JPH09140166A - 振動モータの駆動装置 - Google Patents
振動モータの駆動装置Info
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Abstract
れ、エネルギー効率が良好な振動波モータの駆動回路を
提供する。 【解決手段】 振動波モータの駆動装置において、電気
/機械エネルギー変換素子に所定電圧を印加する充電回
路(10、11、14、15、16)と、電気/機械エ
ネルギー変換素子を誘導性素子を介して放電させる放電
回路(12、13)と、電気/機械エネルギー変換素子
に、所定期間だけ充電回路を接続し、所定期間だけ放電
回路を接続することを交互に繰り返す制御回路(1、
2、17)とを備える。
Description
装置に関するものである。
構成を示す図である。図4(A)は、振動波モータ10
0の断面図であり、互いに接着されているロータ100
−1及び摺動材100−2からなる移動子と、同様に互
いに接着されている弾性体100−3及び振動体100
−4からなる固定子とにより構成されている。これらの
移動子と固定子は、不図示の加圧手段により加圧接触さ
れて駆動される。
配置を示す平面図である。電極100−4a及び100
−4bは、入力電極であり、これらの電極に振動波モー
タ毎に決まった周波数であって、相互に90゜あるいは
270゜の位相差を持つ周波電圧が印加されることによ
り固定子が振動する。また、電極100−4cは、接地
される共通電極である。一方、電極100−4dは、モ
ニター電圧を取り出すことに使用される電極であるが、
振動体100−4の振動には直接寄与しない電極であ
る。
極100−4a、又は100−4bと接地電極間の等価
回路を示したものである。図に示すように、等価回路
は、自己容量C0 と、C0 と並列接続されたL、C、R
の直列共振回路で表される。振動波モータの駆動量(回
転速度)は、振動体等価回路のL、C、Rの直列共振回
路に流れる電流(モーショナル電流)の値によって変化
するものと考えられている。すなわち、振動体に印加す
る周波電圧を大きくするか、周波電圧の周波数をこの直
列共振回路の共振周波数に近づけることにより電流値を
大きくすることにより、大きな駆動量を得ることが可能
となる。
置について説明する。図5は、図4の振動波モータの駆
動装置を示したブロック図である。従来の振動波モータ
の駆動装置は、駆動周波数設定回路101と、移相回路
102と、圧電体駆動回路103(103A、103
B)等から構成されている。駆動周波数設定回路101
は周波信号を出力する回路であり、その周波数は振動波
モータごとに決められた駆動周波数に対応して設定さ
れ、その出力は、移相回路102に接続されている。移
相回路102は、駆動周波数設定回路101の出力を9
0゜あるいは270゜だけ位相の異なった2つの周波信
号を出力する回路であり、その出力は、圧電体駆動回路
103(103A、103B)に接続されている。圧電
体駆動回路103(103A、103B)は、移相回路
102からの周波信号を増幅した正弦波電圧をそれぞれ
振動体100−4の電極100−4a、100−4bに
入力する回路である。振動体100−4は、正弦波電圧
が入力されることにより励振され、移動子を駆動する。
の振動波モータの駆動装置では、正弦波電圧を発生させ
て振動体の電極に印加する必要があるために、駆動装置
の回路が複雑になり、また、駆動装置におけるエネルギ
ーの損失が大きくなるという問題があった。さらに、駆
動装置の回路が複雑であることは、回路自体の体積の増
大につながり、そのために振動波モータの携帯用機器へ
の適用が困難となるという問題もあった。
に、請求項1に係る発明は、電気的エネルギーを機械的
エネルギーに変換する電気/機械エネルギー変換素子の
振動運動を利用して駆動する振動波モータの駆動装置に
おいて、電気/機械エネルギー変換素子に所定電圧を印
加することにより電気エネルギーを供給する充電回路
(10、11、14、15、16)と、電気エネルギー
が供給された電気/機械エネルギー変換素子を誘導性素
子を介して放電させることにより、電気/機械エネルギ
ー変換素子において機械エネルギーを発生させる放電回
路(12、13)と、電気/機械エネルギー変換素子
に、誘導性素子のインダクタンス特性に依存しない期間
だけ充電回路を接続し、インダクタンス特性に依存する
期間だけ放電回路を接続することを交互に繰り返す制御
回路(1、2、17)とを備えることを特徴とする。
振動波モータ駆動装置において、制御回路は、充電回路
が電気/機械エネルギー変換素子に電圧を印加する電圧
印加期間を少なくとも電気/機械エネルギー変換素子が
充電されるのに必要とする充電時間より長い期間となる
ように充電制御信号を出力し、放電回路が、電気/機械
エネルギー変換素子に作用する放電期間を前記エネルギ
ー変換素子と誘導性素子とで構成する回路の共振振動の
周期とほぼ等しい期間となるように放電制御信号を出力
することを特徴とする。
振動波モータの駆動装置において、制御回路が充電制御
信号の出力期間を変化させることにより、電気/機械エ
ネルギー変換素子の駆動量を変化させることを特徴とす
る。
振動波モータの駆動装置において、さらに、充電回路か
ら電気/機械エネルギー変換素子に供給される電流を検
出する電流検出回路(5)を有し、制御回路は、電流検
出回路が検出する電流値が所定値以下となるように、充
電制御信号の出力期間を制御することを特徴とする。
振動波モータの駆動装置において、さらに、充電回路が
接続される直前の電気/機械エネルギー変換素子の電圧
を検出する電圧検出部を有し、制御回路は、電圧検出部
が検出する電圧値が所定値になる駆動周波数よりも高い
駆動周波数で駆動されるように、充電制御信号の出力期
間を制御することを特徴とする。
に係る実施形態について説明する。図1は、本発明に係
る振動波モータの駆動装置の実施形態を示す回路図、図
2は、その動作を説明するための線図である。
号発生器1、移相回路2、駆動回路3A及び3B、高圧
電源10を有する。駆動信号発生器1は、駆動回路3A
と移相回路2に接続されており、それぞれに周波信号S
a を出力する回路である。ここで、周波信号Sa は、図
2(A)上段に示すような期間Ta を駆動サイクルとす
る論理信号である。なお、本実施形態では、Ta と振動
体100−4の駆動周波数をfa とは、Ta =1/fa
で与えられる関係を有する。移相回路2は、駆動信号発
生器1から出力された周波信号Sa を入力すると、それ
と位相が90°あるいは、270°異なる周波信号Sb
を駆動回路3Bに出力する回路である。
100−4の入力電極100−4a、4bに接続されて
おり、駆動信号発生器1又は移相回路2より周波信号S
a 又はSb を受けると、振動体100−4へ駆動信号を
出力する回路である。なお、本実施形態では、駆動回路
3A及び3Bとして、回路構成が同一のものを用いてい
る。よって、以下の説明では、駆動回路3Aについての
みその回路構成と動作を記述する。
及び12a、誘導性素子13a、抵抗14a及び15
a、トランジスタ16a、位相反転器17a、並びに必
要に応じて挿入されるダイオード等の整流素子18a及
び19aから構成される。スイッチング素子11aは、
その一端が電流検出回路5を介して高圧電源10に接続
されているとともに、他端が誘導性素子13aを介して
スイッチング素子12aと接続されている。また、スイ
ッチング素子12aは、誘導性素子13aを介してスイ
ッチング素子11aと接続されているのと異なる一端が
接地されている。なお、本実施形態では、スイッチング
素子として例えばMOS型FETを用いたが、これは、
特にMOS型FETに限定されるものではなく、その他
のスイッチング素子であってもよい。
は、スイッチング素子11aと誘導性素子13aの接点
Aに接続されている。一方、振動体100−4の入力電
極100−4bは、駆動回路3B中のスイッチング素子
11bと誘導性素子13bの接点Bに接続されている。
駆動信号発生器1より出力され、駆動回路3Aに入力し
た駆動信号Sa は、駆動回路3A内において2つに分岐
される。分岐した一方の信号は、位相反転器17aを介
してスイッチング素子12aに入力され、他方は、トラ
ンジスタ16aに入力される。
15a,トランジスタ16aからなる回路の働きによ
り、駆動信号Sa が論理レベル”H”(充電制御信号)
であるときのみ閉鎖、すなわち、スイッチONの状態と
なる。一方、スイッチング素子12aは、位相反転器1
7aからの信号により、駆動信号Sa が論理レベル”
L”(放電制御信号)であるときにのみ閉鎖される。
きは、振動体の入力電極100−4aにスイッチング素
子11aを介して高圧電源10の電圧Vd が印加され
る。これにより、振動体100−4内の等価静電容量に
は、電圧Vd が充電される。なお、充電に要する時間
は、スイッチング素子のON抵抗値が小さいことから、
Ta と比較して極めて短い。一方、駆動信号Sa の論理
レベル”L”である場合は、誘導性素子13aの一端
は、スイッチング素子12aによって接地される。この
結果、振動体100−4の等価静電容量と誘導性素子1
3aのインダクタンスによる電気的な共振振動が発生す
る。
0 より、駆動信号Sa が論理レベル”L”の状態を保持
するものと仮定すると、接点Aの電圧VA の変化は、同
図下段に示す実線波形のように振動周期及び初期電位が
それぞれTr 、Vd であり、振幅中心が接地電位である
減衰共振振動となる。ここで、振動周期Tr は、誘導性
素子13aのインダクタンスの大きさ及び振動体の等価
回路定数(L、C、R、C0 )によって決まると考えら
れる。
うに、所定時間Tc だけ”H”であり、その後に上記振
動周期Tr の1周期に相当する時間”L”となる周期T
a (Ta =Tc +Tr )の周波信号Sa を駆動回路3A
に入力した。このような周波信号Sa を用いることによ
り、駆動信号Sa が”H”となる瞬間の電源電圧Vdと
接点Aの電圧VA の電圧差δVは最小となり、振動体の
等価静電容量に充電される電荷量が最小となる。したが
って、高圧電源10から駆動回路3Aを通して振動体に
供給される平均電流は最小となる。
3Aより図2(A)下段に示すような周波電圧が振動体
100−4の入力電極100−4aに印加される。一
方、入力電極100−4aに印加される周波電圧とその
位相のみが90゜あるいは270゜異る周波電圧が駆動
回路3Bによって入力電極100−4bに印加される。
これによって、弾性体100−3に進行波が形成され、
移動子が駆動される。
の駆動量(回転速度)を調定する方法について説明す
る。従来の技術において既に記述したように、振動波モ
ータの駆動量を変化させる方法としては、振動体の入力
電極に印加される周波電圧の電圧を増減させる方法(以
下「第一の方法」という)と、周波電圧の周波数を増減
させる方法(以下「第2の方法」という)とがある。本
実施形態は、高圧電源10の電圧値Vdを変えることに
より第1の方法を実現することが可能である。しかし、
一般に出力電圧が可変である高圧電源は、回路構成が複
雑となる等の欠点を有する。
いて、振動波モータの駆動量を調定することとした。す
なわち、駆動信号発生器1の発生周波数fを可変とし
て、駆動信号Sa ,Sb の繰り返し周期Ta (=1/
f)を変えることにより、振動体に印加される周波電圧
の周波数を変化させるのである。ここで、周期Ta のう
ち期間Tr は、電気的な振動周期によって決まり、任意
に増減させることのできない期間である。よって、周期
Ta の変化は、駆動周波数発生器1が出力する充電制御
信号の出力期間、すなわち、駆動信号Sa が論理レベ
ル”H”である期間Tc をTc =Ta −Tr の関係を満
たすように変化させることにより実現する。ただし、期
間Tc は、振動体の等価静電容量を充電するのに要する
時間よりも長くなければならない。
0kHzから32kHzの範囲で変化させることによ
り、振動波モータの駆動量を停止から最大量まで調定で
きるという知見を実験的に得ている。これによれば、期
間Tc の可変量はTa の約6%である。よって、上記充
電時間をTa の4%程度と仮定した場合は、期間Tr が
Ta の90%以下となるよう適切なインダクタンスの値
を有する誘導性素子13を選択すれば良いこととなる。
モータの駆動周波数特性について説明する。図3は、駆
動周波数fを高周波数fH から低周波数fL 方向に走査
した場合における移動子の駆動量N(振動波モータの回
転速度)、及び高圧電源から供給された電流値Id の変
化を示す図である。振動波モータは、駆動周波数f0 よ
り低い周波数で駆動を開始し、その駆動量Nは、周波数
が低くなるほど大きくなる。また、駆動量Nは、さらに
駆動周波数を低くすると、f2 において急激に低下す
る。これは、振動波モータに特有な現象であり、振動体
の振動が過大となったために、その安定性が低下して生
じる現象であると考えられている。
1 (f2 <f1 )の範囲において大きな変化を示さず、
小さな値にとどまるが、f1 より低周波数域において、
駆動周波数の低下に伴い徐々に増加する。また、電流値
Id は、さらに駆動周波数を低くすると、f2 以下で駆
動量Nの低下に同期して初期の電流値に戻る。このよう
な電流値Id の周波数特性は、以下のように説明され
る。振動体のL、C、R直列共振回路に流れる電流(モ
ーショナル電流)は、駆動周波数が低くなるに従い増大
する。このために、接点Aにおける電圧VA が示す減衰
共振振動は、図2(B)下段に点線で示す電圧波形のよ
うに、その減衰の度合を増大させる。この結果、駆動信
号Saが論理レベル”H”となったときの電圧差δV
(図2(A)参照)が増大し、充電するために電源より
供給される電流値Id が大きくなるのである。
動量Nを得ようとして駆動周波数fを低下させ過ぎた場
合に(f<f2 )、駆動量Nが急激に低下してしまうと
いう不都合がある。この問題を回避するためには、駆動
周波数fがf2 以下とならないように、その最低周波数
を定める必要がある。しかしながら、周波数f2 は、温
度等の条件によって変動するものであるために、その最
低周波数は一概には決められない。そこで、本実施形態
では、電流値Id が所定値Is を越えた場合に駆動周波
数fをそれ以下の値に低下させないこととした。具体的
には、駆動周波数fをfH より徐々に低下させながら駆
動量Nを増加させ、高圧電源10と振動波モータ100
の間に接続された電流検出回路5により、高圧電源10
から振動波モータ100へ供給される電流の値Id をモ
ニタする。電流検出回路5がId が所定値Is を越えた
(Id ≧Is )ことを検出したときは、駆動周波数発生
器1は、そのときの駆動周波数fs 以上の周波数で振動
波モータを駆動すべく、充電制御信号の出力期間
(Tc )を制御する。これにより、駆動量Nの急激な低
下を防止することが可能となる。
置は、駆動周波数発生器が出力する矩形波の論理信号に
基づいて、振動体に所定電圧を印加することにより電気
エネルギーを供給し、その後に振動体を誘導性素子を介
して放電させることを周期的に繰り返し行う。ここで、
振動体は誘導性素子を介して放電されるので、駆動周波
数発生器が出力する信号が矩形であるにも関わらず、振
動体には、誘導性素子のインダクタンスと振動体の等価
回路定数から定まる共振周波数に従って正弦波状の振動
電圧が印可される。これにより、振動体において電気エ
ネルギーの機械エネルギーへの変換が生じ、振動波モー
タが駆動する。従って、本実施形態では、振動体を振動
運動させるために、駆動装置自身が正弦波状の信号を出
力する必要がなく、これにより、駆動周波数発生器の回
路構成を簡単でコンパクトなものとすることが可能とな
っている。
ている期間、すなわち、駆動信号Saが論理レベル”
L”である期間を誘導性素子のインダクタンスと振動体
の等価回路定数から定まる共振周波数に一致させてい
る。これより、振動体を再度充電する際に、振動体に供
給する電流量を最小限に抑制することができ、この点か
らも振動波モータの駆動効率を向上させている。
は、上記放電期間と異なり、誘導性素子と振動体の共振
周波数と無関係に設定することが可能である。そこで、
本実施形態は、この特性に着目し、充電期間を増減させ
ることにより振動体の振動周波数を変化させ、もって、
振動波モータの駆動量を容易に調定することを可能とし
ている。また、本実施形態の駆動装置は、さらに高圧電
源から振動体へ供給される電流量を電流検出回路によっ
てモニターし、その電流値が所定値以上とならないよう
に振動波モーターを駆動する周波数を調整することとし
たので、この種の振動波モータに特有の現象である急激
な駆動量の低下を未然に防止することが可能となってい
る。
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。
波モータについて説明をしたが、本発明に係る技術的思
想は、リニア型の振動波モータに対して適用することも
可能である。また、上記実施形態では、振動波モータの
安定な駆動を保証するために、電流検出回路を用い、高
圧電源から振動体へ供給される電流値をモニターしてい
る。これは、電流値Id の代わりに期間Tc の直前の振
動電圧と電源電圧Vd の電圧差δV,あるいは期間Tc
の直前の振動電圧値を直接モニタすることであってもよ
い。この場合は、電圧検出回路を振動波モータ100の
電極100−4aに接続し、検出された電圧値が所定値
に達したときの周波数をfs とし、振動波モータの駆動
周波数がfs 以下とならないように充電制御信号の出力
期間(Tc )を適切に調整する。
は請求項2に係る発明によれば、回路構成が簡単であ
り、エネルギー効率のよい振動波モータの駆動装置を提
供することが可能となった。また、請求項3に係る発明
によれば、振動波モータの駆動量を容易に制御できる振
動波モータの駆動装置を提供することが可能となった。
さらに、請求項4又は請求項5に係る発明によれば、振
動波モータを常時安定な状態において駆動できる振動波
モータの駆動装置を提供することが可能となった。
態を示す回路図である。
る。
ータの駆動量と供給電流の駆動周波数特性を示す図であ
る。
ある。
図である。
ッチング素子 13 誘導性素子 14,15 抵抗 16 トランジスタ 17 位相反転器 18,19 整流素子 100 振動体
Claims (5)
- 【請求項1】 電気的エネルギーを機械的エネルギーに
変換する電気/機械エネルギー変換素子の振動運動を利
用して駆動する振動モータの駆動装置において、 前記電気/機械エネルギー変換素子に所定電圧を印加す
ることにより電気エネルギーを供給する充電回路と、 電気エネルギーが供給された前記電気/機械エネルギー
変換素子を誘導性素子を介して放電させることにより、
前記電気/機械エネルギー変換素子において機械エネル
ギーを発生させる放電回路と、 前記電気/機械エネルギー変換素子に、前記誘導性素子
のインダクタンス特性に依存しない期間だけ前記充電回
路を接続し、前記インダクタンス特性に依存する期間だ
け前記放電回路を接続することを交互に繰り返す制御回
路と、 を備えることを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の振動モータ駆動装置に
おいて、 前記制御回路は、 前記充電回路が前記電気/機械エネルギー変換素子に電
圧を印加する電圧印加期間を少なくとも前記電気/機械
エネルギー変換素子が充電されるのに必要とする充電時
間より長い期間となるように充電制御信号を出力し、 前記放電回路が、前記電気/機械エネルギー変換素子に
作用する放電期間を前記エネルギー変換素子と前記誘導
性素子とで構成する回路の共振振動の周期とほぼ等しい
期間となるように放電制御信号を出力する、 ことを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載の振動モータの駆動装置
において、 前記制御回路が充電制御信号の出力期間を変化させるこ
とにより、前記電気/機械エネルギー変換素子の駆動量
を変化させる、 ことを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項4】 請求項3に記載の振動モータの駆動装置
において、 さらに、前記充電回路から前記電気/機械エネルギー変
換素子に供給される電流を検出する電流検出回路を有
し、 前記制御回路は、前記電流検出回路が検出する電流値が
所定値以下となるように、前記充電制御信号の出力期間
を制御する、 ことを特徴とする振動モータの駆動装置。 - 【請求項5】 請求項3に記載の振動モータの駆動装置
において、 さらに、前記充電回路が接続される直前の前記電気/機
械エネルギー変換素子の電圧を検出する電圧検出部を有
し、 前記制御回路は、前記電圧検出部が検出する電圧値が所
定値になる駆動周波数よりも高い駆動周波数で駆動され
るように、前記充電制御信号の出力期間を制御する、 ことを特徴とする振動モータの駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29092995A JP3790830B2 (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 振動波モータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29092995A JP3790830B2 (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 振動波モータの駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09140166A true JPH09140166A (ja) | 1997-05-27 |
JP3790830B2 JP3790830B2 (ja) | 2006-06-28 |
Family
ID=17762343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29092995A Expired - Lifetime JP3790830B2 (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 振動波モータの駆動装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP3790830B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007336681A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Hitachi Maxell Ltd | ピエゾアクチュエータの駆動装置及びその駆動方法 |
JP2011118425A (ja) * | 2011-03-04 | 2011-06-16 | Nidec Copal Corp | カメラ装置 |
-
1995
- 1995-11-09 JP JP29092995A patent/JP3790830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007336681A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Hitachi Maxell Ltd | ピエゾアクチュエータの駆動装置及びその駆動方法 |
JP2011118425A (ja) * | 2011-03-04 | 2011-06-16 | Nidec Copal Corp | カメラ装置 |
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JP3790830B2 (ja) | 2006-06-28 |
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