JPH0897266A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の構造及び操作を簡単にする。 【構成】 直進回転導入機４４の先端部に、両側にそれ
ぞれ方向の異なる螺溝５１，５２が形成された螺棒４９
を固着し、両螺溝５１，５２にそれぞれ螺合したナット
５３に２個のリンク５４，５５の一端をそれぞれ連結
し、両ナット５３より等距離の位置に固設されたガイド
管５７に上下動軸５８を挿通し、上下動軸５８に両リン
ク５４，５５の他端を連結し、上下動軸５８の下端に基
板６の支持板５を支持する支持杆２を固着し、導入機４
４の先端部に軸受４６を介して設けられた支持体４５の
係止部４７を処理室４２の位置決め体６４に着脱自在に
係止し、導入機４４による螺棒４９の回動により、上下
動軸５８，支持杆２を上下動し、載置体２９により支持
杆２との間で支持板５の受け渡しをする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板を搬送する基板搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板搬送装置は、図６ないし図８
に示す構成になっている。それらの図において、１はロ
ードロック室に設けられた直進導入機であり、ロードロ
ック室と，ロードロック室にゲートバルブを介して設け
られた処理室とを往復移行する。２は導入機１の先端部
に設けられた支持杆、３は支持杆２の先端に形成された
二股状のフォーク、４はフォーク３の内面に形成された
傾斜面である。

【０００３】５は下面に基板６が装着される円板状の支
持板、７は支持板５の下面の周縁部に形成された複数個
の螺孔、８は支持板５の上面の中心部に固着された支
柱、９は支柱８の上面に固着された支柱８より大径の引
掛体である。

【０００４】１０は基板６の周縁部を押える環状の押え
環、１１は基板２７の中心部の透孔の周縁部を押える円
板状の押え板、１２は押え環１０，押え板１２にそれぞ
れ形成された複数個の挿通孔であり、挿通孔１２にねじ
１３が挿通され、支持板５の螺孔７に螺合し、基板６が
支持板５の下面に装着される。１４は支持板５，押え環
１０，押え板１１からなる基板アダプタである。

【０００５】１５は処理室の筐体、１６は筐体１５の上
壁の両側に植設された上下方向のガイド杆、１７はガイ
ド杆１６の上端に固着された水平方向の固定板、１８は
水平方向の支持体、１９は支持体１８の上面の両側に装
着されたガイドであり、ガイド１９に支持体１８の両側
を貫通したガイド杆１６が挿通され、支持体１８が筐体
１５の上壁と固定板１７との間を上下動自在に移動す
る。

【０００６】２０は支持体１８の左側に植設された上下
方向の複数個の植設杆、２１は植設杆２０の上面に装着
されたモータ、２２は上端部がモータ２１の回転軸２３
に固着された自転軸であり、支持体１８，筐体１５の上
壁を貫通して上下動かつ回動自在に設けられ、自転軸２
２の下端部が処理室に位置している。２４は筐体１５の
上壁と支持体１８との間に設けられ，自転軸２２を覆っ
たベローズである。

【０００７】２５は自転軸２２の下端に設けられた円板
状の上板、２６は上板２５の下方に位置した環状の下
板、２７は下板２６の内側の周縁部に形成された段部、
２８は下板２６の左側の周縁部と上板２５の下面とを連
結した複数個の連結杆、２９は上板２５，下板２６，連
結杆２８からなる載置体、３０は載置体２９の挿入口で
あり、載置体２９の右側に上板２５と下板２６との間に
形成されている。

【０００８】３１は自転軸２２にギアを介して歯合した
第１の調整用ハンドルであり、ハンドル３１を操作する
ことにより、自転軸２２が回動し、載置体２９の挿入口
３０の方向の調整が行われる。３２は支持体１８の右側
に貫設されたナット、３３はナット３２に螺合した上下
方向のボールねじ、３４は筐体１５の上壁に固着され，
ボールねじ３３の下端部を支持したベアリング、３５は
ボールねじ３３の上端に固着された第２のハンドルであ
り、ハンドル３５を操作することにより、ナット３２を
介して支持体１８が上下動し、自転軸２２が上下動す
る。

【０００９】つぎに、基板６の搬送について説明する。
第１のハンドル３１により載置体２９の挿入口３０の向
きが調整され、ゲートバルブが閉じられた状態で、ロー
ドロック室において、図８に示すように、導入機１の支
持杆２のフォーク３に支持板５の引掛体９を載置し、支
持杆２に基板アダプタ１４を装着し、ロードロック室の
蓋板を閉塞し、真空排気する。

【００１０】つぎに、ゲートバルブを開いて導入機１を
直進させ、基板アダプタ１４をロードロック室から処理
室へ移行し、基板アダプタ１４を載置体２９の挿入口３
０から挿入し、載置体２９の段部２７の上方に位置さ
せ、自動の昇降機構（図示せず）又は手動の第２のハン
ドル３５の操作により、支持体１８を介して自転軸２２
及び載置体２９を若干上昇し、基板アダプタ１４を載置
体２９の段部２７に載置して取り付けるとともに、導入
機１の支持杆２のフォーク３から引掛体９を離脱させ、
支持杆２を処理室からロードロック室に移行する。

【００１１】そして、モータ２１を駆動して自転軸２２
を回転し、基板６に成膜等の処理を行い、処理終了後、
導入機１の支持杆２をロードロック室から処理室に移行
し、前記と逆の動作により基板アダプタ１４をフォーク
３に載置し、支持杆２を処理室からロードロック室に移
行し、ゲートバルブを閉じ、ロードロック室を大気状態
にし、処理済みの基板アダプタ１４と未処理の基板アダ
プタ１４とを交換する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、載置体２９の自動又は手動の第２のハンドル３５等
の昇降機構を用いているため、構造が複雑になるととも
に、導入機１による基板アダプタ１４の搬送と、前記昇
降機構による載置体２９への取り付けとが、それぞれ別
体の操作であり、煩雑であるという問題点がある。

【００１３】本発明は、前記の点に留意し、載置体の昇
降機構を不要にして構造を簡単にし、基板の搬送及び取
り付けの操作を簡単にできる基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基板搬送装置は、基板を交換するロードロ
ック室と、ロードロック室にゲートバルブを介して設け
られ，基板に処理を行う処理室と、ロードロック室と処
理室とを往復移行する回動自在の直進回転導入機と、基
部が導入機の先端部に軸受を介して設けられた支持体
と、支持体に突設された係止部と、導入機の先端部に固
着され，両側にそれぞれねじの方向が異なる螺溝が形成
された螺棒と、両螺溝にそれぞれ螺合したナットと、両
ナットに一端がそれぞれ連結されたリンクと、支持体に
両ナットより等距離の位置に固設された上下方向のガイ
ド管と、ガイド管に挿通され，両リンクの他端が連結さ
れた上下動軸と、上下動軸の下端に固着され，基板の支
持板を支持する支持杆と、処理室に設けられ，係止部が
着脱自在に係止する位置決め体と、支持杆との間で支持
板の受け渡しをする載置体とを備えたものである。

【００１５】

【作用】前記のように構成された本発明の基板搬送装置
は、直進回転導入機の先端部に、両側にそれぞれ方向の
異なる螺溝が形成された螺棒を固着し、両螺溝にそれぞ
れ螺合したナットに２個のリンクの一端をそれぞれ連結
し、両ナットより等距離の位置に固設されたガイド管に
上下動軸を挿通し、上下動軸に両リンクの他端を連結
し、上下動軸の下端に基板の支持板を支持する支持杆を
固着し、導入機の先端部に軸受を介して設けられた支持
体の係止部を処理室の位置決め体に着脱自在に係止し、
導入機による螺棒の回動により、上下動軸，支持杆を上
下動し、載置体により、支持杆との間で支持板の受け渡
しをするようにしたため、導入機の回転動作が昇降動作
に変換され、載置体の昇降機構が不要になるとともに、
導入機により、基板の支持板の搬送，取り付けが一括し
て行われ、操作が簡単になる。

【００１６】

【実施例】１実施例について図１ないし図５を参照して
説明する。それらの図において、図６ないし図８と同一
符号は同一もしくは相当するものを示す。まず、構成を
示した図１ないし図４において、３６は基板６を交換す
るロードロック室、３７はヒンジ３８に開閉自在に支持
され，ロードロック室の開口部を閉塞した蓋板、３９は
蓋板３７の上側の中央部に突設された二股の把持部、４
０は両端がロードロック室３６の上面の二股の支持体に
上部の両端部が軸支されたＴ字状の止め杆、４１は止め
杆４０に挿通された止め板であり、支持体に把持部３９
を当接し、止め板４１を把持部３９の前面に位置させ、
止め杆４０に螺合した蝶ナット（図示せず）の締着によ
り、蓋板３７を開口部に圧接し、ロードロック室３６の
気密を維持している。４２はロードロック室３６にゲー
トバルブ４３を介して設けられた処理室であり、基板６
に成膜等の処理を行う。

【００１７】４４はロードロック室３６と処理室４２と
を往復移行する回動自在の直進回転導入機、４５は基部
が導入機４４の先端部に軸受４６を介して設けられた支
持体、４７は支持体４５の基部の上面の両側に突設され
た係止部、４８は支持体４５に形成された開口部、４９
は基部が導入機４４の先端部に固着された螺棒であり、
螺棒４９の先端部が支持体４５の先端部の軸受５０に回
動自在に支持されている。

【００１８】５１，５２は螺棒４９の両側にそれぞれ形
成された方向の異なる螺溝、５３は両螺溝５１，５２に
それぞれ螺合したナット、５４，５５は両ナット５３に
一端がそれぞれ連結されたリンク、５６は基部が支持体
４５の基部に固着された固定杆、５７は固定杆５６の先
端部に固着された上下方向のガイド管であり、両ナット
５３より等距離の位置に位置している。５８はガイド管
５７に挿通された上下動軸であり、両リンク５４，５５
の他端が連結され、下端に支持杆２が装着されている。
５９は上下動軸５８の上端部に設けられた抜け止め体で
ある。

【００１９】６０は処理室４２の筐体１５の上面開口部
を気密に覆蔽した固定板であり、従来と同様、固定板６
０の両側の植設杆２０にモータ２１が固着され、モータ
２１の回転軸２３に固定板６０を貫通した自転軸２２の
上端部が固着され、自転軸２２の下端部が処理室４２に
位置し、自転軸２２の下端部に載置体２９が固着され、
第１のハンドル３１が自転軸２２の上端部にギヤを介し
て歯合し、第１のハンドル３１の操作により載置体２９
が回動し、載置体２９の上板２５を切欠して形成された
挿入口６１の向きが調整される。

【００２０】６２は筐体１５の上面開口部の周縁部に装
着された載置体２９のカバー、６３はカバー６２の下側
に形成された開口、６４は開口６３の上縁部に設けられ
た位置決め体、６５は位置決め体６４に形成された位置
決め孔であり、位置決め孔６５に支持体４５の係止部４
７が着脱自在に挿入されて係止する。

【００２１】つぎに、基板６の搬送について図５を参照
して説明する。まず、ゲートバルブ４３を閉じた状態
で、第１のハンドル３１により載置体２９の挿入口６１
の向きを調整するとともに、蓋板３７の蝶ナットを緩め
て止め杆４０とともに止め板４１を把持部３９より取り
外し、蓋板３７を開き、図５Ａに示すように、基板６が
装着された基板アダプタ１４の引掛体９をフォーク３に
載置し、蓋板３７を閉じ、止め板４１を蝶ナットにより
締め付け、ロードロック室３６を真空排気する。

【００２２】つぎに、ゲートバルブ４３を開き、導入機
４４をロードロック室３６から処理室４２に移行し、図
５Ｂに示すように、支持体４５を開口６３からカバー６
２内に挿入し、支持杆２を挿入口６１から載置体２９内
に挿入する。この時、位置決め体６４の位置決め孔６５
に支持体４５の係止部４７が係止し、載置体２９の段部
２７の上方に基板アダプタ１４が位置する。

【００２３】そして、導入機４４を正回動して螺棒４９
を回動し、螺棒４９の回動により両ナット５３が互いに
接近し、両リンク５４，５５を介して上下動軸５８がガ
イド管５７にガイドされ、上下動軸５８とともに支持杆
２が下降し、図５Ｃに示すように、基板アダプタ１４を
載置体２９の段部２７に載置して取り付ける。

【００２４】つぎに、支持杆２をさらに少し下降し、引
掛体９から離脱させ、この状態で、図５Ｄに示すよう
に、支持体４５を処理室４２からロードロック室３６に
移行するとともに、螺棒４９を逆回動して上下動軸５８
を上動し、支持杆２を元の位置に戻す。そして、モータ
２１を駆動して自転軸２２を回転し、基板６に成膜等の
処理を行う。

【００２５】つぎに、処理終了後、前記と逆の動作によ
り、処理済の基板アダプタ１４を支持杆２に載置し、ロ
ードロック室３６に移行し、ゲートバルブ４３を閉じ、
ロードロック室３６を大気状態にし、蓋板３７を開いて
処理済の基板アダプタ１４を未処理の基板アダプタ１４
に交換する。なお、前記実施例の螺棒４９，ナット５３
にボールねじを用いると、摩擦の大きい真空中でも滑ら
かな昇降動作が得られる。

【００２６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記載する効果を奏する。本発明の基
板搬送装置は、直進回転導入機４４の先端部に、両側に
方向の異なる螺溝５１，５２が形成された螺棒４９を固
着し、両螺溝５１，５２にそれぞれ螺合したナット５３
に２個のリンク５４，５５の一端をそれぞれ連結し、両
ナット５３より等距離の位置に固設されたガイド管５７
に上下動軸５８を挿通し、上下動軸５８に両リンク５
４，５５の他端を連結し、上下動軸５５の下端に基板６
の支持板５を支持する支持杆２を固着し、導入機４４の
先端部に軸受４６を介して設けられた支持体４５の係止
部４７を処理室４２の位置決め体６４に着脱自在に係止
し、導入機４４による螺棒４９の回動により、上下動軸
５８，支持杆２を上下動し、載置体２９により、支持杆
２との間で支持板５の受け渡しをするようにしたため、
導入機４４の回転動作を昇降動作に変換し、載置体２９
を昇降する昇降機構を不要にし、導入機４４により、基
板６の支持板５の搬送，取り付けを一括して行い、操作
を簡単にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の要部の切断正面図である。

【図２】本発明の１実施例の全体の概略正面図である。

【図３】図２の一部の切断正面図である。

【図４】図３の一部の切断平面図である。

【図５】Ａ〜Ｄは図２の動作説明図である。

【図６】従来例の正面図である。

【図７】図６の一部の分解斜視図である。

【図８】図６の動作説明図である。

【符号の説明】

２ 支持杆 ５ 支持板 ６ 基板 ２９ 載置体 ３６ ロードロック室 ４２ 処理室 ４３ ゲートバルブ ４４ 直進回転導入機 ４５ 支持体 ４６ 軸受 ４７ 係止部 ４９ 螺棒 ５１ 螺溝 ５２ 螺溝 ５３ ナット ５４ リンク ５５ リンク ５７ ガイド管 ５８ 上下動軸 ６４ 位置決め体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を交換するロードロック室と、 該ロードロック室にゲートバルブを介して設けられ，前
   記基板に処理を行う処理室と、 前記ロードロック室と前記処理室とを往復移行する回動
   自在の直進回転導入機と、 基部が前記導入機の先端部に軸受を介して設けられた支
   持体と、 該支持体に突設された係止部と、 前記導入機の先端部に固着され，両側にそれぞれねじの
   方向が異なる螺溝が形成された螺棒と、 前記両螺溝にそれぞれ螺合したナットと、 該両ナットに一端がそれぞれ連結されたリンクと、 前記支持体に前記両ナットより等距離の位置に固設され
   た上下方向のガイド管と、 該ガイド管に挿通され，前記両リンクの他端が連結され
   た上下動軸と、 該上下動軸の下端に固着され，前記基板の支持板を支持
   する支持杆と、 前記処理室に設けられ，前記係止部が着脱自在に係止す
   る位置決め体と、 前記支持杆との間で前記支持板の受け渡しをする載置体
   とを備えた基板搬送装置。