JPH0882429A - 空調機とその運転方法 - Google Patents
空調機とその運転方法Info
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- JPH0882429A JPH0882429A JP6241859A JP24185994A JPH0882429A JP H0882429 A JPH0882429 A JP H0882429A JP 6241859 A JP6241859 A JP 6241859A JP 24185994 A JP24185994 A JP 24185994A JP H0882429 A JPH0882429 A JP H0882429A
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- coil
- humidification
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- air
- outside air
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンパクトな外形を維持しつつ、冬期の加湿
の安定化を向上させた空調機を提供すること。 【構成】 厳冬期の外気を最終的にクリーンルームの室
内条件になるまで加熱と加湿を施す際に、加熱と加湿を
一気に行うのではなく、二段階に分けて行う。特に冬期
の加湿処理を安定化させるために、最終加湿を行う際の
加湿量を一定以下に抑えられるように、処理空気の露点
温度を一定以上になるように加熱用コイル３ａおよび加
湿用ポート５ａで予加熱と予加湿を行う。その後、通常
の加熱用コイル４と加湿用ポート５ｂでクリーンルーム
の室内の温度湿度条件に合わせる。
の安定化を向上させた空調機を提供すること。 【構成】 厳冬期の外気を最終的にクリーンルームの室
内条件になるまで加熱と加湿を施す際に、加熱と加湿を
一気に行うのではなく、二段階に分けて行う。特に冬期
の加湿処理を安定化させるために、最終加湿を行う際の
加湿量を一定以下に抑えられるように、処理空気の露点
温度を一定以上になるように加熱用コイル３ａおよび加
湿用ポート５ａで予加熱と予加湿を行う。その後、通常
の加熱用コイル４と加湿用ポート５ｂでクリーンルーム
の室内の温度湿度条件に合わせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】クリーンルーム空調用の外気処理
専用の空調機とその運転方法に関する。
専用の空調機とその運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルーム空調用の外気処理
専用の空調機（以下外調機）の構造の概略を図３に示
す。図３に示すように、クリーンルーム用外調機１５’
は通常外気流通ダクト９の上流側から順にプレフィルタ
ー１／送風ファン２／冷却用コイル３／加熱用コイル４
／加湿用ポート５／後段フィルター６のユニットで構成
されている。最近では省エネルギーの観点から前記冷却
用コイル３を冷却を主に行うコイル３ａと除湿を主に行
うコイル３ｂに分けて構成されている二段冷却方式のも
のが使用されている。冷却を主に行うコイル３ａには８
℃の冷水が、除湿を主に行うコイル３ｂには５℃の冷水
が、加熱用コイル４には４０℃の温水がそれぞれ流され
ている。
専用の空調機（以下外調機）の構造の概略を図３に示
す。図３に示すように、クリーンルーム用外調機１５’
は通常外気流通ダクト９の上流側から順にプレフィルタ
ー１／送風ファン２／冷却用コイル３／加熱用コイル４
／加湿用ポート５／後段フィルター６のユニットで構成
されている。最近では省エネルギーの観点から前記冷却
用コイル３を冷却を主に行うコイル３ａと除湿を主に行
うコイル３ｂに分けて構成されている二段冷却方式のも
のが使用されている。冷却を主に行うコイル３ａには８
℃の冷水が、除湿を主に行うコイル３ｂには５℃の冷水
が、加熱用コイル４には４０℃の温水がそれぞれ流され
ている。
【０００３】夏期、冬期での外調機１５’の働きを示す
と、夏期の外気はコイル３ａでの予冷（８℃）、コイル
３ｂでの除湿（５℃）、加熱用コイル４での再熱（４０
℃）そして後段フィルター６での濾過の順で処理され、
冬期の外気はコイル３ａでの予熱（８℃）、加熱用コイ
ル４での加熱（４０℃）、（コイル３ｂは冬期には外気
が乾燥状態で除湿が不要なため使用せず）、加湿用ポー
ト５での加湿そして後段フィルター６での濾過の順で処
理される。
と、夏期の外気はコイル３ａでの予冷（８℃）、コイル
３ｂでの除湿（５℃）、加熱用コイル４での再熱（４０
℃）そして後段フィルター６での濾過の順で処理され、
冬期の外気はコイル３ａでの予熱（８℃）、加熱用コイ
ル４での加熱（４０℃）、（コイル３ｂは冬期には外気
が乾燥状態で除湿が不要なため使用せず）、加湿用ポー
ト５での加湿そして後段フィルター６での濾過の順で処
理される。
【０００４】そして、図３に示す外調機１５’の場合、
その長手方向のサイズを１３ｍ程度にした場合、加湿用
ポート５と例えば濾過用ＨＥＰＡフィルターからなる後
段フィルター６との距離が１ｍになる。この状態で冬期
の露点温度の低い外気を処理すると、加湿量が相対的に
多くなり、完全に気化しない蒸気が後段フィルター６に
到達して濡らしてしまうトラブルに至ることになる。こ
のトラブルは正常な給気を妨げるだけでなく、加湿自体
の効率も著しく落とすことになる。
その長手方向のサイズを１３ｍ程度にした場合、加湿用
ポート５と例えば濾過用ＨＥＰＡフィルターからなる後
段フィルター６との距離が１ｍになる。この状態で冬期
の露点温度の低い外気を処理すると、加湿量が相対的に
多くなり、完全に気化しない蒸気が後段フィルター６に
到達して濡らしてしまうトラブルに至ることになる。こ
のトラブルは正常な給気を妨げるだけでなく、加湿自体
の効率も著しく落とすことになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記図３に示す従来技
術の問題点として、前述のように冬期に外気露点温度が
低いときに加湿用ポート５で加湿を行うと、加湿用ポー
ト５での発生蒸気が後段フィルター６を濡らしてしまう
トラブルが発生しやすい。この問題の対策として加湿用
ポート５と後段フィルター６との間の距離を一定以上に
することが考えられるが、その方法として、 外調機１５’を大きくして前記距離を十分大きなもの
とする方法、 後段フィルター６を外調機１５’に組み込むのではな
く、後段のダクト内に設置することで前記距離を大きく
する方法、 加湿用ポート５の位置を加熱用コイル４の前段に配置
する方法など挙げられる。
術の問題点として、前述のように冬期に外気露点温度が
低いときに加湿用ポート５で加湿を行うと、加湿用ポー
ト５での発生蒸気が後段フィルター６を濡らしてしまう
トラブルが発生しやすい。この問題の対策として加湿用
ポート５と後段フィルター６との間の距離を一定以上に
することが考えられるが、その方法として、 外調機１５’を大きくして前記距離を十分大きなもの
とする方法、 後段フィルター６を外調機１５’に組み込むのではな
く、後段のダクト内に設置することで前記距離を大きく
する方法、 加湿用ポート５の位置を加熱用コイル４の前段に配置
する方法など挙げられる。
【０００６】ただし、前記の方法では外調機１５’の
サイズが大きくなること、の方法では後段フィルター
６のメンテナンスに際してクリーンルームの稼働を停止
させる必要があること、の方法は途中で結露するもの
が増えて加湿の効率が落ちること、などの問題点があ
る。そこで本発明の目的はコンパクトな外形を維持しつ
つ、冬期の加湿の安定化を向上させた空調機を提供する
ことである。また、本発明の目的は省エネルギー化した
空調機を提供することである。
サイズが大きくなること、の方法では後段フィルター
６のメンテナンスに際してクリーンルームの稼働を停止
させる必要があること、の方法は途中で結露するもの
が増えて加湿の効率が落ちること、などの問題点があ
る。そこで本発明の目的はコンパクトな外形を維持しつ
つ、冬期の加湿の安定化を向上させた空調機を提供する
ことである。また、本発明の目的は省エネルギー化した
空調機を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は次の
構成によって達成される。すなわち、クリーンルーム空
調用の温水循環系を有する加熱用コイル、冷水循環系を
有する冷却用コイルおよび加湿水を噴霧する加湿用ポー
トを備えた外気処理専用の空調機において、冬期の外気
露点が低い時期に所定の室内温湿度条件を得るために、
温水循環系を有する予熱用コイルおよび加湿水を噴霧す
る予加湿用ポートを付設した空調機である。本発明の空
調機において、予熱用コイルの直後に予加湿用ポートを
備え、その後段側に加熱用コイル、冷却用コイルおよび
加湿用ポートを配置した構成とすることができる。ま
た、本発明の空調機において、予熱用コイルは夏期には
冷水循環系を有する冷却用コイルとしても使用可能なコ
イルとする構成、予熱用コイルとそれより後段側に配置
される加熱用コイルとはそれぞれ別の温水循環系を有す
る構成、予熱用コイルには加熱用コイルで熱交換された
温水を循環させる循環系を有する構成とすることができ
る。
構成によって達成される。すなわち、クリーンルーム空
調用の温水循環系を有する加熱用コイル、冷水循環系を
有する冷却用コイルおよび加湿水を噴霧する加湿用ポー
トを備えた外気処理専用の空調機において、冬期の外気
露点が低い時期に所定の室内温湿度条件を得るために、
温水循環系を有する予熱用コイルおよび加湿水を噴霧す
る予加湿用ポートを付設した空調機である。本発明の空
調機において、予熱用コイルの直後に予加湿用ポートを
備え、その後段側に加熱用コイル、冷却用コイルおよび
加湿用ポートを配置した構成とすることができる。ま
た、本発明の空調機において、予熱用コイルは夏期には
冷水循環系を有する冷却用コイルとしても使用可能なコ
イルとする構成、予熱用コイルとそれより後段側に配置
される加熱用コイルとはそれぞれ別の温水循環系を有す
る構成、予熱用コイルには加熱用コイルで熱交換された
温水を循環させる循環系を有する構成とすることができ
る。
【０００８】また、本発明の上記目的は次の構成によっ
ても達成される。すなわち、クリーンルーム空調用に外
気の加熱、冷却および加湿を行う外気処理専用の空調機
の運転方法において、冬期の加湿処理を安定化させるた
めに、最終加湿を行う際の加湿量を一定以下に抑えられ
るように、処理空気の露点温度を一定以上になるように
予加熱および予加湿を行う空調機の運転方法である。本
発明の上記空調機の運転方法において、予加熱用にコイ
ルを設け、該コイルに冷却水と温水を切り替えて循環さ
せることもできる。また、クリーンルーム空調用に外気
の加熱、冷却および加湿を行う外気処理専用の空調機の
運転方法において、冬期の外気露点が低い時期の加湿処
理を安定化させるために、最終加湿段階の加湿量を一定
以下に抑えられるように、予加湿で一定量の水分を加え
ることにより湿度調整を行う運転方法を採用することも
できる。
ても達成される。すなわち、クリーンルーム空調用に外
気の加熱、冷却および加湿を行う外気処理専用の空調機
の運転方法において、冬期の加湿処理を安定化させるた
めに、最終加湿を行う際の加湿量を一定以下に抑えられ
るように、処理空気の露点温度を一定以上になるように
予加熱および予加湿を行う空調機の運転方法である。本
発明の上記空調機の運転方法において、予加熱用にコイ
ルを設け、該コイルに冷却水と温水を切り替えて循環さ
せることもできる。また、クリーンルーム空調用に外気
の加熱、冷却および加湿を行う外気処理専用の空調機の
運転方法において、冬期の外気露点が低い時期の加湿処
理を安定化させるために、最終加湿段階の加湿量を一定
以下に抑えられるように、予加湿で一定量の水分を加え
ることにより湿度調整を行う運転方法を採用することも
できる。
【０００９】
【作用】本発明の特徴は厳冬期の外気をクリーンルーム
の室内条件になるまで加熱と加湿を施す際に、加熱と加
湿を一気に行うのではなく、二段階に分けて行うことで
ある。特に冬期の加湿処理を安定化させるために、最終
加湿を行う際の加湿量を一定以下に抑えられるように、
処理空気の露点温度を一定以上になるように予加熱およ
び予加湿を行う。そのため、冬期の外気露点が低い時期
に所定の室内温湿度条件を得るために、予熱用コイルと
予加湿用ポートで予備的に加熱と加湿を行った後に通常
の加熱用コイルと加湿用ポートでクリーンルームの室内
条件に合わせる。また、予加湿を一定量の水分を加える
方法にすることにより空調機の運転制御を比較的単純化
することもできる。こうして、冬期の外気露点が低い時
期でも、所定の室内温湿度条件を得るための加湿処理を
安定かつ効率良く行える。
の室内条件になるまで加熱と加湿を施す際に、加熱と加
湿を一気に行うのではなく、二段階に分けて行うことで
ある。特に冬期の加湿処理を安定化させるために、最終
加湿を行う際の加湿量を一定以下に抑えられるように、
処理空気の露点温度を一定以上になるように予加熱およ
び予加湿を行う。そのため、冬期の外気露点が低い時期
に所定の室内温湿度条件を得るために、予熱用コイルと
予加湿用ポートで予備的に加熱と加湿を行った後に通常
の加熱用コイルと加湿用ポートでクリーンルームの室内
条件に合わせる。また、予加湿を一定量の水分を加える
方法にすることにより空調機の運転制御を比較的単純化
することもできる。こうして、冬期の外気露点が低い時
期でも、所定の室内温湿度条件を得るための加湿処理を
安定かつ効率良く行える。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例を図面と共に説明する。ク
リーンルームの空調システムはＦＦＵ（ファンフィルタ
ーユニット）システムを例にとると図２のような概略図
になり、例えば半導体装置１０が配置されたクリーンル
ーム１１内にその天井に設けられたＦＦＵ１２から空気
を循環供給し、その空気をクリーンルーム１１の床下を
介してドライコイル１３に通すことにより温度を制御し
ている。一方、有害ガスの排気に対する補充およびクリ
ーンルーム１１内を陽圧に保つことのために、外調機１
５でクリーンルーム１１の室内条件に合うように処理さ
れた外気が床下を介して給気される。２０００ｍ2程度
のクリーンルーム１１を例にとると、クリーンルーム１
１の室内空気の循環量は３００００ｍ3／ｍｉｎ、外調
機１５からの給気は２０００ｍ3／ｍｉｎ程度の値とな
る。本発明は図３に示す従来の外調機１５’を用いた場
合の不具合、すなわち冬期の露点温度の低い外気を処理
する場合において、加湿量が相対的に多くなり、完全に
気化しない蒸気が後段フィルター６に到達して濡らして
しまうトラブルを解消するものであり、冬場の加湿処理
を安定化させることにより一層の省エネルギー化を図る
ことができる。
リーンルームの空調システムはＦＦＵ（ファンフィルタ
ーユニット）システムを例にとると図２のような概略図
になり、例えば半導体装置１０が配置されたクリーンル
ーム１１内にその天井に設けられたＦＦＵ１２から空気
を循環供給し、その空気をクリーンルーム１１の床下を
介してドライコイル１３に通すことにより温度を制御し
ている。一方、有害ガスの排気に対する補充およびクリ
ーンルーム１１内を陽圧に保つことのために、外調機１
５でクリーンルーム１１の室内条件に合うように処理さ
れた外気が床下を介して給気される。２０００ｍ2程度
のクリーンルーム１１を例にとると、クリーンルーム１
１の室内空気の循環量は３００００ｍ3／ｍｉｎ、外調
機１５からの給気は２０００ｍ3／ｍｉｎ程度の値とな
る。本発明は図３に示す従来の外調機１５’を用いた場
合の不具合、すなわち冬期の露点温度の低い外気を処理
する場合において、加湿量が相対的に多くなり、完全に
気化しない蒸気が後段フィルター６に到達して濡らして
しまうトラブルを解消するものであり、冬場の加湿処理
を安定化させることにより一層の省エネルギー化を図る
ことができる。
【００１１】図１に本実施例の外調機１５の概略構成図
を示す。図１に示すように、クリーンルーム１１用の外
調機１５は外気流通ダクト９の上流側から順にプレフィ
ルター１／送風ファン２／冷却を主に行うコイル３ａ／
前段加湿用ポート５ａ／除湿を主に行うコイル３ｂ／加
熱用コイル４／後段加湿用ポート５ｂ／後段フィルター
６のユニットで構成されている。この外調機１５は図３
に示す従来タイプの外調機１５’に比べて、外調機１５
の８℃の冷水コイル３ａに流す水の水温を夏期／冬期で
切り換えられるようにすることが第１のポイントであ
り、また、８℃の冷水コイル３ａの後段に予備の前段加
湿用のポート５ａを追加することが第２のポイントであ
る。以下、冬期の運転状態の本実施例を外気取り込み空
気の流れに沿って説明する。例えば、横浜地方の厳冬期
の外気条件は−３℃／５０％（絶対湿度；１．５ｇ／ｋ
ｇ）となるので、この空気を最終的にクリーンルーム１
１の室内条件である２２．０℃／４５％（絶対湿度；
７．５ｇ／ｋｇ）にまで加熱と加湿を施す必要がある
が、この加熱と加湿を一気に行うのではなく、二段階に
分けて行うことが本実施例の特徴である。
を示す。図１に示すように、クリーンルーム１１用の外
調機１５は外気流通ダクト９の上流側から順にプレフィ
ルター１／送風ファン２／冷却を主に行うコイル３ａ／
前段加湿用ポート５ａ／除湿を主に行うコイル３ｂ／加
熱用コイル４／後段加湿用ポート５ｂ／後段フィルター
６のユニットで構成されている。この外調機１５は図３
に示す従来タイプの外調機１５’に比べて、外調機１５
の８℃の冷水コイル３ａに流す水の水温を夏期／冬期で
切り換えられるようにすることが第１のポイントであ
り、また、８℃の冷水コイル３ａの後段に予備の前段加
湿用のポート５ａを追加することが第２のポイントであ
る。以下、冬期の運転状態の本実施例を外気取り込み空
気の流れに沿って説明する。例えば、横浜地方の厳冬期
の外気条件は−３℃／５０％（絶対湿度；１．５ｇ／ｋ
ｇ）となるので、この空気を最終的にクリーンルーム１
１の室内条件である２２．０℃／４５％（絶対湿度；
７．５ｇ／ｋｇ）にまで加熱と加湿を施す必要がある
が、この加熱と加湿を一気に行うのではなく、二段階に
分けて行うことが本実施例の特徴である。
【００１２】実施例１、２ 第１の実施例として、前段のコイル３ａで外気を加熱し
て、前段加湿用ポート５ａで前段加湿を相対湿度６０％
程度まで行う。その後、後段の加熱用コイル４と後段加
湿用ポート５ｂにより室内条件に温湿度を調整する。こ
の例では前段加湿用ポート５ａにも制御機構を付ける必
要がある。これに対する第２の実施例は、コイル３ａで
の外気加熱後、前段加湿用ポート５ａでの前段加湿量を
一定量にすることである。すなわち、図３に示す従来の
加湿用ポート５による加湿のみで、後段フィルター６を
濡らしてしまうような条件が有った場合、外気条件がそ
れ以下の絶対湿度条件に対し、一律に一定量の水分を加
えてやることである。例えば、外気の限界条件を５．０
℃、５０％（絶対湿度２．５ｇ／ｋｇ）として、これを
下回ったら、前段加湿用ポート５ａで一律に３．０ｇ／
ｋｇ相当分の水分を加える。このとき、外調機１５から
の給気量は一定と仮定することにより、加える水分量は
一定となるため、細かな制御は不要となる。前記第１と
第２の実施例を比較すると第１の実施例は制御性は増す
ものの設備コストは上がってしまい、第２の実施例はそ
の逆となる。第１の実施例と第２の実施例は、設置地域
の冬期の外気条件に応じて選定すれば良い。
て、前段加湿用ポート５ａで前段加湿を相対湿度６０％
程度まで行う。その後、後段の加熱用コイル４と後段加
湿用ポート５ｂにより室内条件に温湿度を調整する。こ
の例では前段加湿用ポート５ａにも制御機構を付ける必
要がある。これに対する第２の実施例は、コイル３ａで
の外気加熱後、前段加湿用ポート５ａでの前段加湿量を
一定量にすることである。すなわち、図３に示す従来の
加湿用ポート５による加湿のみで、後段フィルター６を
濡らしてしまうような条件が有った場合、外気条件がそ
れ以下の絶対湿度条件に対し、一律に一定量の水分を加
えてやることである。例えば、外気の限界条件を５．０
℃、５０％（絶対湿度２．５ｇ／ｋｇ）として、これを
下回ったら、前段加湿用ポート５ａで一律に３．０ｇ／
ｋｇ相当分の水分を加える。このとき、外調機１５から
の給気量は一定と仮定することにより、加える水分量は
一定となるため、細かな制御は不要となる。前記第１と
第２の実施例を比較すると第１の実施例は制御性は増す
ものの設備コストは上がってしまい、第２の実施例はそ
の逆となる。第１の実施例と第２の実施例は、設置地域
の冬期の外気条件に応じて選定すれば良い。
【００１３】実施例３、４ 図１に示す二つの加熱用コイル３ａ、４に流す温水の系
統についても二通りの実施例がある。第３の実施例は前
段の加熱用コイル３ａ／後段の加熱用コイル４にそれぞ
れ独立の温水を流す。なお、前段のコイル３ａは夏場に
は冷水を流せるようになっていることは、本実施例の前
提である。この方法では制御性は増すが、設備コストは
上がってしまう。一方、第４の実施例は後段の加熱用コ
イル４の温水の戻り水を前段の加熱用コイル３ａに流す
方法である。この方法では設備コストは下げられるが、
制御性は第３の実施例よりも落ちる。第３の実施例と第
４の実施例は上記実施例１、２と同様、設置地域の冬場
の外気条件に応じて選定すれば良い。このように本発明
の上記実施例によれば、冬期の外気露点が低い際でも安
定した加湿処理ができる。また、加湿処理の安定化に伴
う加湿加熱負荷の低減に加え、クリーンルーム内の冷却
負荷低減にも寄与する。
統についても二通りの実施例がある。第３の実施例は前
段の加熱用コイル３ａ／後段の加熱用コイル４にそれぞ
れ独立の温水を流す。なお、前段のコイル３ａは夏場に
は冷水を流せるようになっていることは、本実施例の前
提である。この方法では制御性は増すが、設備コストは
上がってしまう。一方、第４の実施例は後段の加熱用コ
イル４の温水の戻り水を前段の加熱用コイル３ａに流す
方法である。この方法では設備コストは下げられるが、
制御性は第３の実施例よりも落ちる。第３の実施例と第
４の実施例は上記実施例１、２と同様、設置地域の冬場
の外気条件に応じて選定すれば良い。このように本発明
の上記実施例によれば、冬期の外気露点が低い際でも安
定した加湿処理ができる。また、加湿処理の安定化に伴
う加湿加熱負荷の低減に加え、クリーンルーム内の冷却
負荷低減にも寄与する。
【００１４】
１、冬期の外気露点が低い際でも安定した加湿処理がで
きる。 ２、加湿処理が安定化するので、外調機からの吹き出し
温度をクリーンルーム室内の設定温度よりも下げられ
る。 ３、外調機からの吹き出し温度を下げる場合のメリット
は加熱負荷の低減だけでなく、クリーンルーム室内の冷
却負荷低減にも寄与する。
きる。 ２、加湿処理が安定化するので、外調機からの吹き出し
温度をクリーンルーム室内の設定温度よりも下げられ
る。 ３、外調機からの吹き出し温度を下げる場合のメリット
は加熱負荷の低減だけでなく、クリーンルーム室内の冷
却負荷低減にも寄与する。
【図１】 本発明の一実施例のクリーンルーム空調用の
外調機の構造の概略図である。
外調機の構造の概略図である。
【図２】 本発明の一実施例のクリーンルーム空調シス
テムの概略図である。
テムの概略図である。
【図３】 従来技術のクリーンルーム空調用の外調機の
構造の概略図である。
構造の概略図である。
１…プレフィルター、２…送風ファン、３、４…コイ
ル、５…加湿用ポート、６…後段フィルター、９…外気
流通ダクト、１０…半導体装置、１１…クリーンルー
ム、１２…ＦＦＵ、１３…ドライコイル、１５…外調機
ル、５…加湿用ポート、６…後段フィルター、９…外気
流通ダクト、１０…半導体装置、１１…クリーンルー
ム、１２…ＦＦＵ、１３…ドライコイル、１５…外調機
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 君嶋 正行 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内 (72)発明者 落合 弘文 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内 (72)発明者 横手 敏一 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内
Claims (9)
- 【請求項１】 クリーンルーム空調用の温水循環系を有
する加熱用コイル、冷水循環系を有する冷却用コイルお
よび加湿水を噴霧する加湿用ポートを備えた外気処理専
用の空調機において、冬期の外気露点が低い時期に所定
の室内温湿度条件を得るために、温水循環系を有する予
熱用コイルおよび加湿水を噴霧する予加湿用ポートを付
設したことを特徴とする空調機。 - 【請求項２】 予熱用コイルの直後に予加湿用ポートを
備え、その後段側に加熱用コイル、冷却用コイルおよび
加湿用ポートを配置したことを特徴とする請求項１記載
の空調機。 - 【請求項３】 予熱用コイルの直後に予加湿用ポートを
備え、その後段側に加熱用コイル、冷却用コイルおよび
加湿用ポートを配置したことを特徴とする請求項１また
は２記載の空調機。 - 【請求項４】 予熱用コイルは夏期には冷水循環系を有
する冷却用コイルとしても使用可能なコイルであること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の空調
機。 - 【請求項５】 予熱用コイルとそれより後段側に配置さ
れる加熱用コイルとはそれぞれ別の温水を循環させる循
環系を有することを特徴とする請求項４記載の空調機。 - 【請求項６】 予熱用コイルには加熱用コイルで熱交換
された温水を循環させる循環系を有することを特徴とす
る請求項４記載の空調機。 - 【請求項７】 クリーンルーム空調用に外気の加熱、冷
却および加湿を行う外気処理専用の空調機の運転方法に
おいて、冬期の外気露点が低い時期の加湿処理を安定化
させるために、最終加湿を行う際の加湿量を一定以下に
抑えられるように、処理空気の露点温度を一定以上にな
るように予加熱および予加湿を行うことを特徴とする空
調機の運転方法。 - 【請求項８】 予加熱用にコイルを設け、該コイルに冷
却水と温水を切り替えて循環させることを特徴とする請
求項７記載の空調機の運転方法。 - 【請求項９】 クリーンルーム空調用に外気の加熱、冷
却および加湿を行う外気処理専用の空調機の運転方法に
おいて、冬期の外気露点が低い時期の加湿処理を安定化
させるために、最終加湿段階の加湿量を一定以下に抑え
られるように、予加湿で一定量の水分を加えることによ
り湿度調整を行うことを特徴とする空調機の運転方法。
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| JP24185994A JP3500586B2 (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | 空調機の運転方法 |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005321175A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Techno Ryowa Ltd | 空気調和機及び温湿度制御方法 |
| JP2006177567A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Techno Ryowa Ltd | 空調システム |
| KR100963838B1 (ko) * | 2008-01-28 | 2010-06-16 | 한국생산기술연구원 | 하이브리드 열회수식 외기공조장치 |
| CN106091277A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-11-09 | 国网冀北节能服务有限公司 | 一种基于智能节能控制的空调监控系统 |
| CN107178864A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-09-19 | 王虹 | 室内新风机组 |
| CN107228447A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-10-03 | 王虹 | 多功能户内新风机组 |
| CN107289572A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-10-24 | 王虹 | 具有加湿功能的室内新风机组 |
| CN107314479A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-11-03 | 王虹 | 智能新风机组 |
| JP2020016395A (ja) * | 2018-07-26 | 2020-01-30 | 新菱冷熱工業株式会社 | 恒湿度空調システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03217734A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Taikisha Ltd | 空調装置 |
| JPH04113136A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-14 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
| JPH06213478A (ja) * | 1993-01-14 | 1994-08-02 | Ebara Corp | 空気調和機 |
-
1994
- 1994-09-09 JP JP24185994A patent/JP3500586B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03217734A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Taikisha Ltd | 空調装置 |
| JPH04113136A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-14 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 直膨型熱交換器を用いたクリーンルーム |
| JPH06213478A (ja) * | 1993-01-14 | 1994-08-02 | Ebara Corp | 空気調和機 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005321175A (ja) * | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Techno Ryowa Ltd | 空気調和機及び温湿度制御方法 |
| JP4506265B2 (ja) * | 2004-05-11 | 2010-07-21 | 株式会社テクノ菱和 | 空気調和機及び温湿度制御方法 |
| JP2006177567A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Techno Ryowa Ltd | 空調システム |
| WO2006068017A3 (ja) * | 2004-12-20 | 2007-01-18 | Wetmaster Co Ltd | 空調システム |
| JP4651377B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2011-03-16 | 株式会社テクノ菱和 | 空調システム |
| KR100963838B1 (ko) * | 2008-01-28 | 2010-06-16 | 한국생산기술연구원 | 하이브리드 열회수식 외기공조장치 |
| CN106091277A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-11-09 | 国网冀北节能服务有限公司 | 一种基于智能节能控制的空调监控系统 |
| CN107178864A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-09-19 | 王虹 | 室内新风机组 |
| CN107228447A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-10-03 | 王虹 | 多功能户内新风机组 |
| CN107289572A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-10-24 | 王虹 | 具有加湿功能的室内新风机组 |
| CN107314479A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-11-03 | 王虹 | 智能新风机组 |
| JP2020016395A (ja) * | 2018-07-26 | 2020-01-30 | 新菱冷熱工業株式会社 | 恒湿度空調システム |
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| Publication number | Publication date |
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