JPH09163767A - 振動アクチュエータの駆動装置 - Google Patents
振動アクチュエータの駆動装置Info
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- JPH09163767A JPH09163767A JP7318866A JP31886695A JPH09163767A JP H09163767 A JPH09163767 A JP H09163767A JP 7318866 A JP7318866 A JP 7318866A JP 31886695 A JP31886695 A JP 31886695A JP H09163767 A JPH09163767 A JP H09163767A
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- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 2
- 101150073536 FET3 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コギング現象を発生させることなく振動アク
チュエータを安定に駆動させる振動アクチュエータの駆
動装置を提供する。 【解決手段】 電気機械変換素子の機械的振動運動を利
用して駆動する振動アクチュエータの駆動装置におい
て、電気機械変換素子を駆動すべき周波数の制御信号を
出力する制御回路（１、６、７；１、６、７、８））
と、制御信号と同周波数の周波電圧を電気機械変換素子
に印加する駆動回路（３）と、駆動回路に電力を供給す
る直流電源（４）とを備え、駆動回路は、電気機械変換
素子と直列又は並列に接続された誘導性素子（３２；３
７）と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加されるよう
に接続され、制御信号と同周波数で開閉するスイッチン
グ素子（３１；３５）とを有し、制御回路は、スイッチ
ング素子に流れる電流値に基づいて制御信号の周波数の
可変範囲を制限する。
チュエータを安定に駆動させる振動アクチュエータの駆
動装置を提供する。 【解決手段】 電気機械変換素子の機械的振動運動を利
用して駆動する振動アクチュエータの駆動装置におい
て、電気機械変換素子を駆動すべき周波数の制御信号を
出力する制御回路（１、６、７；１、６、７、８））
と、制御信号と同周波数の周波電圧を電気機械変換素子
に印加する駆動回路（３）と、駆動回路に電力を供給す
る直流電源（４）とを備え、駆動回路は、電気機械変換
素子と直列又は並列に接続された誘導性素子（３２；３
７）と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加されるよう
に接続され、制御信号と同周波数で開閉するスイッチン
グ素子（３１；３５）とを有し、制御回路は、スイッチ
ング素子に流れる電流値に基づいて制御信号の周波数の
可変範囲を制限する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気的エネルギー
を機械的エネルギーに変換する電気機械変換素子によっ
て生じた振動により駆動するいわゆる振動アクチュエー
タの駆動装置に関するものである。
を機械的エネルギーに変換する電気機械変換素子によっ
て生じた振動により駆動するいわゆる振動アクチュエー
タの駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図９は、従来の振動アクチュエータの一
例である回転式モータの一般的な構成を示す図である。
図９（Ａ）は、振動アクチュエータ１００の断面図であ
り、互いに接着されているロータ１００−１及び摺動材
１００−２からなるロータと、同様に互いに接着されて
いる弾性体１００−３及び振動体１００−４からなるス
テータとにより構成されている。これらのロータとステ
ータは、不図示の加圧手段により加圧接触されて駆動さ
れる。
例である回転式モータの一般的な構成を示す図である。
図９（Ａ）は、振動アクチュエータ１００の断面図であ
り、互いに接着されているロータ１００−１及び摺動材
１００−２からなるロータと、同様に互いに接着されて
いる弾性体１００−３及び振動体１００−４からなるス
テータとにより構成されている。これらのロータとステ
ータは、不図示の加圧手段により加圧接触されて駆動さ
れる。
【０００３】図９（Ｂ）は、振動体１００−４の電極の
配置を示す平面図である。電極１００−４ａ及び１００
−４ｂは入力電極であり、これらの電極に振動アクチュ
エータ１００ごとに決まった周波数であって、相互に９
０゜又は２７０゜の位相差を持つ周波電圧が印加される
ことによりステータに進行性振動波が形成され、ロータ
が摩擦駆動される。また、電極１００−４ｃは、接地さ
れる共通電極である。一方、電極１００−４ｄは、モニ
ター電圧を取り出すことに使用される電極であり、振動
体１００−４の振動には直接寄与しない電極である。
配置を示す平面図である。電極１００−４ａ及び１００
−４ｂは入力電極であり、これらの電極に振動アクチュ
エータ１００ごとに決まった周波数であって、相互に９
０゜又は２７０゜の位相差を持つ周波電圧が印加される
ことによりステータに進行性振動波が形成され、ロータ
が摩擦駆動される。また、電極１００−４ｃは、接地さ
れる共通電極である。一方、電極１００−４ｄは、モニ
ター電圧を取り出すことに使用される電極であり、振動
体１００−４の振動には直接寄与しない電極である。
【０００４】図９（Ｃ）は、振動体１００−４の入力電
極１００−４ａ又は１００−４ｂと接地電極間の等価回
路を示したものである。この等価回路は、自己容量Ｃ0
と、Ｃ0 と並列接続されたＬ、Ｃ、Ｒの直列共振回路に
より表される。Ｌ，Ｃ，Ｒの直列共振回路に流れる電流
は、モーショナル電流と呼ばれ、その大きさは振動アク
チュエータ１００の駆動速度、すなわち回転速度に比例
するものと考えられている。ここで、Ｌ、Ｃ、Ｒ直列回
路のインピーダンスは、印加される周波電圧の周波数
（以下、「駆動周波数」という）を変化させることで増
減する。従って、モーショナル電流の大きさは、駆動周
波数を可変制御することにより変化させることができ、
その結果、振動アクチュエータ１００の駆動速度を制御
することが可能となる。
極１００−４ａ又は１００−４ｂと接地電極間の等価回
路を示したものである。この等価回路は、自己容量Ｃ0
と、Ｃ0 と並列接続されたＬ、Ｃ、Ｒの直列共振回路に
より表される。Ｌ，Ｃ，Ｒの直列共振回路に流れる電流
は、モーショナル電流と呼ばれ、その大きさは振動アク
チュエータ１００の駆動速度、すなわち回転速度に比例
するものと考えられている。ここで、Ｌ、Ｃ、Ｒ直列回
路のインピーダンスは、印加される周波電圧の周波数
（以下、「駆動周波数」という）を変化させることで増
減する。従って、モーショナル電流の大きさは、駆動周
波数を可変制御することにより変化させることができ、
その結果、振動アクチュエータ１００の駆動速度を制御
することが可能となる。
【０００５】次に、従来の振動アクチュエータの駆動装
置について説明する。図１０は、振動アクチュエータを
駆動する従来の駆動装置を示したブロック図である。図
１０において、制御回路１は、電圧値Ｖf をＶＣ０（電
圧制御発振器）２に対し出力することにより、振動体１
００−４の駆動周波数を制御する回路である。ＶＣＯ２
は、入力電圧値Ｖf の値に対応する周波数の矩形信号Ｓ
a を出力する回路である。ＶＣ０２は、その出力側に直
流−交流変換器３Ａ及び移相器５を接続しており、それ
ぞれに対し信号Ｓa を出力する。
置について説明する。図１０は、振動アクチュエータを
駆動する従来の駆動装置を示したブロック図である。図
１０において、制御回路１は、電圧値Ｖf をＶＣ０（電
圧制御発振器）２に対し出力することにより、振動体１
００−４の駆動周波数を制御する回路である。ＶＣＯ２
は、入力電圧値Ｖf の値に対応する周波数の矩形信号Ｓ
a を出力する回路である。ＶＣ０２は、その出力側に直
流−交流変換器３Ａ及び移相器５を接続しており、それ
ぞれに対し信号Ｓa を出力する。
【０００６】移相器５は、入力された信号Ｓa の位相を
９０゜又は２７０゜だけシフトさせた矩形信号Ｓb を生
成し、直流−交流変換器３Ｂに対し出力する回路であ
る。ここで、移相器５が位相を９０゜シフトさせるか、
２７０゜シフトさせるかは、振動アクチュエータ１００
の回転方向によって定められる。直流−交流変換器３
Ａ、３Ｂは、直流電源４から供給される電力を用いて入
力信号Ｓa 又はＳb と同周波数の周波電圧を発生する回
路である。直流−交流変換器３Ａ、３Ｂは、発生した周
波電圧をそれぞれ振動体１００−４の入力電極１００−
４ａ又は１００−４ｂに出力する。これにより、振動ア
クチュエータ１００のステータに進行性振動波が形成さ
れ、ロータが摩擦駆動される。
９０゜又は２７０゜だけシフトさせた矩形信号Ｓb を生
成し、直流−交流変換器３Ｂに対し出力する回路であ
る。ここで、移相器５が位相を９０゜シフトさせるか、
２７０゜シフトさせるかは、振動アクチュエータ１００
の回転方向によって定められる。直流−交流変換器３
Ａ、３Ｂは、直流電源４から供給される電力を用いて入
力信号Ｓa 又はＳb と同周波数の周波電圧を発生する回
路である。直流−交流変換器３Ａ、３Ｂは、発生した周
波電圧をそれぞれ振動体１００−４の入力電極１００−
４ａ又は１００−４ｂに出力する。これにより、振動ア
クチュエータ１００のステータに進行性振動波が形成さ
れ、ロータが摩擦駆動される。
【０００７】次に、直流−交流変換器３について説明す
る。なお、直流−交流変換器３Ａ及び３Ｂは、入力信号
及び出力される周波電圧の位相が異なる点においてのみ
異なり、その他の構成、動作は同一である。よって、以
下において、直流−交流変換器３Ａについてのみ説明す
る。直流−交流変換器３Ａは、ｎ型ＦＥＴ（電界効果型
トランジスタ）３１ａ、誘導性素子３２ａ及び必要に応
じて挿入されるダイオード３３ａより構成されている。
ＦＥＴ３１ａは、ゲート端子をＶＣ０２の出力側に接続
されており、これにより、ＶＣ０２の出力信号Ｓa を入
力する。一方、ソース端子は接地され、ドレイン端子は
誘導性素子３２ａに接続されている。さらに、ドレイン
端子は、振動体１００−４の電極１００−４ａにも接続
されており、直流−交流変換器３Ａの出力信号が電極１
００−４ａへ伝達されるようになっている。また、誘導
性素子３２ａは、ＦＥＴ３１ａに接続されているのと異
なる一端を直流電源４に接続させている。
る。なお、直流−交流変換器３Ａ及び３Ｂは、入力信号
及び出力される周波電圧の位相が異なる点においてのみ
異なり、その他の構成、動作は同一である。よって、以
下において、直流−交流変換器３Ａについてのみ説明す
る。直流−交流変換器３Ａは、ｎ型ＦＥＴ（電界効果型
トランジスタ）３１ａ、誘導性素子３２ａ及び必要に応
じて挿入されるダイオード３３ａより構成されている。
ＦＥＴ３１ａは、ゲート端子をＶＣ０２の出力側に接続
されており、これにより、ＶＣ０２の出力信号Ｓa を入
力する。一方、ソース端子は接地され、ドレイン端子は
誘導性素子３２ａに接続されている。さらに、ドレイン
端子は、振動体１００−４の電極１００−４ａにも接続
されており、直流−交流変換器３Ａの出力信号が電極１
００−４ａへ伝達されるようになっている。また、誘導
性素子３２ａは、ＦＥＴ３１ａに接続されているのと異
なる一端を直流電源４に接続させている。
【０００８】図１１は、直流−交流変換器３の動作を説
明する線図である。図１１の上段は、ＶＣ０２の出力信
号Ｓa を表している。なお、信号Ｓa の繰り返し周波数
はｆとする。信号Ｓa が”Ｈ”であるときは、ＦＥＴ３
１ａがスイッチＯＮの状態となり、振動体１００−４の
入力電極１００−４ａは接地される。このとき、誘導性
素子３２ａは、直流電源４が並列に接続されたのと等価
の状態となるために、ＦＥＴ３１ａを介して電流が流れ
る。この結果、誘導性素子３２ａには、その電流の大き
さに応じたエネルギーが蓄積される。
明する線図である。図１１の上段は、ＶＣ０２の出力信
号Ｓa を表している。なお、信号Ｓa の繰り返し周波数
はｆとする。信号Ｓa が”Ｈ”であるときは、ＦＥＴ３
１ａがスイッチＯＮの状態となり、振動体１００−４の
入力電極１００−４ａは接地される。このとき、誘導性
素子３２ａは、直流電源４が並列に接続されたのと等価
の状態となるために、ＦＥＴ３１ａを介して電流が流れ
る。この結果、誘導性素子３２ａには、その電流の大き
さに応じたエネルギーが蓄積される。
【０００９】次に、信号Ｓa が”Ｌ”となると、ＦＥＴ
３１ａはスイッチＯＦＦの状態となる。このために、誘
導性素子３２ａは、蓄積したエネルギーを誘導性素子３
２ａのインダクタンス値と振動体１００−４の静電容量
値との共振振動エネルギーとして放出する。ここで、誘
導性素子３２ａのインダクタンス値は、上記共振振動の
半周期が信号Ｓa が”Ｌ”である期間より短くなるよう
に選択される。これにより、同図下段に示すように、振
幅周波数がｆであって振幅電圧がＶE である半波形の周
波電圧が振動体の入力電極１００−４ａに印加される。
なお、ダイオード３３ａは、図中の期間ＴX においてＦ
ＥＴ３１ａのドレイン端子に負電圧が印加されるのを防
止する役割を果たしている。
３１ａはスイッチＯＦＦの状態となる。このために、誘
導性素子３２ａは、蓄積したエネルギーを誘導性素子３
２ａのインダクタンス値と振動体１００−４の静電容量
値との共振振動エネルギーとして放出する。ここで、誘
導性素子３２ａのインダクタンス値は、上記共振振動の
半周期が信号Ｓa が”Ｌ”である期間より短くなるよう
に選択される。これにより、同図下段に示すように、振
幅周波数がｆであって振幅電圧がＶE である半波形の周
波電圧が振動体の入力電極１００−４ａに印加される。
なお、ダイオード３３ａは、図中の期間ＴX においてＦ
ＥＴ３１ａのドレイン端子に負電圧が印加されるのを防
止する役割を果たしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図１２は、従来の振動
アクチュエータの駆動装置において、駆動周波数ｆと振
動アクチュエータの駆動速度Ｎとの関係を示す図であ
る。図に示されるように、振動アクチュエータは、駆動
周波数ｆがｆ0 より高いときは駆動せず、ｆ0 において
駆動を開始し、その後は駆動周波数ｆが低くなるほど大
きな駆動速度Ｎで駆動する。さらに駆動周波数ｆを下げ
ると、駆動速度Ｎは、周波数ｆ3 において急激に低下又
は停止する。このような駆動周波数ｆの低下に伴う駆動
速度Ｎの急激な変化は、一般に”コギング現象”といわ
れるものである。従って、振動アクチュエータは、この
ようなコギング現象の発生を防止するために、周波数ｆ
3 よりも若干高い周波数ｆ2 を下限値とし、ｆ0 〜ｆ2
の範囲内の駆動周波数により駆動しなければならない。
しかし、コギング現象の発生する周波数ｆ3 は温度等に
よって変化するものであり、ｆ2 の周波数を特定するこ
とができない。このために、振動アクチュエータをより
高速で駆動させるために駆動周波数ｆを低下させたとこ
ろ、駆動周波数ｆがｆ3 より低い値となり、意に反して
振動アクチュエータが突然停止する場合があるという問
題があった。
アクチュエータの駆動装置において、駆動周波数ｆと振
動アクチュエータの駆動速度Ｎとの関係を示す図であ
る。図に示されるように、振動アクチュエータは、駆動
周波数ｆがｆ0 より高いときは駆動せず、ｆ0 において
駆動を開始し、その後は駆動周波数ｆが低くなるほど大
きな駆動速度Ｎで駆動する。さらに駆動周波数ｆを下げ
ると、駆動速度Ｎは、周波数ｆ3 において急激に低下又
は停止する。このような駆動周波数ｆの低下に伴う駆動
速度Ｎの急激な変化は、一般に”コギング現象”といわ
れるものである。従って、振動アクチュエータは、この
ようなコギング現象の発生を防止するために、周波数ｆ
3 よりも若干高い周波数ｆ2 を下限値とし、ｆ0 〜ｆ2
の範囲内の駆動周波数により駆動しなければならない。
しかし、コギング現象の発生する周波数ｆ3 は温度等に
よって変化するものであり、ｆ2 の周波数を特定するこ
とができない。このために、振動アクチュエータをより
高速で駆動させるために駆動周波数ｆを低下させたとこ
ろ、駆動周波数ｆがｆ3 より低い値となり、意に反して
振動アクチュエータが突然停止する場合があるという問
題があった。
【００１１】そこで、本発明の課題は、コギング現象の
発生を未然に防止することにより、振動アクチュエータ
を安定に駆動させる振動アクチュエータの駆動装置を提
供することである。
発生を未然に防止することにより、振動アクチュエータ
を安定に駆動させる振動アクチュエータの駆動装置を提
供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、電気的エネルギーを機械的
エネルギーに変換する電気機械変換素子の機械的振動運
動を利用して駆動する振動アクチュエータの駆動装置に
おいて、電気機械変換素子を駆動すべき周波数の制御信
号を出力する制御回路（１、６、７；１、６、７、８）
と、制御信号と同周波数の周波電圧を電気機械変換素子
に印加する駆動回路（３）と、駆動回路に電力を供給す
る直流電源（４）とを備え、駆動回路は、電気機械変換
素子と直列又は並列に接続された誘導性素子（３２；３
７）と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加されるよう
に接続され、制御信号と同周波数で開閉するスイッチン
グ素子（３１；３５）とを有し、制御回路は、スイッチ
ング素子に流れる電流値に基づいて制御信号の周波数の
可変範囲を制限することを特徴とする。請求項２に係る
発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータの駆動装
置において、制御回路は、スイッチング素子に流れる電
流値を検出する電流検出回路（３４；８、３８）と、電
流検出回路の出力値と所定値とを比較する比較回路
（６）と、比較回路の出力に基づいて制御信号の周波数
の最低値を制限する制限回路（１、７）とを備えること
を特徴とする。
に、請求項１に係る発明は、電気的エネルギーを機械的
エネルギーに変換する電気機械変換素子の機械的振動運
動を利用して駆動する振動アクチュエータの駆動装置に
おいて、電気機械変換素子を駆動すべき周波数の制御信
号を出力する制御回路（１、６、７；１、６、７、８）
と、制御信号と同周波数の周波電圧を電気機械変換素子
に印加する駆動回路（３）と、駆動回路に電力を供給す
る直流電源（４）とを備え、駆動回路は、電気機械変換
素子と直列又は並列に接続された誘導性素子（３２；３
７）と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加されるよう
に接続され、制御信号と同周波数で開閉するスイッチン
グ素子（３１；３５）とを有し、制御回路は、スイッチ
ング素子に流れる電流値に基づいて制御信号の周波数の
可変範囲を制限することを特徴とする。請求項２に係る
発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータの駆動装
置において、制御回路は、スイッチング素子に流れる電
流値を検出する電流検出回路（３４；８、３８）と、電
流検出回路の出力値と所定値とを比較する比較回路
（６）と、比較回路の出力に基づいて制御信号の周波数
の最低値を制限する制限回路（１、７）とを備えること
を特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
に係る実施形態について、さらに詳しく説明する。な
お、以下において、従来技術において説明したものと同
様な機能を果たす部分には、同一の符号を付し、重複す
る説明を適宜省略する。また、電気／機械エネルギー変
換素子として用いられる圧電体、電歪体などを総称して
振動体と呼称するものとする。
に係る実施形態について、さらに詳しく説明する。な
お、以下において、従来技術において説明したものと同
様な機能を果たす部分には、同一の符号を付し、重複す
る説明を適宜省略する。また、電気／機械エネルギー変
換素子として用いられる圧電体、電歪体などを総称して
振動体と呼称するものとする。
【００１４】（第１実施形態）図１は、本発明に係る第
１実施形態である振動アクチュエータの駆動装置を示す
図である。本実施形態は、直流−交流変換器３が抵抗３
４を有する点、また、制御回路１と直流−交流変換器３
Ａとの間においてコンパレータ６及びＲＳ型フリップフ
ロップ（ＲＳ−ＦＦ）７を備えている点において従来例
と異なる。
１実施形態である振動アクチュエータの駆動装置を示す
図である。本実施形態は、直流−交流変換器３が抵抗３
４を有する点、また、制御回路１と直流−交流変換器３
Ａとの間においてコンパレータ６及びＲＳ型フリップフ
ロップ（ＲＳ−ＦＦ）７を備えている点において従来例
と異なる。
【００１５】直流−交流変換器３に備えられている抵抗
３４は、電流検出用に設置された抵抗であり、一端にＦ
ＥＴ３１ａのソース端子を接続されており、また、他端
は接地されている。よって、抵抗３４のＦＥＴ３１ａ側
の電圧を検出することにより、ＦＥＴ３１ａに流れる電
流、又はＦＥＴ３１ａのＯＮ状態時に直流電源４から誘
導性素子３２ａに供給される電流を検出することが可能
である。そこで、本実施形態では、上記電流をモニター
するために、抵抗３４のＦＥＴ３１ａ側の一端をさらに
コンパレータ６の正入力端子に接続している。
３４は、電流検出用に設置された抵抗であり、一端にＦ
ＥＴ３１ａのソース端子を接続されており、また、他端
は接地されている。よって、抵抗３４のＦＥＴ３１ａ側
の電圧を検出することにより、ＦＥＴ３１ａに流れる電
流、又はＦＥＴ３１ａのＯＮ状態時に直流電源４から誘
導性素子３２ａに供給される電流を検出することが可能
である。そこで、本実施形態では、上記電流をモニター
するために、抵抗３４のＦＥＴ３１ａ側の一端をさらに
コンパレータ６の正入力端子に接続している。
【００１６】コンパレータ６は、負入力端子に後述する
所定電圧Ｖref が印加されており、Ｖref と正入力端子
に印加される電圧を比較することにより、ＦＥＴ３１ａ
に所定値以上の電流が流れているか否かを検出する回路
である。また、コンパレータ６は、ＲＳ−ＦＦ７に接続
されており、ＲＳ−ＦＦ７に対し比較出力信号（セット
信号ＳS ）を出力している。ＲＳ−ＦＦ７は、コンパレ
ータ６の出力信号ＳS に基づいて、必要がある場合に制
御回路１に対し出力電圧Ｖf の可変範囲を制限すべき信
号を出力する回路である。ＲＳ−ＦＦ７は、制御回路１
に対し、信号ＳH を出力できるよう、また、制御回路１
が出力するリセット信号Ｓr を入力できるよう、制御回
路１と接続されている。
所定電圧Ｖref が印加されており、Ｖref と正入力端子
に印加される電圧を比較することにより、ＦＥＴ３１ａ
に所定値以上の電流が流れているか否かを検出する回路
である。また、コンパレータ６は、ＲＳ−ＦＦ７に接続
されており、ＲＳ−ＦＦ７に対し比較出力信号（セット
信号ＳS ）を出力している。ＲＳ−ＦＦ７は、コンパレ
ータ６の出力信号ＳS に基づいて、必要がある場合に制
御回路１に対し出力電圧Ｖf の可変範囲を制限すべき信
号を出力する回路である。ＲＳ−ＦＦ７は、制御回路１
に対し、信号ＳH を出力できるよう、また、制御回路１
が出力するリセット信号Ｓr を入力できるよう、制御回
路１と接続されている。
【００１７】次に、本実施形態の動作について説明す
る。図２は、直流−交流変換器３Ａにおける電流波形を
示す線図である。図２には、１段目から順に直流−交流
変換器３に入力される矩形信号Ｓa 、誘導性素子３２ａ
に流れる電流ＩL 、振動体１００−４の電極１００−４
ａに流れる電流ＩP、ＦＥＴ３１ａと抵抗３４に流れる
電流ＩR の電流波形がそれぞれ示されている。なお、各
電流は、図１中に示す矢印の方向を正方向としている。
ここで、電流ＩR の電流波形は、前述のように抵抗３４
に発生する電圧波形ＶR として検出される。なお、
ＩL 、ＩP 、及びＩR の間には、ＩL ＝ＩP ＋ＩR の関
係が成立する。
る。図２は、直流−交流変換器３Ａにおける電流波形を
示す線図である。図２には、１段目から順に直流−交流
変換器３に入力される矩形信号Ｓa 、誘導性素子３２ａ
に流れる電流ＩL 、振動体１００−４の電極１００−４
ａに流れる電流ＩP、ＦＥＴ３１ａと抵抗３４に流れる
電流ＩR の電流波形がそれぞれ示されている。なお、各
電流は、図１中に示す矢印の方向を正方向としている。
ここで、電流ＩR の電流波形は、前述のように抵抗３４
に発生する電圧波形ＶR として検出される。なお、
ＩL 、ＩP 、及びＩR の間には、ＩL ＝ＩP ＋ＩR の関
係が成立する。
【００１８】図３は、本実施形態における駆動周波数ｆ
と振動アクチュエータの駆動速度Ｎ及び電圧波形ＶR の
ピーク電圧値の関係を示す図である。電圧波形ＶR のピ
ーク電圧値は、駆動速度Ｎとともに大きくなり、周波数
ｆ3 のおいて駆動速度Ｎが急激に低下すると、同様に急
激に低下する。ここで、駆動速度Ｎが最大値を示す駆動
周波数における電圧波形ＶR のピーク電圧値をＶa とす
る。図４は、振動アクチュエータが置かれた環境の温度
と上記Ｖa との関係を示す図である。図に見られるよう
に、Ｖa の値は、温度が高くなるとともに徐々に低下す
る。そこで、本実施形態では、図４中のＶa の最低値よ
りも、所定量ΔＶだけ低い電圧値をＶref と定め、コン
パレータ６の負入力端子に印加することとした。
と振動アクチュエータの駆動速度Ｎ及び電圧波形ＶR の
ピーク電圧値の関係を示す図である。電圧波形ＶR のピ
ーク電圧値は、駆動速度Ｎとともに大きくなり、周波数
ｆ3 のおいて駆動速度Ｎが急激に低下すると、同様に急
激に低下する。ここで、駆動速度Ｎが最大値を示す駆動
周波数における電圧波形ＶR のピーク電圧値をＶa とす
る。図４は、振動アクチュエータが置かれた環境の温度
と上記Ｖa との関係を示す図である。図に見られるよう
に、Ｖa の値は、温度が高くなるとともに徐々に低下す
る。そこで、本実施形態では、図４中のＶa の最低値よ
りも、所定量ΔＶだけ低い電圧値をＶref と定め、コン
パレータ６の負入力端子に印加することとした。
【００１９】本実施形態において、振動アクチュエータ
を起動する場合には、制御回路１は、所定の電圧値を有
する信号Ｖf を出力する。これにより、直流−交流変換
器３Ａ、３Ｂは、その周波数がｆ0 より高い周波電圧を
振動体１００−４に印加する。次に、制御回路１は、徐
々に電圧信号Ｖf の電圧値を変化させることにより、振
動アクチュエータの駆動周波数を振動アクチュエータが
所望の駆動量で駆動する値まで低下させる。一方、コン
パレータ６は、正入力端子より入力される電圧波形ＶR
と負入力端子に入力されるＶref とを比較する。比較の
結果、電圧波形ＶR のピーク電圧がＶref より大であっ
たとき、すなわち駆動周波数ｆがコギング現象が生じる
周波数ｆ3 に接近しているときには、コンパレータ６
は、一定期間だけ”Ｈ”の比較出力信号ＳS を出力す
る。
を起動する場合には、制御回路１は、所定の電圧値を有
する信号Ｖf を出力する。これにより、直流−交流変換
器３Ａ、３Ｂは、その周波数がｆ0 より高い周波電圧を
振動体１００−４に印加する。次に、制御回路１は、徐
々に電圧信号Ｖf の電圧値を変化させることにより、振
動アクチュエータの駆動周波数を振動アクチュエータが
所望の駆動量で駆動する値まで低下させる。一方、コン
パレータ６は、正入力端子より入力される電圧波形ＶR
と負入力端子に入力されるＶref とを比較する。比較の
結果、電圧波形ＶR のピーク電圧がＶref より大であっ
たとき、すなわち駆動周波数ｆがコギング現象が生じる
周波数ｆ3 に接近しているときには、コンパレータ６
は、一定期間だけ”Ｈ”の比較出力信号ＳS を出力す
る。
【００２０】図５は、電圧波形ＶR の変化と、それに伴
うコンパレータ６の出力信号ＳS 等の変化の関係を示す
線図である。図５に示されるように、信号ＳS が”Ｈ”
になると、ＲＳ−ＦＦ７がセットされる、すなわち、Ｒ
Ｓ−ＦＦ７の出力信号ＳH が”Ｈ”となり、制御回路１
に駆動周波数ｆがコギング現象が発生する周波数ｆ3に
近づいたことを知らせる。制御回路１は、信号ＳH が”
Ｈ”となると、そのときの駆動周波数ｆを振動アクチュ
エータが駆動可能な周波数の下限であると判断して、駆
動周波数ｆがさらに低下しないよう、又は所定量だけ高
周波数側にシフトするように出力電圧Ｖfを制御する。
その後に、制御回路１は、ＲＳ−ＦＦ７に対する出力信
号Ｓr に”Ｈ”を１パルス出力する。ＲＳ−ＦＦ７は、
信号Ｓr において”Ｈ”を確認すると、その出力信号Ｓ
H を”Ｌ”に初期化する。
うコンパレータ６の出力信号ＳS 等の変化の関係を示す
線図である。図５に示されるように、信号ＳS が”Ｈ”
になると、ＲＳ−ＦＦ７がセットされる、すなわち、Ｒ
Ｓ−ＦＦ７の出力信号ＳH が”Ｈ”となり、制御回路１
に駆動周波数ｆがコギング現象が発生する周波数ｆ3に
近づいたことを知らせる。制御回路１は、信号ＳH が”
Ｈ”となると、そのときの駆動周波数ｆを振動アクチュ
エータが駆動可能な周波数の下限であると判断して、駆
動周波数ｆがさらに低下しないよう、又は所定量だけ高
周波数側にシフトするように出力電圧Ｖfを制御する。
その後に、制御回路１は、ＲＳ−ＦＦ７に対する出力信
号Ｓr に”Ｈ”を１パルス出力する。ＲＳ−ＦＦ７は、
信号Ｓr において”Ｈ”を確認すると、その出力信号Ｓ
H を”Ｌ”に初期化する。
【００２１】次に、振動アクチュエータに駆動されて動
く物体（以下、単に「物体」という）を目標位置ＰM ま
で移動させる場合に、振動アクチュエータ及び制御回路
１が示す動作について説明する。図６（ａ）は、振動ア
クチュエータの起動開始時刻をｔ0 とした場合の、時刻
ｔと物体の駆動距離Ｐとの関係を示した図であり、図６
（ｂ）は、時刻ｔにおける振動アクチュエータの駆動速
度Ｎを示した図である。図６（ｂ）に示されるように、
時刻ｔ0 に起動された振動アクチュエータの駆動量は、
時刻ｔ1 で最高駆動速度ＮMAX に達し、時刻ｔ2 から減
速して、物体が目標位置ＰM に達する時刻ｔ3 に停止す
る。ここで、目標位置に物体が到達するまでに要する時
間は、最高駆動速度ＮMAX が大きいほど短くなる。
く物体（以下、単に「物体」という）を目標位置ＰM ま
で移動させる場合に、振動アクチュエータ及び制御回路
１が示す動作について説明する。図６（ａ）は、振動ア
クチュエータの起動開始時刻をｔ0 とした場合の、時刻
ｔと物体の駆動距離Ｐとの関係を示した図であり、図６
（ｂ）は、時刻ｔにおける振動アクチュエータの駆動速
度Ｎを示した図である。図６（ｂ）に示されるように、
時刻ｔ0 に起動された振動アクチュエータの駆動量は、
時刻ｔ1 で最高駆動速度ＮMAX に達し、時刻ｔ2 から減
速して、物体が目標位置ＰM に達する時刻ｔ3 に停止す
る。ここで、目標位置に物体が到達するまでに要する時
間は、最高駆動速度ＮMAX が大きいほど短くなる。
【００２２】図７は、上記振動アクチュエータの動きを
制御するときに、制御回路１が行う動作を示したフロー
チャートである。制御回路１は、駆動開始時に振動アク
チュエータが回転を開始する駆動周波数ｆ0 が直流−交
流変換器３において発生するよう、所定値の電圧信号Ｖ
f をＶＣ０２へ出力する（不図示）。また、ＲＳ−ＦＦ
７の出力は、予め”Ｌ”にリセットされている。
制御するときに、制御回路１が行う動作を示したフロー
チャートである。制御回路１は、駆動開始時に振動アク
チュエータが回転を開始する駆動周波数ｆ0 が直流−交
流変換器３において発生するよう、所定値の電圧信号Ｖ
f をＶＣ０２へ出力する（不図示）。また、ＲＳ−ＦＦ
７の出力は、予め”Ｌ”にリセットされている。
【００２３】ステップ１において、制御回路１は、物体
の現在位置Ｐと目標位置ＰM とを比較し、その差（残留
距離：ＰM −Ｐ）が所定量ΔＰ以上であれば、ステップ
２に進み、ΔＰ未満であればステップ５に進む。ステッ
プ２において、制御回路１は、ＲＳ−ＦＦ７の出力信号
ＳH を検出することにより、そのときの駆動周波数ｆと
下限周波数との関係を判断する。すなわち、信号Ｓ
H が”Ｌ”である場合は、駆動周波数ｆが下限周波数以
下でないと判断しステップ３へ進む。逆に、信号Ｓ
H が”Ｈ”である場合は、駆動周波数ｆが下限周波数以
下であると判断してステップ４へ進む。
の現在位置Ｐと目標位置ＰM とを比較し、その差（残留
距離：ＰM −Ｐ）が所定量ΔＰ以上であれば、ステップ
２に進み、ΔＰ未満であればステップ５に進む。ステッ
プ２において、制御回路１は、ＲＳ−ＦＦ７の出力信号
ＳH を検出することにより、そのときの駆動周波数ｆと
下限周波数との関係を判断する。すなわち、信号Ｓ
H が”Ｌ”である場合は、駆動周波数ｆが下限周波数以
下でないと判断しステップ３へ進む。逆に、信号Ｓ
H が”Ｈ”である場合は、駆動周波数ｆが下限周波数以
下であると判断してステップ４へ進む。
【００２４】ステップ３では、制御回路１は、駆動周波
数ｆを低周波数側に所定量Δｆだけシフトするようにそ
の出力信号Ｖf を変化させる。これにより、振動アクチ
ュエータ１００は、その駆動速度を上げる。ここで、所
定量Δｆは、振動アクチュエータ１００が円滑な加速を
実現できる範囲内の値にすることが望ましい。ステップ
３終了後、制御回路１の動作は、ステップ１へ戻る。
数ｆを低周波数側に所定量Δｆだけシフトするようにそ
の出力信号Ｖf を変化させる。これにより、振動アクチ
ュエータ１００は、その駆動速度を上げる。ここで、所
定量Δｆは、振動アクチュエータ１００が円滑な加速を
実現できる範囲内の値にすることが望ましい。ステップ
３終了後、制御回路１の動作は、ステップ１へ戻る。
【００２５】ステップ４では、駆動周波数ｆが下限周波
数に達していることから、制御回路１は、駆動周波数ｆ
の変更を行わない、又は高周波数側に所定量だけシフト
させる。これにより、本実施形態では、振動アクチュエ
ータが突然その駆動を停止させることを未然に防止して
いる。なお、制御回路１が駆動周波数ｆを高周波側に所
定量だけシフトする場合は、振動アクチュエータ１００
が、温度変化等が急激である環境において使用されると
きであっても、コギング現象の発生をより効果的に防止
することが可能となる。ステップ４の終了後、制御回路
１は、ＲＳ−ＦＦ７を初期化すべくリセット信号を出力
して、ステップ１に戻る。
数に達していることから、制御回路１は、駆動周波数ｆ
の変更を行わない、又は高周波数側に所定量だけシフト
させる。これにより、本実施形態では、振動アクチュエ
ータが突然その駆動を停止させることを未然に防止して
いる。なお、制御回路１が駆動周波数ｆを高周波側に所
定量だけシフトする場合は、振動アクチュエータ１００
が、温度変化等が急激である環境において使用されると
きであっても、コギング現象の発生をより効果的に防止
することが可能となる。ステップ４の終了後、制御回路
１は、ＲＳ−ＦＦ７を初期化すべくリセット信号を出力
して、ステップ１に戻る。
【００２６】ステップ５では、制御回路１は、物体の目
標位置までの残留距離がゼロであるか否かの判断を行
う。その結果、ゼロでない場合はステップ６へ、ゼロで
ある場合はステップ７へそれぞれ進む。ステップ６にお
いて、残留距離はΔＰ以下の小さな値であることから、
制御回路１は、振動アクチュエータを最高速度で駆動す
る必要がない。そこで、制御回路１は、出力電圧Ｖf を
適切に調整することにより、駆動周波数ｆを高周波側に
シフトさせる。これにより、振動アクチュエータの駆動
速度は、残留距離に応じて徐々に低下するよう制御され
る。ステップ６の処理が終了すると、制御回路１は、ス
テップ１に戻る。ステップ７では、残留距離がゼロ、す
なわち、物体が目標位置に達している。よって、制御回
路１は、振動アクチュエータの駆動周波数ｆがｆ0 以上
となるように制御し、振動アクチュエータの駆動を停止
する。
標位置までの残留距離がゼロであるか否かの判断を行
う。その結果、ゼロでない場合はステップ６へ、ゼロで
ある場合はステップ７へそれぞれ進む。ステップ６にお
いて、残留距離はΔＰ以下の小さな値であることから、
制御回路１は、振動アクチュエータを最高速度で駆動す
る必要がない。そこで、制御回路１は、出力電圧Ｖf を
適切に調整することにより、駆動周波数ｆを高周波側に
シフトさせる。これにより、振動アクチュエータの駆動
速度は、残留距離に応じて徐々に低下するよう制御され
る。ステップ６の処理が終了すると、制御回路１は、ス
テップ１に戻る。ステップ７では、残留距離がゼロ、す
なわち、物体が目標位置に達している。よって、制御回
路１は、振動アクチュエータの駆動周波数ｆがｆ0 以上
となるように制御し、振動アクチュエータの駆動を停止
する。
【００２７】（第２実施形態）図８は、本発明に係る第
２実施形態である振動アクチュエータの駆動装置を示す
図である。本実施形態は、直流−交流変換器３Ａ’、３
Ｂ’の内部構成が第１実施形態のそれと異なり、さら
に、差動増幅器８を備えている点において第１実施形態
と異なっている。
２実施形態である振動アクチュエータの駆動装置を示す
図である。本実施形態は、直流−交流変換器３Ａ’、３
Ｂ’の内部構成が第１実施形態のそれと異なり、さら
に、差動増幅器８を備えている点において第１実施形態
と異なっている。
【００２８】はじめに、直流−交流変換器３Ａ’につい
て説明する。本実施形態では、入力信号Ｓa は、スイッ
チング素子として機能するｐ型ＦＥＴ３５ａのゲート端
子に入力される。ＦＥＴ３５ａのソース端子は、抵抗３
８を介して直流電源４に接続されている。ここで、抵抗
３８は、ＦＥＴ３５ａに流れる電流を検出するための抵
抗であり、第１実施形態の抵抗３４に相当するものであ
る。また、ＦＥＴ３５ａのドレイン端子は、その一端が
接地されている誘導性素子３７ａに接続されているとと
もに振動体１００−４の電極１００−４ａに接続されて
いる。これにより、直流−交流変換器３Ａ’の出力電圧
は、振動体１００−４に印加される。
て説明する。本実施形態では、入力信号Ｓa は、スイッ
チング素子として機能するｐ型ＦＥＴ３５ａのゲート端
子に入力される。ＦＥＴ３５ａのソース端子は、抵抗３
８を介して直流電源４に接続されている。ここで、抵抗
３８は、ＦＥＴ３５ａに流れる電流を検出するための抵
抗であり、第１実施形態の抵抗３４に相当するものであ
る。また、ＦＥＴ３５ａのドレイン端子は、その一端が
接地されている誘導性素子３７ａに接続されているとと
もに振動体１００−４の電極１００−４ａに接続されて
いる。これにより、直流−交流変換器３Ａ’の出力電圧
は、振動体１００−４に印加される。
【００２９】差動増幅器８は、その正、負の入力端子を
抵抗３８の両端に接続している。これにより、差動増幅
器８は、ＦＥＴ３５ａに流れる電流に比例した電圧を出
力し、それをコンパレータ６の正入力端子に入力する。
すなわち、差動増幅器８の出力信号は、第１実施形態に
おける信号ＶR に相当するものである。以上の構成によ
り、本実施形態は、第１実施形態と同様な効果を得るこ
とを可能としている。なお、直流−交流変換器３Ａ’と
３Ｂ’との違いは、直流電源４とＦＥＴ３５ｂの間に抵
抗が挿入されているか否かの点のみであり、その他の点
においては同じである。
抵抗３８の両端に接続している。これにより、差動増幅
器８は、ＦＥＴ３５ａに流れる電流に比例した電圧を出
力し、それをコンパレータ６の正入力端子に入力する。
すなわち、差動増幅器８の出力信号は、第１実施形態に
おける信号ＶR に相当するものである。以上の構成によ
り、本実施形態は、第１実施形態と同様な効果を得るこ
とを可能としている。なお、直流−交流変換器３Ａ’と
３Ｂ’との違いは、直流電源４とＦＥＴ３５ｂの間に抵
抗が挿入されているか否かの点のみであり、その他の点
においては同じである。
【００３０】（その他の実施形態）なお、本発明は、上
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。
【００３１】１）上記実施形態においては、円環型の超
音波モータ又は円盤形の超音波モータ等の円環型の振動
アクチュエータについて説明をしたが、本発明に係る技
術的思想は、リニア型の超音波モータ等のリニア型の振
動アクチュエータに対して適用することも可能である。 ２）また、上記実施形態においては、直流−交流変換器
におけるスイッチング素子として電界効果型トランジス
タを用いた例について説明したが、これは、スイッチン
グ素子の種類を限定するものではなく、他の素子を用い
ることであってもよい。 ３）上記実施形態においては、コンパレータ６の負入力
端子に一定電圧のＶrefを入力する場合について説明し
たが、Ｖref は必ずしも一定である必要はなく、例え
ば、図４に示した電圧値Ｖa に対し、任意の温度におい
て常に一定の電圧差を有するよう、周囲環境の温度とと
もに変化するものであってもよい。
音波モータ又は円盤形の超音波モータ等の円環型の振動
アクチュエータについて説明をしたが、本発明に係る技
術的思想は、リニア型の超音波モータ等のリニア型の振
動アクチュエータに対して適用することも可能である。 ２）また、上記実施形態においては、直流−交流変換器
におけるスイッチング素子として電界効果型トランジス
タを用いた例について説明したが、これは、スイッチン
グ素子の種類を限定するものではなく、他の素子を用い
ることであってもよい。 ３）上記実施形態においては、コンパレータ６の負入力
端子に一定電圧のＶrefを入力する場合について説明し
たが、Ｖref は必ずしも一定である必要はなく、例え
ば、図４に示した電圧値Ｖa に対し、任意の温度におい
て常に一定の電圧差を有するよう、周囲環境の温度とと
もに変化するものであってもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、振動アクチュエータの駆動装置において、駆動回
路は、電気機械変換素子と直列又は並列に接続された誘
導性素子と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加される
ように接続されたスイッチング素子とを有し、制御回路
は、駆動回路のスイッチング素子に流れる電流値に基づ
いて制御信号の周波数の可変範囲を制限することとした
ので、振動アクチュエータにおけるコギング現象の発生
を防止し、振動アクチュエータを安定に駆動することを
可能としている。
れば、振動アクチュエータの駆動装置において、駆動回
路は、電気機械変換素子と直列又は並列に接続された誘
導性素子と、誘導性素子に直流電源の電圧が印加される
ように接続されたスイッチング素子とを有し、制御回路
は、駆動回路のスイッチング素子に流れる電流値に基づ
いて制御信号の周波数の可変範囲を制限することとした
ので、振動アクチュエータにおけるコギング現象の発生
を防止し、振動アクチュエータを安定に駆動することを
可能としている。
【図１】本発明に係る第１実施形態である振動アクチュ
エータの駆動装置を示す図である。
エータの駆動装置を示す図である。
【図２】第１実施形態の直流−交流変換器における電流
波形を示す線図である。
波形を示す線図である。
【図３】第１実施形態における駆動周波数と振動アクチ
ュエータの駆動速度及び電圧波形ＶR のピーク電圧値の
関係を示す図である。
ュエータの駆動速度及び電圧波形ＶR のピーク電圧値の
関係を示す図である。
【図４】駆動速度Ｎが最大値を示す駆動周波数における
電圧波形ＶR のピーク電圧値Ｖa と温度との関係を示す
図である。
電圧波形ＶR のピーク電圧値Ｖa と温度との関係を示す
図である。
【図５】電圧波形ＶR と信号ＳS 等の変化の関係を示す
線図である。
線図である。
【図６】物体を駆動するときの振動アクチュエータの一
般的な動きを示す図である。
般的な動きを示す図である。
【図７】第１実施形態の制御回路の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図８】本発明に係る第２実施形態である振動アクチュ
エータの駆動回路を示す図である。
エータの駆動回路を示す図である。
【図９】従来の振動アクチュエータの一般的な構成を示
す図である。
す図である。
【図１０】振動アクチュエータを駆動する従来の駆動装
置を示したブロック図である。
置を示したブロック図である。
【図１１】従来の振動アクチュエータの駆動装置におけ
る直流−交流変換器の動作を説明する線図である。
る直流−交流変換器の動作を説明する線図である。
【図１２】従来の振動アクチュエータの駆動装置におい
て、駆動周波数と振動アクチュエータの駆動速度との関
係を示す図である。
て、駆動周波数と振動アクチュエータの駆動速度との関
係を示す図である。
１ 制御回路 ３ 直流−交流変換器 ４ 直流電源 ６ コンパレータ ７ ＲＳ型フリップフロップ ８ 差動増幅器 ３１、３５ 電界効果型トランジスタ ３２、３７ 誘導性素子 ３４、３８ 抵抗
Claims (2)
- 【請求項１】 電気的エネルギーを機械的エネルギーに
変換する電気機械変換素子の機械的振動運動を利用して
駆動する振動アクチュエータの駆動装置において、 前記電気機械変換素子を駆動すべき周波数の制御信号を
出力する制御回路と、 前記制御信号と同周波数の周波電圧を前記電気機械変換
素子に印加する駆動回路と、 前記駆動回路に電力を供給する直流電源と、 を備え、 前記駆動回路は、前記電気機械変換素子と直列又は並列
に接続された誘導性素子と、前記誘導性素子に前記直流
電源の電圧が印加されるように接続され、前記制御信号
と同周波数で開閉するスイッチング素子とを有し、 前記制御回路は、前記スイッチング素子に流れる電流値
に基づいて前記制御信号の周波数の可変範囲を制限す
る、 ことを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の振動アクチュエータの
駆動装置において、 前記制御回路は、 前記スイッチング素子に流れる電流値を検出する電流検
出回路と、 前記電流検出回路の出力値と所定値とを比較する比較回
路と、 前記比較回路の出力に基づいて前記制御信号の周波数の
最低値を制限する回路と、 を備えることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7318866A JPH09163767A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
| US08/761,818 US5777445A (en) | 1995-12-07 | 1996-12-06 | Drive device of vibration actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7318866A JPH09163767A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09163767A true JPH09163767A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18103844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7318866A Pending JPH09163767A (ja) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | 振動アクチュエータの駆動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5777445A (ja) |
| JP (1) | JPH09163767A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007105632A1 (ja) | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Nikon Corporation | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラシステム、振動子 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100407891B1 (ko) * | 2001-07-04 | 2003-12-03 | 한국과학기술원 | 구조물의 진동 억제를 위한 적응 션트회로 및 그 동작방법 |
| US7723899B2 (en) | 2004-02-03 | 2010-05-25 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Active material and light emitting device |
| US7538473B2 (en) * | 2004-02-03 | 2009-05-26 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Drive circuits and methods for ultrasonic piezoelectric actuators |
| EP1596497A1 (en) * | 2004-04-21 | 2005-11-16 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Device for controlling electric actuators, with automatic current measurement offset compensation, and relative operation method |
| US7211973B1 (en) * | 2005-01-07 | 2007-05-01 | Marvell Asia Pte, Ltd. | System and process for utilizing back electromotive force in disk drives |
| WO2013070658A2 (en) * | 2011-11-08 | 2013-05-16 | Fairchild Semiconductor Corporation | Modulation scheme for driving a piezo element |
| FR3042660B1 (fr) * | 2015-10-16 | 2018-04-06 | Airbus Helicopters | Actionneur electromecanique pour commandes de vol electriques d'un aeronef |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0815398B2 (ja) * | 1985-06-26 | 1996-02-14 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ駆動装置 |
| JP2543106B2 (ja) * | 1987-11-19 | 1996-10-16 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モ―タ駆動装置 |
| JPH10292781A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-11-04 | Matsunaga Kiso:Kk | 衝撃式推進工法 |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP7318866A patent/JPH09163767A/ja active Pending
-
1996
- 1996-12-06 US US08/761,818 patent/US5777445A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007105632A1 (ja) | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Nikon Corporation | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラシステム、振動子 |
| US8035275B2 (en) | 2006-03-13 | 2011-10-11 | Nikon Corporation | Vibration actuator, lens barrel, camera system and vibrating element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5777445A (en) | 1998-07-07 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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