JPH09120019A - 光結合部品およびその製造方法 - Google Patents

光結合部品およびその製造方法

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JPH09120019A
JPH09120019A JP7278853A JP27885395A JPH09120019A JP H09120019 A JPH09120019 A JP H09120019A JP 7278853 A JP7278853 A JP 7278853A JP 27885395 A JP27885395 A JP 27885395A JP H09120019 A JPH09120019 A JP H09120019A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
silicon substrate
light receiving
emitting element
receiving element
Prior art date
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Pending
Application number
JP7278853A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroki Ishikawa
弘樹 石川
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Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Original Assignee
Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Japan Aviation Electronics Industry Ltd filed Critical Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【解決手段】 シリコン基板1表面に被着形成される電
極3に端面発光素子或は受光素子5下面に形成される端
子側電極51をハンダ付け実装する光結合部品におい
て、シリコン基板1表面に形成される電極3はその面積
を端面発光素子或は受光素子5下面に形成される端子側
電極51の面積より一回り小さく形成され、電極3のリ
ード端子31が延伸形成される領域を除いて電極3周囲
全体をほぼ包囲する環状の環状凹溝4をシリコン基板1
表面に形成した光結合部品。 【効果】 光を送受する端面間に凝固ハンダが存在し、
これにより伝送される光が遮光されることはなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光結合部品およ
びその製造方法に関し、特に、端面発光素子或は受光素
子をシリコン基板表面にハンダ付けしたハンダが端面発
光素子と受光素子の間に伝送される光を遮光することな
く端面発光素子或は受光素子をシリコン基板表面に実装
する光結合部品およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来例を図2を参照して説明する。図2
(a)は端面発光素子或は受光素子をシリコン基板表面
に実装したところを上から視た図であり、図2(b)は
図2(a)の線B−B’に沿った断面を示す図である。
図2において、1はシリコン基板である。シリコン基板
1の表面には、異方性エッチングによりV溝2が刻設さ
れている。V溝2には光ファイバが嵌合固定される。3
はシリコン基板1の表面に被着形成される電極である。
31は電極3から延伸して一体に被着形成されるリード
端子を示す。5はシリコン基板1表面に被着形成される
電極3にハンダ付けされる端面発光素子或は受光素子を
示す。51は素子の端子側電極である。端面発光素子と
してはレーザダイオード或は発光ダイオードの如き素子
が使用される。受光素子としてはホトトランジスタの如
き光電変換素子が使用される。電極3に端面発光素子5
の端子側電極51をハンダ付けして図2における端面発
光素子5の右端面から光を放射する場合、光ファイバ先
端に取り付けられた受光素子の受光面を端面発光素子5
の右端面に対向してV溝2に嵌合して取り付ける。この
様に、端面発光素子と受光素子の間に光結合を形成し、
両者間において光信号の送受信をすることができる。シ
リコン基板1表面に形成される電極3の面積と端子側電
極51の面積は通常は等しく形成されており、基板表面
の電極3表面に予備ハンダを施しておく。6はハンダ付
け処理した後の凝固したハンダを示す。61はシリコン
基板の電極3と端子側電極51との間から流出して凝固
したハンダを示す。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】以上の通り、シリコン
基板1表面に被着形成される電極3に端面発光素子或は
受光素子5の端子側電極51をダイボンダー装置を適用
してハンダ付け実装する場合、両者間を加熱加圧する結
果溶融したハンダが流出して61により示されるが如く
凝固するに到る。端面発光素子5の発光端面である右端
面とこれに対向する受光素子の受光面の間にこの凝固ハ
ンダ61が形成されると、対向する両端面間における光
の伝送は凝固ハンダ61により遮光される分だけ阻害さ
れることとなる。
【0004】この発明は、上述の通りの問題を解消した
光結合部品およびその製造方法を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】シリコン基板1表面に被
着形成される電極3に端面発光素子或は受光素子5下面
に形成される端子側電極51をハンダ付け実装する光結
合部品において、シリコン基板1表面に形成される電極
3は、その面積を端面発光素子或は受光素子5下面に形
成される端子側電極51の面積より一回り小さく形成さ
れ、電極3のリード端子31が延伸形成される領域を除
いて電極3周囲全体をほぼ包囲する環状凹溝4をシリコ
ン基板1表面に形成した光結合部品を構成した。
【0006】そして、シリコン基板1表面に被着形成さ
れる電極3に端面発光素子或は受光素子5下面に形成さ
れる端子側電極51をハンダ付け実装する光結合部品の
製造方法において、シリコン基板1表面に異方性エッチ
ングにより光ファイバを嵌合固定するV溝2を刻設する
と共に環状凹溝4を刻設し、環状凹溝4に包囲されるシ
リコン基板1表面に電極3を被着形成し、電極3の面積
より一回り大きく形成される端子側電極51を下面に形
成される端面発光素子或は受光素子5を準備して、端子
側電極51の周縁部が電極3周囲をオーバーハングした
状態に相互位置決めしてハンダ付け実装する光結合部品
の製造方法を構成した
【0007】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図1の実
施例を参照して説明する。図1(a)は端面発光素子或
は受光素子をシリコン基板表面に実装したところを上か
ら視た図であり、図1(b)は図1(a)の線A−A’
に沿った断面を示す図である。図1において、図2と共
通する部材には共通する参照符号を付与している。
【0008】図1において、シリコン基板1の表面に
は、異方性エッチングによりV溝2が刻設されている。
V溝2には光ファイバが嵌合固定される。シリコン基板
1の表面に被着形成される電極3からリード端子31が
延伸して一体に被着形成されている。4は異方性エッチ
ングにより刻設される環状凹溝である。この環状凹溝で
あるV溝4は、リード端子31が延伸形成される領域を
除いて、電極3周囲をほぼ包囲する形状寸法に刻設形成
される。端面発光素子或は受光素子5は、その下面に形
成される端子側電極51を介してシリコン基板1表面に
被着形成される電極3にハンダ付けされる。端面発光素
子としてはレーザダイオード或は発光ダイオードの如き
素子が使用される。受光素子としてはホトトランジスタ
の如き光電変換素子が使用される。
【0009】電極3に端面発光素子5の端子側電極51
をハンダ付けして図1における端面発光素子5の右端面
から光を放射する場合、光ファイバ先端に取り付けられ
た受光素子の受光面を端面発光素子5の右端面に対向し
てV溝2に嵌合して取り付ける。この様にして端面発光
素子と受光素子の間に光結合を形成し、両者間において
光信号の送受信をすることができる。基板表面の電極3
表面に予備ハンダを施しておく。ハンダ付け処理した後
の凝固したハンダ6の一部は、シリコン基板の電極3と
端子側電極51との間から流出して凝固ハンダ61とな
る。
【0010】ここで、この実施例においては、シリコン
基板1表面に形成される電極3は、その面積を端面発光
素子或は受光素子5下面に形成される端子側電極51の
面積より一回り小さく形成される。即ち、環状V溝4は
リード端子31が延伸形成される領域を除いて電極3周
囲全体をほぼ包囲する環状に刻設形成し、この電極3の
面積をこれにハンダ付けされるべき素子5の端子側電極
51の面積より一回り小さく小さく形成し、素子5の端
子側電極51の周縁部が電極3周囲をオーバーハングし
た状態に相互位置決めする。この状態においてダイボン
ダー装置を適用してハンダ付け実装する。
【0011】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、環状
V溝4はリード端子31が延伸形成される領域を除いて
電極3周囲全体をほぼ包囲する環状に刻設形成し、この
電極3の面積をこれにハンダ付けされるべき端面発光素
子或は受光素子5の端子側電極51の面積より一回り小
さく小さく形成し、素子5の端子側電極51の周縁部が
電極3周囲をオーバーハングした状態に相互位置決めし
てダイボンダー装置を適用し、ハンダ付け実装するもの
である。このハンダ付け実装に際して、加熱加圧する結
果、必然的に端子側電極51と電極3の間から溶融した
ハンダが流出するのであるが、この流出ハンダは端面発
光素子或は受光素子5の端子側電極51のオーバーハン
グした周縁部により流路を制限されて環状V溝4に流下
することとなって、ここに凝固ハンダ61を形成する。
この結果、端面発光素子或は受光素子5の光を送受する
端面間に凝固ハンダ61が形成存在してこれにより伝送
される光が遮光されることはなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例を説明する図。
【図2】従来例を説明する図。
【符号の説明】
1 シリコン基板 2 V溝 3 電極 31 リード端子 4 環状凹溝 5 端面発光素子或は受光素子 51 端子側電極

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリコン基板表面に被着形成される電極
    に端面発光素子或は受光素子下面に形成される端子側電
    極をハンダ付け実装する光結合部品において、 シリコン基板表面に形成される電極はその面積を端面発
    光素子或は受光素子下面に形成される端子側電極の面積
    より一回り小さく形成され、 電極のリード端子が延伸形成される領域を除いて電極周
    囲全体をほぼ包囲する環状凹溝をシリコン基板1表面に
    形成したことを特徴とする光結合部品。
  2. 【請求項2】 シリコン基板表面に被着形成される電極
    に端面発光素子或は受光素子下面に形成される端子側電
    極をハンダ付け実装する光結合部品の製造方法におい
    て、 シリコン基板表面に異方性エッチングにより光ファイバ
    を嵌合固定するV溝を刻設すると共に環状凹溝を刻設
    し、 環状凹溝に包囲されるシリコン基板表面に電極を被着形
    成し、 電極の面積より一回り大きく形成される端子側電極を下
    面に形成される端面発光素子或は受光素子を準備し、 端子側電極の周縁部が電極周囲をオーバーハングした状
    態に相互位置決めしてハンダ付け実装することを特徴と
    する光結合部品の製造方法。
JP7278853A 1995-10-26 1995-10-26 光結合部品およびその製造方法 Pending JPH09120019A (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0272573U (ja) * 1988-11-18 1990-06-01
JPH07174941A (ja) * 1993-12-17 1995-07-14 Nec Corp 光通信用光学素子結合モジュールおよびその製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0272573U (ja) * 1988-11-18 1990-06-01
JPH07174941A (ja) * 1993-12-17 1995-07-14 Nec Corp 光通信用光学素子結合モジュールおよびその製造方法

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Effective date: 20020730