JPH0875623A - 金属試料調整装置 - Google Patents

金属試料調整装置

Info

Publication number
JPH0875623A
JPH0875623A JP20999494A JP20999494A JPH0875623A JP H0875623 A JPH0875623 A JP H0875623A JP 20999494 A JP20999494 A JP 20999494A JP 20999494 A JP20999494 A JP 20999494A JP H0875623 A JPH0875623 A JP H0875623A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting
polishing
sample
metal sample
grindstone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20999494A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoki Koto
直毅 厚東
Yoshihiro Funabiki
佳弘 船曵
Hiroyasu Yoshikawa
裕康 吉川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NKK Corp, Nippon Kokan Ltd filed Critical NKK Corp
Priority to JP20999494A priority Critical patent/JPH0875623A/ja
Publication of JPH0875623A publication Critical patent/JPH0875623A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、金属試料の切断と表面研磨を連続
的に自動で行う装置の小形化、単純化及び金属試料調整
時間の短縮を図る。 【構成】 同心円上の最外周部に金属試料切断砥石2a
を、内側に切断面粗研磨用砥石2bと,仕上げ研磨用砥
石2cを配置した切断研磨砥石2と、金属試料を固定す
るための可動式試料固定部1と、金属試料の位置と切断
研磨砥石の位置および回転数を自動的に制御する制御部
6を具備した金属試料調整装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば金属試料の化
学分析を蛍光X線分析あるいは発光分光分析装置で行う
際の前処理として、金属試料の切断および表面研磨を自
動的に行う金属試料調整装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】金属試料の切断と表面研磨を連続的に自
動で行う装置は例えば特開平 04-181144公報等多数ある
が、これまでの装置は、装置内部で切断部と研磨部がそ
れぞれ独立し、切断部と研磨部の間を試料搬送装置で移
送する構造になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これまでの装置では、
切断部と研磨部が独立になっているため装置の大型化、
複雑化が避けられなかった。また、切断部と研磨部の間
を試料搬送装置で移送する構造になっているため試料の
搬送に時間を要するという問題もあった。
【0004】
【課題を解決するための手段】これらの問題を解決する
ために、この発明は成されたものであり、同心円上の最
外周部に金属試料切断用砥石を、内側に切断面粗研磨用
砥石及び仕上げ研磨用砥石を配置した切断研磨砥石と、
金属試料の可動式試料固定部と、金属試料の位置と切断
研磨砥石の位置および回転数を自動的に制御する制御部
とを備えている。
【0005】
【作用】可動式試料固定部に試料(円柱状の鋼等)を保
持し、前記試料を保持した可動式試料固定部が、切断用
砥石と研磨用砥石を同心円上に配置した切断研磨砥石の
ところに移動し、前記切断研磨砥石が所定の回転数で回
転し始める。次に切断研磨砥石が移動し試料の先端部を
切断後、今度は可動式試料固定部が所定の位置まで移動
して切断面を設定した力で研磨用砥石に押し付け、粗研
磨および仕上げ研磨を行う。研磨された金属試料は、ベ
ルトコンベア−にて搬出された後、蛍光X線分析装置ま
たは発光分光分析装置で分析される。本発明により、金
属試料調整装置の小型化、単純化および金属試料調整時
間の短縮を実現した。
【0006】
【実施例】以下に、円柱状の鋼試料S(35mmφ、長
さ100mm)の前端部を切断し、その切断面を研磨し
た後、装置外に搬出するまでの実施例を示す。図1は実
施例の金属試料調整装置の平面図を示しており、基盤8
上に金属試料を保持する可動式試料固定部1、可動式試
料固定部1の+X,+Yの位置に金属試料を切断し切断
面を研磨する切断研磨砥石2、可動式試料固定部1の下
部に切断し終わった金属試料を搬送するベルトコンベア
3、可動式試料固定部1を切断や研磨の各加工位置にY
方向に移動させるエアシリンダー4、切断研磨砥石2を
回転させるモーター5、切断研磨砥石2及びモーター5
をY方向に移動させるパルスモーター7、制御部6によ
り構成されている。
【0007】可動式試料固定部1は、固定バイス1a
と、可動バイス1bと、プッシュシリンダー1cにより
構成されている。プッシュシリンダー1cは、固定バイ
ス1a、可動バイス1bとともに試料SをX方向に移動
させる。切断研磨砥石2は、図2に示す如く、同心円上
の最外周部に切断砥石2aが配置され、切断砥石2aの
内側に粗研磨用砥石2b、仕上げ研磨用砥石2cが配置
されている。切断研磨砥石2は、モーター5と例えばベ
ルトにより連結され回転駆動される。制御部6は、セン
サー信号及びシーケンス制御により、各工程において適
当なタイミングで、可動バイス1b、プッシュシリンダ
ー1c、ベルトコンベア3、エアシリンダー4(可動式
試料固定部1のY方向位置)、モーター5(切断研磨砥
石2の回転数)、及びパルスモーター7(切断研磨砥石
2のY方向位置)を適当な位置、回転数に制御する。
【0008】以下に試料Sを切断、研磨する工程を示
す。試料Sを固定バイス1aと可動バイス1bの間に後
端面がプッシュシリンダー1cに接するように挿入して
スタートボタンを押すと、以降は制御部6により自動制
御される。
【0009】(1)まず可動バイス1bが初期位置より
作動して試料Sを固定する。同時に切断研磨砥石2が所
定の速度で回転し始める。切断研磨砥石2の材質は一般
的にジルコニアやアルミナが用いられる。また切断研磨
砥石2の回転数は3600rpm程度が望ましい。
【0010】(2)次に切断研磨砥石2がパルスモータ
ー7により位置と速度を制御されながら初期位置よりー
Y方向に移動し、切断砥石2aの部分を使って試料Sの
前端部を切断する。切断の終了はパルスモーター7によ
り位置検出される。切断が終わると、可動バイス1bが
緩みプッシュシリンダー1cが初期位置より−X方向に
動いて試料Sを切断研磨砥石2より遠ざける。この動作
が必要な理由は、このまま試料Sを+Y方向に移動させ
ると切断研磨砥石2の粗研磨用砥石2bが切断砥石2a
より−X方向に飛び出ていることにより、試料Sの側面
と粗研磨用砥石2bの側面が当たってしまうのを防ぐた
めである。試料Sを切断研磨砥石2より遠ざけた後、可
動バイス1bが作動し試料Sを再固定する。尚、切断研
磨中は試料Sの後端面はつねにプッシュシリンダー1c
の先端に固定されている。固定の方法は例えばプッシュ
シリンダー1cの先端を真空吸着板とする事により達成
される。
【0011】(3)次に、試料Sが切断研磨砥石の粗研
磨用砥石2bの前に位置するまで、試料固定部1が、エ
アシリンダ−4により初期位置より+Y方向に移動し、
プッシュシリンダー1cが作動し+X方向に動き、試料
Sを粗研磨用砥石2bに所定の力で押しつけ、切断面を
粗研磨する。このとき粗研磨用砥石2bの回転数は所定
の速度に自動的に切り替わるように制御されている。エ
アシリンダー4はセンサーにより粗研磨、仕上げ研磨の
各位置に制御される。前記センサーは例えば近接リミッ
トセンサーが用いられる。前記粗研磨用砥石2bの回転
数は2800rpm程度が望ましい。同様にして粗研磨
面を仕上げ研磨用砥石2cで研磨する。
【0012】(4)仕上げ研磨終了後、可動式試料固定
部1がエアシリンダー4により所定の位置に移動し、可
動バイス1bがゆるみ試料Sはベルトコンベアー3の上
に置かれて搬出される。同時に可動式試料固定部1(エ
アシリンダー4により),可動バイス1b、プッシュシ
リンダー1c、切断研磨砥石2(パルスモーター7によ
り)は、初期位置に復帰する。粗研磨及び仕上げ研磨工
程の終了は、例えば予め設定したタイマーにより検知さ
れる。
【0013】
【発明の効果】以上の実施例から分かるように、本装置
は金属試料の切断および研磨を非常に単純な工程で行う
ため、迅速な金属試料調整が可能となり、従来の装置と
調整時間を比較すると切断研磨時間は7秒と変わらない
が、各機構部動作時間および試料搬送時間が20秒から
8秒へと大幅に短縮された。また、従来の金属試料調整
装置に比べて小型化することが出来るため、省スペース
の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例に係わる金属試料調整装置の
平面図。
【図2】本発明の1実施例に係わる切断研磨砥石の正面
図。
【符号の説明】
1…可動式試料固定部、1a…固定バイス、1b…可動
バイス1b、1c…プッシュシリンダー、2…切断研磨
砥石、2a…切断砥石、2b…粗研磨用砥石、2c…仕
上げ研磨用砥石、3…ベルトコンベアー、4…エアシリ
ンダー、5…モーター、6…制御部、7…パルスモータ
ー、8…基盤、S…試料。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同心円上の最外周部に金属試料切断用砥
    石を、内側に切断面粗研磨用砥石及び仕上げ研磨用砥石
    を配置した切断研磨砥石と、金属試料を固定するための
    可動式試料固定部と、金属試料の切断・研磨の工程で金
    属試料の位置と切断研磨砥石の位置および回転数と金属
    試料の搬送を自動的に制御する制御部とを具備した金属
    試料調整装置。
JP20999494A 1994-09-02 1994-09-02 金属試料調整装置 Pending JPH0875623A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20999494A JPH0875623A (ja) 1994-09-02 1994-09-02 金属試料調整装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20999494A JPH0875623A (ja) 1994-09-02 1994-09-02 金属試料調整装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0875623A true JPH0875623A (ja) 1996-03-22

Family

ID=16582104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20999494A Pending JPH0875623A (ja) 1994-09-02 1994-09-02 金属試料調整装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0875623A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001018527A1 (fr) * 1999-09-07 2001-03-15 Japan As Represented By Director General Of National Agriculture Research Center,Ministry Of Agriculture, Forestry And Fisheries Procede et dispositif de traitement de matieres
CN108237468A (zh) * 2016-12-26 2018-07-03 台湾积体电路制造股份有限公司 厚度缩减装置及厚度缩减方法
CN112014215A (zh) * 2020-09-03 2020-12-01 山东大学 一种水泥石微观抗压强度与弹性模量的测试装置与方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001018527A1 (fr) * 1999-09-07 2001-03-15 Japan As Represented By Director General Of National Agriculture Research Center,Ministry Of Agriculture, Forestry And Fisheries Procede et dispositif de traitement de matieres
CN108237468A (zh) * 2016-12-26 2018-07-03 台湾积体电路制造股份有限公司 厚度缩减装置及厚度缩减方法
CN112014215A (zh) * 2020-09-03 2020-12-01 山东大学 一种水泥石微观抗压强度与弹性模量的测试装置与方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4829716A (en) Apparatus for automatically performing plural sequential spherical grinding operations on workpieces
JP2719855B2 (ja) ウエーハ外周の鏡面面取り装置
US6773335B2 (en) Apparatus for polishing periphery of device wafer and polishing method
US6428394B1 (en) Method and apparatus for chemical mechanical planarization and polishing of semiconductor wafers using a continuous polishing member feed
JPH0875623A (ja) 金属試料調整装置
JPH1133888A (ja) ウェーハの鏡面面取り装置
JPH11104942A (ja) ワークエッジの研磨方法及び装置
JP2678144B2 (ja) 円筒状部材の内,外周を同時に無心研削する方法および同装置
JP2916028B2 (ja) ワークエッジの鏡面研磨方法及び装置
JP2001198781A (ja) 基板エッジ部の研磨方法およびその装置
CA2151400A1 (en) Workpiece grinding method and apparatus
JPH1040508A (ja) 磁気ヘッド摺動面加工装置及び磁気ヘッド摺動面加工方法
JPH0538667A (ja) 溶射皮膜の表面研磨装置
JPH08216013A (ja) 陶磁器の表面研磨方法及びその研磨装置
JPH0525773Y2 (ja)
JPS62162464A (ja) ラツピング装置
JPS6464766A (en) Machining method for specular surface of hard and brittle material and grinding wheel member used therefor
JP2001062697A (ja) 可撓管研磨機
JPH1190802A (ja) ウェーハの面取り面研磨方法および面取り面研磨装置
JPH06198563A (ja) 試料等の反転機構を備えた研摩装置
JP2000308963A (ja) 片面ラッピング装置
JPH1199453A (ja) ウェーハの面取り面研磨装置
JPS6215068A (ja) 刃先超仕上げ方法および装置
JPH0679597A (ja) 両頭研削機
JPS58120459A (ja) ディスク円板複数枚同時加工装置