JPH0878921A - Laminated resonance circuit board - Google Patents

Laminated resonance circuit board

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JPH0878921A
JPH0878921A JP20651494A JP20651494A JPH0878921A JP H0878921 A JPH0878921 A JP H0878921A JP 20651494 A JP20651494 A JP 20651494A JP 20651494 A JP20651494 A JP 20651494A JP H0878921 A JPH0878921 A JP H0878921A
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JP
Japan
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strip line
laminated
short
short stub
cut
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Application number
JP20651494A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Nakamura
成男 中村
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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Publication of JPH0878921A publication Critical patent/JPH0878921A/en
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0237High frequency adaptations
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0296Conductive pattern lay-out details not covered by sub groups H05K1/02 - H05K1/0295
    • H05K1/0298Multilayer circuits

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  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a laminated resonance circuit board capable of miniaturizing the board by minimizing the area to be occupied by a short stub. CONSTITUTION: The laminated resonance circuit board uses a laminated body constituted by laminating dielectric layers 1a-1d as a board 1. A strip line 2 is formed on that laminated board 1, a short stub 3 for characteristic control to be connected with the strip line 2 is divided, and one part or all the divided short stubs 31, 32 and 33 are internally mounted inside the laminated body board 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、高周波電圧制御発振回
路(VCO)などに用いられ、ストリップ線路を有する
積層共振回路基板に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated resonant circuit board used for a high frequency voltage controlled oscillator (VCO) and having a strip line.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、高周波発振装置、例えば電圧
制御発振回路(VCO)は、図5に示すように、図中、
Xはストリップ線路MSL1 、MSL2 バリキャップダ
イオードCv、コンデンサC1 〜C4 から成る共振回路
部であり、Yは、発振用トランジスタ、抵抗、コンデン
サなどから成る負性抵抗回路部であり、Zは増幅用トラ
ンジスタ、ストリップ線路、抵抗、コンデンサなどから
成る増幅回路部である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a high-frequency oscillator, for example, a voltage controlled oscillator (VCO), is shown in FIG.
X is a resonance circuit section including strip lines MSL 1 , MSL 2 varicap diodes Cv, and capacitors C 1 to C 4 , Y is a negative resistance circuit section including oscillation transistors, resistors, capacitors, and Z. Is an amplifying circuit unit including an amplifying transistor, a strip line, a resistor, a capacitor, and the like.

【0003】このような高周波発振装置において、制御
端子Vtより所定電圧が印加されると、特にバリキャッ
プダイオードCvの容量が変化して、これにより所定共
振周波数が得られることになる。これと負性抵抗回路部
Yとで発振条件を満たして、発振すると、信号を増幅回
路部Zで増幅して出力端子OUTより導出する。
In such a high frequency oscillating device, when a predetermined voltage is applied from the control terminal Vt, the capacitance of the varicap diode Cv in particular changes, whereby a predetermined resonance frequency is obtained. When this and the negative resistance circuit section Y satisfy the oscillation condition and oscillate, the signal is amplified by the amplification circuit section Z and is derived from the output terminal OUT.

【0004】このような高周波発振装置の製造過程にお
いて仕様に応じた周波数の調整は、共振回路部Xのスト
リップ線路MSL1 を調整して行われる。
In the manufacturing process of such a high-frequency oscillator, the frequency adjustment according to the specifications is performed by adjusting the strip line MSL 1 of the resonance circuit section X.

【0005】このような高周波発振装置においては、発
振周波数の調整方法は、共振回路部を構成するストリッ
プ線路MSL1 の線路長を調整していた。
In such a high frequency oscillating device, the method of adjusting the oscillating frequency adjusts the line length of the strip line MSL 1 constituting the resonance circuit section.

【0006】上述のストリップ線路MSL1 は、図6に
示すような単板状の誘電体材料から成る共振回路基板6
0に形成される。図6において、誘電体基板62の一方
主面上に、直線状、U字状、J字状などに形成されてた
導体膜61(以下ストリップ線路という)と、他方主面
に形成された接地導体膜63と、ストリップ線路61の
一端で接地導体膜63と接続するスルーホール導体64
とから構成されている。ここで、上述の周波数調整を可
能にするために、ストリップ線路61の一端には、レー
ザー照射、サンドブラスト、ドリルなどによって切断さ
れる複数の導体膜65a、65b・・・から成る特性調
整用ショートスタブ65が接続されており、高周波発振
装置の発振周波数(共振回路基板レベルでは共振周波
数)を考慮して、所定数のショートスダブ65の導体膜
65a、65b・・・を、図中の矢印方向に順次切断し
ていた。
The above-described strip line MSL 1 has a resonant circuit substrate 6 made of a single plate dielectric material as shown in FIG.
Formed to zero. In FIG. 6, a conductor film 61 (hereinafter referred to as a strip line) formed in a linear shape, a U shape, a J shape, etc. on one main surface of a dielectric substrate 62 and a ground formed on the other main surface. A conductor film 63 and a through-hole conductor 64 connected to the ground conductor film 63 at one end of the strip line 61
It consists of and. Here, in order to enable the above-mentioned frequency adjustment, one end of the strip line 61 has a characteristic-adjusting short stub composed of a plurality of conductor films 65a, 65b ... Which are cut by laser irradiation, sandblasting, drilling or the like. 65 are connected, and in consideration of the oscillation frequency of the high-frequency oscillation device (resonance frequency at the resonance circuit board level), a predetermined number of the conductor films 65a, 65b of the short subdub 65 are arranged in the direction of the arrow in the figure. Were cut off in sequence.

【0007】このストリップ線路61に接続されるショ
ートスタブ65a、65b・・・の切断状況によってス
トリップ線路61の実質的な長さ成分が変化して、イン
ダクタンス成分が増加して、発振周波数の低下させるこ
とできる。このショートスタブ65を構成する導体膜6
5a、65b・・・を順次切断する切断数と発振周波数
の変化との関係は、ショートスタブ65の導体膜65
a、65b・・・の切断数に対して、例えば発振周波数
は直線的に減少させることができる。
The substantial length component of the strip line 61 changes depending on the disconnection state of the short stubs 65a, 65b, ... Connected to the strip line 61, the inductance component increases, and the oscillation frequency decreases. You can do it. Conductor film 6 that constitutes this short stub 65
The relationship between the number of cuts for sequentially cutting 5a, 65b, ... And the change in the oscillation frequency is as follows.
For example, the oscillation frequency can be linearly reduced with respect to the number of cuts a, 65b, ....

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図6において、ストリップ線路61の一端側に接続した
ショートスダブ65は、基板60の表面に形成されてい
る。
However, in FIG. 6 described above, the short subdub 65 connected to one end of the strip line 61 is formed on the surface of the substrate 60.

【0009】また、特性調整範囲、例えば発振周波数の
可変調整幅を広くしたい時や調整による可変幅を小さく
して微調整可能にしたい時には、ショートスタブ65を
構成する導体膜65a、65b・・・の導体数を多く形
成する必要がある。
Further, when it is desired to widen the characteristic adjustment range, for example, the variable adjustment width of the oscillation frequency or to make the variable width by the adjustment small so that fine adjustment is possible, the conductor films 65a, 65b, ... It is necessary to form a large number of conductors.

【0010】その結果、共振回路基板60の表面におけ
るショートスタブ65が占有する面積が大きくなり、基
板全体が大型化してしまい、また、基板60の表面に他
の配線パターンを形成する場合には、その配線パターン
の引き回し自由度に大きな制約を与えることになる。
As a result, the area occupied by the short stubs 65 on the surface of the resonant circuit board 60 becomes large, the size of the entire board becomes large, and when another wiring pattern is formed on the surface of the board 60, This imposes a large restriction on the degree of freedom in routing the wiring pattern.

【0011】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、特性調整範囲を広くしても、
可変幅を小さくしようとしても、ショートスタブの占有
面積を極小化して、基板の小型化が可能な積層共振回路
基板を提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above problems, and an object thereof is to widen the characteristic adjustment range,
An object of the present invention is to provide a laminated resonant circuit board that can minimize the area occupied by the short stub even if the variable width is reduced, and the board can be downsized.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の積層共振回路基
板は、複数の誘電体層を積層して成る積層体に、特性調
整用のショートスタブを有するストリップ線路を形成し
た積層共振回路基板において、前記ショートスタブを分
割し、該分割したショートスタブの全部又は一部を誘電
体層間に形成したものである。
A laminated resonant circuit board of the present invention is a laminated resonant circuit board in which a strip line having a short stub for adjusting characteristics is formed on a laminated body formed by laminating a plurality of dielectric layers. The short stub is divided, and all or part of the divided short stub is formed between dielectric layers.

【0013】[0013]

【作用】本発明によれば、ストリップ線路に接続された
複数の導体膜から成るショートスタブが、積層基板の表
面に露出する面積を減少または皆無とすることができる
ため、積層基板における平面的なショートスタブの占有
面積を減少することができ、小型な積層共振回路基板と
することができる。
According to the present invention, since the short stub made of a plurality of conductor films connected to the strip line can reduce or eliminate the area exposed on the surface of the laminated substrate, the planar stub of the laminated substrate can be eliminated. The area occupied by the short stubs can be reduced, and a small laminated resonant circuit board can be obtained.

【0014】また、積層共振回路基板の表面に、他の配
線パターンを形成する場合には、その配線パターンの引
き回し自由度が大きく向上する。
Further, when another wiring pattern is formed on the surface of the laminated resonant circuit board, the degree of freedom in routing the wiring pattern is greatly improved.

【0015】尚、積層体層間に形成されたショートスタ
ブの所定導体膜を形成するには、例えば切断手段である
レーザー光線の強度を制御して、切断対象の導体膜を被
覆する誘電体層とともに切断対象の導体膜を切断すれば
よい。
In order to form the predetermined conductor film of the short stub formed between the laminate layers, for example, the intensity of the laser beam, which is a cutting means, is controlled so that the conductor film to be cut is cut together with the dielectric layer. The target conductor film may be cut.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の積層共振回路基板を図面に基
づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A laminated resonant circuit board of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は、本発明の積層共振回路基板の部分
平面図であり、図2は図1中のA−A線断面図である。
尚、この共振回路基板は、図5に示した典型的な高周波
発生装置の共振回路部Xとして用いられるものであり、
図1、図2では、ストリップ線路MSL1 のみを記載し
たものであり、その他の共振回路部Xを構成するストリ
ップ線路MSL2 、各種電子部品、例えばバリキャップ
ダイオードCv、コンデンサC1 〜C4 などを省略し
た。
FIG. 1 is a partial plan view of a laminated resonant circuit board of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG.
The resonant circuit board is used as the resonant circuit section X of the typical high frequency generator shown in FIG.
In FIG. 1 and FIG. 2, only the strip line MSL 1 is shown, and other strip lines MSL 2 constituting the resonance circuit section X, various electronic components such as a varicap diode Cv, capacitors C 1 to C 4, etc. Was omitted.

【0018】図1、図2において、10は積層共振回路
基板であり、1は積層体基板、2はストリップ線路MS
1 の導体膜(以下、単にストリップ線路という)、3
はショートスタブ、4は接地導体膜である。
1 and 2, 10 is a laminated resonant circuit substrate, 1 is a laminated substrate, and 2 is a strip line MS.
L 1 conductor film (hereinafter simply referred to as strip line), 3
Is a short stub, and 4 is a ground conductor film.

【0019】積層体基板1は、例えば4層の誘電体層1
a〜1dから成る。誘電体層1a〜1dは、ストリップ
線路2の特性に応じて所定誘電体率を有する材料、例え
ばアルミナを主成分とするセラミック、チタン酸バリウ
ムを主成分とするセラミック、このようなセラミックと
ガラス成分とからなるガラス−セラミック材料、ガラス
エポキシ材料などから成る。例えば、基板1の表面に
は、ストリップ線路2が形成されており、そのストリッ
プ線路2の一端側には、該ストリップ線路2と接続する
複数の導体膜31a、31b・・・などからなるショー
トスタブ31が形成されている。
The laminated substrate 1 is composed of, for example, four dielectric layers 1.
a to 1d. The dielectric layers 1a to 1d are made of a material having a predetermined dielectric constant according to the characteristics of the strip line 2, for example, a ceramic containing alumina as a main component, a ceramic containing barium titanate as a main component, such a ceramic and a glass component. And a glass-ceramic material, a glass epoxy material, or the like. For example, a strip line 2 is formed on the surface of the substrate 1, and one end side of the strip line 2 is a short stub composed of a plurality of conductor films 31a, 31b, ... Connected to the strip line 2. 31 is formed.

【0020】また、誘電体層1aと誘電体層1bとの層
間には、複数の導体膜32a、32b・・・から成るシ
ョートスタブ32が内装されており、さらに、誘電体層
1bと誘電体層1cとの層間には、複数の導体膜33
a、33b・・・から成るショートスタブ33が内装さ
れている。
Further, a short stub 32 composed of a plurality of conductor films 32a, 32b ... Is internally provided between the dielectric layers 1a and 1b, and further, the dielectric layer 1b and the dielectric layer 1b. A plurality of conductor films 33 are provided between the layer 1c and the layer.
The short stub 33 composed of a, 33b ...

【0021】即ち、ショートスタブ3は、3つのショー
トスタブ31、32、33に分割され、ショートスタブ
32、33は積層基板1に内装されることになる。
That is, the short stub 3 is divided into three short stubs 31, 32, 33, and the short stubs 32, 33 are mounted in the laminated substrate 1.

【0022】また、誘電体層1cと誘電体層1dとの層
間には、少なくともストリップ線路2と対向するように
接地導体膜4が内装されている。
A ground conductor film 4 is provided between the dielectric layers 1c and 1d so as to face at least the strip line 2.

【0023】ストリップ線路2は、Cu系(Cu単体、
Cu合金)、Ag系(Ag単体、Ag合金)などを主成
分とする厚膜導電性ペーストの印刷・焼付けにより形成
され、また、ガラス−エポキシ基板の積層工程中でCu
箔の付着などにより形成され、特性に応じて所望幅、所
望長さとなっている。
The strip line 2 is made of Cu (Cu alone,
Cu alloy), Ag-based (Ag simple substance, Ag alloy), etc. are formed by printing / baking a thick-film conductive paste, and Cu is also used in the glass-epoxy substrate lamination process.
It is formed by adhering foil, etc., and has a desired width and desired length depending on the characteristics.

【0024】また、ストリップ線路2の一端側には、接
地導体膜4と接続する導通スルーホール5が形成されて
いる。この導通スルーホール5は、誘電体層1a、1
b、1cを貫通する穴の内壁に導体材料が塗布されてい
たり、また貫通する穴内に導体材料が充填されて構成さ
れている。
A conductive through hole 5 connected to the ground conductor film 4 is formed at one end of the strip line 2. The conductive through holes 5 are formed in the dielectric layers 1a, 1
The conductive material is applied to the inner wall of the hole penetrating b, 1c, or the conductive material is filled in the penetrating hole.

【0025】ショートスタブ3は、上述のように、表面
のショートスタブ31、積層体基板1内に内装された内
装ショートスタブ32、33に分割されている。表面の
ショートスタブ31は、前記ストリップ線路2と同一材
料で同時に形成され、内装ショートスタブ32、33
は、誘電体層1b、1cとなる焼成前のグリーンシート
の表面にAg系、Cu系、高融点金属(W系、Mo系)
材料を主成分とする厚膜導電性ペーストの印刷・乾燥
し、グリーンシートの積層後の一体焼成により形成され
たり、ガラス−エポキシ基板の積層工程中でCu箔の付
着などにより形成される。
As described above, the short stub 3 is divided into the short stub 31 on the front surface and the internal short stubs 32 and 33 installed inside the laminated substrate 1. The short stubs 31 on the surface are formed of the same material as the strip line 2 at the same time, and the interior short stubs 32, 33 are formed.
Is an Ag-based, Cu-based, high-melting-point metal (W-based, Mo-based) on the surface of the green sheet to be the dielectric layers 1b and 1c before firing
It is formed by printing and drying a thick-film conductive paste containing a material as a main component and integrally firing after stacking green sheets, or by adhering Cu foil during a glass-epoxy substrate stacking process.

【0026】各ショートスタブ31、32、33は、例
えば複数の導体膜31a、31b・・・、導体膜32
a、32b・・・、導体膜33a、33b・・・からな
り、例えば、実施では、1つのショートスタブ31、3
2、33に対して2つの導体膜31a、31b、32
a、32b、33a、33bから構成されている。
Each of the short stubs 31, 32, 33 includes, for example, a plurality of conductor films 31a, 31b ..., Conductor film 32.
a, 32b ..., Conductive films 33a, 33b ..
Two conductor films 31a, 31b, 32 for 2, 33
It is composed of a, 32b, 33a and 33b.

【0027】表面のショートスタブ31を構成する導体
膜31a、31bは、その一端が直接ストリップ線路2
の一端側に接続し、その他端が互いに接続されている。
One end of each of the conductor films 31a and 31b forming the short stub 31 on the surface is directly connected to the strip line 2.
Is connected to one end side and the other ends are connected to each other.

【0028】内装ショートスタブ32、33を構成する
導体膜32a、32b、33a、33bは、その両端が
互いに接続している。そして、導体膜32a、32b、
33a、33bの一方は、導通スルーホール6を介して
少なくともストリップ線路2の一端側に接続している。
尚、導通スルーホール6は少なくとも誘電体層1a、1
bを貫通する穴の内壁に導体材料が塗布されていたり、
また貫通する穴内に導体材料が充填されて構成されてい
る。
Both ends of the conductor films 32a, 32b, 33a, 33b constituting the interior short stubs 32, 33 are connected to each other. Then, the conductor films 32a, 32b,
One of 33 a and 33 b is connected to at least one end side of the strip line 2 via the conductive through hole 6.
In addition, the conductive through holes 6 are at least the dielectric layers 1a, 1
Conductor material is applied to the inner wall of the hole passing through b,
Also, the through hole is filled with a conductive material.

【0029】これにより、ストリップ線路2の一端側に
は、1層あたり2つの導体膜から成るショートスタブ3
1、32、33、即ち、合計6つの導体膜31a、31
b、32a、32b、33a、33bが接続されている
ことになる。
As a result, on one end side of the strip line 2, the short stub 3 composed of two conductor films per layer is formed.
1, 32, 33, that is, a total of 6 conductor films 31a, 31
b, 32a, 32b, 33a, 33b are connected.

【0030】接地導体膜4は、誘電体層1cと誘電体層
1dとの層間に内装され、少なくともストリップ線路2
に対向するように形成されている。この形成方法は、内
装ショートスタブ32、33と形状は異なるものの、同
一の方法で形成される。
The ground conductor film 4 is provided between the dielectric layer 1c and the dielectric layer 1d, and at least the strip line 2 is provided.
Are formed so as to face each other. This forming method is different in shape from the interior short stubs 32 and 33, but is formed by the same method.

【0031】以上説明したように、本発明の積層共振回
路基板10は、ストリップ線路2の特性を調整するため
のショートスタブが、積層基板1の表面に形成されたシ
ョートスタブ31(導体膜31a、31b)、積層基板
1の誘電体層1a、1b、1bとの層間に形成された内
装ショートスタブ32、33(導体膜32a、32b、
33a、33b)からなっている。
As described above, in the laminated resonant circuit substrate 10 of the present invention, the short stub for adjusting the characteristics of the strip line 2 is formed on the surface of the laminated substrate 1 by the short stub 31 (conductor film 31a, 31b), the internal short stubs 32, 33 (conductor films 32a, 32b, formed between the dielectric layers 1a, 1b, 1b of the multilayer substrate 1).
33a, 33b).

【0032】これにより、従来と同等の調整を行うため
のショートスタブを得るためのショートスタブの占有面
積が実質的に1/3と大きく減少させることができ、基
板1の全体の小型化を図ることができる。
As a result, the occupied area of the short stub for obtaining the short stub for performing the same adjustment as in the conventional case can be substantially reduced to 1/3, and the overall size of the substrate 1 can be reduced. be able to.

【0033】これにより、例えば、高周波発振回路の共
振回路部Xとして用いられる他の電子部品を搭載するた
めの配線パターンを積層共振回路基板の表面に形成する
にあたり、その配線パターンの引き回し自由度が向上
し、また、内装ショートスタブ32、33を形成した誘
電体層1a、1b、1cとの層間を利用して内部配線パ
ターンを形成することもでき、全体として、小型化、高
密度の配線も可能となる。
Thus, for example, when forming a wiring pattern for mounting another electronic component used as the resonance circuit section X of the high frequency oscillation circuit on the surface of the laminated resonance circuit board, the wiring pattern has a degree of freedom in routing. Further, the internal wiring pattern can be formed by utilizing the interlayers with the dielectric layers 1a, 1b, 1c on which the internal short stubs 32, 33 are formed. It will be possible.

【0034】次に、このように形成されたショートスタ
ブ31、32、33を構成する導体膜31a、31b、
32a、32b、33a、33bの切断調整方法を説明
する。
Next, the conductor films 31a, 31b forming the short stubs 31, 32, 33 formed in this way,
A method for adjusting the cutting of 32a, 32b, 33a, 33b will be described.

【0035】従来においては、ショートスタブ65を構
成する導体膜65a、65b・・が基板60の表面に形
成されているため、ストリップ線路61の特性をモニタ
リングしながら、表面に露出する複数の導体膜65a、
65b・・の内、所望本数の導体膜を切断するように、
導体膜のみを切断するに必要なレーザー光線など照射し
て、所定長さ(切断対象の導体膜の数に対応する)だけ
走査するだけでよいが、本発明においては、表面のショ
ートスタブ31を構成する導体膜31a、31bを切断
する場合には、従来と同一であるが、内装ショートスタ
ブ32、33を構成する導体膜32a、32b、33
a、33bを切断する場合には、同時に誘電体層1a、
1bを切断するに必要な強度を有するレーザー光線を照
射して切断する必要がある。
In the prior art, since the conductor films 65a, 65b, ... Constituting the short stub 65 are formed on the surface of the substrate 60, a plurality of conductor films exposed on the surface are monitored while monitoring the characteristics of the strip line 61. 65a,
To cut the desired number of conductor films out of 65b ...
It suffices to irradiate a laser beam or the like necessary for cutting only the conductor film and scan for a predetermined length (corresponding to the number of conductor films to be cut). However, in the present invention, the short stub 31 on the surface is formed. When the conductor films 31a and 31b to be cut are cut, the conductor films 32a, 32b and 33 forming the internal short stubs 32 and 33 are the same as in the conventional case.
When cutting a and 33b, the dielectric layers 1a and
It is necessary to irradiate a laser beam having the intensity required to cut 1b to cut.

【0036】具体的には、1回目のレーザー照射及び走
査によって、表面ショートスタブ31の導体膜31a、
31bを対象に切断を行い、2回目のレーザー照射及び
1回目の走査の軌跡と同一走査によって、内装ショート
スタブ32の導体膜32a、32bをを対象に切断を行
い、3回目のレーザー照射及び1回目、2回目の走査の
軌跡と同一走査によって、内装ショートスタブ33の導
体膜33a、33bをを対象に切断を行う。この時、レ
ーザー照射を、YAGレーザー(波長1.06μm、Q
スイッチ1kHz)で出力3Wで、20cmの照射距離
に設定すると、1回目の照射により、導体膜31a、3
1b及び誘電体層1aの表面側の一部の切断・除去が可
能で、2回目の照射で、誘電体層1aの残部、導体膜3
2a、32b及び誘電体層1bの表面側の一部の切断・
除去が可能で、3回目の照射で、誘電体層1bの残部、
導体膜33a、33b及び誘電体層1cの表面側の一部
の切断・除去が可能となり、レーザー照射の条件を共通
化して、表面のショートスタブ31、誘電体層1aと1
bとの層間のショートスタブ32、誘電体層1bと1c
との層間のショートスタブ33の選択的な切断が可能と
なる。
Specifically, by the first laser irradiation and scanning, the conductor film 31a of the surface short stub 31,
31b is cut, and the conductor films 32a and 32b of the internal short stub 32 are cut by the same scanning as the locus of the second laser irradiation and the first scanning, and the third laser irradiation and the first irradiation. The conductor films 33a and 33b of the internal short stub 33 are cut by the same scanning as the loci of the second and second scanning. At this time, laser irradiation was performed using a YAG laser (wavelength 1.06 μm, Q
Switch 1 kHz), output 3 W, irradiation distance of 20 cm, the first irradiation, conductor film 31a, 3
1b and a part of the surface side of the dielectric layer 1a can be cut / removed, and by the second irradiation, the remaining part of the dielectric layer 1a and the conductor film 3 are removed.
2a, 32b and a part of the surface side of the dielectric layer 1b are cut.
It is possible to remove, the third irradiation, the rest of the dielectric layer 1b,
It becomes possible to cut and remove a part of the conductor films 33a and 33b and the dielectric layer 1c on the surface side, and the laser irradiation conditions are made common, and the short stub 31 on the surface and the dielectric layers 1a and 1a.
b, the short stub 32 between the layers and the dielectric layers 1b and 1c
It is possible to selectively cut the short stub 33 between the layers.

【0037】例えば、ストリップ線路2をモニタリング
した結果、3本の導体膜を切断する必要がある場合、1
回目のレーザー照射により、表面のショートスタブ31
を構成する導体膜31a、31bを切断し、次に1回目
の走査軌跡と同一走査の2回目の照射により、内装ショ
ートスタブ32を構成する導体膜32a、32bの一本
のみを切断する。この時、2回目の走査距離を制御すれ
ば、導体膜32a、32bの一本のみを切断することが
容易となる。尚、走査方向においては、表面ショートス
タブ31、内装ショートスタブ32、33に対しても常
に同一方向から走査してもよいて、内装ショートスタブ
32のみを表面ショートスタブ31、内装ショートスタ
ブ33に対しても逆方向に走査する振幅的な走査であっ
ても構わない。
For example, when it is necessary to cut three conductor films as a result of monitoring the strip line 2, 1
Short stub 31 on the surface by the second laser irradiation
The conductor films 31a and 31b forming the above are cut, and then only one of the conductor films 32a and 32b forming the internal short stub 32 is cut by the second irradiation of the same scanning as the first scanning locus. At this time, if the scanning distance for the second time is controlled, it becomes easy to cut only one of the conductor films 32a and 32b. In the scanning direction, the front surface short stubs 31 and the interior short stubs 32 and 33 may always be scanned from the same direction, and only the interior short stubs 32 may be scanned relative to the front surface short stubs 31 and the interior short stubs 33. Alternatively, amplitude scanning in which scanning is performed in the reverse direction may be performed.

【0038】これにより、合計3本のショートスタブ3
1、32、33を構成する導体膜31a、31b、32
a、32b、33a、33bのうち3本の導体膜31
a、31b、32aを切断することができる。尚、予め
切断すべき導体膜数を決定して、その導体膜を切断して
も構わないし、また、ストリップ線路2をモニタリング
を常に行いながら、導体膜31a、31b、32a、3
2b、33a、33bの切断を行い、所定特性に追い込
むようにしても構わない。
With this, a total of three short stubs 3
Conductor films 31a, 31b, 32 constituting 1, 32, 33
Three conductor films 31 among a, 32b, 33a and 33b
It is possible to cut a, 31b and 32a. Note that the number of conductor films to be cut may be determined in advance and the conductor films may be cut, and the conductor films 31a, 31b, 32a, 3a, 3a, 3a, and 3a may be cut while the strip line 2 is constantly monitored.
You may make it cut | disconnect 2b, 33a, 33b, and drive it into a predetermined characteristic.

【0039】上述の切断方法によれは、1回のレーザー
照射及び走査で導体膜31a、31bを切断し、2回目
のレーザー照射及び走査で導体膜32a、32bを切断
し、3回目のレーザー照射及び走査で導体膜33a、3
3bを切断しているが、例えば、レーザー照射の走査幅
を短く、振幅動作により、まず、1回目のレーザー照射
・走査により、ショートスタブ31の導体膜31aを切
断し、続いて振幅走査により、内装ショートスタブ32
の導体膜32aを切断し、さらに続いて振幅走査によ
り、内装ショートスタブ33の導体膜33aを切断し、
次に、2回目のレーザー照射・走査により、ショートス
タブ31の導体膜31bを切断し、続いて振幅走査によ
り、内装ショートスタブ32の導体膜32bを切断し、
さらに続いて振幅走査により、内装ショートスタブ33
の導体膜33bを切断しても構わない。
According to the above cutting method, the conductor films 31a and 31b are cut by one laser irradiation and scanning, the conductor films 32a and 32b are cut by the second laser irradiation and scanning, and the third laser irradiation is performed. And the conductor films 33a, 3 by scanning
Although 3b is cut, for example, the scanning width of the laser irradiation is shortened, and the conductor film 31a of the short stub 31 is cut by the first laser irradiation / scanning by the amplitude operation, and then by the amplitude scanning. Interior short stub 32
The conductor film 32a of the internal short stub 33 is further cut by amplitude scanning,
Next, the conductor film 31b of the short stub 31 is cut by the second laser irradiation / scanning, and then the conductor film 32b of the internal short stub 32 is cut by the amplitude scanning,
Then, by amplitude scanning, the interior short stub 33 is
The conductor film 33b may be cut.

【0040】また、ショートスタブ31、32、33と
ストリップ線路2との接続位置について、図4に示すよ
うに、ストリップ線路2の一端より若干離れた位置にシ
ョートスタブ31、32、33を形成しても構わない。
Regarding the connecting positions of the short stubs 31, 32, 33 and the strip line 2, the short stubs 31, 32, 33 are formed at positions slightly apart from one end of the strip line 2 as shown in FIG. It doesn't matter.

【0041】さらに、上述の実施例では、ストリップ線
路2及びショートスタブ31が基板の表面に形成されて
おり、ストリップ線路2は、接地導体膜と対向した構造
のマイクロストリップ線路であるが、例えば、ストリッ
プ線路2を例えば誘電体層1aと誘電体層1bとの層間
に内装して、ショートスタブ32に直接接続し、表面の
ショートスタブ31と内装ショートスタブ33とを導通
スルーホール6によって接続するようにしても構わな
い。さらに、切断位置を決定するマーキング、基板の基
準辺などを併用することにより、ショートスタブ31〜
33の全てを積層基板1の内部に内装しても構わない。
Further, in the above-described embodiment, the strip line 2 and the short stub 31 are formed on the surface of the substrate, and the strip line 2 is a microstrip line having a structure facing the ground conductor film. For example, the strip line 2 is internally provided between the dielectric layer 1a and the dielectric layer 1b and directly connected to the short stub 32, and the short stub 31 on the surface and the internal short stub 33 are connected by the conductive through hole 6. It doesn't matter. Furthermore, the short stubs 31 to 31 can be formed by using markings that determine the cutting position and the reference side of the board.
All 33 may be provided inside the laminated substrate 1.

【0042】また、接地導体膜4は誘電体層1bと誘電
体層1cとの層間に形成されているが、接地導体膜4を
必ずしも積層共振回路基板内に内装させる必要はなく、
例えば、積層基板の裏面側主面に、導電性ペーストの印
刷・焼きつけにより形成しても構わない。
Although the ground conductor film 4 is formed between the dielectric layer 1b and the dielectric layer 1c, the ground conductor film 4 does not necessarily have to be incorporated in the laminated resonant circuit board.
For example, the main surface on the back surface side of the laminated substrate may be formed by printing / baking a conductive paste.

【0043】さらに、誘電体層の積層数、内装ショート
スタブの数、ショートスタブを構成する導体膜の数など
は、ストリップ線路の調整可変幅、可変量によって任意
に変えることができる。
Further, the number of laminated dielectric layers, the number of internal short stubs, the number of conductor films forming the short stubs, etc. can be arbitrarily changed according to the adjustment variable width and variable amount of the strip line.

【0044】さらに、本発明の積層共振回路基板は、高
周波発振回路の共振回路部として用いることで説明した
が、その他に、本発明の共振回路基板を複数接続し、ま
たは1つの共振回路基板内に複数のストリップ線路を形
成したフィルター装置として用いることもできる。
Furthermore, although the laminated resonant circuit board of the present invention has been described as being used as a resonant circuit portion of a high frequency oscillation circuit, in addition, a plurality of resonant circuit boards of the present invention may be connected or a single resonant circuit board may be used. It can also be used as a filter device in which a plurality of strip lines are formed.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上のように本発明では、ストリップ線
路の一端側に接続され、特性を調整するためのショート
スタブが分割され、その分割されたショートスタブの全
部又は一部が、積層基板に内装されているため、平面的
にショートスタブの基板に占める占有面積を減少させる
ことができる。
As described above, according to the present invention, the short stubs connected to one end side of the strip line for adjusting the characteristics are divided, and all or a part of the divided short stubs is formed on the laminated substrate. Since it is internally provided, the area occupied by the short stub on the substrate can be reduced in plan view.

【0046】これにより、基板の小型化が達成でき、し
かも、基板表面に他の配線パターンを形成するにあた
り、その配線パターンの自由度が向上する。
As a result, the size of the substrate can be reduced, and in forming another wiring pattern on the surface of the substrate, the degree of freedom of the wiring pattern is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の積層共振回路基板の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a laminated resonant circuit board of the present invention.

【図2】図1のA−A線の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図3】図1の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of FIG.

【図4】本発明の他の積層共振回路基板を示す分解斜視
図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing another laminated resonant circuit board of the present invention.

【図5】典型的な高周波発振装置の回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of a typical high frequency oscillator.

【図6】従来の共振回路基板の外観斜視図ある。FIG. 6 is an external perspective view of a conventional resonant circuit board.

【付号の説明】[Explanation of supplements]

10・・・積層共振回路基板 1・・・・積層基板 1a〜1d・・・誘電体層 2・・・ストリップ線路 3・・・ショートスタブ 31・・表面のショートスタブ 32・・内装ショートスタブ 33・・内装ショートスタブ 4・・・接地導体膜 5、6・・導通スルーホール 10 ... Laminated resonant circuit substrate 1 ... Laminated substrate 1a to 1d ... Dielectric layer 2 ... Strip line 3 ... Short stub 31 ... Surface short stub 32 ... Internal short stub 33 ..Interior short stubs 4 ... Ground conductor film 5, 6 ... Conduction through holes

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の誘電体層を積層して成る積層体
に、特性調整用のショートスタブを有するストリップ線
路を形成した積層共振回路基板において、 前記ショートスタブの一部を、少なくとも誘電体層間に
形成したことを特徴とする積層共振回路基板。
1. A laminated resonant circuit board in which a strip line having a short stub for adjusting a characteristic is formed on a laminated body formed by laminating a plurality of dielectric layers, wherein a part of the short stub is at least a dielectric interlayer. A laminated resonant circuit board, characterized by being formed in.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007032452A1 (en) * 2005-09-14 2007-03-22 Kyocera Corporation Variable resonance circuit, filter, communication apparatus and method for regulating temperature characteristics of variable resonance circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007032452A1 (en) * 2005-09-14 2007-03-22 Kyocera Corporation Variable resonance circuit, filter, communication apparatus and method for regulating temperature characteristics of variable resonance circuit
JP4855407B2 (en) * 2005-09-14 2012-01-18 京セラ株式会社 Variable resonance circuit, filter device, communication device, and temperature characteristic adjustment method for variable resonance circuit

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