JPH09164495A - レーザ加工ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ加工の際に発生するスパッタ等による
レーザ加工ヘッドの光学系の汚染を防止し、加工の信頼
性・作業能率を向上させるレーザ加工ヘッドを得るこ
と。 【解決手段】 レーザ加工ヘッドにおいて、加工ノズル
１１内部のレーザ光１２の光軸方向に沿って集光レンズ
１３から加工ノズル先端部の穴１８までの間の空間へレ
ーザ光１２の光軸とほぼ直交する方向に超音速ガス１６
を吹き出す超音速ガスノズル３０と、超音速ガス１６を
空間外へ排出するための排出口２１とを備えたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工ヘッド
に関し、特にレーザ加工時に発生するスパッタ、ヒュー
ム等によるレーザ加工ヘッドの光学系の汚染を防止する
ように工夫したものである。

【０００２】

【従来の技術】図１４は、例えば特開平５−１８５２６
６号公報に示された従来の炭酸ガスレーザ加工機の加工
ヘッドを示す概略図である。図に示すように、加工ノズ
ル１１の内部にはレーザ光１２を集光する集光光学系と
しての集光レンズ１３が配設されており、該集光レンズ
１３により被加工物１４にレーザ光１２を集光し、例え
ば溶接などのレーザ加工を行っている。また、レーザ加
工の際、溶接部１９の酸化防止のために、レーザ加工部
の近傍にシールドガス１５ａを導入するシールドボック
ス１５を用いて覆っている。よってノズル１１の先端は
該シールドボックス１５と接続されており、密閉性を保
っている。

【０００３】上述した構成に於いて、集光されたレーザ
光１２は、ノズル１１内を通過し、被加工物１４に照射
され、同時に所定速度で加工ヘッド全体に対して被加工
物１４を図中Ｒ方向へ移動させることにより、溶接部１
９が形成される。

【０００４】ところでレーザ加工時には、ヒューム、ス
パッタ等が発生し、集光レンズ１３等の光学系に付着し
て光学系を汚染する。このため、従来に於いてはシール
ドボックス１５の直上で上記ノズル１１内に、レーザ光
１２の光軸と直交または略直交する方向に穴径が一定の
ガス吹き出しノズル（ストレートノズル）２０及び相対
する位置に排出口２１を設け、ガス流１６を形成し、加
工点から上方に飛び出してきたスパッタ１７の進行方向
をガス流１６によって変化させる提案がなされてきた。
ところが穴径が一定のガス吹き出しノズル（ストレート
ノズル）は、図１５に示す例のようにガス流は、吹き出
し口近傍から離れるに従って圧力が急激に低下する。

【０００５】このため、このガス流は金属酸化物などの
微粒子であるヒュームの侵入を防ぐことは可能である
が、微細溶融金属で且つ上方へ向かっての大きな運動量
を有するスパッタについてはガス吹き出しノズルから離
れる程防御作用を果たさず、汚染が進行している。

【０００６】炭酸ガスレーザでは、集光レンズは汚染が
著しくなるとレーザ光１２の透過率が低下し、汚れ自体
がレーザ光で加熱され、このため生ずる熱変形により集
光性能等の光学特性が劣化し、その結果、良好な加工が
できなくなり、ついには集光レンズが破壊し加工不可能
になる。

【０００７】ＹＡＧレーザでは、光学材料として石英等
のガラスを使用できるので集光レンズ前面に透明な保護
ガラスを設けることが行われている。保護ガラスにより
集光レンズは保護されるが、今度は保護ガラス自体が汚
染され、汚染が著しくなるとレーザ光１２の透過率が低
下し、光学特性が劣化し、その結果、良好な加工ができ
なくなり、さらには汚れ自体がレーザ光で加熱され、こ
のために生ずる熱変形で保護ガラスが破壊し加工不可能
になる。

【０００８】さらに図１４に示すノズル１１内に、レー
ザ光１２の光軸と直交または略直交する方向に穴径が一
定のガス吹き出しノズル（ストレートノズル）２０を設
ける構造では、ノズル１１先端の透過穴１８から被加工
物１４へのスパッタ排出ガスの流出はなく、逆に被加工
物表面が負圧になるため、溶接部１９の酸化を防ぐため
にはシールドボックス１５を設けシールドガスとして非
酸化性ガス（例えば不活性ガス、窒素、炭酸ガス等）を
別系統で導入する必要がある。

【０００９】またスパッタは集光レンズや保護ガラスを
汚染するばかりではなく被加工物上にも付着する。装飾
部品や電子部品などではスパッタ付着により製品価値や
機能が低下する。このためレーザ加工条件の最適化を図
るなどの施工面の改善が行われているが、発生を多少抑
えることは可能なものの、皆無に近い状態にまでするこ
とは不可能である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工ヘッ
ドは、吹き出し口近傍から距離が離れると圧力が低下す
るガス吹き付け手段で構成されている。通常、ノズル１
１の内径は２０ｍｍ程度あるので、この部分へ飛散侵入
するスパッタをすべて吹き飛ばし、除去することができ
ない。すなわち、ガス吹き出しノズルから離れる程吹き
出したガス流１６の圧力低下のためスパッタ１７が吹き
飛ばされにくくなり、集光レンズ１３が汚染され、良好
な加工ができなくなるので定期的に集光レンズ１３の交
換の必要があった。加工に悪影響を及ぼす汚染のしきい
値が明確でないためレーザ加工の信頼性を保つため交換
頻度が高くなり、レーザ加工に占める多大なコスト上昇
をもたらしたり、装置が生産ラインに導入されている場
合には稼働率の低下をもたらしている。

【００１１】また従来のレーザ加工ヘッドは、被加工物
１４の表面が負圧になるため、溶接部１９の酸化を防ぐ
ためにはシールドボックス１５を設けシールドガス１５
ａとして非酸化性ガス（例えば不活性ガス、窒素、炭酸
ガス等）を別系統で導入し、溶接部１９を密閉する必要
がある。このため被加工範囲が広く必要になり、狭い部
分の加工ができないという問題点があった。

【００１２】さらに従来のレーザ加工では、被加工物上
のスパッタは、レーザ加工条件の最適化を図るなどの施
工面の改善により発生が低減されているものの、スパッ
タの付着・残留を嫌う装飾部品や電子部品などへの適用
を制限しているという問題点があった。

【００１３】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、レーザ加工の際に発生するスパ
ッタ、ヒューム等によるレーザ加工ヘッドの光学系の汚
染を防止し、加工の信頼性・作業能率を向上させるこ
と、加工領域が大幅に制限されない加工ヘッドを得るこ
と、さらに被加工物にスパッタが付着・残留しないレー
ザ加工ヘッドを得ることを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工ヘッドは、加工ノズル内部のレーザ光の光軸方向に沿
って集光レンズ部から加工ノズル先端部までの間の空間
へ上記レーザ光の光軸とほぼ直交する方向に超音速ガス
を吹き出す超音速ガスノズルと、上記超音速ガスを上記
空間外へ排出するための排出口とを備えたものである。

【００１５】また、超音速ガスノズルを複数個備えたも
のである。

【００１６】また、複数個の超音速ガスノズルを、加工
ノズル内部でのスパッタの飛散状態に応じて配置するよ
うにしたものである。

【００１７】また、超音速ガスとしてシールドガスを吹
き出すようにしたものである。

【００１８】また、加工ノズル内部のレーザ光の光軸方
向に沿って集光レンズ部から加工ノズル先端部までの間
の空間へ上記レーザ光の光軸とほぼ直交する方向にシー
ルドガスを吹き出す補助ガス導入口と、上記シールドガ
スを上記空間外へ排出するための補助ガス排出口とを備
えたものである。

【００１９】さらに、加工ノズル先端部の形状を、被加
工物の対面側が広がった漏斗形状としたものである。

【００２０】また、加工ノズル先端部の漏斗形状部の先
端及び内面を耐熱樹脂により被覆したものである。

【００２１】また、加工ノズル先端部の漏斗形状部の外
周に、複数のノズルが設けられた先端シールドガスノズ
ル部材を備えたものである。

【００２２】また、先端シールドガスノズル部材に設け
られた複数のノズルは、複数のノズル群が同心円状に配
置されたものである。

【００２３】さらに、先端シールドガスノズル部材の最
外周のノズル群は、加工点から離れる方向に傾いた超音
速ガスノズルにより構成されたものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】

発明の実施の形態１．図１は、この発明の第１の実施の
形態を示すレーザ加工ヘッドの構成図である。図に於い
て１１〜１９、２１は図１４に示した従来例と同一また
は相当部分を示しており、その説明は省略する。ただ
し、従来例はレーザ光に炭酸ガスレーザを用いている
が、本実施の形態及び以下に示す実施の形態はすべてＹ
ＡＧレーザを用いたもので、前述したように保護ガラス
３１を使用している。レーザ光の違いにより光学材料の
種類が異なるが機能は同じである。そして、集光レンズ
部として、以下の実施の形態においては、集光レンズ１
３単体、または集光レンズ１３と保護ガラス３１との組
み合わせのものを指すものとする。

【００２５】超音速ガスノズル３０は、ガス吹き出し部
２２先端に設置してある。超音速ガスノズル３０の拡大
図を図２に示す。この実施の形態においては、複数個の
超音速ガスノズル３０を、加工ノズル内部でのスパッタ
の飛散状態に応じて配置する一例として図２のように、
複数の超音速ガスノズル３０を千鳥状に設け、図中、上
方向ほど数が多くなるように構成されている。個々の穴
は同図断面図のように途中が細くくびれ、吹き出し口が
広がっている。個々の穴の超音速ノズルのノズル出口か
らの距離に対する吹き出しガス圧力の一例を図３に示
す。同図に示されるように、ノズル出口から離れても吹
き出し圧力は一定である。

【００２６】次に上記構成のレーザ加工ヘッドを用いて
被加工物１４を溶接する場合の動作を説明する。集光さ
れたレーザ光１２は保護ガラス３１、ノズル先端穴１８
を通過して被加工物１４に照射され、同時に所定速度で
被加工物１４を図中Ｒ方向へ移動することにより、溶接
部１９を形成する。この際、溶接部１９からはスパッタ
１７が上方に飛散する。このうちノズル先端穴１８を通
過して、加工ノズル１１内に侵入したものは、保護ガラ
ス３１と被加工物１４との間に設けられた超音速ガスノ
ズル３０からの超音速ガス流１６により、その方向をガ
ス流方向に変化させられる。そして排出口２１からノズ
ル１１外へ排出される。よって、保護ガラス３１へのス
パッタ付着を防ぐことができる。また超音速ガスノズル
３０は、溶接部１９から放射状に飛散するスパッタ１７
に対応して穴の数を増加させているので、スパッタ１７
の吹き飛ばし・除去に最適な超音速ガス流１６を形成し
ている。尚、千鳥状に複数の穴を隣接して設けているの
で、隙間のない超音速ガス流１６である。

【００２７】このとき効果的なスパッタ除去を行なうに
はガス流は音速以上の超音速が必要である。一例として
図１に示すレーザ加工ヘッドを用いて下記条件にてビー
ドオンプレート溶接を行い保護ガラス３１のスパッタ付
着状況を試験した。尚、比較として同一加工条件下で従
来例であるストレートノズルでも実施した。 加工条件 レーザ光：ＹＡＧレーザ、平均出力：１６５Ｗ、ピーク
出力：１．３ｋＷ 周波数：２５Ｈｚ、パルス幅：５ｍｓｅｃ．、速度：１
００ｍｍ／分、被加工物：ステンレス鋼、スパッタ排除
ガス：空気（８ｋｇ／ｃｍ² 絶対圧力）、シールドガ
ス：アルゴン（２ｋｇ／ｃｍ² 絶対圧力）、ガス吹き出
しノズル：内径１５ｍｍ（超音速ノズルあり、なし） 溶接長さ１００ｍｍ溶接した後の保護ガラスを示したの
が図４（保護ガラス汚染比較模式図）である。同じ圧力
の空気をガス吹き出しノズルに導入しても、従来例のよ
うなストレートノズルではガス吹き出し口から離れた部
分にスパッタが付着している。これに対して本実施の形
態（超音速ノズル）ではスパッタの付着は認められな
い。

【００２８】発明の実施の形態２．図５は、この発明の
第２の実施の形態を示すレーザ加工ヘッドの構成図、図
６は、図５のＡ−Ａ断面図、図７は、補助ガスの動作説
明図である。この実施の形態は、実施の形態１と異な
り、シールドボックス１５を除去し、レーザ光１２に直
交し、且つ超音速ガス流１６にも直交・衝突する位置に
補助ガス流４１を流すようにしたものである。４０は補
助ガスを流入する補助ガス導入口であり、超音速ガス流
１６の両側に設置してある。

【００２９】次に上記構成のレーザ加工ヘッドの補助ガ
ス流４１の動作について図５〜図７に基いて説明する。
ノズル１１内に導入され、超音速ガス流１６に衝突した
補助ガス流４１は、超音速ガス流１６に引っ張られて排
出口２１に流れながら拡散する。超音速ガス流１６の周
囲を流れながら排出口２１に到達した補助ガス流４１
は、大半排出口２１からノズル１１外部に流出するが、
一部はノズル１１内壁に衝突・方向変化し、ノズル先端
穴１８から流出する。進行方向を変化しているため速度
は低下している。このノズル先端穴１８から流出する速
度は補助ガスと超音速ガスとの導入圧力によって変化さ
せることができる。超音速ガス及び補助ガスに非酸化性
のガスを用いることにより溶接部１９をシールドでき、
溶接部１９の酸化を防ぐことができる。尚、スパッタ吹
き飛ばし作用も実施の形態１と同様である。

【００３０】発明の実施の形態３．図８は、この発明の
第３の実施の形態を示すレーザ加工ヘッドの構成図、図
９は、図８のＢ−Ｂ断面図、図１０は、補助ガスの動作
説明図である。この実施の形態は、実施の形態１と異な
り、シールドボックス１５を除去し、レーザ光１２に直
交し、且つ超音速ガス流１６と同一方向で超音速ガス流
１６の周囲の位置に補助ガス流４１を流すようにしたも
のである。４０は補助ガスを流入する補助ガス導入口で
あり、超音速ガスノズル３０の周囲に設置してある。

【００３１】次に上記構成のレーザ加工ヘッドの補助ガ
ス流の動作について図８〜図１０に基いて説明する。ノ
ズル１１内に導入され、超音速ガス流１６に衝突した補
助ガス流４１は、超音速ガス流１６に引っ張られて排出
口２１に流れながら拡散する。超音速ガス流１６の周囲
を流れながら排出口２１に到達した補助ガス流４１は、
その大半は排出口２１からノズル１１外部に流出する
が、一部はノズル１１内壁に衝突・方向変化し、ノズル
先端穴１８から流出する。進行方向を変化しているため
速度は低下している。このノズル先端穴１８から流出す
る速度は補助ガスと超音速ガスとの導入圧力によって変
化させることができる。超音速ガス及び補助ガスに非酸
化性のガスを用いることにより溶接部１９をシールドで
き、溶接部１９の酸化を防ぐことができる。尚、スパッ
タ吹き飛ばし作用も実施の形態１及び２と同様である。

【００３２】発明の実施の形態４．図１１は、この発明
の第４の実施の形態を示すレーザ加工ヘッドの構成図、
図１２は、図１１に示すシールドガスノズル及びノズル
先端穴の断面拡大図である。図１１に於いて、３０は超
音速ガスノズル、２１は超音速ガス流の排出口である。
２８は先端が広がり漏斗形状（ラッパ形状）となったノ
ズル先端穴、５０は透過口の周囲に設置された先端シー
ルドガスノズル部材で、二重の同心円状に設けられた複
数のガスノズル（ガス吹き出し穴）で構成されている。
図１２に於いて、内周のノズル群はストレートガスノズ
ル５１、外周のノズル群は超音速ガスノズル３０ａで、
内周と外周のノズル群とは別配管され（図示省略）、非
酸化性ガスが導入されている。またノズル先端穴２８の
先端及び内壁は、耐熱樹脂としてフッ素樹脂被覆５２が
施されている。なお、この実施の形態では、ノズル群は
二重となっているが、三重以上の多数の同心円状のもの
を用いても、同様の効果を得られる。

【００３３】次に上記構成のレーザ加工ヘッドを用いて
被加工物を溶接する場合の動作を図１１、１２に加え
て、図１３のシールドガス及び先端ノズル穴動作説明図
に基いて説明する。集光されたレーザ光１２は保護ガラ
ス３１、ノズル先端穴２８を通過して被加工物１４に照
射され、同時に所定速度で被加工物１４を図中Ｒ方向へ
移動することにより、溶接部１９を形成する。この際、
溶接部１９からはスパッタ１７が上方に飛散するが、ノ
ズル先端穴２８が溶接部１９に対向して広くなっている
ため、及び被加工物１４と保護ガラス３１との間に形成
されている超音速ガス流によるノズル先端穴２８近傍が
負圧になるため、スパッタは、すべてノズル先端穴２８
に吸い込まれる。ノズル１１内に吸い込まれたスパッタ
１７は保護ガラス３１と被加工物１４との間に設けられ
た超音速ガスノズル３０からの超音速ガス流１６によ
り、その方向をガス流方向に変化させられ、排出口２１
から外部へ放出されることにより、保護ガラス３１への
スパッタ１７の付着を防ぐことができる。尚、前述の如
くノズル先端穴２８には、スパッタ１７が吸い込まれる
がフッ素樹脂５２が被覆してあり、スパッタが付着しに
くくなる。

【００３４】先端シールドガスノズル部材５０の超音速
ガスノズル３０ａに高圧シールドガス１５ｂ（この実施
の形態では絶対圧力８ｋｇ／ｃｍ² ）として、非酸化性
ガスを導入することにより超音速のシールドガス流５４
が溶接加工点を中心とし、且つ溶接加工点から遠ざかる
向きに流れ、大気の侵入を防止している。同時に低圧シ
ールドガス（この実施の形態では絶対圧力２ｋｇ／ｃｍ
² ）として非酸化性ガスを導入することにより、溶接加
工点をシールドしながらスパッタ１７と一緒にノズル先
端穴２８へ吸い込まれる。このため溶接部１９の酸化を
防止できる。

【００３５】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので以下に記載されるような効果を奏する。

【００３６】加工ノズル内部のレーザ光の光軸方向に沿
って集光レンズ部から加工ノズル先端部までの間の空間
へ上記レーザ光の光軸とほぼ直交する方向に超音速ガス
を吹き出す超音速ガスノズルと、上記超音速ガスを上記
空間外へ排出するための排出口とを備えたことにより、
加工ノズル先端部から入り加工ノズル内部で飛散するス
パッタを吹き飛ばし、除去することができる。このため
光学部品の汚染を防止でき、安定な加工ができるばかり
でなく、部品交換の期間が伸び、作業効率が向上する。

【００３７】また、超音速ガスノズルを複数個備え、さ
らに複数個の該ガスノズルを、加工ノズル内部でのスパ
ッタの飛散状態に応じて配置するようにしたことによ
り、加工ノズル先端部から入り加工ノズル内部で放射状
に飛散するスパッタを効率よく吹き飛ばし、除去するこ
とができる。

【００３８】また、超音速ガスに非酸化性ガスを用い、
或は補助ガス導入口を設け、超音速ガス及び補助ガスに
非酸化性ガスを用いることにより、超音速ガスノズルを
設けることに、スパッタの吹き飛ばし（除去）と、溶接
部の酸化防止との２つの機能を持たせることができる。

【００３９】さらに、加工ノズル先端部の形状を、被加
工物の対面側が広がった漏斗形状としたことにより、ノ
ズル先端部の穴からのスパッタの吸い込み能力を向上さ
せることができる。

【００４０】また、加工ノズル先端部の漏斗形状部の先
端及び内面を耐熱樹脂により被覆したことにより、加工
ノズル先端部に、スパッタを付着しにくくすることがで
きる。

【００４１】また、加工ノズル先端部の漏斗形状部の外
周に、複数のノズル群が同心円状に設けられた先端シー
ルドガスノズル部材を備え、さらに先端シールドガスノ
ズル部材の最外周のノズル群は、加工点から離れる方向
に傾いた超音速ガスノズルにより構成したことにより、
加工ノズル先端部が漏斗形状となり、加工ノズル先端部
が負圧となっても、溶接部に十分シールドガスが供給さ
れ、効果的に溶接部の酸化防止を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドの構成図である。

【図２】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドに使用される超音速ガスノズル拡大図である。

【図３】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドに使用される超音速ガスノズルのノズル出口か
らの距離に対する吹き出し圧力の一例である。

【図４】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドの説明に用いた保護ガラス汚染比較模式図であ
る。

【図５】 この発明の第２の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドの構成図である。

【図６】 図５のＡ−Ａ断面図である。

【図７】 この発明の第２の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドに於ける補助ガス動作説明図である。

【図８】 この発明の第３の実施の形態によるレーザ加
工ヘッドの構成図である。

【図９】 図８のＢ−Ｂ断面図である。

【図１０】 この発明の第３の実施の形態によるレーザ
加工ヘッドに於ける補助ガス動作説明図である。

【図１１】 この発明の第４の実施の形態によるレーザ
加工ヘッドの構成図である。

【図１２】 この発明の第４の実施の形態によるレーザ
加工ヘッドのシールドガスノズル及びノズル先端穴拡大
図である。

【図１３】 この発明の第４の実施の形態によるレーザ
加工ヘッドのシールドガスノズル及びノズル先端穴動作
説明図である。

【図１４】 従来のレーザ加工ヘッドの構成図である。

【図１５】 従来のレーザ加工ヘッドに使用されるスト
レートガスノズルのノズル出口からの距離に対する吹き
出し圧力の一例である。

【符号の説明】

１１ 加工ノズル、１２ レーザ光、１３ 集光レン
ズ、１４ 被加工物、１５ シールドボックス、１６
超音速ガス流、１７ スパッタ、１８ ノズル先端穴、
１９ 溶接部、２０ ガス吹き出しノズル、２１ 排出
口、２２ ガス吹き出し部、２８ ノズル先端穴、３０
超音速ガスノズル、３１ 保護ガラス、４０ 補助ガ
ス導入口、４１ 補助ガス、５０ シールドガスノズ
ル、５１ ストレートガスノズル、５２ フッ素樹脂被
覆、５３ シールドガス流、５４ シールドガス流。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工ノズル内部のレーザ光の光軸方向に
   沿って集光レンズ部から加工ノズル先端部までの間の空
   間へ上記レーザ光の光軸とほぼ直交する方向に超音速ガ
   スを吹き出す超音速ガスノズルと、上記超音速ガスを上
   記空間外へ排出するための排出口とを備えたことを特徴
   とするレーザ加工ヘッド。
2. 【請求項２】 超音速ガスノズルを複数個備えたことを
   特徴とする請求項１に記載のレーザ加工ヘッド。
3. 【請求項３】 複数個の超音速ガスノズルを、加工ノズ
   ル内部でのスパッタの飛散状態に応じて配置するように
   したことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工ヘッ
   ド。
4. 【請求項４】 超音速ガスとしてシールドガスを吹き出
   すことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレ
   ーザ加工ヘッド。
5. 【請求項５】 加工ノズル内部のレーザ光の光軸方向に
   沿って集光レンズ部から加工ノズル先端部までの間の空
   間へ上記レーザ光の光軸とほぼ直交する方向にシールド
   ガスを吹き出す補助ガス導入口と、上記シールドガスを
   上記空間外へ排出するための補助ガス排出口とを備えた
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレー
   ザ加工ヘッド。
6. 【請求項６】 加工ノズル先端部の形状を、被加工物の
   対面側が広がった漏斗形状としたことを特徴とする請求
   項１〜５のいずれかに記載のレーザ加工ヘッド。
7. 【請求項７】 加工ノズル先端部の漏斗形状部の先端及
   び内面を耐熱樹脂により被覆したことを特徴とする請求
   項６に記載のレーザ加工ヘッド。
8. 【請求項８】 加工ノズル先端部の漏斗形状部の外周
   に、複数のノズルが設けられた先端シールドガスノズル
   部材を備えたことを特徴とする請求項６、７のいずれか
   に記載のレーザ加工ヘッド。
9. 【請求項９】 先端シールドガスノズル部材に設けられ
   た複数のノズルは、複数のノズル群が同心円状に配置さ
   れたことを特徴とする請求項８に記載のレーザ加工ヘッ
   ド。
10. 【請求項１０】 先端シールドガスノズル部材の最外周
    のノズル群は、加工点から離れる方向に傾いた超音速ガ
    スノズルにより構成されたことを特徴とする請求項９に
    記載のレーザ加工ヘッド。