JPH09115685A

JPH09115685A - Ｘ線発生装置および該ｘ線発生装置を用いたｘ線検査装置

Info

Publication number: JPH09115685A
Application number: JP7273108A
Authority: JP
Inventors: Masami Tomizawa; 雅美富澤; Sumiko Kominato; 須美子小湊; Kouji Hinaga; 宏治比永; Muneya Hirota; 統也広田; Kiichiro Uyama; 喜一郎宇山
Original assignee: Toshiba FA Systems Engineering Corp
Current assignee: Toshiba FA Systems Engineering Corp
Priority date: 1995-10-20
Filing date: 1995-10-20
Publication date: 1997-05-02

Abstract

(57)【要約】【課題】Ｘ線量の変動が少なく、高電圧部の突発的放
電により故障することが少なく、他の機器への影響を与
えることの少ないＸ線発生装置および該Ｘ線発生装置を
組み込んだＸ線検査装置を提供する。【解決手段】交流電源１１の出力は整流・平滑手段１
で直流化され、直流定電圧安定化手段２で残存リップル
が消去され、スイッチング手段３で高速スイッチングさ
れて交流化され、昇圧手段４で管電圧に昇圧される。更
に整流・平滑手段５で直流かされＸ線管６に印加されＸ
線が発生する。印加される管電圧はフィードバックさ
れ、管電圧制御手段７によりスイッチング手段３が制御
され管電圧が制御される。従って、交流電源に起因する
リップルは高電圧に昇圧される以前に、また、管電圧制
御ループの以前に消去されるので、十分に消去され、殆
ど残存しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線発生装置およ
び該Ｘ線発生装置を用いたＸ線検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線を用いた検査装置には、２次元Ｘ線
検出器を用いて被検体の透過画像を得るＸ線検査装置
（Ｘ線テレビ）や、１次元のＸ線検出器を用いてＸ線ビ
ーム中を被検体を透過させることで透過画像を得るＸ線
検査装置（Ｘ線ラインセンサ）やや、被検体の断面像を
得るＸ線検査装置（ＣＴスキャナ）や、ペンシル状のＸ
線で被検体をスキャンし散乱されるＸ線を測定して散乱
線画像を作るＸ線検査装置などがある。

【０００３】いずれのＸ線検査装置においても、Ｘ線の
線質および線量の変動が透過画像，断面像，散乱線画像
等に大きく影響する。その影響の形態は、例えば、Ｘ線
イメージインテンシファイア（Ｘ線Ｉ．Ｉ．）などの２
次元の撮像系ではモニタに表示された画像の輝度の変動
として表れ、Ｘ線ラインセンサなどの１次元の撮像系で
はその１次元情報を順次並べて２次元の画像とする場合
にその画像に１次元情報の輝度変動による縞状の輝度む
らの発生として表れ、Ｘ線ＣＴスキャナではＣＴ画像へ
の様々なアーティファクト（偽像）の発生として表れ
る。

【０００４】これらの影響は、いずれも検査の確からし
さを低下させたり、画像を見にくくしたりし、その影響
はＸ線の検出周期が短いほど大きくなる。従って、Ｘ線
の線質および線量を安定化させることが重要であり、そ
のためにはＸ線発生に用いているＸ線管の管電圧および
管電流を安定化させればよい。

【０００５】図１６は、この安定化を行なうための従来
のＸ線発生装置の構成例を示す図であり、図１６に基づ
いて構成および作用を説明する。

【０００６】図１６に示すように、商用電源１１は整流
・平滑回路２１により整流および平滑されて直流（Ｄ
Ｃ）電圧となる。このＤＣ電圧をスイッチング回路２３
によりスイッチングし、トランスにより構成される昇圧
回路３１に供給し昇圧する。この昇圧されたＡＣ電圧を
コッククロフト・ウォルトン回路などにより構成される
整流・平滑回路３２によりＤＣの高電圧（これが管電
圧）に変換し、Ｘ線管３３に供給する。

【０００７】この管電圧は高い抵抗値を有する抵抗器か
らなる第１管電圧分圧回路３４および該第１管電圧分圧
回路３４より低い抵抗値を有する抵抗器からなる第２の
管電圧分圧回路２４により分圧され、管電圧制御回路２
５にフィードバックされる。管電圧制御回路２５は、こ
のフィードバック電圧が所望の管電圧を得るための電圧
となるように必要に応じて整流・平滑回路２１およびス
イッチング回路２３のいずれか一方または両方を制御す
る。例えば、整流・平滑回路２１の整流回路が単なる整
流素子により構成される場合はスイッチング回路２３だ
けを例えばパルス幅変調制御（ＰＷＭ制御）し、また、
整流・平滑回路２１の整流回路がサイリスタなどのスイ
ッチング可能な整流素子からなる場合はこの整流素子を
制御する。

【０００８】一方、管電流はＸ線管３３のアノードに流
れる電流を整流・平滑回路３２を経由して測定され、そ
の電流が管電流制御回路２７にフィードバックされる。
管電流制御回路２７はそのフィードバックされる電流値
が所望値となるようにフィラメントへ供給する電力を制
御する。この制御は管電圧の制御とは独立に行なわれ
る。管電流制御回路２７から供給された電力はトランス
により構成される絶縁・変圧回路３６によりＸ線管３３
のフィラメントに供給され、Ｘ線管の管電流が制御され
る。なお、４１はＸ線オン・オフ入力回路であり、４２
はＸ線オン・オフ制御回路である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線発生装置には次のような問題点があった。

【００１０】整流・平滑回路２１のＤＣ出力電圧の
ピーク値は、商用電源１１のピーク電圧から整流回路に
よる降下電圧を減じた値にほぼ等しい電圧であるか、ま
たは、整流回路にサイリスタ等のスイッチング可能な整
流素子を用いた場合には数十から２００Ｖ程度の電圧で
あるが、いずれの場合も商用電源１１を全波整流する場
合にはその２倍の周波数の電圧リップルがある。

【００１１】このＤＣ出力電圧は、スイッチング回路２
３により数十ｋ〜数百ｋＨｚでスイッチングした後、昇
圧回路３１，整流・平滑回路３２で高圧直流電圧に変換
され、この電圧は管電圧制御回路２５にフィードバック
されてＰＷＭ制御でスイッチング回路２３のパルス幅を
変えることで一定になるように制御される。本来なら整
流・平滑回路２１で生じた商用周波数の２倍のリップル
もこの制御により消去されるはずであるが、従来の装置
では、この制御ループが長いために制御の時間応答が悪
くなり、最終出力までリップルが残存してしまう。即
ち、従来の装置の第１の問題点は管電圧にリップルが残
る点である。

【００１２】管電圧に含まれるリップル電圧による
管電圧の上昇・下降に伴い、管電流は管電圧とは独立に
制御されるため管電流の制御がこの管電圧の変動に追従
できない場合は管電流も上昇・下降してしまう。従っ
て、管電圧に含まれるリップル電圧は管電圧と管電流の
両方に影響し、Ｘ線量の変動をより大きくしてしまう、
という第２の問題点がある。

【００１３】Ｘ線管３３，昇圧回路３１，整流・平
滑回路３２およびそれらの間の接続部などの高電圧部に
おいて突発的に放電することがあるが、これを予知する
ことは難しい。これらの部分が放電した場合、管電流の
フィードバック値は揺動し（ＣＲＴ画面上に表示した場
合の揺れ動き）、過渡的なピークが生じ、管電圧制御回
路２５や管電流制御回路２７などを壊してしまうことが
ある、という第３の問題点がある。

【００１４】従来のＸ線発生装置は、Ｘ線制御部１
０４と電力制御部１０２と高電圧・Ｘ線発生部１０３と
の３つの筐体に分離して各構成要素が実装されていて、
各筐体間はコネクタを用いてケーブルで接続されてい
た。

【００１５】スイッチング回路２３と昇圧回路３１を接
続するケーブルには高周波の大電流が流れることにな
り、この電流がＸ線発生装置と組合せて使用するＸ線検
出器（図示せず）に影響を与え画質を低下させる場合が
あった。第４の問題点は筐体間を結ぶケーブルが検出器
等に影響を与える点である。

【００１６】従来のＸ線検査装置は使用しているＸ
線発生装置に前述の問題があるため、画像に輝度の変動
や輝度むら或いはアーチファクトの発生が起り、画質が
低下することがあった。

【００１７】そこで、本発明の目的は、Ｘ線量の変動の
少なく、高電圧部の突発的放電により故障することが少
なく、他の機器へ影響を与えることが少ないＸ線発生装
置を提供することであり、また、前記のＸ線発生装置を
組み込んだ画質が高品位であり、放電による故障が少な
く、他の機器への影響の少ないＸ線検査装置を提供する
ことである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、交流を整流・平滑して直流を
出力する第１整流・平滑手段と、該第１整流・平滑手段
の直流出力を昇圧し安定化する直流定電圧安定化手段
と、該直流定電圧安定化手段の直流出力をスイッチング
するスイッチング手段と、該スイッチング手段によりス
イッチングされた出力を昇圧する昇圧手段と、該昇圧手
段のスイッチング出力を整流・平滑して直流を出力する
第２整流・平滑手段と、該第２整流・平滑手段の出力が
印加されるＸ線管と、該Ｘ線管に印加される管電圧をフ
ィードバックして前記スイッチング手段を制御すること
により前記管電圧を制御する管電圧制御手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００１９】請求項１記載の発明の作用を説明する。図
７は請求項１のクレーム対応図である。図７に示すよう
に、交流電源１１の交流出力は第１整流・平滑手段１で
直流になり、この直流は直流定電圧安定化手段２で残存
するリップルが消去され、次にスイッチング手段３で高
速にスイッチングされ交流化され昇圧手段４で管電圧に
まで昇圧され、次に第２整流・平滑手段５で直流化され
Ｘ線管６に印加されＸ線管６からＸ線が発生する。

【００２０】印加される管電圧はフィードバックされ、
管電圧制御手段７によりスイッチング手段３が制御され
管電圧が制御される。

【００２１】以上のように交流電源に起因するリップル
は高電圧に昇圧される前に、また管電圧制御ループの前
に消去されるので十分に消去され殆ど残存しない。ここ
に、管電圧制御ループは径路が長くなりリップルを消去
するほど高速制御はできない。また、スイッチングの周
波数は数十ｋＨｚ以上と高周波であるので第２整流・平
滑手段の後に残るこの周波数のリップルは、商用周波数
の場合と比べ非常に小さい。このようにリップルの少な
い安定したＸ線出力が得られる。

【００２２】また、前記直流定電圧安定化手段２では中
間電圧まで昇圧が行なわれるので、スイッチング手段３
やスイッチング手段３から昇圧手段５間のケーブルに流
れる電流が減少でき使用する部品定格を下げられる。ま
た、ケーブルが他機器に与える影響を少なくできるとい
う利点がある。

【００２３】また、請求項２記載の発明は、直流をスイ
ッチングするスイッチング手段と、該スイッチング手段
のスイッチング出力を昇圧する昇圧手段と、該昇圧手段
の出力を整流・平滑する整流・平滑手段と、該整流・平
滑手段の出力が印加されるＸ線管と、前記スイッチング
手段のスイッチング出力のパルス幅を変化させ、前記Ｘ
線管に印加する管電圧を制御する管電圧制御手段と、前
記Ｘ線管を流れる管電流を制御する管電流制御手段とを
備えたＸ線発生装置において、前記管電流制御手段は、
前記スイッチング手段のスイッチング周期と同一周期で
あり、異なる位相でスイッチングを行なう第２スイッチ
ング手段を備えたことを特徴とする。

【００２４】請求項２記載の発明の作用を説明する。図
８は請求項２のクレーム対応図である。図８に示すよう
に、交流を整流・平滑することによって得られた直流電
圧はスイッチング手段３でスイッチングされて交流化さ
れ、昇圧手段４で管電圧にまで昇圧され、次に整流・平
滑手段５で直流化されＸ線管６に印加され該Ｘ線管６か
らＸ線が発生する。

【００２５】Ｘ線管６に印加される管電圧はフィードバ
ックされ管電圧制御手段７によりスイッチング手段３の
スイッチングのパルス幅が制御され管電圧が制御され
る。

【００２６】また、管電流はフィードバックされ管電流
制御手段８で管電圧のスイッチングと同一周期かつ異な
る位相でスイッチングを行なうことで管電流が制御され
る。

【００２７】管電圧制御のスイッチングに起因する整流
・平滑後の残存管電圧リップルと管電流制御のスイッチ
ングに起因する管電流リップルとが位相が一致してＸ線
強度が強めあうことがないのでリップルの少ない安定し
たＸ線出力が得られる。

【００２８】また、請求項３記載の発明は、直流電圧を
スイッチングするスイッチング手段と、該スイッチング
手段によりスイッチングされた出力を昇圧する昇圧手段
と、該昇圧手段の出力を整流・平滑する整流・平滑手段
と、該整流・平滑手段の出力が印加されるＸ線管と、該
Ｘ線管に印加される管電圧をフィードバックして制御す
る管電圧制御手段とを備えたＸ線発生装置において、前
記管電圧制御手段にフィードバックされる管電圧の信号
電流を分流する管電圧分流手段を備えたことを特徴とす
る。

【００２９】請求項３記載の発明の作用を説明する。図
９は請求項３のクレーム対応図である。交流を整流・平
滑することによって得られた直流電圧はスイッチング手
段３でスイッチングされ交流化されて、昇圧手段４で管
電圧にまで昇圧され次に整流・平滑手段５で直流化され
Ｘ線管６に印加され該Ｘ線管６でＸ線が発生する。

【００３０】印加される管電圧はフィードバックされ管
電圧制御手段７によりスイッチング手段３が制御され管
電圧が制御される。フィードバックされる管電圧の信号
電流ｉ₁は管電圧分流手段１０により分流され分流され
なかった分ｉ₂が管電圧制御手段７にフィードバックさ
れる。

【００３１】高電圧部に突発的な放電が生じたとき信号
電流ｉ₁に過渡的なピークが生じるがこのピーク電流の
多くは管電圧分流手段１０により分流側に流されｉ₂の
ピークは抑えられる。これにより管電圧制御手段７が壊
されることが少なくなる。

【００３２】また、請求項４記載の発明は、直流電圧を
スイッチングするスイッチング手段と、該スイッチング
手段によりスイッチングされた出力を昇圧する昇圧手段
と、該昇圧手段の出力を整流・平滑する整流・平滑手段
と、該整流・平滑手段の出力が印加されるＸ線管と、該
Ｘ線管への印加により流れる管電流をフィードバックし
て制御する管電流制御手段とを備えたＸ線発生装置にお
いて、前記管電流制御手段にフィードバックされる管電
流の信号電流を分流する管電流分流手段を備えたことを
特徴とする。

【００３３】請求項４記載の発明の作用を説明する。図
１０は請求項４のクレーム対応図である。交流電源を整
流・平滑することによって得られた直流電圧はスイッチ
ング手段３でスイッチングされ交流化されて、昇圧手段
４で管電圧にまで昇圧され、次に整流・平滑手段５で直
流化されＸ線管６に印加され該Ｘ線管６でＸ線が発生す
る。

【００３４】管電流はフィードバックされ管電流制御手
段８により、Ｘ線管６に供給するフィラメント電力を制
御することでこの管電流が制御される。フィードバック
される管電流の信号電流ｉ₀は管電流分流手段１３によ
り分流され、分流されなかった分ｉ₅が管電流制御手段
８にフィードバックされる。

【００３５】高電圧部に突発的な放電が生じたとき信号
電流ｉ₀に過渡的なピークが生じるが、このピーク電流
の多くは管電流分流手段１３により分流側に流されｉ₅
のピークは抑えられる。これにより管電流制御手段８が
壊されることが少なくなる。

【００３６】また、請求項５記載の発明は、少なくと
も、直流出力を昇圧し安定化する直流電圧安定化手段
と、該直流電圧安定化手段の出力をスイッチングするス
イッチング手段と、該スイッチング手段の出力を昇圧す
る昇圧手段と、該昇圧手段の出力を整流・平滑する整流
・平滑手段と、該整流・平滑手段の出力が印加されるＸ
線管と、該Ｘ線管に印加される管電圧を制御する管電圧
制御手段と、前記Ｘ線管を流れる管電流を制御する管電
流制御手段とを備え、前記の各構成要素は同一筐体に全
て収容されてなることを特徴とする。

【００３７】請求項５記載の発明の作用を説明する。図
１１は請求項５のクレーム対応図である。直流電圧安定
化手段２とスイッチング手段３と昇圧手段４と整流・平
滑手段５とＸ線管６と管電圧制御手段７と管電流制御手
段７とを同一筐体に配置することにより、スイッチング
手段３と昇圧手段４の間のケーブルとコネクタを廃止で
き高周波大電流の影響を他の機器に与えにくくなる。

【００３８】また、請求項６記載の発明は、第１整流・
平滑手段に代えて直流を発生する直流発生手段を備え、
該直流発生手段の出力を入力する入力端を備え、該入力
端からの入力を電源とすることを特徴とする。

【００３９】請求項６記載の発明の作用を説明する。請
求項１における第１整流・平滑手段１（図７参照）の代
りに直流発生手段（電池あるいは直流発電手段）の出力
を入力する入力端を付けることで、商用の交流電源を用
いずに使用できるＸ線発生装置となる。

【００４０】また、請求項７記載の発明は、請求項１乃
至請求項７に記載のいずれかのＸ線発生装置と、該Ｘ線
発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線ビームを受
けるように配置された２次元の空間分解能をもつ放射線
の検出手段と、前記Ｘ線ビーム中に被検体を位置決めす
る位置決め手段と、前記検出手段の出力から被検体の透
過像を作成する画像化手段とを備えたことを特徴とす
る。

【００４１】請求項７記載の発明の作用を説明する。図
１２は請求項７のクレーム対応図である。図１２に示す
ように、Ｘ線発生装置１２から発生されたＸ線は被検体
１４を透過し放射線の検出手段１３ａで検出される。位
置決め手段１５はＸ線ビーム中に被検体１４を位置決め
する。画像化手段１６ａは被検体の透過像を画像化す
る。

【００４２】また、請求項８記載の発明は、請求項１乃
至請求項７に記載のいずれかのＸ線発生装置と、該Ｘ線
発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線の内のファ
ン状のＸ線ビームを受けるように配置された１次元の空
間分解能をもつ放射線の検出手段と、前記Ｘ線ビームを
被検体が横切るように前記Ｘ線管と放射線の検出手段と
被検体の相対的走査を行なう走査手段と、該走査手段に
よる走査の間の前記放射線検出手段の出力から被検体の
透過像を作成する画像化手段とを備えたことを特徴とす
る。

【００４３】請求項８記載の発明の作用を説明する。図
１３は請求項８のクレーム対応図である。図１３に示す
ように、Ｘ線発生装置１２から発生されたＸ線は被検体
１４を透過し検出手段１３ｂで検出される。走査手段１
７ａはＸ線ビームを被検体１４が横切るようにＸ線発生
装置１２が備えたＸ線管と検出手段１３ｂと被検体１４
との相対的走査を行う。画像化手段１６ｂは被検体１４
の透過像を画像化する。

【００４４】また、請求項９記載の発明は、請求項１乃
至請求項７に記載のいずれかのＸ線発生装置と、該Ｘ線
発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線ビームを受
け、空間分解能をもって検出する検出手段と、前記Ｘ線
管と検出手段と被検体に相対的位置変位を与える走査を
行なう走査手段と、前記走査の間に前記検出手段の出力
として得た被検体の様々な方向からの透過データを処理
して被検体の断面像を再構成する再構成手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００４５】請求項９記載の発明の作用を説明する。図
１４は請求項９のクレーム対応図である。図１４に示す
ように、Ｘ線発生装置１２から発生されたＸ線は被検体
１４を透過し検出手段１３ｃで検出される。走査手段１
７ｂはＸ線発生装置１２が備えたＸ線管と検出手段１３
ｃと被検体１４に相対的位置変化を与える走査を行う。
再構成手段１６ｃは前記走査の間に得た被検体１４の透
過データに基づき被検体１４の断面像を再構成する。

【００４６】また、請求項１０記載の発明は、請求項１
乃至請求項７に記載のいずれかのＸ線発生装置と、該Ｘ
線発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線を被検体
全体を覆わない大きさのＸ線ビームに限るコリメータ手
段と、前記Ｘ線ビームと被検体に相対的位置変位を与え
走査を行なう走査手段と、前記走査の間にＸ線ビームが
被検体に当って生じる散乱Ｘ線を受け検出する散乱Ｘ線
検出手段と、該散乱Ｘ線検出手段の出力から被検体の散
乱線像を作る画像化手段とを備えたことを特徴とする。

【００４７】請求項１０記載の発明の作用を説明する。
図１５は請求項１０のクレーム対応図である。図１５に
示すように、コリメータ手段１９はＸ線発生装置１２が
備えたＸ線管から発生されるＸ線を被検体１４全体を覆
わないようにＸ線ビームを限る。走査手段１７ｃはＸ線
ビームと被検体１４に相対的位置変化を与える走査を行
う。Ｘ線発生装置１２から発生されたＸ線は、前記走査
の間にＸ線ビームが被検体１４に当って散乱Ｘ線を生じ
る。散乱Ｘ線は被検体１４を透過し検出手段１３ｄで検
出される。画像化手段１６ｃは検出手段１３ｄの出力に
基づき被検体１４の散乱線像を作成する。

【００４８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態例
に基づいて説明する。なお、既に説明した部分には同一
符号を付し、重複記載を省略する。

【００４９】（１）第１実施形態例本実施形態例は請求項１乃至請求項４に対応する。図１
は、本発明の第１実施形態例の構成を示すブロック図で
ある。なお、図１において、太線で囲んだ部分（例え
ば、ＤＣ定電圧安定化回路２２）が従来例に比し、新規
に追加した部分である。

【００５０】商用の交流電源１１（２００Ｖ）は、整流
・平滑回路２１により整流および平滑されて直流（Ｄ
Ｃ）電圧（約２００Ｖ）となる。このＤＣ電圧には商用
電源１１の２倍の周波数の電圧リップルを含む。このＤ
Ｃ電圧を１００ｋＨｚ程度でスイッチングする公知のＤ
Ｃ／ＤＣ変換器から構成されるＤＣ定電圧安定化回路２
２により商用電源１１の２倍の周波数の電圧リップルも
抑制し、かつ４００Ｖ程度の一定電圧に安定化する。こ
の安定化されたＤＣ電圧をスイッチング回路２３により
スイッチングし、昇圧回路３１に供給し昇圧する。

【００５１】この昇圧されたＡＣ電圧を整流・平滑回路
３２により約１００ｋＶ〜４００ｋＶのＤＣの高電圧
（管電圧）に変換しＸ線管３３に管電圧として供給す
る。この管電圧は第１の管電圧分圧回路３４と管電圧分
流回路３７および第２の管電圧分圧回路２４により分圧
されて、管電圧制御回路２５にフィードバックされる。
管電圧制御回路２５はそのフィードバック電圧が所望の
電圧となるようにスイッチング回路２３をパルス幅変調
（ＰＷＭ）制御する。

【００５２】前述のＤＣ定電圧安定化回路２２は４００
Ｖ程度という整流・平滑回路２１の出力と比較し高い電
圧に安定化された一定電圧を供給するので、スイッチン
グ回路２３および昇圧回路３１の一次側の電流は昇圧回
路３１に同じ電力を供給する場合には小さな電流値でよ
い。例えば、従来スイッチング回路２３には最大でも２
００Ｖ程度の電圧が供給されていたことに比較して、本
実施形態例の供給電圧が２倍であるため、スイッチング
回路２３および昇圧回路３１の一次側の電流は従来の１
／２でよい。

【００５３】しかし、スイッチング回路２３および昇圧
回路３１の一次側の電圧が高いほどスイッチング回路２
３のスイッチング損失と、そのスイッチングに起因する
高調波ノイズが増加する、という問題点があるので、必
要に応じてスイッチング回路２３と昇圧回路３１との間
にチョークコイルを挿入し、これらの間の電流波形の立
ち上がり・立ち下がり時間を制限することによりこの問
題点を解決する。

【００５４】一方、管電流は、Ｘ線管３３のフィラメン
トに供給する電力を制御することにより制御される。フ
ィラメントに電力を供給する管電流制御回路２７はＤＣ
電圧をスイッチングし、その出力が絶縁・変圧回路３６
を経由してＸ線管３３のフィラメントに供給される。Ｘ
線管３３のアノードに流れる管電流は整流・平滑回路３
２を経由して抵抗器により構成される管電流分流回路３
５とＩＶ変換回路２６により管電流制御回路２７へフィ
ードバックされる。管電流制御回路２７はそのフィード
バックされた値が所望の値となるように出力をパルス幅
変調（ＰＷＭ）制御する。

【００５５】従来、この管電流を制御するためのＰＷＭ
制御は管電圧の制御とは相関なく行なわれているが、本
実施形態例では、管電流制御回路２７のスイッチング周
波数を管電圧制御用のスイッチング回路２３のスイッチ
ング周波数と等しい周波数とし、管電圧制御用のスイッ
チング回路２３がスイッチをオフした後にフィラメント
駆動回路２８はスイッチをオンする。従って、管電圧と
管電流とは互いにリップルを相殺するように作用し、そ
の結果、Ｘ線管３３から照射されるＸ線量もリップルを
低減され、安定化するように制御される。

【００５６】図１において、各構成要素は電力制御部１
０２Ａと、高電圧・Ｘ線発生部１０３Ａと、Ｘ線制御部
１０４とに分けてそれぞれ筐体に納められ、それぞれの
筐体はケーブルとコネクタで接続される。

【００５７】次に、図２（ａ），（ｂ）を参照して管電
圧のフィードバック径路を詳細に説明する。ここに、図
２（ａ）は従来例の場合であり、図２（ｂ）は本実施形
態例の場合である。

【００５８】図２（ａ）の従来例では、管電圧−Ｖは、
管電圧分圧回路３４と管電圧分圧回路２４との構成要素
である抵抗Ｒ₁，Ｒ₂により分圧されて−Ｖ_vとなり管
電圧制御回路２５にフィードバックされる。ここでＶ_v＝Ｒ₂／（Ｒ₁＋Ｒ₂）［Ｖ］であり、管電圧の信号電流ｉ₁は（分流されないので）
管電圧制御回路側の信号電流ｉ₂と同じである。

【００５９】図２（ｂ）の本実施形態例では、管電圧分
流回路３７が追加される。これはフィードバック径路に
抵抗Ｒ₄を付加し、Ｒ₄の源流側に抵抗Ｒ₃を介して分
流路を接続するものである。管電圧の信号電流ｉ₁は分
流側にｉ₃だけ流れるので管電圧制御回路２５側の信号
電流ｉ₂は［ｉ₁−ｉ₃］の値となる。今の場合、抵抗
の値はＲ₃＝Ｒ₂＋Ｒ₄となるように選択してあるの
で、ｉ₂とｉ₃とは等しくなり、ｉ₂はｉ₁／２の値と
なる。

【００６０】なお、図２（ａ），（ｂ）において、Ｌ₁
はケーブル（や配線）のインダクタンスを示す。

【００６１】次に図２（ａ），（ｂ）を参照して、放電
発生時の管電圧フィードバック径路の作用を説明する。
図２（ａ）の従来例の場合、高電圧部で突発的な放電が
生じると高電圧に揺動が生じ管電圧信号電流ｉ₁に過渡
的なピークが生じ、この電流が（分流されないので）そ
のままＲ₂を流れＶ_vにピークが生じ管電圧制御回路２
５が壊されることが起きる。

【００６２】図２（ｂ）の本実施形態例の場合、信号電
流ｉ₁に過渡的なピークが生じた場合、ｉ₁のピークは
ケーブルのインダクタンスＬ₁があるため、信号電流ｉ
₂とｉ₃に均等に配分されず、ｉ₃に多く配分される。
このためｉ₂のピークは抑えられ、Ｖ_vのピークもおさ
れられ、管電圧制御回路２５が壊されることが少なくな
る。

【００６３】なお、管電圧分流回路３７では分流路を作
るＲ₃が重要でＲ₄は本質的でない。また、ケーブル
（や配線）のインダクタンスＬ₁も重要な役目をする。
Ｌ₁が小さな場合は管電圧分流回路３７の構成要素とし
て新たなインダクタンスＬを追加してもよいが、インダ
クタンスＬが大きくなりすぎると制御の応答性が悪くな
る。

【００６４】次に、図３（ａ），（ｂ）を参照して管電
流のフィードバック径路を詳細に説明する。ここに、図
３（ａ）は従来例の場合であり、図２（ｂ）は本実施形
態例の場合である。

【００６５】図３（ａ）の従来例の場合、管電流の信号
電流（管電流そのもの）ｉ₀はＩＶ変換回路２６の構成
要素である抵抗Ｒ₅を流れるよう配線されている。抵抗
Ｒ₅を流れる電流ｉ₅は（分流されていないので）ｉ₀
と同じであり、この電流によりＲ₅の一端に−Ｖ_iのＶ_i＝−ｉ₀×Ｒ₅ 電圧が生じ管電流制御回路２５にフィードバックされ
る。

【００６６】図３（ｂ）の本実施形態の場合、管電流分
流回路３５が追加される。これはフィードバック径路を
抵抗Ｒ₆でショートさせる回路でこれを分流路とするも
のである。管電流の信号電流ｉ₀は分流側にｉ₆だけ流
れるので管電流制御回路側（のＩＶ変換回路）の信号電
流ｉ₅は［ｉ₀−ｉ₆］の値となる。今の場合、抵抗の
値はＲ₅＝Ｒ₆にしてあるので、ｉ₅とｉ₆は等しくな
り、ｉ₅はｉ₀／２の値となる。

【００６７】なお、図３（ａ），（ｂ）において、
Ｌ₂，Ｌ₃はケーブル（や配線）のインダクタンスを示
す。

【００６８】次に、図３（ａ），（ｂ）を参照して放電
発生時の管電流フィードバック径路の作用を説明する。

【００６９】図３（ａ）の従来例の場合には、高電圧部
で突発的な放電が生じると、管電流信号電流ｉ₀に揺動
が生じ、過渡的なピークが生じ、この電流が（分流され
ないので）そのままＲ₅を流れ、Ｖ_iにピークが生じ管
電流制御回路２７が壊されることが起きる。

【００７０】図３（ｂ）の本実施形態例の場合には、ｉ
₀に過渡的なピークが生じた場合、ｉ₀のピークはケー
ブルのインダクタンスＬ₂，Ｌ₃があるためｉ₅とｉ₆
に均等に配分されず、ｉ₆に多く配分される。このため
ｉ₅のピークは抑えられ、Ｖ_iのピークも抑えられ管電
流制御手段２７が壊されることが少なくなる。

【００７１】なお、インダクタンスＬ₂，Ｌ₃が小さな
場合は管電流分流回路３５の構成要素として新たなイン
ダクタンスＬを追加してもよいがインダクタンスＬが大
きくなりすぎると制御の応答性が悪くなる。

【００７２】次に、図４に基づいて管電流の制御径路を
詳細に説明する。管電流制御回路２７は、差動アンプ２
７ａとその出力が入力される第２のスイッチング回路２
７ｂとで構成されている。差動アンプ２７ａにはＩＶ変
換回路２６からの管電流フィードバック値−Ｖ_iとＸ線
オン／オフ制御回路４２（図１参照）からの管電流を所
望の値にするための−Ｖ_iの目標値が入力され、該作動
アンプ２７ａからはその差が出力される。スイッチング
回路２７ｂには第１のスイッチング回路２３（図１参
照）のスイッチングのクロック信号と同じ信号が入力さ
れ、これと同じ周波数で差動アンプ２７ａからの入力値
を用いてパルス幅変調されたパルス電圧が絶縁変圧回路
３６へ出力される。

【００７３】このパルス電圧は絶縁変圧回路３６経由で
カソード３３ｂのフィラメントを加熱して熱電子を変化
させ管電流を制御する。

【００７４】次に、図５を参照して管電流制御回路２７
のスイッチング回路２７ａの作用及びＸ線発生の作用を
説明する。

【００７５】管電圧制御のスイッチングと同一周期で
位相をほぼ１８０°ずらしたタイミングで、管電流制
御のスイッチングが行なわれる。これにより、管電圧
のリップルと、管電流のリップルは位相が約１８０°
ずれ、相補的となることでＸ線出力のリップルは少な
くなり安定したＸ線出力が得られる。

【００７６】次に本実施形態例の効果を列挙する。

【００７７】請求項１関連先ず、交流電源は整流・平滑された後、高電圧に昇圧さ
れる前に、また管電圧制御ループの前に、ＤＣ定電圧安
定化回路２２でリップルが消去されるので、該リップル
はよく消去されほとんど残存しない。なお、管電圧制御
ループは径路が長くなり、この（電源周波数の２倍の）
リップルを消去するほど高速制御はできない。従って、
リップルの少ない安定したＸ線出力が得られる。

【００７８】また、ＤＣ定電圧安定化回路２２で２００
Ｖから４００Ｖの中間電圧まで昇圧するので、スイッチ
ング回路２３と昇圧回路３１の一次側の電流が少なくで
き、使用する部品の定格が下げられ小型軽量になる。ま
た、パルス状電流の他の部分への影響が減少できる等の
利点がある。

【００７９】請求項２関連管電流の制御は従来は管電圧制御とは独立に行なわれて
いたが、本実施形態例では管電圧のスイッチングと同一
周期で位相をずらして管電流のスイッチングを行なうよ
うにしたのでＸ線出力は相補的となり、スイッチングに
起因するリップルの少ない安定したＸ線出力となる。

【００８０】請求項３，４関連高電圧部に突発的な放電が起きても故障することの少な
いＸ線発生装置となる。

【００８１】なお、図２〜図４はアノード接地型で描い
ているが、中点接地型でも適用できることは勿論であ
る。

【００８２】また、ＤＣ定電圧安定化回路２２の出力は
４００Ｖでなく、３００Ｖ〜６００Ｖの間のいずれの値
であってもよい。３００Ｖより小さい場合、上述の効果
が減少し（電流１／１．５）、メリットが小さくなる。
６００Ｖより大きい場合スイッチング回路２３の部品
（コンデンサ，スイッチングデバイス等）やケーブルや
コネクタの高電圧対応のものが必要となり、メリットが
なくなる（小型軽量にならない）。

【００８３】即ち、３００Ｖ〜６００Ｖへ昇圧すること
で高電圧対応の特別な部品を使用する必要がなく、また
実装が容易になり、かつ定電流定格の小型の部品が使用
できる利点がある。なお、ＪＩＳでは６００Ｖを越える
ＡＣ電圧、または７５０Ｖを越えるＤＣ電圧は高圧とし
て扱われ、部品及びその実装に対して高圧としての対処
が必要になる。

【００８４】（２）第２実施形態例本実施形態例は請求項５に対応する。本実施形態例と第
１実施形態例との相違点のみを記す。第１実施形態例は
電力制御部１０２と高電圧・Ｘ線発生部１０３とが別筐
体であったが、本実施形態例では１つの筐体にまとめら
れる。これによりケーブルとコネクタによる接続が廃止
され内部配線のみとなる。

【００８５】また、本実施形態例は、図６に示すように
管電圧分流回路３７，管電流分流回路３５内にインダク
タンスＬ₄，Ｌ₅，Ｌ₆が追加される。その理由は、電
力制御部１０２と高電圧・Ｘ線発生部１０３とを同一筐
体内に収容したため接続ケーブルが廃止され、該接続ケ
ーブルのインダクタンスが存在しなくなるのを補うため
である。

【００８６】本実施形態例の効果は、第１実施形態例の
効果に加え、スイッチング手段と昇圧手段の間のケーブ
ルとコネクタを廃止でき、高周波大電流の影響を他の機
器（及び本装置）に与え難くなることである。なお、Ｘ
線制御部１０４を上記１つの筐体へ収納することもでき
る。

【００８７】（３）第３実施形態例本実施形態例は請求項６に対応する。本実施形態例と第
１実施形態例との相違点は、整流・平滑回路２１が無い
点であり、外部電池あるいは直流発電手段の出力が直接
ＤＣ定電圧安定化回路２２に入力される点である。

【００８８】リップルを含まない電池の場合、ＤＣ定電
圧安定化回路２２の主な役目は、中間電位への昇圧と電
池の電位低下を補正することである。

【００８９】本実施形態例の効果は、第１実施形態例の
効果に加え、商用の交流電源を用いずに使用できるＸ線
装置となり、電源ケーブルを無くしたり、商用電源のな
い地域で使用できる等の利点がでる。

【００９０】なお、整流・平滑回路２１を残しておき、
ＤＣ定電圧安定化回路２２への入力側に切換スイッチを
設け、１台の装置で交流電源と直流電源の両方で使用で
きるようにすることも可能である。

【００９１】（４）第４実施形態例本実施形態例は請求項７に対応する。第１実施形態例の
Ｘ線発生装置を、２次元Ｘ線検出器を用いて被検体の透
過画像を得る公知のＸ線検査装置（Ｘ線テレビ）に組込
んだものである。上記のＸ線発生装置と発生するＸ線を
受けるＸ線Ｉ．Ｉ．（イメージインテンシファイア）と
その出力を撮るテレビカメラと表示用ＣＲＴとＸ線ビー
ム中で被検体を位置決めするＸ，Ｙ，θテーブルとを備
えている。

【００９２】本実施形態例の効果は、Ｘ線出力に周期変
動（リップル）があるとＣＲＴ上の透過画像に時間とと
もに動く縞文様があらわれ画面が見づらくなるが、本実
施形態例によればリップルのない安定したＸ線出力とな
り縞文様が生じない点である。

【００９３】なお、２次元Ｘ線検出器はＸ線Ｉ．Ｉ．で
なくてもよい。例えば２次元ＣＣＤセンサの表面にシン
チレータをつけたものでもよい。位置決めＸ，Ｙ，θは
被検体を動かさずＸ線発生装置とＸ線検出器を動かして
もよい。

【００９４】（５）第５実施形態例本実施形態例は請求項８に対応する。本実施形態例は、
第１実施形態例のＸ線発生装置を１次元Ｘ線検出器を用
いて被検体の透過画像を得る公知のＸ線検査装置（Ｘ線
ラインセンサ）に組込んだものである。

【００９５】上記のＸ線発生装置と、発生するＸ線を受
ける１次元Ｘ線検出器と、両者で形成されるファン状の
Ｘ線ファンビーム中で被検体を通過させるベルトコンベ
アと、１次元Ｘ線検出器の出力を収集して画像化するデ
ータ収集装置と、透過画像を表示するＣＲＴとを備えて
なる。

【００９６】本実施形態例の効果は、Ｘ線出力に周期変
動（リップル）があるとＣＲＴ上の透過画像に縞文様が
生じ画面が見づらくなるが、本実施形態例によればリッ
プルのない安定したＸ線出力となり縞文様が生じない。
なお、必ずしも被検体を動かす必要はなく、Ｘ線発生装
置，１次元Ｘ線検出器のどちらか、あるいは両方を動か
してもよい。

【００９７】（６）第６実施形態例本実施形態例は請求項９に対応する。本実施形態例は、
第１実施形態例のＸ線発生装置を公知のＣＴスキャナ
（コンピュータ断層撮影装）に組込んだものである。

【００９８】上記のＸ線発生装置と、発生するＸ線を受
ける１次元のＸ線の検出器と、両者で形成されるファン
状のＸ線ファンビーム中で被検体をファン面にそって並
進させ、またファン面に直角な軸で回転させる走査機構
と、上記の並進とステップ回転を繰り返しこの間の検出
器出力を収集し、被検体の１つの面の様々な方向からの
透過データを得、断面像を形成する再構成装置と、断面
像を表示するＣＲＴとを備えてなる。これはいわゆる第
２世代方式のＣＴスキャナである。

【００９９】本実施形態例の効果は、Ｘ線出力に周期変
動（リップル）があると、断面像上にモアレ状（斑点
状）のアーチファクト（偽像）が生じるが、本実施形態
例によればリップルのない安定したＸ線出力となり上記
のアーチファクトは生じない。なお、被検体を動かす代
わりにＸ線発生器と検出器を動かしてもよい。また、１
次元のＸ線の検出器でなく、２次元のものを用いてもよ
い。ＣＴスキャナの方式は２世代だけでなく他の方式に
も適用可能である。

【０１００】（７）第７実施形態例本実施形態例は請求項１０に対応する。本実施形態例
は、第１実施形態例のＸ線発生装置を公知の散乱線によ
る透視像を作成するＸ線検査装置に組込んだものであ
る。

【０１０１】上記のＸ線発生装置と、発生するＸ線を固
定スリットと、回転スリットを用いてフライングスポッ
トのペンシルビームとするビーム走査機構と、ペンシル
ビームの走査面を透過するように被検体を搬送するベル
トコンベアと、ペンシルビームが被検体に当って散乱す
る散乱線を受ける散乱線検出器と、この出力を収集して
画像化するデータ収集装置と、散乱線画像を表示するＣ
ＲＴとを備えてなる。

【０１０２】本実施形態例の効果は、Ｘ線出力に周期変
動（リップル）があると散乱線画像に縞文様が生じ画面
が見づらくなるが、本実施形態例によればリップルのな
い安定したＸ線出力となり縞文様が生じない。なお、被
検体が動く代わりにペンシルビームの走査を２次元で行
なうようにしてもよい。また、ペンシルビームは固定に
しておき被検体をＸ，Ｙ方向に動かしてもよい。

【０１０３】

【発明の効果】以上説明したように各請求項記載の発明
によれば、Ｘ線量の変動が少なくなり、他の機器へ影響
を与えることが少なくなり、突発的放電により故障する
ことが少なくなり、高品位な画質を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態例の構成を示すブロック
図である。

【図２】同第１実施形態例における管電圧のフィードバ
ック径路を従来例と比較しつつ説明する図である。

【図３】同第１実施形態例における管電流のフィードバ
ック径路を従来例と比較しつつ説明する図である。

【図４】同第１実施形態例における管電流の制御径路を
説明する図である。

【図５】同第１実施形態例における管電流制御回路のス
イッチング回路の作用及びＸ線発生の作用を説明する図
である。

【図６】本発明の第２の実施形態例の要部構成を示す図
である。

【図７】請求項１のクレーム対応図である。

【図８】請求項２のクレーム対応図である。

【図９】請求項３のクレーム対応図である。

【図１０】請求項４のクレーム対応図である。

【図１１】請求項５のクレーム対応図である。

【図１２】請求項８のクレーム対応図である。

【図１３】請求項９のクレーム対応図である。

【図１４】請求項１０のクレーム対応図である。

【図１５】請求項１１のクレーム対応図である。

【図１６】従来のＸ線発生装置のブロック図である。

【符号の説明】

１第１整流・平滑手段２直流定電圧安定化手段３スイッチング手段４昇圧手段５第２整流・平滑手段６Ｘ線管７管電圧制御手段８管電流制御手段９第２スイッチング手段１０管電圧分流手段１０Ａ管電流分流手段１０Ｂ筐体１１交流電源１２Ｘ線発生装置１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ検出手段１４被検体１５位置決め手段１６ａ，１６ｂ，１６ｃ画像化手段１７ａ，１７ｂ，１７ｃ走査手段１８再構成手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者比永宏治東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者広田統也東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者宇山喜一郎東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】交流を整流・平滑して直流を出力する第
１整流・平滑手段と、該第１整流・平滑手段の直流出力を昇圧し安定化する直
流定電圧安定化手段と、該直流定電圧安定化手段の直流出力をスイッチングする
スイッチング手段と、該スイッチング手段によりスイッチングされた出力を昇
圧する昇圧手段と、該昇圧手段のスイッチング出力を整流・平滑して直流を
出力する第２整流・平滑手段と、該第２整流・平滑手段の出力が印加されるＸ線管と、該Ｘ線管に印加される管電圧をフィードバックして前記
スイッチング手段を制御することにより前記管電圧を制
御する管電圧制御手段とを備えたことを特徴とするＸ線
発生装置。
【請求項２】直流出力をスイッチングするスイッチン
グ手段と、該スイッチング手段のスイッチング出力を昇
圧する昇圧手段と、該昇圧手段の出力を整流・平滑する
整流・平滑手段と、該整流・平滑手段の出力が印加され
るＸ線管と、前記スイッチング手段のスイッチング出力
のパルス幅を変化させ、前記Ｘ線管に印加する管電圧を
制御する管電圧制御手段と、前記Ｘ線管を流れる管電流
を制御する管電流制御手段とを備えたＸ線発生装置にお
いて、前記管電流制御手段は、前記スイッチング手段のスイッ
チング周期と同一周期であり、異なる位相でスイッチン
グを行なう第２スイッチング手段を備えたことを特徴と
するＸ線発生装置。
【請求項３】直流をスイッチングするスイッチング手
段と、該スイッチング手段によりスイッチングされた出
力を昇圧する昇圧手段と、該昇圧手段の出力を整流・平
滑する整流・平滑手段と、該整流・平滑手段の出力が印
加されるＸ線管と、該Ｘ線管に印加される管電圧をフィ
ードバックして制御する管電圧制御手段とを備えたＸ線
発生装置において、前記管電圧制御手段にフィードバックされる管電圧の信
号電流を分流する管電圧分流手段を備えたことを特徴と
するＸ線発生装置。
【請求項４】直流をスイッチングするスイッチング手
段と、該スイッチング手段によりスイッチングされた出
力を昇圧する昇圧手段と、該昇圧手段の出力を整流・平
滑する整流・平滑手段と、該整流・平滑手段の出力が印
加されるＸ線管と、該Ｘ線管への印加により流れる管電
流をフィードバックして制御する管電流制御手段とを備
えたＸ線発生装置において、前記管電流制御手段にフィードバックされる管電流の信
号電流を分流する管電流分流手段を備えたことを特徴と
するＸ線発生装置。
【請求項５】少なくとも直流を昇圧し安定化する直流
電圧安定化手段と、該直流電圧安定化手段の出力をスイッチングするスイッ
チング手段と、該スイッチング手段の出力を昇圧する昇圧手段と、該昇圧手段の出力を整流・平滑する整流・平滑手段と、該整流・平滑手段の出力が印加されるＸ線管と、該Ｘ線管に印加される管電圧を制御する管電圧制御手段
と、前記Ｘ線管を流れる管電流を制御する管電流制御手段と
を備え、前記の各構成要素は同一筐体に全て収容されてなること
を特徴とするＸ線発生装置。
【請求項６】第１整流・平滑手段に代えて直流を発生
する直流発生手段を備え、該直流発生手段の出力を入力
する入力端を備え、該入力端からの入力を電源とするこ
とを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置。
【請求項７】請求項１乃至請求項７に記載のいずれか
のＸ線発生装置と、該Ｘ線発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線ビー
ムを受けるように配置された２次元の空間分解能をもつ
放射線の検出手段と、前記Ｘ線ビーム中に被検体を位置決めする位置決め手段
と、前記検出手段の出力から被検体の透過像を作成する画像
化手段とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項８】請求項１乃至請求項７に記載のいずれか
のＸ線発生装置と、該Ｘ線発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線の内
のファン状のＸ線ビームを受けるように配置された１次
元の空間分解能をもつ放射線の検出手段と、前記Ｘ線ビームを被検体が横切るように前記Ｘ線管と放
射線の検出手段と被検体の相対的走査を行なう走査手段
と、該走査手段による走査の間の前記放射線検出手段の出力
から被検体の透過像を作成する画像化手段とを備えたこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項７記載のＸ線検査装
置。
【請求項９】請求項１乃至請求項７に記載のいずれか
のＸ線発生装置と、該Ｘ線発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線ビー
ムを受け、空間分解能をもって検出する検出手段と、前記Ｘ線管と検出手段と被検体に相対的位置変位を与え
る走査を行なう走査手段と、前記走査の間に前記検出手段の出力として得た被検体の
様々な方向からの透過データを処理して被検体の断面像
を再構成する再構成手段とを備えたことを特徴とするＸ
線検査装置。
【請求項１０】請求項１乃至請求項７に記載のいずれ
かのＸ線発生装置と、該Ｘ線発生装置が備えたＸ線管から発生されるＸ線を被
検体全体を覆わない大きさのＸ線ビームに限るコリメー
タ手段と、前記Ｘ線ビームと被検体に相対的位置変位を与え走査を
行なう走査手段と、前記走査の間にＸ線ビームが被検体に当って生じる散乱
Ｘ線を受け検出する散乱Ｘ線検出手段と、該散乱Ｘ線検出手段の出力から被検体の散乱線像を作る
画像化手段とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。