JPS58163818A - 動圧気体軸受装置 - Google Patents
動圧気体軸受装置Info
- Publication number
- JPS58163818A JPS58163818A JP4413082A JP4413082A JPS58163818A JP S58163818 A JPS58163818 A JP S58163818A JP 4413082 A JP4413082 A JP 4413082A JP 4413082 A JP4413082 A JP 4413082A JP S58163818 A JPS58163818 A JP S58163818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- shaft
- groove
- shaft body
- bearing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は軸体の回転によって発生する動圧でこの軸体
を軸受に非接触状態で支持することので鳶る動圧気体軸
受装置に関する。
を軸受に非接触状態で支持することので鳶る動圧気体軸
受装置に関する。
従来、上述した動圧気体軸受装置としては、円筒軸受に
支持される円柱状の軸体の外周面にヘリングゾーン状、
すなわち軸方向に対して杉綾模様に一定角度で゛傾斜し
た複数の溝を刻設したへリングポーン溝軸受装置が用い
られている。
支持される円柱状の軸体の外周面にヘリングゾーン状、
すなわち軸方向に対して杉綾模様に一定角度で゛傾斜し
た複数の溝を刻設したへリングポーン溝軸受装置が用い
られている。
上記へリングゲーン溝は深さが数10Ittn程度以下
でかつ軸線に対して一定角度で傾斜しているので、通常
の機械加工では加工することがむずかしく、たとえば化
学腐食加工などのような特殊加工に依存している。しか
しながら、化学腐食加工は・譬ターン作成、フィルム作
成、レジスト塗布曳露光1エツチングなどのように複雑
な工程を経由しなければならないので、生産能率が極め
て悪いばかシか、溝の断面形状が角形状に限定される・
しかも、溝は軸方向に対して一定角度傾斜しているので
軸体の回転方向が決められてしまい%まんいち軸体を逆
回転した場合KI/i重大な損傷を招く虞れがある。
でかつ軸線に対して一定角度で傾斜しているので、通常
の機械加工では加工することがむずかしく、たとえば化
学腐食加工などのような特殊加工に依存している。しか
しながら、化学腐食加工は・譬ターン作成、フィルム作
成、レジスト塗布曳露光1エツチングなどのように複雑
な工程を経由しなければならないので、生産能率が極め
て悪いばかシか、溝の断面形状が角形状に限定される・
しかも、溝は軸方向に対して一定角度傾斜しているので
軸体の回転方向が決められてしまい%まんいち軸体を逆
回転した場合KI/i重大な損傷を招く虞れがある。
この発明は上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、軸体の外周面に通常の機械加工によ
って溝を加工することにょシ1軸受としての満足のゆく
性能が得られるとともに生産性の大幅向上を計ることが
できるようにした動圧気体軸受装Rw提供することにあ
る・ 〔発明の概要〕 軸体の外周面に、この軸体の軸方向に、沿って平行な複
数の溝を設けるようにしたものである。
的とするところは、軸体の外周面に通常の機械加工によ
って溝を加工することにょシ1軸受としての満足のゆく
性能が得られるとともに生産性の大幅向上を計ることが
できるようにした動圧気体軸受装Rw提供することにあ
る・ 〔発明の概要〕 軸体の外周面に、この軸体の軸方向に、沿って平行な複
数の溝を設けるようにしたものである。
臣軸受装置は、いわゆるジャーナル軸受の一種で、第1
図に示すように円筒状の軸受1と1この軸受1の支持孔
2に挿入されて支持される支持孔2よりもわずかに小径
な円柱状の軸体3から構成されている・この軸体3の外
周面には、この軸体3の軸線と平行に複数の#14・・
・が周方向に等間隔、この実施例では45度間隔で8つ
の溝4・・・が形成されている。この溝4・・・はフラ
イス盤や研訓盤などによる通常の機械加工によって加工
される。すなわち、軸体3の外周面を断面はぼL字状に
切欠除去することにより、谷溝4・・・は水平面5と、
この水平面5の一端に垂直面6を有する形状となってい
る。また、軸体3の周方向において互いに180度ずれ
た位置にある溝4,4は、これらの垂直面6,6が上記
軸イ$3の直径方向の同一線上に位置している。
図に示すように円筒状の軸受1と1この軸受1の支持孔
2に挿入されて支持される支持孔2よりもわずかに小径
な円柱状の軸体3から構成されている・この軸体3の外
周面には、この軸体3の軸線と平行に複数の#14・・
・が周方向に等間隔、この実施例では45度間隔で8つ
の溝4・・・が形成されている。この溝4・・・はフラ
イス盤や研訓盤などによる通常の機械加工によって加工
される。すなわち、軸体3の外周面を断面はぼL字状に
切欠除去することにより、谷溝4・・・は水平面5と、
この水平面5の一端に垂直面6を有する形状となってい
る。また、軸体3の周方向において互いに180度ずれ
た位置にある溝4,4は、これらの垂直面6,6が上記
軸イ$3の直径方向の同一線上に位置している。
このように構成された動圧気体軸受装置において、軸体
3を第2図に矢印で示す方向に高速で回転させると、そ
の回転にともなって第3図中の動圧曲線Aで示すような
動圧が発生する・したがって、この動圧により軸体3は
軸受1に非接触状態で支持されて回転する・軸体3の回
転にともなう動圧は、溝4・・・に巻き込まれた空気の
渦動と、谷溝4・・・の支持孔2内周面に対するくさび
作用とが相俟って発生するものであるOそして、その動
圧は、軸受1と軸体3との隙間、#14の形状あるいは
軸体3の回転数などによって異なるが、軸受1の支持孔
2の径が16■、−が16■、#14の水平面6の長さ
Wを0.8■、回転数が10’ ra p−m−で0.
25 kQ/ tans、2×l Q’ re pa
m、でQ、35kg/1mの剛性が得られ九・また、仁
のような軸受装置においては、軸体3の回転数が3 X
10 ra pa ms程度まで1都以内の精度で
安定回転させることができた。
3を第2図に矢印で示す方向に高速で回転させると、そ
の回転にともなって第3図中の動圧曲線Aで示すような
動圧が発生する・したがって、この動圧により軸体3は
軸受1に非接触状態で支持されて回転する・軸体3の回
転にともなう動圧は、溝4・・・に巻き込まれた空気の
渦動と、谷溝4・・・の支持孔2内周面に対するくさび
作用とが相俟って発生するものであるOそして、その動
圧は、軸受1と軸体3との隙間、#14の形状あるいは
軸体3の回転数などによって異なるが、軸受1の支持孔
2の径が16■、−が16■、#14の水平面6の長さ
Wを0.8■、回転数が10’ ra p−m−で0.
25 kQ/ tans、2×l Q’ re pa
m、でQ、35kg/1mの剛性が得られ九・また、仁
のような軸受装置においては、軸体3の回転数が3 X
10 ra pa ms程度まで1都以内の精度で
安定回転させることができた。
なお、軸体3に形成する溝4の形状は第4図乃至第7図
に示すような形状であってもよい拳まず、第4図は軸体
3の外周面に周方向に9G度間隔で4つの溝4・・・を
形成するようにしたもので、その溝4は半径r1の第1
の円弧部7と1半径r!の第2の円弧部8とが左右対称
に形成されてなる。したがって、このような溝4によれ
ば、第1の円弧部7と第2の円弧部8との半径rl*r
lを任意に設定すれば、溝4の深さや断面形状を種々変
形させることができるばか9か、r1=r鵞とすれば軸
体3を左右両方向に回転させて用いることができる0 また、第5図は軸体3の外周面に断面形状がV字状の溝
4を多数設けたものである。溝4の数は、たとえば深さ
が数十−で幅が数百−の場合、15〜30本が適当であ
る。なお、溝4の側面9 a @ 9 ’Bが中心線に
対してなす傾き角度01 、θ、を任意に設定またとえ
ば01=θ!為θ1へθ鵞などのように設定すれば、上
記溝4による動圧特性を変えることができ、またθ1=
θ意であれば軸体3の回転方向に制限を受けることがな
い。
に示すような形状であってもよい拳まず、第4図は軸体
3の外周面に周方向に9G度間隔で4つの溝4・・・を
形成するようにしたもので、その溝4は半径r1の第1
の円弧部7と1半径r!の第2の円弧部8とが左右対称
に形成されてなる。したがって、このような溝4によれ
ば、第1の円弧部7と第2の円弧部8との半径rl*r
lを任意に設定すれば、溝4の深さや断面形状を種々変
形させることができるばか9か、r1=r鵞とすれば軸
体3を左右両方向に回転させて用いることができる0 また、第5図は軸体3の外周面に断面形状がV字状の溝
4を多数設けたものである。溝4の数は、たとえば深さ
が数十−で幅が数百−の場合、15〜30本が適当であ
る。なお、溝4の側面9 a @ 9 ’Bが中心線に
対してなす傾き角度01 、θ、を任意に設定またとえ
ば01=θ!為θ1へθ鵞などのように設定すれば、上
記溝4による動圧特性を変えることができ、またθ1=
θ意であれば軸体3の回転方向に制限を受けることがな
い。
第6図に示す溝4は、その断面形状が2つの段部10m
、10bを有する階段状をなし九もので、この溝4によ
れば、第1の段部10aの畏さり、と高さHlおよび第
2の段部10bの長さLlと^さHl tそれぞれ任意
に設定することによって動圧特性を変えることができる
・第7図に示す鍔4Fi、その断面形状を矩形状にした
もので、この場合は#llI4の幅Wと深さDによって
動圧特性を任意に変えることができる〇〔発明の効果〕 以上述べたようにこの発明によれば、軸体の回転にとも
なって動圧を発生させるために、上記軸体の外周面に複
数の溝を軸体の軸方向に沿って平行に設けるようにし友
。したがって、上配溝をフライス盤や研削盤などによる
通常の機械加工で形成することができるから、生産性の
向上をコストの低減を計ることができる。また、機械加
工によって溝を形成するため、その溝の加工可能な形状
があまり制限を受けないので1所望する動圧特性の軸受
装置を得ることができる。さらに、溝を左右対称な形状
とすることができるから、これによって軸体を左右両方
向回転させるようにすることもできる。
、10bを有する階段状をなし九もので、この溝4によ
れば、第1の段部10aの畏さり、と高さHlおよび第
2の段部10bの長さLlと^さHl tそれぞれ任意
に設定することによって動圧特性を変えることができる
・第7図に示す鍔4Fi、その断面形状を矩形状にした
もので、この場合は#llI4の幅Wと深さDによって
動圧特性を任意に変えることができる〇〔発明の効果〕 以上述べたようにこの発明によれば、軸体の回転にとも
なって動圧を発生させるために、上記軸体の外周面に複
数の溝を軸体の軸方向に沿って平行に設けるようにし友
。したがって、上配溝をフライス盤や研削盤などによる
通常の機械加工で形成することができるから、生産性の
向上をコストの低減を計ることができる。また、機械加
工によって溝を形成するため、その溝の加工可能な形状
があまり制限を受けないので1所望する動圧特性の軸受
装置を得ることができる。さらに、溝を左右対称な形状
とすることができるから、これによって軸体を左右両方
向回転させるようにすることもできる。
#!1図はこの発明の第1の実施例を示す動圧気体軸受
装置の軸方向に沿う断面図、第2図は同じく軸方向に直
角な断面図、第3図は同じく12部の拡大図、第4図乃
至第7図はそれぞれこの発明の第2乃至第50実施例を
示す軸体の断面図である0 1・・・軸受、2・・・支持孔、3・・・軸体、4・・
・溝・出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ6図
矛7図
装置の軸方向に沿う断面図、第2図は同じく軸方向に直
角な断面図、第3図は同じく12部の拡大図、第4図乃
至第7図はそれぞれこの発明の第2乃至第50実施例を
示す軸体の断面図である0 1・・・軸受、2・・・支持孔、3・・・軸体、4・・
・溝・出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ6図
矛7図
Claims (1)
- 円柱状の軸体を、この軸体が回転することによって発生
する気体の動圧で軸受に非接触状態で支持するものにお
いて、上記軸体の外周面には複数の溝を軸体の軸方向に
沿って平行に設けたことを%徽とする動圧気体軸受装置
・
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4413082A JPS58163818A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 動圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4413082A JPS58163818A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 動圧気体軸受装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58163818A true JPS58163818A (ja) | 1983-09-28 |
JPH0215726B2 JPH0215726B2 (ja) | 1990-04-13 |
Family
ID=12683029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4413082A Granted JPS58163818A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 動圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58163818A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0550113U (ja) * | 1991-12-06 | 1993-07-02 | エヌオーケー株式会社 | アクチュエータ |
EP0764792A2 (en) * | 1995-09-19 | 1997-03-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
US5731831A (en) * | 1995-03-13 | 1998-03-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
US6200033B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
DE102005044310A1 (de) * | 2005-09-16 | 2007-04-05 | Minebea Co., Ltd. | Rotor für ein fluiddynamisches Lagersystem |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69835383T2 (de) * | 1997-02-28 | 2007-02-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamisches Gaslager und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN101294601A (zh) * | 2007-04-25 | 2008-10-29 | 富准精密工业(深圳)有限公司 | 动压轴承结构及采用该动压轴承结构的散热风扇 |
-
1982
- 1982-03-19 JP JP4413082A patent/JPS58163818A/ja active Granted
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0550113U (ja) * | 1991-12-06 | 1993-07-02 | エヌオーケー株式会社 | アクチュエータ |
US5731831A (en) * | 1995-03-13 | 1998-03-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
EP0764792A2 (en) * | 1995-09-19 | 1997-03-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
EP0764792A3 (ja) * | 1995-09-19 | 1997-04-09 | Canon Kk | |
US5835124A (en) * | 1995-09-19 | 1998-11-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic-pressure gas bearing structure and optical deflection scanning apparatus |
US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
US6200033B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
US6256885B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-07-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
DE102005044310A1 (de) * | 2005-09-16 | 2007-04-05 | Minebea Co., Ltd. | Rotor für ein fluiddynamisches Lagersystem |
DE102005044310B4 (de) * | 2005-09-16 | 2016-03-24 | Minebea Co., Ltd. | Spindelmotor mit einem Rotor und einem fluiddynamischen Lagersystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0215726B2 (ja) | 1990-04-13 |
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