JP2006177949A

JP2006177949A - 渦電流探触子および渦電流アレイ探触子

Info

Publication number: JP2006177949A
Application number: JP2005362564A
Authority: JP
Inventors: Changting Wang; チャンティン・ワン; Yuri A Plotnikov; ユリ・アレクセイヴィッチ・プロトニコフ; William S Mcknight; ウィリアム・スチュワート・マックナイト; Shridhar Champaknath Nath; シュリドハル・チャンパクナス・ナス; Gigi O Gambrell; ジジ・オリーブ・ギャンブレル; Mottito Togo; モッティット・トゴ; William Andrew Hennessy; ウィリアム・アンドリュー・ヘネシー; John William Ertel; ジョン・ウィリアム・アーテル; Shyamsunder Tondanur Mandayam; シャマサンダー・トンダヌール・マンダヤム
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 2004-12-22
Filing date: 2005-12-16
Publication date: 2006-07-06
Also published as: EP1674860A3; US20060132123A1; EP1674860A2; US20070222439A1

Abstract

【課題】径方向、軸方向または円周方向の表面のクラックに対して、向上したより均一の感度を有し、配列を横切るチャネル間の変化を減少させる渦電流アレイ探触子を提供すること。
【解決手段】強化された駆動コイル構成を有するいくつかの渦電流アレイ探触子（ＥＣＡＰ）が説明される。１つの配列では、ＥＣＡＰ（１０）は、複数のＥＣチャネル（１２）と駆動コイル（１４）を備える。各駆動コイルは、ＥＣチャネルのそれぞれに設けられている。駆動コイルは隣接する駆動コイルに対して交互に異なる極性を有する。１つの例では、複数の走査ならびに配列の構成において傷を検出するために、少なくとも１つの基板（３２）と基板上に配列されたいくつかの感知コイル（１６、１８）および感知コイルのすべてを包囲する駆動コイル（１４）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、一般に渦電流検査に関し、より詳細には導体材料の非破壊検査用渦電流アレイ探触子に関する。

渦電流検査は、表面の傷に関しての導体材料の非破壊検査のために一般に使用される技術である。渦電流検査は、電磁誘導の原理に基づき、電流を導通させる駆動コイルが１次磁場を発生させることによって、検査試料内に渦電流を誘導する。そのように誘導された渦電流は、第２の磁場を発生させ、その磁場は感知コイル内に電位差を誘導し、それによって信号を発生させ、その信号はさらに傷の検出のために分析される。たとえば、検査試料内のクラックまたは不連続などの傷の場合、検査試料内の渦電流の流れが変化し、したがって、感知コイル内に誘導された信号を変化させる。この信号での偏りは傷を指し示すために使用される。

従来の渦電流アレイ探触子（ＥＣＡＰＳ）は、ＥＣＡＰの走査方向に対して垂直に整列しているクラックについては検出感度が限られていた。特に、隣接したチャネル間での渦電流（ＥＣ）の検出は、従来のＥＣＡＰにでは問題点であった。しかし、圧縮機のディスク板や航空機の車輪、その他の回転する幾何学形状物に関して、径方向のクラックは一般に、ＥＣＡＰの走査方向に対して垂直の向きになっている。要約すると、従来の配列では、感知領域に渡って感度変化があるような場合には、欠陥検出が弱くなる点が存在するのである。
米国特許第５，３８９，８７６号米国特許第５，２６２，７２２号２００４年５月２７日に出願された係属米国特許出願第１０／８５６，３８１号、ＣｈａｎｇｔｉｎｇＷａｎｇら、「ＯＭＮＩ−ＤＩＲＥＣＴＩＯＮＡＬＥＤＤＹＣＵＲＲＥＮＴＰＲＯＢＥＡＮＤＩＮＳＰＥＣＴＩＯＮＳＹＳＴＥＭ」（ＧＥ整理番号１４３８０５）

したがって、径方向、軸方向または円周方向の表面のクラックに対して、向上した、より均一の感度を有する渦電流アレイ探触子を提供することが望ましい。また、その配列を横切るチャネル間変化を減少させることがさらに望ましい。

本発明の１つの態様は、いくつかのＥＣチャネルおよびいくつかの駆動コイルを備える渦電流（ＥＣ）探触子にある。各駆動コイルは、ＥＣチャネルのそれぞれに設けられている。駆動コイルは、隣接する駆動コイルに対して交互に異なる極性を有する。

本発明の別の態様は、構成材料を検査する渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）にある。ＥＣＡＰは、少なくとも１つの基板、基板上に配列されたいくつかの感知コイル、および感知コイルのすべてを取り囲む駆動コイルを備える。駆動コイルは、感知コイルの付近に探触磁場（ｐｒｏｂｉｎｇｆｉｅｌｄｓ）を発生させるように構成され、感知コイルは探触磁場に応答して構成材料内に発生される渦電流に対応する応答信号を発生させるように構成されている。

本発明の別の態様は、構成材料を検査する渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）にある。ＥＣＡＰは、少なくとも１つの基板、および基板上に配列されたいくつかの感知コイルを備える。感知コイルは、少なくとも２つの列に配列されている。ＥＣＡＰはさらに、列の間に配置された、列の組ごとに少なくとも１つの駆動ラインを備える。各駆動ラインは、列のそれぞれの組の付近に探触磁場を発生させるように構成されている。感知コイルは、探触磁場に応答して構成材料内に発生される渦電流に対応する応答信号を発生させるように構成されている。

本発明のこれらの、およびその他の特徴、態様、および利点は、複数の図面を通して同様の符号が同様の部分を表わす添付の図面を参照して以下の詳細な説明を読めばより良く理解されるであろう。

本発明の第１の渦電流（ＥＣ）探触子１０の実施形態が、図１から図３を参照して説明される。たとえば図１に示すように、ＥＣ探触子１０は、いくつかのＥＣチャネル１２およびいくつかの駆動コイル１４を備える。各駆動コイル１４は、ＥＣチャネル１２のそれぞれに設けられている。ＥＣ探触子１０は、ＥＣチャネル１２とこれに関連する駆動コイル１４とを何個備えてもよく、この個数は、用途に基づいて変わる。図１に矢印で示されたように、駆動コイル１４は、隣接する駆動コイル１４に対して交互に異なる極性を有する。図１の矢印は、駆動コイル１４に関する例示の電流方向を示す。駆動コイル１４が交互に異なる極性を有することによって、隣接する駆動コイル１４内の電流（矢印によって示す）は、反対方向の電流を有する隣接する一組の駆動コイル１４間のバウンダリ３５付近では、同じ方向に流れることになる。この平行な電流は、界面３５付近において磁場の建設的な重ね合わせを生じさせ、それによって、界面３５付近の渦電流密度を強化し、それによってＥＣ探触子１０の感度を上昇させる。

図１に示す例示の実施形態に関して、各ＥＣチャネル１２は、第１の感知コイル１６および第２の感知コイル１８を備える。図示のように、第１の感知コイル１６は１つの極性を有し、それに対応する第２の感知コイル１８は反対の極性を有する。極性は、＋および−符号で示され、図１に示す＋および−符号を有する感知コイルの配列は例示のものである。たとえば、感知コイルの極性は、反対にもできる。各駆動コイル１４は、第１および第２の感知コイル１６、１８の付近でそれぞれのＥＣチャネル１２に対して探触磁場を発生させるように構成されている。図１の例示の実施形態に関して、各駆動コイル１４は、第１および第２の感知コイル１６、１８の周囲に延在し、それによってそれぞれのＥＣチャネル１２を形成する。

たとえば、図１に示すように、第１の感知コイル１６および第２の感知コイル１８のそれぞれは、走査方向（ｘ）に沿って配置され、ＥＣチャネル１２は、走査方向（ｘ）と実質的に垂直な配列方向（ｙ）に沿う配列を形成する。「実質的に垂直である」ということは、配列方向および走査方向が、互いに対して約７５度と１０５度の間の角度に向けられていることを意味する。図１の例では、走査方向および配列方向（ｘ、ｙ）は垂直である（９０度）。図１で、ＥＣチャネル１２は完全に、配列方向（ｙ）に沿って整列され示されているが、ＥＣチャネル１２は、たとえば図４に示すように互いに対してずれていてもよい。

動作上、駆動コイル１４は、磁束（探触磁場）を励起し発生させる。導電性材料２６（図２の側面図に例示する）へ磁場が流入することにより、構成材料２６の表面上に渦電流が発生され、それによって第２の磁場が発生される。表面の傷がある場合（図示せず）、この第２の磁場は、傷が存在しない場合における通常の方向から、傷の向きに一致する方向に偏る。この偏った第２の磁場は、感知コイル１６、１８内で対応する信号（感知信号）を発生させ、それによって表面の傷の存在を示す。上述したように、走査方向に垂直なクラック２８は、従来の探触子を使用しては、検出し定量化するのが困難である。しかし、本実施形態のＥＣ探触子１０は、チャネルの向きおよび隣接する駆動コイル１４の交互に異なる極性により、強化された信号強度をもたらすので、それによって走査方向（Ｘ）に対して垂直の向きのクラックの、検出および定量化を可能にする。

図１に示す例示のＥＣ探触子１０は、矩形の形状を有する。言い換えれば、各第１および第２の感知コイル１６、１８は矩形であり、各ＥＣチャネル１２は矩形であり、また各駆動コイル１４は矩形である。有益なことに、駆動コイル１４内の電流が界面３５のところで駆動コイルの全長に沿って平行であるので、矩形の形状は、隣接する駆動コイル１４によって界面３５付近で発生される磁場の建設的な重ね合わせを強化する。しかし、平行四辺形などのその他の多角形の形状も使用できる。

図２に示す例示の実施形態に関して、ＥＣ探触子１０は、いくつかの可撓性の基板３２および駆動コイル１４を備え、感知コイル１６、１８は、異なる基板の上に形成される。駆動コイルは、１つまたはいくつかの基板上に形成することができ、感知コイル１６、１８は１つまたはいくつかの基板上に形成することができる。ＥＣ探触子１０は、さらにコイル１６、１８、１４を保護するための保護層３８を備えることができる。基板３２および保護層３８は、可撓性有機ポリマーなどの可撓性材料から望ましく形成される。例示の可撓性有機ポリマーはポリイミドであり、その一例は、デラウェア州ウィルミントンのＥ．Ｉ．ｄｕＰｏｎｔｄｅＮｅｍｏｕｒｓａｎｄＣｏｍｐａｎｙの連邦政府による登録商標であるＫＡＰＴＯＮ（登録商標）である。例示の基板３２は、約２５μｍから約１００μｍの厚さ、たとえば２５μｍの厚さを有するＫＡＰＴＯＮ（登録商標）の基板である。有利なことに、可撓性の基板は加工し易く、頑丈である。感知および駆動コイルは、導体材料で形成され、その例には銅、銀、金および白金が含まれる。コイルは、フォトリソグラフィ技術を使用して形成することができ、それは小さな寸法で精密さおよび均一性を達成することができる。例示の製造工程の概要は、本願の譲受人に譲渡されたＨｅｄｅｎｇｒｅｎ等の「Ｆｌｅｘｉｂｌｅｅｄｄｙｃｕｒｒｅｎｔｓｕｒｆａｃｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｒｒａｙｆｏｒｄｅｔｅｃｔｉｎｇｎｅａｒｓｕｒｆａｃｅｆｌａｗｓｉｎａｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｐａｒｔ」という米国特許第５，３８９，８７６号に提示されている。

ＥＣ探触子１０は、第１および第２の感知コイル１６、１８のそれぞれを動作的に接続する電気接続部２０を備える。差動感知（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌｓｅｎｓｉｎｇ）の実施形態に関して、電気接続部２０は差動感知を行うように構成されている。絶対感知（ａｂｓｏｌｕｔｅｓｅｎｓｉｎｇ）の実施形態に関して、電気接続部２０は絶対感知を行うように構成することができる。例示の電気接続部２０は、最も下のＥＣチャネル１２のみについて図１に示される。電気接続部２０は、基板上に形成され、そして、基板３２の間を延在することができ、たとえば高密度相互接続（ＨＤＩ）技術を使用して、銅、銀、金および白金などの導体材料から形成することができる。

１つのＥＣチャネル１２に関連した駆動コイル１４によって発生される探触磁場に加えて、そのＥＣチャネル１２によって検査されている構成材料２６のその部分は、隣接する駆動コイル１４の探触磁場によっても影響を受ける。したがって、補正の措置を行わないと、ＥＣ探触子１０内の最初のおよび最後のＥＣチャネル１２によって検査されている構成材料２６のその部分は、中間のＥＣチャネル１２によって感知されるのと同様の探触磁場を感知しない。それは、これら最初と最後のＥＣチャネル１２の各々が隣接するＥＣチャネル１２を１つだけ有する一方で、その他の各ＥＣチャネル１２が隣接するＥＣチャネルを２つ有することによるからである。便宜上、図１および３に表わすＥＣ探触子１０は、ＥＣチャネル１２を３つだけ有する。しかし、ＥＣ探触子１０は、ＥＣチャネル１２を何個でも、たとえば２４個のＥＣチャネル１２を備えることができる。この不均衡に対して補正するために、図３に示すＥＣ探触子１０はさらに、一組の補正用駆動コイル２２、２４を備える。第１の補正用駆動コイル２２が、ＥＣチャネル１２の第１端部２３に配置され、第２の補正用駆動コイル２４がＥＣチャネル１２の第２端部２５に配置されている。各補正用駆動コイル２２、２４は、探触磁場を発生させるように構成されている。有益なことに、補正用駆動コイル２２、２４は、最初のおよび最後のＥＣチャネル１２の感度を向上させる。

渦電流アレイ探触子（ＥＣＡＰ）１０が図１から図３を参照して説明される。図３に示すように、ＥＣＡＰ１０は、それぞれが第１の感知コイル１６および第２の感知コイル１８を備えるいくつかのＥＣチャネル１２を有する。図１に示すように、感知コイル１６、１８は異なる極性を有し、走査方向（ｘ）に沿って互いに対して配置されている。ＥＣチャネル１２は、実質的に走査方向（ｘ）に垂直な配列方向（ｙ）に沿った向きの配列を形成する。ＥＣＡＰ１０はさらに、いくつかの駆動コイル１４を備え、各駆動コイルは、それぞれのＥＣチャネル１２を備え、第１および第２の感知コイル１６、１８の付近でそれぞれのＥＣチャネル１２の探触磁場を発生させるように構成されている。図１に示すように、駆動コイル１４は、隣接する駆動コイル１４に対して交互に異なる極性を有する。１つの実施例に関して、駆動コイルのすべては、１つの電源で駆動されるように直列に接続されている。別の特定の１つの実施形態によれば、ＥＣＡＰ１０はさらに、第１および第２の感知コイル１６、１８のそれぞれを動作的に接続する電気接続部２０を備え、各駆動コイル１４は第１および第２の感知コイル１６、１８の周囲を延びそれぞれのＥＣチャネル１２を形成する。差動感知の実施形態に関して、電気接続部２０は、差動感知を行うように構成されている。言い換えれば、いくつかの差動感知信号を発生させるように応答信号が処理される。作動感知信号が分析されて、径方向のクラック２８が構成材料２６内に存在するかどうか決定することができる。

図１および図３の矩形の構成に関して、各第１および第２の感知コイル１６、１８は矩形であり、各ＥＣチャネル１２は矩形であり、また各駆動コイル１４は矩形である。矩形の構成は、隣接する駆動コイル１４によって発生される磁場の重ね合わせを向上させ、それによりＥＣＡＰ１０の感度を向上させる。

本明細書では、用語「径方向のクラック」は、ＥＣ探触子の走査方向（ｘ）に実質的に垂直の向きになったクラックを意味すると理解されるべきである。「実質的に垂直」とは、放射状のクラックが走査方向（ｘ）に対して７５度から１０５度の範囲内の角度の向きになっていることを意味する。たとえば、図１に示す例示のクラック２８は、走査方向（ｘ）に対して９０度の向きになっている。「軸方向または円周方向のクラック」は、ＥＣ探触子の走査方向（ｘ）に実質的に平行の向きになったクラックを意味すると理解されるべきである。「実質的に平行」は、軸方向または円周方向のクラックが走査方向（ｘ）に対して−１５度から１５度の角度の範囲内の向きになっていることを意味する。

径方向のクラック２８は、従来の探触子の隣接したチャネル間で感度が変化するので、探触子の構成を使用して検出するのが困難である可能性がある。しかし、交互に異なる極性の探触磁場を使用することによって、磁場は隣接したチャネル間の界面３５付近で建設的に（ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅｌｙ）加わる。この重ねあわせは、界面３５付近の渦電流の密度および均一性を高め、この領域でのより高い均一性をもたらし、感度を上昇させ、それによってより優れた傷の検出を可能にする。

傷の検出のための、本発明の別のＥＣＡＰ４０の実施形態が図５を参照して説明される。たとえば図５に示すように、ＥＣＡＰ４０は、少なくとも１つの基板３２、少なくとも１つの基板３２上に配置されたいくつかの感知コイル１６、１８、および感知コイル１６、１８のすべてを包囲する駆動コイル１４を備える。駆動コイル１４は、感知コイル１６、１８の付近で探触磁場を発生させるように構成され、感知コイル１６、１８は、探触磁場に応答して構成材料２６内で発生される渦電流に対応する、いくつかの応答信号を発生させるように構成されている。本明細書では、用語「包囲する」は、Ｈｅｄｅｎｇｒｅｎ等の「Ｆｌｅｘｉｂｌｅｅｄｄｙｃｕｒｒｅｎｔｓｕｒｆａｃｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｒｒａｙｆｏｒｄｅｔｅｃｔｉｎｇｎｅａｒｓｕｒｆａｃｅｆｌａｗｓｉｎａｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｐａｒｔ」という名称の米国特許第５，３８９，８７６号に教示される公知の蛇行駆動コイル（ｓｅｒｐｅｎｔｉｎｅｄｒｉｖｅｃｏｉｌ）構成と対象的に、駆動コイル１４がたとえば図５に示すように、基本的に閉ループで感知コイルの周囲に延びることを意味すると理解されるべきである。例示の蛇行駆動コイル構成は、Ｈｅｄｅｎｇｒｅｎ等の図１および４に示される。図５の例示の実施形態に関して、感知コイル１６、１８はいくつかのＥＣチャネル１２として配置されている。各ＥＣチャネル１２は、第１および第２の感知コイル１６、１８から形成されており、図５に示すように、第１の感知コイルは、コイル巻き（ｃｏｉｌｗｉｎｄｉｎｇｓ）の方向によって第２の感知コイルと極性が異なる。より具体的には、たとえば図５に示すように、ＥＣチャネル１２はいくつかの列３４に配列され、駆動コイル１４は列３４のすべてを包囲する。

図５の配列は、感度も均一性も向上させ、ＥＣチャネルごとに個々の駆動コイルを備える構成と比較して、傷が特性に合う（ｅｎｃｏｕｎｔｅｒ）場合への依存がより少ないことで、配列を横切るチャネル間の感度の変化を減少させ、画像処理に関するフットプリント（ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ）を簡単化する。図５の例示の実施形態に関して、一方の列３４のＥＣチャネル１２は、他方の列３４のＥＣチャネルに対して食い違いに配置にされる（ｓｔａｇｇｅｒｅｄ）。有益なことに、この食い違い配置は、補足的なまたは冗長の感知をもたらす。

本発明のライン駆動（ｌｉｎｅ−ｄｒｉｖｅ）渦電流ＥＣＡＰ６０の実施形態が図６を参照して説明される。たとえば図６に示すように、ＥＣＡＰ６０は少なくとも１つの基板３２を備え、いくつかの感知コイル１６、１８は少なくとも１つの基板上に配列され、その基板で感知コイル１６、１８は少なくとも２つの列３４に配列されている。ＥＣＡＰ６０は、さらに少なくとも１つの駆動ライン３６を備える。図６の配列に関して、１つの駆動ライン３６は、列３４の組ごとに設けられ、それぞれの列３４の間に配置されている。各駆動ライン３６は、それぞれの列３４の組の付近で探触磁場を発生させるように構成され、感知コイル１６、１８は、探触磁場に応答して構成材料２６内で発生される渦電流に対応するいくつかの応答信号を発生させるように構成されている。図６の配列は、ＥＣチャネルごとに個々の駆動コイルを備える構成と比較して、感度の均一性を向上させる。さらに、図６の配列は、図５の構成と比べて回路構成およびフットプリントをより簡単にする。

多層式の実施形態に関して、図２に対して上記に論じたように、ＥＣＡＰ６０は、いくつかの可撓性基板３２を備え、その場合、駆動ライン３６が感知コイル１６、１８の列３４が配列されているのと異なる基板３２上に配置されている。あるいは、少なくとも１つの駆動ライン３６、および少なくとも１つの列３４が同じ基板３２上に形成される。

図６の構成に関して、感知コイル１６、１８は、上記のいくつかのＥＣチャネル１２として配列される。図示のように、ＥＣチャネル１２は、複数の列３４に形成され、１つの列３４のＥＣチャネル１２は、別の列のＥＣチャネルに対して食い違い配置にされる。この食い違い配置は、補足的な感知をもたらす。

上述したように、ＥＣＡＰ６０は、感知コイルの列の組ごとに少なくとも１つの駆動ライン３６を有する。図７に示す構成に関して、ＥＣＡＰ６０は３つの駆動ライン３６を有する。図示のように、駆動ライン３６の１つは、感知コイル１６、１８の列３４、３８の間に配列されている。駆動ライン３６の１つは列の上に配置され、駆動ラインのもう１つは列の下に配置される。図７の例示の構成に関して、３つの駆動ライン３６が共通の電源ライン４２から駆動される。あるいは、接続ライン４４は取り外され、駆動ライン３６は別々の電源（図示せず）によって駆動することができる。

本発明のいくつかの特徴のみを本明細書内に図示し説明してきたが、当分野の技術者には多くの修正形態および変更が思いつくであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神の中に収まるそうしたすべての修正形態および変更を包含することが意図されることを理解されたい。

本発明の第１の渦電流探触子の実施形態の上面図である。線Ａ−Ａに沿った図１の渦電流探触子の例示の側面図である。補正用駆動コイルを備える図１および２の渦電流探触子の上面図である。互いに対してずれているＥＣチャネルを有する例示の渦電流探触子の上面図である。感知コイルのすべてを包囲する駆動コイルを有する渦電流アレイ探触子の上面図である。形づけられた渦電流の磁場を生じ、その磁場がライン駆動の渦電流アレイ探触子と呼ばれている、本発明の１つの実施形態を示す図である。一組の列の感知コイルに対して３つの駆動ラインが設けられた、図６の渦電流アレイ探触子の実施形態の別の態様を示す図である。

符号の説明

１０ＥＣ探触子
１２ＥＣチャネル
１４駆動コイル
１６第１の感知コイル
１８第２の感知コイル
２０電気接続部
２２補正用駆動コイル
２３第１端部
２４補正用駆動コイル
２５第２端部
２６構成材料
２８例示の亀裂
３２可撓性の基板
３４列
３５界面（バウンダリ）
３６駆動ライン
３８列
４０ＥＣＡＰ（渦電流アレイ探触子）
４２共通の電源ライン
４４接続ライン
６０ＥＣＡＰ（渦電流アレイ探触子）

Claims

各々が、第１の感知コイル（１６）と第２の感知コイル（１８）を備え、前記第１の感知コイルが１つの極性を有し、前記第２の感知コイルが反対の極性を有する、複数のＥＣチャネル（１２）と、
複数の駆動コイル（１４）であって、前記駆動コイルの各々は前記各ＥＣチャネルのそれぞれに設けられ、前記駆動コイルが、隣接する駆動コイルに対して交互に異なる極性を有し、前記各駆動コイルが、前記第１および第２の感知コイル付近で前記ＥＣチャネルのそれぞれに対して探触磁場を発生させるように構成された、複数の駆動コイル（１４）とを備える渦電流（ＥＣ）探触子（１０）。
前記各駆動コイル（１４）が、前記第１および第２の感知コイル（１６、１８）の周囲に延び、それによって前記ＥＣチャネル（１２）のそれぞれを形成し、前記第１の感知コイルおよび前記第２の感知コイルのそれぞれが互いに対して走査方向（ｘ）に沿って配置され、前記ＥＣチャネルが前記走査方向（ｘ）と実質的に垂直な配列方向（ｙ）に沿って向けられた配列を形成することを特徴とする請求項１記載のＥＣ探触子（１０）。
一組の補正用駆動コイル（２２、２４）であって、第１の前記補正用駆動コイル（２２）が、前記ＥＣチャネル（１２）の第１端部（２３）に配置され、第２の前記補正用駆動コイル（２４）が、前記ＥＣチャネルの第２端部（２５）に配置され、前記補正用駆動コイルのそれぞれが探触磁場を発生させるように構成された、一組の補正用駆動コイル（２２、２４）をさらに備え、
前記第１および第２の感知コイル（１６、１８）のそれぞれが矩形であり、前記各ＥＣチャネルが矩形であり、また前記各駆動コイル（１４）が矩形であることを特徴とする請求項２記載のＥＣ探触子（１０）。
前記第１および第２の感知コイル（１６、１８）のそれぞれを動作的に接続し、差動感知および絶対感知のうちの少なくとも１つを行うように構成された複数の電気接続部（２０）をさらに備えることを特徴とする請求項２記載のＥＣ探触子（１０）。
構成材料（２６）を傷に関して検査するための渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）（４０）であって、前記ＥＣＡＰが、
少なくとも１つの基板（３２）と、
前記少なくとも１つの基板上に配列された複数の感知コイル（１６、１８）と、
前記感知コイルのすべてを包囲する駆動コイル（１４）とを備え、前記駆動コイルは、前記感知コイルの付近で探触磁場を発生させるように構成され、前記感知コイルが探触磁場に応答して構成材料内で発生される複数の渦電流に対応する複数の応答信号を発生させるように構成された、渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）（４０）。
複数の可撓性の基板（３２）を備え、前記駆動コイル（１４）が、前記感知コイル（１６、１８）が形成されるのと異なる前記可撓性基板上に形成されることを特徴とする請求項５記載のＥＣＡＰ（４０）。
前記感知コイルが、複数のＥＣチャネル（１２）として配列され、前記各ＥＣチャネルが、第１および第２の前記感知コイル（１６、１８）を備え、第１の前記感知コイルが前記第２の感知コイルと極性で異なり、前記ＥＣチャネルが複数の列（３４）に配列され、前記駆動コイルが前記列のすべてを包囲することを特徴とする請求項５記載のＥＣＡＰ（４０）。
構成材料（２６）を傷に関して検査するための渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）（６０）であって、前記ＥＣＡＰが、
少なくとも１つの基板（３２）と、
前記少なくとも１つの基板上に配列された複数の感知コイル（１６、１８）であって、前記感知コイルが少なくとも２つの列（３４、３８）に配置された複数の感知コイル（１６、１８）と、
少なくとも１つの駆動ライン（３６）とを備え、１つの駆動ラインが列の組みごとに設けられ前記列の間に配置され、前記各駆動ラインが前記列の組の付近で探触磁場を発生させるように構成され、前記感知コイルが、前記探触磁場に応答して前記構成材料内で発生される複数の渦電流に対応する複数の応答信号を発生させるように構成された、渦電流（ＥＣ）アレイ探触子（ＥＣＡＰ）（６０）。
複数の可撓性基板（３２）を備え、前記駆動ライン（３６）および感知コイル（１６、１８）の前記列（３４）が異なる前記可撓性基板上に配置され、前記感知コイルが複数のＥＣチャネル（１２）として配置され、前記各ＥＣチャネルが第１のおよび第２の前記感知コイルを備え、第１の前記感知コイルが第２の前記感知コイルと極性で異なり、一方の前記列の前記ＥＣチャネル１２が、他方の前記列の前記ＥＣチャネルに対して食い違い配置にされたことを特徴とする請求項８記載のＥＣＡＰ（６０）。
少なくとも３つの駆動ライン（３６）を備え、前記起動ラインの１つが、感知コイル（１６、１８）の前記列（３４、３８）の間に配列され、前記駆動ラインの１つが前記列の上に配置され、前記駆動ラインのもう１つが前記列の下に配置されることを特徴とする請求項８記載のＥＣＡＰ（６０）。