JPH09143271A - 新規なケイ素系ポリマー及びその製造方法 - Google Patents
新規なケイ素系ポリマー及びその製造方法Info
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- JPH09143271A JPH09143271A JP26880595A JP26880595A JPH09143271A JP H09143271 A JPH09143271 A JP H09143271A JP 26880595 A JP26880595 A JP 26880595A JP 26880595 A JP26880595 A JP 26880595A JP H09143271 A JPH09143271 A JP H09143271A
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- carbon atoms
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐熱性、耐燃焼材料の新規なケイ素系ポリマ
ー及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 アセチレン結合及びSi−H結合を有す
る一般式(1) (式中、R1は水素原子またはアルキル基、アルケニル
基、アルキニル基、フェニル基などの芳香族基、R2は
アルキレン基、アルケニレン基、二価の芳香族基、R3
はアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、二
価の芳香族基、およびこれらの基が直接または架橋員を
通して連結した基である。)で表される繰り返し単位を
含むケイ素系ポリマー、及びその製造方法。
ー及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 アセチレン結合及びSi−H結合を有す
る一般式(1) (式中、R1は水素原子またはアルキル基、アルケニル
基、アルキニル基、フェニル基などの芳香族基、R2は
アルキレン基、アルケニレン基、二価の芳香族基、R3
はアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、二
価の芳香族基、およびこれらの基が直接または架橋員を
通して連結した基である。)で表される繰り返し単位を
含むケイ素系ポリマー、及びその製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐熱、耐燃焼材料
として有用なアセチレン結合、Si−H結合を有する繰
り返し単位を含む新規なケイ素系ポリマーと、その製造
方法に関する。
として有用なアセチレン結合、Si−H結合を有する繰
り返し単位を含む新規なケイ素系ポリマーと、その製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】軽量で力学特性に優れた成型加工可能な
耐熱材料として多くのエンジニアリングプラスチックが
開発されているが、現状での耐熱性はポリイミドが最高
であり(熱変形温度360℃)、これ以上の耐熱性向上
にはプラスチックとしての加工性が大幅に低下する。C
−F結合を有するケイ素系ポリマーとしては、シリコー
ンの側鎖のアルキル基にフッ素を導入したポリマーがあ
るが耐熱性は約300℃程度である。
耐熱材料として多くのエンジニアリングプラスチックが
開発されているが、現状での耐熱性はポリイミドが最高
であり(熱変形温度360℃)、これ以上の耐熱性向上
にはプラスチックとしての加工性が大幅に低下する。C
−F結合を有するケイ素系ポリマーとしては、シリコー
ンの側鎖のアルキル基にフッ素を導入したポリマーがあ
るが耐熱性は約300℃程度である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、耐熱
性、耐燃焼性に優れたポリマーの開発に鋭意努力してき
た。その結果、エチニルシラン化合物より製造した分子
内にアセチレン結合、Si−H結合を有する繰り返し単
位を含むケイ素系ポリマーが極めて高い耐熱性を有する
ことを見い出した。さらにシリル化合物とC−F結合を
有するジエチニル化合物、C−F結合を有するジエチニ
ルシリル化合物より製造した、分子内にアセチレン結
合、Si−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単位
を含むケイ素系ポリマーが極めて高い耐熱性、耐燃焼性
を有することを見いだし、本発明に到達した。
性、耐燃焼性に優れたポリマーの開発に鋭意努力してき
た。その結果、エチニルシラン化合物より製造した分子
内にアセチレン結合、Si−H結合を有する繰り返し単
位を含むケイ素系ポリマーが極めて高い耐熱性を有する
ことを見い出した。さらにシリル化合物とC−F結合を
有するジエチニル化合物、C−F結合を有するジエチニ
ルシリル化合物より製造した、分子内にアセチレン結
合、Si−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単位
を含むケイ素系ポリマーが極めて高い耐熱性、耐燃焼性
を有することを見いだし、本発明に到達した。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、一般式(1)
【0005】
【化4】 (式中、R1は水素原子または炭素数1から30のアル
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R2は炭素数1から30のア
ルキレン基、アルケニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、R3は直結または炭素数1
から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレ
ン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の芳香族
基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結した基及
び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、アルケ
ニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン基、イ
ソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、スルフ
ィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連結した
基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチレ
ン結合及びSi−H結合を有するケイ素系ポリマーを提
供するものである。
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R2は炭素数1から30のア
ルキレン基、アルケニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、R3は直結または炭素数1
から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレ
ン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の芳香族
基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結した基及
び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、アルケ
ニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン基、イ
ソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、スルフ
ィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連結した
基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチレ
ン結合及びSi−H結合を有するケイ素系ポリマーを提
供するものである。
【0006】また、本発明は一般式(1)における
R2、R3の両方またはいづれか一方が、少なくとも1個
のC−F結合を有するものである一般式(1)で表され
る繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi−H結
合を有するケイ素系ポリマーを提供するものである。
R2、R3の両方またはいづれか一方が、少なくとも1個
のC−F結合を有するものである一般式(1)で表され
る繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi−H結
合を有するケイ素系ポリマーを提供するものである。
【0007】また、本発明はHC≡C−R3−R2−Si
H2−R1(式中、R1は水素原子または炭素数1から3
0のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニ
ル基やナフチル基などの芳香族基、R2は炭素数1から
30のアルキレン基、アルケニレン基、フェニレン基や
ナフチレン基などの二価の芳香族基、R3は直結または
炭素数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、ア
ルキニレン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価
の芳香族基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結
した基及び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基と直接またはメチ
レン基、イソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル
基、スルフィド基、シラネディル基などの架橋員を通し
て連結した基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン
原子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基
を含んでいてもよい。)で表されるエチニルシラン化合
物を一種または二種以上の塩基性金属酸化物触媒の存在
下で反応させることを特徴とする一般式(1)で表され
る繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi−H結
合を有するケイ素系ポリマーの製造方法である。また、
本発明は一般式(2)
H2−R1(式中、R1は水素原子または炭素数1から3
0のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニ
ル基やナフチル基などの芳香族基、R2は炭素数1から
30のアルキレン基、アルケニレン基、フェニレン基や
ナフチレン基などの二価の芳香族基、R3は直結または
炭素数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、ア
ルキニレン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価
の芳香族基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結
した基及び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基と直接またはメチ
レン基、イソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル
基、スルフィド基、シラネディル基などの架橋員を通し
て連結した基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン
原子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基
を含んでいてもよい。)で表されるエチニルシラン化合
物を一種または二種以上の塩基性金属酸化物触媒の存在
下で反応させることを特徴とする一般式(1)で表され
る繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi−H結
合を有するケイ素系ポリマーの製造方法である。また、
本発明は一般式(2)
【0008】
【化5】 (式中、R1は水素原子または炭素数1から30のアル
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1個のC−
F結合を有する炭素数1から30のアルキレン基、アル
ケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または架橋
員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1から30
のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基と直
接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エーテル
基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル基など
の架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水
酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んで
いてもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチ
レン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素
系ポリマーを提供するものである。また、本発明は一般
式(2)におけるR4が一般式(3)
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1個のC−
F結合を有する炭素数1から30のアルキレン基、アル
ケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または架橋
員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1から30
のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基と直
接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エーテル
基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル基など
の架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水
酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んで
いてもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチ
レン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素
系ポリマーを提供するものである。また、本発明は一般
式(2)におけるR4が一般式(3)
【0009】
【化6】 (式中、R5、R6は炭素数1から28のアルキレン基、
アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフ
チレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または
架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。k、mは0または10以下の正の整数、i、j
は0または21以下の正の整数でi、jの両方が同時に
0になることはない。)で表されるものである一般式
(2) (式中、R1は水素原子または炭素数1から3
0のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニ
ル基やナフチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1
個のC−F結合を有する炭素数1から30のアルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基や
ナフチレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接ま
たは架橋員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1
から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレ
ン基と直接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エ
ーテル基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル
基などの架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原
子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を
含んでいてもよい。)で表される繰り返し単位を含む、
アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結合を有する
ケイ素系ポリマーを提供するものである。
アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフ
チレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または
架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。k、mは0または10以下の正の整数、i、j
は0または21以下の正の整数でi、jの両方が同時に
0になることはない。)で表されるものである一般式
(2) (式中、R1は水素原子または炭素数1から3
0のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニ
ル基やナフチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1
個のC−F結合を有する炭素数1から30のアルキレン
基、アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基や
ナフチレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接ま
たは架橋員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1
から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレ
ン基と直接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エ
ーテル基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル
基などの架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原
子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を
含んでいてもよい。)で表される繰り返し単位を含む、
アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結合を有する
ケイ素系ポリマーを提供するものである。
【0010】また、本発明はR1−SiH3(式中、R1
は水素原子または炭素数1から30のアルキル基、アル
ケニル基、アルキニル基、フェニル基やナフチル基など
の芳香族基であり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、
カルボキシル基などの置換基を含んでいてもよい。)で
表されるシリル化合物を一種または二種以上の塩基性金
属酸化物触媒の存在下で、HC≡C−R4−C≡CH
(式中、R4は少なくとも1個のC−F結合を有する炭
素数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、アル
キニレン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の
芳香族基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結し
た基及び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、
アルケニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン
基、イソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、
スルフィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連
結した基であり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、カ
ルボキシル基などの置換基を含んでいてもよい。)で表
されるジエチニル化合物と反応させることを特徴とする
一般式(2)で表される繰り返し単位を含む、アセチレ
ン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素系
ポリマーの製造方法である。
は水素原子または炭素数1から30のアルキル基、アル
ケニル基、アルキニル基、フェニル基やナフチル基など
の芳香族基であり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、
カルボキシル基などの置換基を含んでいてもよい。)で
表されるシリル化合物を一種または二種以上の塩基性金
属酸化物触媒の存在下で、HC≡C−R4−C≡CH
(式中、R4は少なくとも1個のC−F結合を有する炭
素数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、アル
キニレン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の
芳香族基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結し
た基及び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、
アルケニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン
基、イソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、
スルフィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連
結した基であり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、カ
ルボキシル基などの置換基を含んでいてもよい。)で表
されるジエチニル化合物と反応させることを特徴とする
一般式(2)で表される繰り返し単位を含む、アセチレ
ン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素系
ポリマーの製造方法である。
【0011】また、本発明はHC≡C−R4−C≡C−
SiH2−R1(式中、R1は水素原子または炭素数1か
ら30のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フ
ェニル基やナフチル基などの芳香族基、R4は少なくと
も1個のC−F結合を有する炭素数1から30のアルキ
レン基、アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン
基やナフチレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直
接または架橋員を通して連結した基及び芳香族基が炭素
数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキ
ニレン基と直接またはメチレン基、イソプロピリデン
基、エーテル基、カルボニル基、スルフィド基、シラネ
ディル基などの架橋員を通して連結した基であり、ハロ
ゲン原子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置
換基を含んでいてもよい。ハロゲン原子、水酸基、アミ
ノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでいてもよ
い。)で表されるジエチニルシリル化合物を一種または
二種以上の塩基性金属酸化物触媒の存在下で反応させる
ことを特徴とする一般式(2)で表される繰り返し単位
を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結合
を有するケイ素系ポリマーの製造方法である。
SiH2−R1(式中、R1は水素原子または炭素数1か
ら30のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、フ
ェニル基やナフチル基などの芳香族基、R4は少なくと
も1個のC−F結合を有する炭素数1から30のアルキ
レン基、アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン
基やナフチレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直
接または架橋員を通して連結した基及び芳香族基が炭素
数1から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキ
ニレン基と直接またはメチレン基、イソプロピリデン
基、エーテル基、カルボニル基、スルフィド基、シラネ
ディル基などの架橋員を通して連結した基であり、ハロ
ゲン原子、水酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置
換基を含んでいてもよい。ハロゲン原子、水酸基、アミ
ノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでいてもよ
い。)で表されるジエチニルシリル化合物を一種または
二種以上の塩基性金属酸化物触媒の存在下で反応させる
ことを特徴とする一般式(2)で表される繰り返し単位
を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結合
を有するケイ素系ポリマーの製造方法である。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の製造方法の特徴は、要約
すると、反応式(4)
すると、反応式(4)
【0013】
【化7】 で表されるように、HC≡C−R3−R2−SiH2−R1
で表されるエチニルシラン化合物を塩基性金属酸化物の
存在下で脱水素重合させることによりアセチレン結合お
よびSi−H結合を有する繰り返し単位を含む新規なケ
イ素系ポリマーが製造できることにある。また、反応式
(5)
で表されるエチニルシラン化合物を塩基性金属酸化物の
存在下で脱水素重合させることによりアセチレン結合お
よびSi−H結合を有する繰り返し単位を含む新規なケ
イ素系ポリマーが製造できることにある。また、反応式
(5)
【0014】
【化8】 で表されるように、R1−SiH3で表されるシリル化合
物と、HC≡C−R4−C≡CHで表されるジエチニル
化合物を塩基性金属酸化物の存在下で脱水素重合させる
ことにより、または反応式(6)
物と、HC≡C−R4−C≡CHで表されるジエチニル
化合物を塩基性金属酸化物の存在下で脱水素重合させる
ことにより、または反応式(6)
【0015】
【化9】 で表されるように、HC≡C−R4−C≡C−SiH2−
R1で表されるジエチニルシリル化合物を塩基性金属酸
化物の存在下で脱水素重合させることによりアセチレン
結合、Si−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単
位を含む新規なケイ素系ポリマーが製造できることにあ
る。
R1で表されるジエチニルシリル化合物を塩基性金属酸
化物の存在下で脱水素重合させることによりアセチレン
結合、Si−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単
位を含む新規なケイ素系ポリマーが製造できることにあ
る。
【0016】本発明における一般式(1)中の、R3は
直結とは、R3が存在しない場合をいう。 すなわち一
般式(1)で−C≡C−とR2が直接結合した場合をい
い、一般式(1)が−C≡C−R2−SiHR1−で表さ
れる場合のことである。本発明における一般式(1)で
表される繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi
−H結合を有する新規なケイ素系ポリマーとは、具体的
には繰り返し単位がエチニレン−1,3−フェニレンシ
リレン(化学式(7))
直結とは、R3が存在しない場合をいう。 すなわち一
般式(1)で−C≡C−とR2が直接結合した場合をい
い、一般式(1)が−C≡C−R2−SiHR1−で表さ
れる場合のことである。本発明における一般式(1)で
表される繰り返し単位を含む、アセチレン結合及びSi
−H結合を有する新規なケイ素系ポリマーとは、具体的
には繰り返し単位がエチニレン−1,3−フェニレンシ
リレン(化学式(7))
【0017】
【化10】 、エチニレン−1,4−フェニレンシリレン、エチニレ
ン−1,2−フェニレンシリレン、エチニレン−1,3−
フェニレン(メチルシリレン)(化学式(8))
ン−1,2−フェニレンシリレン、エチニレン−1,3−
フェニレン(メチルシリレン)(化学式(8))
【0018】
【化11】 、エチニレン−1,4−フェニレン(メチルシリレ
ン)、エチニレン−1,2−フェニレン(メチルシリレ
ン)、エチニレン−1,3−フェニレン(フェニルシリ
レン)(化学式(9))
ン)、エチニレン−1,2−フェニレン(メチルシリレ
ン)、エチニレン−1,3−フェニレン(フェニルシリ
レン)(化学式(9))
【0019】
【化12】 、エチニレン−1,4−フェニレン(フェニルシリレ
ン)、エチニレン−1,2−フェニレン(フェニルシリ
レン)、エチニレン−1,3−フェニレン(ヘキシルシ
リレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(ビニルシ
リレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(エチニル
シリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(2−プ
ロペニルシリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン
(2−プロピニルシリレン)、エチニレン−1,3−フ
ェニレン(トリフルオメチルロシリレン)、エチニレン
−1,3−フェニレン(3,3,3−トリフルオロプロピ
ルシリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(4−
メチルフェニルシリレン)(化学式(10))
ン)、エチニレン−1,2−フェニレン(フェニルシリ
レン)、エチニレン−1,3−フェニレン(ヘキシルシ
リレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(ビニルシ
リレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(エチニル
シリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(2−プ
ロペニルシリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン
(2−プロピニルシリレン)、エチニレン−1,3−フ
ェニレン(トリフルオメチルロシリレン)、エチニレン
−1,3−フェニレン(3,3,3−トリフルオロプロピ
ルシリレン)、エチニレン−1,3−フェニレン(4−
メチルフェニルシリレン)(化学式(10))
【0020】
【化13】 、エチニレン−1,3−フェニレン(4−ビニルフェニ
ルシリレン)、エチニレン(5−メチル−1,3−フェ
ニレン)シリレン、エチニレン(5−メチル−1,3−
フェニレン)シリレン(化学式(11))
ルシリレン)、エチニレン(5−メチル−1,3−フェ
ニレン)シリレン、エチニレン(5−メチル−1,3−
フェニレン)シリレン(化学式(11))
【0021】
【化14】 、エチニレン(5−ヒドロキシ−1,3−フェニレン)
シリレン、エチニレン−2,7−ナフチレンシリレン
(化学式(12))
シリレン、エチニレン−2,7−ナフチレンシリレン
(化学式(12))
【0022】
【化15】 、エチニレン−5,10−アントラセネディルシリレ
ン、エチニレン−4,4'−ビフェニレンシリレン(化学
式(13))
ン、エチニレン−4,4'−ビフェニレンシリレン(化学
式(13))
【0023】
【化16】 、エチニレン−1,4−フェニレンメチレン−1',4'−
フェニレンシリレン、エチニレン−1,4−フェニレン
−2,2−プロピリデン−1',4'−フェニレンシリレ
ン、エチニレン−1,4−フェニレンオキシ−1',4'フ
ェニレン−シリレン(化学式(14))
フェニレンシリレン、エチニレン−1,4−フェニレン
−2,2−プロピリデン−1',4'−フェニレンシリレ
ン、エチニレン−1,4−フェニレンオキシ−1',4'フ
ェニレン−シリレン(化学式(14))
【0024】
【化17】 、エチニレン−2,5−ピリジネディルシリレン(化学
式(15))
式(15))
【0025】
【化18】 、エチニレン−2,5−チオフェネディリルシリレンま
たは1,4−1−ブチニルシリレン、エチニレン−1,4
−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−
1',4'−フェニレン(フェニルシリレン)(化学式
(16))
たは1,4−1−ブチニルシリレン、エチニレン−1,4
−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−
1',4'−フェニレン(フェニルシリレン)(化学式
(16))
【0026】
【化19】 、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−1',4'−フェニレン(メチルシリ
レン)、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキ
サフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンシリレ
ン、エチニレン(3−フルオロ−1,5−フェニレン)シ
リレン、エチニレン(3−フルオロ−1,5−フェニレ
ン)(メチルシリレン)、エチニレン(3−フルオロ−
1,5−フェニレン)(フェニルシリレン)(化学式
(17))
オロプロピリデン−1',4'−フェニレン(メチルシリ
レン)、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキ
サフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンシリレ
ン、エチニレン(3−フルオロ−1,5−フェニレン)シ
リレン、エチニレン(3−フルオロ−1,5−フェニレ
ン)(メチルシリレン)、エチニレン(3−フルオロ−
1,5−フェニレン)(フェニルシリレン)(化学式
(17))
【0027】
【化20】 、エチニレン(3−トリフルオロメチル−1,5−フェニ
レン)シリレン、エチニレン(3−トリフルオロメチル
−1,5−フェニレン)エチニレン(メチルシリレ
ン)、エチニレン(3−トリフルオロメチル−1,5−フ
ェニレン)(フェニルシリレン)(化学式(18))
レン)シリレン、エチニレン(3−トリフルオロメチル
−1,5−フェニレン)エチニレン(メチルシリレ
ン)、エチニレン(3−トリフルオロメチル−1,5−フ
ェニレン)(フェニルシリレン)(化学式(18))
【0028】
【化21】 、エチニレン−1,4−フェニレンテトラフルオロエチ
レン(フェニルシリレン)(化学式(19))
レン(フェニルシリレン)(化学式(19))
【0029】
【化22】 、化学式(20)
【0030】
【化23】 または化学式(21)
【0031】
【化24】 などが挙げられる。
【0032】また、本発明における一般式(2)で表さ
れる繰り返し単位を含む、アセチレン結合、Si−H結
合及びC−F結合を有する新規なケイ素系ポリマーと
は、具体的には繰り返し単位がエチニレン−1,4−フ
ェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',
4'−フェニレンエチニレンシリレン(化学式(2
2))
れる繰り返し単位を含む、アセチレン結合、Si−H結
合及びC−F結合を有する新規なケイ素系ポリマーと
は、具体的には繰り返し単位がエチニレン−1,4−フ
ェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',
4'−フェニレンエチニレンシリレン(化学式(2
2))
【0033】
【化25】 、エチニレン−1,3−フェニレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレンシ
リレン、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキ
サフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニ
レン(メチルシリレン)(化学式(23))、
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレンシ
リレン、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキ
サフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニ
レン(メチルシリレン)(化学式(23))、
【0034】
【化26】 、エチニレン−1,3−フェニレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレン
(メチルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン
−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェ
ニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(2
4))
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレン
(メチルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン
−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェ
ニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(2
4))
【0035】
【化27】 、エチニレン−1,3−フェニレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(n−ヘキシルルシリレン)、エチ
ニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプ
ロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(トリフ
ルオロメチルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−
フェニレンエチニレン(3,3,3−トリフルオロプロピ
ルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2
−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレン
エチニレン(ビニルシリレン)、エチニレン−1,4−
フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−
1',4'−フェニレンエチニレン(アリルシリレン)、
エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオ
ロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(エ
チニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン−
2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェニ
レンエチニレン(2−プロピニルシリレン)、エチニレ
ン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1',4'−フェニレンエチニレン(4−メチル
フェニルシリレン)(化学式(25))
オロプロピリデン−1',3'−フェニレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(n−ヘキシルルシリレン)、エチ
ニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプ
ロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(トリフ
ルオロメチルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−
フェニレンエチニレン(3,3,3−トリフルオロプロピ
ルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2
−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェニレン
エチニレン(ビニルシリレン)、エチニレン−1,4−
フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−
1',4'−フェニレンエチニレン(アリルシリレン)、
エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオ
ロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(エ
チニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン−
2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フェニ
レンエチニレン(2−プロピニルシリレン)、エチニレ
ン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1',4'−フェニレンエチニレン(4−メチル
フェニルシリレン)(化学式(25))
【0036】
【化28】 、エチニレン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン
(4−トリフルオロメチルフェニルシリレン)、エチニ
レン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(4−ビニ
ルフェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(4−エチニルフェニルシリレ
ン)、テトラフルオロ−1,5−ヘキサジイニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(26))
オロプロピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン
(4−トリフルオロメチルフェニルシリレン)、エチニ
レン−1,4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(4−ビニ
ルフェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(4−エチニルフェニルシリレ
ン)、テトラフルオロ−1,5−ヘキサジイニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(26))
【0037】
【化29】 、3,3,4,−トリフルオロ−4−トリフルオロメチル
−1,5−ヘキサジイニレン(フェニルシリレン)、エ
チニレン−1,4−フェニレン(1,1−ジフルオロ−
2,2−プロピニレン)(フェニルシリレン)、エチニ
レン(3−フルオロ−1,5−フェニレン)エチニレン
(フェニルシリレン)(化学式(27))
−1,5−ヘキサジイニレン(フェニルシリレン)、エ
チニレン−1,4−フェニレン(1,1−ジフルオロ−
2,2−プロピニレン)(フェニルシリレン)、エチニ
レン(3−フルオロ−1,5−フェニレン)エチニレン
(フェニルシリレン)(化学式(27))
【0038】
【化30】 、エチニレン(3−トリフルオロメチル−1,5−フェ
ニレン)エチニレン(フェニルシリレン)、エチニレン
−1,4−フェニレンジフルオロメチレン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(2
8))
ニレン)エチニレン(フェニルシリレン)、エチニレン
−1,4−フェニレンジフルオロメチレン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(2
8))
【0039】
【化31】 、エチニレン−1,4−フェニレン−1,1−テトラフル
オロエチリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(29))
オロエチリデン−1',4'−フェニレンエチニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(29))
【0040】
【化32】 、エチニレン−1,4−フェニレン(2,2,2−トリフ
ルオロ−1,1−エチリデン)−1',4'−フェニレンエ
チニレン(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−
フェニレン(1,1,3,3,−テトラフルオロ−2,2−
プロピリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(30))
ルオロ−1,1−エチリデン)−1',4'−フェニレンエ
チニレン(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−
フェニレン(1,1,3,3,−テトラフルオロ−2,2−
プロピリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フ
ェニルシリレン)(化学式(30))
【0041】
【化33】 、エチニレン−1,4−フェニレン(1,3,−ジフルオ
ロ−2,2−プロピリデン)−1',4'−フェニレンエチ
ニレン(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フ
ェニレン(1,1,1−トリフルオロ−2,2−プロピリ
デン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシ
リレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(4,4,4
−トリフルオロ−2,2−ブチリデン)−1',4'−フェ
ニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(3
1))
ロ−2,2−プロピリデン)−1',4'−フェニレンエチ
ニレン(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フ
ェニレン(1,1,1−トリフルオロ−2,2−プロピリ
デン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシ
リレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(4,4,4
−トリフルオロ−2,2−ブチリデン)−1',4'−フェ
ニレンエチニレン(フェニルシリレン)(化学式(3
1))
【0042】
【化34】 、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,1,4,4,4
−ヘキサフルオロ−2,2−ブチリデン)−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン)、エチニレン
−1,4−フェニレン(オクタフルオロ−2,2−ブチリ
デン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシ
リレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,1,
5,5,5−ヘキサフルオロ−3,3−ペンチリデン)−
1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレン)
(化学式(32))
−ヘキサフルオロ−2,2−ブチリデン)−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン)、エチニレン
−1,4−フェニレン(オクタフルオロ−2,2−ブチリ
デン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシ
リレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,1,
5,5,5−ヘキサフルオロ−3,3−ペンチリデン)−
1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレン)
(化学式(32))
【0043】
【化35】 、エチニレン−1,4−フェニレン(パーフルオロ−3,
3−ペンチリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン(1,1,5,5,5−ペンタフルオロ−2,2−ペンチ
リデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニル
シリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,
1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,2−ペンチリデン)
−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレ
ン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,1,5,
5,6,6,7,7,8,8−ウンデカフルオロ−3,3−オ
クチリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェ
ニルシリレン)(化学式(33))
3−ペンチリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−1,4−フェニレ
ン(1,1,5,5,5−ペンタフルオロ−2,2−ペンチ
リデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニル
シリレン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,
1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,2−ペンチリデン)
−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレ
ン)、エチニレン−1,4−フェニレン(1,1,1,5,
5,6,6,7,7,8,8−ウンデカフルオロ−3,3−オ
クチリデン)−1',4'−フェニレンエチニレン(フェ
ニルシリレン)(化学式(33))
【0044】
【化36】 、エチニレン−2,6−ナフチレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−2',6'−ナフチレンエチニレン
(フェニルシリレン)(化学式(34))
オロプロピリデン−2',6'−ナフチレンエチニレン
(フェニルシリレン)(化学式(34))
【0045】
【化37】 、エチニレン−2,7−ナフチレン−2,2−ヘキサフル
オロプロピリデン−2',7'−ナフチレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−4,4'−ビフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−4'',
4'''−ビフェニレンエチニレン(フェニルシリレン)
(化学式(35))
オロプロピリデン−2',7'−ナフチレンエチニレン
(フェニルシリレン)、エチニレン−4,4'−ビフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−4'',
4'''−ビフェニレンエチニレン(フェニルシリレン)
(化学式(35))
【0046】
【化38】 、化学式(36)
【0047】
【化39】 、化学式(37)
【0048】
【化40】 、化学式(38)
【0049】
【化41】 、化学式(39)
【0050】
【化42】 、化学式(40)
【0051】
【化43】 、化学式(41)
【0052】
【化44】 または化学式(42)
【0053】
【化45】 などが挙げられる。本発明における新規なケイ素系ポリ
マーは、一種または二種以上のこれらの繰り返し単位を
含むものであり、本願で言及している以外の他の構造か
ら成る繰り返し単位を含むこともできる。
マーは、一種または二種以上のこれらの繰り返し単位を
含むものであり、本願で言及している以外の他の構造か
ら成る繰り返し単位を含むこともできる。
【0054】一般式(1)で表される繰り返し単位を含
む、アセチレン結合及びSi−H結合を有する新規なケ
イ素系ポリマーおよび一般式(2)で表される繰り返し
単位を含む、アセチレン結合、Si−H結合およびC−
F結合を有する新規なケイ素系ポリマーを製造する方法
を説明する。反応装置は原料を供給する部分、反応容器
内部の攪拌装置、反応容器の温度を制御する部分などか
らなる。
む、アセチレン結合及びSi−H結合を有する新規なケ
イ素系ポリマーおよび一般式(2)で表される繰り返し
単位を含む、アセチレン結合、Si−H結合およびC−
F結合を有する新規なケイ素系ポリマーを製造する方法
を説明する。反応装置は原料を供給する部分、反応容器
内部の攪拌装置、反応容器の温度を制御する部分などか
らなる。
【0055】反応式(4)、反応式(5)および反応式
(6)で使用し得る触媒としては、先に本発明者らが述
べているように(特開平5−236445)、単一の金
属元素からなる塩基性酸化物と、その塩基性酸化物を含
む複合酸化物とに大別できる。塩基性酸化物の具体例と
しては、アルカリ金属酸化物(Li2O、Na2O、K 2
O、Rb2O、Cs2O)、アルカリ土類金属酸化物(B
eO、MgO、CaO、SrO、BaO、RaO)、ラ
ンタノイド酸化物(La2O3、CeO2、Pr2O3、N
d2O3、Sm2O3、Eu2O3、Gd2O3、Tb2O3、D
y2O3、Ho2O 3、Er2O3、Tm2O3、Yb2O3、L
u2O3)、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化
トリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニ
ウム、酸化銅、酸化亜鉛、酸化カドミウムなどがある。
(6)で使用し得る触媒としては、先に本発明者らが述
べているように(特開平5−236445)、単一の金
属元素からなる塩基性酸化物と、その塩基性酸化物を含
む複合酸化物とに大別できる。塩基性酸化物の具体例と
しては、アルカリ金属酸化物(Li2O、Na2O、K 2
O、Rb2O、Cs2O)、アルカリ土類金属酸化物(B
eO、MgO、CaO、SrO、BaO、RaO)、ラ
ンタノイド酸化物(La2O3、CeO2、Pr2O3、N
d2O3、Sm2O3、Eu2O3、Gd2O3、Tb2O3、D
y2O3、Ho2O 3、Er2O3、Tm2O3、Yb2O3、L
u2O3)、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化
トリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニ
ウム、酸化銅、酸化亜鉛、酸化カドミウムなどがある。
【0056】本発明に用いられる塩基性酸化物を含む複
合酸化物の具体例としては、シリカとの複合酸化物とし
ては、Li2O−SiO2、Na2O−SiO2、K2O−
SiO2、Rb2O−SiO2、Cs2O−SiO2、Be
O−SiO2、MgO−SiO 2、CaO−SiO2、S
rO−SiO2、BaO−SiO2、RaO−SiO2、
La2O3−SiO2、Sc2O3−SiO2、Y2O3−Si
O2、ThO2−SiO2、ZnO−SiO2などがあり、
アルミナとの複合酸化物としては、Li2O−Al
2O3、Na2O−Al2O3、K2O−Al2O3、Rb2O
−Al2O3、Cs2O−Al2O3、BeO−Al2O3、
MgO−Al2O3、CaO−Al2O3、SrO−Al2
O3、BaO−Al2O3、RaO−Al2O3、La2O3
−Al2O3、Sc2O3−Al2O3、Y2O3−Al2O3、
ThO2−Al2O3、ZrO2−Al2O3、ZnO−Al
2O3などがある。
合酸化物の具体例としては、シリカとの複合酸化物とし
ては、Li2O−SiO2、Na2O−SiO2、K2O−
SiO2、Rb2O−SiO2、Cs2O−SiO2、Be
O−SiO2、MgO−SiO 2、CaO−SiO2、S
rO−SiO2、BaO−SiO2、RaO−SiO2、
La2O3−SiO2、Sc2O3−SiO2、Y2O3−Si
O2、ThO2−SiO2、ZnO−SiO2などがあり、
アルミナとの複合酸化物としては、Li2O−Al
2O3、Na2O−Al2O3、K2O−Al2O3、Rb2O
−Al2O3、Cs2O−Al2O3、BeO−Al2O3、
MgO−Al2O3、CaO−Al2O3、SrO−Al2
O3、BaO−Al2O3、RaO−Al2O3、La2O3
−Al2O3、Sc2O3−Al2O3、Y2O3−Al2O3、
ThO2−Al2O3、ZrO2−Al2O3、ZnO−Al
2O3などがある。
【0057】マグネシアとの複合酸化物としては、Li
2O−MgO、Na2O−MgO、K 2O−MgO、Rb2
O−MgO、Cs2O−MgO、BeO−MgO、Ca
O−MgO、SrO−MgO、BaO−MgO、RaO
−MgO、La2O3−MgO、、Sc2O3−MgO、Y
2O3−MgO、ThO2−MgO、ZrO2−MgO、Z
nO−MgOなどがあり、シリカ−アルミナとの複合酸
化物としては、Li2O−SiO2−Al2O3、Na2O
−SiO2−Al2O3、K2O−SiO2−Al2O3、R
b2O−SiO2−Al2O3、Cs2O−SiO2−Al2
O3、BeO−SiO2−Al2O3、MgO−SiO2−
Al2O3、CaO−SiO2−Al2O3、SrO−Si
O2−Al2O3、BaO−SiO2−Al2O3、RaO−
SiO2−Al2O3、La2O3−SiO2−Al2O3、S
c2O3−SiO2−Al2O3、Y2O3−SiO2−Al2
O3、ThO2−SiO2−Al2O3、ZrO2−SiO2
−Al2O3、ZnO−SiO2−Al2O3などがあり、
シリカ−マグネシアとの複合酸化物としては、Li2O
−SiO2−MgO、Na2O−SiO2−MgO、K2O
−SiO2−MgO、Rb2O−SiO2−MgO、Cs2
O−SiO2−MgO、BeO−SiO2−MgO、Ca
O−SiO2−MgO、SrO−SiO2−MgO、Ba
O−SiO2−MgO、RaO−SiO2−MgO、La
2O3−SiO 2−MgO、Sc2O3−SiO2−MgO、
Y2O3−SiO2−MgO、ThO2−SiO2−Mg
O、ZrO2−SiO2−MgO、ZnO−SiO2−M
gOなどがあり、マグネシア−アルミナとの複合酸化物
としては、Li2O−MgO−Al2O3、Na2O−Mg
O−Al2O3、K2O−MgO−Al2O3、Rb2O−M
gO−Al2O3、Cs2O−MgO−Al2O3、BeO
−MgO−Al2O3、CaO−MgO−Al2O3、Sr
O−MgO−Al2O3、BaO−MgO−Al2O3、R
aO−MgO−Al2O3、La2O3−MgO−Al
2O3、Sc2O3−MgO−Al2O3、Y2O3−MgO−
Al2O3、ThO2−MgO−Al2O3、ZrO2−Mg
O−Al2O3、ZnO−MgO−Al2O3などがある。
2O−MgO、Na2O−MgO、K 2O−MgO、Rb2
O−MgO、Cs2O−MgO、BeO−MgO、Ca
O−MgO、SrO−MgO、BaO−MgO、RaO
−MgO、La2O3−MgO、、Sc2O3−MgO、Y
2O3−MgO、ThO2−MgO、ZrO2−MgO、Z
nO−MgOなどがあり、シリカ−アルミナとの複合酸
化物としては、Li2O−SiO2−Al2O3、Na2O
−SiO2−Al2O3、K2O−SiO2−Al2O3、R
b2O−SiO2−Al2O3、Cs2O−SiO2−Al2
O3、BeO−SiO2−Al2O3、MgO−SiO2−
Al2O3、CaO−SiO2−Al2O3、SrO−Si
O2−Al2O3、BaO−SiO2−Al2O3、RaO−
SiO2−Al2O3、La2O3−SiO2−Al2O3、S
c2O3−SiO2−Al2O3、Y2O3−SiO2−Al2
O3、ThO2−SiO2−Al2O3、ZrO2−SiO2
−Al2O3、ZnO−SiO2−Al2O3などがあり、
シリカ−マグネシアとの複合酸化物としては、Li2O
−SiO2−MgO、Na2O−SiO2−MgO、K2O
−SiO2−MgO、Rb2O−SiO2−MgO、Cs2
O−SiO2−MgO、BeO−SiO2−MgO、Ca
O−SiO2−MgO、SrO−SiO2−MgO、Ba
O−SiO2−MgO、RaO−SiO2−MgO、La
2O3−SiO 2−MgO、Sc2O3−SiO2−MgO、
Y2O3−SiO2−MgO、ThO2−SiO2−Mg
O、ZrO2−SiO2−MgO、ZnO−SiO2−M
gOなどがあり、マグネシア−アルミナとの複合酸化物
としては、Li2O−MgO−Al2O3、Na2O−Mg
O−Al2O3、K2O−MgO−Al2O3、Rb2O−M
gO−Al2O3、Cs2O−MgO−Al2O3、BeO
−MgO−Al2O3、CaO−MgO−Al2O3、Sr
O−MgO−Al2O3、BaO−MgO−Al2O3、R
aO−MgO−Al2O3、La2O3−MgO−Al
2O3、Sc2O3−MgO−Al2O3、Y2O3−MgO−
Al2O3、ThO2−MgO−Al2O3、ZrO2−Mg
O−Al2O3、ZnO−MgO−Al2O3などがある。
【0058】通常これらの金属酸化物は、使用前に活性
化処理する。100〜800℃の温度範囲で、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気または減圧下に
て1〜20時間熱処理後、使用する。また目的とする金
属酸化物は、相当する金属の硝酸塩、炭酸塩および水酸
化物等を上述の条件で熱分解することによっても製造で
きる。触媒の量は、原料のHC≡C−R3−R2−SiH
2−R1で表されるエチニルシラン化合物、HC≡C−R
4−C≡CHで表されるジエチニル化合物またはHC≡
C−R4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニル
シリル化合物1molに対して0.1〜100mol、
好ましくは0.5〜10molである。
化処理する。100〜800℃の温度範囲で、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気または減圧下に
て1〜20時間熱処理後、使用する。また目的とする金
属酸化物は、相当する金属の硝酸塩、炭酸塩および水酸
化物等を上述の条件で熱分解することによっても製造で
きる。触媒の量は、原料のHC≡C−R3−R2−SiH
2−R1で表されるエチニルシラン化合物、HC≡C−R
4−C≡CHで表されるジエチニル化合物またはHC≡
C−R4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニル
シリル化合物1molに対して0.1〜100mol、
好ましくは0.5〜10molである。
【0059】一般式(1)で表される繰り返し単位を含
む、アセチレン結合およびSi−H結合を有するケイ素
系ポリマーを、HC≡C−R2−SiH2−R1で表され
るエチニルシラン化合物より製造する方法を詳細に説明
する。原料のHC≡C−R2−SiH2−R1で表される
エチニルシラン化合物は、具体的には、m−エチニルフ
ェニルシラン(化学式(43))
む、アセチレン結合およびSi−H結合を有するケイ素
系ポリマーを、HC≡C−R2−SiH2−R1で表され
るエチニルシラン化合物より製造する方法を詳細に説明
する。原料のHC≡C−R2−SiH2−R1で表される
エチニルシラン化合物は、具体的には、m−エチニルフ
ェニルシラン(化学式(43))
【0060】
【化46】 、p−エチニルフェニルシラン、o−エチニルフェニル
シラン、m−エチニルフェニル(メチルシラン)(化学
式(44))
シラン、m−エチニルフェニル(メチルシラン)(化学
式(44))
【0061】
【化47】 、p−エチニルフェニル(メチルシラン)、o−エチニ
ルフェニル(メチルシラン)、m−エチニルフェニル
(フェニルシラン)(化学式(45))
ルフェニル(メチルシラン)、m−エチニルフェニル
(フェニルシラン)(化学式(45))
【0062】
【化48】 、p−エチニルフェニル(フェニルシラン)、o−エチ
ニルフェニル(フェニルシラン)、m−エチニルフェニ
ル(ヘキシル)シラン、m−エチニルフェニル(ビニ
ル)シラン、m−エチニルフェニル(エチニル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(2−プロペニル)シラ
ン)、m−エチニルフェニル(2−プロピニル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(トリフルオメチル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(3,3,3−トリフルオロプ
ロピル)シラン、m−エチニルフェニル(p−メチルフ
ェニル)シラン(化学式(46))
ニルフェニル(フェニルシラン)、m−エチニルフェニ
ル(ヘキシル)シラン、m−エチニルフェニル(ビニ
ル)シラン、m−エチニルフェニル(エチニル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(2−プロペニル)シラ
ン)、m−エチニルフェニル(2−プロピニル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(トリフルオメチル)シラ
ン、m−エチニルフェニル(3,3,3−トリフルオロプ
ロピル)シラン、m−エチニルフェニル(p−メチルフ
ェニル)シラン(化学式(46))
【0063】
【化49】 、(m−エチニルフェニル)(p−ビニルフェニル)シ
ラン、3−エチニル−5−メチルフェニルシラン、(化
学式(47))
ラン、3−エチニル−5−メチルフェニルシラン、(化
学式(47))
【0064】
【化50】 、3,5−ジシリル−エチニルベンゼン、3−エチニル
−5−ヒドロキシ−フェニルシラン、2−エチニル−7
−シリルナフタレン(化学式(48))
−5−ヒドロキシ−フェニルシラン、2−エチニル−7
−シリルナフタレン(化学式(48))
【0065】
【化51】 、5−エチニル−10−シリルアントラセン、4−エチ
ニル−4'−シリルビフェニル(化学式(49))
ニル−4'−シリルビフェニル(化学式(49))
【0066】
【化52】 、(4−エチニルフェニル)(4'−シリルフェニル)
メタン、2−(4−エチニルフェニル)−2−(4'−
シリルフェニル)プロパン(化学式(50))
メタン、2−(4−エチニルフェニル)−2−(4'−
シリルフェニル)プロパン(化学式(50))
【0067】
【化53】 、(4−エチニルフェニル)(4'−シリルフェニル)
エ−テル(化学式(51))
エ−テル(化学式(51))
【0068】
【化54】 、2−エチニル−5−シリルピリジン(化学式(5
2))
2))
【0069】
【化55】 、2−エチニル−5−シリルチオフェン、4−シリル−
1−ブチン、4−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサ
フルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンシラン、
4−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1',4'−フェニレン(メチルシラン)、4
−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1',4'−フェニレン(フェニルシラン)(化
学式(53))
1−ブチン、4−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサ
フルオロプロピリデン−1',4'−フェニレンシラン、
4−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1',4'−フェニレン(メチルシラン)、4
−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1',4'−フェニレン(フェニルシラン)(化
学式(53))
【0070】
【化56】 、3−フルオロ−5−シリルエチニルベンゼン、3−フ
ルオロ−(5−メチルシリレン)エチニルベンゼン、3
−フルオロ−(5−フェニルシリレン)エチニルベンゼ
ン(化学式(54))
ルオロ−(5−メチルシリレン)エチニルベンゼン、3
−フルオロ−(5−フェニルシリレン)エチニルベンゼ
ン(化学式(54))
【0071】
【化57】 、3−トリフルオロメチル−5−シリルエチニルベンゼ
ン、3−トリフルオロメチル(5−メチルシリレン)エ
チニルベンゼン、3−トリフルオロメチル−(5−フェ
ニルシリレン)エチニルベンゼン(化学式(55))
ン、3−トリフルオロメチル(5−メチルシリレン)エ
チニルベンゼン、3−トリフルオロメチル−(5−フェ
ニルシリレン)エチニルベンゼン(化学式(55))
【0072】
【化58】 、4−エチニルフェニレンテトラフルオロエチレン(フ
ェニルシラン)(化学式(56))
ェニルシラン)(化学式(56))
【0073】
【化59】 、化学式(57)
【0074】
【化60】 または化学式(58)
【0075】
【化61】 などが挙げられる。
【0076】本反応は、無溶媒もしくは溶媒中で反応さ
せることができる。容器内に原料のHC≡C−R2−S
iH2−R1で表されるエチニルシラン化合物および活性
化処理を行った塩基性金属酸化物触媒、さらに必要に応
じて溶媒を仕込む。これらの容器への仕込の順序は特に
限定するものではない。反応溶液を所定の温度に制御し
つつ、攪拌しながら所定の時間反応させる。所定の反応
時間後、濾過により触媒を分離する。さらに、減圧蒸留
により溶媒を除去もしくは貧溶媒中で分散させることに
より反応液からポリマーを析出分離する。
せることができる。容器内に原料のHC≡C−R2−S
iH2−R1で表されるエチニルシラン化合物および活性
化処理を行った塩基性金属酸化物触媒、さらに必要に応
じて溶媒を仕込む。これらの容器への仕込の順序は特に
限定するものではない。反応溶液を所定の温度に制御し
つつ、攪拌しながら所定の時間反応させる。所定の反応
時間後、濾過により触媒を分離する。さらに、減圧蒸留
により溶媒を除去もしくは貧溶媒中で分散させることに
より反応液からポリマーを析出分離する。
【0077】容器内は高純度窒素あるいは高純度アルゴ
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のエチニルシラン化合物1mmol
に対して0.1〜20mlが好ましい。また、溶媒に含
まれる水分が触媒の活性を低下させる場合があるので、
溶媒は予め脱水乾燥したものを用いるのが好ましい。
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のエチニルシラン化合物1mmol
に対して0.1〜20mlが好ましい。また、溶媒に含
まれる水分が触媒の活性を低下させる場合があるので、
溶媒は予め脱水乾燥したものを用いるのが好ましい。
【0078】反応温度は0〜150℃、より好ましくは
25〜100℃である。反応圧力は特に限定されず、常
圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより異なる
が1〜100時間が適切である。ポリマーを析出分離す
る場合に使用できる貧溶媒にはペンタン、ヘキサン、ヘ
プタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素やメタノール、
エタノール、プロパノールなどの脂肪族アルコールが挙
げられる。
25〜100℃である。反応圧力は特に限定されず、常
圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより異なる
が1〜100時間が適切である。ポリマーを析出分離す
る場合に使用できる貧溶媒にはペンタン、ヘキサン、ヘ
プタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素やメタノール、
エタノール、プロパノールなどの脂肪族アルコールが挙
げられる。
【0079】次に、一般式(2)で表される繰り返し単
位を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結
合を有する新規なケイ素系ポリマーを、R1−SiH3で
表されるシリル化合物と、HC≡C−R4−C≡CHで
表されるジエチニル化合物より製造する方法を詳細に説
明する。原料のR1−SiH3で表されるシリル化合物
は、具体的には、n−ヘキシルシラン、フェニルシラ
ン、p−シリルトルエン、p−シリル−α,α,α−トリ
フルオロトルエン、p−シリルスチレン、p−シリルエ
チニルベンゼンなどが挙げられる。原料のHC≡C−R
4−C≡CHで表されるジエチニル化合物は、具体的に
は、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)ヘキサフル
オロプロピリデン(化学式(59))
位を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F結
合を有する新規なケイ素系ポリマーを、R1−SiH3で
表されるシリル化合物と、HC≡C−R4−C≡CHで
表されるジエチニル化合物より製造する方法を詳細に説
明する。原料のR1−SiH3で表されるシリル化合物
は、具体的には、n−ヘキシルシラン、フェニルシラ
ン、p−シリルトルエン、p−シリル−α,α,α−トリ
フルオロトルエン、p−シリルスチレン、p−シリルエ
チニルベンゼンなどが挙げられる。原料のHC≡C−R
4−C≡CHで表されるジエチニル化合物は、具体的に
は、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)ヘキサフル
オロプロピリデン(化学式(59))
【0080】
【化62】 、2,2−ビス(3−エチニルフェニル)ヘキサフルオ
ロプロピリデン、3,3,4,4−テトラフルオロ−1,5
−ヘキサジイン(化学式(60))
ロプロピリデン、3,3,4,4−テトラフルオロ−1,5
−ヘキサジイン(化学式(60))
【0081】
【化63】 、3,3,4,−トリフルオロ−3−トリフルオロメチル
−1,5−ヘキサジイン、1−α,α−ジフルオロ−2−
プロピニル(4−エチニル)ベンゼン(化学式(6
1))
−1,5−ヘキサジイン、1−α,α−ジフルオロ−2−
プロピニル(4−エチニル)ベンゼン(化学式(6
1))
【0082】
【化64】 、3,5−ジエチニルフルオロベンゼン、3,5−ジエチ
ニル−α,α,α−トリフルオロトルエン、ビス(4−エ
チニルフェニル)ジフルオロメチレン(化学式(6
2))
ニル−α,α,α−トリフルオロトルエン、ビス(4−エ
チニルフェニル)ジフルオロメチレン(化学式(6
2))
【0083】
【化65】 、1,1−ビス(4−エチニルフェニル)テトラフルオ
ロエチリデン(化学式(63))
ロエチリデン(化学式(63))
【0084】
【化66】 、1,1−ビス(4−エチニルフェニル)−2,2,2−
トリフルオロエチリデン、2,2−ビス(4−エチニル
フェニル)−1,1,3,3,−テトラフルオロプロピリデ
ン(化学式(64))
トリフルオロエチリデン、2,2−ビス(4−エチニル
フェニル)−1,1,3,3,−テトラフルオロプロピリデ
ン(化学式(64))
【0085】
【化67】 、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)−1,3,−ジ
フルオロプロピリデン、2,2−ビス(4−エチニルフ
ェニル)−1,1,1−トリフルオロプロピリデン、2,
2−ビス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,4,4,
4−ヘキサフルオロ−2,2−ブチリデン(化学式(6
5))
フルオロプロピリデン、2,2−ビス(4−エチニルフ
ェニル)−1,1,1−トリフルオロプロピリデン、2,
2−ビス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,4,4,
4−ヘキサフルオロ−2,2−ブチリデン(化学式(6
5))
【0086】
【化68】 、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)−4,4,4−
トリフルオロブチリデン)、2,2−ビス(4−エチニ
ルフェニル)−オクタフルオロブチリデン、3,3−ビ
ス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,5,5,5−ヘ
キサフルオロペンチリデン(化学式(66))
トリフルオロブチリデン)、2,2−ビス(4−エチニ
ルフェニル)−オクタフルオロブチリデン、3,3−ビ
ス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,5,5,5−ヘ
キサフルオロペンチリデン(化学式(66))
【0087】
【化69】 、3,3−ビス(4−エチニルフェニルデカフルオロペ
ンチリデン、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)−
1,1,5,5,5−ペンタフルオロペンチリデン、2,2
−ビス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,5,5,5
−ヘキサフルオロペンチリデン、3,3−ビス(4−エ
チニルフェニル)−1,1,1,5,5,6,6,7,7,8,8
−ウンデカフルオロオクチリデン(化学式(67))
ンチリデン、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)−
1,1,5,5,5−ペンタフルオロペンチリデン、2,2
−ビス(4−エチニルフェニル)−1,1,1,5,5,5
−ヘキサフルオロペンチリデン、3,3−ビス(4−エ
チニルフェニル)−1,1,1,5,5,6,6,7,7,8,8
−ウンデカフルオロオクチリデン(化学式(67))
【0088】
【化70】 、化学式(68)
【0089】
【化71】 、化学式(69)
【0090】
【化72】 、化学式(70)
【0091】
【化73】 、化学式(71)
【0092】
【化74】 、化学式(72)
【0093】
【化75】 、化学式(73)
【0094】
【化76】 、化学式(74)
【0095】
【化77】 、化学式(75)
【0096】
【化78】 、化学式(76)
【0097】
【化79】 または化学式(77)
【0098】
【化80】 などが挙げられる。これらの化合物はC−F結合を有し
ないジエチニル化合物、具体的には、m−ジエチニルベ
ンゼン、p−ジエチニルベンゼン、o−ジエチニルベン
ゼン、2,4−ジエチニルトルエン、2,6−ジエチニル
ナフタレン、2,7−ジエチニルナフタレン、4,4'−
ジエチニルビフェニル、ビス(4−エチニルフェニル)
メチレン、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)プロ
ピリデン、ビス(4,4'−エチニルフェニル)エーテ
ル、ビス(4−エチニルフェニル)スルフィド、ビス
(4−エチニルフェニル)スルフォン、3,5−ジエチ
ニルトルエン、3,5−ジエチニルピリジン、2,5−ジ
エチニルチオフェン等と混合して使用することもでき
る。
ないジエチニル化合物、具体的には、m−ジエチニルベ
ンゼン、p−ジエチニルベンゼン、o−ジエチニルベン
ゼン、2,4−ジエチニルトルエン、2,6−ジエチニル
ナフタレン、2,7−ジエチニルナフタレン、4,4'−
ジエチニルビフェニル、ビス(4−エチニルフェニル)
メチレン、2,2−ビス(4−エチニルフェニル)プロ
ピリデン、ビス(4,4'−エチニルフェニル)エーテ
ル、ビス(4−エチニルフェニル)スルフィド、ビス
(4−エチニルフェニル)スルフォン、3,5−ジエチ
ニルトルエン、3,5−ジエチニルピリジン、2,5−ジ
エチニルチオフェン等と混合して使用することもでき
る。
【0099】本反応は、無溶媒もしくは溶媒中で反応さ
せることができる。容器内に原料のR1−SiH3で表さ
れるシリル化合物、HC≡C−R4−C≡CHで表され
るジエチニル化合物および活性化処理を行った塩基性金
属酸化物触媒、さらに必要に応じて溶媒を仕込む。これ
らの容器への仕込の順序は特に限定するものではない。
反応溶液を所定の温度に制御しつつ、攪拌しながら所定
の時間反応させる。所定の反応時間後、濾過により触媒
を分離する。さらに、減圧蒸留により溶媒を除去もしく
は貧溶媒中で分散させることにより反応液からポリマー
を分離する。
せることができる。容器内に原料のR1−SiH3で表さ
れるシリル化合物、HC≡C−R4−C≡CHで表され
るジエチニル化合物および活性化処理を行った塩基性金
属酸化物触媒、さらに必要に応じて溶媒を仕込む。これ
らの容器への仕込の順序は特に限定するものではない。
反応溶液を所定の温度に制御しつつ、攪拌しながら所定
の時間反応させる。所定の反応時間後、濾過により触媒
を分離する。さらに、減圧蒸留により溶媒を除去もしく
は貧溶媒中で分散させることにより反応液からポリマー
を分離する。
【0100】容器内は高純度窒素あるいは高純度アルゴ
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のシリル化合物もしくはジエチニル
化合物1mmolに対して0.1〜20mlが好まし
い。また、溶媒に含まれる水分が触媒の活性を低下させ
る場合があるので、溶媒は予め脱水乾燥したものを用い
るのが好ましい。反応温度は0〜150℃、より好まし
くは25〜100℃である。反応圧力は特に限定され
ず、常圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより
異なるが1〜100時間が適切である。
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のシリル化合物もしくはジエチニル
化合物1mmolに対して0.1〜20mlが好まし
い。また、溶媒に含まれる水分が触媒の活性を低下させ
る場合があるので、溶媒は予め脱水乾燥したものを用い
るのが好ましい。反応温度は0〜150℃、より好まし
くは25〜100℃である。反応圧力は特に限定され
ず、常圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより
異なるが1〜100時間が適切である。
【0101】最後に、一般式(2)で表される繰り返し
単位を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F
結合を有する新規なケイ素系ポリマーを、HC≡C−R
4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニルシリル
化合物より製造する方法を詳細に説明する。原料のHC
≡C−R4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニ
ルシリル化合物は、具体的には、4'−エチニルフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,4−フ
ェニレンエチニレンシラン(化学式(78))
単位を含む、アセチレン結合、Si−H結合及びC−F
結合を有する新規なケイ素系ポリマーを、HC≡C−R
4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニルシリル
化合物より製造する方法を詳細に説明する。原料のHC
≡C−R4−C≡C−SiH2−R1で表されるジエチニ
ルシリル化合物は、具体的には、4'−エチニルフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,4−フ
ェニレンエチニレンシラン(化学式(78))
【0102】
【化81】 、3'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプ
ロピリデン−1,3−フェニレンエチニレンシラン、
4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1,4−フェニレンエチニレン(メチルシラ
ン)(化学式(79))
ロピリデン−1,3−フェニレンエチニレンシラン、
4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロ
ピリデン−1,4−フェニレンエチニレン(メチルシラ
ン)(化学式(79))
【0103】
【化82】 、3'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプ
ロピリデン−1,3−エチニレン(メチルシラン)、4'
−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1,4−フェニレンエチニレン(フェニルシラ
ン)(化学式(80))
ロピリデン−1,3−エチニレン(メチルシラン)、4'
−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピ
リデン−1,4−フェニレンエチニレン(フェニルシラ
ン)(化学式(80))
【0104】
【化83】 、3'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプ
ロピリデン−1,3−フェニレンエチニレン(フェニル
シラン)、4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフ
ルオロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン
(トリフルオロメチルシラン)、4'−エチニルフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,4−フ
ェニレンエチニレン(ビニルシラン)、4'−エチニル
フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,
4−フェニレンエチニレン(アリルシラン)、4'−エ
チニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデ
ン−1,4−フェニレンエチニレン(エチニルシラ
ン)、4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオ
ロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン(2−
プロピニルシラン)などが挙げられる。
ロピリデン−1,3−フェニレンエチニレン(フェニル
シラン)、4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフ
ルオロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン
(トリフルオロメチルシラン)、4'−エチニルフェニ
レン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,4−フ
ェニレンエチニレン(ビニルシラン)、4'−エチニル
フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1,
4−フェニレンエチニレン(アリルシラン)、4'−エ
チニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデ
ン−1,4−フェニレンエチニレン(エチニルシラ
ン)、4'−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフルオ
ロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン(2−
プロピニルシラン)などが挙げられる。
【0105】本反応は、無溶媒もしくは溶媒中で反応さ
せることができる。容器内に原料のHC≡C−R4−C
≡C−SiH2−R1で表されるジエチニルシリル化合物
および活性化処理を行った塩基性金属酸化物触媒、さら
に必要に応じて溶媒を仕込む。これらの容器への仕込の
順序は特に限定するものではない。反応溶液を所定の温
度に制御しつつ、攪拌しながら所定の時間反応させる。
所定の反応時間後、濾過により触媒を分離する。さら
に、減圧蒸留により溶媒を除去もしくは貧溶媒中で分散
させることにより反応液からポリマーを分離する。
せることができる。容器内に原料のHC≡C−R4−C
≡C−SiH2−R1で表されるジエチニルシリル化合物
および活性化処理を行った塩基性金属酸化物触媒、さら
に必要に応じて溶媒を仕込む。これらの容器への仕込の
順序は特に限定するものではない。反応溶液を所定の温
度に制御しつつ、攪拌しながら所定の時間反応させる。
所定の反応時間後、濾過により触媒を分離する。さら
に、減圧蒸留により溶媒を除去もしくは貧溶媒中で分散
させることにより反応液からポリマーを分離する。
【0106】容器内は高純度窒素あるいは高純度アルゴ
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のジエチニルシリル化合物1mmo
lに対して0.1〜20mlが好ましい。また、溶媒に
含まれる水分が触媒の活性を低下させる場合があるの
で、溶媒は予め脱水乾燥したものを用いるのが好まし
い。
ンなどの不活性ガスで置換することが望ましい。溶媒と
しては、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼ
ンのような芳香族炭化水素系溶媒や、ジエチルエーテ
ル、n−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキ
サンのようなエーテル系溶媒や、ジクロロメタン、クロ
ロホルムのような含ハロゲン溶媒や、N−メチルピロリ
ドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドの
ような有機極性溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。溶媒の量は原料のジエチニルシリル化合物1mmo
lに対して0.1〜20mlが好ましい。また、溶媒に
含まれる水分が触媒の活性を低下させる場合があるの
で、溶媒は予め脱水乾燥したものを用いるのが好まし
い。
【0107】反応温度は0〜150℃、より好ましくは
25〜100℃である。反応圧力は特に限定されず、常
圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより異なる
が1〜100時間が適切である。本発明は、一般式
(1)、一般式(2)、一般式(3)の繰り返し単位
と、本願において言及した以外の繰り返し単位からなる
共重合体であってもよい。
25〜100℃である。反応圧力は特に限定されず、常
圧で実施できる。反応時間は反応温度などにより異なる
が1〜100時間が適切である。本発明は、一般式
(1)、一般式(2)、一般式(3)の繰り返し単位
と、本願において言及した以外の繰り返し単位からなる
共重合体であってもよい。
【0108】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。 実施例1 粒径が30〜60メッシュの水酸化マグネシウム7.2
gを石英焼成管に仕込み、0.3mmHgの減圧下にお
いて350℃で3時間熱分解して5.0gの酸化マグネ
シウムを得た。100mlのガラス製容器の内部に磁気
攪拌子を設置し、容器内を高純度窒素ガスで置換した。
続いて容器内に原料のm−エチニルフェニルシラン3.
9g(30 mmol)及び溶媒としてトルエン40m
lを仕込み、攪拌しながら先に得た酸化マグネシウム
5.0gを窒素シール下で加えた。30℃で1時間、4
0℃で1時間、50℃で1時間、60℃で1時間、さら
に80℃で2時間攪拌後、反応液をガラスフィルターで
濾過し触媒を除去した。さらに反応液を濃縮後、ヘプタ
ン200ml中でポリマーを析出させ 1.2gの目的
生成物であるポリ(エチニレン−1,3−フェニレンシ
リレン)が得られた。収率は31%であった。
gを石英焼成管に仕込み、0.3mmHgの減圧下にお
いて350℃で3時間熱分解して5.0gの酸化マグネ
シウムを得た。100mlのガラス製容器の内部に磁気
攪拌子を設置し、容器内を高純度窒素ガスで置換した。
続いて容器内に原料のm−エチニルフェニルシラン3.
9g(30 mmol)及び溶媒としてトルエン40m
lを仕込み、攪拌しながら先に得た酸化マグネシウム
5.0gを窒素シール下で加えた。30℃で1時間、4
0℃で1時間、50℃で1時間、60℃で1時間、さら
に80℃で2時間攪拌後、反応液をガラスフィルターで
濾過し触媒を除去した。さらに反応液を濃縮後、ヘプタ
ン200ml中でポリマーを析出させ 1.2gの目的
生成物であるポリ(エチニレン−1,3−フェニレンシ
リレン)が得られた。収率は31%であった。
【0109】GPC(ゲル透過クロマトグラフィー)に
よるポリスチレン換算の重量平均分子量は、4200で
あった。元素分析の測定値は、炭素72.6%(理論値73.8
%)、水素5.1%(理論値4.6%)であり、測定値は、測定
誤差の範囲で理論値とよく一致している。1 H-NMR(ppm,CDCl3) 3.2(C≡C-H)、4.3(-SiH3)、4.8(S
iH2 )、5.1(SiH)、7.2〜8.1(Ph-H)。13 C-NMR(ppm,CDCl3) 78.4(-C≡CH)、82.4(-C≡CH)、8
7.6(Si-C≡C-)、108.0(Si-C≡C-)、122.5(Ph)、128〜13
1(Ph)、136.2(Ph)、139.5(Ph)。29 Si-NMR(ppm,CDCl3) -59.7(-SiH3)、-60.0(-SiH2-P
h)、-63.8(>SiH-Ph)。
よるポリスチレン換算の重量平均分子量は、4200で
あった。元素分析の測定値は、炭素72.6%(理論値73.8
%)、水素5.1%(理論値4.6%)であり、測定値は、測定
誤差の範囲で理論値とよく一致している。1 H-NMR(ppm,CDCl3) 3.2(C≡C-H)、4.3(-SiH3)、4.8(S
iH2 )、5.1(SiH)、7.2〜8.1(Ph-H)。13 C-NMR(ppm,CDCl3) 78.4(-C≡CH)、82.4(-C≡CH)、8
7.6(Si-C≡C-)、108.0(Si-C≡C-)、122.5(Ph)、128〜13
1(Ph)、136.2(Ph)、139.5(Ph)。29 Si-NMR(ppm,CDCl3) -59.7(-SiH3)、-60.0(-SiH2-P
h)、-63.8(>SiH-Ph)。
【0110】IR(cm-1) 702(m)、784(s)、86
0(m)、934(s)、1063(w)、1151(w)、
1600(w)、2182(s)、3084(m)、3312(w)。
0(m)、934(s)、1063(w)、1151(w)、
1600(w)、2182(s)、3084(m)、3312(w)。
【0111】次に、この新規なケイ素系ポリマーの熱物
性をTGA−DTAにより測定した。アルゴン雰囲気に
おけるTd5(5%重量減少温度)は820℃であっ
た。この値は、ポリイミド(商品名キャプトン)のアル
ゴン雰囲気中におけるTd5の586℃よりも優れてお
り、本発明におけるアセチレン結合及びSi−H結合を
有する繰り返し単位を含む新規なケイ素系ポリマーが耐
熱性に極めて優れていることを示している。
性をTGA−DTAにより測定した。アルゴン雰囲気に
おけるTd5(5%重量減少温度)は820℃であっ
た。この値は、ポリイミド(商品名キャプトン)のアル
ゴン雰囲気中におけるTd5の586℃よりも優れてお
り、本発明におけるアセチレン結合及びSi−H結合を
有する繰り返し単位を含む新規なケイ素系ポリマーが耐
熱性に極めて優れていることを示している。
【0112】実施例2 原料として2,2−ビス(4−エチニルフェニル)ヘキ
サフルオロプロピリデン7.04g(20 mmol)
とフェニルシラン2.16g(20mmol)を用い、
その他の条件は実施例1と同様にして反応を行った。
3.60gの目的生成物であるポリ(エチニレン−1,
4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン
−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレ
ン))が得られた。収率は39%であった。GPC(ゲ
ル透過クロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の
重量平均分子量は、4600であった。
サフルオロプロピリデン7.04g(20 mmol)
とフェニルシラン2.16g(20mmol)を用い、
その他の条件は実施例1と同様にして反応を行った。
3.60gの目的生成物であるポリ(エチニレン−1,
4−フェニレン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン
−1',4'−フェニレンエチニレン(フェニルシリレ
ン))が得られた。収率は39%であった。GPC(ゲ
ル透過クロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の
重量平均分子量は、4600であった。
【0113】元素分析の測定値は、炭素65.2%(理論値6
5.8%)、水素3.3%(理論値3.1%)であり、測定値は、測
定誤差の範囲で理論値とよく一致している。1 H-NMR(ppm,CDCl3) 3.2(C≡C-H)、4.8(SiH2 )、5.1(Si
H)、7.2〜8.1(Ph-H)。 13C-NMR(ppm,CDCl3) 63〜65
(-C(CF3)-)、78.4(-C≡CH)、82.4(-C≡CH)、87.6(Si-C
≡C-)、108.0(Si-C≡C-)、118.4(CF3)、122.3(Ph)、12
6.5(CF3)、128〜136(Ph)。
5.8%)、水素3.3%(理論値3.1%)であり、測定値は、測
定誤差の範囲で理論値とよく一致している。1 H-NMR(ppm,CDCl3) 3.2(C≡C-H)、4.8(SiH2 )、5.1(Si
H)、7.2〜8.1(Ph-H)。 13C-NMR(ppm,CDCl3) 63〜65
(-C(CF3)-)、78.4(-C≡CH)、82.4(-C≡CH)、87.6(Si-C
≡C-)、108.0(Si-C≡C-)、118.4(CF3)、122.3(Ph)、12
6.5(CF3)、128〜136(Ph)。
【0114】29 Si-NMR(ppm,CDCl3) -59.9(-SiH2-Ph)、-63.8(>SiH-P
h)、-70.2(>Si<)。 IR(cm-1) 2165(s)、1489(m)、1254(s)、121
1(s)、1174(s)、1116(m)、847(s)。
h)、-70.2(>Si<)。 IR(cm-1) 2165(s)、1489(m)、1254(s)、121
1(s)、1174(s)、1116(m)、847(s)。
【0115】次に、この新規なケイ素系ポリマーの熱物
性をTGA−DTAにより測定した。空気雰囲気におけ
るTd5(5%重量減少温度)は623℃、酸素指数
(室温でポリマーが燃焼し続けるのに必要な酸素濃度)
は61であった。この値は、ポリイミド(商品名キャプ
トン)の空気雰囲気中におけるTd5568℃および酸
素指数53、さらに先に本発明者らが提案した(特願平
6−42310)分子内にアセチレン結合とSi−H結
合を含むポリ(シリレンエチニレン−1,3−フェニレ
ンエチニレン)のTd5567℃および酸素指数41よ
りも優れており、本発明におけるアセチレン結合、Si
−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単位を含む新
規なケイ素系ポリマーが空気雰囲気中における耐熱性お
よび耐燃焼性に極めて優れていることを示している。
性をTGA−DTAにより測定した。空気雰囲気におけ
るTd5(5%重量減少温度)は623℃、酸素指数
(室温でポリマーが燃焼し続けるのに必要な酸素濃度)
は61であった。この値は、ポリイミド(商品名キャプ
トン)の空気雰囲気中におけるTd5568℃および酸
素指数53、さらに先に本発明者らが提案した(特願平
6−42310)分子内にアセチレン結合とSi−H結
合を含むポリ(シリレンエチニレン−1,3−フェニレ
ンエチニレン)のTd5567℃および酸素指数41よ
りも優れており、本発明におけるアセチレン結合、Si
−H結合及びC−F結合を有する繰り返し単位を含む新
規なケイ素系ポリマーが空気雰囲気中における耐熱性お
よび耐燃焼性に極めて優れていることを示している。
【0116】実施例3 原料として4−エチニルフェニレン−2,2−ヘキサフ
ルオロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン
(フェニルシラン)4.63g(10mmol)を用
い、触媒及び溶媒量を実施例1の半量とし、他の条件は
実施例1と同様にして反応をおこなった。1.44gの
目的生成物であるポリ(エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン))が得られ
た。収率は32%であった。
ルオロプロピリデン−1,4−フェニレンエチニレン
(フェニルシラン)4.63g(10mmol)を用
い、触媒及び溶媒量を実施例1の半量とし、他の条件は
実施例1と同様にして反応をおこなった。1.44gの
目的生成物であるポリ(エチニレン−1,4−フェニレ
ン−2,2−ヘキサフルオロプロピリデン−1',4'−フ
ェニレンエチニレン(フェニルシリレン))が得られ
た。収率は32%であった。
【0117】
【発明の効果】エチニルシラン化合物単独、シリル化合
物とC−F結合を有するジエチニル化合物、またはジエ
チニルシリル化合物単独を塩基性金属酸化物を触媒とし
て反応させることにより、アセチレン結合、Si−H結
合を有する繰り返し単位を含む、極めて高い耐熱性、耐
燃焼性を有する新規なケイ素系ポリマーを製造すること
ができた。
物とC−F結合を有するジエチニル化合物、またはジエ
チニルシリル化合物単独を塩基性金属酸化物を触媒とし
て反応させることにより、アセチレン結合、Si−H結
合を有する繰り返し単位を含む、極めて高い耐熱性、耐
燃焼性を有する新規なケイ素系ポリマーを製造すること
ができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 正義 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内
Claims (7)
- 【請求項1】 一般式(1) 【化1】 (式中、R1は水素原子または炭素数1から30のアル
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R2は炭素数1から30のア
ルキレン基、アルケニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、R3は直結または炭素数1
から30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレ
ン基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の芳香族
基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結した基及
び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、アルケ
ニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン基、イ
ソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、スルフ
ィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連結した
基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチレ
ン結合及びSi−H結合を有するケイ素系ポリマー。 - 【請求項2】 一般式(1)におけるR2、R3の両方ま
たはいづれか一方に少なくとも1個のC−F結合を有す
る請求項1記載のケイ素系ポリマー。 - 【請求項3】 HC≡C−R3−R2−SiH2−R1(式
中、R1は水素原子または炭素数1から30のアルキル
基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナフチ
ル基などの芳香族基、R2は炭素数1から30のアルキ
レン基、アルケニレン基、フェニレン基やナフチレン基
などの二価の芳香族基、R3は直結または炭素数1から
30のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン
基、フェニレン基やナフチレン基などの二価の芳香族
基、芳香族基が直接または架橋員を通して連結した基及
び芳香族基が炭素数1から30のアルキレン基、アルケ
ニレン基、アルキニレン基と直接またはメチレン基、イ
ソプロピリデン基、エーテル基、カルボニル基、スルフ
ィド基、シラネディル基などの架橋員を通して連結した
基であり、R1、R2、R3の各基はハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。)で表されるエチニルシラン化合物を一種ま
たは二種以上の塩基性金属酸化物触媒の存在下で反応さ
せることを特徴とする一般式(1)で表される繰り返し
単位を含む、アセチレン結合及びSi−H結合を有する
ケイ素系ポリマーの製造方法。 - 【請求項4】 一般式(2) 【化2】 (式中、R1は水素原子または炭素数1から30のアル
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1個のC−
F結合を有する炭素数1から30のアルキレン基、アル
ケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または架橋
員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1から30
のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基と直
接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エーテル
基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル基など
の架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水
酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んで
いてもよい。)で表される繰り返し単位を含む、アセチ
レン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素
系ポリマー。 - 【請求項5】 一般式(2)におけるR4が一般式
(3) 【化3】 (式中、R5、R6は炭素数1から28のアルキレン基、
アルケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフ
チレン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または
架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水酸
基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んでい
てもよい。k、mは0または10以下の正の整数、i、j
は0または21以下の正の整数でi、jの両方が同時に
0になることはない。)で表されるものである請求項4
記載のケイ素系ポリマー。 - 【請求項6】 R1−SiH3 (式中、R1 は水素原子
または炭素数1から30のアルキル基、アルケニル基、
アルキニル基、フェニル基やナフチル基などの芳香族基
であり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、カルボキシ
ル基などの置換基を含んでいてもよい。)で表されるシ
リル化合物を一種または二種以上の塩基性金属酸化物触
媒の存在下で、HC≡C−R4−C≡CH(式中、R4は
少なくとも1個のC−F結合を有する炭素数1から30
のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、フ
ェニレン基やナフチレン基などの二価の芳香族基、芳香
族基が直接または架橋員を通して連結した基及び芳香族
基が炭素数1から30のアルキレン基、アルケニレン
基、アルキニレン基と直接またはメチレン基、イソプロ
ピリデン基、エーテル基、カルボニル基、スルフィド
基、シラネディル基などの架橋員を通して連結した基で
あり、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、カルボキシル
基などの置換基を含んでいてもよい。)で表されるジエ
チニル化合物と反応させることを特徴とする一般式
(2)で表される繰り返し単位を含む、アセチレン結
合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素系ポリ
マーの製造方法。 - 【請求項7】 HC≡C−R4−C≡C−SiH2−R1
(式中、R1は水素原子または炭素数1から30のアル
キル基、アルケニル基、アルキニル基、フェニル基やナ
フチル基などの芳香族基、R4は少なくとも1個のC−
F結合を有する炭素数1から30のアルキレン基、アル
ケニレン基、アルキニレン基、フェニレン基やナフチレ
ン基などの二価の芳香族基、芳香族基が直接または架橋
員を通して連結した基及び芳香族基が炭素数1から30
のアルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基と直
接またはメチレン基、イソプロピリデン基、エーテル
基、カルボニル基、スルフィド基、シラネディル基など
の架橋員を通して連結した基であり、ハロゲン原子、水
酸基、アミノ基、カルボキシル基などの置換基を含んで
いてもよい。ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、カルボ
キシル基などの置換基を含んでいてもよい。)で表され
るジエチニルシリル化合物を一種または二種以上の塩基
性金属酸化物触媒の存在下で反応させることを特徴とす
る一般式(2)で表される繰り返し単位を含む、アセチ
レン結合、Si−H結合及びC−F結合を有するケイ素
系ポリマーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26880595A JPH09143271A (ja) | 1995-09-21 | 1995-10-17 | 新規なケイ素系ポリマー及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24324695 | 1995-09-21 | ||
JP7-243246 | 1995-09-21 | ||
JP26880595A JPH09143271A (ja) | 1995-09-21 | 1995-10-17 | 新規なケイ素系ポリマー及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09143271A true JPH09143271A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=26536169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26880595A Pending JPH09143271A (ja) | 1995-09-21 | 1995-10-17 | 新規なケイ素系ポリマー及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09143271A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7189651B2 (en) | 2002-12-06 | 2007-03-13 | Jsr Corporation | Stopper for chemical mechanical planarization, method for manufacturing same, and chemical mechanical planarization method |
US7297360B2 (en) | 2002-12-06 | 2007-11-20 | Jsr Corporation | Insulation film |
-
1995
- 1995-10-17 JP JP26880595A patent/JPH09143271A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7189651B2 (en) | 2002-12-06 | 2007-03-13 | Jsr Corporation | Stopper for chemical mechanical planarization, method for manufacturing same, and chemical mechanical planarization method |
US7297360B2 (en) | 2002-12-06 | 2007-11-20 | Jsr Corporation | Insulation film |
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