JPS58153157A - 磁気探傷装置の磁気検出器 - Google Patents
磁気探傷装置の磁気検出器Info
- Publication number
- JPS58153157A JPS58153157A JP3561782A JP3561782A JPS58153157A JP S58153157 A JPS58153157 A JP S58153157A JP 3561782 A JP3561782 A JP 3561782A JP 3561782 A JP3561782 A JP 3561782A JP S58153157 A JPS58153157 A JP S58153157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- coil
- metal layer
- detector
- magnetic flux
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 241000209761 Avena Species 0.000 claims 1
- 235000007319 Avena orientalis Nutrition 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 13
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は棒鋼、鋼管などの強磁性体被検査材の表面１
九はａｍに近い部分のキズやその他の欠陥を検出する磁
気探傷装置の磁気検出器に関するものである。
九はａｍに近い部分のキズやその他の欠陥を検出する磁
気探傷装置の磁気検出器に関するものである。
鉄鋼材料の品質管層における非破壊検査機器のうちキズ
などの欠陥部からの漏洩磁束を直接磁気検出器で検出す
る方式の自動連続磁気探傷装置は磁気探傷法のように目
視検査員が要らず、また欠陥の大きさが定量的ｋかつ高
感度で検出でき、さらに被検査材が黒皮の１１オンライ
ン検査ができるなどの特長を有し、広く用いられている
。この装置の磁気検出器には従来導線を巻回したボビン
状のサーチコイルが使用されていたが、巻＃密度を余シ
高くする仁とができず、したがってキズによって生ずる
漏洩磁束との鎖交性が嵐くなく、検出感度が低い欠点が
あり、またマグネットダイオードやホール素子などの感
磁性半導体による磁気検出器は特性にパラツ中があり、
さらに湿度その他の影響を受は中すい欠点があり、また
被検査材の全面走査を効率よく行うに当ってキズの発生
しやすい軸方向に上記小形の感磁げ半導体の検出器をき
わめて多数個配列しなければならず、その個々の検出器
に直結させるキズ信号処理回路も膨大なものとなる欠点
がある。まえ上記検出器の配列において、隣合う検出−
に間隔があれば上記被検査材を回転させながら直進させ
ても検出器の走査軌跡がスパイクル状のしま模様となシ
キズ検出の不感帯が生じキズの見落しが生じることがあ
る。
などの欠陥部からの漏洩磁束を直接磁気検出器で検出す
る方式の自動連続磁気探傷装置は磁気探傷法のように目
視検査員が要らず、また欠陥の大きさが定量的ｋかつ高
感度で検出でき、さらに被検査材が黒皮の１１オンライ
ン検査ができるなどの特長を有し、広く用いられている
。この装置の磁気検出器には従来導線を巻回したボビン
状のサーチコイルが使用されていたが、巻＃密度を余シ
高くする仁とができず、したがってキズによって生ずる
漏洩磁束との鎖交性が嵐くなく、検出感度が低い欠点が
あり、またマグネットダイオードやホール素子などの感
磁性半導体による磁気検出器は特性にパラツ中があり、
さらに湿度その他の影響を受は中すい欠点があり、また
被検査材の全面走査を効率よく行うに当ってキズの発生
しやすい軸方向に上記小形の感磁げ半導体の検出器をき
わめて多数個配列しなければならず、その個々の検出器
に直結させるキズ信号処理回路も膨大なものとなる欠点
がある。まえ上記検出器の配列において、隣合う検出−
に間隔があれば上記被検査材を回転させながら直進させ
ても検出器の走査軌跡がスパイクル状のしま模様となシ
キズ検出の不感帯が生じキズの見落しが生じることがあ
る。
この発明は、以上の現況に鑑みてなされえもので、従来
の漏洩磁束検出法による磁気探傷機の検出器の欠点を解
消するものである。すなわち磁気検出器を検出したい最
小のキズの長さたとえ゛ば１゜關とか２０鳳鳳とかに合
わせて、その大きさを自在に製作で龜、上記長さのキズ
を最大感度で検出できる１１１Ｈ形ｔ−チコイルとしえ
ものであ〕、これハ電気絶縁性部材としてたとえば合成
樹脂フィルムの片ＷＪ★えは両面に鋼・鎖などの導電性
金属の薄い層を付層し、この金属層にエツチングその他
の切り込み加工によって自わめて細くかつ高密度の渦巻
状金属層を形成し、その両端に９−ド線を付して、九と
えば巻線１００〜３００回の壱−密度の高い薄膜のす一
チコイルとし九磁気検出器にかかるものであ）、さらに
上記渦巻状金属層の上面に九とえばフェライトなどｏｌ
Ｉ４透磁率板状部材を接合することＫよって漏洩磁束検
出感度を向上させた検出器に４かかるものである。この
構成によって任意の形状で、検出感度が高く、シかもそ
の性能の均一した磁気検出器が容易に製作でき、とくに
全面走査の際にはそれを複数個互いにコイルが重複する
ように連結し、不感帯のない長尺の検出器が形成でき、
効率よく探傷できるものとなる。
の漏洩磁束検出法による磁気探傷機の検出器の欠点を解
消するものである。すなわち磁気検出器を検出したい最
小のキズの長さたとえ゛ば１゜關とか２０鳳鳳とかに合
わせて、その大きさを自在に製作で龜、上記長さのキズ
を最大感度で検出できる１１１Ｈ形ｔ−チコイルとしえ
ものであ〕、これハ電気絶縁性部材としてたとえば合成
樹脂フィルムの片ＷＪ★えは両面に鋼・鎖などの導電性
金属の薄い層を付層し、この金属層にエツチングその他
の切り込み加工によって自わめて細くかつ高密度の渦巻
状金属層を形成し、その両端に９−ド線を付して、九と
えば巻線１００〜３００回の壱−密度の高い薄膜のす一
チコイルとし九磁気検出器にかかるものであ）、さらに
上記渦巻状金属層の上面に九とえばフェライトなどｏｌ
Ｉ４透磁率板状部材を接合することＫよって漏洩磁束検
出感度を向上させた検出器に４かかるものである。この
構成によって任意の形状で、検出感度が高く、シかもそ
の性能の均一した磁気検出器が容易に製作でき、とくに
全面走査の際にはそれを複数個互いにコイルが重複する
ように連結し、不感帯のない長尺の検出器が形成でき、
効率よく探傷できるものとなる。
以下図面によってこの発明の詳細な説明する。
第１図［有］■■はこの発ｑ１４ｋかかる実施例磁気検
出器の薄膜コイルの正面ならびに側面図である。図■は
コイルの形状が長方形（１）のもの、図■は検出キズの
方向がいずれの場合にも適する丸形コイルωのもの、図
■は図■と＃ｔは同じ目的に用いる正方形コイルω０４
のである。ともに電気絶縁部材（りはたとえば耐熱性・
弾力性合成樹脂として開発され、太陽電池などの基板に
用いられる窒素系の合成樹脂ボリイ建ド（商品名Ｋａｐ
ｔｏｎ）などのたとえば２０μのフィルムとし、これに
！着積層する金属層はこれも同じ＜２０μ厚の銅箔とす
る。この鋼箔表面に形成しようとする渦巻状パターンを
スクリーン印刷し、非印刷部の鋼箔をエツチングして渦
巻状導体（３）の線幅をたとえば１０μとし、その巻線
ピッチのをＪμに仕上げ、総巻数１００〜３００回（図
は簡単の丸め数回で表示している）位の巻線密度の＾い
サーチコイル（４）Ｋ仕上げる。上記渦巻パターンの製
作法はスクリーン印刷に＠らず、パターンをフィルム原
版に作成して、鋼箔の表面に焼付け、現像し、それをエ
ツチングして仕上げるフォトエツチング法でもよい。ま
た金属層は鋼箔に隈らず銀箔・金箔などの電気良導体で
あればよい。
出器の薄膜コイルの正面ならびに側面図である。図■は
コイルの形状が長方形（１）のもの、図■は検出キズの
方向がいずれの場合にも適する丸形コイルωのもの、図
■は図■と＃ｔは同じ目的に用いる正方形コイルω０４
のである。ともに電気絶縁部材（りはたとえば耐熱性・
弾力性合成樹脂として開発され、太陽電池などの基板に
用いられる窒素系の合成樹脂ボリイ建ド（商品名Ｋａｐ
ｔｏｎ）などのたとえば２０μのフィルムとし、これに
！着積層する金属層はこれも同じ＜２０μ厚の銅箔とす
る。この鋼箔表面に形成しようとする渦巻状パターンを
スクリーン印刷し、非印刷部の鋼箔をエツチングして渦
巻状導体（３）の線幅をたとえば１０μとし、その巻線
ピッチのをＪμに仕上げ、総巻数１００〜３００回（図
は簡単の丸め数回で表示している）位の巻線密度の＾い
サーチコイル（４）Ｋ仕上げる。上記渦巻パターンの製
作法はスクリーン印刷に＠らず、パターンをフィルム原
版に作成して、鋼箔の表面に焼付け、現像し、それをエ
ツチングして仕上げるフォトエツチング法でもよい。ま
た金属層は鋼箔に隈らず銀箔・金箔などの電気良導体で
あればよい。
また図■で示す長方形コイル（１）の大きさは自在に作
シうるが通常幅υが約１０１１１１’ｔ：長さ０が１０
〜３０閣が多い。上記サーチコイル（４）の両端（６）
（６）に図示しないリード線を付して仕上げる。第２
図は絶縁フィルム（２）の両面に渦巻状コイルを形成し
、この２個のコイル（４） ＜４′＞を（６）の位置で
フィルム（２）を貫通して接続し、同一方向に巻かれた
２重のコイルにして端部の引出リード（・）（７）をフ
ィルム（２）の一方の縁部Ｋｍとめたものであり、この
薄膜両面コイル（ｉｖは後述の全面走査形検出器の素子
コイルに適するものである。第３図ムＢは上記薄膜コイ
ル（１） ｏ）（１）のいずれかを用いて、被検査材（
８）のキズを探傷する状況を示す図で、図ムは図示しな
い磁化装置によって矢印の方向に磁束（９）が通ってい
るキズのない被検査材（８）の外表面（８１Ｆ）Ｋ薄膜
コイル（１）を近接させ、かつ上記被検査材（８）と薄
膜コイルとの相対位置を移動させたときリード線（５バ
６）には検出電圧（・）は零であることを示している。
シうるが通常幅υが約１０１１１１’ｔ：長さ０が１０
〜３０閣が多い。上記サーチコイル（４）の両端（６）
（６）に図示しないリード線を付して仕上げる。第２
図は絶縁フィルム（２）の両面に渦巻状コイルを形成し
、この２個のコイル（４） ＜４′＞を（６）の位置で
フィルム（２）を貫通して接続し、同一方向に巻かれた
２重のコイルにして端部の引出リード（・）（７）をフ
ィルム（２）の一方の縁部Ｋｍとめたものであり、この
薄膜両面コイル（ｉｖは後述の全面走査形検出器の素子
コイルに適するものである。第３図ムＢは上記薄膜コイ
ル（１） ｏ）（１）のいずれかを用いて、被検査材（
８）のキズを探傷する状況を示す図で、図ムは図示しな
い磁化装置によって矢印の方向に磁束（９）が通ってい
るキズのない被検査材（８）の外表面（８１Ｆ）Ｋ薄膜
コイル（１）を近接させ、かつ上記被検査材（８）と薄
膜コイルとの相対位置を移動させたときリード線（５バ
６）には検出電圧（・）は零であることを示している。
図Ｂは被検査材（８）のキズＤＯＫよって上記磁束（９
）が外表ｌ１Ｉｉ（８Ｆ）Ｋ漏洩し、この漏洩磁束（荀
がサーチコイル（４）と鎖交した状況を示し、この状態
でコイルの両端リード線（６） （６）に誘起する電圧
（・）はつぎの式であられせる。
）が外表ｌ１Ｉｉ（８Ｆ）Ｋ漏洩し、この漏洩磁束（荀
がサーチコイル（４）と鎖交した状況を示し、この状態
でコイルの両端リード線（６） （６）に誘起する電圧
（・）はつぎの式であられせる。
・ニー１１１φ／（ｌｔここで■は磁束（ｄ）が鎖交し
ているサーチコイル（４）の巻数、Ｑ）は漏洩磁束数（
１）は磁束（９）の変化を）けている時間である。
ているサーチコイル（４）の巻数、Ｑ）は漏洩磁束数（
１）は磁束（９）の変化を）けている時間である。
第４図は薄膜コイル（１）の漏洩磁束量の磁束数（ロ）
を増大する丸めコイル（４）の上面に高透磁率材料九と
えばＦ＠、Ｏ，を主成分とする金属酸化物磁心材料（フ
ェライト）の圧縮焼結板状材Ｑ◇を接着剤などにて接合
させた磁気検出器（２）である。上記フェライ） （１
１は透磁率が高いが電気抵抗率が導電性金属の１０’−
、，１０”倍大きく電気絶縁体と見なせるのでこのよう
にコイル（４）Ｋ接合することができるのである。この
性質を利用して、第５図のようにフェライ） Ｑｌを絶
縁基板としてその片面または両面上に渦巻状金属層を形
成し、サーチコイル（４）を作るととＫよって第４図同
様の検出感度の高い検出器鶴となる。
を増大する丸めコイル（４）の上面に高透磁率材料九と
えばＦ＠、Ｏ，を主成分とする金属酸化物磁心材料（フ
ェライト）の圧縮焼結板状材Ｑ◇を接着剤などにて接合
させた磁気検出器（２）である。上記フェライ） （１
１は透磁率が高いが電気抵抗率が導電性金属の１０’−
、，１０”倍大きく電気絶縁体と見なせるのでこのよう
にコイル（４）Ｋ接合することができるのである。この
性質を利用して、第５図のようにフェライ） Ｑｌを絶
縁基板としてその片面または両面上に渦巻状金属層を形
成し、サーチコイル（４）を作るととＫよって第４図同
様の検出感度の高い検出器鶴となる。
つぎＫｊｌｌＥＭ図によって被検査材が丸棒鋼中鋼管な
どのばあい、その長尺方向のキズが発生しやすく、それ
を効率良く検出する全面走査形検出器（２）を説明する
。これは上記第１図■または第２図で示し丸長方形薄膜
コイル（１）または（イ５を複数個（この例では１４個
）、被検査材（２））の細心方向く配列したものであり
、との被検査材（８）はたとえば矢印（り方向に回転さ
せながら矢印ω）方向に移動させる。
どのばあい、その長尺方向のキズが発生しやすく、それ
を効率良く検出する全面走査形検出器（２）を説明する
。これは上記第１図■または第２図で示し丸長方形薄膜
コイル（１）または（イ５を複数個（この例では１４個
）、被検査材（２））の細心方向く配列したものであり
、との被検査材（８）はたとえば矢印（り方向に回転さ
せながら矢印ω）方向に移動させる。
こめ検出器（至）の１４個の薄膜コイル（１）は千鳥形
に積層することによってサーチコイル（４）が隣シ合う
コイルごとＫ（ΔＬ）だけ重複し、その全長ＣＩ＞がた
とえば１５０■とすればその間には全く漏洩磁束の不感
帯が存在しない。このことは従来の半導体磁気検出器で
は積層することが困難であシ、平面状に千鳥形配列とな
シ前述の如く検出器が非Ｉ、に多く要る以外に実現困難
な点である。を九この検出器（１１は個々の薄膜コイル
（１）ととに図示しない信号増幅器などのキズ信号処理
回路を有しており、それぞれたとえば長さ５０Ｈｍで深
さの同じキズに対しては同等の感度でそれを検出し、個
々の検出器には感度差がない特長を有している。このた
め信号処理回路における感度設定子信号処理が容易とな
る。今、被検査＄ｔｌｌ）Ｋその軸方向のキズαｑが上
記全長（１）の１／３存在し九とき図の関係位置で、サ
ーチコイル（ＩＡ） （ＩＢ）が１００−の感度で信号
を出し、サーチコイル（１の（１功（Ｉ Ｂ’）（１つ
はほぼ６０チの感度で信号を出してその位置ならびにキ
ズの深さを検知する。これに対し、今もし全長Ｃ１＞を
１個のサーチコイルで作つえとすると同じＣ１１５）の
キズＱＱＫ対して５５−の感度でしか信号が出ない。
に積層することによってサーチコイル（４）が隣シ合う
コイルごとＫ（ΔＬ）だけ重複し、その全長ＣＩ＞がた
とえば１５０■とすればその間には全く漏洩磁束の不感
帯が存在しない。このことは従来の半導体磁気検出器で
は積層することが困難であシ、平面状に千鳥形配列とな
シ前述の如く検出器が非Ｉ、に多く要る以外に実現困難
な点である。を九この検出器（１１は個々の薄膜コイル
（１）ととに図示しない信号増幅器などのキズ信号処理
回路を有しており、それぞれたとえば長さ５０Ｈｍで深
さの同じキズに対しては同等の感度でそれを検出し、個
々の検出器には感度差がない特長を有している。このた
め信号処理回路における感度設定子信号処理が容易とな
る。今、被検査＄ｔｌｌ）Ｋその軸方向のキズαｑが上
記全長（１）の１／３存在し九とき図の関係位置で、サ
ーチコイル（ＩＡ） （ＩＢ）が１００−の感度で信号
を出し、サーチコイル（１の（１功（Ｉ Ｂ’）（１つ
はほぼ６０チの感度で信号を出してその位置ならびにキ
ズの深さを検知する。これに対し、今もし全長Ｃ１＞を
１個のサーチコイルで作つえとすると同じＣ１１５）の
キズＱＱＫ対して５５−の感度でしか信号が出ない。
以上がこの発９１１Ｋかかる実施例検出器の構成と作用
であるが、この発明は図示や説明に＠定されるものでな
いことはいうまでもない。たとえば、電気絶縁性薄膜ｉ
ボリイ電ドでなくてもそれに近い性能の他の合成樹脂の
フィルムでもよいし、ま九ＩＩＩＰＫ耐熱性のものでな
くてもよい。その厚みなども２０μＫ１１Ｉらない０こ
の発明は以上のように構成されているので、従来の感磁
性半導体の磁気検出器の欠点を解消するものである。す
なわち最小検出キズ喪さに応じて自在に大きさを決めて
巻線重度の高い薄膜サーチコイルを容易に作り得るので
、とくに全長走査のばあいの検出器数を少くする仁とが
でき、信号Ｊ６壇囲路などを含め装置が簡単廉価とな）
、ま九そのす−チコイル製作法によって巻数その麹が均
一になるので、検出器側々の検出感度に差がなく、さら
に半導体検出器に見られるような温度・振動および衝撃
による影替のない信頼性の高い検出器を提供しえたもの
である。
であるが、この発明は図示や説明に＠定されるものでな
いことはいうまでもない。たとえば、電気絶縁性薄膜ｉ
ボリイ電ドでなくてもそれに近い性能の他の合成樹脂の
フィルムでもよいし、ま九ＩＩＩＰＫ耐熱性のものでな
くてもよい。その厚みなども２０μＫ１１Ｉらない０こ
の発明は以上のように構成されているので、従来の感磁
性半導体の磁気検出器の欠点を解消するものである。す
なわち最小検出キズ喪さに応じて自在に大きさを決めて
巻線重度の高い薄膜サーチコイルを容易に作り得るので
、とくに全長走査のばあいの検出器数を少くする仁とが
でき、信号Ｊ６壇囲路などを含め装置が簡単廉価とな）
、ま九そのす−チコイル製作法によって巻数その麹が均
一になるので、検出器側々の検出感度に差がなく、さら
に半導体検出器に見られるような温度・振動および衝撃
による影替のない信頼性の高い検出器を提供しえたもの
である。
縞１図ん■■はこの発明にかかる渦巻状コイルが兼方彫
、丸形および正方形の薄膜捜索コイルの正面ならびに側
面図、第２図は両面にコイルを形成し九薄膜捜索コイル
の正面、側面、背面図、第３図■は上記第１図の薄膜捜
索コイルによって、キズのない被検葺替探傷の状態を示
す断面図、図■は上記被検査材のキズを検出する状態を
示す同じく断面図、第４図はこの発明Ｋかかる実施例の
一つとしての高感度検出器の断面図、第５図は同じく別
の実施例の高感度検出器の側面図、第６図■は全面走査
用積層形検出器の正面図、図■は上記図■の検出器の側
面図ならびＫその作用を説明する図である。 （１） （１５（１）（ｉｉ ｈ−・・漏洩磁束捜索コ
イル（２）・・・電気絶縁性薄膜 （４）・・・渦巻状
導電金属層（渦巻状コイル） （５） （６） （７
）・・・上記渦巻状金属層の両端末（リード線引出部） （８）・・・磁性体被検査材 （８ＩＰ）・・・被検査
材の外表面 （９）・・・被検査材（８）内を通る磁束
（ｄ）・・・被検査材（旬の欠陥により表面（ＢＦ）４
Ｃあられれる漏洩磁束 ＱＯ・・・被検査材（船の表面または表面に近いキズや
欠陥 Ｑや・・・＾透磁率の板状部材
、丸形および正方形の薄膜捜索コイルの正面ならびに側
面図、第２図は両面にコイルを形成し九薄膜捜索コイル
の正面、側面、背面図、第３図■は上記第１図の薄膜捜
索コイルによって、キズのない被検葺替探傷の状態を示
す断面図、図■は上記被検査材のキズを検出する状態を
示す同じく断面図、第４図はこの発明Ｋかかる実施例の
一つとしての高感度検出器の断面図、第５図は同じく別
の実施例の高感度検出器の側面図、第６図■は全面走査
用積層形検出器の正面図、図■は上記図■の検出器の側
面図ならびＫその作用を説明する図である。 （１） （１５（１）（ｉｉ ｈ−・・漏洩磁束捜索コ
イル（２）・・・電気絶縁性薄膜 （４）・・・渦巻状
導電金属層（渦巻状コイル） （５） （６） （７
）・・・上記渦巻状金属層の両端末（リード線引出部） （８）・・・磁性体被検査材 （８ＩＰ）・・・被検査
材の外表面 （９）・・・被検査材（８）内を通る磁束
（ｄ）・・・被検査材（旬の欠陥により表面（ＢＦ）４
Ｃあられれる漏洩磁束 ＱＯ・・・被検査材（船の表面または表面に近いキズや
欠陥 Ｑや・・・＾透磁率の板状部材
Claims (1)
- １磁性体被検査材を畿化し、その表面にあられれる漏洩
磁束の強度を測定し、前記被検査材のキズその他の欠陥
を検出する検出器において、電気絶縁性薄膜の面に導電
性金属層を付層゛し、この金属層に化学的★九祉物場的
切り込み加工を施し、繊＃＆＃条が高密度に巻かれ九渦
巻′状金属層を形成し、これを前記漏洩磁束捜索−膜コ
イルとしてなる磁気探傷装置の磁気検出器０２表面に高
透磁率の板状部材を接合してなる特許請求ｏａｔｓ第１
項記載Ｏ磁気探傷装置の磁気検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3561782A JPS58153157A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 磁気探傷装置の磁気検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3561782A JPS58153157A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 磁気探傷装置の磁気検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58153157A true JPS58153157A (ja) | 1983-09-12 |
Family
ID=12446804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3561782A Pending JPS58153157A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | 磁気探傷装置の磁気検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58153157A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002033398A1 (fr) * | 2000-10-18 | 2002-04-25 | Kawasaki Steel Corporation | Capteur de fuites magnetiques d"un appareil de penetration magnetique |
| US7688067B2 (en) | 2002-01-17 | 2010-03-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Probe for electrical measurement methods and use of a flexible probe for production of a rigid probe |
| JP2017125709A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 新日鐵住金株式会社 | 漏洩磁束探傷装置 |
| JP2018009873A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社Ihi | 探触子およびこれを備えた漏洩磁束探傷装置 |
| JP2018009874A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社Ihi | 磁気探触子 |
-
1982
- 1982-03-05 JP JP3561782A patent/JPS58153157A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002033398A1 (fr) * | 2000-10-18 | 2002-04-25 | Kawasaki Steel Corporation | Capteur de fuites magnetiques d"un appareil de penetration magnetique |
| JP2002195984A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-07-10 | Kawasaki Steel Corp | 磁気探傷装置の漏洩磁気検出センサ |
| US6774627B2 (en) | 2000-10-18 | 2004-08-10 | Kawasaki Steel Corporation | Leak magnetism detection sensor for magnetic flaw detection system |
| US7688067B2 (en) | 2002-01-17 | 2010-03-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Probe for electrical measurement methods and use of a flexible probe for production of a rigid probe |
| JP2017125709A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 新日鐵住金株式会社 | 漏洩磁束探傷装置 |
| JP2018009873A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社Ihi | 探触子およびこれを備えた漏洩磁束探傷装置 |
| JP2018009874A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社Ihi | 磁気探触子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60142246A (ja) | 半導電材料又は導電材料の表面領域及び表面下領域の欠陥を検出するための装置、及びそのための方法 | |
| US5510709A (en) | Eddy current surface inspection probe for aircraft fastener inspection, and inspection method | |
| US5389876A (en) | Flexible eddy current surface measurement array for detecting near surface flaws in a conductive part | |
| US8704513B2 (en) | Shielded eddy current coils and methods for forming same on printed circuit boards | |
| US7518360B2 (en) | Hybrid wound/etched winding constructs for scanning and monitoring | |
| US7098655B2 (en) | Eddy-current sensor with planar meander exciting coil and spin valve magnetoresistive element for nondestructive testing | |
| US20050007108A1 (en) | Probes and methods for detecting defects in metallic structures | |
| EP1600769A1 (en) | Omni-directional eddy current probe | |
| JP2909807B2 (ja) | 超伝導量子干渉素子磁束計および非破壊検査装置 | |
| JP2006177949A (ja) | 渦電流探触子および渦電流アレイ探触子 | |
| US9322806B2 (en) | Eddy current sensor with linear drive conductor | |
| EP0228177A2 (en) | Flexible eddy-current coil and coil array for nondestructive testing | |
| JP5215303B2 (ja) | 分離した放射／受信機能により導電部の渦電流検査を行う方法及びデバイス | |
| CN111189908A (zh) | 一种仿形柔性阵列涡流探头及检测方法 | |
| WO2003091655A1 (fr) | Procede de verification de metaux et dispositif de verification de metaux | |
| JPH0771905A (ja) | 核燃料棒に析出した強磁性物質の厚みを決定する方法 | |
| JP3055374B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法 | |
| JPS58153157A (ja) | 磁気探傷装置の磁気検出器 | |
| JP7351332B2 (ja) | 渦流探傷用プローブ、探傷方法および渦流探傷装置 | |
| US9410930B2 (en) | Method for manufacturing a testing head of a non-destructive testing sensor based on eddy currents | |
| JP3055375B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの方向識別方法 | |
| Touil et al. | Simple Giant Magnetoresistance Probe Based Eddy Current System of Defect Characterization for Non-Destructive Testing | |
| JP3673392B2 (ja) | 電磁超音波探傷装置 | |
| Yamada et al. | Application of ECT technique for inspection of bare PCB | |
| JPH07167839A (ja) | 電磁誘導探傷用検査コイルおよび探傷方法 |