JPH0886872A - 位相比較処理回路および光波距離計 - Google Patents

位相比較処理回路および光波距離計

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JPH0886872A
JPH0886872A JP6223115A JP22311594A JPH0886872A JP H0886872 A JPH0886872 A JP H0886872A JP 6223115 A JP6223115 A JP 6223115A JP 22311594 A JP22311594 A JP 22311594A JP H0886872 A JPH0886872 A JP H0886872A
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JP
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frequency
signal
reference signal
phase
phase comparison
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JP6223115A
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Tsukasa Fujita
司 藤田
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Keyence Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 処理信号が基準信号からの漏れ信号の影響を
受けることなく、精度よく位相比較を行うことができる
位相比較処理回路を提供することである。 【構成】 第1の発振器1から発生された周波数2f1
の基準信号A1は、分周器2により分周され、レーザ素
子4を駆動する駆動回路3に与えられる。受光素子8
は、測定対象物6からの光信号を電気信号に変換し、周
波数f1 の測定信号Bを第1のヘテロダイン回路12に
与える。第1のヘテロダイン回路12は、測定信号Bを
局部発信信号D2と混合することにより低い周波数の測
定信号Eを位相比較器19に与える。第2のヘテロダイ
ン回路17は、基準信号A1を局部発信信号D1と混合
することにより低い周波数の測定信号Fを位相比較器1
9に与える。位相比較器19は測定信号Eの位相を基準
信号Fの位相と比較し、位相差に対応する電圧信号Cを
出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基準信号を所定の処理
手段に与え、処理手段から出力される処理信号と基準信
号との位相差を検出する位相比較処理回路およびそれを
用いた光波距離計に関する。
【0002】
【従来の技術】図12は位相比較器を用いた光波距離計
の原理を示すブロック図である。図12において、発振
器51は所定の周波数を有する基準信号Aを発生する。
基準信号Aにより変調されたレーザ光を測定対象物52
に投光し、測定対象物52からの反射光を受光する。受
光した光信号を電気信号に変換し、増幅器53および波
形整形回路54を介して測定信号Bとして位相比較器5
5に与える。位相比較器55は測定信号Bの位相を発振
器51から発生された基準信号Aの位相と比較し、位相
差に対応する電圧信号Cを出力する。位相比較器55と
しては、ダブルバランスドミキサ、排他的論理和ゲート
等が用いられる。
【0003】測定対象物52までの距離に応じて測定信
号Bの位相が基準信号Aの位相に対してずれるので、測
定信号Bと基準信号Aとの位相差および光の速度に基づ
いて測定対象物52までの距離を算出することができ
る。
【0004】高精度で距離を測定するためには、基準信
号Aの周波数を高くする必要がある。その場合、位相比
較器55として高速動作が可能なものを用いる必要があ
る。特に、位相比較器55として排他的論理和ゲートを
用いた場合には、立ち上がりおよび立ち下がり時間にば
らつきが生じるため、位相比較の精度が悪くなる。
【0005】また、基準信号Aの周波数が高くなると、
基準信号Aおよび測定信号Bが位相比較器55までの伝
送線の影響を受け易くなる。したがって、位相比較を高
精度に行うためには、位相比較器55に入力する基準信
号Aおよび測定信号Bの周波数はできる限り低い方が望
ましい。
【0006】そこで、図13に示すように、高い周波数
の基準信号および測定信号を低い周波数に変換して位相
比較を行う位相比較処理回路が用いられている。図13
の位相比較処理回路において、第1の発振器(基準発振
器)61は、周波数f1 の基準信号Aを発生し、その基
準信号Aを測定対象物67および第2のヘテロダイン回
路64に与える。第2の発振器(局部発振器)62は、
周波数f 2 の局部発振信号Dを発生し、その局部発振信
号Dを第1のヘテロダイン回路63および第2のヘテロ
ダイン回路64に与える。
【0007】第1のヘテロダイン回路63は、測定対象
物67から与えられる測定信号Bを局部発振信号Dと混
合することにより、周波数f1 と周波数f2 との差の周
波数|f1 −f2 |を有する測定信号Eを出力する。第
2のヘテロダイン回路64は、基準信号Aを局部発振信
号Dと混合することにより、周波数f1 と周波数f2
の差の周波数|f1 −f2 |を有する基準信号Fを出力
する。位相比較器65は、測定信号Eの位相と基準信号
Fの位相とを比較し、位相差に対応する電圧信号Cを出
力する。
【0008】例えば、周波数f1 を100MHz、周波
数f2 を99.9MHzとすると、第1のヘテロダイン
回路63から出力される測定信号Eの周波数および第2
のヘテロダイン回路64から出力される基準信号Fの周
波数はいずれも0.1MHzとなる。
【0009】このように、高周波の測定信号および基準
信号をヘテロダイン回路で低周波に変換することにより
高精度に位相比較を行うことが可能となる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】図13に示した従来の
位相比較処理回路においては、第1の発振器61から発
生される高周波の基準信号Aを測定対象物67に与える
以外に、第2のヘテロダイン回路64にも与える必要が
ある。そのため、高周波の基準信号Aを伝送する信号線
を引き回すことになる。その結果、基準信号Aを伝送す
る信号線から漏れ信号が発生し、その漏れ信号が測定信
号Bを伝送する信号線および局部発振信号Dを伝送する
信号線に入り込み、正確な位相比較ができなくなる。こ
のような漏れ信号の量は、基準信号Aの周波数が高くな
るほど増加する。また、測定信号Bの信号レベルが微弱
であると、漏れ信号の影響は非常に大きい。
【0011】本発明の目的は、処理信号が基準信号から
の漏れ信号の影響を受けることなく精度の高い位相比較
を行うことができる位相比較処理回路を提供することで
ある。
【0012】本発明の他の目的は、測定信号が基準信号
からの漏れ信号の影響を受けることなく精度の高い距離
測定を行うことができる光波距離計を提供することであ
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】
(1) 第1の発明 第1の発明に係る位相比較処理回路は、発振手段により
第1の周波数を有する基準信号を発生し、基準信号を所
定の処理手段および位相比較手段に与え、処理手段から
出力される第1の周波数を有する処理信号と発振手段か
ら発生される基準信号との位相差を位相比較手段により
検出する位相比較処理回路において、第1の周波数変換
手段および第2の周波数変換手段をさらに備えたもので
ある。
【0014】第1の周波数変換手段は、発振手段から処
理手段に与える基準信号の周波数と発振手段から位相比
較手段に与える基準信号の周波数とを異ならせる。第2
の周波数変換手段は、位相比較手段に与える処理信号の
周波数と発振手段から位相比較手段に与える基準信号の
周波数とを等しくする。
【0015】(2) 第2の発明 第2の発明に係る位相比較処理回路は、第1の発明に係
る位相比較処理回路の構成において、局部発振手段、第
1の混合手段および第2の混合手段をさらに備えたもの
である。
【0016】局部発振手段は、第1の周波数と異なる第
2の周波数を有する局部発振信号を発生する。第1の混
合手段は、位相比較手段に与える処理信号を局部発振手
段から発生される局部発振信号と混合することにより位
相比較手段に与える処理信号の周波数を第1の周波数と
第2の周波数との差の周波数に変換する。第2の混合手
段は、位相比較手段に与える基準信号を局部発振手段か
ら発生される局部発振信号と混合することにより位相比
較手段に与える基準信号の周波数を第1の周波数と第2
の周波数との差の周波数に変換する。
【0017】(3) 第3の発明 第3の発明に係る位相比較処理回路は、第1の発明に係
る位相比較処理回路の構成において、フィルタ手段をさ
らに備えたものである。フィルタ手段は、位相比較手段
に与える基準信号から処理手段に与える基準信号の周波
数成分を除去する。
【0018】(4) 第4の発明 第4の発明に係る光波距離計は、第1の周波数を有する
基準信号を発生する発振手段と、基準信号で変調された
光を測定対象物に投光する投光手段と、測定対象物から
の光を受光して測定信号として出力する受光手段と、発
振手段により発生される基準信号と受光手段から出力さ
れる測定信号との位相差を比較する位相比較手段とを備
えた光波距離計において、第1の周波数変換手段および
第2の周波数変換手段をさらに備えたものである。
【0019】第1の周波数変換手段は、発振手段から投
光手段に与える基準信号の周波数と発振手段から位相比
較手段に与える基準信号の周波数とを異ならせる。第2
の周波数変換手段は、位相比較手段に与える測定信号の
周波数と位相比較手段に与える基準信号の周波数とを等
しくする。
【0020】(5) 第5の発明 第5の発明に係る光波距離計は、第4の発明に係る光波
距離計の構成において、局部発振手段、第1の混合手段
および第2の混合手段をさらに備えたものである。
【0021】局部発振手段は、第1の周波数と異なる第
2の周波数を有する局部発振信号を発生する。第1の混
合手段は、位相比較手段に与える測定信号を局部発振手
段から発生される局部発振信号と混合することにより位
相比較手段に与える測定信号の周波数を第1の周波数と
第2の周波数との差の周波数に変換する。第2の混合手
段は、位相比較手段に与える基準信号を局部発振手段か
ら発生される局部発振信号と混合することにより位相比
較手段に与える基準信号の周波数を第1の周波数と第2
の周波数との差の周波数に変換する。
【0022】
【作用】第1〜第3の発明に係る位相比較処理回路にお
いては、発振手段から処理手段に与える基準信号の周波
数と発振手段から位相比較手段に与える基準信号の周波
数とが異なるように、第1の周波数変換手段によりいず
れか一方の周波数が変換される。それにより、処理手段
から出力される処理信号の周波数が発振手段から位相比
較手段に与える基準信号の周波数と異なることになる。
したがって、基準信号を伝送する信号線から漏れ信号が
発生しても、その漏れ信号が処理信号に影響を及ぼすこ
とはない。
【0023】また、位相比較手段に与える処理信号の周
波数と位相比較手段に与える基準信号の周波数とが等し
くなるように、第2の周波数変換手段によりいずれか一
方の周波数が変換される。したがって、位相比較手段に
より処理信号と基準信号との位相差が正確に検出され
る。
【0024】特に、第2の発明に係る位相比較処理回路
においては、処理信号の周波数および基準信号の周波数
がそれぞれ第1および第2の混合手段により低い周波数
に変換される。したがって、基準信号の周波数が高い場
合でも、処理信号が漏れ信号の影響を受けることなく、
処理信号と基準信号との位相差が精度よく検出される。
【0025】また、第3の発明に係る位相比較処理回路
においては、位相比較手段に与える基準信号から処理手
段に与える基準信号の周波数成分がフィルタ手段により
除去されるので、位相比較手段に与える基準信号から処
理手段に与える基準信号と同じ周波数成分の漏れ信号が
発生しない。
【0026】第4および第5の発明に係る光波距離計に
おいては、発振手段から投光手段に与える基準信号の周
波数と発振手段から位相比較手段に与える基準信号の周
波数とが異なるように、第1の周波数変換手段によりい
ずれか一方の周波数が変換される。それにより、受光手
段から出力される測定信号の周波数が、発振手段から位
相比較手段に与える基準信号の周波数と異なることにな
る。したがって、基準信号を伝送する信号線から漏れ信
号が発生しても、その漏れ信号が測定信号に影響を及ぼ
すことはない。
【0027】また、位相比較手段に与える測定信号の周
波数と位相比較手段に与える基準信号の周波数とが等し
くなるように、第2の周波数変換手段によりいずれか一
方の周波数が変換される。したがって、位相比較手段に
より測定信号と基準信号との位相差が正確に検出され、
測定対象物までの距離または測定対象物の変位を精度よ
く測定することが可能になる。
【0028】特に、第5の発明に係る光波距離計におい
ては、測定信号の周波数および基準信号の周波数がそれ
ぞれ第1および第2の混合手段により低い周波数に変換
される。したがって、基準信号の周波数が高い場合で
も、測定信号が漏れ信号の影響を受けることなく、測定
信号と基準信号との位相差が精度よく検出される。
【0029】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例による位相比較
処理回路を用いた光波距離計の構成を示すブロック図で
ある。図1の光波距離計は、測定対象物までの距離また
は測定対象物の変位を測定するために用いられる。
【0030】図1に示される位相比較処理回路100に
おいて、第1の発振器(基準発振器)1は、周波数2f
1 の基準信号A1を発生し、その基準信号A1を分周器
2およびトラップフィルタ15に与える。この第1の発
振器1の発振周波数は可変となっている。分周器2は、
基準信号A1を1/2に分周し、周波数f1 の基準信号
A2を駆動回路3に与える。駆動回路3は、基準信号A
2に応答して半導体レーザ素子からなるレーザ素子4を
駆動する。それにより、レーザ素子4が、基準信号A2
の周波数f1 で強度変調されたレーザ光を出射する。
【0031】レーザ素子4により出射されたレーザ光は
投光ミラー5により反射され、測定対象物6に投光され
る。測定対象物6により反射されたレーザ光は非球面受
光レンズ7により集光され、受光素子8により受光され
る。受光素子8は、受光した光信号を電気信号に変換
し、増幅器9を介して周波数f1 の測定信号Bとして第
1のヘテロダイン回路12に出力する。
【0032】一方、トラップフィルタ15は、第1の発
振器1から与えられる基準信号A1から周波数成分f1
を除去し、周波数成分f1 を含まない基準信号A1を第
2のヘテロダイン回路17に出力する。これにより、分
周器2により出力される周波数f1 の基準信号A2が第
1の発振器4から第2のヘテロダイン回路17を経由し
て分周器11に至るまでの経路を介して第1のヘテロダ
イン回路12に入り込むことが防止される。
【0033】第2の発振器(局部発振器)10は、周波
数2f2 の局部発振信号D1を発生し、その局部発振信
号D1を分周器11に与え、かつトラップフィルタ16
を介して第2のヘテロダイン回路17に与える。第2の
発振器10の発振周波数も可変となっている。分周器1
1は、局部発振信号D1を1/2に分周し、周波数f 2
の局部発振信号D2を第1のヘテロダイン回路12に出
力する。一方、トラップフィルタ16は、分周器2によ
り出力される周波数f1 の基準信号A2が第1の発振器
4から第2のヘテロダイン回路17を経由して分周器1
1に至るまでの経路を介して第1のヘテロダイン回路1
2に入り込むことをさらに防止する。
【0034】第1のヘテロダイン回路12は、受光素子
8から与えられる測定信号Bを分周器11から与えられ
る局部発振信号D2と混合することにより、周波数f1
と周波数f2 との差の周波数|f1 −f2 |を有する測
定信号Eを出力する。測定信号Eは、増幅器13により
増幅され、波形整形回路14により波形整形された後、
位相比較回路19に与えられる。
【0035】一方、第2のヘテロダイン回路17は、ト
ラップフィルタ15から与えられる基準信号A1をトラ
ップフィルタ16から与えられる局部発振信号D1と混
合することにより、周波数f1 と周波数f2 との差の周
波数2|f1 −f2 |を有する基準信号F1を分周器1
8に出力する。分周器18は、基準信号F1を1/2に
分周し、周波数|f1 −f2 |を有する基準信号Fを位
相比較器19に出力する。
【0036】位相比較器19は、測定信号Eの位相を基
準信号Fの位相と比較し、位相差に対応する電圧信号C
を出力する。A/D変換器20は、位相比較器19から
出力される電圧信号Cを位相差を示すデジタル信号に変
換し、データ処理部21に与える。データ処理部21
は、A/D変換器20から与えられた位相差および光の
速度に基づいて測定対象物6までの距離を計算し、計算
結果を表示器22に表示させる本実施例の位相比較処理
回路100においては、第1の発振器1により発生され
る基準信号A1の周波数2f1 がレーザ素子4を駆動す
る基準信号A2の周波数f1 と異なるので、基準信号A
1を伝送する信号線から漏れ信号が発生し、その漏れ信
号が測定信号Bを伝送する信号線および局部発振信号D
2を伝送する信号線に混入しても、第1のヘテロダイン
回路12から出力される測定信号Eはその漏れ信号の影
響を受けない。
【0037】したがって、第1の発振器1と受光素子8
との間隔を狭くすることができ、また第1の発振器1と
受光素子8との間に強固なシールドを設ける必要もなく
なる。それにより、位相比較処理回路100を含むセン
サーヘッド200において、電子回路部品の実装密度を
高くすることが可能となり、センサーヘッド200を小
型化することができる。
【0038】なお、測定対象物6が拡散反射物である場
合には、受光素子8から出力される測定信号Bは微弱で
あり、漏れ信号の影響を非常に受け易い。このような場
合でも、本実施例の位相比較処理回路100において
は、基準信号A1の周波数2f 1 と測定信号Bの周波数
1 とが異なるので、測定信号Bが基準信号Alを伝送
する信号線からの漏れ信号の影響を受けない。したがっ
て、測定信号Eと基準信号Fとの位相比較を正確に行う
ことができる。
【0039】図2に図1のトラップフィルタ15の周波
数特性を示す。図2に示すように、トラップフィルタ1
5においては、周波数f1 において利得が0となる。す
なわち、トラップフィルタ15は、基準信号Alから周
波数成分f1 を除去し、周波数成分f1 を全く含まない
基準信号A1を出力する。したがって、基準信号A1か
ら周波数f1 の漏れ信号が発生することが完全に防止さ
れる。
【0040】図1のトラップフィルタ16も、同様に、
周波数成分f1 を除去する。したがって、周波数成分f
1 の漏れ信号が第1のヘテロダイン回路12へ入り込む
ことがさらに完全に防止される。
【0041】図3は一般的な位相比較器の構成を示す回
路図である。図3の位相比較器は、排他的論理和ゲート
190および積分回路(ローパスフィルタ)191から
なる。積分回路191は抵抗192およびキャパシタ1
93からなる。排他的論理和ゲート190の一方の入力
端子に測定信号Eが与えられ、他方の入力端子に基準信
号Fが与えられる。
【0042】図4に図3の位相比較器の出力特性を示
す。図4に実線で示すように、理想的な場合には、測定
信号Eと測定信号Fの位相差が0°から180°まで変
化すると出力電圧は0Vから電源電圧VCCまで直線的に
上昇し、位相差が180°から360°まで変化すると
出力電圧は電源電圧VCCから0Vまで直線的に減少す
る。しかしながら、実際には、破線で示すように、位相
差が0°、180°および360°の付近では直線性が
悪くなる。
【0043】そこで、本実施例の位相比較処理回路10
0においては図5に示す位相比較器19を用いる。図5
の位相比較器19は、2つの排他的論理和ゲート190
A,190B、2つの積分回路191A,191Bおよ
び90°移相器194を含む。積分回路191Aは抵抗
192Aおよびキャパシタ193Aを含み、積分回路1
91Bは抵抗192Bおよびキャパシタ193Bを含
む。
【0044】測定信号Eは排他的論理和ゲート190A
の一方の入力端子および排他的論理和ゲート190Bの
一方の入力端子に与えられる。基準信号Fは排他的論理
和ゲート190Aの他方の入力端子および90°移相器
194に与えられる。90°移相器194は、基準信号
Fに対して位相が90°ずれた信号F’を作り出し、そ
の信号F’を排他的論理和ゲート190Bの他方の入力
端子に与える。
【0045】図6に基準信号Fおよび信号F’の波形図
を示す。図6に示すように、測定信号Fは0Vと電源電
圧VCCとの間で変化する矩形波であり、信号F’は基準
信号Fに対して90°位相がずれた矩形波となる。
【0046】図5において、排他的論理和ゲート190
Aは、測定信号Eと基準信号Fとの排他的論理和演算を
行い、演算結果を積分回路191Aに与える。それによ
り、積分回路191Aから測定信号Eと基準信号Fとの
位相差に対応した電圧信号C1が出力される。また、排
他的論理和ゲート190Bは、測定信号Eと信号F’と
の排他的論理和演算を行い、演算結果を積分回路191
Bに出力する。これにより、積分回路191Bから測定
信号Eと信号F’との位相差に対応した電圧信号C2が
出力される。
【0047】図7に図5の位相比較器19の出力電圧C
1,C2の波形図を示す。図7に示すように、電圧信号
C1と電圧信号C2とは位相が互いに90°ずれてい
る。電圧信号C1は、測定信号Eと基準信号Fの位相差
が45°から135°まで変化するときおよび225°
から315°まで変化するときに直線的に増加および減
少する。一方、電圧信号C2は、測定信号Eと基準信号
Fの位相差が135°から225°まで変化するときお
よび315°から405°まで変化するときに直線的に
増加および減少する。
【0048】したがって、所定の切替え回路(図示せ
ず)を用いて、位相差が45°から135°までの範囲
および225°から315°までの範囲にあるときに電
圧信号C1を選択し、位相差が135°から225°ま
での範囲および315°から405°までの範囲にある
ときに電圧信号C2を選択する。これにより、位相比較
の精度が高くなる。
【0049】図8は図1に示されるデータ処理部21の
主要部の構成を示すブロック図である。図8に示すよう
に、データ処理部21は、第1のマイクロコンピュータ
211、第2のマイクロコンピュータ212、フリップ
フロップ213および3ステートバッファ214を含
む。
【0050】第1のマイクロコンピュータ211は、主
として距離の計算、測定データの加工、表示器22(図
1)の点灯制御およびアナログ信号の出力制御を行う。
測定データの加工としては、例えば測定された距離への
定数の加算、測定された距離の定数倍等がある。一方、
第2のマイクロコンピュータ212の入力ポートI1に
は、A/D変換器20(図1)から位相比較結果を示す
デジタルデータが与えられる。第2のマイクロコンピュ
ータ212は、位相比較結果を示すデジタルデータを内
部メモリに保存する。
【0051】第1のマイクロコンピュータ211のアド
レスバスA15〜A0 は第2のマイクロコンピュータ21
2の入力ポートP1に接続される。第2のマイクロコン
ピュータ212のデータバスD7 〜D0 は3ステートバ
ッファ214の入力端子INおよび出力端子OUTを介
して第1のマイクロコンピュータ211のデータバスD
7 〜D0 に接続される。第2のマイクロコンピュータ2
12の出力ポートO1はフリップフロップ213のクリ
ア端子CLRに接続される。第1のマイクロコンピュー
タ211のアドレスバスA15〜A0 の一部はフリップフ
ロップ213のセット端子SETに接続され、フリップ
フロップ213の出力端子Qは第1のマイクロコンピュ
ータ211のウエイト端子WTに接続される。
【0052】図9の(a)に第1のマイクロコンピュー
タ211の動作を示し、図9の(b)に第2のマイクロ
コンピュータ212の動作を示す。第1のマイクロコン
ピュータ211がアドレスバスA15〜A0 に特定のアド
レスを示すアドレス信号を出力すると(ステップS
1)、フリップフロップ213のセット端子SETにセ
ット信号が与えられ、フリップフロップ213の出力端
子Qから第1のマイクロコンピュータ211のウエイト
端子WTにウエイト信号が与えられる。これにより、第
1のマイクロコンピュータ211がウエイトサイクルに
入る(ステップS2)。
【0053】第2のマイクロコンピュータ212は、入
力ポートP1に与えられたアドレス信号が自らのアドレ
スを指定しているかどうかを判断し(ステップS1
1)、自らのアドレスを指定している場合には、アドレ
ス信号により指定された内部メモリのアドレスからデー
タを読み取り、そのデータをデータバスD7 〜D0 に出
力する(ステップS12)。同時に、第2のマイクロコ
ンピュータ212は、出力ポートO1からクリア信号を
出力する(ステップS13)。
【0054】フリップフロップ213は、クリア信号に
応答してウエイト信号の出力を停止する。それにより、
第1のマイクロコンピュータ211のウエイトサイクル
が解除される(ステップS3)。第1のマイクロコンピ
ュータ211は、3ステートバッファ214を介してデ
ータバスD0 〜D7 に出力されたデータを読み込み、内
部メモリに格納する(ステップS4)。
【0055】このように、第1のマイクロコンピュータ
211からアドレス信号を出力するだけで、ハンドシェ
イク動作を行うことなく、第2のマイクロコンピュータ
212の内部メモリに保存されるデータを第1のマイク
ロコンピュータ211に自動的に読み込むことができ
る。したがって、第1のマイクロコンピュータ211と
第2のマイクロコンピュータ212との間でのデータの
転送時間と第1のマイクロコンピュータ211のプログ
ラム容量とを削減することができる。
【0056】図10は図1に示される表示器22を示す
図である。表示器22は、測定された距離の値、測定デ
ータの加工値等を表示する表示部220に加えて加工表
示用表示器221が設けられている。加工表示用表示器
221は、表示部220に表示された値が実際の測定デ
ータへの定数の加算、測定データの定数倍等の加工によ
り得られた値である場合に点灯する。それにより、ユー
ザは、表示された値が測定データの加工値であることを
一見して知ることができる。
【0057】本実施例のセンサーヘッド200を複数台
使用する場合には、それぞれのセンサーヘッド200に
おける第1の発振器1の発振周波数を2f1 ,2
1 ’,2f1 ”,…というように互いに異なるように
設定する。それにより、それぞれのセンサーヘッド20
0から投光されるレーザ光の相互干渉が防止される。
【0058】同時に、それぞれのセンサーヘッド200
における第2の発振器10の発振周波数を2f2 ,2f
2 ’,2f2 ”,…というように互いに異ならせ、かつ
|f 1 −f2 |=|f1 ’−f2 ’|=|f1 ”−
2 ”|となるように調整する。この場合、各センサー
ヘッド200内の増幅器13は同一の周波数を増幅すれ
ばよいので、全てのセンサーヘッド200に同一の周波
数特性を有する増幅器を使用することができ、回路が簡
素化される。
【0059】図11は本発明の第2の実施例による位相
比較処理回路を用いた光波距離計の構成を示すブロック
図である。図11において、図1と同一または相当部分
に同一符号を付し、その説明を省略する。
【0060】図11の位相比較処理回路101におい
て、第1の発振器31は、周波数f1の基準信号a1を
発生し、その基準信号a1を駆動回路3および周波数変
換器32に与える。周波数変換器32は分周器、カウン
タ、逓倍器等からなり、基準信号a1の周波数f1 を位
相同期した異なる周波数f1 ’に変換し、周波数f1
の基準信号a2をトラップフィルタ33に与える。トラ
ップフィルタ33は、基準信号a2から周波数成分f1
を除去し、周波数成分f1 を含まない基準信号a2を第
2のヘテロダイン回路35に与える。
【0061】駆動回路3は、基準信号a1に応答してレ
ーザ素子4を駆動し、第1の実施例と同様にして、受光
素子8が、測定対象物6からの光信号を電気信号に変換
し、増幅器9を介して周波数f1 の測定信号Bを第1の
ヘテロダイン回路12に与える。
【0062】第2の発振器34は、周波数f2 の局部発
振信号dを発生し、その局部発振信号dを第1のヘテロ
ダイン回路12および第2のヘテロダイン回路35に与
える。第1のヘテロダイン回路12は、測定信号Bを局
部発振信号dと混合することにより、周波数f1 と周波
数f2 との差の周波数|f1 −f2 |を有する測定信号
Eを増幅器13および波形整形回路14を介して位相比
較器19に出力する。
【0063】一方、第2のヘテロダイン回路35は、基
準信号a2を局部発振信号dと混合することにより、周
波数f1 ’と周波数f2 との差の周波数|f1 ’−f2
|を有する基準信号f1を周波数変換器36に出力す
る。周波数変換器36は分周器、カウンタ、逓倍器等か
らなり、基準信号f1の周波数|f1 ’−f2 |を位相
同期した異なる周波数|f1 −f2 |に変換し、周波数
|f1 −f2 |を有する基準信号Fを位相比較器19に
出力する。位相比較器19は、測定信号Eの位相を基準
信号Fの位相と比較し、位相差に対応する電圧信号Cを
出力する。
【0064】本実施例の位相比較処理回路101におい
ても、第2のヘテロダイン回路35に与えられる基準信
号a2の周波数f1 ’がレーザ素子4を駆動する基準信
号a1の周波数f1 と異なるので、基準信号a2を伝送
する信号線から漏れ信号が発生し、その漏れ信号が測定
信号Bを伝送する信号線および局部発振信号dを伝送す
る信号線に混入しても、第1のヘテロダイン回路12か
ら出力される測定信号Eはその漏れ信号の影響を受けな
い。
【0065】上記第1および第2の実施例では、本発明
の位相比較処理回路を光波距離計に適用した場合を説明
したが、本発明の位相比較処理回路はインピーダンスメ
ータ、ネットワークアナライザ等の測定器あるいは処理
信号と基準信号との位相差を検出するその他の処理装置
にも適用することが可能である。
【0066】
【発明の効果】第1〜第3の発明によれば、処理手段か
ら出力される処理信号の周波数が発振手段から位相比較
手段に与える基準信号の周波数と異なることになるの
で、基準信号を伝送する信号線から漏れ信号が発生して
も、その漏れ信号が処理信号に影響を及ぼすことはな
い。したがって、処理信号と基準信号との位相差を精度
よく検出することができる位相比較処理回路が得られ
る。
【0067】特に、第2の発明によれば、処理信号の周
波数および基準信号の周波数が低い周波数に変換される
ので、基準信号の周波数が高い場合でも処理信号と基準
信号との位相差を高い精度で検出することができる。
【0068】また、第3の発明によれば、位相比較手段
に与える基準信号から処理信号と同じの周波数成分の漏
れ信号が発生することが完全に防止されるので、さらに
位相差検出の精度が高くなる。
【0069】第4および第5の発明に係る光波距離計に
おいては、受光手段から出力される測定信号の周波数が
発振手段から位相比較手段に与える基準信号の周波数と
異なるので、基準信号を伝送する信号線から漏れ信号が
発生しても、その漏れ信号が測定信号に影響を及ぼすこ
とはない。また、発振手段と受光手段と間隔を狭くする
ことが可能となり、かつ発振手段と受光手段との間に強
力なシールドを設ける必要もなくなる。したがって、精
度が高く、かつ小型化が可能な光波距離計が得られる。
【0070】特に、第5の発明に係る光波距離計におい
ては、測定信号の周波数および基準信号の周波数が低い
周波数に変換されるので、基準信号の周波数が高い場合
でも測定信号が漏れ信号の影響を受けることなく、測定
信号と基準信号との位相差が正確に検出される。したが
って、短い距離でも精度よく測定できる光波距離計が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による位相比較処理回路
を用いた光波距離計の構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示されるトラップフィルタの周波数特性
を示す図である。
【図3】一般的な位相比較器の構成を示す回路図であ
る。
【図4】図3の位相比較器の出力特性を示す図である。
【図5】図1の位相比較処理回路に用いられる位相比較
器の構成を示す回路図である。
【図6】図5の位相比較器に入力される基準信号および
その基準信号と90°位相がずれた信号を示す波形図で
ある。
【図7】図5の位相比較器における電圧信号の波形図で
ある。
【図8】図1に示されるデータ処理部の主要部の構成を
示すブロック図である。
【図9】図8に示される第1および第2のマイクロコン
ピュータの動作を示すフローチャートである。
【図10】図1に示される表示器を示す図である。
【図11】本発明の第2の実施例による位相比較処理回
路を用いた光波距離計の構成を示すブロック図である。
【図12】従来の光波距離計の原理を示すブロック図で
ある。
【図13】従来の位相比較処理回路の構成を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
1 第1の発振器 2 分周器 3 駆動回路 4 レーザ素子 6 測定対象物 8 受光素子 10 第2の発振器 11 分周器 12 第1のヘテロダイン回路 15,16 トラップフィルタ 17 第2のヘテロダイン回路 18 分周器 19 位相比較器 31 第1の発振器 32 周波数変換器 33 トラップフィルタ 34 第2の発振器 100,101 位相比較処理回路 200 センサーヘッド なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発振手段により第1の周波数を有する基
    準信号を発生し、前記基準信号を所定の処理手段および
    位相比較手段に与え、前記処理手段から出力される前記
    第1の周波数を有する処理信号と前記発振手段から発生
    される基準信号との位相差を前記位相比較手段により検
    出する位相比較処理回路において、 前記発振手段から前記処理手段に与える基準信号の周波
    数と前記発振手段から前記位相比較手段に与える基準信
    号の周波数とを異ならせる第1の周波数変換手段と、 前記位相比較手段に与える前記処理信号の周波数と前記
    発振手段から前記位相比較手段に与える基準信号の周波
    数とを等しくする第2の周波数変換手段とをさらに備え
    たことを特徴とする位相比較処理回路。
  2. 【請求項2】 前記第1の周波数と異なる第2の周波数
    を有する局部発振信号を発生する局部発振手段と、 前記位相比較手段に与える前記処理信号を前記局部発振
    手段から発生される局部発振信号と混合することにより
    前記位相比較手段に与える前記処理信号の周波数を前記
    第1の周波数と前記第2の周波数との差の周波数に変換
    する第1の混合手段と、 前記位相比較手段に与える基準信号を前記局部発振手段
    から発生される局部発振信号と混合することにより前記
    位相比較手段に与える基準信号の周波数を前記第1の周
    波数と前記第2の周波数との差の周波数に変換する第2
    の混合手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項1
    記載の位相比較処理回路。
  3. 【請求項3】 前記位相比較手段に与える基準信号から
    前記処理手段に与える基準信号の周波数成分を除去する
    フィルタ手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1
    記載の位相比較処理回路。
  4. 【請求項4】 第1の周波数を有する基準信号を発生す
    る発振手段と、前記基準信号で変調された光を測定対象
    物に投光する投光手段と、前記測定対象物からの光を受
    光して測定信号として出力する受光手段と、前記発振手
    段により発生される基準信号と前記受光手段から出力さ
    れる測定信号との位相差を比較する位相比較手段とを備
    えた光波距離計において、 前記発振手段から前記投光手段に与える基準信号の周波
    数と前記発振手段から前記位相比較手段に与える基準信
    号の周波数とを異ならせる第1の周波数変換手段と、 前記位相比較手段に与える前記測定信号の周波数と前記
    位相比較手段に与える基準信号の周波数とを等しくする
    第2の周波数変換手段とをさらに備えたことを特徴とす
    る光波距離計。
  5. 【請求項5】 前記第1の周波数と異なる第2の周波数
    を有する局部発振信号を発生する局部発振手段と、 前記位相比較手段に与える前記測定信号を前記局部発振
    手段から発生される局部発振信号と混合することにより
    前記位相比較手段に与える前記測定信号の周波数を前記
    第1の周波数と前記第2の周波数との差の周波数に変換
    する第1の混合手段と、 前記位相比較手段に与える基準信号を前記局部発振手段
    から発生される局部発振信号と混合することにより前記
    位相比較手段に与える基準信号の周波数を前記第1の周
    波数と前記第2の周波数との差の周波数に変換する第2
    の混合手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項4
    記載の光波距離計。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1096778A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Kubota Corp 測距装置
JP2007278932A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Yokogawa Denshikiki Co Ltd 微小移動検出装置
JP2011196924A (ja) * 2010-03-23 2011-10-06 Panasonic Electric Works Co Ltd 障害物検知装置
JP2011257285A (ja) * 2010-06-10 2011-12-22 Kyosan Electric Mfg Co Ltd 距離センサ及び制御方法
JP2012002559A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Kyosan Electric Mfg Co Ltd 距離センサ
CN104035086A (zh) * 2014-06-14 2014-09-10 哈尔滨工业大学 混合外差式可溯源精测尺He-Ne激光测距装置与方法
CN104155642A (zh) * 2014-06-14 2014-11-19 哈尔滨工业大学 基于可溯源同步测尺的混合双光源激光测距装置与方法
CN104166131A (zh) * 2014-06-14 2014-11-26 哈尔滨工业大学 基于可溯源同步测尺的双纵模激光测距装置与方法
US9354352B2 (en) 2013-10-11 2016-05-31 Keyence Corporation Photoelectric sensor

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1096778A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Kubota Corp 測距装置
JP2007278932A (ja) * 2006-04-10 2007-10-25 Yokogawa Denshikiki Co Ltd 微小移動検出装置
JP2011196924A (ja) * 2010-03-23 2011-10-06 Panasonic Electric Works Co Ltd 障害物検知装置
JP2011257285A (ja) * 2010-06-10 2011-12-22 Kyosan Electric Mfg Co Ltd 距離センサ及び制御方法
JP2012002559A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Kyosan Electric Mfg Co Ltd 距離センサ
US9354352B2 (en) 2013-10-11 2016-05-31 Keyence Corporation Photoelectric sensor
CN104035086A (zh) * 2014-06-14 2014-09-10 哈尔滨工业大学 混合外差式可溯源精测尺He-Ne激光测距装置与方法
CN104155642A (zh) * 2014-06-14 2014-11-19 哈尔滨工业大学 基于可溯源同步测尺的混合双光源激光测距装置与方法
CN104166131A (zh) * 2014-06-14 2014-11-26 哈尔滨工业大学 基于可溯源同步测尺的双纵模激光测距装置与方法

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