JPH09165691A - 低α線鉛の製造方法 - Google Patents
低α線鉛の製造方法Info
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- JPH09165691A JPH09165691A JP34699995A JP34699995A JPH09165691A JP H09165691 A JPH09165691 A JP H09165691A JP 34699995 A JP34699995 A JP 34699995A JP 34699995 A JP34699995 A JP 34699995A JP H09165691 A JPH09165691 A JP H09165691A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 α線量が従来品より格段に低い低α線量
鉛の製造方法の提供。 【解決手段】 硫化鉛を、α線量が１CHP/cm2 以下のア
ルミニウムおよびフラックスと共に非酸化性雰囲気下で
加熱溶融することにより硫化鉛を脱硫還元して得た粗鉛
をアノードとし、実質的に放射性同位元素を含有しない
スルファミン酸を電解液として電解精製することによ
り、４ナイン以上の品位を有し、放射性α粒子のカウン
ト数が０．０５CHP/cm2 以下の半導体材料用鉛を製造す
ることを特徴とする低α線鉛の製造方法。
鉛の製造方法の提供。 【解決手段】 硫化鉛を、α線量が１CHP/cm2 以下のア
ルミニウムおよびフラックスと共に非酸化性雰囲気下で
加熱溶融することにより硫化鉛を脱硫還元して得た粗鉛
をアノードとし、実質的に放射性同位元素を含有しない
スルファミン酸を電解液として電解精製することによ
り、４ナイン以上の品位を有し、放射性α粒子のカウン
ト数が０．０５CHP/cm2 以下の半導体材料用鉛を製造す
ることを特徴とする低α線鉛の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、従来品よりも放射
性α粒子のカウント数（α線量）が格段に低く、経時的
にの低いα線量を維持する半導体材料用鉛の製造方法に
関する。
性α粒子のカウント数（α線量）が格段に低く、経時的
にの低いα線量を維持する半導体材料用鉛の製造方法に
関する。
【０００２】
【従来技術】鉛は、ハンダの材料として電子機器の回路
の組立てに用いられるほかに、各種ＬＳＩのダイボンデ
ィングや装置部材接合用のろう材としてもその合金が多
用されている。またガラス成分としてパッケージの封止
材等にも用いられる。ところで、これらの電子機器で
は、半導体素子の高集積化に伴ない、ソフトエラーが問
題になっており、これは素子のパッケージ材などから放
出されるα線がその主な原因であることから、α線量が
極力少ない低α鉛が求められている。
の組立てに用いられるほかに、各種ＬＳＩのダイボンデ
ィングや装置部材接合用のろう材としてもその合金が多
用されている。またガラス成分としてパッケージの封止
材等にも用いられる。ところで、これらの電子機器で
は、半導体素子の高集積化に伴ない、ソフトエラーが問
題になっており、これは素子のパッケージ材などから放
出されるα線がその主な原因であることから、α線量が
極力少ない低α鉛が求められている。
【０００３】このようなα線量の少ない鉛を得る方法と
しては、スルファミン酸液を電解液として電解する方法
（特公昭62-47955号）や、鉛鉱石を重量分離してα線の
発生源となる母岩および脈石を除去し、酸素雰囲気下で
アルカリ還元する方法（特開平1-132725号）などが従来
知られている。
しては、スルファミン酸液を電解液として電解する方法
（特公昭62-47955号）や、鉛鉱石を重量分離してα線の
発生源となる母岩および脈石を除去し、酸素雰囲気下で
アルカリ還元する方法（特開平1-132725号）などが従来
知られている。
【０００４】
【発明の解決課題】ここで、前者の電解精製方法によれ
ばフッ化水素酸を電解浴とする通常の電解法よりは格段
にα線量が少ない金属鉛を得ることができるが、電解に
供する鉛地金のα線量に大きく影響される。電解に供す
る鉛地金のα線量が高ければ本電解方法による低α化に
も限界がある。また鉛地金は、従来、方鉛鉱を主体とす
る鉛鉱石を焙焼して酸化鉛に転化して溶融還元するか、
あるいは酸化と同時に空気還元して得られるが、これら
の製錬方法では粗鉛の収率が低く、α線量の少ない鉛を
低コストで得るのが難しい。
ばフッ化水素酸を電解浴とする通常の電解法よりは格段
にα線量が少ない金属鉛を得ることができるが、電解に
供する鉛地金のα線量に大きく影響される。電解に供す
る鉛地金のα線量が高ければ本電解方法による低α化に
も限界がある。また鉛地金は、従来、方鉛鉱を主体とす
る鉛鉱石を焙焼して酸化鉛に転化して溶融還元するか、
あるいは酸化と同時に空気還元して得られるが、これら
の製錬方法では粗鉛の収率が低く、α線量の少ない鉛を
低コストで得るのが難しい。
【０００５】後者の上記アルカリ還元法は、α線の発生
源となる母岩や脈石を重量分離処理によって除去し、さ
らに鉛鉱石として出来るだけ粗く分散したものを用いて
いるが、原料鉱石の産出場所によってα線量が大幅に異
なり、産出場所の影響が大きいため、安定な品位の保つ
のが難しい。また、選鉱後の製錬方法は一般的な上記還
元法に従っており、このため粗鉛の収率が低く製造コス
トが嵩む問題がある。さらに低α化にも限界があり、得
られる粗鉛のα線量は電解直後は約０．０１〜０．０５
CPH/cm2 程度であるが、１〜２年経過後には上記値の約
１０倍程度のα線量となる問題がある。
源となる母岩や脈石を重量分離処理によって除去し、さ
らに鉛鉱石として出来るだけ粗く分散したものを用いて
いるが、原料鉱石の産出場所によってα線量が大幅に異
なり、産出場所の影響が大きいため、安定な品位の保つ
のが難しい。また、選鉱後の製錬方法は一般的な上記還
元法に従っており、このため粗鉛の収率が低く製造コス
トが嵩む問題がある。さらに低α化にも限界があり、得
られる粗鉛のα線量は電解直後は約０．０１〜０．０５
CPH/cm2 程度であるが、１〜２年経過後には上記値の約
１０倍程度のα線量となる問題がある。
【０００６】本発明は、従来の低α鉛における上記問題
を解決したものであって、従来品に比べて格段にα線量
が低く、しかも経時的に低α線量を維持する半導体材料
用鉛を収率よく製造する方法を提供することを目的とす
る。
を解決したものであって、従来品に比べて格段にα線量
が低く、しかも経時的に低α線量を維持する半導体材料
用鉛を収率よく製造する方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題の解決手段】本発明によれば、請求項１、２に記
載される以下の半導体材料用低α線量鉛の製造方法が提
供される。 （１） 硫化鉛を、α線量が１CHP/cm2 以下のアルミニ
ウムおよびフラックスと共に非酸化性雰囲気下で加熱溶
融することにより硫化鉛を脱硫還元して得た粗鉛をアノ
ードとし、実質的に放射性同位元素を含有しないスルフ
ァミン酸を電解液として電解精製することにより、４ナ
イン以上の品位を有し、放射性α粒子のカウント数が
０．０５CHP/cm2 以下の半導体材料用鉛を製造すること
を特徴とする低α線鉛の製造方法。 （２） フラックスとしてα線量が１CHP/cm2 以下の塩
化ナトリウムを用い、電解液中の鉛濃度３０〜１５０ g
/l、スルファミン酸濃度３０〜１５０ g/l、カソード電
流密度０．５〜２．０Amp/dm2 で電解精製する請求項１
に記載の製造方法。
載される以下の半導体材料用低α線量鉛の製造方法が提
供される。 （１） 硫化鉛を、α線量が１CHP/cm2 以下のアルミニ
ウムおよびフラックスと共に非酸化性雰囲気下で加熱溶
融することにより硫化鉛を脱硫還元して得た粗鉛をアノ
ードとし、実質的に放射性同位元素を含有しないスルフ
ァミン酸を電解液として電解精製することにより、４ナ
イン以上の品位を有し、放射性α粒子のカウント数が
０．０５CHP/cm2 以下の半導体材料用鉛を製造すること
を特徴とする低α線鉛の製造方法。 （２） フラックスとしてα線量が１CHP/cm2 以下の塩
化ナトリウムを用い、電解液中の鉛濃度３０〜１５０ g
/l、スルファミン酸濃度３０〜１５０ g/l、カソード電
流密度０．５〜２．０Amp/dm2 で電解精製する請求項１
に記載の製造方法。
【０００８】
【発明の実施形態】以下に本発明を実施例と共に詳細に
説明する。（Ｉ）製錬工程 本発明の製造方法では、原料鉱石（硫化鉱）から鉛地金
を得る製錬工程において、従来の硫化鉛を焙焼して酸化
鉛に転じた後に還元する焙焼還元法、あるいは還元剤と
して炭酸ナトリウムを単独に用いる上記アルカリ還元剤
と異なり、硫化鉛をアルミニウムおよびフラックスと共
に加熱溶融し、酸化焙焼を行わず直接に還元脱硫して鉛
地金を得る。原料の硫化鉛（硫化鉛）は少量の銅や亜鉛
を含むものでも良い。
説明する。（Ｉ）製錬工程 本発明の製造方法では、原料鉱石（硫化鉱）から鉛地金
を得る製錬工程において、従来の硫化鉛を焙焼して酸化
鉛に転じた後に還元する焙焼還元法、あるいは還元剤と
して炭酸ナトリウムを単独に用いる上記アルカリ還元剤
と異なり、硫化鉛をアルミニウムおよびフラックスと共
に加熱溶融し、酸化焙焼を行わず直接に還元脱硫して鉛
地金を得る。原料の硫化鉛（硫化鉛）は少量の銅や亜鉛
を含むものでも良い。
【０００９】アルミニウムを用いて金属酸化物を高温還
元する方法は一般にテルミット法として知られている
が、本発明はこれを硫化鉛の脱硫に用いる。この方法を
利用することにより原料の硫化鉛をアルミニウムによっ
て直接還元し、収率よく金属鉛を回収することができ
る。低α線鉛を得るには、このアルミニウムもα線源が
少ないものを用いる必要があり、具体的にはα線量が１
CPH/cm2 以下のものが用いられる。なお、金、銀の分析
において、鉄粉によって酸化鉛を直接還元する方法（鉄
釘法）が知られているが、アルミニウムに代え、鉄粉を
用いて硫化鉛を還元脱硫する方法では１３００℃程度の
高温を必要とし、また粗鉛の回収歩留りが大幅に低い欠
点がある。
元する方法は一般にテルミット法として知られている
が、本発明はこれを硫化鉛の脱硫に用いる。この方法を
利用することにより原料の硫化鉛をアルミニウムによっ
て直接還元し、収率よく金属鉛を回収することができ
る。低α線鉛を得るには、このアルミニウムもα線源が
少ないものを用いる必要があり、具体的にはα線量が１
CPH/cm2 以下のものが用いられる。なお、金、銀の分析
において、鉄粉によって酸化鉛を直接還元する方法（鉄
釘法）が知られているが、アルミニウムに代え、鉄粉を
用いて硫化鉛を還元脱硫する方法では１３００℃程度の
高温を必要とし、また粗鉛の回収歩留りが大幅に低い欠
点がある。
【００１０】アルミニウムと共に用いるフラックスは、
脱硫によって生じる硫化アルミや鉱石中の不純物を吸収
してスラグを形成すると共にアルミニウムの添加による
テルミット反応において発生する過剰な反応熱を緩和す
るものであり、このフラックスとしてはホウ酸ナトリウ
ム（Na2 B4 O7 ）や塩化カルシウム（CaCl2 ）などを
用いることができる。なお、低融点であって、しかもα
線量の少ないものとしては市販品では塩化ナトリウムが
最適である。
脱硫によって生じる硫化アルミや鉱石中の不純物を吸収
してスラグを形成すると共にアルミニウムの添加による
テルミット反応において発生する過剰な反応熱を緩和す
るものであり、このフラックスとしてはホウ酸ナトリウ
ム（Na2 B4 O7 ）や塩化カルシウム（CaCl2 ）などを
用いることができる。なお、低融点であって、しかもα
線量の少ないものとしては市販品では塩化ナトリウムが
最適である。
【００１１】原料鉱石の硫化鉛にアルミニウムと共に塩
化ナトリウムを加え、非酸化性雰囲気下で加熱溶融する
と、次式に従い硫化鉛がアルミニウムにより脱硫還元さ
れて粗鉛が得られる。脱硫によって生成した硫化アルミ
は塩化ナトリウムに吸収されてスラグとなる。 PbS + NaCl + 2/3Al→ Pb + 1/3(Al2 S 3 ・2NaCl)
化ナトリウムを加え、非酸化性雰囲気下で加熱溶融する
と、次式に従い硫化鉛がアルミニウムにより脱硫還元さ
れて粗鉛が得られる。脱硫によって生成した硫化アルミ
は塩化ナトリウムに吸収されてスラグとなる。 PbS + NaCl + 2/3Al→ Pb + 1/3(Al2 S 3 ・2NaCl)
【００１２】各原料の量は概ね上記反応式の当量比より
やや過剰に用いるのが好ましい。具体的には、硫化鉛１
００重量部に対し、アルミニウム１０〜３０重量部およ
び塩化ナトリウム２０〜５０重量部を用いるのが適当で
ある。これらの原料を溶融炉ないしルツボに装入し、非
酸化性雰囲気下、７００〜１２００℃の温度範囲で加熱
溶融する。この反応により、溶融炉ないしルツボの底部
に鉛地金が溜り、その上に硫化ナトリウムのスラグが堆
積する。この硫化ナトリウムのスラグには原料硫化鉛中
の他の不純物元素や鉱石中のシリカ分も併せて吸収さ
れ、鉛地金から除去される。
やや過剰に用いるのが好ましい。具体的には、硫化鉛１
００重量部に対し、アルミニウム１０〜３０重量部およ
び塩化ナトリウム２０〜５０重量部を用いるのが適当で
ある。これらの原料を溶融炉ないしルツボに装入し、非
酸化性雰囲気下、７００〜１２００℃の温度範囲で加熱
溶融する。この反応により、溶融炉ないしルツボの底部
に鉛地金が溜り、その上に硫化ナトリウムのスラグが堆
積する。この硫化ナトリウムのスラグには原料硫化鉛中
の他の不純物元素や鉱石中のシリカ分も併せて吸収さ
れ、鉛地金から除去される。
【００１３】上記製錬方法における金属鉛の回収率は、
後述の実施例に示すように９０％以上であり、従来の製
錬法の回収率に比較して格段に高い回収率が達成され
る。また、上記製錬方法においては、低α線量のアルミ
ニウムおよび塩化ナトリウムを用いることにより、α線
量が０．０２CPH/cm2 以下の極めてα線量が低い鉛が得
られる。
後述の実施例に示すように９０％以上であり、従来の製
錬法の回収率に比較して格段に高い回収率が達成され
る。また、上記製錬方法においては、低α線量のアルミ
ニウムおよび塩化ナトリウムを用いることにより、α線
量が０．０２CPH/cm2 以下の極めてα線量が低い鉛が得
られる。
【００１４】（II）電解精製工程 上記製錬工程で得た低α線量の鉛地金を電解精製するこ
とにより、高品位の極低α線量の精製金属鉛を得る。電
解精製は、上記製錬工程で得た鉛地金をアノードとし、
実質的に放射性同位元素を含有しないスルファミン酸を
電解液として行う。液組成および電解条件は以下の範囲
が適当である。 電解液組成：鉛濃度３０〜１５０ g/l、スルファミン酸
濃度３０〜１５０ g/l、 液温：１５〜５０℃ カソード電流密度：０．５〜２．０Amp/dm2
とにより、高品位の極低α線量の精製金属鉛を得る。電
解精製は、上記製錬工程で得た鉛地金をアノードとし、
実質的に放射性同位元素を含有しないスルファミン酸を
電解液として行う。液組成および電解条件は以下の範囲
が適当である。 電解液組成：鉛濃度３０〜１５０ g/l、スルファミン酸
濃度３０〜１５０ g/l、 液温：１５〜５０℃ カソード電流密度：０．５〜２．０Amp/dm2
【００１５】電解液として、実質的に放射性同位元素を
含有しないスルファミン酸を用いるが、これは市販のス
ルファミン酸で良い。スルファミン酸に代えて一般の鉛
電解精製で常用される珪フッ酸を電解液に用いるのは好
ましくない。市販の珪フッ酸にはトリウムの含有量が高
いので精製鉛のα線量が粗鉛よりも高くなる。
含有しないスルファミン酸を用いるが、これは市販のス
ルファミン酸で良い。スルファミン酸に代えて一般の鉛
電解精製で常用される珪フッ酸を電解液に用いるのは好
ましくない。市販の珪フッ酸にはトリウムの含有量が高
いので精製鉛のα線量が粗鉛よりも高くなる。
【００１６】電解液中の鉛濃度は３０〜１５０g/l が適
当である。鉛濃度がこの範囲よりも低いと鉛以外の元素
も析出するのでこれが不純物となり品位が下がる。一
方、鉛濃度が上記範囲を越えると電解効率が低下する。
電解液中のスルファミン酸濃度は同様に３０〜１５０g/
l が適当である。これよりスルファミン酸濃度が低いと
鉛の溶解が円滑に進まず、また、この濃度が上記範囲を
上回るとスルファミンの析出を生じるので好ましくな
い。
当である。鉛濃度がこの範囲よりも低いと鉛以外の元素
も析出するのでこれが不純物となり品位が下がる。一
方、鉛濃度が上記範囲を越えると電解効率が低下する。
電解液中のスルファミン酸濃度は同様に３０〜１５０g/
l が適当である。これよりスルファミン酸濃度が低いと
鉛の溶解が円滑に進まず、また、この濃度が上記範囲を
上回るとスルファミンの析出を生じるので好ましくな
い。
【００１７】電解液の液温は１５〜５０℃が適当であ
る。１５未満では電解液の電気抵抗が大きくなるため電
解効率が低下し、５０℃を越えると電解液の蒸発による
損失が大きななる。カソードの電流密度は０．５〜２．
０Amp/dm2 が適当である。電流密度がこれよりも低いと
電解時間が長引き、また電流密度が上記範囲よりも高い
と鉛以外の元素が析出して不純物混入の原因となる。
る。１５未満では電解液の電気抵抗が大きくなるため電
解効率が低下し、５０℃を越えると電解液の蒸発による
損失が大きななる。カソードの電流密度は０．５〜２．
０Amp/dm2 が適当である。電流密度がこれよりも低いと
電解時間が長引き、また電流密度が上記範囲よりも高い
と鉛以外の元素が析出して不純物混入の原因となる。
【００１８】(III) 精製鉛のα線量、品位 上記製造方法によって得られる精製鉛は、４ナイン以上
の品位を有し、放射性α粒子のカウント数が０．０５CH
P/cm2 以下である。従来の製造方法によって得られる精
製鉛のα線量は０．１CHP/cm2 程度が限界であり、従っ
て上記製造方法によれば、α線量が従来品の１／２以下
であり、長期間この低いα線量を維持する極低α線量の
精製鉛が得られる。
の品位を有し、放射性α粒子のカウント数が０．０５CH
P/cm2 以下である。従来の製造方法によって得られる精
製鉛のα線量は０．１CHP/cm2 程度が限界であり、従っ
て上記製造方法によれば、α線量が従来品の１／２以下
であり、長期間この低いα線量を維持する極低α線量の
精製鉛が得られる。
【００１９】
【実施例および比較例】以下に本発明の実施例を比較例
と共に示す。実施例１ 表１に示す品位を有する原料鉛鉱石（方鉛鉱）５００ｇ
に塩化ナトリウム（純度97％、α線量 0.3CPH/cm2 ）１
５０ｇおよびアルミニウム粉（純度99％、α線量 0.1CP
H/cm2 ）７５ｇをグラファイトルツボにて混合し、ルツ
ボごと窒素雰囲気下の加熱炉内に装入し、２００℃に加
熱して水分および酸素を除いた後、さらに１０００℃で
２時間加熱して原料を溶融した。徐冷後、スラグとメタ
ル分を分離し、鉛地金を得た。アルカリ金属塩の種類お
よび添加量と共に粗鉛のα線量、品位および回収率を表
２に示した。この鉛地金を陽極とし、表２に示す電解液
組成および電解条件に従って鉛精製を行い精製金属鉛を
得た。この精製鉛の品位とα線量および収率を表２に併
せて示した。
と共に示す。実施例１ 表１に示す品位を有する原料鉛鉱石（方鉛鉱）５００ｇ
に塩化ナトリウム（純度97％、α線量 0.3CPH/cm2 ）１
５０ｇおよびアルミニウム粉（純度99％、α線量 0.1CP
H/cm2 ）７５ｇをグラファイトルツボにて混合し、ルツ
ボごと窒素雰囲気下の加熱炉内に装入し、２００℃に加
熱して水分および酸素を除いた後、さらに１０００℃で
２時間加熱して原料を溶融した。徐冷後、スラグとメタ
ル分を分離し、鉛地金を得た。アルカリ金属塩の種類お
よび添加量と共に粗鉛のα線量、品位および回収率を表
２に示した。この鉛地金を陽極とし、表２に示す電解液
組成および電解条件に従って鉛精製を行い精製金属鉛を
得た。この精製鉛の品位とα線量および収率を表２に併
せて示した。
【００２０】実施例２ 塩化ナトリウムに代えて炭酸ナトリウム（Na2 Co3 ：純
度98％）２００ｇを用いた他は実施例１と同様にして鉛
地金を得た。この鉛地金を陽極とし、表２に示す電解液
組成および電解条件に従って鉛精製を行い精製金属鉛を
得た。この結果を表２に間まとめて示した。
度98％）２００ｇを用いた他は実施例１と同様にして鉛
地金を得た。この鉛地金を陽極とし、表２に示す電解液
組成および電解条件に従って鉛精製を行い精製金属鉛を
得た。この結果を表２に間まとめて示した。
【００２１】比較例１（酸化脱硫） 実施例１のアルミニウムと塩化ナトリウムに代えて炭酸
ナトリウム２００ｇと塩化ナトリウム１００ｇを用い、
空気を吹き込みながら８００〜１０００℃の温度に６時
間加熱して鉛地金を得た。この鉛地金を陽極とし、表２
に示す電解液組成および電解条件に従って鉛精製を行い
精製金属鉛を得た。この結果を表２にまとめて示した。
ナトリウム２００ｇと塩化ナトリウム１００ｇを用い、
空気を吹き込みながら８００〜１０００℃の温度に６時
間加熱して鉛地金を得た。この鉛地金を陽極とし、表２
に示す電解液組成および電解条件に従って鉛精製を行い
精製金属鉛を得た。この結果を表２にまとめて示した。
【００２２】比較例２（鉄釘法） 還元剤として鉄粉加え、炭酸ナトリウムおよびホウ酸ナ
トリウムと共に原料の硫化鉛を用いた他は実施例１と同
一条件で原料を加熱溶融し粗鉛を得た。この鉛地金を陽
極とし、表２に示す電解液組成および電解条件に従って
鉛精製を行い精製金属鉛を得た。この結果を表２にまと
めて示した。
トリウムと共に原料の硫化鉛を用いた他は実施例１と同
一条件で原料を加熱溶融し粗鉛を得た。この鉛地金を陽
極とし、表２に示す電解液組成および電解条件に従って
鉛精製を行い精製金属鉛を得た。この結果を表２にまと
めて示した。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】表２の結果に示すように、本実施例の精製
鉛のα線量は電解直後０．００５〜０．０１CHP/cm2 で
あり、これは２年経過後にはやや高くなるが０．０３〜
０．０５程度である。一方、比較例の精製鉛のα線量
は、電解直後は０．０３〜０．０５CHP/cm2 であるが、
２年経過後には０．１〜０．１５CHP/cm2 となり、本発
明の約２倍以上である。
鉛のα線量は電解直後０．００５〜０．０１CHP/cm2 で
あり、これは２年経過後にはやや高くなるが０．０３〜
０．０５程度である。一方、比較例の精製鉛のα線量
は、電解直後は０．０３〜０．０５CHP/cm2 であるが、
２年経過後には０．１〜０．１５CHP/cm2 となり、本発
明の約２倍以上である。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、従来は製造困難であっ
たα線量が０．０５CHP/cm2 以下の精製鉛を高収率で得
ることができる。本発明によって得られる精製鉛は高品
位であり、かつα線量が極めて低く、長期間この低いα
線量を維持するので半導体材料用として最適であり、半
導体機器におけるメモリーのソフトエラーの防止に有利
である。
たα線量が０．０５CHP/cm2 以下の精製鉛を高収率で得
ることができる。本発明によって得られる精製鉛は高品
位であり、かつα線量が極めて低く、長期間この低いα
線量を維持するので半導体材料用として最適であり、半
導体機器におけるメモリーのソフトエラーの防止に有利
である。
Claims (2)
- 【請求項１】 硫化鉛を、α線量が１CHP/cm2 以下のア
ルミニウムおよびフラックスと共に非酸化性雰囲気下で
加熱溶融することにより硫化鉛を脱硫還元して得た粗鉛
をアノードとし、実質的に放射性同位元素を含有しない
スルファミン酸を電解液として電解精製することによ
り、４ナイン以上の品位を有し、放射性α粒子のカウン
ト数が０．０５CHP/cm2 以下の半導体材料用鉛を製造す
ることを特徴とする低α線鉛の製造方法。 - 【請求項２】 フラックスとしてα線量が１CHP/cm2 以
下の塩化ナトリウムを用い、電解液中の鉛濃度３０〜１
５０ g/l、スルファミン酸濃度３０〜１５０g/l、カソ
ード電流密度０．５〜２．０Amp/dm2 で電解精製する請
求項１に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34699995A JP2998623B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 低α線鉛の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34699995A JP2998623B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 低α線鉛の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09165691A true JPH09165691A (ja) | 1997-06-24 |
| JP2998623B2 JP2998623B2 (ja) | 2000-01-11 |
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Family Applications (1)
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| JP34699995A Expired - Lifetime JP2998623B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 低α線鉛の製造方法 |
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| JP (1) | JP2998623B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010222627A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | 鉛の電解方法 |
| JP2010248608A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-11-04 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 鉛の電解方法（１） |
-
1995
- 1995-12-14 JP JP34699995A patent/JP2998623B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010222627A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | 鉛の電解方法 |
| JP2010248608A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-11-04 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 鉛の電解方法（１） |
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