JPH0914918A - ウェハのオリフラ検出装置 - Google Patents
ウェハのオリフラ検出装置Info
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- JPH0914918A JPH0914918A JP16319195A JP16319195A JPH0914918A JP H0914918 A JPH0914918 A JP H0914918A JP 16319195 A JP16319195 A JP 16319195A JP 16319195 A JP16319195 A JP 16319195A JP H0914918 A JPH0914918 A JP H0914918A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高精度かつ高速にオリフラを検出する。
【構成】基準画像のウェハの中心を求め、角度テ−ブル
作成部１３ａにおいて基準画像のウェハのエッジの内側
のサンプリングポイントを規定するテ−ブルを作成す
る。中心検出部１３ｂにおいて基準画像のウェハの中心
を原点とする２次元の直交座標の座標軸により分けられ
た４つの領域のうちオリフラが存在しない領域をリファ
レンスデ−タとして登録する。リファレンスデ−タに基
づいてオリフラを有しないウェハの画像デ−タを作成す
る。検査画像の所定の検索領域と画像デ−タの所定の検
索領域について相関演算を行い、検査画像のウェハの中
心を求める。位置検出部１３ｃは、１つ又は２つのオリ
フラの位置を検出する。
作成部１３ａにおいて基準画像のウェハのエッジの内側
のサンプリングポイントを規定するテ−ブルを作成す
る。中心検出部１３ｂにおいて基準画像のウェハの中心
を原点とする２次元の直交座標の座標軸により分けられ
た４つの領域のうちオリフラが存在しない領域をリファ
レンスデ−タとして登録する。リファレンスデ−タに基
づいてオリフラを有しないウェハの画像デ−タを作成す
る。検査画像の所定の検索領域と画像デ−タの所定の検
索領域について相関演算を行い、検査画像のウェハの中
心を求める。位置検出部１３ｃは、１つ又は２つのオリ
フラの位置を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハのオリフラを検
出するためのオリフラ検出装置に関する。
出するためのオリフラ検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、ウェハの外形は、様々な種類のも
のが知られている。その中において、ウェハのエッジに
メインオリフラのみを有するウェハ、又は図９に示すよ
うに、ウェハ２１のエッジにメインオリフラ２２ａとサ
ブオリフラ２２ｂの２つのオリフラを有するウェハが知
られている。
のが知られている。その中において、ウェハのエッジに
メインオリフラのみを有するウェハ、又は図９に示すよ
うに、ウェハ２１のエッジにメインオリフラ２２ａとサ
ブオリフラ２２ｂの２つのオリフラを有するウェハが知
られている。
【０００３】２つのオリフラの位置関係は、３種類存在
する。即ち、ウェハ２１の中心からメインオリフラ２２
ａの中心とサブオリフラ２２ｂの中心を結ぶ角度は、４
５°、９０°、１８０°のいずれかに設定される。
する。即ち、ウェハ２１の中心からメインオリフラ２２
ａの中心とサブオリフラ２２ｂの中心を結ぶ角度は、４
５°、９０°、１８０°のいずれかに設定される。
【０００４】従って、このような２つのオリフラを有す
るウェハの位置合せを行うために、各オリフラの位置を
検出することが必要になる。従来、１つ又は２つのオリ
フラを検出するに当っては、主として以下の２つの方法
が用いられている。
るウェハの位置合せを行うために、各オリフラの位置を
検出することが必要になる。従来、１つ又は２つのオリ
フラを検出するに当っては、主として以下の２つの方法
が用いられている。
【０００５】一つは、ウェハを回転させると共に、ライ
ンセンサを用いてウェハの直径の変化を測定し、各オリ
フラを検出するものである。他の一つは、ウェハのエッ
ジに治具を機械的に押しつけることにより、各オリフラ
を検出するものである。
ンセンサを用いてウェハの直径の変化を測定し、各オリ
フラを検出するものである。他の一つは、ウェハのエッ
ジに治具を機械的に押しつけることにより、各オリフラ
を検出するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のオリフラの検出
手段は、いずれも多大な処理時間を要し、かつ、大規模
な装置を用いなければならない欠点がある。本発明は、
上記欠点を解決すべくなされたもので、その目的は、ウ
ェハのオリフラを高速かつ容易に検出することである。
手段は、いずれも多大な処理時間を要し、かつ、大規模
な装置を用いなければならない欠点がある。本発明は、
上記欠点を解決すべくなされたもので、その目的は、ウ
ェハのオリフラを高速かつ容易に検出することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のウェハのオリフラ検出装置は、基準画像の
ウェハの中心を求め、前記基準画像のウェハのエッジの
内側に１つ又は２つのオリフラを横切るような円を仮定
し、その円に沿う複数のサンプリングポイントを規定す
るテ−ブルを作成する手段と、前記基準画像のウェハの
中心を原点とする２次元の直交座標の座標軸により分け
られた４つの領域のうちオリフラが存在しない領域をリ
ファレンスデ−タとして登録する手段と、前記リファレ
ンスデ−タに基づいてオリフラを有しないウェハの画像
デ−タを作成する手段と、検査画像の所定の検索領域と
前記画像デ−タの所定の検索領域について相関演算を行
うことにより、前記検査画像のウェハの中心を求める手
段と、前記テ−ブルに基づいて、前記検査画像のウェハ
のエッジの内側に１つ又は２つのオリフラを横切るよう
な円を仮定し、その円に沿う複数のサンプリングポイン
トの濃度を求めることにより、前記検査画像のウェハの
１つ又は２つのオリフラの位置を検出する手段とを備え
ている。
め、本発明のウェハのオリフラ検出装置は、基準画像の
ウェハの中心を求め、前記基準画像のウェハのエッジの
内側に１つ又は２つのオリフラを横切るような円を仮定
し、その円に沿う複数のサンプリングポイントを規定す
るテ−ブルを作成する手段と、前記基準画像のウェハの
中心を原点とする２次元の直交座標の座標軸により分け
られた４つの領域のうちオリフラが存在しない領域をリ
ファレンスデ−タとして登録する手段と、前記リファレ
ンスデ−タに基づいてオリフラを有しないウェハの画像
デ−タを作成する手段と、検査画像の所定の検索領域と
前記画像デ−タの所定の検索領域について相関演算を行
うことにより、前記検査画像のウェハの中心を求める手
段と、前記テ−ブルに基づいて、前記検査画像のウェハ
のエッジの内側に１つ又は２つのオリフラを横切るよう
な円を仮定し、その円に沿う複数のサンプリングポイン
トの濃度を求めることにより、前記検査画像のウェハの
１つ又は２つのオリフラの位置を検出する手段とを備え
ている。
【０００８】前記検査画像のウェハの中心は、前記基準
画像のウェハの中心を原点とする直交座標の座標軸によ
り分けられた４つの検索領域のうちの所定の検索領域
と、前記基準画像の所定の検索領域に対応する前記検査
画像の所定の検索領域との相関演算を行うことにより求
められる。
画像のウェハの中心を原点とする直交座標の座標軸によ
り分けられた４つの検索領域のうちの所定の検索領域
と、前記基準画像の所定の検索領域に対応する前記検査
画像の所定の検索領域との相関演算を行うことにより求
められる。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、ウェハの１つ又は２つのオ
リフラを検出する場合において、まず、画像デ−タの所
定の検索領域と検査画像の所定の検索領域の相関値を求
めることにより、検査画像のウェハの中心を求めてい
る。また、検査画像のウェハの中心から一定距離だけ離
れた箇所、即ち検査画像のウェハの円周の少し内側の点
の濃度をサンプリングし、その濃度の差を検出すること
により、検査画像のウェハの１つ又は２つのオリフラの
位置を高速かつ容易に検出することができる。
リフラを検出する場合において、まず、画像デ−タの所
定の検索領域と検査画像の所定の検索領域の相関値を求
めることにより、検査画像のウェハの中心を求めてい
る。また、検査画像のウェハの中心から一定距離だけ離
れた箇所、即ち検査画像のウェハの円周の少し内側の点
の濃度をサンプリングし、その濃度の差を検出すること
により、検査画像のウェハの１つ又は２つのオリフラの
位置を高速かつ容易に検出することができる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明のオリフ
ラ検出装置について詳細に説明する。図１は、本発明の
オリフラ検出装置の概略を示すものである。図２は、図
１の装置を用いてオリフラの検出を行う場合の処理の手
順を示すものである。
ラ検出装置について詳細に説明する。図１は、本発明の
オリフラ検出装置の概略を示すものである。図２は、図
１の装置を用いてオリフラの検出を行う場合の処理の手
順を示すものである。
【００１１】本発明のオリフラ検出装置は、カメラ１
１、画像メモリ部１２、処理部１３及び制御部１４から
構成されている。カメラ１１は、１つ又は２つのオリフ
ラを有するウェハに基づいて検査画像と基準画像を作成
する。
１、画像メモリ部１２、処理部１３及び制御部１４から
構成されている。カメラ１１は、１つ又は２つのオリフ
ラを有するウェハに基づいて検査画像と基準画像を作成
する。
【００１２】なお、検査画像及び基準画像は、それぞれ
１画素が２５６階調（８ビット）の単一色で表され、５
１２×５１２画素の大きさを有するものと仮定する。ま
た、カメラ１１は、ＣＣＤカメラ、ビデオカメラ及びデ
ジタルカメラのいずれであってもよい。
１画素が２５６階調（８ビット）の単一色で表され、５
１２×５１２画素の大きさを有するものと仮定する。ま
た、カメラ１１は、ＣＣＤカメラ、ビデオカメラ及びデ
ジタルカメラのいずれであってもよい。
【００１３】画像メモリ部１２は、２次元で構成され、
検査するウェハの全体が十分に登録できる大きさを有し
ている。処理部１３は、３つの部分を有している。
検査するウェハの全体が十分に登録できる大きさを有し
ている。処理部１３は、３つの部分を有している。
【００１４】一つめは、オリフラを検出するために検査
画像の濃度をサンプリングする箇所を規定する角度テ−
ブルを基準画像から作成する角度テ−ブル作成部１３ａ
である。
画像の濃度をサンプリングする箇所を規定する角度テ−
ブルを基準画像から作成する角度テ−ブル作成部１３ａ
である。
【００１５】二つめは、基準画像のＸ方向及びＹ方向の
プロジェクションを作成して基準画像のウェハの中心を
求め、かつ、画像デ−タの所定の検索領域と検査画像の
所定の検索領域の相関演算を行うことにより、検査画像
のウェハの中心を求める中心検出部１３ｂである。
プロジェクションを作成して基準画像のウェハの中心を
求め、かつ、画像デ−タの所定の検索領域と検査画像の
所定の検索領域の相関演算を行うことにより、検査画像
のウェハの中心を求める中心検出部１３ｂである。
【００１６】三つめは、サンプリングポイントの濃度か
ら１つ又は２つのオリフラの位置を検出するための位置
検出部１３ｃである。次に、図２乃至図７を参照しなが
ら、図１のオリフラ検出装置の動作について説明する。
ら１つ又は２つのオリフラの位置を検出するための位置
検出部１３ｃである。次に、図２乃至図７を参照しなが
ら、図１のオリフラ検出装置の動作について説明する。
【００１７】まず、図３に示すように、カメラ１１によ
り基準画像を入力する。基準画像において、ウェハの概
ねの中心を定め、その中心を２次元の直交座標の中心と
する。また、この直交座標は、その座標軸とオリフラが
重ならないような配置で設定される。
り基準画像を入力する。基準画像において、ウェハの概
ねの中心を定め、その中心を２次元の直交座標の中心と
する。また、この直交座標は、その座標軸とオリフラが
重ならないような配置で設定される。
【００１８】この後、基準画像のＸ方向及びＹ方向のプ
ロジェクションを作成し、ウェハの中心、直径、半径な
どを算出する。また、基準画像のウェハの中心を原点と
する直交座標を作成し、ＸとＹの各座標軸により分けら
れた４つの領域のうちオリフラが存在しない領域Ｒをリ
ファレンスデ−タとして登録する。
ロジェクションを作成し、ウェハの中心、直径、半径な
どを算出する。また、基準画像のウェハの中心を原点と
する直交座標を作成し、ＸとＹの各座標軸により分けら
れた４つの領域のうちオリフラが存在しない領域Ｒをリ
ファレンスデ−タとして登録する。
【００１９】次に、図４に示すように、基準画像のウェ
ハと同じ大きさの円（実線で示す）を考え、その円より
も一回り小さい円（破線で示す）の円周に沿って、一定
間隔でサンプリングポイントを決定し、これを図５に示
すように、角度テ−ブルとして登録する。
ハと同じ大きさの円（実線で示す）を考え、その円より
も一回り小さい円（破線で示す）の円周に沿って、一定
間隔でサンプリングポイントを決定し、これを図５に示
すように、角度テ−ブルとして登録する。
【００２０】なお、角度テ−ブルの大きさは、サンプリ
ングの解像度により決定される。また、基準画像のウェ
ハの中心からサンプリングポイントまでの距離は、１つ
又は２つのオリフラを横切るように設定される。
ングの解像度により決定される。また、基準画像のウェ
ハの中心からサンプリングポイントまでの距離は、１つ
又は２つのオリフラを横切るように設定される。
【００２１】次に、カメラ１１により検査画像を入力す
る。検査画像内のウェハの位置及びオリフラの角度は、
確認されていないが、プロジェクションを作成し、概略
の位置を確認することにより、少なくともウェハ全体が
画像メモリ内に取り込まれるようにする。
る。検査画像内のウェハの位置及びオリフラの角度は、
確認されていないが、プロジェクションを作成し、概略
の位置を確認することにより、少なくともウェハ全体が
画像メモリ内に取り込まれるようにする。
【００２２】次に、検査画像において、ウェハの中心を
求める。まず、図６に示すように、リファレンスデ−タ
を折り返すことにより、オリフラが存在しないウェハを
表す画像デ−タを作成する。この画像デ−タは、ウェハ
の中心を原点とする直交座標により分けられた４つの検
索領域Ａ〜Ｄを有している。
求める。まず、図６に示すように、リファレンスデ−タ
を折り返すことにより、オリフラが存在しないウェハを
表す画像デ−タを作成する。この画像デ−タは、ウェハ
の中心を原点とする直交座標により分けられた４つの検
索領域Ａ〜Ｄを有している。
【００２３】また、図７に示すように、検査画像のウェ
ハの概ねの中心を求めると共に、検査画像内に画像デ−
タの４つの検索領域Ａ〜Ｄに対応する４つの検索領域Ａ
´〜Ｄ´をそれぞれ設定する。
ハの概ねの中心を求めると共に、検査画像内に画像デ−
タの４つの検索領域Ａ〜Ｄに対応する４つの検索領域Ａ
´〜Ｄ´をそれぞれ設定する。
【００２４】そして、図６の各検索領域Ａ〜Ｄと図７の
各検索領域Ａ´〜Ｄ´の相関演算を行い、検査画像にお
いて、オリフラが存在しない領域Ｃ´を確認する。その
領域Ｃ´から検査画像におけるウェハの中心を求める。
各検索領域Ａ´〜Ｄ´の相関演算を行い、検査画像にお
いて、オリフラが存在しない領域Ｃ´を確認する。その
領域Ｃ´から検査画像におけるウェハの中心を求める。
【００２５】次に、図８に示すように、検査画像のウェ
ハの中心と角度テ−ブルに基づいて、検査画像のウェハ
の円周の少し内側の点の濃度をサンプリングし、その濃
度の差を検出することにより２つのオリフラ２２ａ，２
２ｂを検出する。
ハの中心と角度テ−ブルに基づいて、検査画像のウェハ
の円周の少し内側の点の濃度をサンプリングし、その濃
度の差を検出することにより２つのオリフラ２２ａ，２
２ｂを検出する。
【００２６】なお、メインオリフラの大きさとサブオリ
フラの大きさは、互いに異なるため、容易に、メインオ
リフラとサブオリフラを区別することができる。上記実
施例では、リファレンスデ−タは、基準画像のウェハを
４等分した領域のうちの１つの領域で表された。しか
し、メインオリフラとサブオリフラの位置関係がウェハ
の中心に対して１８０°の関係にある場合には、リファ
レンスデ−タは、基準画像のウェハを５等分以上に分割
した領域のうちの１つの領域で表されるようにしなけれ
ばならない。基準画像からオリフラの存在しない領域の
みを取り出すためである。
フラの大きさは、互いに異なるため、容易に、メインオ
リフラとサブオリフラを区別することができる。上記実
施例では、リファレンスデ−タは、基準画像のウェハを
４等分した領域のうちの１つの領域で表された。しか
し、メインオリフラとサブオリフラの位置関係がウェハ
の中心に対して１８０°の関係にある場合には、リファ
レンスデ−タは、基準画像のウェハを５等分以上に分割
した領域のうちの１つの領域で表されるようにしなけれ
ばならない。基準画像からオリフラの存在しない領域の
みを取り出すためである。
【００２７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のオリフ
ラ検出装置によれば、次のような効果を奏する。１つ又
は２つのオリフラを有するウェハの位置合せを行う場合
に、画像デ−タの所定の検索領域と検査画像の所定の検
索領域の相関値を求めることにより、ウェハの中心を求
めている。また、ウェハの中心から一定距離だけ離れた
箇所、即ちウェハの円周の少し内側の点の濃度をサンプ
リングし、その濃度の差を検出することにより、ウェハ
のオリフラを高速かつ容易に検出することができる。
ラ検出装置によれば、次のような効果を奏する。１つ又
は２つのオリフラを有するウェハの位置合せを行う場合
に、画像デ−タの所定の検索領域と検査画像の所定の検
索領域の相関値を求めることにより、ウェハの中心を求
めている。また、ウェハの中心から一定距離だけ離れた
箇所、即ちウェハの円周の少し内側の点の濃度をサンプ
リングし、その濃度の差を検出することにより、ウェハ
のオリフラを高速かつ容易に検出することができる。
【図１】本発明のオリフラ検出装置の概略を示す図。
【図２】図１の装置の動作を示す図。
【図３】基準画像のウェハの中心及びリファレンスデ−
タを求める処理を示す図。
タを求める処理を示す図。
【図４】角度テ−ブルを求める処理を示す図。
【図５】角度テ−ブルを示す図。
【図６】検査画像のウェハの中心を求める処理を示す
図。
図。
【図７】検査画像のウェハの中心を求める処理を示す
図。
図。
【図８】検査画像のウェハの位置を求める処理を示す
図。
図。
【図９】メインオリフラとサブオリフラの位置関係を示
す図。
す図。
【符号の説明】 １１ …カメラ、 １２ …画像メモリ部、 １３ …処理部、 １３ａ …角度テ−ブル作成部、 １３ｂ …中心検出部、 １３ｃ …位置検出部、 １４ …制御部。
Claims (2)
- 【請求項１】 基準画像のウェハの中心を求め、前記基
準画像のウェハのエッジの内側に１つ又は２つのオリフ
ラを横切るような円を仮定し、その円に沿う複数のサン
プリングポイントを規定するテ−ブルを作成する手段
と、 前記基準画像のウェハの中心を原点とする２次元の直交
座標の座標軸により分けられた４つの領域のうちオリフ
ラが存在しない領域をリファレンスデ−タとして登録す
る手段と、 前記リファレンスデ−タに基づいてオリフラを有しない
ウェハの画像デ−タを作成する手段と、 検査画像の所定の検索領域と前記画像デ−タの所定の検
索領域について相関演算を行うことにより、前記検査画
像のウェハの中心を求める手段と、 前記テ−ブルに基づいて、前記検査画像のウェハのエッ
ジの内側に１つ又は２つのオリフラを横切るような円を
仮定し、その円に沿う複数のサンプリングポイントの濃
度を求めることにより、前記検査画像のウェハの１つ又
は２つのオリフラの位置を検出する手段とを具備するこ
とを特徴とするウェハのオリフラ検出装置。 - 【請求項２】 前記検査画像のウェハの中心は、前記基
準画像のウェハの中心を原点とする直交座標の座標軸に
より分けられた４つの検索領域のうちの所定の検索領域
と、前記基準画像の所定の検索領域に対応する前記検査
画像の所定の検索領域との相関演算を行うことにより求
められることを特徴とする請求項１に記載のウェハのオ
リフラ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16319195A JP2635303B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | ウェハのオリフラ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16319195A JP2635303B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | ウェハのオリフラ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914918A true JPH0914918A (ja) | 1997-01-17 |
| JP2635303B2 JP2635303B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=15769004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16319195A Expired - Lifetime JP2635303B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | ウェハのオリフラ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2635303B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1126235A2 (de) * | 2000-02-18 | 2001-08-22 | Prüftechnik Dieter Busch Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln der Ausrichtung eines drehbar gelagerten Körpers bezüglich einer Referenzeinrichtung |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP16319195A patent/JP2635303B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1126235A2 (de) * | 2000-02-18 | 2001-08-22 | Prüftechnik Dieter Busch Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln der Ausrichtung eines drehbar gelagerten Körpers bezüglich einer Referenzeinrichtung |
| EP1126235A3 (de) * | 2000-02-18 | 2003-08-20 | Prüftechnik Dieter Busch Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln der Ausrichtung eines drehbar gelagerten Körpers bezüglich einer Referenzeinrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2635303B2 (ja) | 1997-07-30 |
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