JPH088456Y2 - 四探針プローブチェッカー - Google Patents
四探針プローブチェッカーInfo
- Publication number
- JPH088456Y2 JPH088456Y2 JP1917792U JP1917792U JPH088456Y2 JP H088456 Y2 JPH088456 Y2 JP H088456Y2 JP 1917792 U JP1917792 U JP 1917792U JP 1917792 U JP1917792 U JP 1917792U JP H088456 Y2 JPH088456 Y2 JP H088456Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- socket
- connector
- pin catch
- electric circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、半導体ウェーハなど
の比抵抗を直流四探針法で測定するための四探針プロー
ブの電気的な異常を調べる簡易検査器に係り、プローブ
を載せるだけで内部配線の異常の有無を簡単に調べるこ
とができる四探針プローブチェッカーに関する。
の比抵抗を直流四探針法で測定するための四探針プロー
ブの電気的な異常を調べる簡易検査器に係り、プローブ
を載せるだけで内部配線の異常の有無を簡単に調べるこ
とができる四探針プローブチェッカーに関する。
【０００２】
【従来の技術】直流四探針法は、試料を加工する必要が
なく測定が簡単で、種々のケースの測定が解析されてい
るため、現在最も広く採用されている比抵抗測定方法で
ある。比抵抗ρの試料の平面上に探針四本を一直線上に
所定間隔（Ｓ）で配置し、両端針を電流電極とし、内側
２本を電位差電極として、電流Ｉを流した際の電位差Ｖ
より、ρ＝２ΠＳ（Ｖ／Ｉ） にて比抵抗ρを求めるこ
とができる。
なく測定が簡単で、種々のケースの測定が解析されてい
るため、現在最も広く採用されている比抵抗測定方法で
ある。比抵抗ρの試料の平面上に探針四本を一直線上に
所定間隔（Ｓ）で配置し、両端針を電流電極とし、内側
２本を電位差電極として、電流Ｉを流した際の電位差Ｖ
より、ρ＝２ΠＳ（Ｖ／Ｉ） にて比抵抗ρを求めるこ
とができる。
【０００３】かかる直流四探針型比抵抗測定器には、例
えば円錐形に精密加工したタングステン針を金属ホルダ
ーに所定の間隔で精密に配置した四探針プローブが使用
されている。
えば円錐形に精密加工したタングステン針を金属ホルダ
ーに所定の間隔で精密に配置した四探針プローブが使用
されている。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】この四探針プローブ
は、上記式から明らかなように針の間隔が高精度で所定
間隔に保持されている必要があり、例えば針の磨耗など
で高さや間隔が極僅かでも設定値から外れると、正確な
比抵抗の測定ができなくなる。
は、上記式から明らかなように針の間隔が高精度で所定
間隔に保持されている必要があり、例えば針の磨耗など
で高さや間隔が極僅かでも設定値から外れると、正確な
比抵抗の測定ができなくなる。
【０００５】そこで、四探針プローブをタングステン針
の交換が可能なように分解式の構造からなり、内部もタ
ングステン針とプローブの電気端子間に内部配線がさ
れ、電気端子から所要長さの外部配線が設けられ、所定
のコネクタ端子を介して測定器に接続される構成であ
る。
の交換が可能なように分解式の構造からなり、内部もタ
ングステン針とプローブの電気端子間に内部配線がさ
れ、電気端子から所要長さの外部配線が設けられ、所定
のコネクタ端子を介して測定器に接続される構成であ
る。
【０００６】ところが、針の交換やコネクタ端子などの
交換により、四探針プローブの内部配線の切断とはんだ
による接続と繰り返されれるため、内部配線に異常がな
いか否かを検査する必要があった。しかし、かかる内部
配線の通電試験は、所謂テスターで行うしかなく、多大
の手間を要していた。
交換により、四探針プローブの内部配線の切断とはんだ
による接続と繰り返されれるため、内部配線に異常がな
いか否かを検査する必要があった。しかし、かかる内部
配線の通電試験は、所謂テスターで行うしかなく、多大
の手間を要していた。
【０００７】この考案は、四探針プローブの内部配線の
異常をその箇所を特定して簡単に調べることができる四
探針プローブチェッカーの提供を目的としている。
異常をその箇所を特定して簡単に調べることができる四
探針プローブチェッカーの提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この考案は、四探針プロ
ーブ本体周端部がプローブソケット上端面に当接する
際、該プローブ本体をセンタリングさせるための軸芯に
向かって下り傾斜した上端面を有する筒状のプローブソ
ケットを測定器本体の上面に装着し、プローブソケット
内の軸芯位置に四探針が当接可能なピンキャッチを高さ
調整可能に装着し、プローブのコネクタ端子と接続する
測定器のコネクタの各接点と該ピンキャッチ間の通電時
に発光表示する電気回路、プローブソケットとピンキャ
ッチ間の通電時に発光表示する電気回路、コネクタとピ
ンキャッチ間の通電時に発光表示する電気回路を有する
ことを特徴とする四探針プローブチェッカーである。
ーブ本体周端部がプローブソケット上端面に当接する
際、該プローブ本体をセンタリングさせるための軸芯に
向かって下り傾斜した上端面を有する筒状のプローブソ
ケットを測定器本体の上面に装着し、プローブソケット
内の軸芯位置に四探針が当接可能なピンキャッチを高さ
調整可能に装着し、プローブのコネクタ端子と接続する
測定器のコネクタの各接点と該ピンキャッチ間の通電時
に発光表示する電気回路、プローブソケットとピンキャ
ッチ間の通電時に発光表示する電気回路、コネクタとピ
ンキャッチ間の通電時に発光表示する電気回路を有する
ことを特徴とする四探針プローブチェッカーである。
【０００９】
【作用】この考案による四探針プローブチェッカーは、
筒状のプローブソケットにてセンタリングさせるためプ
ローブ先端の四探針を容易にかつ損傷させることなく確
実にピンキャッチに当接させることができ、プローブの
コネクタ端子と接続する測定器側コネクタとプローブソ
ケットの中心部に配置したピンキャッチ間に、乾電池を
電源として抵抗と発光ダイオードからなる簡単な電気回
路を配置したことにより、プローブの内部配線が正常で
あれば４個のダイオードが点灯し、また点灯しない回路
は当該探針の配線に断線やはんだ不良があることが瞬時
に判明する。
筒状のプローブソケットにてセンタリングさせるためプ
ローブ先端の四探針を容易にかつ損傷させることなく確
実にピンキャッチに当接させることができ、プローブの
コネクタ端子と接続する測定器側コネクタとプローブソ
ケットの中心部に配置したピンキャッチ間に、乾電池を
電源として抵抗と発光ダイオードからなる簡単な電気回
路を配置したことにより、プローブの内部配線が正常で
あれば４個のダイオードが点灯し、また点灯しない回路
は当該探針の配線に断線やはんだ不良があることが瞬時
に判明する。
【００１０】また、プローブソケットとピンキャッチ間
及びコネクタとピンキャッチ間にも乾電池を電源として
抵抗と発光ダイオードからなる簡単な電気回路を配置し
たことにより、点灯した場合はプローブあるいはコネク
タにショート箇所があることが容易に判明する。
及びコネクタとピンキャッチ間にも乾電池を電源として
抵抗と発光ダイオードからなる簡単な電気回路を配置し
たことにより、点灯した場合はプローブあるいはコネク
タにショート箇所があることが容易に判明する。
【００１１】
【実施例】図３に示す如く、測定器本体１は箱体からな
り、樹脂製の上面パネル２に四探針プローブ１０のコネ
クタ端子１３と雌雄接続関係にあるコネクタ３が配置さ
れ、さらに筒状のプローブソケット４を配置してある。
プローブソケット４はステンレス鋼製で下端にフランジ
部を有する筒状で、上面パネル２の所要孔部の周囲にフ
ランジ部をねじ止めしてあり、上端面５は中心に向かっ
て所定角度の下り傾斜面を構成してる。
り、樹脂製の上面パネル２に四探針プローブ１０のコネ
クタ端子１３と雌雄接続関係にあるコネクタ３が配置さ
れ、さらに筒状のプローブソケット４を配置してある。
プローブソケット４はステンレス鋼製で下端にフランジ
部を有する筒状で、上面パネル２の所要孔部の周囲にフ
ランジ部をねじ止めしてあり、上端面５は中心に向かっ
て所定角度の下り傾斜面を構成してる。
【００１２】図１に示す如く、上面パネル２の孔部内に
露出したプローブソケット４の下端面には、非導電性材
料からなるキャッチプレート６がねじ７にて止着され、
キャッチプレート６の軸芯位置に四探針１２が当接可能
なピンキャッチ８を載置しねじ９にて止着してある。従
って、ねじ７及び／又はねじ９にてピンキャッチ８のプ
ローブソケット４内における高さを調整可能に構成して
あり、四探針プローブ１０本体がプローブソケット４の
上端面５に当接した際に、先端部１１の四探針１２がピ
ンキャッチ８に必要なだけ当接するように予め調整して
おく。
露出したプローブソケット４の下端面には、非導電性材
料からなるキャッチプレート６がねじ７にて止着され、
キャッチプレート６の軸芯位置に四探針１２が当接可能
なピンキャッチ８を載置しねじ９にて止着してある。従
って、ねじ７及び／又はねじ９にてピンキャッチ８のプ
ローブソケット４内における高さを調整可能に構成して
あり、四探針プローブ１０本体がプローブソケット４の
上端面５に当接した際に、先端部１１の四探針１２がピ
ンキャッチ８に必要なだけ当接するように予め調整して
おく。
【００１３】電気回路は図２に示す如く、測定器本体１
内において、ステンレス鋼製のピンキャッチ７には乾電
池２０からの電力が供給され、コネクタ３の各端子と乾
電池２０間には、個別配線にてそれぞれ所定の抵抗を介
して発光ダイオード２１，２２，２３，２４を接続して
ある。さらに、コネクタ３自体と乾電池２０間に個別配
線にて所定の抵抗を介して発光ダイオード２５を接続
し、プローブソケット４と乾電池２０間に個別配線にて
所定の抵抗を介して発光ダイオード２６を接続してあ
る。
内において、ステンレス鋼製のピンキャッチ７には乾電
池２０からの電力が供給され、コネクタ３の各端子と乾
電池２０間には、個別配線にてそれぞれ所定の抵抗を介
して発光ダイオード２１，２２，２３，２４を接続して
ある。さらに、コネクタ３自体と乾電池２０間に個別配
線にて所定の抵抗を介して発光ダイオード２５を接続
し、プローブソケット４と乾電池２０間に個別配線にて
所定の抵抗を介して発光ダイオード２６を接続してあ
る。
【００１４】測定方法は、まず四探針プローブ１０のコ
ネクタ端子１３を測定器本体１のコネクタ３と嵌合接続
し、手に四探針プローブ１０を持って、プローブソケッ
ト４の上方より垂直方向に下降させてプローブソケット
４の上端面５に当接させることにより、プローブ１０が
センタリングされて四探針１２がピンキャッチ８に容易
にかつ損傷させることなく当接する。
ネクタ端子１３を測定器本体１のコネクタ３と嵌合接続
し、手に四探針プローブ１０を持って、プローブソケッ
ト４の上方より垂直方向に下降させてプローブソケット
４の上端面５に当接させることにより、プローブ１０が
センタリングされて四探針１２がピンキャッチ８に容易
にかつ損傷させることなく当接する。
【００１５】四探針プローブ１０の各内部配線が正常で
あれば、４個の発光ダイオード２１，２２，２３，２４
が点灯し、また点灯しない場合は、該当する発光ダイオ
ードの回路接続されたに探針の配線に断線やはんだ不良
があることが瞬時に判明する。
あれば、４個の発光ダイオード２１，２２，２３，２４
が点灯し、また点灯しない場合は、該当する発光ダイオ
ードの回路接続されたに探針の配線に断線やはんだ不良
があることが瞬時に判明する。
【００１６】また、発光ダイオード２５，２６のいずれ
かまたは全部が点灯した場合は、プローブ１０あるいは
コネクタ端子１３またその両方にショート箇所があるこ
とが容易に判明する。
かまたは全部が点灯した場合は、プローブ１０あるいは
コネクタ端子１３またその両方にショート箇所があるこ
とが容易に判明する。
【００１７】
【考案の効果】この考案は、四探針プローブの針交換や
コネクタ端子などの交換により、分解、はんだ付けを行
った再生プローブを、使用に先駆けて全ての導通試験を
一回でかつ短時間で行うことができる。試験に際して、
プローブソケットにプローブ先端を挿入して位置決めす
るため、交換を行ったばかりの高価な針を損傷させるこ
とがない。また、使用時に異常な測定値を表示した四探
針プローブを、この考案による四探針プローブチェッカ
ーで試験することにより、簡単に異常箇所を特定するこ
とができる。
コネクタ端子などの交換により、分解、はんだ付けを行
った再生プローブを、使用に先駆けて全ての導通試験を
一回でかつ短時間で行うことができる。試験に際して、
プローブソケットにプローブ先端を挿入して位置決めす
るため、交換を行ったばかりの高価な針を損傷させるこ
とがない。また、使用時に異常な測定値を表示した四探
針プローブを、この考案による四探針プローブチェッカ
ーで試験することにより、簡単に異常箇所を特定するこ
とができる。
【図１】この考案による四探針プローブチェッカーのプ
ローブソケットとピンキャッチを示す縦断説明図であ
る。
ローブソケットとピンキャッチを示す縦断説明図であ
る。
【図２】この考案による四探針プローブチェッカーの電
気回路を示す説明図である。
気回路を示す説明図である。
【図３】この考案による四探針プローブチェッカーとそ
の操作状態を示す斜視説明図である。
の操作状態を示す斜視説明図である。
１ 測定器本体 ２ 上面パネル ３ コネクタ ４ プローブソケット ５ 上端面 ６ ャッチプレート ７，９ ねじ ８ ピンキャッチ １０ 四探針プローブ １１ 先端部 １２ 四探針 １３ コネクタ端子 ２０ 乾電池 ２１，２２，２３，２４，２５，２６ 発光ダイオード
Claims (1)
- 【請求項１】 四探針プローブ本体周端部がプローブソ
ケット上端面に当接する際、該プローブ本体をセンタリ
ングさせるための軸芯に向かって下り傾斜した上端面を
有する筒状のプローブソケットを測定器本体の上面に装
着し、プローブソケット内の軸芯位置に四探針が当接可
能なピンキャッチを高さ調整可能に装着し、プローブの
コネクタ端子と接続する測定器のコネクタの各接点と該
ピンキャッチ間の通電時に発光表示する電気回路、プロ
ーブソケットとピンキャッチ間の通電時に発光表示する
電気回路、コネクタとピンキャッチ間の通電時に発光表
示する電気回路を有することを特徴とする四探針プロー
ブチェッカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1917792U JPH088456Y2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 四探針プローブチェッカー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1917792U JPH088456Y2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 四探針プローブチェッカー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0622969U JPH0622969U (ja) | 1994-03-25 |
| JPH088456Y2 true JPH088456Y2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=11992070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1917792U Expired - Lifetime JPH088456Y2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 四探針プローブチェッカー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088456Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107064719B (zh) * | 2017-06-02 | 2023-09-19 | 北京华峰测控技术有限公司 | 一种开尔文连接故障检测电路及方法 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP1917792U patent/JPH088456Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0622969U (ja) | 1994-03-25 |
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