JPH09148350A - Method of resin molding - Google Patents

Method of resin molding

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JPH09148350A
JPH09148350A JP31099095A JP31099095A JPH09148350A JP H09148350 A JPH09148350 A JP H09148350A JP 31099095 A JP31099095 A JP 31099095A JP 31099095 A JP31099095 A JP 31099095A JP H09148350 A JPH09148350 A JP H09148350A
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JP
Japan
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resin
jig
fluororesin
epoxy resin
container
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JP31099095A
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Japanese (ja)
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Tsukasa Uchihara
士 内原
Hideo Tamura
英男 田村
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of resin molding, which produces an extremely smooth surface by coating a jig with fluororesin having a smooth surface, putting it in a container holding liquid epoxy and thermally hardening the epoxy whose surface is in contact with the fluororesin on the jig. SOLUTION: A jig 3 coated with fluororesin 4 having a smooth surface is put in a container 1 holding liquid epoxy 2. The epoxy 2, whose surface is in contact with the fluororesin 4 on the jig 3, is hardened by heat, and the jig is extracted from the container. For example, the fluororesin 4 is sufficiently smoothed by polishing after attached to the work surface of the jig 3. Preferably, the fluororesin 4 is a viscous coating material that has weak adhesion to epoxy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子の樹脂
封止などの際に用いられる樹脂成形方法に関し、特に成
形樹脂の表面に平滑面を形成する樹脂成形方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin molding method used for sealing a semiconductor element with resin, and more particularly to a resin molding method for forming a smooth surface on the surface of a molding resin.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、半導体素子の樹脂封止などの
際に用いられる樹脂成形方法としては、トランスファー
モールド法(移送成形法)やキャスティング法(注型
法)と呼ばれるものが一般的に知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, transfer molding method (casting method) and transfer molding method (casting method) are generally known as resin molding methods used for resin sealing of semiconductor elements. Has been.

【0003】トランスファーモールド法は、予め粉末ま
たは粒状の成形材料を予備形成しておき、合わせ金型の
中に投入する方法であるのに対し、キャスティング法
は、樹脂容器の中に液状の樹脂を流し込んで成形する方
法であるが、多種少量生産向きには、通常、キャスティ
ング法が用いられている。
The transfer molding method is a method in which a powdery or granular molding material is preliminarily preliminarily formed and then put into a molding die, whereas the casting method is a method in which a liquid resin is placed in a resin container. Although it is a method of pouring and molding, a casting method is usually used for a variety of small-quantity production.

【0004】図4は、キャスティング法による従来の樹
脂成形方法を示す工程断面図である。
FIG. 4 is a process sectional view showing a conventional resin molding method by a casting method.

【0005】まず、同図(a)に示すように、容器10
1の中に液状のエポキシ樹脂102を流し込み、成形す
るエポキシ樹脂102に平滑面を得るための平滑治具1
03の押し当て部分に、これを外す際に外しやすくする
ため油質からなる離型剤104を刷毛やスプレーで塗布
しておく。なお、発光素子や受光素子などを樹脂封止す
る場合は、この工程の前に容器101内に素子を固定し
ておく。
First, as shown in FIG.
Liquid epoxy resin 102 is poured into 1 to form a smooth jig 1 for obtaining a smooth surface on epoxy resin 102 to be molded.
A release agent 104 made of an oily substance is applied to the pressing portion of 03 with a brush or a spray in order to make it easy to remove it. When the light emitting element, the light receiving element, and the like are resin-sealed, the elements are fixed in the container 101 before this step.

【0006】次に、平滑治具103を上から降下してい
き、エポキシ樹脂102に押し当てて、加熱硬化した後
(図4(b))、平滑治具103を取り外して(図4
(c))。これによって、成形樹脂102Aの表面に平
滑面102Bを得るものである。
Next, the smoothing jig 103 is lowered from above, pressed against the epoxy resin 102, and cured by heating (FIG. 4B), and then the smoothing jig 103 is removed (see FIG. 4).
(C)). As a result, a smooth surface 102B is obtained on the surface of the molding resin 102A.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の樹脂成形方法において、平滑治具103に塗布され
る離型剤は、油の一種であるため平滑治具103をエポ
キシ樹脂102に押し当てた際、その押し当て部分の樹
脂表面には油膜が形成される。その油膜が一様に分布し
ていないため平滑でなく、従って、得られた成形樹脂1
02Aの平滑面102Bの平滑度は十分な満足行くもの
ではなかった。
However, in the above-mentioned conventional resin molding method, the releasing agent applied to the smoothing jig 103 is a kind of oil, so the smoothing jig 103 is pressed against the epoxy resin 102. At this time, an oil film is formed on the resin surface of the pressed portion. Since the oil film is not evenly distributed, it is not smooth, and thus the obtained molding resin 1
The smoothness of the smooth surface 102B of 02A was not sufficiently satisfactory.

【0008】上記のような平滑度の劣った成形樹脂10
2Aで、例えば発光素子や受光素子が樹脂封止された場
合は、出力するあるいは入力する光の波面が歪み、素子
機能を十分果たすことができない。
Molding resin 10 having poor smoothness as described above
In 2A, for example, when the light emitting element or the light receiving element is resin-sealed, the wavefront of light to be output or input is distorted, and the element function cannot be sufficiently achieved.

【0009】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、高精度の平滑
面を形成できる樹脂成形方法を提供することである。ま
たその他の目的は、少ない樹脂量で厚みのある平滑面を
形成できる樹脂成形方法を提供することである。さらに
その他の目的は、高精度の平滑面を容易に形成できる樹
脂成形方法を提供することである。
The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide a resin molding method capable of forming a highly accurate smooth surface. Another object is to provide a resin molding method capable of forming a thick smooth surface with a small amount of resin. Still another object is to provide a resin molding method capable of easily forming a highly accurate smooth surface.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の発明の特徴は、治具に弗素樹脂を付着させ、
その弗素樹脂の表面を予め平滑にしておき、容器に液状
のエポキシ樹脂をポッテングした後、前記エポキシ樹脂
の液面に前記治具の前記弗素樹脂面を押し当てたまま加
熱して前記エポキシ樹脂を硬化させ、硬化したエポキシ
樹脂から前記治具を取り外すことにある。
In order to achieve the above object, a feature of the first invention is that a jig is attached with a fluororesin,
The surface of the fluororesin is made smooth beforehand, and after potting a liquid epoxy resin into the container, the epoxy resin is heated by pressing the fluororesin surface of the jig against the liquid surface of the epoxy resin to heat the epoxy resin. Hardening and removing the jig from the hardened epoxy resin.

【0011】この第1の発明によれば、弗素樹脂はエポ
キシ樹脂に対して接着力が低く、且つ粘度の高い材質の
コーティング剤である点に着目し、この弗素樹脂を油質
からなる離型剤の代用とし、そして、該弗素樹脂の表面
を予め平滑にしておくことにより、高精度の平滑面を形
成する。
According to the first aspect of the present invention, attention is paid to the fact that the fluororesin is a coating agent made of a material having a low adhesive force to the epoxy resin and a high viscosity. By substituting the agent and smoothing the surface of the fluororesin in advance, a highly accurate smooth surface is formed.

【0012】第2の発明の特徴は、上記第1の発明にお
いて、前記エポキシ樹脂のポッテング後に、該エポキシ
樹脂の液面が前記容器の内壁に沿って盛り上がっている
とき、前記容器の内壁近くのエポキシ樹脂液面に、前記
治具の前記弗素樹脂面を触れる程度に押し当てることに
ある。
A feature of the second invention is that, in the first invention, when the liquid level of the epoxy resin rises along the inner wall of the container after potting the epoxy resin, the liquid near the inner wall of the container is close to the inner wall of the container. It is to press the fluororesin surface of the jig against the liquid surface of the epoxy resin to the extent that it touches.

【0013】この第2の発明によれば、毛細管現象によ
り容器の壁面寄りでエポキシ樹脂が吸い上げられ、この
毛細管現象により通常液面により高い位置に平滑面を形
成する。
According to the second aspect of the invention, the epoxy resin is sucked up near the wall surface of the container due to the capillary phenomenon, and the capillary phenomenon forms a smooth surface at a higher position than the normal liquid level.

【0014】第3の発明の特徴は、上記第1または第2
の発明において、前記治具を弗素樹脂で構成したことに
ある。
A third aspect of the present invention is the first or second aspect of the invention.
In the invention, the jig is made of a fluororesin.

【0015】この第3の発明によれば、上記第1または
第2の発明において、治具に弗素樹脂を付着させる工程
が不要となる。
According to the third invention, in the first or second invention, the step of attaching the fluorine resin to the jig is unnecessary.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係
る樹脂成形方法を示す断面工程図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional process drawing showing a resin molding method according to the first embodiment of the present invention.

【0017】本実施形態の樹脂成形方法では、まず、同
図(a)に示すように、平滑面を形成するための金属製
平滑治具3の押し当て部分に弗素樹脂4を付着させ、こ
の弗素樹脂4の表面を研磨して十分に平滑にしておく。
この弗素樹脂4としては、エポキシ樹脂2に対して接着
力が低く、且つ粘度の高い材質のコーティング剤(例え
ばテフロン)を使用する。そして、注射器やディスペン
サ等を用いて容器1の中に液状のエポキシ樹脂2をポッ
チングする。
In the resin molding method of the present embodiment, first, as shown in FIG. 3A, the fluorine resin 4 is attached to the pressing portion of the metal smoothing jig 3 for forming a smooth surface, The surface of the fluororesin 4 is polished to be sufficiently smooth.
As the fluorine resin 4, a coating agent (for example, Teflon) made of a material having a low adhesive force to the epoxy resin 2 and a high viscosity is used. Then, the liquid epoxy resin 2 is potted into the container 1 using a syringe, a dispenser or the like.

【0018】次いで、図1(b)に示すように、上記平
滑治具3を降下させて、容器1中のエポキシ樹脂2の平
滑面形成部分に押し当て、この状態で容器1全体を加熱
硬化槽に入れて加熱し(例えば125℃〜150℃)、
エポキシ樹脂2を硬化させる。
Then, as shown in FIG. 1B, the smoothing jig 3 is lowered and pressed against the smooth surface forming portion of the epoxy resin 2 in the container 1, and in this state, the entire container 1 is heated and cured. Put in a bath and heat (for example, 125 ° C to 150 ° C),
The epoxy resin 2 is cured.

【0019】その後は、図1(c)に示すように、平滑
治具3を上昇させて硬化したエポキシ樹脂2から取り外
して型抜きを行う。このとき、エポキシ樹脂2に対して
接着力が低い弗素樹脂4を使用しているので、容易に型
抜きを行うことができる。これによって、成形樹脂2A
表面には平滑度の優れた平滑面2Bが形成される。
After that, as shown in FIG. 1 (c), the smoothing jig 3 is lifted and removed from the cured epoxy resin 2, and die cutting is performed. At this time, since the fluorine resin 4 having a low adhesive force to the epoxy resin 2 is used, the die can be easily removed. As a result, the molding resin 2A
A smooth surface 2B having excellent smoothness is formed on the surface.

【0020】図2は、本発明の第2実施形態に係る樹脂
成形方法を示す断面工程図であり、図1と共通の要素に
は同一の符号を付し、同一内容の説明は省略する。
FIG. 2 is a cross-sectional process diagram showing a resin molding method according to the second embodiment of the present invention. Elements common to FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description of the same contents is omitted.

【0021】本実施形態の樹脂成形方法では、まず、同
図(a)に示すように、金属製平滑治具3Aの押し当て
部分に弗素樹脂4を付着させ、この弗素樹脂4の表面を
研磨して十分に平滑にしておく。ここで、後にエポキシ
樹脂2に対して平滑治具3Aを押し当てる際に、容器1
の壁面に近い位置で該押し当てが行われるように、本実
施形態の平滑治具3Aの押し当て部分は、中央から側壁
寄りにずらした位置に設けられている。そして、容器1
の中にエポキシ樹脂2をポッチングする。このポッチン
グ完了時のエポキシ樹脂2の液面は、容器1側壁の近く
で容器1内壁に沿って盛り上がった状態になっているも
のとする。
In the resin molding method of this embodiment, first, as shown in FIG. 3A, the fluororesin 4 is attached to the pressing portion of the metal smoothing jig 3A, and the surface of the fluororesin 4 is polished. And make it smooth enough. Here, when the smoothing jig 3A is pressed against the epoxy resin 2 later, the container 1
The pressing portion of the smoothing jig 3A according to the present embodiment is provided at a position displaced from the center toward the side wall so that the pressing is performed at a position close to the wall surface. And container 1
The epoxy resin 2 is potted inside. It is assumed that the liquid surface of the epoxy resin 2 at the time of completion of the potting is in a state of rising along the inner wall of the container 1 near the side wall of the container 1.

【0022】続いて、図2(b)に示すように、平滑治
具3Aを降下させる。そして、該平滑治具3Aの一部が
エポキシ樹脂2の一部に触れる程度に押し当てられる
と、毛細管現象により、同図(c)に示すように容器1
の側壁寄りでエポキシ樹脂2が吸い上げられる。この状
態で加熱し、エポキシ樹脂2を硬化させる。その後は、
図2(d)に示すように、平滑治具3Aを上昇させて硬
化したエポキシ樹脂2から取り外す型抜きを行う。
Then, as shown in FIG. 2B, the smoothing jig 3A is lowered. Then, when a part of the smoothing jig 3A is pressed so as to come in contact with a part of the epoxy resin 2, due to a capillary phenomenon, as shown in FIG.
The epoxy resin 2 is sucked up near the side wall of the. The epoxy resin 2 is cured by heating in this state. After that,
As shown in FIG. 2 (d), the smoothing jig 3A is lifted to remove from the cured epoxy resin 2 and die-cutting is performed.

【0023】これによって、成形樹脂2Dの表面には、
通常よりも高い位置に平滑度の優れた平滑面2Eが形成
される。
As a result, on the surface of the molding resin 2D,
A smooth surface 2E having excellent smoothness is formed at a position higher than usual.

【0024】本実施形態では、少ない樹脂量で厚みのあ
る高精度の平滑面が形成できるという利点がある。
This embodiment has an advantage that a highly accurate smooth surface having a large thickness can be formed with a small amount of resin.

【0025】なお、上記第1及び第2実施形態では、平
滑治具3または3Aを金属製とし、この金属製平滑治具
に弗素樹脂4を付着させ、この弗素樹脂4の表面を研磨
により平滑にするようにしたが、平滑治具そのものを弗
素樹脂4で構成し、その表面を研磨等によって平滑にし
ておくようにしてもよい。
In the first and second embodiments, the smoothing jig 3 or 3A is made of metal, the fluororesin 4 is attached to the metal smoothing jig, and the surface of the fluororesin 4 is smoothed by polishing. However, the smoothing jig itself may be made of the fluororesin 4 and the surface thereof may be smoothed by polishing or the like.

【0026】次に、上記第1または第2実施形態で示し
た樹脂成形方法を半導体素子の樹脂封止に適用した場合
の一例を説明する。
Next, an example in which the resin molding method shown in the first or second embodiment is applied to resin sealing of a semiconductor element will be described.

【0027】図3は、本発明の樹脂成形方法を適用した
発光素子の樹脂封止工程を示す要部断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part showing a resin sealing process of a light emitting element to which the resin molding method of the present invention is applied.

【0028】まず、例えば縦列に配置された複数個の容
器1を用意し、その各容器1の中に図3(a)に示すよ
うに発光素子11を固定する。このとき、発光素子11
の保護処理等も行う。そして、予め硬化剤及び充填剤等
を加えた液状のエポキシ樹脂2を前記容器1の中に流し
込む。
First, for example, a plurality of containers 1 arranged in a column are prepared, and the light emitting elements 11 are fixed in each container 1 as shown in FIG. 3 (a). At this time, the light emitting element 11
It also protects the Then, a liquid epoxy resin 2 to which a curing agent, a filler and the like have been added in advance is poured into the container 1.

【0029】その後は、図1(a)〜(c)、または図
2(a)〜(d)に示した工程へ移ることで、発光素子
11の樹脂封止が完了する。
After that, the process proceeds to the process shown in FIGS. 1A to 1C or 2A to 2D to complete the resin sealing of the light emitting element 11.

【0030】このように、上記第1または第2実施形態
に示した樹脂成形方法を発光素子11の樹脂封止に適用
した場合は、樹脂の平滑面の平滑度が優れているので、
波面が歪むことなく光の取り出しを行うことができる。
特に、厚みのある平滑面が形成できる第2実施形態の樹
脂成形方法を適用した場合は、発光素子11のボンディ
ングワイヤも少ない樹脂量で十分に封止することができ
るため有利となる。
As described above, when the resin molding method described in the first or second embodiment is applied to the resin sealing of the light emitting element 11, the smoothness of the smooth surface of the resin is excellent,
It is possible to take out light without distorting the wavefront.
In particular, when the resin molding method of the second embodiment capable of forming a thick smooth surface is applied, the bonding wire of the light emitting element 11 can be sufficiently sealed with a small amount of resin, which is advantageous.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、治具に弗素樹脂を付着させ、その弗素樹脂の
表面を予め平滑にしておき、容器に液状のエポキシ樹脂
をポッテングした後、前記エポキシ樹脂の液面に前記治
具の前記弗素樹脂面を押し当てたまま加熱して前記エポ
キシ樹脂を硬化させ、硬化したエポキシ樹脂から前記治
具を取り外すようにしたので、高精度の平滑面を形成す
ることが可能となる。
As described above in detail, according to the first aspect of the invention, the jig is coated with the fluororesin, the surface of the fluororesin is preliminarily smoothed, and the liquid epoxy resin is potted in the container. After that, the epoxy resin is heated while the fluororesin surface of the jig is pressed against the liquid surface of the epoxy resin to cure the epoxy resin, and the jig is removed from the cured epoxy resin. It is possible to form a smooth surface of.

【0032】第2の発明によれば、上記第1の発明にお
いて、前記エポキシ樹脂のポッテング後に、該エポキシ
樹脂の液面が前記容器の内壁に沿って盛り上がっている
とき、前記容器の内壁近くのエポキシ樹脂液面に、前記
治具の前記弗素樹脂面を触れる程度に押し当てるように
したので、上記第1の発明と同様の効果のほかに、少な
い樹脂量で厚みのある平滑面を形成できるという効果が
ある。
According to a second invention, in the first invention, when the liquid level of the epoxy resin rises along the inner wall of the container after potting of the epoxy resin, the epoxy resin near the inner wall of the container Since the fluororesin surface of the jig is pressed against the epoxy resin liquid surface to such an extent that it can be touched, a smooth surface having a large thickness can be formed with a small amount of resin, in addition to the same effect as the first invention. There is an effect.

【0033】第3の発明によれば、上記第1または第2
の発明において、前記治具を弗素樹脂で構成したので、
治具に弗素樹脂を付着させる工程が不要となり、高精度
の平滑面を容易に形成することが可能になる。
According to the third invention, the first or second
In the invention, since the jig is made of fluororesin,
The step of attaching the fluororesin to the jig becomes unnecessary, and it becomes possible to easily form a highly accurate smooth surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態に係る樹脂成形方法を示
す断面工程図である。
FIG. 1 is a sectional process drawing showing a resin molding method according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施形態に係る樹脂成形方法を示
す断面工程図である。
FIG. 2 is a sectional process diagram showing a resin molding method according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の樹脂成形方法を適用した発光素子の樹
脂封止工程を示す要部断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part showing a resin sealing process of a light emitting element to which the resin molding method of the present invention is applied.

【図4】キャスティング法による従来の樹脂成形方法を
示す工程断面図である。
FIG. 4 is a process sectional view showing a conventional resin molding method by a casting method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 容器 2 エポキシ樹脂 2A,2D 成形樹脂 2B,2E 平滑面 3,3A 平滑治具 4 弗素樹脂 11 発光素子 1 container 2 epoxy resin 2A, 2D molding resin 2B, 2E smooth surface 3, 3A smoothing jig 4 fluororesin 11 light emitting element

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 治具に弗素樹脂を付着させ、その弗素樹
脂の表面を予め平滑にしておき、 容器に液状のエポキシ樹脂をポッテングした後、 前記エポキシ樹脂の液面に前記治具の前記弗素樹脂面を
押し当てたまま加熱して前記エポキシ樹脂を硬化させ、 硬化したエポキシ樹脂から前記治具を取り外すことを特
徴とする樹脂成形方法。
1. A fluororesin is adhered to a jig, the surface of the fluororesin is smoothed in advance, a liquid epoxy resin is potted into a container, and then the fluororesin of the jig is placed on the liquid surface of the epoxy resin. A resin molding method comprising: heating the epoxy resin while pressing the resin surface to cure the epoxy resin; and removing the jig from the cured epoxy resin.
【請求項2】 前記エポキシ樹脂のポッテング後に、該
エポキシ樹脂の液面が前記容器の内壁に沿って盛り上が
っているとき、 前記容器の内壁近くのエポキシ樹脂液面に、前記治具の
前記弗素樹脂面を触れる程度に押し当てることを特徴と
する請求項1記載の樹脂成形方法。
2. When the liquid level of the epoxy resin rises along the inner wall of the container after potting of the epoxy resin, the epoxy resin liquid level near the inner wall of the container is fixed to the fluorine resin of the jig. The resin molding method according to claim 1, wherein the resin molding method comprises pressing the surface to the extent that it touches the surface.
【請求項3】 前記治具を弗素樹脂で構成したことを特
徴とする請求項1または請求項2記載の樹脂成形方法。
3. The resin molding method according to claim 1 or 2, wherein the jig is made of a fluororesin.
JP31099095A 1995-11-29 1995-11-29 Method of resin molding Pending JPH09148350A (en)

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