JPH09140050A

JPH09140050A - 極低温冷凍装置

Info

Publication number: JPH09140050A
Application number: JP29121895A
Authority: JP
Inventors: Hisao Honda; 久夫本田
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1995-11-09
Filing date: 1995-11-09
Publication date: 1997-05-27
Anticipated expiration: 2015-11-09
Also published as: JP3670734B2

Abstract

(57)【要約】【課題】冷凍部を駆動する電動機の異常動作を正常化
するとともに冷凍部の不良をも検出し得るようにした極
低温冷凍装置を提供する。【解決手段】圧縮部６０で圧縮した冷媒６５を膨張さ
せて極低温を得る冷凍部８０を３相電動機８２で駆動す
る。３相電動機８２に与える３相電源３０の２相Ｒ・Ｓ
間の位相差で異常接続を検出して相切換リレー回路５２
で２相間を入れ換えて正常化する。正常化後の運転状態
における冷媒６５の圧力を圧力検出器Ｄ１で検出して
「所定の圧力変化」がなければ、３相電動機８２または
これに付随する配線部分の不良を警報する。３相電動機
８２の正常の運転状態における冷凍部８０の温度を温度
検出器Ｄ２で検出して「所定の温度変化」がなければ、
冷凍部８０の不良として警報する。１つの圧縮部６０か
らの冷媒６５を複数の冷凍部８０に供給する構成の場合
には、上記の各検出と警報とを、３相電動機８２に対し
ては各３相電動８２ごとに、冷凍部８０に対しては冷媒
部８０ごとに行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は３相交流電動機を
駆動源とする極低温冷凍装置、特に３相交流電源の逆相
接続などによる事故を未然に防止する機能を設けた極低
温冷凍装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の極低温冷凍装置としては、例え
ば図７のように、圧縮部６０で冷媒６５、例えば、ヘリ
ウムガスを圧縮して冷凍部８０に供給することにより、
冷凍部８０の冷却対象、例えば、無塵真空を得る真空室
部分を極低温に冷却するための極低温冷凍装置１００に
おいて、圧縮部６０の圧縮機６１を、３相交流電源（こ
の発明において３相電源という）の３相Ｒ・Ｓ・Ｔを用
いて駆動する電動機（この発明において３相電動機とい
う）６２によって駆動する構成が本願出願人の先願によ
る特開平５−９５６２２によって開示されている。

【０００３】図７において、３相電動機６２は、例え
ば、３相誘導電動機であり、駆動リレー回路５１・相切
換リレー回路５２を介して供給される３相電源、例え
ば、公共用３相電源によって駆動され、圧縮機６１の圧
縮動作を駆動する。

【０００４】そして、圧縮機６１は、戻入管路６７から
供給される低圧の冷媒６５を圧縮して得られる高圧の冷
媒６５を吐出管路６６から冷却対象に与え、高圧の冷媒
６５は、冷凍部６０の所要の冷却対象を冷却することに
より低圧の冷媒６５になって戻入管路６７から圧縮機６
１に戻し入れられて、再び圧縮されるという循環を繰り
返す。

【０００５】冷凍部８０は、圧縮部で圧縮した冷媒を往
復動作機構により膨張させることにより極低温を得る冷
凍部であり、例えば、クライオポンプユニットであっ
て、クライオポンプのディスプレーサ８１、つまり、冷
媒を膨張させるための往復動作機構、例えば、クランク
軸で往復動作するシリンダに高圧の冷媒６５を供給する
とともに、単相交流電源、つまり、２相の交流電源（以
下、２相電源という）の２相ＲＡ・ＳＡを用いて駆動す
る電動機（この発明において２相電動機という）８２、
例えば、単相同期電動機によりディスプレーサ８１のシ
リンダを駆動することにより、冷却対象とする無塵真空
を得る真空室部分を極低温に冷却し、この冷却によって
低圧にされた冷媒６５を戻入管路６７に排出する。

【０００６】２相電動機８２に与える２相電源は、３相
電源３０を２相変換回路５３、例えば、スコット巻線ト
ランスで２相ＲＡ・ＳＡに変換している。したがって、
何らかの理由、例えば、公共３相電源からの引き込み線
路の保守工事などの際に、３相Ｒ・Ｓ・Ｔの各相のいず
れかが入れ換えられ、または、誤って２相電源にされた
場合、さらに、２相電動機８２を交換した際に、２相電
源の線路を逆に接続してしまった場合などには、２相電
動機８２が逆回転するため、例えば、ディスプレーサ８
１が目的とする動作を行わなくなるので、冷凍部８０は
所要の冷却動作を果し得なくなるという事故が生ずる。

【０００７】このため、３相電源３０における３相Ｒ・
Ｓ・Ｔのうちの所定の１つの相の線路Ｔと２相電源の１
つの相の線路ＲＡとの間の電圧の位相を第１位相側と
し、線路Ｔと２相電源の他の１つの相の線路ＳＡとの間
の電源の位相を第２位相側として、波形整形回路５４に
与えることにより、第１位相側と第２位相側との電圧波
形を、図９のように、方形波、つまり、「矩形波」に整
形して、整形波信号５４Ａと整形波信号５４Ｂを得ると
ともに、整形波信号５４Ａと整形波信号５４Ｂとの各始
縁間または各終縁間、つまり、各立上がり時点の間また
は各立下がり時点の間の位相差を、時間差Ｔ１として検
出し、この時間差Ｔ１が正規の時間差になっていないと
きは、相切換リレー回路によって３相電源３０の３相の
うちの適宜の２相を入れ換えて、正規の位相をもつ２相
電源を２相電動機８２に供給するように、制御部７０に
よって切換制御するように構成している。

【０００８】ここで、正規の時間差は、９０°の位相差
に相当する時間値であり、例えば、５０Ｈｚの場合には
約６．７ｍｓｅｃ、また、６０Ｈｚの場合には約５．６
ｍｓｅｃであるが、許容範囲をもたせ、例えば、３〜９
ｍｓｅｃを基準値Ｔ２として定めている。

【０００９】波形整形回路５４は、例えば、図２のよう
な光電変換素子を介在させた波形整形回路であり、３相
電源３０の所定の１相Ｔの線路と２相電源の一方の線路
ＳＡとの間、つまり、入力端子ＳＡ−Ｔ間の電圧が抵抗
Ｒ１を通してフォトカプラＰｃ１の１次側に電流が流
れ、この電流が規定値を越えるとフォトカプラＰｃ１の
トランジスタがＯＮ動作して、トランジスタＱ１・トラ
ンジスタＱ２をＯＮ動作させ、出力端子Ａの電圧がＬ０
Ｗレベル側に変化するので、端子Ａには入力端子ＳＡ−
Ｔ間の電圧の変化に対応する第１位相側の方形波信号、
つまり、図９の整形波信号５４Ａが得られる。

【００１０】また、同様にして、３相電源３０の所定の
１相Ｔの線路と２相電源の他の相ＳＡの線路との間、つ
まり、入力端子ＲＡ−Ｔ間の電圧変化にしたがって、フ
ォトカプラＰｃ２・トランジスタＱ３・トランジスタＱ
４が動作し、出力端子Ｂには、入力端子ＲＡ−Ｔ間の電
圧の変化に対応する第２位相側の方形波信号、つまり、
図９の整形波信号５４Ｂが得られる。

【００１１】制御部７０は、マイクロコンピュータ（以
下、ＣＰＵという）を主体にして構成した制御部分であ
り、時間差Ｔ１をＣＰＵのクロックパルスによって計数
して、ＣＰＵの処理メモリ（図示せず）に記憶した上記
の基準値Ｔ２と比較することにより、２相電動機８２に
与えられている２相電源が正規の位相になっているか否
かを判別し、正規の位相になっていないときは、相切換
リレー回路５２に制御信号を与えて、３相電源３０のう
ちの２相間の入れ換え、例えば、Ｒ・Ｓを入れ換えを行
う切換、つまり、相変更を行い、この相切換によって
も、正規の位相にならないとき、つまり、時間差Ｔ１が
基準値Ｔ２の範囲に入らないときには、駆動リレー回路
５１に制御信号を与えて、３相電源３０をＯＦＦ状態に
するとともに、表示部７７に警報表示を行うように制御
処理する。

【００１２】そして、この警報表示と駆動リレー回路５
１のＯＦＦ状態とは、操作部７６から操作入力を与えて
解除するまで続行するように仕組まれている。また、相
切換リレー回路５２は、例えば、図示のように、２極２
投切換形の電磁継電器であり、その電磁コイルに与える
電流をＯＮ−ＯＦＦすることによって、可動接点を移動
動作させることにより、３相電源３０の３相Ｒ・Ｓ・Ｔ
のうちの２相Ｒ・Ｓが入れ換えられように構成したもの
であり、駆動リレー回路５１は、例えば、図示のよう
に、３極単投形の電磁継電器であり、その電磁コイルに
与える電流をＯＮ−ＯＦＦすることによって、可動接点
を移動動作させることにより、３相電源３０の３相Ｒ・
Ｓ・Ｔ全体がＯＮ−ＯＦＦされように構成したものであ
る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術のもの
では、冷凍部８０を２相電動機８２で駆動しているた
め、３相電源３０から２相電源を得るための２相変換回
路５３が必要であり、この２相変換回路の故障によっ
て、極低温冷凍装置１００全体が運転不能になるという
不都合がある。

【００１４】また、圧縮した冷媒６５を１つの圧縮部６
０から複数の冷凍部８０に供給する構成の場合には、上
記の不都合を解消するために、２相変換回路５３を各冷
凍部８０ごとに設けなければならず、複雑高価なものと
ならざるを得ないという不都合がある。

【００１５】さらに、相切換リレー回路５２から冷凍部
８０の電動機までの間の配線や電動機自体の不良が判別
し得ないため、その不良を知らずに駆動リレー回路５１
を投入したまま運転を続行して、冷凍部８０のみならず
極低温冷凍装置１００全体に及ぶ故障を招いてしまうと
いう不都合がある。

【００１６】このため、こうした不都合のない極低温冷
凍装置の提供が望まれているという課題がある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この発明は上記のような
圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構により膨張させる
ことによって極低温を得る冷凍部の上記の往復動作機構
を電動機により駆動するとともに、この電動機に与える
電源の異常接続を正常化するための接続変更を行う極低
温冷凍装置において、

【００１８】上記の電動機を３相電動機により構成する
とともに、この３相電動機に与える３相電源の２相間の
位相差により上記の異常接続の検出を行う異常接続検出
手段と、上記の異常接続の検出にもとづいて、上記の３
相電源の２相間を入れ換えることにより前記正常化を行
う異常接続正常化手段とを設ける第１の構成と、

【００１９】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構によ
り膨張させることによって極低温を得る冷凍部の上記の
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、この電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
上記の電動機自体または上記の電動機に付属する配線の
不良を検出する不良検出などを行う極低温冷凍装置にお
いて、

【００２０】上記の第１の構成における異常接続検出手
段と異常接続正常化手段とを設け、さらに、上記の３相
電源を上記の３相電動機に与えた運転状態における上記
の冷媒の圧力変化により上記の不良を検出する不良検出
手段を設ける第２の構成と、

【００２１】この第２の構成に加えて、上記の３相電源
を上記の３相電動機に与えた運転状態における上記の冷
媒の圧力変化により上記の不良が検出されなかったとき
における上記の３相電動機に対する上記の３相電源の相
状態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態記憶
手段と、次回以後の上記の３相電動機の運転時に、上記
の「正規の相状態」によって上記の３相電源を上記の３
相電動機に接続する次回以後相接続手段とを設ける第３
の構成と、

【００２２】この第３の構成に加えて、前記冷媒の圧力
変化により前記不良が検出されたときに、上記の３相電
動機自体または上記の３相電動機に付属する配線に不良
がある旨の警報を行う不良警報手段を設ける第４の構成
と、

【００２３】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
において、上記の第１の構成における異常接続検出手段
と異常接続正常化手段とを設け、さらに、上記の正常化
を行った後の上記の３相電源を上記の３相電動機に与え
た運転状態における上記の冷媒の圧力変化により上記の
３相電動機自体と上記の３相電動機に付属する配線の不
良、つまり、第１不良を検出する第１不良検出手段と、
上記の運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う
上記の冷凍部の温度変化により上記の冷凍部の不良、つ
まり、第２不良を検出する第２不良検出手段とを設ける
第５の構成と、

【００２４】この第５の構成に加えて、上記の第１不良
および上記の第２不良が検出されなかったときにおける
上記の３相電動機に対する上記の３相電源の相状態を
「正規の相状態」として記憶する正規相状態記憶手段
と、次回以後の上記の３相電動機の運転時に、上記の
「正規の相状態」によって上記の３相電源を上記の３相
電動機に接続する次回以後相接続手段とを設ける第６の
構成と、

【００２５】この第６の構成に加えて、上記の第１不良
が検出されたときに上記の３相電動機自体または上記の
３相電動に付属する配線に不良がある旨の警報を行う第
１不良警報手段と、上記の第２不良が検出されたときに
上記の冷凍部に不良がある旨の警報を行う第２不良警報
手段とを設ける第７の構成と、

【００２６】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
において、上記の電動機を３相電動機により構成すると
ともに、上記の３相電動機に与える３相電源の２相間の
位相差により上記の異常接続の検出を行う異常接続検出
手段と、上記の異常接続の検出にもとづいて、上記の３
相電源の２相間を入れ換えることにより上記の正常化、
つまり、第１正常化を行う第１異常接続正常化手段と、
上記の第１正常化を行った後の上記の３相電源を上記の
３相電動機に与えた運転状態における上記の冷媒の圧力
変化により上記の３相電動機自体または上記の３相電動
機に付属する配線の不良、つまり、第１不良を検出する
第１不良検出手段と、

【００２７】上記の運転状態の開始時点からの所定時間
の経過に伴う上記の冷凍部の温度変化により上記の３相
電動機自体と上記の３相電動機に付属する配線の不良、
つまり、第２不良を検出する第２不良検出手段と、上記
の第２不良の検出にもとづいて、上記の３相電源の２相
間を入れ換えることにより上記の正常化、つまり、第２
正常化を行う第２異常接続正常化手段と、上記の第２正
常化を行った後の上記の３相電源を上記の３相電動機に
与えた運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う
上記の冷凍部の温度変化により上記の冷凍部の不良（以
下、第３不良という）を検出する第３不良検出手段と、

【００２８】上記の第２不良または第３不良のうちのい
ずれかが検出されなかったときにおける上記の３相電動
機に対する上記の３相電源の相状態を「正規の相状態」
として記憶する正規相状態記憶手段と、次回以後の上記
の３相電動機の運転時に、上記の「正規の相状態」によ
って上記の３相電源を上記の３相電動機に接続する次回
以後相接続手段とを設ける第８の構成と、

【００２９】この第８の構成に加えて、上記の第１不良
が検出されたときに、上記の３相電動機自体または上記
の３相電動機に付属する配線に不良がある旨の警報を行
う第１不良警報手段と、上記の第３不良が検出されたと
きに上記の冷凍部に不良がある旨の警報を行う第２不良
警報手段とを設ける第９の構成と、

【００３０】上記の第１の構成と同様の極低温冷凍装置
において、複数の上記の冷凍部を設けるとともに、１つ
の上記の圧縮部から上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍
部に供給する複数冷凍部手段と、上記の第１の構成にお
ける各手段を各上記の冷凍部の３相電動機ごとに行う各
手段を設ける第１０の構成と、

【００３１】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
において、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧
縮部から上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給す
る複数冷凍部配置手段と、上記の第２の構成における異
常接続検出手段と、異常接続正常化手段とを各上記の冷
凍部の３相電動機ごとに行う各手段と、上記の第２の構
成における不良検出手段を各上記の冷凍部ごとに行う手
段とを設ける第１１の構成と、

【００３２】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
において、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧
縮部から上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給す
る複数冷凍部配置手段と、上記の第３の構成における異
常接続検出手段と、異常接続正常化手段と、正規相状態
記憶手段と、次回以後相接続手段とを各上記の冷凍部の
３相電動機ごとに行う各手段と、上記の第３の構成にお
ける不良検出手段を各上記の冷凍部ごとに行う手段とを
設ける第１２の構成と、

【００３３】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
において、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧
縮部から上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給す
る複数冷凍部配置手段と、上記の第４の構成における異
常接続検出手段と、異常接続正常化手段と、正規相状態
記憶手段と、次回以後相接続手段と、不良警報手段とを
各上記の冷凍部の３相電動機ごとに行う各手段と、上記
の第４の構成における不良検出手段を各上記の冷凍部ご
とに行う手段とを設ける第１３の構成と、

【００３４】第２の構成と同様の極低温冷凍装置におい
て、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧縮部か
ら上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部８０に供給する
複数冷凍部配置手段と、上記の第５の構成における異常
接続検出手段と、異常接続正常化手段と、第１不良検出
手段とを各上記の冷凍部の３相電動機ごとに行う各手段
と、上記の第５の構成における第２不良検出手段を各上
記の冷凍部ごとに行う手段とを設ける第１４の構成と、

【００３５】第２の構成と同様の極低温冷凍装置におい
て、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧縮部か
ら上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給する複数
冷凍部配置手段と、上記の第６の構成における異常接続
検出手段と、異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手
段と、次回以後相接続手段と、不良警報手段とを各上記
の冷凍部の３相電動機ごとに行う各手段と、上記の第６
の構成における第２不良検出手段を各上記の冷凍部ごと
に行う手段とを設ける第１５の構成と、

【００３６】第２の構成と同様の極低温冷凍装置におい
て、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧縮部か
ら上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給する複数
冷凍部配置手段と、上記の第７の構成における異常接続
検出手段と、異常接続正常化手段と、第１不良検出手段
と、正規相状態記憶手段と、次回以後相接続手段と、第
１不良警報手段とを各上記の冷凍部の３相電動機ごとに
行う各手段と、上記の第７の構成における第２不良検出
手段と、第２不良警報手段とを各上記の冷凍部ごとに行
う各手段とを設ける第１６の構成と、

【００３７】第２の構成と同様の極低温冷凍装置におい
て、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧縮部か
ら上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給する複数
冷凍部配置手段と、上記の第８の構成における異常接続
検出手段と、第１異常接続正常化手段と、第１不良検出
手段と、第２異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手
段と、次回以後相接続手段とを各上記の冷凍部の３相電
動機ごとに行う各手段と、上記の第８の構成における第
２不良検出手段と、第３不良検出手段とを各上記の冷凍
部ごとに行う各手段とを設ける第１７の構成と、

【００３８】第２の構成と同様の極低温冷凍装置におい
て、複数の冷凍部を配置するとともに、１つの圧縮部か
ら上記の圧縮した冷媒を各上記の冷凍部に供給する複数
冷凍部配置手段と、上記の第９の構成における異常接続
検出手段と、第１異常接続正常化手段と、第１不良検出
手段と、第２異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手
段と、次回以後相接続手段と、第１不良警報手段とを各
上記の冷凍部の３相電動機ごとに行う各手段と、上記の
第９の構成における第２不良検出手段と、第３不良検出
手段と、第２不良警報手段とを各上記の冷凍部ごとに行
う各手段とを設ける第１８の構成とにより上記の課題を
解決するようにしたものである。

【００３９】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態として、上
記の図６〜図８により説明した極低温冷凍装置１００の
構成に、この発明を適用した場合の実施例を説明する。

【００４０】

【実施例】以下、図１〜図６により実施例を説明する。
図１〜図６において、図７〜図９における符号と同一符
号で示す部分は、図６〜図８で説明した同一符号の部分
と同一の機能をもつ部分である。また、図１〜図６にお
いて同一符号で示す部分は、図１〜図６のいずれかにお
いて説明した同一符号の部分と同一の機能をもつ部分で
ある。

【００４１】〔第１実施例〕まず、図１〜図３により、
第１実施例を説明する。図１において、圧力検出器Ｄ１
は、例えば、半導体による圧力検出素子であり、冷凍部
８０に与えている冷媒８５の圧力変化を検出するための
ものであり、例えば、冷凍部８０のディスプレーサ８１
に近い箇所にある吐出管路６６の内部の冷媒６５の圧力
を検出して得られる検出圧力を圧力検出信号Ｄ１Ａ、例
えば、０〜５Ｖの信号によって制御部７０のＣＰＵ７０
Ａに与える。

【００４２】温度検出器Ｄ２は、例えば、サーミスタ、
シリコンダイオードセンサ、熱電対などの熱／電変換素
子または温度検出計であり、冷凍部８０の温度変化を検
出するためのものであり、例えば、冷凍部８０のディス
プレーサ８１の外壁部分の温度を検出して得られる検出
温度を温度検出信号Ｄ２Ａ、例えば、０〜５Ｖの信号に
よって制御部７０のＣＰＵ７０Ａに与える。

【００４３】波形成形回路５４は、図７の波形成形回路
５４と同様の構成、つまり、図８・図９と同様の構成を
もつものであるが、検出する対象を３相Ｒ・Ｓ・Ｔのう
ちの１相、例えば、Ｔに対する他の２相、例えば、Ｒ・
Ｓの電圧の変化の波形を検出するように変形したもので
ある。

【００４４】つまり、図８・図９における端子ＲＡ−Ｔ
間の検出を端子Ｒ−Ｔ間の検出に、また、端子ＳＡ−Ｔ
間の検出を端子Ｓ−Ｔ間の検出に、それぞれ、変更した
ものである。

【００４５】したがって、図９における第１位相側の整
形波信号５４Ａと第２位相側の整形波信号５４Ｂとの間
の位相差、つまり、時間差Ｔ１は３相Ｒ・Ｓ・Ｔのうち
の２相Ｒ・Ｓ間の位相差に対応した値、つまり、１／３
サイクル差または２／３サイクル差に相当する値になっ
て現れることになる。

【００４６】具体的には、５０Ｈｚの場合には約６．７
ｍｓｅｃまたは約１３．３ｍｓｅｃ、また、６０Ｈｚの
場合には約５．６ｍｓｅｃまたは約１１．１ｍｓｅｃの
値になるので、正規の「相状態」の場合を、例えば、そ
れぞれ、前者の１／３サイクル差の約６．７ｍｓｅｃと
約５．６ｍｓｅｃとして仮に決めておき、許容範囲を含
めた正規の時間差Ｔ１の値、つまり、「基準時間差Ｔ１
Ａ」のデータを、例えば、３〜８ｍｓｅｃの範囲にある
か否かを判別するように構成する。なお、後者の２／３
サイクル差の方を正規の「相状態」として決めるように
してもよいことは言うまでもない。

【００４７】制御部７０は、図２のように、ＣＰＵ７０
Ａを主体に構成した制御部、例えば、市販のＣＰＵボー
ドであり、図１のように、３相電動機６２と３相電動機
８２とに３相電源３０を供給する電源供給系の動作を制
御するための専用の制御部として設けた構成であっても
よく、または、こうした電源供給系の制御を、極低温冷
凍装置１００の全体動作を制御するための制御部に兼用
させる構成であってもよい。

【００４８】図２において、圧力検出信号Ｄ１Ａ・温度
検出信号Ｄ２Ａを含む各検出信号は、入出力ポート７１
を介して作業用メモリ７３、例えば、ＲＡＭに取り込ま
れて記憶される。この取り込みの際に、アナログ信号に
よる検出信号は、Ａ／Ｄ変換してディジタル値信号にし
たものが取り込まれる。

【００４９】ＣＰＵ７０Ａは、処理用メモリ７２、例え
ば、ＲＯＭに記憶された制御処理フローのプログラム
と、データ用メモリ、例えば、電気的に書換可能なＰＲ
ＯＭ、つまり、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｒｅｃｔｒｉｃａｌｌ
ｙＥｒａｓａｂｌｅＰＲＯＭ）に記憶されたデータ
と、作業用メモリ７３に記憶されたデータと、時計回路
７５による計時データなどにもとづいて、作業用メモリ
７３に記憶したデータを処理して得られる各制御信号、
例えば、駆動リレー回路５１・相切換リレー回路５２を
制御するための制御信号５１Ａ・５２Ａなどを入出力ポ
ート７１を介して所要の各制御対象部分に出力する。こ
の出力の際に、アナログ信号を必要とする制御対象部分
に対しては、Ｄ／Ａ変換してアナログ信号にしたものが
出力される。

【００５０】操作部７６を操作して入力したデータは、
入出力ポート７１を介して作業用メモリ７３に取り込ま
れ、また、表示部７７は、ＣＰＵ７０Ａにおける制御処
理の状態、各メモリ７２・７３のデータ状態などのうち
所要のものを表示する。

【００５１】そして、例えば、図３のような制御処理フ
ローのプログラムを処理用メモリ７２に記憶することに
よって、目的とする制御処理を行うものである。なお、
図３の制御処理フローは、極低温冷凍装置１００の全体
動作を制御処理するための制御メインルーチンに付属す
る「冷凍部運転サブルーチン」として構成したものであ
り、例えば、約５秒毎に、この「冷凍部部運転サブルー
チン」に移行してくるように仕組んだものである。

【００５２】また、極低温冷凍装置１００の製造検査
時、または、取付設置時に、操作部７６を操作して、相
切換リレー回路５２による相切換の状態、つまり、相状
態をいずれに選択するかのデータ、つまり、仮の「相選
択データ」と、後記の所定の待ち時間に対する「待ち時
間長ｔ１」、例えば、５秒程度の値のデータと、後記の
所定時間に対する「時間長ｔ２」、例えば、１分程度の
値のデータと、後記の所定の「圧力変化Ｐ１」のデー
タ、例えば、０．５ｋｇｆ／ｃｍ² （４９ｋＰａ）程度
の値のデータと、後記の「温度変化Ｒ１」のデータ、例
えば、−３°Ｃ程度の値のデータと、上記の時間差Ｔ１
の「基準時間差Ｔ１Ａ」、例えば、３〜８ｍｓｅｃ程度
の値のとをデータ用メモリ７４に記憶してある。

【００５３】なお、所定の待ち時間長ｔ１・ｔ２、所定
の圧力変化Ｐ１および所定の温度変化Ｒ１の各データ
は、極低温冷凍装置１００を試験的に運転してデータを
とるなどにより、予め確認したデータにもとづいて決定
する。以下、図３の制御処理フローを説明する。また、
「待ち時間長ｔ２」のデータと、温度検出信号Ｄ２Ａに
よる温度データと、「温度変化Ｒ１」のデータとは、こ
の第１実施例では使用しないが、後記の第２実施例と第
３実施例とにおいて使用するものである。以下、図３の
制御処理フローにより説明する。

【００５４】〔制御処理フローの説明〕 ◆ステップＳＰ１では、冷凍運転に関する指令データ
と、作業メモリ７３に記憶してある運転データとを取り
込んで次のステップＳＰ２に移行する。

【００５５】◆ステップＳＰ２では、作業メモリ７３に
記憶してある運転データから、極低温冷凍装置１００の
運転動作を開始した後における最初の冷凍運転、つま
り、「初回冷凍運転」（または「冷凍部異常チエック運
転」）か否かを判別し、「初回冷凍運転」（または「冷
凍部異常チエック運転」）であるときは次のステップＳ
Ｐ１１に移行し、そうでないときは、制御メインルーチ
ンにおける「冷凍部正規運転」のステップに移行する。

【００５６】◆ステップＳＰ３では、駆動リレー回路５
１を投入状態、つまり、ＯＮ状態にする制御信号５１Ａ
を与えて、３相電動機８２を運転状態にするとともに、
その時点における時計回路７５の時間データを作業用メ
モリ７３に取り込んで記憶した後に、次のステップＳＰ
４に移行する。なお、ここでの運転状態を「仮運転」と
言うことにする。また、同時に、圧縮部６０の３相電動
機６２も運転状態になる。

【００５７】◆ステップＳＰ４では、データ用メモリ７
５に記憶してある「基準時間差Ｔ１Ａ」のデータを「相
データ」として取り込んで、次のステップＳＰ５に移行
する。

【００５８】◆ステップＳＰ５では、整形波信号５４Ａ
と整形波信号５４Ｂとの間の時間差Ｔ１を「基準時間差
Ｔ１Ａ」の範囲内にあるか否か、つまり、正規の「相状
態」になっているか否かを判別し、「基準時間差Ｔ１
Ａ」の範囲内にあるときはステップＳＰ７に移行し、そ
うでないときはステップＳＰ６に移行する。

【００５９】◆ステップＳＰ６では、相切換リレー回路
５２における各相Ｒ・Ｓの接続状態を、現在の「相状
態」から別の状態に切り換える「相切換」、つまり、
「相変更」を行うように、制御信号５２Ａの信号状態を
変えるとともに、ステップＳＰ３で取り込んで記憶した
時計回路７５の時間データを消去し、このステップ時点
における時計回路７５の時間データを作業用メモリ７３
に取り込んで記憶した後に、次のステップＳＰ７に移行
する。

【００６０】なお、相切換リレー回路５２を切換動作す
る際に、必要に応じて、この切換動作の前に駆動リレー
回路５１をＯＦＦ状態にするように制御信号５１Ａを変
えた後に、相切換リレー回路５２を切換動作を行わせ、
さらにその後に、再び駆動リレー回路５１をＯＮ状態に
するように制御信号５１Ａを変える制御処理を含ませ
る。この必要性は、３相電動機６２の切換前の回転慣性
に対抗するための大電流が相切換リレー回路５２の各接
点に流れて、各接点を損傷する恐れがあり、こうした損
傷を防止するためである。

【００６１】◆ステップＳＰ７では、処理メモリ７２に
予め記憶しておいた所定の待ち時間長ｔ１を待った後
に、次のステップＳＰ８に移行する。この待ち時間長ｔ
１の経過は、ステップＳＰ３またはステップＳＰ６で作
業用メモリ７３に記憶した時間データと、時計回路７５
の現時点の時間データとの差の時間のデータにより、予
めデータ用メモリ７４に記憶してある所定の待ち時間ｔ
１、例えば、５秒程度のデータが経過したことを判別す
る。

【００６２】◆ステップＳＰ８では、圧力検出信号Ｄ１
Ａによる検出圧力のデータを取り込んで、所定の「圧力
変化Ｐ１」を超える圧力変化が生じているか否かを判別
し、所定の圧力変化が生じているときは次のステップＳ
Ｐ９に移行し、そうでないときはステップＳＰ１１に移
行する。ここで、圧力変化の判別は、この時点に取り込
んだ圧力検出信号Ｄ１Ａによる検出圧力のデータと、予
めデータ用メモリ７４に記憶した所定の圧力変化Ｐ１、
例えば、０．５ｋｇｆ／ｃｍ² （４９ｋＰａ）のデータ
を超える値になっているか否かによって判別する。

【００６３】つまり、３相電動機８２が正常に回転動作
しているときには、往復動作機構、つまり、デイスプレ
ーサ８１のシリンダが動作しているため、その往復動作
によって冷媒６５の圧力が変動し、例えば、２０〜２１
ｋｇｆ／ｃｍ² （１．９６〜２．０６ＭＰａ）程度の圧
力変化を行うので、このステップにより、３相電動機８
２自体とそれに付属する配線とが不良か正常化を判別で
きることになる。

【００６４】◆ステップＳＰ９では、現在の「相状
態」、つまり、相切換リレー回路５２の切換による接続
状態を正規の「相状態」として、その接続状態における
制御信号５２Ａの状態を正規の「相選択データ」とし、
先にデータ用メモリ７４に記憶してある仮の「相選択デ
ータ」に代えて、正規の「相選択データ」に記憶し直し
た後に、次のステップＳＰ１７に移行する。

【００６５】ここで、データ用メモリ７４における他の
データは、従前どおりのデータにして記憶しておくよう
にする。したがって、極低温冷凍装置１００の全体の運
転を停止した後に、３相電動機６２の運転を再開した場
合には、ステップＳＰ１１で取り込む「相選択データ」
は、前回に、このステップＳＰ１６によってデータ用メ
モリ７４に記憶した正規の「相選択データ」を取り込む
ことになる。

【００６６】◆ステップＳＰ１０では、制御メインルー
チンにおける正規の運転状態に移るステップの箇所に移
行する。したがって、次回以後の冷凍部運転は３相電源
３０のＯＮ−ＯＦＦのみ、つまり、駆動リレー回路５１
のＯＮ−ＯＦＦのみによって制御処理することになる。

【００６７】◆ステップＳＰ１１では、駆動リレー回路
５１の接続状態を遮断状態、つまり、ＯＦＦ状態に変え
るように、制御信号５１Ａの信号状態を変えることによ
って、３相電動機８２を停止状態にするとともに、３相
電動機８２またはそれに付属する配線、例えば、駆動リ
レー回路８２から３相電源３０までの線路に不良、つま
り、異常状態がある旨の警報表示を表示部７７に表示し
た後に、次のステップＳＰ２５に移行する。

【００６８】なお、この警報表示は、操作部７６を操作
して、警報を解除する旨のデータをＣＰＵ７０Ａに与え
るまで続行する。また、３相電動機６２も同様にして運
転を停止することになる。

【００６９】◆ステップＳＰ１２では、制御メインルー
チンにおける極低温冷凍装置１００の全体の運転を停止
するステップの箇所に移行する。したがって、極低温冷
凍装置１００は運転を停止するが、極低温冷凍装置１０
０の基幹電源を遮断しない限り表示部７７の警報表示は
続行することになるので、操作員は、この警報表示によ
り、３相電動機８２またはそれに付属する配線、例え
ば、駆動リレー回路８２から３相電源３０までの線路に
不良、つまり、異常状態があることを知ることができ
る。

【００７０】〔第１実施例の構成の要約〕上記の第１実
施例の構成を要約すると、圧縮部６０で圧縮した冷媒６
５を往復動作機構、例えば、クライオポンプのディスプ
レーサ８１により膨張させることによって極低温を得る
冷凍部８０の上記の往復動作機構を電動機８２により駆
動するとともに、この電動機８２に与える電源３０の異
常接続を、例えば、相切換リレー回路５２による相状態
の切換によって、正常化する接続変更を行う極低温冷凍
装置１００において、

【００７１】上記の電動機８２を３相電動機により構成
するとともに、例えば、ステップＳＰ４〜５による制御
処理によって、この３相電動機８２に与える３相電源３
０の２相間、例えば、Ｒ−Ｔ間の電圧波形とＳ−Ｔ間の
電圧波形との位相差、つまり、「基準時間差Ｔ１Ａ」に
より上記の異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、

【００７２】上記の異常接続の検出にもとづいて、例え
ば、ステップＳＰ５〜６による制御処理により、上記の
３相電源３０の２相間、例えば、Ｒ・Ｓの線路を相切換
リレー回路５２によって、入れ換えることにより上記の
正常化を行う異常接続正常化手段とを設ける第１の構成
と、

【００７３】圧縮部６０で圧縮した冷媒６５を往復動作
機構、例えば、クライオポンプのディスプレーサ８１に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部８０の
上記の往復動作機構を電動機８２により駆動するととも
に、この電動機８２に与える電源３０の異常接続を、例
えば、相切換リレー回路５２による相状態の切換によっ
て、正常化する接続変更と、上記の電動機８２自体また
はこの電動機８２に付属する配線の不良を検出する不良
検出などとを行う極低温冷凍装置１００において、

【００７４】上記の第１の構成における異常接続検出手
段と異常接続正常化手段とを設けるとともに、さらに、
例えば、ステップＳＰ７〜８による制御処理により、上
記の３相電源３０を上記の３相電動機８２に与えた運転
状態における上記の冷媒６５の圧力変化、例えば、圧力
検出信号Ｄ１Ａによるデータを「圧力変化Ｐ１」のデー
タによって判別することにより上記の不良、つまり、３
相電動機８２自体とそれに付属する配線部分の不良を検
出する不良検出手段とを設ける第２の構成と、

【００７５】この第２の構成に加えて、例えば、ステッ
プＳＰ８〜９による制御処理により、上記の３相電源３
０を上記の３相電動機８２に与えた運転状態における上
記の冷媒６５の圧力変化、例えば、圧力検出信号Ｄ１Ａ
によるデータに「圧力変化Ｐ１」を超える圧力変化があ
って上記の不良、つまり、つまり、３相電動機８２自体
またはそれに付属する配線部分の不良が検出されなかっ
たときにおける上記の３相電動機８２に対する上記の３
相電源３０の相状態を「正規の相状態」、つまり、正規
の「相選択データ」として、例えば、データ用メモリ７
４に記憶する正規相状態記憶手段と、

【００７６】例えば、ステップＳＰ１０と制御メインル
ーチンとによる制御処理により、次回以後の上記の３相
電動機８２の運転時に、上記の「正規の相状態」、つま
り、データ用メモリ７４に記憶した正規の「相選択デー
タ」によって上記の３相電源３０を上記の３相電動機８
２に接続する次回以後相接続手段とを設ける第３の構成
と、

【００７７】この第３の構成に加えて、例えば、ステッ
プＳＰ８・ステップＳＰ１１の制御処理により、例え
ば、圧力検出信号Ｄ１Ａのデータに「圧力変化Ｐ１」の
変化が表れないことによって、上記の不良が検出された
ときに、３相電動機８２自体またはそれに付属する配線
部分に不良がある旨の警報を、例えば、表示部７７に警
報表示して警報を行う不良警報手段を設ける第４の構成
を構成していることになるものである。

【００７８】〔第２実施例〕次に、図１・図２・図４に
より第２実施例を説明する。この第２実施例は、上記の
第１実施例の構成に、温度検出器Ｄ２による温度検出信
号Ｄ２Ａのデータを制御部７０の作業メモリに取り込ん
で記憶したデータと、予めデータ用メモリ７４に記憶し
た「温度変化Ｒ１」のデータとにより冷凍部８０の温度
変化を判別して所要の制御処理を行う構成を追加して構
成したものであって、制御部７０の処理メモリ７２に図
４の制御処理フローによるプログラムを記憶して制御処
理を行うことにより、冷凍部８０の不良をも検出し得る
ようにしたものである。以下、図４の制御処理フローに
より説明する。

【００７９】〔制御処理フローの説明〕図４の制御処理
フローは、図３の制御処理フローにおけるステップＳＰ
９〜１２を削除し、ステップＳＰ７〜８をステップＳＰ
７Ａ〜８Ａに変形するとともに、ステップＳＰ３１〜３
４と、ステップＳＰ４１〜４３とを追加したものであ
る。したがって、ここでは、これらの変形したステップ
部分と、追加したステップ部分とについてのみ説明す
る。

【００８０】◆ステップＳＰ７Ａでは、温度検出信号Ｄ
２Ａのデータを作業用メモリ７３に取り込んで記憶処理
メモリ７２に記憶するとともに、予め記憶しておいた所
定の待ち時間長ｔ１を待った後に、次のステップＳＰ８
Ａに移行する。この待ち時間長ｔ１の経過は、ステップ
ＳＰ３またはステップＳＰ６で作業用メモリ７３に記憶
した時間データと、時計回路７５の現時点の時間データ
との差の時間のデータにより、予めデータ用メモリ７４
に記憶してある所定の待ち時間ｔ１、例えば、５秒程度
のデータが経過したことを判別する。

【００８１】◆ステップＳＰ８Ａでは、上記の第１実施
例におけるステップＳＰ８と同様に、圧力検出信号Ｄ１
Ａによる検出圧力のデータを取り込んで、所定の「圧力
変化Ｐ１」を超える圧力変化が生じているか否かを判別
し、所定の圧力変化が生じているときはステップＳＰ３
１に移行し、そうでないときはステップＳＰ４１に移行
する。ここで、圧力変化の判別は、上記の第１実施例に
おけるステップＳＰ８と同様であるので説明を省略す
る。

【００８２】◆ステップＳＰ３１では、「所定時間ｔ
２」を経過しているか否かを判別し、「所定時間ｔ２」
を経過しているときは次のステップＳＰ３２に移行し、
そうでないときは短い所定時間、例えば、５秒をおい
て、このステップＳＰ３１の判別を繰り返す。この「所
定時間ｔ２」の経過は、ステップＳＰ３またはステップ
ＳＰ６で作業用メモリ７３に記憶した時間データと、時
計回路７５の現時点の時間データとの差の時間のデータ
により、予めデータ用メモリ７４に記憶してある「所定
時間ｔ２」のデータの値、例えば、１分を経過したこと
を判別する。

【００８３】◆ステップＳＰ３２では、温度検出信号Ｄ
２Ａのデータにより冷凍部８０が所定の「温度変化Ｒ
１」を行ったか否かを判別し、所定の温度変化を行った
ときは次のステップＳＰ３３に移行し、そうでないとき
はステップＳＰ４２に移行する。

【００８４】この「温度変化Ｒ１」は、ステップＳＰ７
Ａで作業用メモリ７３に記憶した温度データと、このス
テップの時点に取り込んだ温度検出信号Ｄ２Ａによる温
度データとの差の温度データにより、予めデータ用メモ
リ７４に記憶してある「温度変化Ｒ１」のデータの値、
例えば、−３°Ｃを変化したことを判別する。

【００８５】◆ステップＳＰ３３では、現在の「相状
態」、つまり、相切換リレー回路５２の切換による接続
状態を正規の「相状態」として、その接続状態における
制御信号５２Ａの状態を正規の「相選択データ」とし、
先にデータ用メモリ７４に記憶してある仮の「相選択デ
ータ」に代えて、正規の「相選択データ」に記憶し直し
た後に、次のステップＳＰ３４に移行する。

【００８６】また、データ用メモリ７４における他のデ
ータは、従前どおりのデータにして記憶しておくように
する。したがって、極低温冷凍装置１００の全体の運転
を停止した後に、３相電動機６２の運転を再開した場合
には、ステップＳＰ１１で取り込む「相選択データ」
は、前回に、このステップＳＰ３３によってデータ用メ
モリ７４に記憶した正規の「相選択データ」を取り込む
ことになる。

【００８７】◆ステップＳＰ３４では、制御メインルー
チンにおける正規の運転状態に移るステップの箇所に移
行する。したがって、次回以後の冷凍部運転は３相電源
３０のＯＮ−ＯＦＦのみ、つまり、駆動リレー回路５１
のＯＮ−ＯＦＦのみによって制御処理することになる。

【００８８】◆ステップＳＰ４１では、駆動リレー回路
５１の接続状態を遮断状態、つまり、ＯＦＦ状態に変え
るように、制御信号５１Ａの信号状態を変えることによ
って、３相電動機８２を停止状態にするとともに、３相
電動機８２またはそれに付属する配線、例えば、駆動リ
レー回路８２から３相電源３０までの線路に不良、つま
り、異常状態がある旨の警報表示、つまり、「第１警
報」を表示部７７に表示した後に、ステップＳＰ４３に
移行する。

【００８９】なお、この警報表示は、操作部７６を操作
して、警報を解除する旨のデータをＣＰＵ７０Ａに与え
るまで続行する。また、３相電動機６２も同様にして運
転を停止することになる。

【００９０】◆ステップＳＰ４２では、駆動リレー回路
５１の接続状態を遮断状態、つまり、ＯＦＦ状態に変え
るように、制御信号５１Ａの信号状態を変えることによ
って、３相電動機８２とを停止状態にするとともに、冷
凍部８０側、例えば、クライオポンプのディスプレーサ
８１やシール部分などに不良、つまり、異常状態がある
旨の警報表示として「第２警報」を表示部７７に表示し
た後に、ステップＳＰ４３に移行する。

【００９１】なお、この警報表示は、操作部７６を操作
して、警報を解除する旨のデータをＣＰＵ７０Ａに与え
るまで続行する。また、３相電動機６２も同様にして運
転を停止することになる。

【００９２】◆ステップＳＰ４３では、制御メインルー
チンにおける極低温冷凍装置１００の全体の運転を停止
するステップの箇所に移行する。したがって、極低温冷
凍装置１００は運転を停止するが、極低温冷凍装置１０
０の基幹電源を遮断しない限り表示部７７の「第１警
報」または「第２警報」の警報表示は続行することにな
るので、操作員は、この警報表示により、３相電動機８
２またはそれに付属する配線、例えば、駆動リレー回路
８２から３相電源３０までの線路に不良、つまり、異常
状態があるか、または、冷凍部８０側、例えば、クライ
オポンプのディスプレーサ８１やシール部分などに不
良、つまり、異常状態があることを知ることができる。

【００９３】〔第２実施例の構成の要約〕上記の第２実
施例の構成を要約すると、圧縮部６０で圧縮した冷媒６
５を往復動作機構、例えば、クライオポンプのディスプ
レーサ８１により膨張させることによって極低温を得る
冷凍部８０の上記の往復動作機構を電動機８２により駆
動するとともに、この電動機８２に与える電源３０の異
常接続を、例えば、相切換リレー回路５２による相状態
の切換によって、正常化する接続変更と、上記の電動機
８２自体またはこの電動機８２に付属する配線の不良な
どとを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置１０
０、つまり、上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、

【００９４】上記の第１の構成における異常接続検出手
段と異常接続正常化手段とを設け、さらに、例えば、ス
テップＳＰ５〜６の制御処理による上記の異常接続正常
化手段によって、上記の正常化を行った後の上記の３相
電源３０を上記の３相電動機８２に与えた運転状態にお
ける上記の冷媒６５の圧力変化を、例えば、ステップＳ
Ｐ７Ａ〜８Ａによる制御処理によって、例えば、圧力検
出信号Ｄ１Ａによるデータを「圧力変化Ｐ１」のデータ
によって判別することにより、３相電動機８２自体とそ
れに付属する配線部分の不良、つまり、第１不良を検出
する第１不良検出手段と、

【００９５】例えば、ステップＳＰ３１〜３２による制
御処理によって、上記の３相電源３０を上記の３相電動
機８２に与えた運転状態の開始時点からの所定時間、例
えば、「所定時間ｔ２」の経過に伴う上記の冷凍部８０
の温度変化、例えば、温度検出信号Ｄ２Ａによるデータ
を「温度変化Ｒ１」のデータによって判別することによ
り上記の冷凍部８０の不良、つまり、第２不良を検出す
る第２不良検出手段とを設ける第５の構成と、

【００９６】この第５の構成に加えて、例えば、ステッ
プＳＰ３２〜３３の制御処理により、上記の３相電源３
０を上記の３相電動機８２に与えた運転状態における上
記の冷媒６５の圧力変化および上記の冷凍部の温度変化
に、例えば、圧力検出信号Ｄ１Ａによるデータに「圧力
変化Ｐ１」を超える圧力変化があり、また、温度検出信
号Ｄ２Ａによるデータに「温度変化Ｒ１」を超える温度
変化があって上記の第１不良および第２不良が検出され
なかったときにおける上記の３相電動機８２に対する上
記の３相電源３０の相状態を「正規の相状態」、つま
り、正規の「相選択データ」として、例えば、データ用
メモリ７４に記憶する正規相状態記憶手段と、

【００９７】例えば、ステップＳＰ３４と制御メインル
ーチンとの処理により、次回以後の上記の３相電動機８
２の運転時に、上記の「正規の相状態」、つまり、デー
タ用メモリ７４に記憶した正規の「相選択データ」によ
って上記の３相電源３０を上記の３相電動機８２に接続
する次回以後相接続手段とを設ける第６の構成と、

【００９８】この第６の構成に加えて、例えば、ステッ
プＳＰ８Ａ・ステップＳＰ４１の制御処理により、例え
ば、圧力検出信号Ｄ１Ａのデータに「圧力変化Ｐ１」の
変化が表れないことによって、上記の第１不良が検出さ
れたときに、３相電動機８２自体またはそれに付属する
配線に不良がある旨の警報を、例えば、表示部７７に警
報表示して警報を行う第１不良警報手段と、

【００９９】例えば、ステップＳＰ３２・ステップＳＰ
４２の制御処理により、例えば、温度検出信号Ｄ２Ａの
データに「温度変化Ｒ１」の変化が表れないことによっ
て、上記の第２不良が検出されたときに、冷凍部８０側
に不良がある旨の警報を、例えば、表示部７７に警報表
示して警報を行う第２不良警報手段とを設ける第７の構
成を構成していることになるものである。

【０１００】〔第３実施例〕次に、図１・図２・図５に
より第３実施例を説明する。この第３実施例は、上記の
第２実施例の構成に、温度検出信号Ｄ２Ａのデータに
「温度変化Ｒ１」が表れなかった場合に、３相電動機８
２に与えている３相電源３０の「相状態」を切り換える
「相変更」を行った後に、再度、温度検出信号Ｄ２Ａの
データに「温度変化Ｒ１」があるか否かの判別を行う構
成を追加して構成したものであって、制御部７０の処理
メモリ７２に図５の制御処理フローによるプログラムを
記憶して制御処理を行うことにより、その後に、何らか
の理由で３相電動機８２に至る線路の「相状態」が変更
された場合にも、その変更を正常化し得るようにしたも
のである。さらに、３相電動機８２が、確実に、正常の
回転方向にことを確認できるようにしたものである。以
下、図５の制御処理フローにより説明する。

【０１０１】〔制御処理フローの説明〕図５の制御処理
フローは、図４の制御処理フローにおける、ステップＳ
Ｐ８Ａ・ステップＳＰ３１〜３２を、それぞれ、ステッ
プＳＰ８Ｂ・ステップＳＰ３１Ａに変形するとともに、
ステップＳＰ８ＢとステップＳＰ３１Ａとの間にステッ
プＳＰ２１〜２３を追加したものなので、ここでは、こ
れらの変形したステップ部分と、追加したステップ部分
とについてのみ説明する。

【０１０２】◆ステップＳＰ８Ｂでは、上記の第２実施
例におけるステップＳＰ８Ａと同様に、圧力検出信号Ｄ
１Ａによる検出圧力のデータを取り込んで、所定の「圧
力変化Ｐ１」を超える圧力変化が生じているか否かを判
別し、所定の圧力変化が生じているときはステップＳＰ
２１に移行し、そうでないときはステップＳＰ４１に移
行する。ここで、圧力変化の判別は、上記の第１実施例
におけるステップＳＰ８と同様であるので説明を省略す
る。

【０１０３】◆ステップＳＰ２１では、「所定時間ｔ
２」を経過しているか否かを判別し、「所定時間ｔ２」
を経過しているときは次のステップＳＰ２２に移行し、
そうでないときは短い所定時間、例えば、５秒をおい
て、このステップＳＰ２１の判別を繰り返す。この「所
定時間ｔ２」の経過は、ステップＳＰ３またはステップ
ＳＰ６で作業用メモリ７３に記憶した時間データと、時
計回路７５の現時点の時間データとの差の時間のデータ
により、予めデータ用メモリ７４に記憶してある「所定
時間ｔ２」のデータの値、例えば、１分を経過したこと
を判別する。

【０１０４】◆ステップＳＰ２２では、温度検出信号Ｄ
２Ａのデータにより冷凍部８０が所定の「温度変化Ｒ
１」を行ったか否かを判別し、所定の温度変化を行った
ときは次のステップＳＰ３３に移行し、そうでないとき
はステップＳＰ２３に移行する。

【０１０５】この「温度変化Ｒ１」は、ステップＳＰ７
Ａで作業用メモリ７３に記憶した温度データと、このス
テップの時点に取り込んだ温度検出信号Ｄ２Ａによる温
度データとの差の温度データにより、予めデータ用メモ
リ７４に記憶してある「温度変化Ｒ１」のデータの値、
例えば、−３°Ｃを変化したことを判別する。

【０１０６】◆ステップＳＰ２３では、相切換リレー回
路５２における各相Ｒ・Ｓの接続状態を、現在の「相状
態」から別の状態に切り換える「相切換」、つまり、
「相変更」を行うように、制御信号５２Ａの信号状態を
変えるとともに、ステップＳＰ３またはステップＳＰ６
で取り込んで記憶した時計回路７５の時間データを消去
し、このステップ時点における時計回路７５の時間デー
タを作業用メモリ７３に取り込んで記憶した後に、次の
ステップＳＰ３１Ａに移行する。

【０１０７】なお、相切換リレー回路５２を切換動作す
る際に、必要に応じて、この切換動作の前に駆動リレー
回路５１をＯＦＦ状態にするように制御信号５１Ａを変
えた後に、相切換リレー回路５２を切換動作を行わせ、
さらにその後に、再び駆動リレー回路５１をＯＮ状態に
するように制御信号５１Ａを変える制御処理を含ませ
る。この必要性は、上記の第１実施例におけるステップ
ＳＰ６での述べた理由と同様である。

【０１０８】◆ステップＳＰ３１Ａでは、「所定時間ｔ
２」を経過しているか否かを判別し、「所定時間ｔ２」
を経過しているときは次のステップＳＰ３２に移行し、
そうでないときは短い所定時間、例えば、５秒をおい
て、このステップＳＰ３１Ａの判別を繰り返す。この
「所定時間ｔ２」の経過は、ステップＳＰ２３で作業用
メモリ７３に記憶した時間データと、時計回路７５の現
時点の時間データとの差の時間のデータにより、予めデ
ータ用メモリ７４に記憶してある「所定時間ｔ２」のデ
ータの値、例えば、１分を経過したことを判別する。

【０１０９】〔第３実施例の構成の要約〕上記の第３実
施例の構成を要約すると、圧縮部６０で圧縮した冷媒６
５を往復動作機構、例えば、クライオポンプのディスプ
レーサ８１により膨張させることによって極低温を得る
冷凍部８０の上記の往復動作機構を電動機８２により駆
動するとともに、この電動機８２に与える電源３０の異
常接続を、例えば、相切換リレー回路５２による相状態
の切換によって、正常化する接続変更と、上記の電動機
８２自体またはこの電動機８２に付属する配線の不良な
どとを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置１０
０、つまり、上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、

【０１１０】上記の電動機８２を３相電動機により構成
するとともに、例えば、ステップＳＰ４〜５による制御
処理によって、この３相電動機８２に与える３相電源３
０の２相間、例えば、Ｒ−Ｔ間の電圧波形とＳ−Ｔ間の
電圧波形との位相差、つまり、「基準時間差Ｔ１Ａ」に
より上記の異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、

【０１１１】上記の異常接続の検出にもとづいて、例え
ば、ステップＳＰ５〜６による制御処理により、上記の
３相電源３０の２相間、例えば、Ｒ・Ｓの線路を相切換
リレー回路５２によって、入れ換えることにより上記の
正常化、つまり、第１正常化を行う第１異常接続正常化
手段と、

【０１１２】例えば、ステップＳＰ７Ａ〜８Ａによる制
御処理により、上記の第１正常化を行った後の上記の３
相電源３０を上記の３相電動機８２に与えた運転状態に
おける上記の冷媒６５の圧力変化を、例えば、圧力検出
信号Ｄ１Ａによるデータを「圧力変化Ｐ１」のデータに
よって判別することにより、３相電動機８２自体とそれ
に付属する配線部分の不良を検出する第１不良検出手段
と、

【０１１３】例えば、ステップＳＰ２１〜２２による制
御処理によって、上記の３相電源３０を上記の３相電動
機８２に与えた運転状態の開始時点からの所定時間、例
えば、「所定時間ｔ２」の経過に伴う上記の冷凍部８０
の温度変化、例えば、温度検出信号Ｄ２Ａによるデータ
を「温度変化Ｒ１」のデータによって判別することによ
り上記の冷凍部８０の不良、つまり、第２不良を検出す
る第２不良検出手段と、

【０１１４】例えば、ステップＳＰ２２〜２３による制
御処理により、上記の冷凍部８０の温度変化、例えば、
温度検出信号Ｄ２Ａによるデータによる「温度変化Ｒ
１」の温度変化が表れないことによって検出した第２不
良の検出にもとづいて、上記の３相電源３０の２相間、
例えば、Ｒ・Ｓの線路を相切換リレー回路５２によっ
て、入れ換えることにより上記の正常化、つまり、第２
正常化を行う第２異常接続正常化手段と、

【０１１５】例えば、ステップＳＰ３１Ａ〜３２による
制御処理により、上記の第２正常化を行った後の上記の
３相電源３０を上記の３相電動機８２に与えた運転状態
の開始時点からの所定時間、例えば、「所定時間ｔ２」
の経過に伴う上記の冷凍部８０の温度変化、例えば、温
度検出信号Ｄ２Ａによるデータを「温度変化Ｒ１」のデ
ータによって判別することにより上記の冷凍部８０の不
良、つまり、第３不良を検出する第３不良検出手段と、

【０１１６】例えば、ステップＳＰ２２・ステップＳＰ
３２〜３３の制御処理により、上記の第２不良または上
記の第３不良のうちのいずれかが検出されなかったとき
における上記の３相電動機８２に対する上記の３相電源
３０の相状態を「正規の相状態」、つまり、正規の「相
選択データ」として、例えば、データ用メモリ７４に記
憶する正規相状態記憶手段と、

【０１１７】例えば、ステップＳＰ３４と制御メインル
ーチンとの処理により、次回以後の上記の３相電動機８
２の運転時に、上記の「正規の相状態」、つまり、デー
タ用メモリ７４に記憶した正規の「相選択データ」によ
って上記の３相電源３０を上記の３相電動機８２に接続
する次回以後相接続手段とを設ける第８の構成と、

【０１１８】この第８の構成に加えて、例えば、ステッ
プＳＰ８Ｂ・ステップＳＰ４１の制御処理により、上記
の第１不良が検出されたときに、３相電動機８２自体ま
たはそれに付属する配線部分に不良がある旨の警報を、
例えば、表示部７７に警報表示して警報を行う第１不良
警報手段と、

【０１１９】例えば、ステップＳＰ３２・ステップＳＰ
４２の制御処理により、上記の第３不良が検出されたと
きに、冷凍部８０に不良がある旨の警報を、例えば、表
示部７７に警報表示して警報を行う第２不良警報手段と
を設ける第９の構成を構成していることになるものであ
る。

【０１２０】〔第４実施例〕次に、図６により第４実施
例を説明する。この第４実施例は、第１実施例または第
２実施例の構成における１つの圧縮部６０で圧縮した冷
媒６５を複数の冷凍部（ＮＯ．１）８０・冷凍部（Ｎ
Ｏ．２）８０・冷凍部（ＮＯ．３）８０・冷凍部（Ｎ
Ｏ．Ｎ）８０に供給するように構成するとともに、上記
の第１実施例における図３の制御処理フロー、上記の第
２実施例における図４の制御処理フロー、上記の第３実
施例における図４の制御処理フローのうちのいずれか１
つによる制御処理を、各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０に
ついて順次に行うようした制御処理フローのプログラム
を処理用メモリ７２に記憶することにより、冷凍部８０
に関するものは各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０ごとに、
また、３相電動機８２に関するものは各冷凍部（ＮＯ．
１〜Ｎ）８０の各３相電動機８２ごとに行うように構成
したものである。

【０１２１】図６の構成では、各制御処理を各冷凍部８
０ごとに、または、各３相電動機８２ごとに、順次に行
うようにしているため、１つの波形整形回路５４と１つ
の圧力検出器Ｄ１とを共通に用いることで済ませられる
ようにしている。しかし、吐出管路６６または戻入管路
６７の途中箇所での不良を含めた冷凍部８０の不良を判
別する場合には、各冷凍部８０ごとに別個に圧力検出器
Ｄ１を設けるように構成する。

【０１２２】また、各冷凍部８０の３相電動機８２に対
する駆動リレー回路５１・相切換リレー回路５２を、各
冷凍部８０ごとに、それぞれ、各個別に設けるととも
に、これとは別個に、圧縮部６０の３相電動機６２を駆
動するための駆動リレー回路５１１を設けてある。な
お、圧力検出器Ｄ１・温度検出器Ｄ２・波形整形回路５
４と制御部７０との間の各信号線路は省略してある。

【０１２３】〔第４実施例の構成の要約〕上記の第３実
施例の構成を要約すると、図６の構成対して図３の制御
処理フローによる制御処理を、冷凍部８０に関するもの
は各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０ごとに、また、３相電
動機８２に関するものは各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０
の各３相電動機８２ごとに行うように構成のものでは、

【０１２４】上記の第１の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、上記の第１の構成における各手段を各上記
の冷凍部８０の３相電動機８２ごとに行う各手段を設け
る第１０の構成と、

【０１２５】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１２６】上記の第２の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段とを各上記の冷凍部８０の３
相電動機８２ごとに行う各手段と、上記の第２の構成に
おける不良検出手段を各上記の冷凍部８０ごとに行う手
段とを設ける第１１の構成と、

【０１２７】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１２８】上記の第３の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手段と、
次回以後相接続手段とを各上記の冷凍部８０の３相電動
機８２ごとに行う各手段と、上記の第３の構成における
不良検出手段を各上記の冷凍部８０ごとに行う手段とを
設ける第１２の構成と、

【０１２９】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部８０（ＮＯ．１〜Ｎ）を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１３０】上記の第４の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手段と、
次回以後相接続手段と、不良警報手段とを各上記の冷凍
部８０の３相電動機８２ごとに行う各手段と、上記の第
４の構成における不良検出手段を各上記の冷凍部８０ご
とに行う手段とを設ける第１３の構成とを構成している
ことになるものである。

【０１３１】また、図６の構成対して図４の制御処理フ
ローによる制御処理を、冷凍部８０に関するものは各冷
凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０ごとに、また、３相電動機８
２に関するものは各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０の各３
相電動機８２ごとに行うように構成のものでは、

【０１３２】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１３３】上記の第５の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段と、第１不良検出手段とを各
上記の冷凍部８０の３相電動機８２ごとに行う各手段
と、上記の第５の構成における第２不良検出手段を各上
記の冷凍部８０ごとに行う手段とを設ける第１４の構成
と、

【０１３４】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１３５】上記の第６の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手段と、
次回以後相接続手段と、不良警報手段とを各上記の冷凍
部８０の３相電動機８２ごとに行う各手段と、上記の第
６の構成における第２不良検出手段を各上記の冷凍部８
０ごとに行う手段とを設ける第１５の構成と、

【０１３６】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１３７】上記の第７の構成における異常接続検出手
段と、異常接続正常化手段と、第１不良検出手段と、正
規相状態記憶手段と、次回以後相接続手段と、第１不良
警報手段とを各上記の冷凍部８０の３相電動機８２ごと
に行う各手段と、上記の第７の構成における第２不良検
出手段と、第２不良警報手段とを各上記の冷凍部８０ご
とに行う各手段とを設ける第１６の構成とを構成してい
ることになるものである。

【０１３８】さらに、また、図６の構成対して図４の制
御処理フローによる制御処理を、冷凍部８０に関するも
のは各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０ごとに、また、３相
電動機８２に関するものは各冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８
０の各３相電動機８２ごとに行うように構成のもので
は、

【０１３９】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１４０】上記の第８の構成における異常接続検出手
段と、第１異常接続正常化手段と、第１不良検出手段
と、第２異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手段
と、次回以後相接続手段とを各上記の冷凍部８０の３相
電動機８２ごとに行う各手段と、上記の第８の構成にお
ける第２不良検出手段と、第３不良検出手段とを各上記
の冷凍部８０ごとに行う各手段とを設ける第１７の構成
と、

【０１４１】上記の第２の構成と同様の極低温冷凍装置
１００において、複数の冷凍部（ＮＯ．１〜Ｎ）８０を
配置するとともに、１つの圧縮部６０から上記の圧縮し
た冷媒６５を各上記の冷凍部８０に供給する複数冷凍部
配置手段と、

【０１４２】上記の第９の構成における異常接続検出手
段と、第１異常接続正常化手段と、第１不良検出手段
と、第２異常接続正常化手段と、正規相状態記憶手段
と、次回以後相接続手段と、第１不良警報手段とを各上
記の冷凍部８０の３相電動機８２ごとに行う各手段と、

【０１４３】上記の第９の構成における第２不良検出手
段と、第３不良検出手段と、第２不良警報手段とを各上
記の冷凍部８０ごとに行う各手段とを設ける第１８の構
成とを構成していることになるものである。

【０１４４】〔変形実施〕この発明は次のように変形し
て実施することを含むものである。（１）駆動リレー回路５１・相切換リレー回路５２に、
それぞれ、フリップ・フロップ回路などによる自己保持
回路を付加することにより、各制御信号５１Ａ・５２Ａ
を短いパルス信号にして、駆動リレー回路５１のＯＮ−
ＯＦＦ動作と相切換リレー回路５２の切換動作とが行え
るように構成する。

【０１４５】（２）データ用メモリ７４をバックアップ
電池付きのＲＡＭによって構成する。この場合、作業用
メモリ７３をバックアップ電池付きのＲＡＭで構成する
ことにより、データ用メモリ７４に記憶する内容を作業
用メモリ７３に記憶するように構成してもよい。

【０１４６】（３）図１・図６の構成における波形整形
回路５４を駆動リレー回路５１の入力側に設けて構成す
る。

【０１４７】（４）図１・図６の構成において、位相差
を検出する３相電源３０の２相と、相切換リレー回路５
２で切り換える３相電源３０の２相とを異なる２相にし
て構成する。つまり、波形整形回路５４で、例えば、Ｒ
・Ｓの２相のＴに対する電圧波形を検出している場合
に、相切換リレー回路５２では、例えば、Ｔ・Ｒの２
相、または、Ｔ・Ｓの２相を切り換えるように構成す
る。

【０１４８】（５）図６の構成において、各冷凍部（Ｎ
Ｏ．１）８０・冷凍部（ＮＯ．２）８０・冷凍部（Ｎ
Ｏ．３）８０・冷凍部（ＮＯ．Ｎ）８０ごとに、個別
に、波形整形回路５４を設けて構成する。

【０１４９】

【発明の効果】この発明によれば、以上のように、冷凍
部を駆動する電動機を３相電動機によって構成している
ため、２相変換回路５３が不要になるので、構成が安価
になるほか、２相変換回路の故障によって極低温冷凍装
置１００全体が運転不能になるという事故を未然に防止
できる。

【０１５０】また、冷媒部の３相電動機に対する３相電
源の接続状態を検出して、正規の相状態に相変更する構
成を設けるとともに、正規の相状態であるか否かを冷媒
の圧力変化によって検出しているため、この圧力変化が
正規の圧力変化でないときは、電動機自体またはそれに
付属する配線の不良を知ることができるので、これら不
良を早期に発見して、極低温冷凍装置全体に及ぶ故障を
未然に防止し得る。

【０１５１】さらに、冷凍部の不良を、冷媒部の３相電
動機の運転の開始以後の冷凍部の温度変化によって検出
しているため、冷凍部の不良を知ることができるので、
冷凍部の不良を早期に発見して、極低温冷凍装置全体に
及ぶ故障を未然に防止し得る。

【０１５２】また、１つの圧縮部で圧縮した冷媒を複数
の冷凍部に供給する構成の場合において、上記の各不良
の検出を、各冷凍部ごととに行うため、個々の冷凍部ご
とに上記の各不良を早期に発見して、極低温冷凍装置全
体に及ぶ故障を未然に防止し得るなどの特長をもつ極低
温冷凍装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

図１〜図６はこの発明の実施例を、また、図７〜図９は
従来技術を示し、各図の内容は次のとおりである。

【図１】全体ブロック構成図

【図２】要部ブロック構成図

【図３】要部制御処理フロー構成図

【図４】要部制御処理フロー構成図

【図５】要部制御処理フロー構成図

【図６】全体ブロック構成図

【図７】全体ブロック構成図

【図８】要部回路構成図

【図９】要部信号波形図

【符号の説明】３０３相電源５１駆動リレー回路５１Ａ制御信号５２相切換リレー回路５２Ａ制御信号５４波形整形回路５４Ａ波形整形信号５４Ｂ波形整形信号６０圧縮部６１圧縮機６２３相電動機６５冷媒６６吐出管路６７戻入管路７０制御部７０ＡＣＰＵ７１入出力ポート７２処理メモリ７３作業用メモリ７４データ用メモリ７５時計回路７６操作部７７表示部１００極低温冷凍装置Ｄ１圧力検出器Ｄ１Ａ圧力検出信号Ｄ２温度検出器Ｄ２Ａ温度検出信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化するための接続変
更を行う極低温冷凍装置であって、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段とを具備することを特徴とする極低温冷凍装
置。
【請求項２】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化により前記不良を検出する不良検
出手段とを具備することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項３】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化により前記不良を検出する不良検
出手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化により前記不良が検出されなかっ
たときにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の
相状態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態記
憶手段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段とを具備することを特徴とする極
低温冷凍装置。
【請求項４】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化に所定の圧力変化がないことによ
り前記不良を検出する不良検出手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化により前記不良が検出されなかっ
たときにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の
相状態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態記
憶手段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段と、前記冷媒の圧力変化により前記不良が検出されたとき
に、前記３相電動機自体または前記３相電動機に付属す
る配線に不良がある旨の警報を行う不良警報手段とを具
備することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項５】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により前
記３相電動機自体または前記３相電動機に付属する配線
の不良を検出する第１不良検出手段と、前記運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う前
記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良を検出する
第２不良検出手段とを具備することを特徴とする極低温
冷凍装置。
【請求項６】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により前
記３相電動機自体または前記３相電動機に付属する配線
の不良（以下、第１不良という）を検出する第１不良検
出手段と、前記運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う前
記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良（以下、第
２不良という）を検出する第２不良検出手段と、前記第１不良および前記第２不良が検出されなかったと
きにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の相状
態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態記憶手
段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段とを具備することを特徴とする極
低温冷凍装置。
【請求項７】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化を行う異常接続正
常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により前
記３相電動機自体または前記３相電動機に付属する配線
の不良（以下、第１不良という）を検出する第１不良検
出手段と、前記運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う前
記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良（以下、第
２不良という）を検出する第２不良検出手段と、前記第１不良および前記第２不良が検出されなかったと
きにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の相状
態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態記憶手
段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段と、前記第１不良が検出されたときに、前記３相電動機自体
または前記３相電動機に付属する配線に不良がある旨の
警報を行う第１不良警報手段と、前記第２不良が検出されたときに前記冷凍部に不良があ
る旨の警報を行う第２不良警報手段とを具備することを
特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項８】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化（以下、第１正常
化という）を行う第１異常接続正常化手段と、前記第１正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化によ
り前記３相電動機自体または前記３相電動機に付属する
配線の不良（以下、第１不良という）を検出する第１不
良検出手段と、前記運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う前
記冷凍部の温度変化により前記３相電動機自体または前
記３相電動機に付属する配線の不良（以下、第２不良と
いう）を検出する第２不良検出手段と、前記第２不良の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化（以下、第２正常
化という）を行う第２異常接続正常化手段と、前記第２正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態の開始時点からの所定時間の経過
に伴う前記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良
（以下、第３不良という）を検出する第３不良検出手段
と、前記第２不良または第３不良のうちのいずれかが検出さ
れなかったときにおける前記３相電動機に対する前記３
相電源の相状態を「正規の相状態」として記憶する正規
相状態記憶手段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段とを具備することを特徴とする極
低温冷凍装置。
【請求項９】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構に
より膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前記
往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記電
動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更と、
前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の不良
などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置であっ
て、前記電動機を３相電動機により構成するとともに、前記
３相電動機に与える３相電源の２相間の位相差により前
記異常接続の検出を行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化（以下、第１正常
化という）を行う第１異常接続正常化手段と、前記第１正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化によ
り前記３相電動機自体または前記３相電動機に付属する
配線の不良（以下、第１不良という）を検出する第１不
良検出手段と、前記運転状態の開始時点からの所定時間の経過に伴う前
記冷凍部の温度変化により前記電動機自体と前記電動機
に付属する配線の不良（以下、第２不良という）を検出
する第２不良検出手段と、前記第２不良の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換えることにより前記正常化（以下、第２正常
化という）を行う第２異常接続正常化手段と、前記第２正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態の開始時点からの所定時間の経過
に伴う前記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良
（以下、第３不良という）を検出する第３不良検出手段
と、前記第２不良または第３不良のいずれかが検出されなか
ったときにおける前記３相電動機に対する前記３相電源
の相状態を「正規の相状態」として記憶する正規相状態
記憶手段と、次回以後の前記３相電動機の運転時に、前記「正規の相
状態」によって前記３相電源を前記３相電動機に接続す
る次回以後相接続手段と、前記第１不良が検出されたときに、前記３相電動機自体
または前記３相電動機に付属する配線に不良がある旨の
警報を行う第１不良警報手段と、前記第３不良が検出されたときに前記冷凍部に不良があ
る旨の警報を行う第２不良警報手段とを具備することを
特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１０】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化するための接続
変更を行う極低温冷凍装置であって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前記３相電動機
ごとに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段とを具備することを特徴とする極
低温冷凍装置。
【請求項１１】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前記３相電動機
ごとに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化による前記不良の検出を各前記冷
凍部ごとに行う不良検出手段とを具備することを特徴と
する極低温冷凍装置。
【請求項１２】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化による前記不良の検出を各前記冷
凍部ごとに行う不良検出手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化による前記不良が検出されなかっ
たときにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の
相状態を「正規の相状態」とする記憶を各前記３相電動
機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各前記冷凍部の前記３相電動機の運転時に、
前記３相電動機に対する前記３相電源の前記「正規の相
状態」による接続を各前記３相電動機ごとに行う次回以
後相接続手段とを具備することを特徴とする極低温冷凍
装置。
【請求項１３】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化による前記不良の検出を各前記冷
凍部ごとに行う不良検出手段と、前記３相電源を前記３相電動機に与えた運転状態におけ
る前記冷媒の圧力変化による前記不良が検出されなかっ
たときにおける前記３相電動機に対する前記３相電源の
相状態を「正規の相状態」とする記憶を各前記３相電動
機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各前記冷凍部の前記３相電動機の運転時に、
前記３相電動機に対する前記３相電源の前記「正規の相
状態」による接続を各前記３相電動機ごとに行う次回以
後相接続手段と、前記冷媒の圧力変化により前記不良が検出されたとき
に、各前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付
属する配線に不良がある旨の警報を各前記３相電動機ご
とに行う不良警報手段とを具備することを特徴とする極
低温冷凍装置。
【請求項１４】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により各
前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付属する
配線の不良の検出を各前記３相電動機ごとに行う第１不
良検出手段と、各前記３相電動機の前記運転状態の開始
時点からの所定時間の経過に伴う各前記冷凍部の温度変
化による各前記冷凍部の不良の検出を各前記冷凍部ごと
に行う第２不良検出手段とを具備することを特徴とする
極低温冷凍装置。
【請求項１５】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により各
前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付属する
配線の不良（以下、第１不良という）の検出を各前記３
相電動機ごとに行う第１不良検出手段と、各前記３相電動機の各前記運転状態の開始時点からの所
定時間の経過に伴う各前記冷凍部の温度変化による各前
記冷凍部の不良（以下、第２不良という）の検出を各前
記冷凍部ごとに行う第２不良検出手段と、前記第１不良および前記第２不良が検出されなかったと
きにおける各前記３相電動機に対する各前記３相電源の
相状態を各「正規の相状態」とする記憶を各前記３相電
動機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各
前記３相電動機の運転時に、各前記３相電動機に対する
前記３相電源の前記各「正規の相状態」による接続を各
前記３相電動機ごとに行う次回以後相接続手段とを具備
することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１６】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化を各前記３相電動機ごとに行
う異常接続正常化手段と、前記正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電動機
に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化により各
前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付属する
配線の不良（以下、第１不良という）の検出を各前記３
相電動機ごとに行う第１不良検出手段と、各前記３相電動機の各前記運転状態の開始時点からの所
定時間の経過に伴う各前記冷凍部の温度変化による各前
記冷凍部の不良（以下、第２不良という）の検出を各前
記冷凍部ごとに行う第２不良検出手段と、前記第１不良および前記第２不良が検出されなかったと
きにおける各前記３相電動機に対する各前記３相電源の
相状態を各「正規の相状態」とする記憶を各前記３相電
動機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各前記３相電動機の運転時に、各前記３相電
動機に対する前記３相電源の前記各「正規の相状態」に
よる接続を各前記３相電動機ごとに行う次回以後相接続
手段と、前記第１不良が検出されたときに、前記３相電動機自体
または前記３相電動機に付属する配線に不良がある旨の
警報を、各前記３相電動機ごとに行う第１不良警報手段
と、前記第２不良が検出されたときに前記冷凍部に不良があ
る旨の警報を、各前記冷凍部ごとに行う第２不良警報手
段とを具備することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１７】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化（以下、第１正常化という）
を各前記３相電動機ごとに行う第１異常接続正常化手段
と、前記第１正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化によ
り各前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付属
する配線の不良（以下、第１不良という）の検出を各前
記３相電動機ごとに行う第１不良検出手段と、各前記３相電動機の各前記運転状態の開始時点からの所
定時間の経過に伴う各前記冷凍部の温度変化による各前
記冷凍部の不良（以下、第２不良という）の検出を各前
記冷凍部ごとに行う第２不良検出手段と、前記第２不良の検出にもとづいて、各前記３相電動機に
対する前記３相電源の２相間を入れ換えることにより前
記正常化（以下、第２正常化という）を各前記３相電動
機ごとに行う第２異常接続正常化手段と、前記第２正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態の開始時点からの所定時間の経過
に伴う前記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良
（以下、第３不良という）の検出を各前記冷凍部ごとに
行う第３不良検出手段と、前記第２不良または第３不良のうちのいずれかが検出さ
れなかったときにおける各前記３相電動機に対する前記
３相電源の相状態を各「正規の相状態」とする記憶を各
前記３相電動機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各前記３相電動機の運転時に、各前記３相電
動機に対する前記３相電源の前記各「正規の相状態」に
よる接続を各前記３相電動機ごとに行う次回以後相接続
手段とを具備することを特徴とする極低温冷凍装置。
【請求項１８】圧縮部で圧縮した冷媒を往復動作機構
により膨張させることによって極低温を得る冷凍部の前
記往復動作機構を電動機により駆動するとともに、前記
電動機に与える電源の異常接続を正常化する接続変更
と、前記電動機自体または前記電動機に付属する配線の
不良などを検出する不良検出とを行う極低温冷凍装置で
あって、複数の前記冷凍部を設けるとともに、１つの前記圧縮部
から前記圧縮した冷媒を各前記冷凍部に供給する複数冷
凍部手段と、各前記冷凍部の前記電動機を３相電動機により構成する
とともに、各前記３相電動機に与える３相電源の２相間
の位相差による前記異常接続の検出を各前３相電動機ご
とに行う異常接続検出手段と、前記異常接続の検出にもとづいて、前記３相電源の２相
間を入れ換える前記正常化（以下、第１正常化という）
を各前記３相電動機ごとに行う第１異常接続正常化手段
と、前記第１正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態における前記冷媒の圧力変化によ
り各前記３相電動機自体または各前記３相電動機に付属
する配線の不良（以下、第１不良という）の検出を各前
記３相電動機ごとに行う第１不良検出手段と、各前記３相電動機の各前記運転状態の開始時点からの所
定時間の経過に伴う各前記冷凍部の温度変化による各前
記冷凍部の不良（以下、第２不良という）の検出を各前
記冷凍部ごとに行う第２不良検出手段と、前記第２不良の検出にもとづいて、各前記３相電動機に
対する前記３相電源の２相間を入れ換えることにより前
記正常化（以下、第２正常化という）を各前記３相電動
機ごとに行う第２異常接続正常化手段と、前記第２正常化を行った後の前記３相電源を前記３相電
動機に与えた運転状態の開始時点からの所定時間の経過
に伴う前記冷凍部の温度変化により前記冷凍部の不良
（以下、第３不良という）の検出を各前記冷凍部ごとに
行う第３不良検出手段と、前記第２不良または第３不良のうちのいずれかが検出さ
れなかったときにおける各前記３相電動機に対する前記
３相電源の相状態を各「正規の相状態」とする記憶を各
前記３相電動機ごとに行う正規相状態記憶手段と、次回以後の各前記３相電動機の運転時に、各前記３相電
動機に対する前記３相電源の前記各「正規の相状態」に
よる接続を各前記３相電動機ごとに行う次回以後相接続
手段と、前記第１不良が検出されたときに、前記３相電動機自体
または前記３相電動機に付属する配線に不良がある旨の
警報を、各前記３相電動機ごとに行う第１不良警報手段
と、前記第３不良が検出されたときに前記冷凍部に不良があ
る旨の警報を、各前記冷凍部ごとに行う第２不良警報手
段とを具備することを特徴とする極低温冷凍装置。