JPH0914257A - 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置 - Google Patents
動圧気体軸受構造および光偏向走査装置Info
- Publication number
- JPH0914257A JPH0914257A JP8044464A JP4446496A JPH0914257A JP H0914257 A JPH0914257 A JP H0914257A JP 8044464 A JP8044464 A JP 8044464A JP 4446496 A JP4446496 A JP 4446496A JP H0914257 A JPH0914257 A JP H0914257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- sleeve
- outer peripheral
- peripheral surface
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/12—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement characterised by features not related to the direction of the load
- F16C17/20—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement characterised by features not related to the direction of the load with emergency supports or bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
- F16C33/1075—Wedges, e.g. ramps or lobes, for generating pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/043—Sliding surface consisting mainly of ceramics, cermets or hard carbon, e.g. diamond like carbon [DLC]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/06—Relieving load on bearings using magnetic means
- F16C39/063—Permanent magnets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D15/00—Component parts of recorders for measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D15/16—Recording elements transferring recording material, e.g. ink, to the recording surface
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 より高速度で安定して回転することが可能な
動圧気体軸受構造およびそれを備えた光偏向走査装置を
実現する上で、回転駆動部のシャフトの外周面の形状を
簡単にする。 【解決手段】 動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフト
１と、そのシャフトにラジアル方向に間隙を保って対向
する中空円筒状のスリーブとを回転駆動部に備える。シ
ャフト１とスリーブとは窒化ケイ素系セラミックス焼結
体から形成される。シャフトの外周面１０１は、その外
周面に沿う円周に対して等しい間隔で少なくとも３箇所
１０２，１０３，１０４に、配置された平面部分１０５
を含む。平面部分１０５は、円周方向に所定の角度をな
して連続してシャフトの外周面１０１に形成された複数
個の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃから構成さ
れる。単一平面はシャフトの軸方向にほぼ平行に延在す
るように形成される。
動圧気体軸受構造およびそれを備えた光偏向走査装置を
実現する上で、回転駆動部のシャフトの外周面の形状を
簡単にする。 【解決手段】 動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフト
１と、そのシャフトにラジアル方向に間隙を保って対向
する中空円筒状のスリーブとを回転駆動部に備える。シ
ャフト１とスリーブとは窒化ケイ素系セラミックス焼結
体から形成される。シャフトの外周面１０１は、その外
周面に沿う円周に対して等しい間隔で少なくとも３箇所
１０２，１０３，１０４に、配置された平面部分１０５
を含む。平面部分１０５は、円周方向に所定の角度をな
して連続してシャフトの外周面１０１に形成された複数
個の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃから構成さ
れる。単一平面はシャフトの軸方向にほぼ平行に延在す
るように形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、一般的には動圧
気体軸受構造に関し、より特定的には、たとえばレーザ
ビームプリンタ等に使用される光偏向走査装置の回転駆
動部における軸受構造およびそれを用いた軸受回転装
置、光偏向走査装置、レーザビームプリンタ装置に関す
るものである。
気体軸受構造に関し、より特定的には、たとえばレーザ
ビームプリンタ等に使用される光偏向走査装置の回転駆
動部における軸受構造およびそれを用いた軸受回転装
置、光偏向走査装置、レーザビームプリンタ装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザビームプリンタ等に使用
される光偏向走査装置の回転駆動部を構成する部材に
は、高速回転に耐え得るものが要求される。たとえば、
印字速度の高速化に伴い、レーザ光を走査する回転多面
鏡の駆動部には２００００ｒ．ｐ．ｍ．以上の回転速度
が要求されるようになってきている。
される光偏向走査装置の回転駆動部を構成する部材に
は、高速回転に耐え得るものが要求される。たとえば、
印字速度の高速化に伴い、レーザ光を走査する回転多面
鏡の駆動部には２００００ｒ．ｐ．ｍ．以上の回転速度
が要求されるようになってきている。
【０００３】従来、この回転駆動部の軸受部分には、玉
軸受が用いられてきた。しかしながら、１２０００ｒ．
ｐ．ｍ．程度以上の高速域では、摺動部においてグリス
が切れやすくなるため、潤滑不良により、玉軸受が焼付
きを起こす危険性が高かった。したがって、回転駆動部
の軸受部分に玉軸受を採用する限りにおいては、上記の
ような高速回転の要求に耐え得る回転駆動部を構成する
ことは困難であった。
軸受が用いられてきた。しかしながら、１２０００ｒ．
ｐ．ｍ．程度以上の高速域では、摺動部においてグリス
が切れやすくなるため、潤滑不良により、玉軸受が焼付
きを起こす危険性が高かった。したがって、回転駆動部
の軸受部分に玉軸受を採用する限りにおいては、上記の
ような高速回転の要求に耐え得る回転駆動部を構成する
ことは困難であった。
【０００４】上記のような問題点を解消するため、回転
駆動部に、非接触で回転体を支持する流体動圧軸受構造
が採用されている。このような動圧軸受構造において
は、シャフトの外周面にヘリングボーン状やスパイラル
状の溝が形成される。シャフトとスリーブとの間には油
やグリスが導入され、回転中において上記の溝により流
体が巻込まれることによって動圧が発生し、たとえば回
転体としてのスリーブがシャフトの外周面に接触しない
で回転することが可能になる。
駆動部に、非接触で回転体を支持する流体動圧軸受構造
が採用されている。このような動圧軸受構造において
は、シャフトの外周面にヘリングボーン状やスパイラル
状の溝が形成される。シャフトとスリーブとの間には油
やグリスが導入され、回転中において上記の溝により流
体が巻込まれることによって動圧が発生し、たとえば回
転体としてのスリーブがシャフトの外周面に接触しない
で回転することが可能になる。
【０００５】しかしながら、上記のような流体動圧軸受
構造においては、潤滑油の粘性が高いため、駆動トルク
が大きくなるという欠点がある。特に、高速回転下では
油が発熱するため、潤滑油を冷却させるための機構が必
要となる。このため、光偏向走査装置自体の構造が複雑
になり、装置を小型化することが困難となる。また、装
置の複雑化に伴い、製造コストが上昇するという問題が
ある。
構造においては、潤滑油の粘性が高いため、駆動トルク
が大きくなるという欠点がある。特に、高速回転下では
油が発熱するため、潤滑油を冷却させるための機構が必
要となる。このため、光偏向走査装置自体の構造が複雑
になり、装置を小型化することが困難となる。また、装
置の複雑化に伴い、製造コストが上昇するという問題が
ある。
【０００６】上記のような流体動圧軸受構造において流
体に空気を用いた空気軸受を採用することが考えられて
いる。これによれば、潤滑油による問題が発生しないの
で、上記の油を流体として用いる軸受構造に比べてより
高速回転下で使用することが可能となる。また、潤滑油
を冷却させる機構も必要ではないので、装置の構造自体
も簡単にすることができるものと考えられている。
体に空気を用いた空気軸受を採用することが考えられて
いる。これによれば、潤滑油による問題が発生しないの
で、上記の油を流体として用いる軸受構造に比べてより
高速回転下で使用することが可能となる。また、潤滑油
を冷却させる機構も必要ではないので、装置の構造自体
も簡単にすることができるものと考えられている。
【０００７】しかしながら、空気軸受を採用しても、回
転中の外乱等により、シャフトとスリーブの対向する面
が直接摺動する可能性がある。このことから、油を流体
として採用した流体動圧軸受構造に比べて、摺動部にお
ける焼付きが発生する危険性が大きくなるという問題が
あった。
転中の外乱等により、シャフトとスリーブの対向する面
が直接摺動する可能性がある。このことから、油を流体
として採用した流体動圧軸受構造に比べて、摺動部にお
ける焼付きが発生する危険性が大きくなるという問題が
あった。
【０００８】そこで、セラミックス、特に窒化ケイ素系
セラミックス焼結体を軸受部の材料に採用することが特
開平５−１０６６３５号公報に開示されている。これに
よれば、耐摩耗性と耐衝撃性を改善することができるた
め、高速回転中の損傷に対して信頼性の高い軸受部材が
得られる。
セラミックス焼結体を軸受部の材料に採用することが特
開平５−１０６６３５号公報に開示されている。これに
よれば、耐摩耗性と耐衝撃性を改善することができるた
め、高速回転中の損傷に対して信頼性の高い軸受部材が
得られる。
【０００９】光偏向走査装置に適用可能なセラミックス
からなる動圧空気軸受部材としては、図６に示すような
シャフトが知られている。図６に示すように、動圧発生
溝５１がシャフトの外周表面５０に形成されている。
からなる動圧空気軸受部材としては、図６に示すような
シャフトが知られている。図６に示すように、動圧発生
溝５１がシャフトの外周表面５０に形成されている。
【００１０】しかしながら、セラミックスのような難加
工材料の表面に、図６に示される溝形状を通常の機械加
工によって形成することは困難である。このような溝形
状は、エッチング加工やブラスト加工等によって形成さ
れる。
工材料の表面に、図６に示される溝形状を通常の機械加
工によって形成することは困難である。このような溝形
状は、エッチング加工やブラスト加工等によって形成さ
れる。
【００１１】これに対して、機械加工が容易で軸受精度
が向上する溝を形成した動圧気体軸受装置が実公平１−
７８４９号公報に開示されている。この動圧気体軸受装
置においては、横断面形状が左右対称の円弧状をなしか
つ軸方向に平行な溝が、円柱状の軸体の外周面に複数個
等配して設けられている。
が向上する溝を形成した動圧気体軸受装置が実公平１−
７８４９号公報に開示されている。この動圧気体軸受装
置においては、横断面形状が左右対称の円弧状をなしか
つ軸方向に平行な溝が、円柱状の軸体の外周面に複数個
等配して設けられている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実公平
１−７８４９号公報に開示されているような左右対称の
円弧状の溝をセラミックス、特に窒化ケイ素系セラミッ
クス焼結体のような難加工材料に形成することは極めて
困難である。その溝の深さは、その公報に記載された実
施例において数十μｍないし数百μｍの範囲内とされて
いる。このような深さの溝を難加工材のセラミックスに
形成することは、加工精度、加工能率および製造コスト
の点で工業的および経済的に量産化することは事実上不
可能であった。
１−７８４９号公報に開示されているような左右対称の
円弧状の溝をセラミックス、特に窒化ケイ素系セラミッ
クス焼結体のような難加工材料に形成することは極めて
困難である。その溝の深さは、その公報に記載された実
施例において数十μｍないし数百μｍの範囲内とされて
いる。このような深さの溝を難加工材のセラミックスに
形成することは、加工精度、加工能率および製造コスト
の点で工業的および経済的に量産化することは事実上不
可能であった。
【００１３】そこで、この発明の目的は、より高速度で
安定して回転することが可能な動圧気体軸受構造および
それを備えた光偏向走査装置を実現する上で、回転駆動
部のシャフトの外周面の形状を簡単にすることである。
安定して回転することが可能な動圧気体軸受構造および
それを備えた光偏向走査装置を実現する上で、回転駆動
部のシャフトの外周面の形状を簡単にすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明の１つの局面に
従った動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフトと、中空
円筒状のスリーブとを備える。シャフトは窒化ケイ素系
セラミックス焼結体から形成されている。スリーブは、
シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向し、窒化ケ
イ素系セラミックス焼結体から形成されている。シャフ
トの外周面は、その外周面に沿う円周に対して等しい間
隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を含む。平面
部分は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフ
トの外周面に形成された複数個の単一平面から構成され
ている。単一平面は、シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されている。
従った動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフトと、中空
円筒状のスリーブとを備える。シャフトは窒化ケイ素系
セラミックス焼結体から形成されている。スリーブは、
シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向し、窒化ケ
イ素系セラミックス焼結体から形成されている。シャフ
トの外周面は、その外周面に沿う円周に対して等しい間
隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を含む。平面
部分は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフ
トの外周面に形成された複数個の単一平面から構成され
ている。単一平面は、シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されている。
【００１５】また、この発明のもう１つの局面に従った
軸受回転装置は、上記のように構成された円柱状のシャ
フトと、中空円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを
回動する駆動手段とを備える。
軸受回転装置は、上記のように構成された円柱状のシャ
フトと、中空円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを
回動する駆動手段とを備える。
【００１６】さらに、この発明の別の局面に従った光偏
向走査装置は、光束を偏向走査する装置であって、上記
のように構成された円柱状ののシャフトと、中空円筒状
のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段
と、スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
とを備える。
向走査装置は、光束を偏向走査する装置であって、上記
のように構成された円柱状ののシャフトと、中空円筒状
のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段
と、スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
とを備える。
【００１７】この発明のさらに別の局面に従った光偏向
走査装置は、光源からの光束を偏向走査する装置であっ
て、上記のように構成された円柱状のシャフトと、中空
円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動
手段と、光源と、スリーブに取付けられ、光源からの光
束を偏向走査する偏向器とを備える。
走査装置は、光源からの光束を偏向走査する装置であっ
て、上記のように構成された円柱状のシャフトと、中空
円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動
手段と、光源と、スリーブに取付けられ、光源からの光
束を偏向走査する偏向器とを備える。
【００１８】この発明のさらに別の局面に従ったレーザ
ビームプリンタ装置は、上記のように構成された円柱状
のシャフトと、中空円筒状のスリーブと、さらに、スリ
ーブを回動する駆動手段と、光源と、スリーブに取付け
られ、光源からの光束を偏向走査する偏向器と、偏向器
により偏向走査された光束を受光する感光体とを備え
る。
ビームプリンタ装置は、上記のように構成された円柱状
のシャフトと、中空円筒状のスリーブと、さらに、スリ
ーブを回動する駆動手段と、光源と、スリーブに取付け
られ、光源からの光束を偏向走査する偏向器と、偏向器
により偏向走査された光束を受光する感光体とを備え
る。
【００１９】上述のように構成された動圧気体軸受構
造、軸受回転装置、光偏向走査装置またはレーザビーム
プリンタ装置において、好ましくは、シャフトの外径と
スリーブの内径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、仮
に複数個の単一平面から構成される平面部分を溝とみな
した場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、
平面部分はシャフトの外周面に沿う円周に対応する中心
角で１０°以上に相当する溝の幅を有する。
造、軸受回転装置、光偏向走査装置またはレーザビーム
プリンタ装置において、好ましくは、シャフトの外径と
スリーブの内径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、仮
に複数個の単一平面から構成される平面部分を溝とみな
した場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、
平面部分はシャフトの外周面に沿う円周に対応する中心
角で１０°以上に相当する溝の幅を有する。
【００２０】また、この発明の別の局面に従えば、動圧
気体軸受構造、軸受回転装置、光偏向走査装置またはレ
ーザビームプリンタ装置は、以下のように構成される。
気体軸受構造、軸受回転装置、光偏向走査装置またはレ
ーザビームプリンタ装置は、以下のように構成される。
【００２１】動圧気体軸受構造は、円柱状のシャフト
と、中空円筒状のスリーブとを備える。スリーブは、シ
ャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する。溝は、
シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成されてい
る。シャフトの外径とスリーブの内径との差が０．０１
０ｍｍ未満である。溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であ
る。溝はシャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角
で１０°以上に相当する幅を有する。溝は円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている。
と、中空円筒状のスリーブとを備える。スリーブは、シ
ャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する。溝は、
シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成されてい
る。シャフトの外径とスリーブの内径との差が０．０１
０ｍｍ未満である。溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であ
る。溝はシャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角
で１０°以上に相当する幅を有する。溝は円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている。
【００２２】軸受回転装置は、上記のように構成された
円柱状のシャフトと、中空円筒状のスリーブと、さら
に、スリーブを回動する駆動手段とを備える。
円柱状のシャフトと、中空円筒状のスリーブと、さら
に、スリーブを回動する駆動手段とを備える。
【００２３】光束を偏向走査する光偏向走査装置は、上
記のように構成される円柱状のシャフトと、中空円筒状
のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段
と、スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
とを備える。
記のように構成される円柱状のシャフトと、中空円筒状
のスリーブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段
と、スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
とを備える。
【００２４】光源からの光束を偏向走査する光偏向走査
装置は、上記のように構成される円柱状のシャフトと、
中空円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを回動する
駆動手段と、光源と、スリーブに取付けられ、光源から
の光束を偏向走査する偏向器とを備える。
装置は、上記のように構成される円柱状のシャフトと、
中空円筒状のスリーブと、さらに、スリーブを回動する
駆動手段と、光源と、スリーブに取付けられ、光源から
の光束を偏向走査する偏向器とを備える。
【００２５】レーザビームプリンタ装置は、上記のよう
に構成される円柱状のシャフトと、中空円筒状のスリー
ブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段と、光源
と、スリーブに取付けられ、光源からの光束を偏向走査
する偏向器と、偏向器により偏向走査された光束を受光
する感光体とを備える。
に構成される円柱状のシャフトと、中空円筒状のスリー
ブと、さらに、スリーブを回動する駆動手段と、光源
と、スリーブに取付けられ、光源からの光束を偏向走査
する偏向器と、偏向器により偏向走査された光束を受光
する感光体とを備える。
【００２６】
【発明の実施の形態】この発明に従った動圧気体軸受構
造は、円柱状のシャフトと、そのシャフトにラジアル方
向に間隙を保って対向する中空円筒状のスリーブとを回
転駆動部に備えている。シャフトとスリーブとは窒化ケ
イ素系セラミックス焼結体から形成される。シャフトの
外周面は、その外周面に沿う円周に対して等しい間隔で
少なくとも３ヵ所配置された平面部分を含む。その平面
部分は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフ
トの外周面に形成された複数個の単一平面から構成され
ている。単一平面は、シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されている。
造は、円柱状のシャフトと、そのシャフトにラジアル方
向に間隙を保って対向する中空円筒状のスリーブとを回
転駆動部に備えている。シャフトとスリーブとは窒化ケ
イ素系セラミックス焼結体から形成される。シャフトの
外周面は、その外周面に沿う円周に対して等しい間隔で
少なくとも３ヵ所配置された平面部分を含む。その平面
部分は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフ
トの外周面に形成された複数個の単一平面から構成され
ている。単一平面は、シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されている。
【００２７】本願発明者らは、鋭意検討した結果、複数
個の単一平面から構成される平面部分を少なくとも３ヵ
所、シャフトの外周面に配置することにより、２５００
０ｒ．ｐ．ｍ．以上の高速回転下においても光偏向走査
装置の所定の性能を満足することを見出した。具体的に
は、図１に示すように、シャフト１の外周表面１０１を
数μｍ〜数十μｍの深さで研削し、軸方向に平行な平面
を形成する。この平面を単一平面１０５ａ，１０５ｂ，
１０５ｃとし、複数個（図１においては３個）、円周方
向に所定の角度をなして連続してシャフト１の外周表面
１０１に形成する。このように構成された平面部分１０
５を、シャフトの外周表面１０１に沿う円周に対して等
しい間隔で少なくとも３ヵ所１０２，１０３，１０４に
配置する。
個の単一平面から構成される平面部分を少なくとも３ヵ
所、シャフトの外周面に配置することにより、２５００
０ｒ．ｐ．ｍ．以上の高速回転下においても光偏向走査
装置の所定の性能を満足することを見出した。具体的に
は、図１に示すように、シャフト１の外周表面１０１を
数μｍ〜数十μｍの深さで研削し、軸方向に平行な平面
を形成する。この平面を単一平面１０５ａ，１０５ｂ，
１０５ｃとし、複数個（図１においては３個）、円周方
向に所定の角度をなして連続してシャフト１の外周表面
１０１に形成する。このように構成された平面部分１０
５を、シャフトの外周表面１０１に沿う円周に対して等
しい間隔で少なくとも３ヵ所１０２，１０３，１０４に
配置する。
【００２８】上述のような平面部分をシャフトの外周面
に形成することは、ほぼ円筒面であるシャフトの外表面
を平面研削することにより除去するだけで行なわれ得
る。そのため、窒化ケイ素系焼結体のような難加工材料
のセラミックスに対しても容易に加工することができ
る。したがって、シャフトとスリーブとの間の空隙に動
圧発生部分を構成する上で、シャフトの外周面に特定的
な形状の溝を形成するという従来の構造と比較して、加
工能率と製造コストを低減することが可能になる。
に形成することは、ほぼ円筒面であるシャフトの外表面
を平面研削することにより除去するだけで行なわれ得
る。そのため、窒化ケイ素系焼結体のような難加工材料
のセラミックスに対しても容易に加工することができ
る。したがって、シャフトとスリーブとの間の空隙に動
圧発生部分を構成する上で、シャフトの外周面に特定的
な形状の溝を形成するという従来の構造と比較して、加
工能率と製造コストを低減することが可能になる。
【００２９】また、本発明のようにシャフトの外周面に
上記のように規定された平面部分を設けるだけで、２５
０００ｒ．ｐ．ｍ．以上の高速回転下においても優れた
軸受安定性を確保することができる。たとえば、本発明
の動圧気体軸受構造を備えた光偏向走査装置において
は、ポリゴンミラーの鉛直方向に対するレーザ光反射面
の傾き、すなわち面倒れに関しても、高い精度を実現す
ることができる。
上記のように規定された平面部分を設けるだけで、２５
０００ｒ．ｐ．ｍ．以上の高速回転下においても優れた
軸受安定性を確保することができる。たとえば、本発明
の動圧気体軸受構造を備えた光偏向走査装置において
は、ポリゴンミラーの鉛直方向に対するレーザ光反射面
の傾き、すなわち面倒れに関しても、高い精度を実現す
ることができる。
【００３０】さらに、本発明の動圧気体軸受構造を構成
するシャフトとスリーブの材料として、窒化ケイ素系セ
ラミックス焼結体が採用される。この窒化ケイ素系セラ
ミックス焼結体からなる部材は、従来の金属製部材と比
較して軽量であるため、モータ負荷における慣性重量を
低減することができる。これにより、駆動トルクを低減
することが可能となり、光偏向走査装置をより低い消費
電力で運転することが可能となる。
するシャフトとスリーブの材料として、窒化ケイ素系セ
ラミックス焼結体が採用される。この窒化ケイ素系セラ
ミックス焼結体からなる部材は、従来の金属製部材と比
較して軽量であるため、モータ負荷における慣性重量を
低減することができる。これにより、駆動トルクを低減
することが可能となり、光偏向走査装置をより低い消費
電力で運転することが可能となる。
【００３１】また、本願発明者らは、複数個の単一平面
の組合せで構成される１つの平面部分を仮に１つの溝と
みなしたとき、限定された寸法を有する前記溝をシャフ
トの外周面に形成することにより、高速回転での安定性
が得られることを見出した。具体的には、図１に示すよ
うに、平面部分を仮に溝とみなしたときの溝の深さｄが
０．０２０ｍｍ以下、溝すなわち平面部分Ｃの幅に相当
するシャフトの外周表面１０１に沿う円周（円弧）の中
心角θが１０°以上である溝すなわち平面部分Ｃを３箇
所以上、シャフトの外周表面１０１に沿う円周に対して
等間隔で形成する。また、シャフトの外径とスリーブの
内径との差が０．０１０ｍｍ未満に規定される。このよ
うに限定された寸法を有する溝Ｃをシャフトの外周面に
形成し、かつシャフトとスリーブとの間の間隙を上記の
ように限定することにより、高速回転中においても優れ
た軸受安定性を示すことを本願発明者らは見出した。
の組合せで構成される１つの平面部分を仮に１つの溝と
みなしたとき、限定された寸法を有する前記溝をシャフ
トの外周面に形成することにより、高速回転での安定性
が得られることを見出した。具体的には、図１に示すよ
うに、平面部分を仮に溝とみなしたときの溝の深さｄが
０．０２０ｍｍ以下、溝すなわち平面部分Ｃの幅に相当
するシャフトの外周表面１０１に沿う円周（円弧）の中
心角θが１０°以上である溝すなわち平面部分Ｃを３箇
所以上、シャフトの外周表面１０１に沿う円周に対して
等間隔で形成する。また、シャフトの外径とスリーブの
内径との差が０．０１０ｍｍ未満に規定される。このよ
うに限定された寸法を有する溝Ｃをシャフトの外周面に
形成し、かつシャフトとスリーブとの間の間隙を上記の
ように限定することにより、高速回転中においても優れ
た軸受安定性を示すことを本願発明者らは見出した。
【００３２】このことは、上記のように限定された寸法
の範囲内であれば、シャフトとスリーブとの間に空気の
流れによって形成される支持膜が効率よく形成され得る
ものと考えられる。また、その支持が同時にシャフトの
外周面上の３ヶ所以上で円周に対し等分の方向になされ
ることにより、力学的にも安定した支持構造が提供され
得るものと考えられる。
の範囲内であれば、シャフトとスリーブとの間に空気の
流れによって形成される支持膜が効率よく形成され得る
ものと考えられる。また、その支持が同時にシャフトの
外周面上の３ヶ所以上で円周に対し等分の方向になされ
ることにより、力学的にも安定した支持構造が提供され
得るものと考えられる。
【００３３】これに対して、実公平１−７８４９号公報
に示されるように、数１０ないし数１００μｍの深さを
有する溝が形成される場合、前述したように不安定挙動
が認められる。これは、高速回転下においては、溝が深
くなると、空気の流れが乱れるため、適正な支持膜がシ
ャフトとスリーブとの間に形成され得ず、不安定挙動を
起こすものと考えられる。
に示されるように、数１０ないし数１００μｍの深さを
有する溝が形成される場合、前述したように不安定挙動
が認められる。これは、高速回転下においては、溝が深
くなると、空気の流れが乱れるため、適正な支持膜がシ
ャフトとスリーブとの間に形成され得ず、不安定挙動を
起こすものと考えられる。
【００３４】なお、溝の深さと、溝の幅と、シャフトの
外径とスリーブの内径との差が上記の寸法条件を満たす
組合せであれば、溝の形状は、その寸法範囲内であれ
ば、上述した複数個の単一平面の組合せ以外にも、任意
に選択可能である。具体的には、その溝の形状は製造工
程の要求から決定されるものである。
外径とスリーブの内径との差が上記の寸法条件を満たす
組合せであれば、溝の形状は、その寸法範囲内であれ
ば、上述した複数個の単一平面の組合せ以外にも、任意
に選択可能である。具体的には、その溝の形状は製造工
程の要求から決定されるものである。
【００３５】本発明の動圧気体軸受構造を、高速かつ高
精度に回転する光偏向走査装置の回転駆動部に適用する
ことにより、従来と比較して印字品質が高く、高速で印
字可能なレーザビームプリンタ装置を提供することがで
きる。
精度に回転する光偏向走査装置の回転駆動部に適用する
ことにより、従来と比較して印字品質が高く、高速で印
字可能なレーザビームプリンタ装置を提供することがで
きる。
【００３６】
【実施例】本発明を図１〜図４に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００３７】実施例１ 本発明の一実施例に従った動圧気体軸受構造を備えた光
偏向走査装置の回転駆動部（多面体鏡の駆動部）の詳細
は図２に示されている。図２に示される回転駆動部は、
図３に示される光偏向走査装置を用いたレーザビームプ
リンタ装置に組込まれる。
偏向走査装置の回転駆動部（多面体鏡の駆動部）の詳細
は図２に示されている。図２に示される回転駆動部は、
図３に示される光偏向走査装置を用いたレーザビームプ
リンタ装置に組込まれる。
【００３８】図２において、駆動モータ５００のハウジ
ング３にセラミック材料からなる軸体（シャフト）とし
て固定軸１が固定されている。セラミック材料からなる
軸受体（スリーブ）として回転スリーブ２が固定軸１に
回転自在に嵌合されている。固定軸（シャフト）１の外
周表面１０１には、図１に示されるような複数の単一平
面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ…から構成される平面
部分１０５（単位加工部）が少なくとも３ヵ所配置され
ている。回転スリーブ２の外周には、アルミニウム、黄
銅等からなるフランジ４が焼嵌め等により固定されてい
る。このフランジ４の外周に駆動マグネット５が接着等
により固定されている。さらに、ハウジング３上に基板
６が固定されている。基板６上にステータ７が駆動マグ
ネット５に対向するように配置されることにより、回転
スリーブ２を回転させる駆動モータ５００が構成されて
いる。
ング３にセラミック材料からなる軸体（シャフト）とし
て固定軸１が固定されている。セラミック材料からなる
軸受体（スリーブ）として回転スリーブ２が固定軸１に
回転自在に嵌合されている。固定軸（シャフト）１の外
周表面１０１には、図１に示されるような複数の単一平
面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ…から構成される平面
部分１０５（単位加工部）が少なくとも３ヵ所配置され
ている。回転スリーブ２の外周には、アルミニウム、黄
銅等からなるフランジ４が焼嵌め等により固定されてい
る。このフランジ４の外周に駆動マグネット５が接着等
により固定されている。さらに、ハウジング３上に基板
６が固定されている。基板６上にステータ７が駆動マグ
ネット５に対向するように配置されることにより、回転
スリーブ２を回転させる駆動モータ５００が構成されて
いる。
【００３９】一方、回転スリーブ２の下端には、固定軸
１に配置された第１の永久磁石８と同種の磁極が上下方
向に対向するように、第２の永久磁石９が固定されてい
る。また、ハウジング３の回転スリーブ２近傍には、回
転スリーブ２の下端に固定された第２の永久磁石９を、
固定軸に設けられた第１の永久磁石８に押付ける方向に
反発力が作用するように第３の永久磁石１０が配置され
ている。
１に配置された第１の永久磁石８と同種の磁極が上下方
向に対向するように、第２の永久磁石９が固定されてい
る。また、ハウジング３の回転スリーブ２近傍には、回
転スリーブ２の下端に固定された第２の永久磁石９を、
固定軸に設けられた第１の永久磁石８に押付ける方向に
反発力が作用するように第３の永久磁石１０が配置され
ている。
【００４０】また、回転スリーブ２の上端には固定軸１
を覆う蓋１９が設けられている。これにより、回転スリ
ーブ２と固定軸１との間に空気溜り２０を形成する。こ
の蓋１９には、回転スリーブ２と固定軸１の組立が容易
になるように空気抜き穴３２が設けられている。その組
立後に空気抜き穴３２を封止するために封止部材３３が
固定される。
を覆う蓋１９が設けられている。これにより、回転スリ
ーブ２と固定軸１との間に空気溜り２０を形成する。こ
の蓋１９には、回転スリーブ２と固定軸１の組立が容易
になるように空気抜き穴３２が設けられている。その組
立後に空気抜き穴３２を封止するために封止部材３３が
固定される。
【００４１】回転多面鏡１１は、フランジ４に板ばね１
２等により固定されている。このようにして構成された
駆動モータ５００は、図３に示すように、光偏向走査装
置の光学箱１４に組込まれる。回転多面鏡１１は駆動モ
ータ５００により回転させられる。図３において、レー
ザユニット１５は光学箱１４に配置されている。このレ
ーザユニット１５より射出されたレーザビームＬはレン
ズ１６，１７により集光され、回転多面鏡１１の駆動モ
ータ５００による回転とともに、記録媒体である感光体
１８に対して偏向走査する。
２等により固定されている。このようにして構成された
駆動モータ５００は、図３に示すように、光偏向走査装
置の光学箱１４に組込まれる。回転多面鏡１１は駆動モ
ータ５００により回転させられる。図３において、レー
ザユニット１５は光学箱１４に配置されている。このレ
ーザユニット１５より射出されたレーザビームＬはレン
ズ１６，１７により集光され、回転多面鏡１１の駆動モ
ータ５００による回転とともに、記録媒体である感光体
１８に対して偏向走査する。
【００４２】図２に示される軸体（シャフト）１と軸受
体（スリーブ）２は窒化ケイ素系セラミックス焼結体か
ら作製される。その窒化ケイ素系焼結体は、具体的には
以下のようにして製造される。
体（スリーブ）２は窒化ケイ素系セラミックス焼結体か
ら作製される。その窒化ケイ素系焼結体は、具体的には
以下のようにして製造される。
【００４３】平均粒径が０．３μｍ、粒度分布が３σ＝
０．２０μｍ、α結晶化率が９６．５％、酸素含有量は
１．４重量％であるＳｉ3 Ｎ4 の原料粉末を準備する。
このＳｉ3 Ｎ4 の原料粉末を９０重量％、平均粒径が
０．８μｍのＹ2 Ｏ3 粉末を４重量％、平均粒径が０．
５μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末を３重量％、平均粒径が１．０
μｍのＡｌＮ粉末を１重量％、平均粒径が０．５μｍの
ＭｇＯ粉末を２重量％の割合で、エタノール中で１００
時間、ナイロン製ボールミルを用いて湿式混合する。そ
の後、乾燥して得られる混合粉末を３０００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 の圧力でＣＩＰ（冷間静水圧）成形する。得られる
成形体を１気圧の窒素ガス雰囲気中で温度１４５０℃に
おいて６時間保持する。さらに、温度１５５０℃におい
て３時間、１次焼結する。得られた焼結体を１６００℃
の温度で１０００気圧の窒素ガス雰囲気中で１時間、２
次焼結する。
０．２０μｍ、α結晶化率が９６．５％、酸素含有量は
１．４重量％であるＳｉ3 Ｎ4 の原料粉末を準備する。
このＳｉ3 Ｎ4 の原料粉末を９０重量％、平均粒径が
０．８μｍのＹ2 Ｏ3 粉末を４重量％、平均粒径が０．
５μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末を３重量％、平均粒径が１．０
μｍのＡｌＮ粉末を１重量％、平均粒径が０．５μｍの
ＭｇＯ粉末を２重量％の割合で、エタノール中で１００
時間、ナイロン製ボールミルを用いて湿式混合する。そ
の後、乾燥して得られる混合粉末を３０００ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 の圧力でＣＩＰ（冷間静水圧）成形する。得られる
成形体を１気圧の窒素ガス雰囲気中で温度１４５０℃に
おいて６時間保持する。さらに、温度１５５０℃におい
て３時間、１次焼結する。得られた焼結体を１６００℃
の温度で１０００気圧の窒素ガス雰囲気中で１時間、２
次焼結する。
【００４４】このようにして得られる窒化ケイ素系焼結
体は、長さ３０μｍ当りの線密度が３５個以上である結
晶粒子を含み、その粒界相の体積率が１５体積％以下で
ある。さらに、その窒化ケイ素系焼結体は、最大径が２
０μｍ以下の気孔を含み、その気孔の含有率が３％以下
である。
体は、長さ３０μｍ当りの線密度が３５個以上である結
晶粒子を含み、その粒界相の体積率が１５体積％以下で
ある。さらに、その窒化ケイ素系焼結体は、最大径が２
０μｍ以下の気孔を含み、その気孔の含有率が３％以下
である。
【００４５】以上のようにして得られた窒化ケイ素系焼
結体からシャフト１とスリーブ２を作製する。
結体からシャフト１とスリーブ２を作製する。
【００４６】シャフト１は以下の方法で加工される。シ
ャフトの表面を深さ１０μｍの量だけダイヤモンド砥粒
砥石を用いて研削加工し、シャフトの外周表面に平面を
形成する。その平面がシャフトの外周面に沿う円周方向
に所定の角度をなして連続するように、上記の平面の加
工後、シャフトを回転させて上記と同様の平面研削加工
を繰り返して行なう。このようにして形成された複数個
の平面から構成される平面部分を単位加工部と称する。
この単位加工部の加工終了後、引続き、単位加工部を必
要数、シャフトの外周面に形成する。この場合、これら
の単位加工部は、その数に従って、シャフトの外周面に
沿う円周に対して均等に配置する。
ャフトの表面を深さ１０μｍの量だけダイヤモンド砥粒
砥石を用いて研削加工し、シャフトの外周表面に平面を
形成する。その平面がシャフトの外周面に沿う円周方向
に所定の角度をなして連続するように、上記の平面の加
工後、シャフトを回転させて上記と同様の平面研削加工
を繰り返して行なう。このようにして形成された複数個
の平面から構成される平面部分を単位加工部と称する。
この単位加工部の加工終了後、引続き、単位加工部を必
要数、シャフトの外周面に形成する。この場合、これら
の単位加工部は、その数に従って、シャフトの外周面に
沿う円周に対して均等に配置する。
【００４７】実施例２ 実施例１に従って窒化ケイ素系焼結体からなるスリーブ
とシャフトを作製した。シャフトの外周面には、図１に
示すように平面部分（単位加工部）１０５を３ヵ所１０
２，１０３，１０４、円周に対して均等に配置して形成
した。このようにして準備されたスリーブ２とシャフト
１を図２に示すように光偏向走査装置の回転駆動部に組
込んだ。
とシャフトを作製した。シャフトの外周面には、図１に
示すように平面部分（単位加工部）１０５を３ヵ所１０
２，１０３，１０４、円周に対して均等に配置して形成
した。このようにして準備されたスリーブ２とシャフト
１を図２に示すように光偏向走査装置の回転駆動部に組
込んだ。
【００４８】以上説明したように、本発明の動圧気体軸
受構造は、円柱状のシャフト１と、そのシャフトにラジ
アル方向に間隙を保って対向する中空円筒状のスリーブ
２とを回転駆動部に備える。シャフト１とスリーブ２と
は窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成される。シ
ャフトの外周面１０１は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所１０２，１０３，１０
４に、配置された平面部分１０５を含む。平面部分１０
５は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフト
の外周面１０１に形成された複数個の単一平面１０５
ａ，１０５ｂ，１０５ｃから構成される。複数個の単一
平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃはシャフトの軸方向
にほぼ平行に延在するように形成される。
受構造は、円柱状のシャフト１と、そのシャフトにラジ
アル方向に間隙を保って対向する中空円筒状のスリーブ
２とを回転駆動部に備える。シャフト１とスリーブ２と
は窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成される。シ
ャフトの外周面１０１は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所１０２，１０３，１０
４に、配置された平面部分１０５を含む。平面部分１０
５は、円周方向に所定の角度をなして連続してシャフト
の外周面１０１に形成された複数個の単一平面１０５
ａ，１０５ｂ，１０５ｃから構成される。複数個の単一
平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃはシャフトの軸方向
にほぼ平行に延在するように形成される。
【００４９】次に、作製したシャフトとスリーブを用い
て、動圧気体軸受構造の安定性を評価した。
て、動圧気体軸受構造の安定性を評価した。
【００５０】図２に示す構造の光偏向走査装置の回転駆
動部を図４に示される評価装置に組入れて、２５０００
ｒ．ｐ．ｍ．の回転数で回転駆動部を高速運転した。駆
動モータ５００の運転時に回転体が発生する振動を振動
ピックアップ２００によって検知し、振動計３００によ
って計測し、ＦＦＴ（高速フーリエ変換装置）４００に
よって周波数解析し、低周波数域の共振が生じないもの
を安定であると判定した。
動部を図４に示される評価装置に組入れて、２５０００
ｒ．ｐ．ｍ．の回転数で回転駆動部を高速運転した。駆
動モータ５００の運転時に回転体が発生する振動を振動
ピックアップ２００によって検知し、振動計３００によ
って計測し、ＦＦＴ（高速フーリエ変換装置）４００に
よって周波数解析し、低周波数域の共振が生じないもの
を安定であると判定した。
【００５１】以下、図１に示すように、複数の単一平面
１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃの組合せで構成される１
つの平面部分１０５を１つの溝Ｃとみなして考える。
１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃの組合せで構成される１
つの平面部分１０５を１つの溝Ｃとみなして考える。
【００５２】まず、シャフトの外周面に形成される平面
部分１０５からなる溝Ｃの本数が軸受の安定性に及ぼす
影響を評価した。表１に示すように、４本のシャフトの
外周面に深さと幅が同一の溝を形成した。溝を形成しな
いシャフトも１本準備した。溝Ｃの本数を変化させて、
シャフトの外周面に沿う円周に対して等しい間隔で溝を
配置させた。このように加工されたシャフトの溝が形成
されていない外周面の外径とスリーブの内径との差（直
径差）が表１に示すように一定になるようにシャフトと
スリーブを組合せてスキャナモータ（光偏向走査装置の
回転駆動部）５００を構成した。なお、ここで溝すなわ
ち平面部分Ｃの幅は図１に示すように軸体の外周表面１
０１に沿う円弧に対応する中心角θで表わされる。
部分１０５からなる溝Ｃの本数が軸受の安定性に及ぼす
影響を評価した。表１に示すように、４本のシャフトの
外周面に深さと幅が同一の溝を形成した。溝を形成しな
いシャフトも１本準備した。溝Ｃの本数を変化させて、
シャフトの外周面に沿う円周に対して等しい間隔で溝を
配置させた。このように加工されたシャフトの溝が形成
されていない外周面の外径とスリーブの内径との差（直
径差）が表１に示すように一定になるようにシャフトと
スリーブを組合せてスキャナモータ（光偏向走査装置の
回転駆動部）５００を構成した。なお、ここで溝すなわ
ち平面部分Ｃの幅は図１に示すように軸体の外周表面１
０１に沿う円弧に対応する中心角θで表わされる。
【００５３】なお、平面部分１０５を溝とみなしたとき
の溝の深さｄは、シャフトの外周表面１０１に沿う円弧
部（破線部）と複数の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１
０５ｃとの差の平均値である。
の溝の深さｄは、シャフトの外周表面１０１に沿う円弧
部（破線部）と複数の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１
０５ｃとの差の平均値である。
【００５４】
【表１】
【００５５】表１から明らかなように、溝Ｃの本数が３
本以上のものについては、２５０００ｒ．ｐ．ｍ．の高
速回転時においても軸受の安定性が認められた。
本以上のものについては、２５０００ｒ．ｐ．ｍ．の高
速回転時においても軸受の安定性が認められた。
【００５６】次に、平面部分からなる溝の深さが軸受の
安定性に及ぼす影響を評価した。６本のシャフトの外周
面に形成される溝Ｃの数は等しく３本とし、平面部分か
らなる溝の深さのみを変化させた。シャフトの外周面に
形成される溝Ｃの幅と、シャフトの溝が形成されていな
い外周面の外径とスリーブの内径との差を一定にして、
シャフトとスリーブを組合せてスキャナモータを構成
し、図４に示す評価装置を用いて軸受の安定性を評価し
た。
安定性に及ぼす影響を評価した。６本のシャフトの外周
面に形成される溝Ｃの数は等しく３本とし、平面部分か
らなる溝の深さのみを変化させた。シャフトの外周面に
形成される溝Ｃの幅と、シャフトの溝が形成されていな
い外周面の外径とスリーブの内径との差を一定にして、
シャフトとスリーブを組合せてスキャナモータを構成
し、図４に示す評価装置を用いて軸受の安定性を評価し
た。
【００５７】
【表２】
【００５８】表２から明らかなように、平面部分からな
る溝の深さが２０μｍ以下であれば、２５０００ｒ．
ｐ．ｍ．の高速回転下において軸受が安定することが認
められた。
る溝の深さが２０μｍ以下であれば、２５０００ｒ．
ｐ．ｍ．の高速回転下において軸受が安定することが認
められた。
【００５９】次に、シャフトの外周面に形成される溝Ｃ
の幅が軸受の安定性に及ぼす影響を評価した。６本のシ
ャフトの外周面に形成される溝Ｃの数は各々３本とし、
溝Ｃの幅のみを変化させた。シャフトの外周面に形成さ
れる溝の深さと、シャフトの溝が形成されていない外周
面の外径とスリーブの内径との差を一定にして、スキャ
ナモータを構成し、図４に示される評価装置を用いて軸
受の安定性の評価を行なった。
の幅が軸受の安定性に及ぼす影響を評価した。６本のシ
ャフトの外周面に形成される溝Ｃの数は各々３本とし、
溝Ｃの幅のみを変化させた。シャフトの外周面に形成さ
れる溝の深さと、シャフトの溝が形成されていない外周
面の外径とスリーブの内径との差を一定にして、スキャ
ナモータを構成し、図４に示される評価装置を用いて軸
受の安定性の評価を行なった。
【００６０】
【表３】
【００６１】表３から明らかなように、平面部分１０５
からなる溝Ｃの幅が対応する中心角で１０°以上であれ
ば、２５０００ｒ．ｐ．ｍ．の高速回転下で軸受が安定
することが認められた。
からなる溝Ｃの幅が対応する中心角で１０°以上であれ
ば、２５０００ｒ．ｐ．ｍ．の高速回転下で軸受が安定
することが認められた。
【００６２】次に、シャフトとスリーブの組合せによっ
て決定される直径差（シャフトの溝が形成されていない
外周面の外径とスリーブの内径との差）が軸受の安定性
に及ぼす影響を評価した。５本のシャフトの外周面に形
成される溝の数は各々３本とし、溝の幅と深さを一定に
してシャフトを作製した。シャフトの溝が形成されてい
ない外周面の外径とスリーブの内径との差を変化させて
シャフトとスリーブを組合せて各スキャナモータを構成
し、図４に示す評価装置を用いて軸受の安定性の評価を
行なった。
て決定される直径差（シャフトの溝が形成されていない
外周面の外径とスリーブの内径との差）が軸受の安定性
に及ぼす影響を評価した。５本のシャフトの外周面に形
成される溝の数は各々３本とし、溝の幅と深さを一定に
してシャフトを作製した。シャフトの溝が形成されてい
ない外周面の外径とスリーブの内径との差を変化させて
シャフトとスリーブを組合せて各スキャナモータを構成
し、図４に示す評価装置を用いて軸受の安定性の評価を
行なった。
【００６３】
【表４】
【００６４】表４から明らかなように、直径差が７μｍ
以下、すなわち１０μｍ未満であれば、２５０００ｒ．
ｐ．ｍ．の高速回転下でも軸受性能が安定することが認
められた。
以下、すなわち１０μｍ未満であれば、２５０００ｒ．
ｐ．ｍ．の高速回転下でも軸受性能が安定することが認
められた。
【００６５】以上説明したように、本発明の動圧気体軸
受構造は、複数の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５
ｃの組合せで構成される１つの平面部分１０５を１つの
溝Ｃとみなして考えたとき、上記平面部分１０５からな
る溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、上記平面部分
１０５は上記シャフト１の外周表面１０１に沿う円周に
対応する中心角で１０°以上に相当する溝すなわち平面
部分の幅を有する。
受構造は、複数の単一平面１０５ａ，１０５ｂ，１０５
ｃの組合せで構成される１つの平面部分１０５を１つの
溝Ｃとみなして考えたとき、上記平面部分１０５からな
る溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、上記平面部分
１０５は上記シャフト１の外周表面１０１に沿う円周に
対応する中心角で１０°以上に相当する溝すなわち平面
部分の幅を有する。
【００６６】また、上記シャフト１の外径と上記スリー
ブ２の内径との差が０．０１０ｍｍ未満であるように構
成されている。
ブ２の内径との差が０．０１０ｍｍ未満であるように構
成されている。
【００６７】なお、溝の深さと、溝の幅と、シャフトの
外径とスリーブの内径との差が上記の寸法条件を満たす
組合せであれば、溝の形状は上述した複数個の単一平面
の組合せ以外にも任意に選択可能である。たとえば、図
５に示すような溝形状とすることも考えられる。
外径とスリーブの内径との差が上記の寸法条件を満たす
組合せであれば、溝の形状は上述した複数個の単一平面
の組合せ以外にも任意に選択可能である。たとえば、図
５に示すような溝形状とすることも考えられる。
【００６８】具体的には、その溝の形状は製造工程の要
求から種々の形状に決定される。
求から種々の形状に決定される。
【００６９】次に、上記のように構成された光偏向走査
装置において、モータの過回転試験を実施した。モータ
の回転数を変化させ、そのときの定常時電流を測定し
た。定常時電流は、多面体鏡が定常回転に至ったときの
駆動モータの電流の測定値を示し、駆動トルクに相当す
る値である。また、光偏向走査装置の回転駆動部（スキ
ャナモータ）の性能を評価するものとして、面倒れを測
定した。これらの測定結果は、表５に示される。
装置において、モータの過回転試験を実施した。モータ
の回転数を変化させ、そのときの定常時電流を測定し
た。定常時電流は、多面体鏡が定常回転に至ったときの
駆動モータの電流の測定値を示し、駆動トルクに相当す
る値である。また、光偏向走査装置の回転駆動部（スキ
ャナモータ）の性能を評価するものとして、面倒れを測
定した。これらの測定結果は、表５に示される。
【００７０】
【表５】
【００７１】表５から明らかなように、本発明に従った
動圧気体軸受構造を備えた光偏向走査装置によれば、高
速回転下においても駆動トルクが低く、回転精度の高い
装置を得ることができる。
動圧気体軸受構造を備えた光偏向走査装置によれば、高
速回転下においても駆動トルクが低く、回転精度の高い
装置を得ることができる。
【００７２】本発明の動圧気体軸受構造を用いれば、よ
り高速度で走査することが可能な光偏向走査装置を実現
する上で、回転駆動部を構成するシャフトの形状として
加工が容易なものを提供することができる。したがっ
て、光偏向走査装置の製造コストを低減することができ
る。
り高速度で走査することが可能な光偏向走査装置を実現
する上で、回転駆動部を構成するシャフトの形状として
加工が容易なものを提供することができる。したがっ
て、光偏向走査装置の製造コストを低減することができ
る。
【図１】本発明の動圧気体軸受構造を備えた光偏向走査
装置を構成する回転駆動部のシャフトの一実施例を示す
横断面図である。
装置を構成する回転駆動部のシャフトの一実施例を示す
横断面図である。
【図２】本発明に従った光偏向走査装置の回転駆動部を
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図３】本発明に従った光偏向走査装置を用いたレーザ
ビームプリンタ装置の一実施例を示す概略構成図であ
る。
ビームプリンタ装置の一実施例を示す概略構成図であ
る。
【図４】本発明の動圧気体軸受構造の安定性を評価する
ために実施例で用いられた装置を示す概略図である。
ために実施例で用いられた装置を示す概略図である。
【図５】本発明の動圧気体軸受構造の軸体の外周面に形
成される溝の深さと幅を規定するために示される図であ
る。
成される溝の深さと幅を規定するために示される図であ
る。
【図６】光偏向走査装置に適用される動圧空気軸受のシ
ャフトの従来例としてシャフトの外周表面を示す側面図
である。
ャフトの従来例としてシャフトの外周表面を示す側面図
である。
１ シャフト（固定軸） ２ スリーブ（回転スリーブ） １０１ 外周表面 １０５ 平面部分（単位加工部） １０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ 単一平面 ５００ 駆動モータ（スキャナモータ） Ｃ 溝 ｄ 深さ Ｓ シャフトの外周面 θ 中心角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小村 修 兵庫県伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友 電気工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 中杉 幹夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 蕗田 卓 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 一身 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (20)
- 【請求項１】 窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形
成された円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、
窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円
筒状のスリーブとを備え、 前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を
含み、 前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連
続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一
平面から構成されており、 前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されている、動圧気体軸受構造。 - 【請求項２】 前記シャフトの外径と前記スリーブの内
径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、 前記複数個の単一平面から構成される前記平面部分を溝
とみなした場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下で
あり、前記平面部分は前記シャフトの外周面に沿う円周
に対応する中心角で１０°以上に相当する前記溝の幅を
有する、請求項１に記載の動圧気体軸受構造。 - 【請求項３】 窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形
成された円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、
窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円
筒状のスリーブとを備え、 前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を
含み、 前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連
続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一
平面から構成されており、 前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 を備えた、軸受回転装置。 - 【請求項４】 前記シャフトの外径と前記スリーブの内
径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、 前記複数個の単一平面から構成される前記平面部分を溝
とみなした場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下で
あり、前記平面部分は前記シャフトの外周面に沿う円周
に対応する中心角で１０°以上に相当する前記溝の幅を
有する、請求項３に記載の軸受回転装置。 - 【請求項５】 光束を偏向走査する光偏向走査装置であ
って、 窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された円柱状
のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、
窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円
筒状のスリーブとを備え、 前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を
含み、 前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連
続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一
平面から構成されており、 前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 前記スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
と、 を備えた、光偏向走査装置。 - 【請求項６】 前記シャフトの外径と前記スリーブの内
径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、 前記複数個の単一平面から構成される前記平面部分を溝
とみなした場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下で
あり、前記平面部分は前記シャフトの外周面に沿う円周
に対応する中心角で１０°以上に相当する前記溝の幅を
有する、請求項５に記載の光偏向走査装置。 - 【請求項７】 光源からの光束を偏向走査する光偏向走
査装置であって、 窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された円柱状
のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、
窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円
筒状のスリーブとを備え、 前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を
含み、 前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連
続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一
平面から構成されており、 前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 光源と、 前記スリーブに取付けられ、前記光源からの光束を偏向
走査する偏向器と、 を備えた、光偏向走査装置。 - 【請求項８】 前記シャフトの外径と前記スリーブの内
径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、 前記複数個の単一平面から構成される前記平面部分を溝
とみなした場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下で
あり、前記平面部分は前記シャフトの外周面に沿う円周
に対応する中心角で１０°以上に相当する前記溝の幅を
有する、請求項７に記載の光偏向走査装置。 - 【請求項９】 窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形
成された円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する、
窒化ケイ素系セラミックス焼結体から形成された中空円
筒状のスリーブとを備え、 前記シャフトの外周面は、その外周面に沿う円周に対し
て等しい間隔で少なくとも３箇所配置された平面部分を
含み、 前記平面部分は、前記円周方向に所定の角度をなして連
続して前記シャフトの外周面に形成された複数個の単一
平面から構成されており、 前記単一平面は、前記シャフトの軸方向にほぼ平行に延
在するように形成されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 光源と、 前記スリーブに取付けられ、前記光源からの光束を偏向
走査する偏向器と、 前記偏向器により偏向走査された光束を受光する感光体
と、 を備えた、レーザビームプリンタ装置。 - 【請求項１０】 前記シャフトの外径と前記スリーブの
内径との差が０．０１０ｍｍ未満であり、 前記複数個の単一平面から構成される前記平面部分を溝
とみなした場合、その溝の深さは０．０２０ｍｍ以下で
あり、前記平面部分は前記シャフトの外周面に沿う円周
に対応する中心角で１０°以上に相当する前記溝の幅を
有する、請求項９に記載のレーザビームプリンタ装置。 - 【請求項１１】 円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する円
筒状のスリーブとを備え、 溝が、前記シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成
されており、 前記シャフトの外径と前記スリーブの内径との差が０．
０１０ｍｍ未満であり、 前記溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、前記溝は前
記シャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角で１０
°以上に相当する幅を有し、前記溝は前記円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている、動圧気
体軸受構造。 - 【請求項１２】 前記シャフトと前記スリーブは、窒化
ケイ素系セラミックス焼結体を含む、請求項１１に記載
の動圧気体軸受構造。 - 【請求項１３】 円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する中
空円筒状のスリーブとを備え、 溝が、前記シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成
されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段とを備え、 前記シャフトの外径と前記スリーブの内径との差が０．
０１０ｍｍ未満であり、 前記溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、前記溝は前
記シャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角で１０
°以上に相当する幅を有し、前記溝は前記円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている、軸受回
転装置。 - 【請求項１４】 前記シャフトと前記スリーブは、窒化
ケイ素系セラミックス焼結体を含む、請求項１３に記載
の軸受回転装置。 - 【請求項１５】 光束を偏向走査する光偏向走査装置で
あって、 円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する中
空円筒状のスリーブとを備え、 溝が、前記シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成
されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 前記スリーブに取付けられ、光束を偏向走査する偏向器
とを備え、 前記シャフトの外径と前記スリーブの内径との差が０．
０１０ｍｍ未満であり、 前記溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、前記溝は前
記シャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角で１０
°以上に相当する幅を有し、前記溝は前記円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている、光偏向
走査装置。 - 【請求項１６】 前記シャフトと前記スリーブは、窒化
ケイ素系セラミックス焼結体を含む、請求項１５に記載
の光偏向走査装置。 - 【請求項１７】 光源からの光束を偏向走査する光偏向
走査装置であって、 円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する中
空円筒状のスリーブとを備え、 溝が、前記シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成
されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 光源と、 前記スリーブに取付けられ、前記光源からの光束を偏向
走査する偏向器とを備え、 前記シャフトの外径と前記スリーブの内径との差が０．
０１０ｍｍ未満であり、 前記溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、前記溝は前
記シャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角で１０
°以上に相当する幅を有し、前記溝は前記円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている、光偏向
走査装置。 - 【請求項１８】 前記シャフトと前記スリーブは、窒化
ケイ素系セラミックス焼結体を含む、請求項１７に記載
の光偏向走査装置。 - 【請求項１９】 円柱状のシャフトと、 前記シャフトにラジアル方向に間隙を保って対向する中
空円筒状のスリーブとを備え、 溝が、前記シャフトの外周面に軸方向にほぼ平行に形成
されており、さらに、 前記スリーブを回動する駆動手段と、 光源と、 前記スリーブに取付けられ、前記光源からの光束を偏向
走査する偏向器と、 前記偏向器により偏向走査された光束を受光する感光体
とを備え、 前記シャフトの外径と前記スリーブの内径との差が０．
０１０ｍｍ未満であり、 前記溝の深さは０．０２０ｍｍ以下であり、前記溝は前
記シャフトの外周面に沿う円周に対応する中心角で１０
°以上に相当する幅を有し、前記溝は前記円周に対して
等しい間隔で少なくとも３箇所配置されている、レーザ
ビームプリンタ装置。 - 【請求項２０】 前記シャフトと前記スリーブは、窒化
ケイ素系セラミックス焼結体を含む、請求項１９に記載
のレーザビームプリンタ装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04446496A JP3439292B2 (ja) | 1995-03-13 | 1996-03-01 | 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置 |
| US08/614,171 US5731831A (en) | 1995-03-13 | 1996-03-08 | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
| KR1019960006454A KR100222361B1 (ko) | 1995-03-13 | 1996-03-12 | 동압력 기체 베어링 구조물 및 광학 편향 주사 장치 |
| EP96103895A EP0732517B1 (en) | 1995-03-13 | 1996-03-12 | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
| DE69618051T DE69618051T2 (de) | 1995-03-13 | 1996-03-12 | Aerodynamische Gleitlagervorrichtung und abtastende optische Ablenkvorrichtung |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5300395 | 1995-03-13 | ||
| JP5300295 | 1995-03-13 | ||
| JP7-53002 | 1995-03-13 | ||
| JP7-53003 | 1995-03-13 | ||
| JP04446496A JP3439292B2 (ja) | 1995-03-13 | 1996-03-01 | 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914257A true JPH0914257A (ja) | 1997-01-14 |
| JP3439292B2 JP3439292B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=27291912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04446496A Expired - Fee Related JP3439292B2 (ja) | 1995-03-13 | 1996-03-01 | 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5731831A (ja) |
| EP (1) | EP0732517B1 (ja) |
| JP (1) | JP3439292B2 (ja) |
| KR (1) | KR100222361B1 (ja) |
| DE (1) | DE69618051T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6082900A (en) * | 1997-02-28 | 2000-07-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dynamic pressure pneumatic bearing structure and method of manufacturing the same |
| US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900903A (en) * | 1995-03-29 | 1999-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Deflecting scanning apparatus |
| JPH10184685A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 磁気軸受 |
| GB9709347D0 (en) * | 1997-05-08 | 1997-06-25 | Westwind Air Bearings Ltd | An improved air bearing |
| JPH1195153A (ja) | 1997-09-24 | 1999-04-09 | Canon Inc | 回転装置及び該装置を用いた偏向走査装置 |
| JP4235275B2 (ja) | 1998-01-09 | 2009-03-11 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
| JP4026918B2 (ja) | 1998-03-02 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | レーザ駆動装置およびその制御方法 |
| JP2000314421A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ラジアル／アキシャル複合軸受構造、及び同構造を持つスピンドルモータ |
| EP1136710B1 (en) * | 1999-09-03 | 2009-07-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dynamic pressure bearing |
| KR100376993B1 (ko) * | 2000-03-27 | 2003-03-26 | 삼성전기주식회사 | 스캐너 모터 |
| JP2002241172A (ja) | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック動圧軸受、軸受付きモータ、ハードディスク装置及びポリゴンスキャナ |
| JP2002266850A (ja) | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ハードディスク装置 |
| US7455456B2 (en) * | 2003-01-10 | 2008-11-25 | Sony Corporation | Bearing unit and rotation drive device using the same |
| KR100730424B1 (ko) * | 2003-02-04 | 2007-06-19 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 동압 베어링용 축, 동압 베어링 및 이 축의 제조 방법 |
| JP2006046540A (ja) * | 2004-08-05 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 動圧流体軸受装置 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1613128B2 (de) * | 1967-11-07 | 1976-02-05 | Dieter Gräßlin Feinwerktechnik, 7742 St Georgen | Anordnung zur lagerung einer welle mit unterbrochenem umfang |
| DE2952241A1 (de) * | 1979-12-22 | 1981-07-02 | Rolf Prof. Dr.-Ing. 5650 Solingen Seybold | Mehrfflaechiges radialgleitlager |
| JPS58163818A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-28 | Toshiba Corp | 動圧気体軸受装置 |
| US4747705A (en) * | 1987-06-26 | 1988-05-31 | United Technologies Corporation | Power shaped multipad hydrodynamic journal bearing |
| JPS647849A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Takara Co Ltd | Image reproducing printer |
| US5270737A (en) * | 1990-02-27 | 1993-12-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Light deflecting apparatus |
| DE9112053U1 (de) * | 1991-04-09 | 1992-01-09 | Wunderlich, Erhard, Dr.-Ing., 7760 Radolfzell | Werkstoff für eine büchsenartige Lagerschale |
| JP2973651B2 (ja) * | 1991-04-10 | 1999-11-08 | 住友電気工業株式会社 | 複合軸受構造 |
| US5357272A (en) * | 1991-07-29 | 1994-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Deflection scanner which is elastically fixed in its housing |
| US5315196A (en) * | 1991-08-08 | 1994-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Shaft with grooves for dynamic pressure generation and motor employing the same |
| JPH0610945A (ja) * | 1992-04-27 | 1994-01-21 | Hitachi Koki Co Ltd | 動圧軸受及びこれを用いた回転多面鏡装置 |
| US5434695A (en) * | 1992-04-21 | 1995-07-18 | Hitachi Koki Co., Ltd. | Dynamic pressure bearing and rotary polygon mirror device with the bearing |
| JP3170856B2 (ja) * | 1992-04-21 | 2001-05-28 | 日立工機株式会社 | 回転多面鏡装置 |
| GB9311231D0 (en) * | 1993-06-01 | 1993-07-21 | Westwind Air Bearings Ltd | An improved air bearing |
| EP0658895B1 (en) * | 1993-12-14 | 2000-07-05 | Hitachi, Ltd. | Recording disk apparatus and rotational supporting structure therefor |
-
1996
- 1996-03-01 JP JP04446496A patent/JP3439292B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-08 US US08/614,171 patent/US5731831A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-12 EP EP96103895A patent/EP0732517B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-12 KR KR1019960006454A patent/KR100222361B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-03-12 DE DE69618051T patent/DE69618051T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6082900A (en) * | 1997-02-28 | 2000-07-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dynamic pressure pneumatic bearing structure and method of manufacturing the same |
| US6123460A (en) * | 1997-02-28 | 2000-09-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure and optical deflection scanner comprising the same |
| US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0732517B1 (en) | 2001-12-19 |
| DE69618051T2 (de) | 2002-06-20 |
| US5731831A (en) | 1998-03-24 |
| KR960034781A (ko) | 1996-10-24 |
| DE69618051D1 (de) | 2002-01-31 |
| KR100222361B1 (ko) | 1999-10-01 |
| EP0732517A1 (en) | 1996-09-18 |
| JP3439292B2 (ja) | 2003-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3439292B2 (ja) | 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置 | |
| EP0918170B1 (en) | Dynamic pressure pneumatic bearing structure and optical deflection scanner employing the structure | |
| EP0433483B1 (en) | A rotation device supporting a polygon mirror | |
| US5769544A (en) | Dynamic pressure pneumatic bearing device and manufacturing method thereof | |
| KR940011647B1 (ko) | 전동장치 | |
| EP0764792A2 (en) | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus | |
| JPH06200936A (ja) | 複合軸受構造 | |
| EP0837257B1 (en) | Dynamic-pressure gas bearing structure, method of producing the same and method of using it | |
| US20020186903A1 (en) | Ceramic dynamic-pressure bearing, motor having bearing, hard disk drive, polygon scanner, and method for manufacturing ceramic dynamic-pressure bearing | |
| JP2973651B2 (ja) | 複合軸受構造 | |
| JP2505916B2 (ja) | 軸受け構造 | |
| JP2001069719A (ja) | 動圧軸受モータ | |
| JPH05332354A (ja) | 軸受構造およびスキャナモータ | |
| JP2002372039A (ja) | 動圧流体軸受装置及びスピンドルモータ | |
| JPH08114219A (ja) | 動圧軸受 | |
| JP2002005173A (ja) | 気体動圧軸受装置 | |
| JP3266161B2 (ja) | 複合軸受体 | |
| JPH0643382A (ja) | 軸受構造およびスキャナモータ | |
| JPS6055315A (ja) | 光偏向器 | |
| JPH09182357A (ja) | 動圧軸受け構造のモータおよびモータ組込機器 | |
| JPH05321930A (ja) | スキャナモータの軸受構造 | |
| JP2000120659A (ja) | 動圧空気軸受、動圧空気軸受モータ及び光偏向器 | |
| Gerrard | Bearings for Rotary Scanners | |
| JPS62234116A (ja) | 回転体支持装置 | |
| JP2001173643A (ja) | 空気動圧軸受装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030513 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080613 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120613 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |