JPH0896598A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH0896598A
JPH0896598A JP6227723A JP22772394A JPH0896598A JP H0896598 A JPH0896598 A JP H0896598A JP 6227723 A JP6227723 A JP 6227723A JP 22772394 A JP22772394 A JP 22772394A JP H0896598 A JPH0896598 A JP H0896598A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査装置のドライバー・コンパレータ数に制
限されることなく、複数のI/Oに対する検査を同時に
行うことのできる半導体記憶装置を実現する。 【構成】 メモリセルと複数のI/Oとの間のデータバ
スに挿入されてこれを第1と第2のデータバスに分断す
るとともに第1および第2のデータバスを構成する複数
の信号線の接続状態を所定のI/O端子について1対1
接続または1対多接続と制御する分配回路とを有する半
導体記憶装置において、分配回路とメモリセルアレイと
の間の第2のデータバスに挿入されてこれを第2と第3
のデータバスに分断するとともに、第2および第3のデ
ータバスを構成する複数の信号線の接続状態を1対1接
続または多対1接続とするマルチプレクサ回路と、マル
チプレクサ回路におけるデータバス信号線の接続状態を
維持するために第2のデータバス出力をラッチしてマル
チプレクサ回路の制御入力とするラッチ回路とを有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特に、入出力用の多数の入力ピンおよび出力ピンからな
るI/O端子を含むデータバスを備えた半導体記憶装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来のメモリICの構成を示すブ
ロック図、図6は図5中の一致・不一致回路505の構
成を示す回路図である。
【0003】図5に示す従来例は、入出力用のI/O端
子501、DATA-INバッファ502、DATA-OUTバッファ
503、分配回路504、一致・不一致回路505、デ
ータバス5061,5062、デコーダ回路507、セン
スアンプ回路508、メモリセルアレイ509より構成
されている。データバス5061はI/O端子501と
分配回路504との間に設けられ、データバス5062
は分配回路504とデコーダ507との間に設けられて
いる。
【0004】データをメモリIC書き込むときには、メ
モリICの外部から"High"または"Low"の電気情報をI
/O端子501へ入力するとともにDATA-INバッファ5
02へのIN信号を"Low"とする。これにより、DATA-IN
バッファ502が活性化され、データバス506へ転送
する。また、選択信号CAにより、デコーダ回路507
を選択し、各メモリのセンスアンプ回路508を介し
て、メモリセルアレイ509にデータを保存する。書き
込んだデータを出力するとき、センスアンプ508によ
りメモリセルデータを増幅し、デコーダ507によりデ
ータバス5062内のデータ信号線およびメモリセルア
レイ内のメモリセルが選択される。
【0005】データ出力を行う場合には、DATA-OUTバッ
ファ503へのOUT信号を"Low"とする。これによりD
ATA-OUTバッファ503が活性化され、データバス50
1の信号を増幅し、I/O端子501からメモリIC
外部に出力させる。
【0006】メモリICの電気的な検査をする際、メモ
リICのI/Oピンと検査装置のドライバー/コンパレ
ータピンとは1対1で対応させる必要があるため、多数
のI/Oピンを持つメモリICに対して検査装置にも同
数のドライバー/コンパレータピンを接続する必要があ
る。そのため、検査装置のドライバー/コンパレータピ
ンの数によって、多数I/OピンメモリICの同時に測
定できるI/Oピンの個数が限られてしまう。
【0007】図5に示した従来例においては、同時に測
定できる個数を増やすために分配回路504、一致・不
一致回路505が設けられている。
【0008】図5に回路図が示される分配回路504
は、ゲートにテストモードであることを示すTE信号が
共通に印加されるNMOSゲート601,603,60
5と、通常状態を示すNO信号がゲートに共通に印加さ
れるNMOSゲート602,604,606からなるも
ので、データバス5061を構成するデータバス信号線
DB1〜DB4と、データバス5062を構成するDB
A1〜DBA4との接続状態を制御する。
【0009】NMOSゲート601,603,605の
ソースにはデータバス信号線DB1が接続されてデータ
バス信号線DBA1とされている。NMOSゲート60
2,604,606の各ソースにはデータバス信号線D
B2〜DB4がそれぞれ接続されている。NMOSゲー
ト601と602、603と604、605と606の
各コレクタはそれぞれ共通に接続されて、データバス信
号線DBA2〜DBA4とされている。
【0010】上記のように構成される分配回路504に
おいて、テストモードであるかどうかを示すTE信号
を"Low"とし、通常状態を示すNO信号を"High"とした
ときに、NO信号につながるNMOSゲート602,6
04,606が非導通状態となり、TE信号につながる
NMOSゲート601,603,605は導通状態とな
って、データバス信号線DB1〜DB4のそれぞれはデ
ータバス信号線DBA1〜DBA4に接続され、データ
バス5061,5062は等しい内容となる。
【0011】NO信号を"Low"とし、TE信号を"High"
とすると、NO信号につながるNMOSゲート602,
604,606が導通状態、TE信号につながるNMO
Sゲート601,603,605は非導通状態となり、
一本のデータバス信号線DB1が複数のデータバス信号
線DBA1〜DBA4に接続され、同時に4つのメモリ
セルにデータが保存される。
【0012】本従来例においては、上記のように一本の
データバス信号線DB1が複数のデータバス信号線DB
A1〜DBA4に接続された状態としてメモリ動作が正
常であるかの電気的な検査が行われる。
【0013】電気的な検査は、メモリセルアレイ109
内の各メモリセルの記憶内容をすべて"High"または"Lo
w"のいずれかとして行われる。これらの各記憶内容をメ
モリIC外部に出力するとき、各メモリセルに保持され
たデータはデータバス信号線DBA1〜DBA4へ出力
し、一致・不一致回路505に入力される。TE信号
が、"High"のとき、一致・不一致回路505が動作し、
すべてのメモリセルの記憶内容が設定されたレベルと一
致するかどうかを判定する。もし一致するなら"High"、
不一致なら"Low"をDATA-OUTバッファ503へ出力す
る。DATA-OUTバッファ503では、一致・不一致回路5
05の出力が"High"であるならばDBA1データを増幅
し、I/O端子501からメモリIC外部に出力す
る。"Low"であるならば、"High-z"(中間電位)をI/
O端子501から出力する。装置利用者は、このI/O
端子501の出力を確認することにより、メモリ動作の
不具合を確認する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のメモリ
ICでは、I/O端子に接続される1本のデータバスを
複数のデータバスに接続し、不一致のときには複数のデ
ータバス出力を1本のデータバスよりて出力する構成で
あるため、特定のデータバス出力が不良であるとき、そ
のデータバスに連なる特定のメモリセルの読み書き動作
を確認できず、全データバスを不良と判定してしまうと
いう問題点があった。
【0015】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、検査装置のド
ライバー・コンパレータ数に制限されることなく、複数
のI/O(データバス信号線を含むメモリセル)のそれ
ぞれに対する検査を同時に行うことのできる半導体記憶
装置を実現することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手順】本発明の半導体記憶装置
は、メモリセルに格納されたデータを伝送するためのデ
ータバスと、前記データバスを介するメモリセルへのデ
ータの書込みおよび読み出しを行うための複数のI/O
端子と、前記メモリセルと複数のI/Oとの間のデータ
バスに挿入されてこれを第1のデータバスと第2のデー
タバスとに分断するとともに第1および第2のデータバ
スを構成する複数のデータバス信号線の接続状態を所定
のI/O端子について1対1接続または1対多接続と制
御する分配回路とを有する半導体記憶装置において、前
記分配回路とメモリセルアレイとの間の第2のデータバ
スに挿入されてこれを第2のデータバスと第3のデータ
バスとに分断するとともに、第2および第3のデータバ
スを構成する複数のデータバス信号線の接続状態を1対
1接続または多対1接続とするマルチプレクサ回路と、
前記マルチプレクサ回路におけるデータバス信号線の接
続状態を維持するために第2のデータバス出力をラッチ
して前記マルチプレクサ回路の制御入力とするラッチ回
路とを有することを特徴とする。
【0017】この場合、マルチプレクサ回路とラッチ回
路との間に設けられ、前記マルチプレクサ回路の制御入
力を強制的に固定とし、マルチプレクサ回路におけるデ
ータバス信号線の接続状態を維持させるデータ固定回路
を設けてもよい。
【0018】
【作用】本発明の半導体記憶装置においては、第1のデ
ータバスと第2のデータバスについては分配回路により
1対1接続または1対多接続が可能となり、また、第2
のデータバスと第3のデータバスについてはマルチプレ
クサ回路により1対1接続または多対1接続することが
可能となっている。通常のテスト時には、第1のデータ
バスと第2のデータバスを1対多接続、第2のデータバ
スと第3のデータバスを多対1接続することにより、先
述した従来例と同様のテストを行うことができる。この
状態で不良が発見された場合、本発明の半導体記憶装置
においては、第2のデータバスと第3のデータバス多対
1接続することができるので、このような接続状態とし
て不良のメモリセルを特定することができる。
【0019】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の第1の実施例の構成を示す
ブロック図である。
【0020】本実施例は、図5に示した従来例における
分配回路504を分配・圧縮回路104とし、付加回路
110を設けたものである。図1中のI/O端子10
1、DATA-INバッファ102、DATA-OUTバッファ10
3、一致・不一致回路105、データバス1061〜1
063、デコーダ107、センスアンプ108およびメ
モリセルアレイ109のそれぞれは、図5に示したI/
O端子501、DATA-INバッファ502、DATA-OUTバッ
ファ503、一致・不一致回路505、データバス50
1,5062、デコーダ507、センスアンプ508お
よびメモリセルアレイ509のそれぞれと同様であるた
めに説明は省略する。
【0021】データラッチ回路111,112およびマ
ルチプレクサ回路113から構成される付加回路110
は、分配・圧縮回路104とデコーダ107との間に配
置されている。各データラッチ回路111,112はデ
ータバス106に出力される各データをラッチ信号RA
1,RA2の出力内容に応じてラッチし、該ラッチ内容
であるMA1〜MA8,MB1〜MB8をマルチプレク
サ回路113へ出力する。
【0022】分配・圧縮回路104とI/O端子101
との間のデータバス1061、分配・圧縮回路104と
マルチプレクサ回路113との間のデータバス1062
のそれぞれはデータバス信号線DB1〜DB4,DBA
1〜DBA4から構成され、マルチプレクサ回路113
とデコーダ107との間のデータバス1063はデータ
バス信号線DBB1〜DBB4より構成されている。
【0023】図2および図3はマルチプレクサ回路11
4の構成を示す回路図である。マルチプレクサ回路11
4は図示するように複数のマルチプレクサから構成され
るもので、各マルチプレクサは図2に示すようにNMO
Sゲート214と、複数のゲート13、NANDゲート
217およびバッファ素子から構成されている。
【0024】上記のように構成されるマルチプレルサ回
路114では、各ラッチ出力毎に(図2に示す例ではM
A1,MB1)マルチプレクス動作を行うものであり、
データバス信号線DBA1〜DBA4のいずれかをデー
タバス信号線DBB1〜DBB4として出力する。
【0025】次に、電気的な検査を行うときの本実施例
の動作について説明する。
【0026】まず、ラッチ信号RA1はラッチ信号RA
1が"High"から"Low"に変化したときに、各データラッ
チ回路111,112に接続されるデータバス信号線D
BA1〜4信号をラッチ回路111に取り込み、このと
きのデータバスの内容であるMA1〜MA4信号を保持
し、マルチプレクサ回路114へ出力する。ラッチ回路
112も同様に、ラッチ信号RA2が"High"から"Low"
に変化したときに、データを保持し、DBA1〜DBA
4の信号をマルチプレクサ回路に出力する。
【0027】図2に示す構成のマルチプレクサ回路11
4は、初期状態E信号が"High"のとき、NMOSゲート
214が導通状態になり、マルチプレクサ回路201
は、DBA1とDBB1とが接続され、ゲート213は
すべて非導通状態となる。図3に示すマルチプレクサ回
路302,303,304は、それぞれDBA2をDB
B2、DBA3をDBB3、DBA4をDBB4に接続
する。
【0028】E信号が"Low"のとき、NMOSゲート2
14は、非導通状態となり、NANDゲート217は活
性状態となる。マルチプレクサ回路201で、MA1
が"Low"、MB1が"Low"のとき、DBA1につながるゲ
ート213が導通状態になる。他のゲートは、非導通状
態となり、DBB1はDBA1に接続される。同様に、
マルチプレクサ回路302〜304でも、MA2〜MA
4が"Low"、MB2〜MB4が"Low"のとき、DBA2〜
DBA4がDBB1にすべて接続される。この結果、デ
ータバス信号線DB1は、分配・圧縮回路104でDB
A1〜DBA4に分配され、マルチプレクサ回路114
で、再びDBB1に接続されることとなる。
【0029】上記のような接続が可能な本実施例におい
ては、検査装置を用いて簡単なテストパターンで試験を
行い、DBB1につながるデコーダ107、センスアン
プ108、メモリセルアレイ109の読み書き動作を確
認する。次に、MA、MB信号を変化させ、マルチプレ
クサ回路114にてDBA1をDBB2〜DBB4の順
に接続させて同様な動作試験を繰り返し、どのデータバ
スにつながるセルが不良であるかを検出する。
【0030】仮にDBB2が不良ラインとする。データ
バス信号線DBA1をDBB1、DBA3をDBB3、
DBA4をDBB4に接続する。DBA2は、データバ
ス信号線DBB1に切り替える。この結果、不良データ
バス信号線DBB2を試験対象から切り放すことがで
き、一本のI/O端子にて全てのI/Oの検査を行うこ
とができる。
【0031】図4は本発明の第2の実施例の要部構成を
示す回路図である。本実施例は、第1の実施例における
データラッチ回路111(および112)の出力部に不
良のI/Oを切り離すためのデータ固定回路を設けたも
のである。この他の構成は第1の実施例と同様であるた
めに、図4にはデータ固定回路のみを示す。
【0032】本実施例のデータ固定回路は、NMOSゲ
ート4131〜4133、抵抗414 1,4142、416
1,4162、コンデンサ415より構成されている。
【0033】データラッチ回路111とマルチプレクサ
回路113とはNMOSゲート4131を介して接続さ
れている。NMOSゲート4131,4132のゲートは
共通にポリシリコン抵抗4141を介して電源電位に接
続される。NMOSゲート4132のソースは接地さ
れ、コレクタはNMOSゲート4133のゲートと共通
に抵抗4161を介して電源電位に接続されている。N
MOSゲート4133のコレクタはマルチプレクサ回路
113の出力に接続され、ソースはバッファを介して節
点Aに接続されている。節点Aはポリシリコン抵抗41
2を介して電源電位に接続され、また、並列に設けら
れたコンデンサ415および抵抗4162を介して接地
されている。
【0034】上記のように構成された本実施例のデータ
固定回路において、不良のI/Oを永久に外部から切り
放すため、ウエハ検査の際、抵抗4161,4162にレ
ーザ光を照射して切断する。これにより、NMOSゲー
ト4131が非導通状態となり、NMOSゲート4132
が導通状態となる。この状態で、抵抗4162を切断し
た場合には、節点Aは接地電位となり、ラッチ回路11
1の出力MAは、"Low"に固定される。抵抗4162を切
断しない場合、抵抗4162として抵抗4142に比較し
て十分大きな抵抗値を有するものが用いられているた
め、節点Aは電源電位となりラッチ回路111の出力M
Aは、"High"となる。
【0035】上記構成のデータ固定回路を、データラッ
チ回路の各出力に設けらることにより上記の場合と同様
に、MA2〜4、MB1〜4も同様に、任意にデータを
組み替え、固定することができる。
【0036】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するよな効果を奏する。
【0037】請求項1に記載したものにおいては、多数
I/OピンのメモリICの特定のデータバスに不良が存
在しても、メモリIC内部でデータを切り替え、不良デ
ータバスをマスクすることができ、検査装置のドライバ
ー・コンパレータ数に制限されることなく同時検査を行
うことができる効果がある。
【0038】請求項2に記載のものにおいては、上記効
果に加えて、メモリIC内部で、データバスを任意に組
み替えることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の構成を示すブロック図
である。
【図2】本発明の第1の実施例中のマルチプレクサの構
成を示す回路図である。
【図3】本発明の第1の実施例中のマルチプレクサの構
成を示す回路図である。
【図4】本発明の第2の実施例の要部構成を示す回路図
である。
【図5】従来例の構成を示すブロック図である。
【図6】従来例の要部構成を示す回路図である。
【符号の説明】
101 I/O端子 102 DATA-INバッファ 103 DATA-OUTバッファ 104 分配回路 105 −致・不一致回路 1061〜1063 データバス 107 デコーダ 108 センスアンプ 109 メモリセルアレイ 110 付加回路 111,112 データラツチ回路 113,201,302〜304 マルチプレクサ回路 213 ゲート 214,4131,4132 NMOSゲート 217 NANDゲート 415 コンデンサ 4141,4142,4161,4162 抵抗

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルに格納されたデータを伝送す
    るためのデータバスと、前記データバスを介するメモリ
    セルへのデータの書込みおよび読み出しを行うための複
    数のI/O端子と、前記メモリセルと複数のI/Oとの
    間のデータバスに挿入されてこれを第1のデータバスと
    第2のデータバスとに分断するとともに第1および第2
    のデータバスを構成する複数のデータバス信号線の接続
    状態を所定のI/O端子について1対1接続または1対
    多接続と制御する分配回路とを有する半導体記憶装置に
    おいて、 前記分配回路とメモリセルアレイとの間の第2のデータ
    バスに挿入されてこれを第2のデータバスと第3のデー
    タバスとに分断するとともに、第2および第3のデータ
    バスを構成する複数のデータバス信号線の接続状態を1
    対1接続または多対1接続とするマルチプレクサ回路
    と、 前記マルチプレクサ回路におけるデータバス信号線の接
    続状態を維持するために第2のデータバス出力をラッチ
    して前記マルチプレクサ回路の制御入力とするラッチ回
    路とを有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体記憶装置におい
    て、 マルチプレクサ回路とラッチ回路との間に設けられ、前
    記マルチプレクサ回路の制御入力を強制的に固定とし、
    マルチプレクサ回路におけるデータバス信号線の接続状
    態を維持させるデータ固定回路を有することを特徴とす
    る半導体記憶装置。
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