JPH052075A - レーザドツプラ速度計 - Google Patents

レーザドツプラ速度計

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JPH052075A
JPH052075A JP17894191A JP17894191A JPH052075A JP H052075 A JPH052075 A JP H052075A JP 17894191 A JP17894191 A JP 17894191A JP 17894191 A JP17894191 A JP 17894191A JP H052075 A JPH052075 A JP H052075A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 信号処理回路系を簡略化して装置の小型化を
促進し、また信号処理の途上で発生する不要信号を追放
し、速度検出の感度を向上させる。 【構成】 レーザ光源から射出された光ビームを被測定
対象に照射してその反射光を得るとともに、レーザ光源
から射出された光ビームを位相変調器に入射して参照光
を得、反射光と参照光の合成光を光検出手段8に入射し
て得られた光検出信号に基づいて被測定対象の速度を測
定するレーザドップラ速度計20において、位相変調器
4の電極4a,4bに印加する変調信号を周波数の異な
る2つの正弦波信号によって生成するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光変調器を正弦波変調
信号によって変調動作させることにより高い精度で測定
結果を得ることができるレーザドップラ速度計に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、レーザドップラ速度計において
は、被測定対象として例えば移動体の移動速度、振動体
の振動速度、流体の流速等を測定するようになされたも
のがある(電子通信学会研究報告OQE85-160、25頁〜
30頁)。すなわち、被測定対象にレーザ光源から得られ
る光ビームを照射すると、被測定対象の速度に応じて周
波数が偏移した反射光ビームを得ることができるため、
被測定対象に照射した光ビームに対する反射光ビームの
周波数偏移量を測定すれば被測定対象の速度を検出する
ことができる。
【0003】レーザドップラ速度計においてはこのよう
な測定原理に基づいて、レーザ光源から得られる光ビー
ムに対して所定量だけ周波数偏移した参照光ビームを形
成し、この参照光ビームを基準にして反射光ビームの周
波数偏移量を測定することにより、被測定対象の速度を
測定するようになされている。
【0004】図5はこのようなレーザドップラ速度計の
一例であり、このレーザドップラ速度計1において、2
は電気光学効果を有する基板(例えばLiNbO3)であり、
この基板2上には分岐部3aで分岐された導波路3b,
3c,3dによって略Y字状とされた光導波路3が設け
られている。また導波路3bの部分にはその両側の電極
4a,4bからなる光変調器4が設けられている。
【0005】5は半導体レーザであり基板2の端部に配
置され、半導体レーザ5の前面から出力される光ビーム
F は、被測定対象となる物体S(例えばスピーカの振
動面)に向かって照射され、その反射光LF'が導波路3
cに端部3c1 から入射されるようになされているとと
もに、半導体レーザ5の背面から出力される光ビームL
R は導波路3bの端部3b1 に入射されるようになされ
ている。
【0006】半導体レーザ5の背面から出力されて導波
路3bに入射された光ビームLR は光変調器4で位相変
調され、参照光とされることになる。つまり、光変調器
4においては電極4a,4bに印加される電圧に応じて
導波路の屈折率が変化することから導波路3bに光ビー
ムLR を入射することにより、印加電圧(変調信号)に
比例して位相が変化した光ビーム即ち参照光を得ること
ができるものである。
【0007】ここで、電極4a,4bに印加される変調
信号としては、正弦波発生回路6から出力された所定の
周波数(角周波数ωm )の正弦波信号が可変利得増幅器
7を介して供給されている。従って、可変利得増幅器7
をコントロールして所定の電圧レベルの正弦波信号を変
調信号として電極4a,4bに供給することで任意の位
相変調度を設定できる。
【0008】この光変調器4によって得られる参照光の
電界Eref は、
【数1】 で表わされる。ただし、ω0 はレーザ光の角周波数、m
1 は位相変調指数、φ1は初期位相、Jq はq次のベッ
セル関数である。
【0009】位相変調指数m1 はさらに、
【数2】 で表わされる。ここで、αは変調効率(0<α<1)、
s は基板2の屈折率、γは基板2の電気光学定数、V
1 は電極4a,4bに印加する変調信号の電圧、l1
電極4a,4bの長さ、d1 は電極4a,4bの間隔で
ある。
【0010】一方、半導体レーザ5の前面側から照射さ
れ被測定対象Sに反射して端部3c1 から導波路3cに
導かれた反射光LF'の電界Esig は、
【数3】 として表わされる。ただし、k0 はレーザ光の波長、φ
2 は初期位相である。
【0011】この反射光と参照光は分岐部3aから導波
路3dに導かれて合波され、導波路3dの端部3d1
分に配置された光検出器8で受光されることになる。こ
こで、光検出器8の出力電流IDET(t)は、参照光と反射
光から次の(数4)のように計算される。
【数4】 ただし、E1 =E* 1、E2 =E* 2、ξ1 は光検出器8の
感度である。なお、2ω0 を含む成分は光検出器8で検
出できないため無視した。
【0012】この光検出器8の出力電流IDET(t)はω
m 、2ωm を中心周波数とするバンドパスフィルタ9に
供給され交流分が取り出される。すなわちバンドパスフ
ィルタ9の出力iDET(t)は、
【数5】 で示される。ただし、ωm >>2k0v(t) とする。このバ
ンドパスフィルタ9の出力は周波数混合回路10に入力
される。
【0013】また、正弦波発生回路6から出力される正
弦波信号(角周波数ωm )は1/2分周回路11及び移
相器12にも供給されて、
【数6】 で示される基準信号が生成されており、この基準信号が
周波数混合回路10に供給されている。従って周波数混
合回路10ではこの(数6)の基準信号が(数5)のバ
ンドパスフィルタ9の出力に乗じられる。
【0014】周波数混合回路10の出力は (3/2)ωm
中心周波数とするバンドパスフィルタ13に供給され
(3/2)ωm付近の信号成分のみが取り出される。バンドパ
スフィルタ13の出力は(数7)で示される。
【数7】
【0015】バンドパスフィルタ13の出力は復調回路
14に供給されて復調され、これによって被測定対象物
体Sの振動周波数が得られ、物体Sの振動周波数から物
体Sの速度vを求めることができるわけであるが、上記
(数7)で示されるバンドパスフィルタ13の出力は無
条件では復調できず、位相変調指数m1 が調整されてい
る必要がある。
【0016】ここで、ベッセル関数の一次と二次の成分
が或る位相変調指数において等しければ、上記(数7)
を整理することができる。いま、図6のベッセル関数か
ら、位相変調指数m1 =2.6 としたときに、整合条件J
1(m1)=J2(m1)が満たされることが分かる。このと
き、上記(数7)は次の(数8)のように整理される。
【数8】
【0017】この(数8)の右辺第1項は同相信号(in
-phase信号)であり、右辺第2項は位相直交信号(out-
of-phase信号)である。ここで例えば移相器12によ
り、φ3 =0,π,2π,・・・・・ と調整すれば、(数
8)から同相信号成分である、
【数9】 のみを取り出すことができ、従って、これを復調回路1
4に入力することによって、被測定対象物体Sの振動周
波数fD
【数10】 として得られることになる。ただし、λ0 はレーザ光の
波長である。結局、λ0 が既知であれば、物体Sの振動
周波数fD から物体Sの速度vが求められることが理解
される。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなレーザドップラ速度計では、周波数混合回路10や
移相器12等が必要で信号処理回路が複雑となり、電気
回路部分を小型化できず、これがレーザドップラ速度計
の小型化に大きな障害となっているという問題がある。
【0019】さらに周波数混合回路10を用いている
が、回路の非線形性のために不要な信号が発生しやす
い。このため信号対雑音比が低下し、速度の検出感度が
不十分となってしまうという問題もある。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような問題
点にかんがみてなされたもので、レーザ光源から射出さ
れた光ビームを被測定対象に照射してその反射光を得る
とともに、レーザ光源から射出された光ビームを位相変
調器に入射して参照光を得、反射光及び参照光を含む合
成光を光検出手段によって光検出信号に変換し、光検出
信号に基づいて被測定対象の速度を測定するようになさ
れたレーザドップラ速度計において、位相変調器の電極
に印加する変調信号を周波数の異なる2つの正弦波信号
によって生成するようにしたものである。
【0021】
【作用】レーザドップラ速度計において、位相変調器に
周波数の異なる2つの正弦波信号を変調信号として印加
することにより、それぞれの位相変調指数を最適化する
だけで被測定対象物体の速度に対応した信号を取り出す
ことができる。
【0022】
【実施例】図1は本発明のレーザドップラ速度計の一実
施例を示す構成図であり、前記図5と同一部分は同一符
合を付して説明を省略する。20はレーザドップラ速度
計全体を示す。21は角周波数ωm の正弦波を発生する
正弦波発生回路であり、この正弦波発生回路21から出
力される正弦波信号は可変利得増幅器22及び1/2分
周回路23に供給される。1/2分周回路23で分周さ
れて正弦波発生回路21の出力と異なる周波数とされた
信号はさらに可変利得増幅器24に供給される。
【0023】そして、可変利得増幅器22,24によっ
てそれぞれ所定ゲインを与えられた信号は加算器25に
おいて加算され、この加算器25の出力が変調信号とし
て位相変調器4の電極4a,4bに印加される。すなわ
ち、電極4a,4bに印加される変調信号は2つの異な
る正弦波信号から生成されていることになる。
【0024】このとき、半導体レーザ5の背面側から出
射されて端部3b1 から導波路3bに導入されたレーザ
光LR が位相変調器4によって位相変調されることによ
って得られる参照光の電界Eref は、
【数11】 で表わされる。ただし、ω0 はレーザ光の角周波数、m
1 及びm2 は位相変調指数、φ1 は初期位相、Jp はp
次のベッセル関数、Jq はq次のベッセル関数である。
【0025】ここで、位相変調指数mi (i=1,2) はさら
に、
【数12】 で表わすことができる。ただし、αは変調効率(0<α
<1)、ns は基板2のY方向屈折率、γは基板2の電
気光学定数、Vi は電極4a,4bに印加する変調信号
の電圧、lは電極4a,4bの長さ、dは電極4a,4
bの間隔である。
【0026】一方、半導体レーザ5の前面側から出力さ
れた後、速度vで運動する被測定対象物体Sに照射され
たレーザ光LF は、物体Sに反射して反射光LF'となり
端部3c1 から導波路3cに導入される。この反射光の
電界Esig は、
【数13】 として表わされる。ただし、φ2 は初期位相である。
【0027】この反射光と参照光は分岐部3aから導波
路3dに導かれて合波され、合波された光は導波路3d
の端部3d1 部分に配置された光検出器8に照射される
ことになる。ここで、光検出器8の出力電流IDET(t)
は、
【数14】 となる。ただし、E1 =E* 1、E2 =E* 2、ξ1 は光検
出器8の感度である。なお、2ω0 を含む成分は光検出
器8で検出できないため無視した。
【0028】この光検出器8の出力電流IDET(t)はωm
を中心周波数とするバンドパスフィルタ26に供給され
て交流分が取り出される。すなわちバンドパスフィルタ
26の出力は、
【数15】 で示される。ただし、ωm >>2k0v(t) とする。
【0029】また、係数B+(m1,m2)及び係数B-(m1,
2)はそれぞれ、
【数16】
【数17】 のようにベッセル関数の積和で表わされる。
【0030】このとき、係数B+(m1,m2)=0を満足
し、かつ、係数B-(m1,m2)を最大とするように位相変
調指数m1 及びm2 が調整されていることにより、上記
(数15)から、
【数18】 を取り出すことができる。
【0031】係数B+(m1,m2)は図2(a)(b)のよ
うに示され、係数B-(m1,m2)は図3(a)(b)のよ
うに示される。図2(a)及び図3(a)はm1 及びm
2 を間隔0.25のメッシュで区切り、振幅を線で結んだも
のである。また図2(b)及び図3(b)はm1 及びm
2 を間隔0.125 のメッシュで区切り、振幅が正の時は太
い棒で、負のときは細い棒で表わしている。そして、係
数B+(m1,m2)=0を満足し、かつ、係数B-(m1,m2)
を最大とする最適値は図中Zで示される。
【0032】この位相変調指数m1 及びm2 の最適値を
計算機シュミレーションで求めた結果、m1 =1.622 ,
2 =1.228 となった。位相変調指数m1 及びm2 がこ
の値とされているとき、B+(m1,m2)=0、B-(m1,m
2)=0.433 となり、上記(数15)から上記(数18)
のみを取り出すことができる。
【0033】この(数18)に示されるバンドパスフィ
ルタ26の出力を復調回路27に入力することによって
被測定対象物体Sの振動周波数fD
【数19】 として得られることになる。ただし、λ0 はレーザ光の
波長である。すなわち、λ0 が既知であれば、物体Sの
振動周波数fD から物体Sの速度vが求められる。
【0034】以上のように本実施例のレーザドップラ速
度計では、2つの周波数の異なる正弦波信号から位相変
調器4の電極4a,4bに印加される変調信号を生成
し、位相変調指数m1 ,m2 を最適化することにより、
復調回路27において復調可能な信号を容易に取り出す
ことができる。つまり、周波数混合回路や移相器は不要
であり、またバンドパスフィルタの数も減少されること
になる。従って信号処理回路系の大幅な簡素化を実現で
きる。さらに、周波数混合回路を用いないことから不要
なノイズが発生しないため、速度の検出感度が向上する
ことになる。
【0035】図4は他の実施例を示すものであり、図1
と同一部分は同一符合で示す。このレーザドップラ速度
計30は基板31上において光導波路32は略X字状に
形成されており、すなわち分岐部32a,32b及び導
波路32c,32d,32e,32f,32gが設けら
れている。
【0036】そしてレーザ光源33から出力されたレー
ザ光はLM は端部32c1 から導波路32cに入射さ
れ、導波路32c,分岐部32a,導波路32dを通っ
て分岐部32bに導かれ、導波路32eと導波路32f
に分岐される。導波路32eの両側には電極34a,3
4bからなる光変調器34が設けられ、さらに導波路3
2eの端部32e1 にはミラー35が配置されている。
従って、導波路32eに導入された光はミラー35に反
射されるとともに光変調器34によって位相変調され、
参照光として分岐部32bに表われる。
【0037】一方、導波路32fに進んだ光はその端部
32f1 に取り付けられたマイクロレンズ36を介して
速度vで振動する被測定対象物体Sに照射される。そし
てその反射光はマイクロレンズ36、導波路32fを通
って分岐部32bに導かれ、導波路32dにおいて参照
光と合波されることになる。
【0038】合波された光は分岐部32aから導波路3
2gを通って光検出器8に照射されることになる。光検
出器8の出力はバンドパスフィルタ26を介して復調回
路27に供給され、上記した図1の実施例と同様に被測
定対象物体Sの運動速度vが検出される。
【0039】この実施例においても、光変調器34の電
極34a,34bに印加される変調信号としては、正弦
波発生回路21の出力と、正弦波発生回路21及び1/
2分周回路23によって得られる出力に、それぞれ可変
利得増幅器22,24で所定のゲインが与えられた後、
加算器25で加算されたものが供給されており、また、
位相変調指数は最適化されている。これにより、上記図
1の実施例と同様な効果を得ることができる。
【0040】なお、本発明のレーザドップラ速度計の構
成は上記各実施例に限られず、さらに多種考えられる。
また、位相変調指数の最適値は上記例示した数値(m1
=1.622 ,m2 =1.228 )に限定されるものではなく、
具体的な回路設計条件に基づいて設定されるべきもので
あることはいうまでもない。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザド
ップラ速度計は位相変調器の電極に印加する変調信号を
周波数の異なる2つの正弦波信号によって生成するよう
にしたことにより、信号処理回路系を大幅に簡略化する
ことができ、従ってレーザドップラ速度計の小型化の促
進に大きく貢献するという効果がある。さらに、信号処
理の途上で発生する不要信号を原理的には追放すること
ができ、その結果信号対雑音比が向上し、物体の速度検
出の感度を大幅に向上させることができる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】本実施例における係数B+(m1,m2)の説明図で
ある。
【図3】本実施例における係数B-(m1,m2)の説明図で
ある。
【図4】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図5】従来のレーザドップラ速度計の構成図である。
【図6】ベッセル関数の説明図である。
【符号の説明】
2,31 基板 3,32 光導波路 4,34 光変調器 5 半導体レーザ 8 光検出器 20,30 レーザドップラ速度計 21 正弦波発生回路 22,24 可変利得増幅器 23 1/2分周回路 25 加算器 26 バンドパスフィルタ 27 復調回路

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 レーザ光源から射出された光ビームを被
    測定対象に照射してその反射光を得るとともに、レーザ
    光源から射出された光ビームを位相変調器に入射して参
    照光を得、前記反射光及び参照光を含む合成光を光検出
    手段によって光検出信号に変換し、前記光検出信号に基
    づいて前記被測定対象の速度を測定するようになされた
    レーザドップラ速度計において、前記位相変調器の電極
    に印加する変調信号を周波数の異なる2つの正弦波信号
    によって生成するように構成したことを特徴とするレー
    ザドップラ速度計。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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