JPH09127011A - 磁気記録媒体の表面検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気記録媒体の表面に存する欠陥や不良個所
を高速且つ高精度で検査することのできる磁気記録媒体
の表面検査方法及び装置の提供。 【解決手段】 本発明の長尺状磁気記録媒体の表面検査
方法は、一定幅を有する長尺状磁気記録媒体を一方方向
に走行させ、走行中に該磁気記録媒体に磁気的手段及び
光学的手段を連続的に施し、該磁気記録媒体表面の欠陥
を検出することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術】本発明は、一定幅を有する長尺状
磁気記録媒体の表面に存する欠陥や不良個所を高速且つ
高精度で検査することのできる長尺状磁気記録媒体の表
面検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一定幅
を有する長尺状磁気記録媒体、例えば、磁気テープの磁
気的手段によるドロップアウトの工程検査又は品質検査
は従来から行われてきた。特にこれらの検査は、生産ス
ケールでインカセする前工程においてパンケーキをロー
ディングするときのインカセ不可能部分を排除する目的
で行われる。一方、光学的手段による磁気記録媒体の表
面欠陥検査についても、原反レベルやテープ状に裁断さ
れた後工程レベルにおいて行われるようになってきてい
る。

【０００３】磁気的手段に代わって光学的手段によって
欠陥を検出する手段に移行してきている理由は、生産レ
ベルでの高速検査における媒体表面の欠陥検出精度が磁
気的手段よりも光学的手段の方が高く、効果的であると
考えられるからである。具体的には、磁気的手段による
欠陥検査を行う場合、高速検査（例えば、走行速度５ｍ
／ｓ以上）のため固定磁気ヘッドを用いることになる
が、生産ラインでは１パスで検査を終わらせる必要があ
るために多チャンネル化で対応しなければならない。こ
の場合、高周波数に対応するためには一個の磁気ヘッド
の小型化に限界があるで、ヘッドとヘッドの間のスペー
スを全て評価領域とするためにトラック幅が広く設計さ
れている。その結果、実機でドロップアウトになる微小
レベルの欠陥、例えば、磁気テープの長手方向に沿って
存在する幅１００μｍ以下の塗工ヌケ等を充分に検出す
ることが難しくなる。

【０００４】一方、光学的手段によれば、磁気テープの
長手方向に沿って存在する幅２０〜３０μｍ程度の細い
筋状欠陥でも十分に検出することができるので、塗工筋
などの磁性層の筋状欠陥を検出するには非常に有効であ
る。しかしながら、光学的手段においては、磁気テープ
を高速走行させる場合、画像処理時間の関係で欠陥が一
定以上の長さ（例えば６７ｃｍ以上、磁気的手段では計
算上１０μｍまで検出可能）存在しないと検出できない
という欠点がある。また、光学的手段においては、テー
プのしわやカッピング、エッジ部分のダメージの判別の
問題等があり、高速化（５ｍ／ｓ以上）対応が困難であ
る。更に、磁気記録媒体の欠陥は表面性に基づくものに
限られず、磁性粉の分散性に係わるドロップアウトが存
在する可能性もある。

【０００５】このように、磁気記録媒体の表面欠陥検出
に用いられる磁気的手段及び光学的手段にはそれぞれ長
所及び短所があり、欠陥を高速且つ高精度で検査するこ
とは困難であった。

【０００６】従って、本発明の目的は、磁気記録媒体の
表面に存する欠陥や不良個所を高速且つ高精度で検査す
ることのできる磁気記録媒体の表面検査方法及び装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明者らは鋭意検討したところ、光学的手段により検
出できない欠陥であっても磁気的手段により検出できる
ものがあり、またその逆の欠陥もあることを見出し、更
に検討を推し進めた結果、磁気的手段の長所と光学的手
段の長所とを活かした総合的検出方法が優れた方法であ
ることを知見した。

【０００８】本発明は上記知見に基づきなされたもので
あり、一定幅を有する長尺状磁気記録媒体を一方方向に
走行させ、走行中に該磁気記録媒体に磁気的手段及び光
学的手段を連続的に施し、該磁気記録媒体表面の欠陥を
検出することを特徴とする長尺状磁気記録媒体の表面検
査方法を提供することにより上記目的を達成したもので
ある。

【０００９】また、本発明は、上記方法に好ましく用い
られる装置として、一定幅を有する長尺状磁気記録媒体
の巻出手段と巻取手段とを備えた磁気記録媒体走行系並
びに該巻出手段と該巻取手段との間に設けられた磁気記
録媒体の磁気的欠陥検出手段及び光学的欠陥検出手段を
具備し、上記磁気的欠陥検出手段が磁気記録媒体の幅方
向に配列された多数の磁気ヘッドを備え、上記光学的欠
陥検出手段が磁気記録媒体表面に光を照射する発光手段
と該発光手段からの光の反射光又は透過光を受光する受
光手段とを備えることを特徴とする長尺状磁気記録媒体
の表面検査装置を提供するものである。

【００１０】また、本発明は、上記磁気記録媒体の表面
検査装置において、磁気記録媒体の走行方向上流側に上
記磁気的欠陥検出手段が配置され、下流側に上記光学的
欠陥検出手段が配置されてなる磁気記録媒体の表面検査
装置を提供するものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】まず、本発明の磁気記録媒体の表
面検査方法に好ましく用いられる装置を図面を参照して
説明する。ここで、図１は、本発明の磁気記録媒体の表
面検査方法に好ましく用いられる装置の一実施形態を示
す模式図である。

【００１２】図１に示す長尺状磁気記録媒体の表面検査
装置１（以下、「表面検査装置」ともいう）は、一定幅
を有する長尺状磁気記録媒体２の巻出手段３と巻取手段
４とを備えた磁気記録媒体走行系５、並びに該巻出手段
３と該巻取手段４との間に設けられた磁気記録媒体の磁
気的欠陥検出手段６及び光学的欠陥検出手段７を具備し
ている。上記磁気的欠陥検出手段６と上記光学的欠陥検
出手段７との位置関係は、上記磁気記録媒体２の進行方
向上流側に上記磁気的欠陥検出手段６が配置され、下流
側に上記光学的欠陥検出手段７が配置されている。ま
た、図１に示す表面検査装置１は、上記巻出手段３の下
流位置及び上記巻取手段４の上流位置に、それぞれ一対
のクリーニング手段８，９を備えている。

【００１３】図１に示す表面検査装置１における磁気記
録媒体の走行について説明すると、一定幅を有する長尺
状磁気記録媒体２は、上記巻出手段３から所定速度で巻
き出される。次いで、上記磁気記録媒体２は一対の上記
クリーニング手段８，８を通過した後、バキュームゾー
ン１０に導かれ、テンションの調整がなされる。次い
で、上記磁気記録媒体２は上記磁気的欠陥検出手段６に
て、磁気的手段によるドロップアウト等の検査を受け
る。磁気的手段による検査を経た後、上記磁気記録媒体
２は、上記光学的欠陥検出手段７にて、光学的手段によ
る塗工ヌケや塗工ムラ等の検査を受ける。磁気的手段及
び光学的手段による検査を経た後、上記磁気記録媒体２
は、再びバキュームゾーン１１に導かれテンションの調
整がなされる。次いで、上記磁気記録媒体２は、一対の
上記クリーニング手段９，９を通過した後、上記巻取手
段４によって巻き取られる。

【００１４】次に、本実施形態の表面検査装置１を構成
する各部材について説明する。まず、上記磁気記録媒体
走行系５を構成する上記巻出手段３及び上記巻取手段４
について説明すると、該巻出手段３には所定幅を有する
インカセ前（即ち、カセットに装填前）の磁気記録媒体
２がロール状の形態で装填されている。上記巻出手段３
には、上記巻取手段４と連動して回転するための駆動手
段が設けられていてもよく、或いは上記巻取手段４の回
転につれて回転するようにフリーの状態になっていても
よい。なお、上記巻出手段３に装填されている上記磁気
記録媒体２は、幅広のものであってもよく、或いはカセ
ットに装填されるために必要な幅に予めスリットされて
いてもよい。一方、上記巻取手段４には、上記磁気記録
媒体２を巻き取るためのモータ等の駆動手段（図示せ
ず）が接続されており、所定速度にて回転可能になされ
ている。また、上記巻取手段４には、上記磁気記録媒体
２の巻き取りにたるみ等を生じさせないためのガイドロ
ーラ４１，４１が設けられている。

【００１５】次に、一対の上記クリーニング手段８，９
について説明する。該クリーニング手段８，９は、それ
ぞれ上記巻出手段３の直ぐ下流、及び上記巻取手段４の
直ぐ上流の位置にそれぞれ一対ずつ設けられている。以
下、上記巻出手段３の直ぐ下流に位置するクリーニング
手段８について説明するが、上記巻取手段４の直ぐ上流
に位置するクリーニング手段９についても同様になされ
ている。上記巻出手段３から所定速度で巻き出された上
記磁気記録媒体２は、ガイドローラ５１を介して、一対
のクリーニング手段８，８に導かれ、該クリーニング手
段８，８によって、その表面に存在する微細な塵埃等の
異物が除去される。該クリーニング手段８，８は、ロー
ル状のクリーニングテープ８２が装填された巻出８１
と、該クリーニングテープ８２を巻き取る巻取８４とを
備えている。該クリーニングテープ８２は、上記磁気記
録媒体２の走行方向と逆向きに走行している。即ち、上
記巻出８１から巻き出されたクリーニングテープ８２は
押圧ローラ８３によってその走行方向が反転すると共
に、上記磁気記録媒体２の走行方向とは逆方向に走行し
ながら該磁気記録媒体２に押圧される。その結果、上記
磁気記録媒体の両面がクリーニングされる。上記クリー
ニングテープ８２は、上記押圧ローラ８３にて反転後、
巻取８４にて巻き取られる。

【００１６】次に、上記クリーニング手段８と上記磁気
的欠陥検出手段６との間、及び上記上記光学的欠陥検出
手段７と上記クリーニング手段９との間にそれぞれ設け
られるバキュームゾーン１０，１１について説明する
と、該バキュームゾーン１０，１１は、上記磁気記録媒
体走行系５を走行する磁気記録媒体２のテンションを調
整するために用いられるものである。該バキュームゾー
ン１０，１１は、バキューム手段（図示せず）に接続さ
れており、その内部が減圧に保たれている。その結果、
上記磁気記録媒体２は、該バキュームゾーン１０，１１
において吸引された状態になっており、所定量のテンシ
ョンが該磁気記録媒体２にかかるようになされている。
なお、テンションは、上記バキュームゾーン１０，１１
における吸引力を調節することにより所望の値とするこ
とができる。

【００１７】次に、上記磁気的欠陥検出手段６について
説明する。該磁気的欠陥検出手段６は、上記磁気記録媒
体２の幅方向に配列された多数の磁気ヘッドを備えてい
る。更に詳しくは、上記磁気的欠陥検出手段６は、上記
磁気記録媒体２の走行方向上流側に書込用磁気ヘッド６
１を備えると共に、下流側に読取用磁気ヘッド６２を備
えている。そして、該書込用磁気ヘッド６１及び該読取
用磁気ヘッド６２は、それぞれ上記磁気記録媒体２の幅
方向に複数個配列されている。上記書込用磁気ヘッド６
１と上記読取用磁気ヘッド６２とは上記磁気記録媒体２
のトラックの数分だけ同数用いられているか、又は一つ
の書込用磁気ヘッド６１に対して多数の読取用磁気ヘッ
ド６２が対応して用いられていてもよい。なお、本実施
形態の表面検査装置１においては、上記書込用磁気ヘッ
ド６１１個に対して上記読取用磁気ヘッド６２は、上記
磁気記録媒体２の幅方向に４８個配列されており、その
トラック幅は２６０μｍである。

【００１８】上記磁気的欠陥検出手段６について更に説
明すると、該磁気的欠陥検出手段６中を通過する上記磁
気記録媒体２におけるそれぞれのトラックには、上記書
込用磁気ヘッド６１によって所定周波数の信号がそれぞ
れ記録される。それぞれのトラックに記録された信号
は、次いで上記読取用磁気ヘッド６２によって読み取ら
れ、所定の再生周波数にて再生される。再生された信号
は、信号処理手段（図示せず）によって処理される。か
かる処理の結果、磁気記録媒体の欠陥（ドロップアウ
ト）位置がディスプレー（図示せず）等に表示されるか
或いは磁気ディスク等の記録手段（図示せず）に記録さ
れる。なお、本実施形態の表面検査装置１においては、
上記書込用磁気ヘッド６１及び上記読取用磁気ヘッド６
２における記録・再生周波数は共に１．６ＭＨｚであ
る。

【００１９】次に、上記光学的欠陥検出手段７について
説明する。該光学的欠陥検出手段７は、上記磁気記録媒
体表面、即ち磁性層表面に光を照射する発光手段と該発
光手段からの光の反射光又は透過光を受光する受光手段
とを備えている。かかる光学的欠陥検出手段７によっ
て、磁気記録媒体２の表面の幅２０〜３０μｍ程度の微
細な塗工ヌケや塗工ムラ等の欠陥を検出することができ
る。

【００２０】上記光学的欠陥検出手段７について更に説
明すると、該光学的欠陥検出手段７中を通過する上記磁
気記録媒体２には、その幅方向全域にわたって上記発光
手段から光が照射される。照射された光は、上記磁気記
録媒体２における磁性層の表面で反射するか又は該磁気
記録媒体中を透過する。この反射光又は透過光は、上記
受光手段によって受光される。受光された光は該受光手
段により電気信号に変換され、該電気信号は画像処理手
段（図示せず）によって画像処理される。かかる処理の
結果、磁気記録媒体表面に存する塗工ヌケや塗工ムラ等
の欠陥の位置がディスプレー（図示せず）等に表示され
るか或いは磁気ディスク等の記録手段（図示せず）に記
録される。なお、本実施形態における表面検査装置１に
おいては、図１に示すように、上記発光手段７１として
発光ダイオード（ＬＥＤ）を用い、上記受光手段７２と
して反射光受光型の電荷結合素子（ＣＣＤ）を用いてい
る。

【００２１】次に、図１に示す実施形態の表面検査装置
を用いた本発明の長尺状磁気記録媒体の表面検査方法
（以下、「表面検査方法」ともいう）の好ましい実施形
態について説明する。本発明の表面検査方法において
は、長尺状磁気記録媒体を一方方向に走行させ、走行中
に該磁気記録媒体に磁気的手段及び光学的手段を連続的
に施し、該磁気記録媒体表面の欠陥を検出する。即ち、
本発明の表面検査方法においては、磁気記録媒体の一回
の走行工程内において磁気記録媒体表面の欠陥を磁気的
及び光学的に同時に検出する。従って、磁気的検出と光
学的検出を別個の走行工程で検出する場合に比して、検
出時間が単に１／２になるのみならず、１回目の測定開
始点（例えば、磁気的検出）と２回目の測定開始点（例
えば、光学的検出）とが逆になることに起因する測定精
度の低下や、走行を重ねることに起因する磁気記録媒体
へのダメージを避けることができるので、収率の低下を
防止することができる。なお、本発明の表面検査方法に
おいては、磁気的手段と光学的手段の順序に特に制限は
なく、磁気的手段を施し、次いで光学的手段を施しても
よく、或いはその逆の順序でもよい。

【００２２】本発明の表面検査方法における上記磁気的
手段について図２に示すブロック図を参照して説明する
と、上記読取用磁気ヘッドによって読み取られた磁気デ
ータは電気信号に変換されて、増幅器へと送られる。該
増幅器で増幅された電気信号は、オートゲインコントロ
ール（ＡＧＣ）において所定の電圧レベルに調整され
る。次いで、所定の電圧レベルに調整された電気信号
は、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）にて検波される。この
検波波形に対して所定のクリップレベルを予め設定して
おき、該検波波形と該クリップレベルとをコンパレータ
により比較することによって、ドロップアウトが検出さ
れる。ドロップアウトが検出された位置は、磁気記録媒
体の測定開始点からの距離で示され、インカセ時に上記
位置の前後における所定長さの部分がトリミングされ
る。なお、上記磁気的検出におけるクリップレベルは、
全トラックにおいて同一の値に設定してもよく、或いは
磁気記録媒体の長手方向両側方部におけるクリップレベ
ルをそれ以外の部分のクリップレベルと異なるように設
定してもよい。

【００２３】次に、本発明の表面検査方法における上記
光学的手段について説明すると、上記受光手段によって
受光された光は電気信号に変換された後、上記画像処理
手段によって処理され、微分波形に変換される。この微
分波形に対して所定のスライスレベルを予め設定してお
き、該微分波形と該スライスレベルとを判定回路により
比較することによって、塗工ヌケや塗工ムラ等の表面欠
陥が検出される。表面欠陥が検出された位置は、磁気記
録媒体の測定開始点からの距離で示され、インカセ時に
上記位置の前後における所定長さの部分が不良個所とし
て除去（トリミング）される。

【００２４】以上、本発明の長尺状磁気記録媒体の表面
検査方法及び装置をその好ましい実施形態に基づき説明
したが、本発明は上記実施形態に制限されるものではな
く、種々の変更形態が可能である。例えば、上記表面検
査装置においては、磁気的欠陥検出手段と光学的欠陥検
出手段との配置の順序は逆にしてもよい。また、上記光
学的欠陥検出手段においては、反射型の受光手段を用い
る代わりに透過型の受光手段を用いてもよい。また、上
記表面検査方法は、一走行工程のみで行ってもよく、或
いは二走行工程以上のそれぞれの走行工程において行っ
てもよい。また、本発明の表面検査方法及び装置は、塗
布型の磁気記録媒体のみならず、蒸着型の磁気記録媒体
に対しても適用することができる。また、本発明の表面
検査方法及び装置は、インカセ前の磁気記録媒体のみな
らず、インカセ後の磁気記録媒体に対しても適用するこ
とができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明の長尺状磁気記録媒体の表面検査
方法及び装置によれば、磁気記録媒体を表面検査する際
に磁気的手段と光学的手段とを併用することによって、
高速且つ高精度の検査が可能となる。また、同一工程内
において磁気的及び光学的検査を行うので、トリミング
時の測長誤差が少なくなり、しかも複数の走行を重ねる
ことに起因する磁気記録媒体たのダメージを避けること
もできるので、収率の低下を防止することができる。更
に、検査工程が簡略化され、人的ミスも減少する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の表面検査方法に好まし
く用いられる装置の一実施形態を示す模式図である。

【図２】磁気的検出の方法を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 長尺状磁気記録媒体の表面検査装置 ２ 長尺状磁気記録媒体 ３ 巻出手段 ４ 巻取手段 ５ 磁気記録媒体走行系 ６ 磁気的欠陥検出手段 ７ 光学的欠陥検出手段 ８，９ クリーニング手段 １０，１１ バキュームゾーン ６１ 書込用磁気ヘッド ６２ 読取用磁気ヘッド ７１ 発光手段 ７２ 受光手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一定幅を有する長尺状磁気記録媒体を一
   方方向に走行させ、走行中に該磁気記録媒体に磁気的手
   段及び光学的手段を連続的に施し、該磁気記録媒体表面
   の欠陥を検出することを特徴とする長尺状磁気記録媒体
   の表面検査方法。
2. 【請求項２】 一定幅を有する長尺状磁気記録媒体の巻
   出手段と巻取手段とを備えた磁気記録媒体走行系並びに
   該巻出手段と該巻取手段との間に設けられた磁気記録媒
   体の磁気的欠陥検出手段及び光学的欠陥検出手段を具備
   し、上記磁気的欠陥検出手段が磁気記録媒体の幅方向に
   配列された多数の磁気ヘッドを備え、上記光学的欠陥検
   出手段が磁気記録媒体表面に光を照射する発光手段と該
   発光手段からの光の反射光又は透過光を受光する受光手
   段とを備えることを特徴とする長尺状磁気記録媒体の表
   面検査装置。
3. 【請求項３】 磁気記録媒体の走行方向上流側に上記磁
   気的欠陥検出手段が配置され、下流側に上記光学的欠陥
   検出手段が配置されてなる、請求項２記載の磁気記録媒
   体の表面検査手段。