本発明の磁気ディスクが好適に使
用される。

【００３８】通常、ＣＳＳ領域における磁気ヘッドの停
止領域の高さ（Ｈｓ）は、データ記録領域における磁気
ヘッドの飛行高さ（Ｈｆ）に対して１〜１００、好まし
くは１〜５０、更に好ましくは１〜１０の範囲とされ
る。なお、Ｈｓ及びＨｆの値は、標準高さを有する標準
バンプディスクを使用したグライドテスターによる測定
で求めることが出来る。

【００３９】そして、前述の通り、本発明においては、
磁気ヘッドがシークしながらＣＳＳを行う様にするのが
好ましい。すなわち、磁気ヘッドがＣＳＳを行う際は、
磁気ヘッドがシークしながら突起の傾斜部分で離着陸す
る様にする。具体的には、磁気ディスクの停止時には、
低速化に伴って突起高さの高い部分に磁気ヘッドがシー
クしながら移動し、磁気ヘッドの最終的な静止位置で磁
気ディスクの回転を停止する様にする。

【００４０】磁気記録装置の駆動時において、データ記
録領域で磁気ヘッドのシークが行われていないときは、
電源異常などの緊急時に備え、磁気ヘッドは、突起高さ
が低いＣＳＳ領域で待機することが好ましい。従って、
突起高さが低いＣＳＳ領域はデータ記録領域とほぼ同等
のグライド高さを有することが好ましい。そして、駆動
している磁気記録装置が停止するときは、磁気ヘッド
は、先ず、ＣＳＳ領域の突起高さが順次高くなっている
傾斜部分にシークしながら着陸し、次に、磁気ディスク
の回転数の低下に伴い、突起高さの高い部分に移動す
る。

【００４１】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施
例に限定されるものではない。

【００４２】実施例１及び比較例１〜２ Ｎｉ−Ｐ下地層が被覆された直径９０ｍｍのＡＬ基板に
周方向の機械的テキスチャによるポリッシュ加工を施
し、データ記録領域およびＣＳＳ領域での表面粗さ（Ｒ
ａ）を１ｎｍ以下にした。

【００４３】次に、表１〜３に記載の強度に精度良く制
御されたアルゴンパルスレーザ（４８８ｎｍ）をＮｉ−
Ｐ層のＣＳＳ領域に照射し、順次、データ記録領域に向
かって高さが減少する様に突起を形成した。また、磁気
ヘッドの飛行高さに相当するＣＳＳ領域での突起高さの
部分での突起密度を高くした。表１〜３に照射条件およ
び各半径での突起高さを示す。表中の対物レンズの開口
率（ＮＡ）を示す。エネルギーの８４％が集中するスポ
ット径は、１．２２×λ／ＮＡで表される。また、突起
断面積は、突起先端から１ｎｍ低い部分の断面積を表
す。

【００４４】次いで、スパッタ法により、上記基板上
に、順次、Ｃｒ中間層（１００ｎｍ）、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔ
ａ合金磁性膜（５０ｎｍ）及びカーボン保護膜を（２０
ｎｍ）を形成し、その後、浸漬法によりフッ素系液体潤
滑剤（モンテエジソン社製「ＤＯＬ−２０００」）を２
ｎｍの厚さで塗布し、磁気ディスクを作製した。

【００４５】上記の磁気ディスクについて、ＣＳＳテス
ト前の静止摩擦係数（初期スティクション）及びＣＳＳ
２万回後の摩擦力を測定し、その結果を表４に示す。Ｃ
ＳＳテストは、ロードグラム６ｇｆの薄膜ヘッド（スラ
イダ材質Ａｌ₂ Ｏ₃ ＴｉＣ）を使用し、ヘッド浮上量
０．８μインチの条件で測定した。また、磁気ヘッドの
浮上安定高さ（グライドハイト）は、データ記録領域に
おいて、グライドテスターを使用して評価した。ＣＳＳ
領域でのグライドハイトは、比較例１の磁気ディスクが
１．５μインチ、比較例２の磁気ディスクが約０．７μ
インチであった。

【００４６】表１〜３に磁気ディスクの特性値を示し、
表４にＣＳＳテストの結果を示す。なお、表１中の
（ｒ）は、磁気ディスクの中心からの距離を表し、ｒ：
１８〜２１ｍｍはＣＳＳ領域（３ｍｍ）である。表１中
の標準偏差値（２σ）は、標準偏差値をσとした際の２
σの値（％）を表す。また、表１〜３中の突起密度
（１）は、データ記録領域との境界部から１ｍｍの領域
の任意の地点の突起密度、突起密度（２）は、ＣＳＳ領
域最内周から半径方向に幅１ｍｍの領域の任意の地点の
突起密度を表す。

【００４７】

【表１】 ──────────────────────────────────── 実施例１ r=21〜20mm r=20 〜19mm r=19 〜18mm 基板線速度(mm/sec) 1714 1714 1714 レーザ強度(mw) 220 220 220 平均照射時間( μsec) 0.32〜0.64 0.64〜0.96 0.96〜1.28 突起密度(1) （個／mm²) 18520 9260 9260 平均突起高さ(nm) 6〜15 15〜25 25〜35 突起断面積( μm²） 0.48〜0.39 0.39〜0.23 0.23〜0.10 対物レンズ開口率 0.6 0.6 0.6 標準偏差値（２σ）(%) 9.5 10 6.7 ────────────────────────────────────

【００４８】

【表２】 ─────────────────────────────── 実施例１ Ｈｓ（μインチ） 1.5 CSS 領域全体勾配 9.7×10^-6 Ｈｆ（μインチ） 0.8 突起密度(2) （個／mm²) 9260 突起密度(1)/(2) 2 ───────────────────────────────

【００４９】

【表３】 ─────────────────────────────── 比 較 例 １ ２ 基板線速度(mm/sec) 1714 1714 レーザ強度(mw) 220 220 平均照射時間( μsec) 1.28 0.32 突起密度(1) （個／mm²) 9260 9260 平均突起高さ(nm) 35 6 突起断面積( μm²） 0.10 0.48 対物レンズ開口率 0.6 0.6 Ｈｓ（μインチ） − − CSS 領域全体勾配 0 0 CSS 領域（最大／境界）勾配 0 0 Ｈｆ（μインチ） 1.5 0.7 突起密度(2) （個／mm²) 9260 9260 突起密度(1)/(2) 1 1 ───────────────────────────────

【００５０】

【表４】 ──────────────────────────────────── 実施例１ 比較例１ 比較例２ 初期スティクション（摩擦係数） 0.15 0.14 5.19 ＣＳＳ２万回後の摩擦力（gf） 3 (注1) (注2) ──────────────────────────────────── （注１）：ヘッドクラッシュ （注２）：吸着によりドライブ停止（４００回）

【００５１】実施例１においては、磁気ヘッドがシーク
しながらＣＳＳを行なうため、磁気ヘッド底面は、半径
２１〜２０ｍｍ、突起高さ６〜１５ｎｍの部分で突起の
斜面に接触してそのまま突起高さの高い部分に移動す
る。最初の着陸部分は、突起密度が高いため、磁気ヘッ
ドが高速で摺動しても十分な耐摩耗性を有し、また、突
起高さの勾配が十分小さいため、最初の磁気ヘッドの接
触時においても磁気ヘッドクラッシュを起こすことがな
い。

【００５２】実施例１のスティックション及び２万回後
の摩擦力は、半径１９〜１８ｍｍの最終的な磁気ヘッド
停止位置における値であり、ＣＳＳ領域における磁気ヘ
ッドのシーク速度は、半径方向に対し１ｍｍ／ｓｅｃ．
とした。これに対し、比較例１におけるＣＳＳ領域は、
突起高さに勾配がなく、しかも、突起高さも磁気ヘッド
のデータ記録領域における飛行高さよりも高いため、数
回のＣＳＳの後にヘッドクラッシュを起こした。また、
比較例２におけるＣＳＳ領域は、磁気ヘッドのシーク時
にヘッドクラッシュを起こさなかったが、突起高さが低
いためにＣＳＳを繰り返す間に、または、磁気ヘッドの
停止時に、スティッキングを起こし、磁気ヘッドが動か
なくなった。

【００５３】

【発明の効果】本発明の磁気ディスクによれば、磁気ヘ
ッドの離着陸領域が複数の突起にて形成され且つ磁気デ
ィスク中心からデータ記録領域に向かって低くなる小さ
な勾配の傾斜面であるため、磁気ヘッドがシークしなが
ら安定なＣＳＳを行なうことが出来る。

【００５４】また、本発明の記録再生方法によれば、磁
気ディスクの低速回転に伴って磁気ヘッドを動かし、磁
気ヘッドの最終的な静止位置が突起高さの高い部分であ
るため、磁気ヘッドの停止時にスティッキングを起こす
ことがない。従って、データ記録領域上をシークする際
の磁気ヘッドの浮上高さを極限まで低くすることが出
来、停止時には十分高い突起上に磁気ヘッドを置くこと
が出来るため、通常のＣＳＳと全く同じ方法を採用して
高密度の磁気記録装置を開発することが可能である。

【００５５】要するに、本発明によれば、良好なＣＳＳ
特性を保ちながら磁気ヘッドの磁気ディスク表面へのス
ティッキング特性と磁気ヘッドのデータ記録領域におけ
る極低浮上化を同時に可能にする記録再生方法が提供さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レーザビーム照射装置の一例の基本的構成の説
明図である。

【図２】レーザテキスチャによって形成された実施例１
の突起の形状の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は突起の中心を通りレーザビームの走査方向を含む垂直
断面図である。

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コンタクトスタートアンドストップ（Ｃ
   ＳＳ）方式によって記録再生を行う磁気ディスクであっ
   て、磁気ヘッドの停止領域と離着陸領域（ランディング
   領域）から成るＣＳＳ領域に複数の突起を有し、上記の
   離着陸領域は、複数の突起にて形成され且つ磁気ディス
   ク中心からデータ記録領域に向かって低くなる傾斜面で
   あって、その勾配が１×１０^-6〜５×１０^-5の範囲であ
   り、そして、ＣＳＳ領域に存在する最小突起の高さは、
   磁気ヘッドの浮上高さよりも低く、ＣＳＳ領域に存在す
   る最大突起の高さは、磁気ヘッドの浮上高さよりも高い
   ことを特徴とする磁気ディスク。
2. 【請求項２】 磁気ヘッドの停止領域が複数の突起にて
   形成され且つ磁気ヘッドの離着陸領域の傾斜面と同一方
   向で同一勾配を備えた連続する傾斜面である請求項１に
   記載の磁気ディスク。
3. 【請求項３】 磁気ヘッドの停止領域が複数の突起にて
   形成された水平面である請求項１に記載の磁気ディス
   ク。
4. 【請求項４】 ＣＳＳ領域の同一周方向（同一トラック
   内）に存在する突起の平均突起高さが１〜６０ｎｍ、Ｃ
   ＳＳ領域の突起密度（個／ｍｍ² ）が１０〜１０⁸ 、各
   突起の頂点から１ｎｍ下の高さにおける等高線で囲まれ
   た図形の面積の平均値が１μｍ² 以下である請求項１に
   記載の磁気ディスク。
5. 【請求項５】 突起がエネルギービームの走査により形
   成され且つ突起の中心を通り且つエネルギービームの走
   査方向を含む垂直断面形状が突起底部の片側部分に凹部
   を有している請求項１に記載の磁気ディスク。
6. 【請求項６】 磁気ディスク上の半径方向の任意の幅５
   ０μｍの領域に存在する突起の高さの標準偏差値をσと
   した際の２σの値が１５％以内である請求項１に記載の
   磁気ディスク。
7. 【請求項７】 磁気ヘッドの離着陸領域の突起密度が磁
   気ヘッド停止領域における突起密度に較べて高くなって
   いる請求項１に記載の磁気ディスク。
8. 【請求項８】 ＣＳＳ領域におけるデータ記録領域との
   境界部から半径方向に幅１ｍｍの領域の任意の地点の突
   起密度が、ＣＳＳ領域最内周から半径方向に幅１ｍｍの
   領域の任意の地点の突起密度に対して１〜１００の範囲
   である請求項１に記載の磁気ディスク。
9. 【請求項９】 磁気ヘッドによる磁気ディスクに対する
   データの読み出し及び／又は書き込みをコンタクトスタ
   ートアンドストップ（ＣＳＳ）方式によって行う記録再
   生方法において、磁気ヘッドの停止領域と離着陸領域
   （ランディング領域）から成るＣＳＳ領域に複数の突起
   を有し、上記の離着陸領域は、複数の突起にて形成され
   且つ磁気ディスク中心からデータ記録領域に向かって低
   くなる傾斜面であって、その勾配が１×１０^-6〜５×１
   ０^-5の範囲である磁気ディスクを使用し、そして、当該
   突起の最大突起高さよりも低い高さで磁気ヘッドを飛行
   させて記録再生を行うことを特徴とする記録再生方法。
10. 【請求項１０】磁気ヘッドの停止領域が複数の突起にて
    形成され且つ磁気ヘッドの離着陸領域の傾斜面と同一方
    向で同一勾配を備えた連続する傾斜面である磁気ディス
    クを使用する請求項９に記載の記録再生方法。
11. 【請求項１１】磁気ヘッドの停止領域が複数の突起にて
    形成された水平面である磁気ディスクを使用する請求項
    ９に記載の記録再生方法。
12. 【請求項１２】ＣＳＳ領域の同一周方向（同一トラック
    内）に存在する突起の平均突起高さが１〜６０ｎｍ、Ｃ
    ＳＳ領域の突起密度（個／ｍｍ² ）が１０〜１０⁸ 、各
    突起の頂点から１ｎｍ下の高さにおける等高線で囲まれ
    た図形の面積の平均値が１μｍ² 以下である磁気ディス
    クを使用する請求項９に記載の記録再生方法。
13. 【請求項１３】突起がエネルギービームの走査により形
    成され且つ突起の中心を通り且つエネルギービームの走
    査方向を含む垂直断面形状が突起底部の片側部分に凹部
    を有している磁気ディスクを使用する請求項９に記載の
    記録再生方法。
14. 【請求項１４】磁気ディスク上の半径方向の任意の幅５
    ０μｍの領域に存在する突起の高さの標準偏差値をσと
    した際の２σの値が１５％以内である磁気ディスクを使
    用する請求項９に記載の記録再生方法。
15. 【請求項１５】磁気ヘッドの離着陸領域の突起密度が磁
    気ヘッド停止領域における突起密度に較べて高くなって
    いる磁気ディスクを使用する請求項９に記載の記録再生
    方法。
16. 【請求項１６】ＣＳＳ領域におけるデータ記録領域との
    境界部から半径方向に幅１ｍｍの領域の任意の地点の突
    起密度が、ＣＳＳ領域最内周から半径方向に幅１ｍｍの
    領域の任意の地点の突起密度に対して１〜１００の範囲
    である磁気ディスクを使用する請求項９に記載の記録再
    生方法。
17. 【請求項１７】ＣＳＳ領域における磁気ヘッドの停止領
    域の高さ（Ｈｓ）がデータ記録領域における磁気ヘッド
    の飛行高さ（Ｈｆ）に対して１〜１００の範囲である請
    求項９に記載の記録再生方法。
18. 【請求項１８】磁気ディスクの停止時は、低速化に伴
    い、突起高さの高い部分に磁気ヘッドがシークしながら
    移動し、そして、磁気ヘッドの最終的な静止位置で磁気
    ディスクの回転を停止する請求項９に記載の記録再生方
    法。