JPH09152423A - 渦流探傷用プローブコイル - Google Patents
渦流探傷用プローブコイルInfo
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- JPH09152423A JPH09152423A JP7314307A JP31430795A JPH09152423A JP H09152423 A JPH09152423 A JP H09152423A JP 7314307 A JP7314307 A JP 7314307A JP 31430795 A JP31430795 A JP 31430795A JP H09152423 A JPH09152423 A JP H09152423A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧延鋼材のロール疵だけでなくコーナー疵も
検出できるマルチチャンネル用に適した渦流探傷用プロ
ーブコイルを提供する。 【解決手段】 検出コイルを、プローブの中心を原点と
する平面の象限を４分割し、該象限の対象な位置に形成
する（Ｂ）。これにより、圧延鋼材のＸ軸方向に伸びる
ロール疵も、Ｙ軸方向に伸びるコーナー疵も検出するこ
とができる。なお、従来のように半円形を対面させたコ
イルでは、（Ｃ），（Ｄ）に示す様に、いずれかの方向
の疵しか検出できない。
検出できるマルチチャンネル用に適した渦流探傷用プロ
ーブコイルを提供する。 【解決手段】 検出コイルを、プローブの中心を原点と
する平面の象限を４分割し、該象限の対象な位置に形成
する（Ｂ）。これにより、圧延鋼材のＸ軸方向に伸びる
ロール疵も、Ｙ軸方向に伸びるコーナー疵も検出するこ
とができる。なお、従来のように半円形を対面させたコ
イルでは、（Ｃ），（Ｄ）に示す様に、いずれかの方向
の疵しか検出できない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、渦流探傷用プロー
ブコイルに関する。
ブコイルに関する。
【０００２】
【従来の技術】渦流探傷用プローブコイルには、例え
ば、相互誘導自己比較型（以降、相互誘導型という）コ
イル、自己誘導自己比較型（以降、自己誘導型という）
コイル等が用いられている。
ば、相互誘導自己比較型（以降、相互誘導型という）コ
イル、自己誘導自己比較型（以降、自己誘導型という）
コイル等が用いられている。
【０００３】前記相互誘導型コイルは、図１６に示すよ
うに、下方中央部に切欠部のついたコア１００を用いて
いる。該コア１００の上部の切欠部のない部分に励磁コ
イル１１１を巻つけ、下部の切欠部を有する部分に検出
コイル１１２の導線が巻き付けられている。
うに、下方中央部に切欠部のついたコア１００を用いて
いる。該コア１００の上部の切欠部のない部分に励磁コ
イル１１１を巻つけ、下部の切欠部を有する部分に検出
コイル１１２の導線が巻き付けられている。
【０００４】このプローブコイルによると、図１７
（Ａ）に示すように、コア１１０の切欠方向（矢印方
向）の疵に対しての感度は高いものの、（Ｂ）に示すよ
うに、コア１１０の切欠に対して直交する方向（矢印方
向）に対しての感度が殆どない。したがって、１方向の
疵しか検出できないという欠点がある。
（Ａ）に示すように、コア１１０の切欠方向（矢印方
向）の疵に対しての感度は高いものの、（Ｂ）に示すよ
うに、コア１１０の切欠に対して直交する方向（矢印方
向）に対しての感度が殆どない。したがって、１方向の
疵しか検出できないという欠点がある。
【０００５】ところが、圧延鋼材では、ロール方向（Ｘ
軸）に延びるだけでなく、これとほぼ直交する（Ｙ軸）
方向のコーナー疵も検出する必要がある。このため、従
来のプローブコイルでは、例えば、Ｘ軸方向の疵のみを
対象として検出を行なっている。なお、Ｘ軸の疵とＹ軸
方向の疵を一度に検出する方式もある。その方式とし
て、検出コイル１個をＸ軸方向に向けて配置し、もう１
個の検出コイルを９０度向きを変えて直交方向に配置
し、２個のコイルを１組として設けた方式がある。又、
検出コイルの数を少なくするために検出コイル自体を回
転させながら移動させる方式もある。この回転させる方
法では、コイルの向のタイミングによっては何れかの方
向の疵を検出しそこなうことがある。さらに、工程が複
雑になったり、或は、コイルを回転させるための回転装
置を要し、装置が大がかりになるという欠点がある。特
にマルチチャンネル渦流探傷装置では、各プローブコイ
ルを回転させるのは困難なためこの方法を用いることが
できない。
軸）に延びるだけでなく、これとほぼ直交する（Ｙ軸）
方向のコーナー疵も検出する必要がある。このため、従
来のプローブコイルでは、例えば、Ｘ軸方向の疵のみを
対象として検出を行なっている。なお、Ｘ軸の疵とＹ軸
方向の疵を一度に検出する方式もある。その方式とし
て、検出コイル１個をＸ軸方向に向けて配置し、もう１
個の検出コイルを９０度向きを変えて直交方向に配置
し、２個のコイルを１組として設けた方式がある。又、
検出コイルの数を少なくするために検出コイル自体を回
転させながら移動させる方式もある。この回転させる方
法では、コイルの向のタイミングによっては何れかの方
向の疵を検出しそこなうことがある。さらに、工程が複
雑になったり、或は、コイルを回転させるための回転装
置を要し、装置が大がかりになるという欠点がある。特
にマルチチャンネル渦流探傷装置では、各プローブコイ
ルを回転させるのは困難なためこの方法を用いることが
できない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明はいろ
んな方向に延びた疵をどちらも検出できる渦流探傷用プ
ローブコイルの提供を目的とする。
んな方向に延びた疵をどちらも検出できる渦流探傷用プ
ローブコイルの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段、発明の実施の形態及び発
明の効果】上記目的を達成するためになされた本発明の
渦流探傷用プローブコイルは、プローブの中心を原点と
する平面の象限を４分割し、該象限の対象な位置に検出
コイルを形成してなることを特徴とする。
明の効果】上記目的を達成するためになされた本発明の
渦流探傷用プローブコイルは、プローブの中心を原点と
する平面の象限を４分割し、該象限の対象な位置に検出
コイルを形成してなることを特徴とする。
【０００８】相互誘導型コイルの場合、励磁コイルと検
出コイルと別々に作製するので必ずしも同じコイルパタ
ーンをしていなくともよいが、自己誘導型の場合は励磁
コイルと検出コイルと１個のコイルで形成するので同じ
コイルパターンをしていなくてはならない。
出コイルと別々に作製するので必ずしも同じコイルパタ
ーンをしていなくともよいが、自己誘導型の場合は励磁
コイルと検出コイルと１個のコイルで形成するので同じ
コイルパターンをしていなくてはならない。
【０００９】例えば、第１象限と第３象限、あるいは第
２象限と第４象限に検出コイルを形成する。これによ
り、Ｘ軸方向もＹ軸方向も同じような感度で検出が可能
となる。従って、このプローブコイルを多数並べてマル
チチャンネルプローブを形成し、圧延鋼材の疵検出を行
えば、Ｘ軸方向に伸びるロール疵も、Ｙ軸方向に伸びる
コーナー疵も、一度の走査で検出可能である。
２象限と第４象限に検出コイルを形成する。これによ
り、Ｘ軸方向もＹ軸方向も同じような感度で検出が可能
となる。従って、このプローブコイルを多数並べてマル
チチャンネルプローブを形成し、圧延鋼材の疵検出を行
えば、Ｘ軸方向に伸びるロール疵も、Ｙ軸方向に伸びる
コーナー疵も、一度の走査で検出可能である。
【００１０】なお、前記検出コイルの形状を扇形として
やれば、コイル面積を最大にとることができ、感度の高
いプローブコイルを得ることができる。また、前記検出
コイルの形状を楕円形として、特に、各楕円の長軸が互
いに交差するように配置してやると、さらに、４５度方
向の斜め疵なども検出でき、あらゆる方向の疵を検出す
ることができる。
やれば、コイル面積を最大にとることができ、感度の高
いプローブコイルを得ることができる。また、前記検出
コイルの形状を楕円形として、特に、各楕円の長軸が互
いに交差するように配置してやると、さらに、４５度方
向の斜め疵なども検出でき、あらゆる方向の疵を検出す
ることができる。
【００１１】なお、対象な象限に円形コイルを配置して
もよく、本発明の実施の形態としては、検出コイルの形
状がこれらに限られないことはもちろんである。これら
本発明の渦流探傷用プローブコイルにおいて、前記励磁
コイル及び検出コイルをそれぞれプリントコイルとして
形成すれば小型化ができ、特に、マルチチャンネルプロ
ーブ用として適したものとなる。
もよく、本発明の実施の形態としては、検出コイルの形
状がこれらに限られないことはもちろんである。これら
本発明の渦流探傷用プローブコイルにおいて、前記励磁
コイル及び検出コイルをそれぞれプリントコイルとして
形成すれば小型化ができ、特に、マルチチャンネルプロ
ーブ用として適したものとなる。
【００１２】以下に、本発明の実施の形態を、より具体
的な実施例に基づいて説明する。
的な実施例に基づいて説明する。
【００１３】
【実施例】第１の実施例は、人手作業の手巻プローブの
製作について説明をする。図１に示すように、フエライ
ト製の径３ｍｍコア１０の上部周面に励磁コイル１１と
して線径０．１ｍｍの導線を人手によって顕微鏡を覗き
ながら従来通りの方法で巻き付る。その下部のコア１０
周面にも線径０．１ｍｍの導線を同じように巻き付けて
検出コイル１２を形成する。こうして、プローブコイル
１を作製する。この場合、下部の検出コイル１２の巻き
付け部１０ａ，１０ｂを部分的に切欠させたコア１０を
使用する。又、図２は検出コイル１２の巻き付け部の形
成領域を示している。該形成領域をプローブコア１０の
平面の中心を原点として第１象限，第２象限，第３象
限，第４象限というように４分割してある。この４分割
の対象位置の象限をコイル領域とする。これは、プロー
ブのＸ軸方向ならびにＹ軸方向の高い検出感度を得るた
めのものである。対象位置の第１象限，第３象限にコイ
ルを配置した場合は、第２象限，第４象限にコイルを配
置していない切欠した箇所を設けている。このように配
置したことにより、第１象限対第２象限，第１象限対第
４象限、あるいは、第３象限対第２象限，第３象限対第
４象限の磁力線の差によって材料疵を高い感度で検出す
ることができる。したがって、第１象限及び第３象限に
検出コイルを形成してもよいし、第２象限及び第４象限
に検出コイルを形成してもよい。図３は検出コイル１２
の巻き方を示す。巻き付け部コア１０ａ，１０ｂに夫々
０．１ｍｍの導線１２を顕微鏡で見ながら８の字形に１
００ターン程巻いて図１のプローブ１を作製する。
製作について説明をする。図１に示すように、フエライ
ト製の径３ｍｍコア１０の上部周面に励磁コイル１１と
して線径０．１ｍｍの導線を人手によって顕微鏡を覗き
ながら従来通りの方法で巻き付る。その下部のコア１０
周面にも線径０．１ｍｍの導線を同じように巻き付けて
検出コイル１２を形成する。こうして、プローブコイル
１を作製する。この場合、下部の検出コイル１２の巻き
付け部１０ａ，１０ｂを部分的に切欠させたコア１０を
使用する。又、図２は検出コイル１２の巻き付け部の形
成領域を示している。該形成領域をプローブコア１０の
平面の中心を原点として第１象限，第２象限，第３象
限，第４象限というように４分割してある。この４分割
の対象位置の象限をコイル領域とする。これは、プロー
ブのＸ軸方向ならびにＹ軸方向の高い検出感度を得るた
めのものである。対象位置の第１象限，第３象限にコイ
ルを配置した場合は、第２象限，第４象限にコイルを配
置していない切欠した箇所を設けている。このように配
置したことにより、第１象限対第２象限，第１象限対第
４象限、あるいは、第３象限対第２象限，第３象限対第
４象限の磁力線の差によって材料疵を高い感度で検出す
ることができる。したがって、第１象限及び第３象限に
検出コイルを形成してもよいし、第２象限及び第４象限
に検出コイルを形成してもよい。図３は検出コイル１２
の巻き方を示す。巻き付け部コア１０ａ，１０ｂに夫々
０．１ｍｍの導線１２を顕微鏡で見ながら８の字形に１
００ターン程巻いて図１のプローブ１を作製する。
【００１４】この時に巻き付けるコイル間隔が不規則に
なると磁気バランスやインピーダンスが悪くなるので、
これらの欠点がでないように一定間隔になるように気を
つけて精度良く巻き付ける。第２の実施例は、先ず、プ
リントコイルの製作について説明する。
なると磁気バランスやインピーダンスが悪くなるので、
これらの欠点がでないように一定間隔になるように気を
つけて精度良く巻き付ける。第２の実施例は、先ず、プ
リントコイルの製作について説明する。
【００１５】図４〜図１０に沿って説明する。先ず、図
４はプリント基板のコイルを用いたプローブの全体の構
成図である。プローブ２は円柱状のフェライトコアから
なるプローブ本体２０と検出部３０からなっている。前
記プローブ本体２０の底部２０ａに検出部３０を装着し
ている。検出部３０は、例えば、相互誘導型においては
図５に示すように、上面に励磁コイル３２が取り付けら
れ、下面に検出コイル３３が取り付けられたものであ
る。励磁コイル及び検出コイルは、多層基板を用いて一
体で形成しても、単相基板をはり合わせてもよい。ここ
でのフイルム基板３１は、ポリエステル・フイルム基板
やポリイミド・フイルム基板が用いられる。プリント基
板コイルの象限の配置は図６に示してある。この場合第
２象限，第４象限にコイル形成領域を設けてある。
４はプリント基板のコイルを用いたプローブの全体の構
成図である。プローブ２は円柱状のフェライトコアから
なるプローブ本体２０と検出部３０からなっている。前
記プローブ本体２０の底部２０ａに検出部３０を装着し
ている。検出部３０は、例えば、相互誘導型においては
図５に示すように、上面に励磁コイル３２が取り付けら
れ、下面に検出コイル３３が取り付けられたものであ
る。励磁コイル及び検出コイルは、多層基板を用いて一
体で形成しても、単相基板をはり合わせてもよい。ここ
でのフイルム基板３１は、ポリエステル・フイルム基板
やポリイミド・フイルム基板が用いられる。プリント基
板コイルの象限の配置は図６に示してある。この場合第
２象限，第４象限にコイル形成領域を設けてある。
【００１６】これらの励磁コイル３２及び検出コイル３
３の基板３１への形成は、エッチドフォイル法等を用い
たプリント配線により行われる。このプリント配線より
形成される渦巻状のコイル（以下、単にプリントコイル
という）３２，３３のパターンは、探傷対象に応じて適
宜に選ぶことができる。図７（Ａ）は相互誘導型の励磁
用のプリントコイル３２、（Ｂ）は検出用のプリントコ
イル３３である。又、図８は自己誘導型のコイルであ
る。先ず、検出用のプリントコイルは第２象限，第４象
限と対象な位置に配置している。そして、第１象限，第
３象限と対象な位置にプリントコイルをプリントしない
空き地を設けている。したがって、第２象限対第１象
限，第２象限対第３象限、あるいは、第４象限対第３象
限，第４象限対第１象限の磁力線の差によって材料疵を
高い感度で検出することができる。
３の基板３１への形成は、エッチドフォイル法等を用い
たプリント配線により行われる。このプリント配線より
形成される渦巻状のコイル（以下、単にプリントコイル
という）３２，３３のパターンは、探傷対象に応じて適
宜に選ぶことができる。図７（Ａ）は相互誘導型の励磁
用のプリントコイル３２、（Ｂ）は検出用のプリントコ
イル３３である。又、図８は自己誘導型のコイルであ
る。先ず、検出用のプリントコイルは第２象限，第４象
限と対象な位置に配置している。そして、第１象限，第
３象限と対象な位置にプリントコイルをプリントしない
空き地を設けている。したがって、第２象限対第１象
限，第２象限対第３象限、あるいは、第４象限対第３象
限，第４象限対第１象限の磁力線の差によって材料疵を
高い感度で検出することができる。
【００１７】前記プリントコイルの導線は、例えば、幅
が０．１ｍｍ、厚さが１８μｍになるように、前記の方
法でコイルパターンをプリント形成する。次に、図９に
よって、さらに詳しく形成方法を説明する。先ず、絶縁
性の基板３５の表面に電気銅を原料とした厚さ１８μｍ
の銅箔３６を接着剤３７によって接着し接着基板３４を
形成する（Ａ）。次に、基板３５の銅箔３６の表面に耐
酸感光剤３８を塗布する（Ｂ）。次に、コイルパターン
のネガ３９を上面に置いてアーク灯光源４０で焼付けを
し（Ｃ）、続けて、現像し、水洗いをし、ネガ３９の灯
光部の耐酸感光剤３８を除去する。こうして、ネガ３９
の透陰部に当たるところの銅箔３６の上にコイルパター
ンの耐酸被覆剤４１だけが被着状態のまま残る（Ｄ）。
次に、塩化第２鉄溶液等の腐食液で腐食させると、耐酸
被覆剤４１に被われた銅箔部分以外の銅箔部が腐食して
除去される（Ｅ）。したがって、所望のコイルパターン
だけが残されて出現する。最後に、コイル上部の耐酸被
覆剤４１を除去し、水洗し、乾燥を行なうことによって
プリントコイルができあがる（Ｆ）。さらに、これに接
続端子等の配線回路を付けておくとなおよい。
が０．１ｍｍ、厚さが１８μｍになるように、前記の方
法でコイルパターンをプリント形成する。次に、図９に
よって、さらに詳しく形成方法を説明する。先ず、絶縁
性の基板３５の表面に電気銅を原料とした厚さ１８μｍ
の銅箔３６を接着剤３７によって接着し接着基板３４を
形成する（Ａ）。次に、基板３５の銅箔３６の表面に耐
酸感光剤３８を塗布する（Ｂ）。次に、コイルパターン
のネガ３９を上面に置いてアーク灯光源４０で焼付けを
し（Ｃ）、続けて、現像し、水洗いをし、ネガ３９の灯
光部の耐酸感光剤３８を除去する。こうして、ネガ３９
の透陰部に当たるところの銅箔３６の上にコイルパター
ンの耐酸被覆剤４１だけが被着状態のまま残る（Ｄ）。
次に、塩化第２鉄溶液等の腐食液で腐食させると、耐酸
被覆剤４１に被われた銅箔部分以外の銅箔部が腐食して
除去される（Ｅ）。したがって、所望のコイルパターン
だけが残されて出現する。最後に、コイル上部の耐酸被
覆剤４１を除去し、水洗し、乾燥を行なうことによって
プリントコイルができあがる（Ｆ）。さらに、これに接
続端子等の配線回路を付けておくとなおよい。
【００１８】次に、検出コイルと増幅器との接続状況を
図１０によって説明する。（Ａ）は自己誘導自己比較方
式の場合である。励磁コイル３２の夫々の端子から電極
Ａ，電極Ｂ，電極Ｃを介して夫々の増幅器に接続し、さ
らに、差動増幅器を介して検出用回路に接続している。
又、コイル間の接続は（Ｂ）のように接続している。
図１０によって説明する。（Ａ）は自己誘導自己比較方
式の場合である。励磁コイル３２の夫々の端子から電極
Ａ，電極Ｂ，電極Ｃを介して夫々の増幅器に接続し、さ
らに、差動増幅器を介して検出用回路に接続している。
又、コイル間の接続は（Ｂ）のように接続している。
【００１９】（Ｃ）は相互誘導自己比較方式の場合であ
る。検知コイル３３は電極Ａ，電極Ｂを介して差動増幅
器に接続し、その後検出用回路に接続している。又、コ
イル間の接続は（Ｄ）のように接続している。図１１は
圧延鋼材の検査結果を示している。
る。検知コイル３３は電極Ａ，電極Ｂを介して差動増幅
器に接続し、その後検出用回路に接続している。又、コ
イル間の接続は（Ｄ）のように接続している。図１１は
圧延鋼材の検査結果を示している。
【００２０】（Ａ）は圧延鋼材の疵の状況を示してい
る。中心部のＸ軸方向（圧延方向）に延びている疵と、
コーナ部のＹ軸方向にでているコーナ割れの箇所を示し
ている。（Ｂ）〜（Ｄ）は第２の実施例と従来例のプリ
ントコイルを用いた渦流探傷装置で疵の状況を検査した
結果である。（Ｂ）は第２実施例のものである。第２実
施例においては、Ｘ軸方向の疵も、Ｙ軸方向の疵も確実
に検出されているのが解る。しかし、従来例のコイルの
場合は（Ｃ）（Ｄ）に見られるように、夫々一方向の疵
しか検出することができなかった。
る。中心部のＸ軸方向（圧延方向）に延びている疵と、
コーナ部のＹ軸方向にでているコーナ割れの箇所を示し
ている。（Ｂ）〜（Ｄ）は第２の実施例と従来例のプリ
ントコイルを用いた渦流探傷装置で疵の状況を検査した
結果である。（Ｂ）は第２実施例のものである。第２実
施例においては、Ｘ軸方向の疵も、Ｙ軸方向の疵も確実
に検出されているのが解る。しかし、従来例のコイルの
場合は（Ｃ）（Ｄ）に見られるように、夫々一方向の疵
しか検出することができなかった。
【００２１】以上述べたような、プリントコイルであれ
ば、磁気バランスやインピーダンスの特性を均一化する
ことができ高い感度での安定化が図れる。又、機械化が
できる。さらに、短時間での量産化が可能である。した
がって、コストダウンができる。そして、フイルム基板
に励磁コイルと検出コイルとを夫々形成できるので、プ
ローブの先端を非常にコンパクトにすることができる。
ば、磁気バランスやインピーダンスの特性を均一化する
ことができ高い感度での安定化が図れる。又、機械化が
できる。さらに、短時間での量産化が可能である。した
がって、コストダウンができる。そして、フイルム基板
に励磁コイルと検出コイルとを夫々形成できるので、プ
ローブの先端を非常にコンパクトにすることができる。
【００２２】上述した実施例によれば、Ｘ軸方向の検知
感度もＹ軸方向の検知感度も良好である。したがって、
圧延鋼材においても、圧延方向に延びて発生する疵と、
コーナに発生するコーナ疵を、一個のプローブで同時に
高い検出感度で検出することができる。
感度もＹ軸方向の検知感度も良好である。したがって、
圧延鋼材においても、圧延方向に延びて発生する疵と、
コーナに発生するコーナ疵を、一個のプローブで同時に
高い検出感度で検出することができる。
【００２３】又、図１２〜図１４に示しているように検
出コイル１２を巻き付けるコア１０ｃ，１０ｄを楕円形
に形成し円周の長手方向を円周方向に沿わせて配置して
もよい。さらに、図１５に示しているようにコイルを巻
き付ける楕円形コア１０ｅ，１０ｆを各楕円形の直軸が
交差する方向となるようにし、検出コイルを形成してお
くとさらによい。この場合、斜めの疵も検出できる。
出コイル１２を巻き付けるコア１０ｃ，１０ｄを楕円形
に形成し円周の長手方向を円周方向に沿わせて配置して
もよい。さらに、図１５に示しているようにコイルを巻
き付ける楕円形コア１０ｅ，１０ｆを各楕円形の直軸が
交差する方向となるようにし、検出コイルを形成してお
くとさらによい。この場合、斜めの疵も検出できる。
【００２４】そして、上記の実施例では、プローブコア
の形状を円形にて説明をしてあるが、コアの形状は角
形、矩形、三角形等何れであってもよい。又、手巻のプ
ローブコイルの励磁コイルを円形で説明しているが、検
出コイル同様にコア切欠部に８の字巻に形成してもよ
い。
の形状を円形にて説明をしてあるが、コアの形状は角
形、矩形、三角形等何れであってもよい。又、手巻のプ
ローブコイルの励磁コイルを円形で説明しているが、検
出コイル同様にコア切欠部に８の字巻に形成してもよ
い。
【図１】第１の実施例の渦流探傷用プローブの扇形励磁
コイルを示す斜視図。
コイルを示す斜視図。
【図２】第１図の励磁コイルの形成領域を示す説明図。
【図３】第１図の励磁コイルの導線の８の字巻を示す概
略図。
略図。
【図４】第２の実施例の渦流探傷用プローブを示す側面
図。
図。
【図５】第４図の検出部を示す概略図。
【図６】第４図のコイル形成領域を示す説明図。
【図７】第４図の相互誘導自己比較方式の励磁コイル、
検出コイルのコイルパターンを示す説明図。
検出コイルのコイルパターンを示す説明図。
【図８】第４図の自己誘導自己比較方式のコイルパター
ンを示す説明図。
ンを示す説明図。
【図９】第４図のプリントコイルの製作図。
【図１０】検出コイルと増幅器の接続状況の説明図。
【図１１】第２の実施例と従来例との検出結果比較の説
明図。
明図。
【図１２】他の実施例の渦流探傷用プローブの楕円形励
磁コイルを示す斜視図。
磁コイルを示す斜視図。
【図１３】図１２の励磁コイルの形成領域を示す説明
図。
図。
【図１４】図１２の励磁コイルの導電線８の字巻を示す
概略図。
概略図。
【図１５】図１２の他の楕円形コイルの配置を示す概略
図。
図。
【図１６】従来の渦流探傷用プローブを示す斜視図。
【図１７】第１６図の検知感度の高低方向を示す概略
図。
図。
１，２・・・磁気探傷用プローブ、１０・・・コア、１
１・・・励磁コイル、１２・・・検出コイル、１０ａ，
１０ｂ・・・扇形コア、１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０
ｆ・・・楕円形コア、２０・・・プローブ本体、３０・
・・検出部、３２・・・励磁コイルプリント板、３３・
・・検出コイルプリント板。
１・・・励磁コイル、１２・・・検出コイル、１０ａ，
１０ｂ・・・扇形コア、１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０
ｆ・・・楕円形コア、２０・・・プローブ本体、３０・
・・検出部、３２・・・励磁コイルプリント板、３３・
・・検出コイルプリント板。
Claims (5)
- 【請求項１】 渦流探傷用プローブコイルにおいて、プ
ローブの中心を原点とする平面の象限を４分割し、該象
限の対象な位置に検出コイルを形成してなることを特徴
とする渦流探傷用プローブコイル。 - 【請求項２】 前記検出コイルの形状を扇形とすること
を特徴とする請求項１記載の渦流探傷用プローブコイ
ル。 - 【請求項３】 前記検出コイルの形状を楕円形とするこ
とを特徴とする請求項１記載の渦流探傷用プローブコイ
ル。 - 【請求項４】 前記楕円形の検出コイルを互いに長軸が
交差するように配置したことを特徴とする請求項３記載
の渦流探傷用プローブコイル。 - 【請求項５】 前記励磁コイル及び検出コイルが夫々プ
リントコイルとして形成されることを特徴とする請求項
１〜請求項４のいずれか記載の渦流探傷用プローブコイ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7314307A JPH09152423A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 渦流探傷用プローブコイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7314307A JPH09152423A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 渦流探傷用プローブコイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09152423A true JPH09152423A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18051787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7314307A Pending JPH09152423A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 渦流探傷用プローブコイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09152423A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008458A1 (fr) * | 1998-08-06 | 2000-02-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Detecteur de defauts par courants de foucault |
| JP2007225506A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Nec Tokin Corp | 磁界検出装置 |
| JP2011064590A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Ebara Corp | 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法 |
| CN109613111A (zh) * | 2018-11-12 | 2019-04-12 | 南京航空航天大学 | 一种梯度螺旋涡流检测线圈及其检测方法 |
| CN110187004A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-08-30 | 兰州理工大学 | 一种对顶角双扇形拾取的差动涡流传感器 |
| RU2749029C1 (ru) * | 2020-02-17 | 2021-06-03 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Катушка индуктивности первичного вихретокового преобразователя перемещений электропроводящего контролируемого объекта |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP7314307A patent/JPH09152423A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008458A1 (fr) * | 1998-08-06 | 2000-02-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Detecteur de defauts par courants de foucault |
| US6501267B1 (en) | 1998-08-06 | 2002-12-31 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Eddy-current flaw detector probe |
| JP2007225506A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Nec Tokin Corp | 磁界検出装置 |
| JP2011064590A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Ebara Corp | 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法 |
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| CN109613111B (zh) * | 2018-11-12 | 2022-07-08 | 南京航空航天大学 | 一种梯度螺旋涡流检测线圈及其检测方法 |
| CN110187004A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-08-30 | 兰州理工大学 | 一种对顶角双扇形拾取的差动涡流传感器 |
| RU2749029C1 (ru) * | 2020-02-17 | 2021-06-03 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Катушка индуктивности первичного вихретокового преобразователя перемещений электропроводящего контролируемого объекта |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040706 |