JPH09163709A - 可動コイル型リニアアクチュエータ - Google Patents

可動コイル型リニアアクチュエータ

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JPH09163709A
JPH09163709A JP34473295A JP34473295A JPH09163709A JP H09163709 A JPH09163709 A JP H09163709A JP 34473295 A JP34473295 A JP 34473295A JP 34473295 A JP34473295 A JP 34473295A JP H09163709 A JPH09163709 A JP H09163709A
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coil
outer peripheral
guide shaft
movable coil
guide
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貴俊 大山
Nobuyuki Shinpo
信之 眞保
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重男 斉藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 可動部分及び装置全長を短くすることが可能
で、可動部分のがたつきのない円滑な摺動動作を可能と
する。 【解決手段】 同極対向された2個の永久磁石11A,
11B間に軟磁性体12を設けた構造を有する直線ガイ
ド体10と、該直線ガイド体10の外周を軸方向に移動
自在なボビン21に駆動コイル22及び速度検出用コイ
ル23を巻装してなる可動コイル体20と、可動コイル
体20の本体部分を囲む外周ヨーク30及びサイドヨー
ク31と、外周ヨーク30の両端に固定されたホルダー
32で前記直線ガイド体10の側方で平行に支持された
ガイド軸40とを備え、前記可動コイル体20が前記ガ
イド軸40で案内されて摺動する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動コイルを巻回
した可動コイル体への通電により可動コイル体を直線移
動させることが可能な可動コイル型リニアアクチュエー
タに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の装置としては、実開平3
−40876号のソレノイド装置が知られている。この
ソレノイド装置は、図5に示すように、断面コ字状の円
筒形状の磁性体よりなる外部ヨーク1内に、同極対向さ
れた2個の永久磁石2,4を内部ヨーク3を挟んで固定
配置し、さらにサブヨーク5及びこれと一体の軸8を前
記永久磁石4上に固着し、前記外部ヨーク1と内部ヨー
ク3との隙間に筒状非磁性体の移動部材7を配置しかつ
前記軸8にて移動自在にガイドされるようにし、移動部
材7の挿入先端にコイル9を固定したものである。
【0003】この場合、コイル9に通電すると、前記外
部ヨーク1と内部ヨーク3との隙間に発生している磁束
との磁気作用により前記軸8をガイド軸としてコイル9
と一体の移動部材7が直線的に移動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の如き
従来装置は、永久磁石2,4及び内部ヨーク3の他に、
動作出力を取り出すための移動部材7を移動自在にガイ
ドする軸8及び移動部材側の軸受部分にある程度の長さ
が必要となり、アクチュエータの全長を短く設計するこ
とができない。また、アクチュエータの端部にて出力を
ジョイントするために、アクチュエータを含むユニット
としても全長を短く設計することが難しい。
【0005】本発明は、上記の点に鑑み、可動部分及び
装置全長を短くすることが可能で、可動部分のがたつき
のない円滑な摺動動作を可能とした可動コイル型リニア
アクチュエータを提供することを目的とする。
【0006】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の可動コイル型リニアアクチュエータは、同
極対向された少なくとも2個の永久磁石間に軟磁性体を
設けた構造を有する直線界磁体と、該直線界磁体の外周
を軸方向に移動自在なボビンに駆動コイルを巻装してな
る可動コイル体と、前記直線界磁体の側方に平行配置さ
れた少なくとも1本のガイド軸とを備え、前記可動コイ
ル体が前記ガイド軸で案内されて摺動する構成となって
いる。
【0008】また、前記直線界磁体は、前記永久磁石及
び前記軟磁性体を非磁性パイプ部材で覆い保持した構成
とするとよい。
【0009】前記可動コイル体は前記ガイド軸が貫通し
て摺動する軸受構造を持ち、かつ前記ボビンは直線ガイ
ド体を構成する(直線ガイド体としての)前記直線界磁
体の外周面に微小面積で接する回り止め構造を持つもの
であってもよい。あるいは、前記ボビンは直線ガイド体
を構成する前記直線界磁体の外周に対して摺動する軸受
構造を持ち、前記可動コイル体は前記ガイド軸の外周面
に微小面積で接する回り止め構造を持つものであっても
よい。さらに、前記ガイド軸を2本設けた場合、前記可
動コイル体は一方のガイド軸が貫通して摺動する軸受構
造と他方のガイド軸に微小面積で接する回り止め構造と
を持つようにしてもよい。
【0010】前記駆動コイルの可動範囲の外周側に軟磁
性体の外周ヨークを設け、かつ前記直線界磁体の両端面
側にサイドヨークを設ける構成としてもよい。そして、
前記外周ヨーク及びサイドヨークの一部又は全部をホル
ダーで覆って保持するとともに、該ホルダーで前記ガイ
ド軸を支持する構造とすることもできる。
【0011】さらに、前記外周ヨークに切欠を設け、前
記可動コイル体が有する出力取出し部を前記外周ヨーク
の外側に突出させるとともに、前記駆動コイルに接続す
る給電用端子を、前記外周ヨークの外側に突出した前記
可動コイル体の延長部又は前記出力取出し部に設ける構
成とすることができる。
【0012】前記可動コイル体は前記ボビンに速度検出
用コイルをさらに巻装したものであってもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る可動コイル型
リニアアクチュエータの実施の形態を図面に従って説明
する。
【0014】図1及び図2は本発明に係る可動コイル型
リニアアクチュエータの第1の実施の形態を示す。これ
らの図において、可動コイル型リニアアクチュエータ
は、2個の永久磁石11A,11B及びそれらに挟まれ
た軟磁性体12を非磁性パイプ部材13で覆い保持した
直線ガイド体(直線界磁体)10と、該直線ガイド体1
0の外周をその軸方向に移動(摺動)自在なボビン21
に駆動コイル22を巻装してなる可動コイル体20と、
該可動コイル体20の本体部分(駆動コイルを巻回した
部分)の移動空間を残して前記直線ガイド体10の外側
を囲む如く配置された外周ヨーク30と、外周ヨーク3
0の両端に配置されたサイドヨーク31と、外周ヨーク
端部及びサイドヨーク外面を覆って保持するホルダー3
2と、該ホルダー32で支持されたガイド軸40とを備
えている。
【0015】前記永久磁石11A,11Bは、例えば、
小型で強力な磁力を発生可能な円板又は円柱状希土類永
久磁石である。鉄等の円柱状の軟磁性体12は同極対向
された2個の円板又は円柱状永久磁石11A,11Bに
挟まれ吸着されていて、それらの外周面は同一となって
いる。永久磁石11A,11B及び軟磁性体12は、非
磁性材料であるステンレス、真鍮等の非磁性金属、樹脂
等の薄肉の円筒状非磁性パイプ部材13の内側に挿入さ
れることで当該パイプ部材13で覆われるとともに一体
的に保持されている。このように、永久磁石11A,1
1Bと軟磁性体12とをパイプ部材13で覆って円柱形
状の直線ガイド体10を構成することで、永久磁石11
A,11B及び軟磁性体12の保持一体化を確実にする
とともに、可動コイル体20の摺動性の向上を実現して
いる。なお、直線ガイド体10の軸方向(可動コイル体
20が直線移動する長手方向)と永久磁石11A,11
Bの磁化方向とが一致している。
【0016】前記円柱形状の直線ガイド体10の外周に
沿って摺動自在な可動コイル体20が有するボビン21
は、例えば、耐摩耗性に優れた絶縁樹脂製であり、直線
ガイド体10の外周面、すなわちパイプ部材13の外周
面を環状に囲みかつ両端に鍔21aを持つ断面がコ字状
である。可動コイル体20はボビン21の鍔21a間に
駆動コイル22及び速度検出用コイル23をそれぞれ巻
装した構造を持つものである。これらのコイル22,2
3は前記直線ガイド体10を周回する向きにボビン21
に巻かれている。このボビン21の鍔21aには、可動
コイル体20の動きを外部に出力するための出力取出し
部(ジョイント部)24、前記ガイド軸40に対する軸
受部を持つ軸受用延長部25及び端子台26がそれぞれ
一体に形成されている。
【0017】前記外周ヨーク30及びサイドヨーク31
は磁気回路のパーミアンス向上(磁気抵抗の低減)と、
磁気漏洩を防止するために設けられているものである。
外周ヨーク30は鉄板等の軟磁性体で円筒状に形成した
もので、直線ガイド体10の周囲を可動コイル体20の
移動空間を隔てて囲むものであり、外周ヨーク30の両
端には同材質の円板状のサイドヨーク31が配設されて
いる。サイドヨーク31の内面中央の凹部には、永久磁
石11A,11Bの同極対向している磁極の反対側磁極
が当接し、固着されている。そして、樹脂等で形成され
たホルダー32がサイドヨーク31の外面及び外周ヨー
ク30の外周面の両端部をそれぞれ覆って、嵌合、固着
されることで、外周ヨーク30、サイドヨーク31は相
互に固着、一体化されている。このように、永久磁石1
1A,11Bから発生する磁束が通る磁路を軟磁性体1
2、外周ヨーク30、サイドヨーク31により構成して
いる。
【0018】なお、可動コイル体20が直線ガイド体1
0の軸方向に移動することに伴って出力取出し部24、
軸受用延長部25及び端子台26が通過する部分、すな
わち可動コイル体20の可動範囲における出力取出し部
24、軸受用延長部25及び端子台26の移動部分に
は、外周ヨーク30に対して切割(切欠)33,34が
形成されている。前記可動コイル体20のボビン21に
一体に形成されたそれらの出力取出し部24及び軸受用
延長部25は切割33を通して外周ヨーク30の外側に
突出(延在)しており、同様にボビン21に一体の端子
台26は切割34を通して外周ヨーク30の外側に突出
(延在)している。
【0019】前記外周ヨーク30の両端に固着された一
対のホルダー32のアーム部32aにガイド軸40が外
周ヨーク30の外側において直線ガイド体10に平行に
支持固定されている。該ガイド軸40は可動コイル体2
0を円滑に摺動させるために例えば円柱金属シャフト
(磁性、非磁性を問わない)で構成されている。そし
て、可動コイル体20側の出力取出し部24及び軸受用
延長部25の軸受部24a,25aがガイド軸40に摺
動自在に嵌合している(ガイド軸40が軸受部24a,
25aを摺動自在に貫通している)。これらの軸受部2
4a,25aはガイド軸40の周囲を環状に囲む軸受構
造となっているが、摺動抵抗を減らすために軸受部24
a,25aは他の部分に比してやや薄肉となっている。
また、直線ガイド体10の外周面を構成する非磁性パイ
プ部材13とボビン21との摺動は、最低限の摺動抵抗
とするのが望ましいため、図2のようにボビン21の内
周部に部分的な一対の突起21bを設けた回り止め効果
のみを求める回り止め構造としている。すなわち、ボビ
ン21内周面に形成された一対の突起21bによってボ
ビン21は非磁性パイプ部材13の外周面に対し微小面
積で接触し(好ましくは点接触又は微小幅の線接触)、
ガイド軸40を回転中心とした回転方向のがたつきを防
止している。この結果、可動コイル体20は、2本のガ
イド体を構成する直線ガイド体10及びガイド軸40に
より直線移動するように案内(ガイド)されることにな
る。
【0020】なお、可動コイル体20が有する出力取出
し部24は、可動コイル20の本体部分(駆動コイル2
2が巻装された部分)の外周側、すなわち側方に延在し
ており、動作出力を取り出すための出力取出し部24を
介し可動コイル体20は磁気ヘッド等の被駆動系に連結
される。
【0021】前記ボビン21に一体の端子台26の先端
部(外周ヨーク30の外側に位置する部分)には前記駆
動コイル22に接続した給電用端子27が植設されてい
る。該給電用端子27は外部の電源入力を受けるもので
ある。なお、速度検出用コイル23に接続する接続端子
(図示省略)も端子台26に設ければよい。
【0022】以上の第1の実施の形態の構成において、
2個の永久磁石11A,11Bが同極(N極)対向で軟
磁性体12を挟んで配置されていることにより、軟磁性
体12の外周面と外周ヨーク30の内周面との間の円筒
状空間(可動コイル体20の移動空間)に半径方向の磁
束が発生し、すなわち、直線ガイド体10の軸方向(可
動コイル体20の移動方向)に垂直な磁界成分が生じ
る。従って、駆動コイル22に電流を流すことにより、
フレミングの左手の法則に基づく推力を可動コイル体2
0に発生することができ、該可動コイル体20を直線ガ
イド体10並びにガイド軸40に沿って円滑に直線移動
させることができ、出力取出し部24を介し被駆動系を
直線駆動可能である。
【0023】この第1の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。
【0024】(1) 2個の永久磁石11A,11B及び
それらに挟まれた軟磁性体12を非磁性パイプ部材13
で覆い保持した直線ガイド体10と、この側方に平行配
置となるようにホルダー32で支持されたガイド軸40
とがそれぞれガイド体として機能するから、可動コイル
体20の回り止めが可能であり、回転方向のがたつきを
防止できる。
【0025】(2) 一方のガイド体であるガイド軸40
を軸受用ガイド体として用いて可動コイル体20の摺動
部を軸受構造(軸受部24a,25a)とし、他方のガ
イド体である直線ガイド体10を回り止め用ガイド体と
して用いて可動コイル体20の摺動部を回り止め構造
(非磁性パイプ部材13に微小面積で接する一対の突起
21b)とすることで、摺動抵抗を低減して引っかかり
の少ない円滑な直線摺動動作を実現することができる。
また、可動コイル体20が有するボビン21の鍔21a
の延長部分に前記軸受構造及び回り止め構造を一体に形
成することで構造の簡素化を図ることができる。
【0026】(3) 直線ガイド体10は、2個の永久磁
石11A,11B及びそれらに挟まれた軟磁性体12を
非磁性パイプ部材13で覆い保持した構造であり、永久
磁石11A,11Bと軟磁性体12の保持一体化が確実
であり、しかも必要な磁束を発生する機能と可動コイル
体20のガイド体としての機能を兼ねるため、簡素で、
小型化に適した構造となっている。また、非磁性パイプ
部材13として摩擦の少ない材質を用いることで、可動
コイル体20の動きの円滑化を図ることができる。
【0027】(4) 直線ガイド体10の側方にガイド軸
40を平行配置し、かつ可動コイル体20の本体部分
(駆動コイル22を巻回した部分)の外周方向に、被駆
動系に対し動作出力を取り出すための出力取出し部24
を設けており、換言すれば可動コイル体20の並列方向
にガイド軸40及び出力取出し部24を配置する構造で
あり、可動コイル体20の軸方向長さ及び可動コイル型
リニアアクチュエータの全長を短く設計することが可能
である。
【0028】(5) 2個の永久磁石11A,11B及び
それらに挟まれた軟磁性体12を持つ直線ガイド体10
の両端面に軟磁性体のサイドヨーク31を配置し、かつ
可動コイル体20の本体部分(駆動コイル22が巻回さ
れた部分)の可動範囲の外周側に軟磁性体の外周ヨーク
30を配置することで、磁束の利用効果が高まり、推力
向上を図ることができる。
【0029】(6) 切割33,34の部分を除き、直線
ガイド体10の周囲は外周ヨーク30及びサイドヨーク
31で閉塞されており、漏洩磁束は少ない。
【0030】(7) 外周ヨーク30及びサイドヨーク3
1の一部を覆って一体的に保持するホルダー32でガイ
ド軸40を保持しており、ガイド軸40の保持構造が簡
単になっている。
【0031】(8) 可動コイル体20が速度検出用コイ
ル23を有しており、該速度検出用コイルの誘起電圧を
利用して当該可動コイル体の移動速度や移動周期を検出
できる。
【0032】なお、第1の実施の形態において、駆動コ
イル22に通電するための給電用端子27や速度検出用
コイル23の検出出力を取り出す接続端子は出力取出し
部24に配置して端子台26を省略することもできる。
【0033】図3及び図4は本発明の第2の実施の形態
を示す。この場合、可動コイル型リニアアクチュエータ
は、2本のガイド軸50,60を直線界磁体10(第1
の実施の形態の直線ガイド体10と同一構造)の側方に
平行配置しており、比較的大きく重い被駆動物を取り付
けるのに適した構造例を示している。
【0034】図3及び図4において、外周ヨーク30の
端部及びサイドヨーク31の外側を覆ってそれらを一体
的に保持するホルダー72は、その両側に延長する第1
及び第2のアーム部72a,72bを一体に有してい
る。そして、外周ヨーク30の両端にそれぞれ固着され
た一対のホルダー72のアーム部72a,72bによっ
てガイド軸50,60が外周ヨーク30の外側において
直線界磁体10に平行にそれぞれ支持固定されている。
【0035】前記直線界磁体10の外周に沿って移動自
在な可動コイル体80はボビン81の鍔81a間に駆動
コイル22及び速度検出用コイル23をそれぞれ巻装し
た構造を持つものである。このボビン81の両方の鍔8
1aには、可動コイル体80の動きを外部に出力するた
めの出力取出し部(ジョイント部)84、及び前記ガイ
ド軸50に対する軸受部85aを持つ軸受用延長部85
がそれぞれ一体に形成されている。そして、ボビン81
に一体の一対の軸受用延長部85の軸受部85aがガイ
ド軸50に摺動自在に嵌合している(ガイド軸50が軸
受部85aを摺動自在に貫通している)。これらの軸受
部85aはガイド軸50の周囲を環状に囲む軸受構造と
なっているが、摺動抵抗を減らすために軸受部85aは
他の部分に比してやや薄肉となっている。また、ボビン
81と一体の一対の出力取出し部84の先端部には前記
ガイド軸60に摺動自在に係合する凹溝86が形成され
ており、可動コイル体80がガイド軸50を回転中心と
して回転するのを防止する回り止め構造としている。す
なわち、図4のように一対の出力取出し部84の先端部
に形成された凹溝86によって出力取出し部84はガイ
ド軸60の外周面に対し凹溝86の内側面の微小面積で
接触(微小幅の線接触)している。この結果、可動コイ
ル体80は、2本のガイド体を構成するガイド軸50,
60により直線移動するように案内(ガイド)されるこ
とになる。
【0036】なお、2本のガイド軸50,60を用いて
いるため、ボビン81の内周面は直線界磁体10の外周
面に接触しない構造である。
【0037】また、駆動コイル22に給電するための給
電用端子は図示を省略したが、例えば一方の出力取出し
部84を端子台兼用とし、そこに植設すればよい。速度
検出用コイルに接続する接続端子についても同様であ
る。
【0038】その他の構成は前述の第1の実施の形態と
同様であり、同一又は相当部分に統一符号を付して説明
を省略する。また、ガイド軸50,60、ホルダー7
2、ボビン81の材質は第1の実施の形態におけるガイ
ド軸40、ホルダー32、ボビン21とそれぞれ同じで
よい。
【0039】この第2の実施の形態によれば、2本のガ
イド軸50,60を用い、一方を軸受用ガイド体、他方
を回り止め用ガイド体として使用し、直線界磁体10に
対しボビン21が非接触となるようにしており、可動コ
イル体80が有する一対の出力取出し部84上に被駆動
物を載置する等して取り付けることがで、外形及び重量
が比較的大きな被駆動物の直線駆動を円滑かつ容易に実
行することができる。
【0040】上記第1又は第2の実施の形態では、いず
れも可動コイル体20,80のボビン21,81がガイ
ド軸40,50の外周に対して摺動する軸受構造を有す
るが、逆に可動コイル体のボビンが直線ガイド体10の
外周を環状に囲んで摺動する軸受構造を持ち、かつ当該
可動コイル体はガイド軸の外周面に微小面積で接する回
り止め構造を持つ構成としてもよい。
【0041】なお、可動コイル体の出力取出し部をボビ
ンの鍔に一体に形成したが、ボビンとは別部品のアーム
状部材を可動コイル体のボビン等に固着、連結等で取り
付けるようにしても差し支えない。
【0042】また、ホルダーを磁性材としてサイドヨー
ク兼用とすることも可能であり、外周ヨークの一端にサ
イドヨークを予め一体に作製しておくこともできる。
【0043】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
【0044】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の可動コイ
ル型リニアアクチュエータによれば、同極対向された少
なくとも2個の永久磁石間に軟磁性体を設けた構造を有
する直線界磁体と、該直線界磁体の外周を軸方向に移動
自在なボビンに駆動コイルを巻装してなる可動コイル体
と、前記直線界磁体の側方に平行配置された少なくとも
1本のガイド軸とを備え、前記可動コイル体が前記ガイ
ド軸で案内されて摺動する構造としたので、可動コイル
体及び装置全長の短縮化が可能であり、また可動コイル
体のがたつきのない円滑な摺動動作を実現可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る可動コイル型リニアアクチュエー
タの第1の実施の形態を示す正断面図である。
【図2】図1のII−II断面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示す正断面図であ
る。
【図4】図3のIV−IV断面図である。
【図5】従来例の正断面図である。
【符号の説明】
10 直線ガイド体(直線界磁体) 11A,11B 永久磁石 12 軟磁性体 13 非磁性パイプ部材 20,80 可動コイル体 21,81 ボビン 21a,81a 鍔 21b 突起 22 駆動コイル 23 速度検出用コイル 24,84 出力取出し部 25,85 軸受用延長部 24a,25a,85a 軸受部 26 端子台 27 給電用端子 30 外周ヨーク 31 サイドヨーク 32,72 ホルダー 32a,72a,72b アーム部 33,34 切割 40,50,60 ガイド軸 86 凹溝

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同極対向された少なくとも2個の永久磁
    石間に軟磁性体を設けた構造を有する直線界磁体と、該
    直線界磁体の外周を軸方向に移動自在なボビンに駆動コ
    イルを巻装してなる可動コイル体と、前記直線界磁体の
    側方に平行配置された少なくとも1本のガイド軸とを備
    え、前記可動コイル体が前記ガイド軸で案内されて摺動
    することを特徴とする可動コイル型リニアアクチュエー
    タ。
  2. 【請求項2】 前記直線界磁体は、前記永久磁石及び前
    記軟磁性体を非磁性パイプ部材で覆い保持したものであ
    る請求項1記載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  3. 【請求項3】 前記可動コイル体は前記ガイド軸が貫通
    して摺動する軸受構造を持ち、かつ前記ボビンは直線ガ
    イド体を構成する前記直線界磁体の外周面に微小面積で
    接する回り止め構造を持つものである請求項1又は2記
    載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  4. 【請求項4】 前記ボビンは直線ガイド体を構成する前
    記直線界磁体の外周に対して摺動する軸受構造を持ち、
    前記可動コイル体は前記ガイド軸の外周面に微小面積で
    接する回り止め構造を持つものである請求項1又は2記
    載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  5. 【請求項5】 前記ガイド軸が2本設けられており、前
    記可動コイル体は一方のガイド軸が貫通して摺動する軸
    受構造と他方のガイド軸に微小面積で接する回り止め構
    造とを持つものである請求項1又は2記載の可動コイル
    型リニアアクチュエータ。
  6. 【請求項6】 前記駆動コイルの可動範囲の外周側に軟
    磁性体の外周ヨークを設け、かつ前記直線界磁体の両端
    面側にサイドヨークを設けた請求項1,2,3,4又は
    5記載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  7. 【請求項7】 前記外周ヨーク及びサイドヨークの一部
    又は全部をホルダーで覆って保持するとともに、該ホル
    ダーで前記ガイド軸を支持してなる請求項6記載の可動
    コイル型リニアアクチュエータ。
  8. 【請求項8】 前記外周ヨークに切欠を設け、前記可動
    コイル体が有する出力取出し部を前記外周ヨークの外側
    に突出させるとともに、前記駆動コイルに接続する給電
    用端子を、前記外周ヨークの外側に突出した前記可動コ
    イル体の延長部又は前記出力取出し部に設けてなる請求
    項6又は7記載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  9. 【請求項9】 前記可動コイル体は前記ボビンに速度検
    出用コイルをさらに巻装したものである請求項1,2,
    3,4,5,6,7又は8記載の可動コイル型リニアア
    クチュエータ。
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