JPH0897266A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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JPH0897266A
JPH0897266A JP26184494A JP26184494A JPH0897266A JP H0897266 A JPH0897266 A JP H0897266A JP 26184494 A JP26184494 A JP 26184494A JP 26184494 A JP26184494 A JP 26184494A JP H0897266 A JPH0897266 A JP H0897266A
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load lock
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supporting rod
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JP26184494A
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Hajime Hashimoto
一 橋本
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Nissin Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の構造及び操作を簡単にする。 【構成】 直進回転導入機44の先端部に、両側にそれ
ぞれ方向の異なる螺溝51,52が形成された螺棒49
を固着し、両螺溝51,52にそれぞれ螺合したナット
53に2個のリンク54,55の一端をそれぞれ連結
し、両ナット53より等距離の位置に固設されたガイド
管57に上下動軸58を挿通し、上下動軸58に両リン
ク54,55の他端を連結し、上下動軸58の下端に基
板6の支持板5を支持する支持杆2を固着し、導入機4
4の先端部に軸受46を介して設けられた支持体45の
係止部47を処理室42の位置決め体64に着脱自在に
係止し、導入機44による螺棒49の回動により、上下
動軸58,支持杆2を上下動し、載置体29により支持
杆2との間で支持板5の受け渡しをする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板を搬送する基板搬
送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の基板搬送装置は、図6ないし図8
に示す構成になっている。それらの図において、1はロ
ードロック室に設けられた直進導入機であり、ロードロ
ック室と,ロードロック室にゲートバルブを介して設け
られた処理室とを往復移行する。2は導入機1の先端部
に設けられた支持杆、3は支持杆2の先端に形成された
二股状のフォーク、4はフォーク3の内面に形成された
傾斜面である。
【0003】5は下面に基板6が装着される円板状の支
持板、7は支持板5の下面の周縁部に形成された複数個
の螺孔、8は支持板5の上面の中心部に固着された支
柱、9は支柱8の上面に固着された支柱8より大径の引
掛体である。
【0004】10は基板6の周縁部を押える環状の押え
環、11は基板27の中心部の透孔の周縁部を押える円
板状の押え板、12は押え環10,押え板12にそれぞ
れ形成された複数個の挿通孔であり、挿通孔12にねじ
13が挿通され、支持板5の螺孔7に螺合し、基板6が
支持板5の下面に装着される。14は支持板5,押え環
10,押え板11からなる基板アダプタである。
【0005】15は処理室の筐体、16は筐体15の上
壁の両側に植設された上下方向のガイド杆、17はガイ
ド杆16の上端に固着された水平方向の固定板、18は
水平方向の支持体、19は支持体18の上面の両側に装
着されたガイドであり、ガイド19に支持体18の両側
を貫通したガイド杆16が挿通され、支持体18が筐体
15の上壁と固定板17との間を上下動自在に移動す
る。
【0006】20は支持体18の左側に植設された上下
方向の複数個の植設杆、21は植設杆20の上面に装着
されたモータ、22は上端部がモータ21の回転軸23
に固着された自転軸であり、支持体18,筐体15の上
壁を貫通して上下動かつ回動自在に設けられ、自転軸2
2の下端部が処理室に位置している。24は筐体15の
上壁と支持体18との間に設けられ,自転軸22を覆っ
たベローズである。
【0007】25は自転軸22の下端に設けられた円板
状の上板、26は上板25の下方に位置した環状の下
板、27は下板26の内側の周縁部に形成された段部、
28は下板26の左側の周縁部と上板25の下面とを連
結した複数個の連結杆、29は上板25,下板26,連
結杆28からなる載置体、30は載置体29の挿入口で
あり、載置体29の右側に上板25と下板26との間に
形成されている。
【0008】31は自転軸22にギアを介して歯合した
第1の調整用ハンドルであり、ハンドル31を操作する
ことにより、自転軸22が回動し、載置体29の挿入口
30の方向の調整が行われる。32は支持体18の右側
に貫設されたナット、33はナット32に螺合した上下
方向のボールねじ、34は筐体15の上壁に固着され,
ボールねじ33の下端部を支持したベアリング、35は
ボールねじ33の上端に固着された第2のハンドルであ
り、ハンドル35を操作することにより、ナット32を
介して支持体18が上下動し、自転軸22が上下動す
る。
【0009】つぎに、基板6の搬送について説明する。
第1のハンドル31により載置体29の挿入口30の向
きが調整され、ゲートバルブが閉じられた状態で、ロー
ドロック室において、図8に示すように、導入機1の支
持杆2のフォーク3に支持板5の引掛体9を載置し、支
持杆2に基板アダプタ14を装着し、ロードロック室の
蓋板を閉塞し、真空排気する。
【0010】つぎに、ゲートバルブを開いて導入機1を
直進させ、基板アダプタ14をロードロック室から処理
室へ移行し、基板アダプタ14を載置体29の挿入口3
0から挿入し、載置体29の段部27の上方に位置さ
せ、自動の昇降機構(図示せず)又は手動の第2のハン
ドル35の操作により、支持体18を介して自転軸22
及び載置体29を若干上昇し、基板アダプタ14を載置
体29の段部27に載置して取り付けるとともに、導入
機1の支持杆2のフォーク3から引掛体9を離脱させ、
支持杆2を処理室からロードロック室に移行する。
【0011】そして、モータ21を駆動して自転軸22
を回転し、基板6に成膜等の処理を行い、処理終了後、
導入機1の支持杆2をロードロック室から処理室に移行
し、前記と逆の動作により基板アダプタ14をフォーク
3に載置し、支持杆2を処理室からロードロック室に移
行し、ゲートバルブを閉じ、ロードロック室を大気状態
にし、処理済みの基板アダプタ14と未処理の基板アダ
プタ14とを交換する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、載置体29の自動又は手動の第2のハンドル35等
の昇降機構を用いているため、構造が複雑になるととも
に、導入機1による基板アダプタ14の搬送と、前記昇
降機構による載置体29への取り付けとが、それぞれ別
体の操作であり、煩雑であるという問題点がある。
【0013】本発明は、前記の点に留意し、載置体の昇
降機構を不要にして構造を簡単にし、基板の搬送及び取
り付けの操作を簡単にできる基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基板搬送装置は、基板を交換するロードロ
ック室と、ロードロック室にゲートバルブを介して設け
られ,基板に処理を行う処理室と、ロードロック室と処
理室とを往復移行する回動自在の直進回転導入機と、基
部が導入機の先端部に軸受を介して設けられた支持体
と、支持体に突設された係止部と、導入機の先端部に固
着され,両側にそれぞれねじの方向が異なる螺溝が形成
された螺棒と、両螺溝にそれぞれ螺合したナットと、両
ナットに一端がそれぞれ連結されたリンクと、支持体に
両ナットより等距離の位置に固設された上下方向のガイ
ド管と、ガイド管に挿通され,両リンクの他端が連結さ
れた上下動軸と、上下動軸の下端に固着され,基板の支
持板を支持する支持杆と、処理室に設けられ,係止部が
着脱自在に係止する位置決め体と、支持杆との間で支持
板の受け渡しをする載置体とを備えたものである。
【0015】
【作用】前記のように構成された本発明の基板搬送装置
は、直進回転導入機の先端部に、両側にそれぞれ方向の
異なる螺溝が形成された螺棒を固着し、両螺溝にそれぞ
れ螺合したナットに2個のリンクの一端をそれぞれ連結
し、両ナットより等距離の位置に固設されたガイド管に
上下動軸を挿通し、上下動軸に両リンクの他端を連結
し、上下動軸の下端に基板の支持板を支持する支持杆を
固着し、導入機の先端部に軸受を介して設けられた支持
体の係止部を処理室の位置決め体に着脱自在に係止し、
導入機による螺棒の回動により、上下動軸,支持杆を上
下動し、載置体により、支持杆との間で支持板の受け渡
しをするようにしたため、導入機の回転動作が昇降動作
に変換され、載置体の昇降機構が不要になるとともに、
導入機により、基板の支持板の搬送,取り付けが一括し
て行われ、操作が簡単になる。
【0016】
【実施例】1実施例について図1ないし図5を参照して
説明する。それらの図において、図6ないし図8と同一
符号は同一もしくは相当するものを示す。まず、構成を
示した図1ないし図4において、36は基板6を交換す
るロードロック室、37はヒンジ38に開閉自在に支持
され,ロードロック室の開口部を閉塞した蓋板、39は
蓋板37の上側の中央部に突設された二股の把持部、4
0は両端がロードロック室36の上面の二股の支持体に
上部の両端部が軸支されたT字状の止め杆、41は止め
杆40に挿通された止め板であり、支持体に把持部39
を当接し、止め板41を把持部39の前面に位置させ、
止め杆40に螺合した蝶ナット(図示せず)の締着によ
り、蓋板37を開口部に圧接し、ロードロック室36の
気密を維持している。42はロードロック室36にゲー
トバルブ43を介して設けられた処理室であり、基板6
に成膜等の処理を行う。
【0017】44はロードロック室36と処理室42と
を往復移行する回動自在の直進回転導入機、45は基部
が導入機44の先端部に軸受46を介して設けられた支
持体、47は支持体45の基部の上面の両側に突設され
た係止部、48は支持体45に形成された開口部、49
は基部が導入機44の先端部に固着された螺棒であり、
螺棒49の先端部が支持体45の先端部の軸受50に回
動自在に支持されている。
【0018】51,52は螺棒49の両側にそれぞれ形
成された方向の異なる螺溝、53は両螺溝51,52に
それぞれ螺合したナット、54,55は両ナット53に
一端がそれぞれ連結されたリンク、56は基部が支持体
45の基部に固着された固定杆、57は固定杆56の先
端部に固着された上下方向のガイド管であり、両ナット
53より等距離の位置に位置している。58はガイド管
57に挿通された上下動軸であり、両リンク54,55
の他端が連結され、下端に支持杆2が装着されている。
59は上下動軸58の上端部に設けられた抜け止め体で
ある。
【0019】60は処理室42の筐体15の上面開口部
を気密に覆蔽した固定板であり、従来と同様、固定板6
0の両側の植設杆20にモータ21が固着され、モータ
21の回転軸23に固定板60を貫通した自転軸22の
上端部が固着され、自転軸22の下端部が処理室42に
位置し、自転軸22の下端部に載置体29が固着され、
第1のハンドル31が自転軸22の上端部にギヤを介し
て歯合し、第1のハンドル31の操作により載置体29
が回動し、載置体29の上板25を切欠して形成された
挿入口61の向きが調整される。
【0020】62は筐体15の上面開口部の周縁部に装
着された載置体29のカバー、63はカバー62の下側
に形成された開口、64は開口63の上縁部に設けられ
た位置決め体、65は位置決め体64に形成された位置
決め孔であり、位置決め孔65に支持体45の係止部4
7が着脱自在に挿入されて係止する。
【0021】つぎに、基板6の搬送について図5を参照
して説明する。まず、ゲートバルブ43を閉じた状態
で、第1のハンドル31により載置体29の挿入口61
の向きを調整するとともに、蓋板37の蝶ナットを緩め
て止め杆40とともに止め板41を把持部39より取り
外し、蓋板37を開き、図5Aに示すように、基板6が
装着された基板アダプタ14の引掛体9をフォーク3に
載置し、蓋板37を閉じ、止め板41を蝶ナットにより
締め付け、ロードロック室36を真空排気する。
【0022】つぎに、ゲートバルブ43を開き、導入機
44をロードロック室36から処理室42に移行し、図
5Bに示すように、支持体45を開口63からカバー6
2内に挿入し、支持杆2を挿入口61から載置体29内
に挿入する。この時、位置決め体64の位置決め孔65
に支持体45の係止部47が係止し、載置体29の段部
27の上方に基板アダプタ14が位置する。
【0023】そして、導入機44を正回動して螺棒49
を回動し、螺棒49の回動により両ナット53が互いに
接近し、両リンク54,55を介して上下動軸58がガ
イド管57にガイドされ、上下動軸58とともに支持杆
2が下降し、図5Cに示すように、基板アダプタ14を
載置体29の段部27に載置して取り付ける。
【0024】つぎに、支持杆2をさらに少し下降し、引
掛体9から離脱させ、この状態で、図5Dに示すよう
に、支持体45を処理室42からロードロック室36に
移行するとともに、螺棒49を逆回動して上下動軸58
を上動し、支持杆2を元の位置に戻す。そして、モータ
21を駆動して自転軸22を回転し、基板6に成膜等の
処理を行う。
【0025】つぎに、処理終了後、前記と逆の動作によ
り、処理済の基板アダプタ14を支持杆2に載置し、ロ
ードロック室36に移行し、ゲートバルブ43を閉じ、
ロードロック室36を大気状態にし、蓋板37を開いて
処理済の基板アダプタ14を未処理の基板アダプタ14
に交換する。なお、前記実施例の螺棒49,ナット53
にボールねじを用いると、摩擦の大きい真空中でも滑ら
かな昇降動作が得られる。
【0026】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記載する効果を奏する。本発明の基
板搬送装置は、直進回転導入機44の先端部に、両側に
方向の異なる螺溝51,52が形成された螺棒49を固
着し、両螺溝51,52にそれぞれ螺合したナット53
に2個のリンク54,55の一端をそれぞれ連結し、両
ナット53より等距離の位置に固設されたガイド管57
に上下動軸58を挿通し、上下動軸58に両リンク5
4,55の他端を連結し、上下動軸55の下端に基板6
の支持板5を支持する支持杆2を固着し、導入機44の
先端部に軸受46を介して設けられた支持体45の係止
部47を処理室42の位置決め体64に着脱自在に係止
し、導入機44による螺棒49の回動により、上下動軸
58,支持杆2を上下動し、載置体29により、支持杆
2との間で支持板5の受け渡しをするようにしたため、
導入機44の回転動作を昇降動作に変換し、載置体29
を昇降する昇降機構を不要にし、導入機44により、基
板6の支持板5の搬送,取り付けを一括して行い、操作
を簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例の要部の切断正面図である。
【図2】本発明の1実施例の全体の概略正面図である。
【図3】図2の一部の切断正面図である。
【図4】図3の一部の切断平面図である。
【図5】A〜Dは図2の動作説明図である。
【図6】従来例の正面図である。
【図7】図6の一部の分解斜視図である。
【図8】図6の動作説明図である。
【符号の説明】
2 支持杆 5 支持板 6 基板 29 載置体 36 ロードロック室 42 処理室 43 ゲートバルブ 44 直進回転導入機 45 支持体 46 軸受 47 係止部 49 螺棒 51 螺溝 52 螺溝 53 ナット 54 リンク 55 リンク 57 ガイド管 58 上下動軸 64 位置決め体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板を交換するロードロック室と、 該ロードロック室にゲートバルブを介して設けられ,前
    記基板に処理を行う処理室と、 前記ロードロック室と前記処理室とを往復移行する回動
    自在の直進回転導入機と、 基部が前記導入機の先端部に軸受を介して設けられた支
    持体と、 該支持体に突設された係止部と、 前記導入機の先端部に固着され,両側にそれぞれねじの
    方向が異なる螺溝が形成された螺棒と、 前記両螺溝にそれぞれ螺合したナットと、 該両ナットに一端がそれぞれ連結されたリンクと、 前記支持体に前記両ナットより等距離の位置に固設され
    た上下方向のガイド管と、 該ガイド管に挿通され,前記両リンクの他端が連結され
    た上下動軸と、 該上下動軸の下端に固着され,前記基板の支持板を支持
    する支持杆と、 前記処理室に設けられ,前記係止部が着脱自在に係止す
    る位置決め体と、 前記支持杆との間で前記支持板の受け渡しをする載置体
    とを備えた基板搬送装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113958830A (zh) * 2021-09-07 2022-01-21 瑞鼎工业技术(昆山)有限公司 一种快速自锁的便携式多节医疗支臂
CN114310126A (zh) * 2022-03-04 2022-04-12 成都中挖金属制品有限公司 一种斗齿连接座焊接装置

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