JPH09152384A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
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- JPH09152384A JPH09152384A JP31388895A JP31388895A JPH09152384A JP H09152384 A JPH09152384 A JP H09152384A JP 31388895 A JP31388895 A JP 31388895A JP 31388895 A JP31388895 A JP 31388895A JP H09152384 A JPH09152384 A JP H09152384A
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- pressure sensor
- valve
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 内部に入り込んだ燃料、水分等の汚損物質を
除去できる半導体圧力センサを得る。 【解決手段】 被測定気圧の圧力に連通する受圧空間２
８を有する半導体ダイヤフラム２６と、このダイヤフラ
ムの変形を検出するゲージ抵抗３１，３２とを備え、上
記被測定気圧の圧力に応じて変形する上記受圧空間の変
形を上記ゲージ抵抗で電気信号に変換して出力する半導
体圧力センサ５０において、外部の大気に連通する大気
取入通路と上記受圧空間との間に形成された連通路３０
にバルブを設け、このバルブへの印加電圧の切り換えに
より上記連通路を開閉できるように構成することによ
り、センサ内部の被測定気圧通路に大気を流し得るよう
にし、この大気の流れとともに燃料、水分等の汚損物質
を除去できる。
除去できる半導体圧力センサを得る。 【解決手段】 被測定気圧の圧力に連通する受圧空間２
８を有する半導体ダイヤフラム２６と、このダイヤフラ
ムの変形を検出するゲージ抵抗３１，３２とを備え、上
記被測定気圧の圧力に応じて変形する上記受圧空間の変
形を上記ゲージ抵抗で電気信号に変換して出力する半導
体圧力センサ５０において、外部の大気に連通する大気
取入通路と上記受圧空間との間に形成された連通路３０
にバルブを設け、このバルブへの印加電圧の切り換えに
より上記連通路を開閉できるように構成することによ
り、センサ内部の被測定気圧通路に大気を流し得るよう
にし、この大気の流れとともに燃料、水分等の汚損物質
を除去できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被測定気圧に応
じて変形する半導体ダイヤフラムの変形をゲージ抵抗で
電気信号に変換して出力する半導体圧力センサ、例えば
自動車の燃料噴射制御における内燃機関の吸気圧力測定
に利用される半導体圧力センサに関するものである。
じて変形する半導体ダイヤフラムの変形をゲージ抵抗で
電気信号に変換して出力する半導体圧力センサ、例えば
自動車の燃料噴射制御における内燃機関の吸気圧力測定
に利用される半導体圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、例えば実開平４−９９０４８号
公報に記載されている従来の半導体圧力センサによる自
動車内燃機関の燃料噴射電子制御方式を示す構成図で、
図において、５０は半導体圧力センサ、５１は内燃機
関、５２は内燃機関５１の吸気管、５３は吸気管５２に
接続された燃料噴射器、５４は噴射器５３内に設けられ
た燃料噴射器本体、５５はスロットル、５６はスロット
ル５５のアクセルペタル、５７は噴射器５３の大気取入
用エアフィルタ、５８は三方切換型電磁弁、５９は電磁
弁５８と吸気管５２とを連通する吸気圧連通管、６０は
圧力センサ５０と電磁弁５８とを連通する被測定気圧取
入管、６１は電磁弁５８に連通する大気取入管、６２は
大気取入管６１の大気取入口、６３は燃料噴射電子制御
装置、６４は圧力センサ５０と制御装置６３とを接続す
る導電線、６６、６７は電磁弁５８と制御装置６３とを
接続する一対の導電線、６８は噴射器本体５４と制御装
置６３とを接続する制御系統である。この構成で、内燃
機関５１の通常の運転時には、大気取入管６１側を閉
じ、吸気圧連通管５９と被測定気圧取入管６０とを連通
させるように、制御装置６３が導電線６６、６７を通し
て電磁弁５８を制御する。この運転状態で吸気管５２の
吸気圧力が被測定気圧として圧力センサ５０に入力さ
れ、この結果、圧力センサ５０からの吸気圧力測定信号
が導電線６４によって制御装置６３に伝達され、この信
号に基づいて制御装置６３が制御系統６８を通して燃料
噴射器５３の燃料噴射を適正化するように動作するもの
である。このような構成の装置では、運転中に燃料や水
分が上記吸気圧通路内に入り込み、圧力センサ５０にも
悪影響を与えていた。このため、従来、内燃機関５１の
減速運転時に、制御装置６３は電磁弁５８で被測定圧力
取入管６０側を閉じ、大気取入管６１側を開いて、吸気
管５２を大気取入口５６に連通させることにより、大気
を吸気管５２の残留負圧で吸い込ませて、この大気とと
もに吸気圧通路内の燃料や水分を吸気管４２内に吸い出
して除去していた。
公報に記載されている従来の半導体圧力センサによる自
動車内燃機関の燃料噴射電子制御方式を示す構成図で、
図において、５０は半導体圧力センサ、５１は内燃機
関、５２は内燃機関５１の吸気管、５３は吸気管５２に
接続された燃料噴射器、５４は噴射器５３内に設けられ
た燃料噴射器本体、５５はスロットル、５６はスロット
ル５５のアクセルペタル、５７は噴射器５３の大気取入
用エアフィルタ、５８は三方切換型電磁弁、５９は電磁
弁５８と吸気管５２とを連通する吸気圧連通管、６０は
圧力センサ５０と電磁弁５８とを連通する被測定気圧取
入管、６１は電磁弁５８に連通する大気取入管、６２は
大気取入管６１の大気取入口、６３は燃料噴射電子制御
装置、６４は圧力センサ５０と制御装置６３とを接続す
る導電線、６６、６７は電磁弁５８と制御装置６３とを
接続する一対の導電線、６８は噴射器本体５４と制御装
置６３とを接続する制御系統である。この構成で、内燃
機関５１の通常の運転時には、大気取入管６１側を閉
じ、吸気圧連通管５９と被測定気圧取入管６０とを連通
させるように、制御装置６３が導電線６６、６７を通し
て電磁弁５８を制御する。この運転状態で吸気管５２の
吸気圧力が被測定気圧として圧力センサ５０に入力さ
れ、この結果、圧力センサ５０からの吸気圧力測定信号
が導電線６４によって制御装置６３に伝達され、この信
号に基づいて制御装置６３が制御系統６８を通して燃料
噴射器５３の燃料噴射を適正化するように動作するもの
である。このような構成の装置では、運転中に燃料や水
分が上記吸気圧通路内に入り込み、圧力センサ５０にも
悪影響を与えていた。このため、従来、内燃機関５１の
減速運転時に、制御装置６３は電磁弁５８で被測定圧力
取入管６０側を閉じ、大気取入管６１側を開いて、吸気
管５２を大気取入口５６に連通させることにより、大気
を吸気管５２の残留負圧で吸い込ませて、この大気とと
もに吸気圧通路内の燃料や水分を吸気管４２内に吸い出
して除去していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、除去できる水分等は吸気管５２から電磁弁５８ま
での被測定気圧の通路内に限られ、圧力センサ５０内部
に入り込んだ水分等を完全に除去することが困難であっ
た。この結果、冬期には水分の凍結等により圧力センサ
５０の破損事故、その他の動作不良が発生していた。こ
の発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、内部に入り込んだ燃料、水分等を完全に除去
できる半導体圧力センサを提供することを目的とするも
のである。
では、除去できる水分等は吸気管５２から電磁弁５８ま
での被測定気圧の通路内に限られ、圧力センサ５０内部
に入り込んだ水分等を完全に除去することが困難であっ
た。この結果、冬期には水分の凍結等により圧力センサ
５０の破損事故、その他の動作不良が発生していた。こ
の発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、内部に入り込んだ燃料、水分等を完全に除去
できる半導体圧力センサを提供することを目的とするも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体圧
力センサは、被測定気圧に連通する受圧空間を有する半
導体ダイヤフラムと、このダイヤフラムの変形を検出す
るゲージ抵抗とを備え、被測定気圧に応じて変形するダ
イヤフラムの変形をゲージ抵抗で電気信号に変換して出
力する半導体圧力センサにおいて、外部の大気に連通す
る大気取入通路を設けると共に、この大気取入通路と受
圧空間との間に形成された連通路にバルブを設け、この
バルブへの通電制御により連通路を開閉することによっ
て、圧力センサ内部の被測定気圧通路に大気を流し得る
ようにし、この大気の流れとともに燃料、水分等を圧力
センサ内部から完全に除去できるように構成したもので
ある。また、バルブは半導体部材によって形成されると
共に、半導体ダイヤフラムと一体に構成されているもの
である。また、バルブは非通電時に連通路を開き、通電
時に連通路を閉じるように構成されているものである。
また、バルブへの通電制御は、外部の制御装置によって
行うように構成されているものである。
力センサは、被測定気圧に連通する受圧空間を有する半
導体ダイヤフラムと、このダイヤフラムの変形を検出す
るゲージ抵抗とを備え、被測定気圧に応じて変形するダ
イヤフラムの変形をゲージ抵抗で電気信号に変換して出
力する半導体圧力センサにおいて、外部の大気に連通す
る大気取入通路を設けると共に、この大気取入通路と受
圧空間との間に形成された連通路にバルブを設け、この
バルブへの通電制御により連通路を開閉することによっ
て、圧力センサ内部の被測定気圧通路に大気を流し得る
ようにし、この大気の流れとともに燃料、水分等を圧力
センサ内部から完全に除去できるように構成したもので
ある。また、バルブは半導体部材によって形成されると
共に、半導体ダイヤフラムと一体に構成されているもの
である。また、バルブは非通電時に連通路を開き、通電
時に連通路を閉じるように構成されているものである。
また、バルブへの通電制御は、外部の制御装置によって
行うように構成されているものである。
【０００５】
実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１はこの発明の実施例１として示す円
柱状半導体圧力センサの断面図で、図中、図４と同一符
号は相当部分を示し、１０はステム、１１は被測定圧力
取入用導通孔、１２は大気取入用導通孔、１３は導通孔
１２の外部開口部、１４、１５は導電線封入孔、１６は
帽子状のキャップ、１７はキャップの開口周縁部で、密
封状態に基盤１０の周縁部に固着されている。１８は基
盤１０とキャップ１６との間に形成された収納空間で、
被測定気圧に対して基準気圧に保たれている。２０は圧
力センサ本体、２１は台座、２２は被測定気圧用導通
孔、２３は大気取入用導通孔、２４はシリコンチップ、
２５はチップの下部層、２６は下部層の中央に下向きに
開口するように形成されたダイヤフラム、２７はダイヤ
フラム２６の凹部、２８は凹部内に形成された被測定気
圧の受圧空間で、内部の圧力に感応して変形するように
設けられている。２９は大気取入用導通孔、３０は受圧
空間２８から下部層２５の上面に突き抜ける連通路、３
１、３２はダイヤフラム２６の変形に対応して抵抗値を
かえるゲージ抵抗で、ダイヤフラム２６の上に形成され
ているとともに導電線６４を介して、図３に示す増幅回
路６５に接続されている。３３はチップの上部層、３４
は上部層３３と一体に形成された中空状バルブ、３５は
バルブ３４の中空部、３６は円盤状固定部、３７は椀状
可動部で、固定部３６との間の静電力によって上下する
ように形成されている。４１は上部層３３に設けられた
電極（図では１箇所のみ記載されている）、４３、４４
は半導体圧力センサ５０の電源用導電線で、孔１４、１
５から挿入されて封止され、電極４１にそれぞれ接続さ
れている。図２は図１の要部拡大断面図で、３８は導通
孔２９に連通する大気取入用導通孔、３９は連通路３０
に連通する導通孔、４０は導通孔３８の上側開口に対向
させて形成された下向きの突起面である。
いて説明する。図１はこの発明の実施例１として示す円
柱状半導体圧力センサの断面図で、図中、図４と同一符
号は相当部分を示し、１０はステム、１１は被測定圧力
取入用導通孔、１２は大気取入用導通孔、１３は導通孔
１２の外部開口部、１４、１５は導電線封入孔、１６は
帽子状のキャップ、１７はキャップの開口周縁部で、密
封状態に基盤１０の周縁部に固着されている。１８は基
盤１０とキャップ１６との間に形成された収納空間で、
被測定気圧に対して基準気圧に保たれている。２０は圧
力センサ本体、２１は台座、２２は被測定気圧用導通
孔、２３は大気取入用導通孔、２４はシリコンチップ、
２５はチップの下部層、２６は下部層の中央に下向きに
開口するように形成されたダイヤフラム、２７はダイヤ
フラム２６の凹部、２８は凹部内に形成された被測定気
圧の受圧空間で、内部の圧力に感応して変形するように
設けられている。２９は大気取入用導通孔、３０は受圧
空間２８から下部層２５の上面に突き抜ける連通路、３
１、３２はダイヤフラム２６の変形に対応して抵抗値を
かえるゲージ抵抗で、ダイヤフラム２６の上に形成され
ているとともに導電線６４を介して、図３に示す増幅回
路６５に接続されている。３３はチップの上部層、３４
は上部層３３と一体に形成された中空状バルブ、３５は
バルブ３４の中空部、３６は円盤状固定部、３７は椀状
可動部で、固定部３６との間の静電力によって上下する
ように形成されている。４１は上部層３３に設けられた
電極（図では１箇所のみ記載されている）、４３、４４
は半導体圧力センサ５０の電源用導電線で、孔１４、１
５から挿入されて封止され、電極４１にそれぞれ接続さ
れている。図２は図１の要部拡大断面図で、３８は導通
孔２９に連通する大気取入用導通孔、３９は連通路３０
に連通する導通孔、４０は導通孔３８の上側開口に対向
させて形成された下向きの突起面である。
【０００６】この実施の形態１において、電極４１に電
圧が印加されていない状態では、バルブ３４の突起面が
大気取入用導通孔から離れていて、開口部１３からの大
気が導通孔２３、バルブ３４の中空内部、連通孔３０を
経て、ダイヤフラム２６の受圧空間２８に流入可能とな
る。また、電極４１に電圧が印加通電された状態では、
シリコンチップ２４の半導電性によりバルブ３４の固定
部３６と可動部３７間に静電力が生じ、この結果、可動
部３７が固定部３６に吸引され、可動部３７の突起面４
０によって固定部３６の導通孔３８が塞がれ、ダイヤフ
ラム２６の受圧空間２８は、大気に通じている開口部１
３から遮断される。
圧が印加されていない状態では、バルブ３４の突起面が
大気取入用導通孔から離れていて、開口部１３からの大
気が導通孔２３、バルブ３４の中空内部、連通孔３０を
経て、ダイヤフラム２６の受圧空間２８に流入可能とな
る。また、電極４１に電圧が印加通電された状態では、
シリコンチップ２４の半導電性によりバルブ３４の固定
部３６と可動部３７間に静電力が生じ、この結果、可動
部３７が固定部３６に吸引され、可動部３７の突起面４
０によって固定部３６の導通孔３８が塞がれ、ダイヤフ
ラム２６の受圧空間２８は、大気に通じている開口部１
３から遮断される。
【０００７】実施の形態２．図３は、この発明の圧力セ
ンサを自動車内燃機関の燃料噴射電子制御に利用した場
合の構成図で、図中、図１、ないし図４と同一符号は同
一または相当部分を示し、導電線４３、４４は制御装置
６３に接続されている。この構成では、内燃機関５１の
通常の運転時には、燃料噴射電子制御装置６３から導電
線４３、４４を通して圧力センサ５０の電極４１に電圧
が印加されているので、内部のバルブ３４が閉じてお
り、この結果、開口部１３から大気が圧力センサ５０内
に流入することなく、吸気管５２の吸気圧力がダイヤフ
ラム２６の受圧空間２８に導入され、この受圧空間２８
の変形に対応するゲージ抵抗３１、３２の吸気圧力測定
信号が制御装置６３に伝達され、この信号に基づいて制
御装置６３が燃料噴射器５３の燃料噴射を適正化するよ
うに制御するものである。この後、内燃機関５１の運転
停止操作の開始時に、制御装置６３の制御により電極４
１へ電圧が印加されない状態となるので、内部のバルブ
３４が開く。この結果、開口部１３からの大気が吸気管
５２の残留負圧によりバルブ３４の内部からダイヤフラ
ム３６の受圧空間２８を経て吸気管５２へ吸い込まれ、
この大気の流れとともに圧力センサ５０内部の燃料や水
分が吸気管５２内に排出される。なお、吸気管５２の負
圧を確実に発生させるため、圧力センサ５０の電源オフ
後、一定時間内燃機関５１をアイドル運転する方法も効
果的である。また、バルブ３４を制御する信号回路を追
加すれば、減速時のパージ動作も可能となる。
ンサを自動車内燃機関の燃料噴射電子制御に利用した場
合の構成図で、図中、図１、ないし図４と同一符号は同
一または相当部分を示し、導電線４３、４４は制御装置
６３に接続されている。この構成では、内燃機関５１の
通常の運転時には、燃料噴射電子制御装置６３から導電
線４３、４４を通して圧力センサ５０の電極４１に電圧
が印加されているので、内部のバルブ３４が閉じてお
り、この結果、開口部１３から大気が圧力センサ５０内
に流入することなく、吸気管５２の吸気圧力がダイヤフ
ラム２６の受圧空間２８に導入され、この受圧空間２８
の変形に対応するゲージ抵抗３１、３２の吸気圧力測定
信号が制御装置６３に伝達され、この信号に基づいて制
御装置６３が燃料噴射器５３の燃料噴射を適正化するよ
うに制御するものである。この後、内燃機関５１の運転
停止操作の開始時に、制御装置６３の制御により電極４
１へ電圧が印加されない状態となるので、内部のバルブ
３４が開く。この結果、開口部１３からの大気が吸気管
５２の残留負圧によりバルブ３４の内部からダイヤフラ
ム３６の受圧空間２８を経て吸気管５２へ吸い込まれ、
この大気の流れとともに圧力センサ５０内部の燃料や水
分が吸気管５２内に排出される。なお、吸気管５２の負
圧を確実に発生させるため、圧力センサ５０の電源オフ
後、一定時間内燃機関５１をアイドル運転する方法も効
果的である。また、バルブ３４を制御する信号回路を追
加すれば、減速時のパージ動作も可能となる。
【０００８】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、外部
の大気に連通する大気取入通路を設けるとともに、この
通路と被測定気圧用ダイヤフラムとの間にバルブによる
開閉自在な連通路を設けることにより、圧力センサ内部
の被測定気圧通路に大気を流し得るようにしたので、こ
の大気の流れとともに水分等の汚損液体を完全に除去で
きるものである。
の大気に連通する大気取入通路を設けるとともに、この
通路と被測定気圧用ダイヤフラムとの間にバルブによる
開閉自在な連通路を設けることにより、圧力センサ内部
の被測定気圧通路に大気を流し得るようにしたので、こ
の大気の流れとともに水分等の汚損液体を完全に除去で
きるものである。
【図１】 この発明の実施の形態１の断面図である。
【図２】 図１の要部拡大断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態２を示す構成図であ
る。
る。
【図４】 従来の利用例を示す構成図である。
１０ ステム、１１ 被測定圧力取入用導通孔、１２
大気取入用導通孔、１３ 開口部、１６は帽子状のキャ
ップ、２０ 圧力センサ本体、２２ 被測定気圧用導通
孔、２３ 大気取入用導通孔、２４ シリコンチップ、
２５ チップの下部層、２６はダイヤフラム、２８ 被
測定気圧の受圧空間、３０は連通路、３１、３２ ゲー
ジ抵抗、３３ チップの上部層、３４ 中空状バルブ、
３５ 中空部、３６ 円盤状固定部、３７ 椀状可動
部、３８ 大気取入用導通孔、３９ 導通孔、４０ 突
起面、４１ 電極、４３、４４ 導電線、５０ 半導体
圧力センサ、５１ 内燃機関、５２ 吸気管、５３ 燃
料噴射器、６０ 被測定気圧取入管、６３ 燃料噴射電
子制御装置、６４、６６、６７ 導電線、６５ 増幅
器、６８ 制御系統。
大気取入用導通孔、１３ 開口部、１６は帽子状のキャ
ップ、２０ 圧力センサ本体、２２ 被測定気圧用導通
孔、２３ 大気取入用導通孔、２４ シリコンチップ、
２５ チップの下部層、２６はダイヤフラム、２８ 被
測定気圧の受圧空間、３０は連通路、３１、３２ ゲー
ジ抵抗、３３ チップの上部層、３４ 中空状バルブ、
３５ 中空部、３６ 円盤状固定部、３７ 椀状可動
部、３８ 大気取入用導通孔、３９ 導通孔、４０ 突
起面、４１ 電極、４３、４４ 導電線、５０ 半導体
圧力センサ、５１ 内燃機関、５２ 吸気管、５３ 燃
料噴射器、６０ 被測定気圧取入管、６３ 燃料噴射電
子制御装置、６４、６６、６７ 導電線、６５ 増幅
器、６８ 制御系統。
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定気圧に連通する受圧空間を有する
半導体ダイヤフラムと、このダイヤフラムの変形を検出
するゲージ抵抗とを備え、上記被測定気圧に応じて変形
する上記ダイヤフラムの変形を上記ゲージ抵抗で電気信
号に変換して出力する半導体圧力センサにおいて、外部
の大気に連通する大気取入通路を設けると共に、この大
気取入通路と上記受圧空間との間に形成された連通路に
バルブを設け、このバルブへの通電を制御することによ
って上記連通路を開閉できるように構成したことを特徴
とする半導体圧力センサ。 - 【請求項２】 バルブは、半導体部材によって形成され
ると共に、半導体ダイヤフラムと一体に構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の半導体圧力センサ。 - 【請求項３】 バルブは、非通電時に連通路を開き、通
電時に上記連通路を閉じるように構成されていることを
特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体圧力セ
ンサ。 - 【請求項４】 バルブへの通電制御は、外部の制御装置
によって行うように構成されていることを特徴とする請
求項１〜請求項３のいずれか一項記載の半導体圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31388895A JPH09152384A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31388895A JPH09152384A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09152384A true JPH09152384A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=18046726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31388895A Pending JPH09152384A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09152384A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| JP2017090344A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | トヨタ自動車株式会社 | 圧力センサ |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP31388895A patent/JPH09152384A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8869623B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-28 | Panasonic Corporation | Pressure sensor mounting structure |
| JP2017090344A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | トヨタ自動車株式会社 | 圧力センサ |
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