JPH1056046A - ウェハ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、ウェハキャリアのウェハ検査
装置へのセットが容易なウェハ検査装置を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 本発明は、載置したウェハキャリアを上
下させるウェハキャリア上下動部（20）と、前記ウェハ
キャリアに収納されたウェハを前記ウェハキャリアから
観察部に受け渡すウェハ搬送装置（102）と、前記受け
渡されたウェハを検査する観察部（60）とからなるウェ
ハ検査装置において、前記ウェハキャリア上下動部（2
0）は、前記ウェハキャリアを載置して上下動する上下
動部材（22）と、前記上下動部材に回転自在に係合する
ウェハキャリア載置台（27）と、前記ウェハキャリア載
置台に一回転方向に回転力を加える回転力付与手段（7
4）と、前記ウェハキャリア載置台の前記回転力付与手
段の力による回転を止めるストッパ（72、27b）と、前
記ストッパを解除する解除手段（72、12）とを備えた。
上記の如き構成においては、ウェハキャリアの検査装置
へのセットは、高さの低い位置で、ウェハキャリアの両
側面に手をかけて行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハの検査装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の装置は、図７のように、観
察装置１の側方にウェハ搬送装置２が配設され、ウェハ
搬送装置２の周囲は、観察装置１とのウェハ受け渡し部
３Ａのみを切り欠いたカバー３が最も上方に上昇させた
ウェハキャリア載置台４の高さまで設けられた構造であ
った。この様な構造の従来装置における、ウェハキャリ
ア５の検査装置へのセット及び取り外し（以下、単にセ
ットという）は、ウェハ搬送装置２のウェハキャリア載
置台４を最上位置に位置させ、その上方よりウェハキャ
リア５の開口面５Ａを観察装置１の方向に向けて載置す
るものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の装置
においては、ウェハキャリアのウェハ検査装置へのセッ
トを高い位置で行うこととなり、かつウェハキャリアの
観察装置側の側面、即ち開口面に手をかけることができ
ないため、特に検査対象がウェハを含めたウェハキャリ
アの重量が大きい大口径のウェハの場合には、作業者に
大きな負担のかかる作業となる、という問題があった。

【０００４】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、ウェハキャリアのウェハ検査装置へのセットが容
易なウェハ検査装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点の解決のため
に本発明では、載置したウェハキャリアを上下させるウ
ェハキャリア上下動部（20）と、前記ウェハキャリアに
収納されたウェハを前記ウェハキャリアから観察部に受
け渡すウェハ搬送装置（102）と、前記受け渡されたウ
ェハを検査する観察部（60）とからなるウェハ検査装置
において、前記ウェハキャリア上下動部（20）は、前記
ウェハキャリアを載置して上下動する上下動部材（22）
と、前記上下動部材に回転自在に係合するウェハキャリ
ア載置台（27）と、前記ウェハキャリア載置台に一回転
方向に回転力を加える回転力付与手段（74）と、前記ウ
ェハキャリア載置台の前記回転力付与手段の力による回
転を止めるストッパ（72、27b）と、前記ストッパを解
除する解除手段（72、12）とを備えた。

【０００６】上記の如き構成においては、ウェハキャリ
アの検査装置へのセットは、高さの低い位置で、ウェハ
キャリアの両側面に手をかけて行うことができる。

【０００７】

【実施の形態】図１〜図６は本発明の一実施形態であ
り、図１は全体構成を示す平面図、図２〜図４はその要
部を示す図、図５はウェハキャリア載置台の動作を説明
する平面図、図６はその要部を示す図である。図１に示
すウェハ検査装置100は、観察装置101及び搬送装置102
で構成されている。搬送装置102は、ベース部10の上面
に配設された上下動部20、ウェハ取出し部30、ウェハ待
機部40、ウェハ受渡部50とで構成されている。搬送装置
102の側面は、搬送装置102と観察装置101とでウェハを
受け渡すウェハ受け渡し口、及びウェハキャリアを上下
動部20にセットするウェハキャリアセット口を除き側面
カバー15でカバーされている。

【０００８】ウェハ取り出し部30は、水平面内で上下動
部20と観察部60とを結ぶ方向に移動自在であると共に、
上下方向に移動自在な取出アーム31を備える。取出アー
ム31のウェハ保持部31aは、上下動部20にセットされた
ウェハキャリアの中央部からウェハ待機部40まで移動可
能である。ウェハ受渡部50は、夫々水平面内で上下動部
20と観察部60とを結ぶ方向に移動自在であると共に、上
下方向に移動自在な２個の受渡アーム51a、51bを備え
る。受渡アーム51a、51bは、ウェハ待機部40から観察部
60のステージ61のウェハ載置部61aまで、夫々独立に移
動可能である。

【０００９】観察装置60は、ウェハを載置して水平面内
で移動自在なステージと、光軸を鉛直方向とする対物レ
ンズを有する顕微鏡とで構成されている。取出アーム3
1、受渡アーム51a及び51b、観察部60のステージ61の動
作は、以下に説明する上下動部20の上下動と共に、図示
しない制御部の指令によって作動する。

【００１０】図２は、図１の上下動部20のＡ−Ａ’断面
図である。図１及び図２を参照して上下動部20を説明す
る。２本のシャフト21A、21Bがベース部10に垂直に固定
され、ブラケット22が２本のシャフト21A、21Bに沿って
上下動自在に案内されている。２本のシャフト21A、21B
の中央には、プーリ25a、ベルト26、プーリ25bを介して
モータ24に連結する送りネジ23がシャフト21A、21Bと平
行に配置され、送りネジ23に螺合するナット23Aがブラ
ケット22に固設されている。従って、モータ24が回転す
ると送りネジ23が回転しブラケット22が上下する。ブラ
ケット22の上面に設けたウェハキャリア載置台27の軸部
27Aがブラケット22の受け部22Aに設けた穴を貫通して嵌
合し、ウェハキャリア載置台27は軸部27Aを中心として
回動自在である。ウェハキャリア載置台27の上面には、
多数枚のウェハ82が等間隔に重ねて収納されたウェハキ
ャリア81が載置される。

【００１１】図３は、図１の上下動部20のＢ矢視図、図
４は、図３のＣ−Ｃ’断面図である。両図を参照して、
ブラケット22の側面には軸71が取り付けられ、軸71には
ストッパ72が回動自在に嵌合している。ブラケット22の
上面には、板ばね73が取り付けられ、ストッパ72の第２
端部72bを押圧し、軸71を挟んだストッパ72の第１端部7
2aを上方に付勢している。ストッパ72の、軸71を挟んで
第２端部72bと同じ側の第３端部72Cの下側には、ブラケ
ット22が最も下に下がった時にストッパ72の第３端部72
Cに接触する長さの軸12がベース部10から突設されてい
る。ウェハキャリア載置台27の下側面の軸部27Aの中心
からストッパ72までの距離を半径とする円弧上の位置
に、突起部27bが設けられている。

【００１２】ブラケット22の下側面には軸P1が、ウェハ
キャリア載置台27の下側面には軸P2が夫々突設され、ウ
ェハキャリア載置台27の軸部28を中心として配設された
ねじりばね74の一端が軸P1に、他端が軸P2に係合され、
ウェハキャリア載置台27に図４の矢印方向の回転力を与
えている。ウェハキャリア載置台27の側面には切り欠き
27aが設けられ、後述するウェハキャリアセット口カバ
ー11に設けた突起部11aの先端が切り欠き27aに差し込ま
れている。

【００１３】キャリア載置台27の側面を１／４円弧部と
直線部とからなるウェハキャリアセット口カバー11が取
り囲んでいる。ベース部10の下側面には、カバー11の底
面部11bをその軸を中心として回転自在に支持する軸部1
0Aが設けられており、カバー11を軸部10Aと中心として
約９０度回転することによって、検査装置正面のウェハ
キャリアセット口を開閉することができる。

【００１４】ウェハキャリア81のウェハキャリア載置台
27へのセットは、ウェハキャリアセット口カバー11を開
いた図１の状態で、ウェハキャリア載置台27を最も下に
下げた状態にして行う。ウェハキャリア81からウェハ82
を出し入れする開口面を手前に向け、ウェハキャリア載
置台27に載置する。そして、カバー11を図１の矢印の方
向、即ちウェハキャリアセット口を閉じる方向に回転さ
せると、突起部11aがウェハキャリア載置台27の切欠き2
7aを回転方向に押し、ウェハキャリア載置台27も同方向
に回転させられる。この回転方向は、ねじりばね74の出
力に抗する方向である。

【００１５】ウェハキャリア載置台27の裏面の突起部27
bが板ばね73の力に抗してストッパ72の第１端部72aを押
し下げ、第１端部72aをのり越えるまでカバー11を回転
させて手を離すと、ウェハキャリア載置台27は、ねじり
ばね74の反発力によって図１の矢印方向と逆方向に回転
しようとするが、図６に示した如くストッパ72の第１端
部72aに突起部27bが当接してこの回転を阻止する。この
状態の時、図５に示したようにウェハキャリア載置台27
に載置されたウェハキャリアは開口面を観察部101の方
向に向けており、かつカバー11がウェハキャリアセット
口を丁度閉じた状態となっている。なお、図６は図５の
状態のＤ矢視図である。

【００１６】ここで、図示しない制御部より観察動作開
始の指令操作をすると、モータ24が回転し、ブラケット
22が上限まで上昇する。そして、まずウェハ取出し部30
の取出アーム31がウェハキャリア81内のウェハ82を取出
し、ウェハ待機部40へ運ぶ。次いで、ウェハ受渡部50の
受渡アーム51がウェハ待機部40に運ばれたウェハ82を顕
微鏡60のステージ61のウェハ載置部61aに運ぶ。そし
て、ステージ61が所定の検査位置か対物レンズの光軸上
に来るように移動して顕微鏡60での検査が行われる。
検査が終了したウェハは、前記と逆の手順によってウェ
ハキャリア81に戻される。そして、上下動部を１ピッチ
分下に下げて、前記動作を繰り返す。

【００１７】全てのウェハの検査が終了すると、制御部
（不図示）は上下動部20の下降を指令する。上下動部20
が図６の状態よりさらに下降すると、ストッパ72の第３
端部72cが突起部12に押し上げられ、ストッパ72の第１
端部72aが下に下がる。その結果、ストッパ72aと突起部
27bとの係合がはずれ、ウェハキャリア載置台27がねじ
りばね74の弾発力により回転し、図１の様にウェハキャ
リア81の開口面が正面を向く。この時、ウェハキャリア
載置台27の切り欠き27aがカバー11の突起部11aを押しカ
バー11が開く。次いで、ストッパ72の第３端部72cが突
起部12から離れるまで上下動部20を上昇させる。

【００１８】これで図１の状態に戻っているので、ウェ
ハキャリア81を次のものと交換し、再び同じ要領で検査
を行う。

【００１９】

【発明の効果】以上の様に本発明によれば、ウェハキャ
リアのセット、取り外しをウェハキャリアの開口面を観
察部側に向けることなく、かつウェハキャリア載置台の
低い位置で行えるので、ウェハキャリアのセット、取り
外しが容易となる。その結果、作業者の負担が低減され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施形態を示す平面図。

【図２】図１のＡ−Ａ’断面図。

【図３】図１のＢ矢視拡大図。

【図４】図３のＣ−Ｃ’断面図。

【図５】図１の装置の動作を説明する図（ウェハキャリ
ア開口面が観察装置側を向いた状態）。

【図６】図５のＤ矢視拡大図。

【図７】従来の装置。

【符号の説明】

10・・・・ベース部 11・・・・ウェハキャリアセット口カバー 12・・・・軸（解除手段） 20・・・・上下動部 21A、21B・シャフト 22・・・・ブラケット（上下動部材） 23・・・・送りネジ 27・・・・ウェハキャリア載置台 27b・・・ 突起部 30・・・・ウェハ取出し部 31・・・・取出しアーム 40・・・・ウェハ待機部 50・・・・ウェハ受渡部 60・・・・顕微鏡 72・・・・ストッパ 73・・・・板ばね 74・・・・ねじりばね（回転力付与手段） 81・・・・ウェハキャリア 82・・・・ウェハ 100・・・・ウェハ検査装置 101・・・・観察装置 102・・・・搬送装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 載置したウェハキャリアを上下させるウ
   ェハキャリア上下動部と、前記ウェハキャリアに収納さ
   れたウェハを前記ウェハキャリアから観察部に受け渡す
   ウェハ搬送装置と、前記受け渡されたウェハを検査する
   観察部とからなるウェハ検査装置において、 前記ウェハキャリア上下動部は、前記ウェハキャリアを
   載置して上下動する上下動部材と、前記上下動部材に回
   転自在に係合するウェハキャリア載置台と、前記ウェハ
   キャリア載置台に一回転方向に回転力を加える回転力付
   与手段と、前記ウェハキャリア載置台の前記回転力付与
   手段の力による回転を止めるストッパと、前記ストッパ
   を解除する解除手段とを備えることを特徴とするウェハ
   検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のウェハ検査装置におい
   て、 前記ウェハキャリア載置台の回転中心と中心として回転
   するカバーを設けると共に、前記カバーを前記ウェハキ
   ャリア載置台の回転に伴って回転させる連動手段を設け
   たことを特徴とするウェハ検査装置。