JPH0875436A

JPH0875436A - 表面検査方法及び表面検査装置

Info

Publication number: JPH0875436A
Application number: JP23213194A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Goto; 一夫後藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1994-08-31
Filing date: 1994-08-31
Publication date: 1996-03-22

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、表面検査方法及び表面検査装置にお
いて、形状の複雑な検査対象に対しても形状の特徴を検
査基準とした表面検査を容易に実現し得る表面検査方法
及び表面検査装置を得る。【構成】検査対象（２）に応じて生成されるデイジタル
画像データから得られる基準画像（２１Ａ）を表面形状
に応じて領域分割して境界線（２６）の線画像を抽出
し、形状に応じて線分に分割し、所定面積を有する境界
線領域（２７）とし、デイジタル画像データから得られ
る被検査画像（２１Ｂ）を領域分割し、各領域間の境界
線（２６）を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素
幅に変換して、境界線領域（２７）と境界線（２６）と
の対応する線分間で形状比較する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。産業上の利用分野従来の技術発明が解決しようとする課題課題を解決するための手段（図１及び図２）作用（図７）実施例（図１〜図１３）発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は表面検査方法及び表面検
査装置に関し、特定の形状パターンを有する検査対象の
表面形状をマスタ画像との形状比較によつて検査するも
のに適用し得る。

【０００３】

【従来の技術】近年、コンピユータハードウエアの高速
化、低価格化に伴つて、大量のデータ処理を必要とする
画像処理、画像認識技術が生産設備の一部として導入さ
れることが多くなつてきた。ビデオヘツドの生産におい
ても同様な状況にあるが、面検査と呼ばれる摺動面加工
状態の検査は微妙な検査で自動化が難しいものの一つで
ある。

【０００４】通常、ビデオヘツドの摺動面加工状態は顕
微鏡を用いた検査が実施されており、長時間の緊張を伴
うため、作業者の負担が非常に大きい。また、作業者間
の検査能力のばらつきもあるので、安定した検査基準の
もとで検査できる自動検査装置ができれば非常に効率的
になり、製品の品質も向上することが考えられる。

【０００５】ところで、このヘツド摺動面検査を画像処
理技術の応用によつて自動化するものがある。この画像
処理手法による形状不良の検査では、検査対象物の形状
が一定の場合が多い。検査対象の形状が一定であれば、
正常品の形状をマスタ画像として記憶しておき、検査対
象に重ねれば、その差を抽出することは容易である（こ
のような検査手法はパターンマツチング法と呼ばれてい
る）。電子部品の検査やプリント基板、ＩＣ（integrea
ted circuit ）のマスクパターンなどの検査では、この
ような方法がとられることが多い。この手法の特徴は、
マスタ画像との演算が主な処理となり処理が単純なた
め、高速な処理が可能な点にある。従来の画像処理によ
る表面形状不良の検査では、この考え方を用いた手法を
利用している場合が多い。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところがこのようなパ
ターンマツチングによる手法では検査対象物の形状が微
妙に変化し、検査対象の寸法にもばらつきがある場合、
正常なものも不良としてしまうという問題があつた。こ
の場合、全体の寸法のばらつきに関しては大きさを正規
化することで、対処することができる。しかし、複数の
領域で構成され、各々の領域に対して検査が必要なもの
の場合や、形状そのものの変化に対応させることは非常
に難しいという問題があつた。

【０００７】ここで検査対象の形状が複雑なものに対し
ても、画像を詳細に解析すれば、形状特徴を抽出して検
査に応用することは可能であるが、検査に要する時間を
考慮すると現実的な手法ではないという問題があつた。
そこでこのような検査対象に対しては形状の特徴を検査
基準にする手法を用いる。

【０００８】一般に形状の特徴に基づいた解析手法とし
ては、画像中から微分などの方法により輝度変化部分を
抽出し、その尾根線部分を追跡して境界線を座標列とし
て取り出す方法がとられる。しかし、この方法では追跡
を実行させる際の条件設定が難しく、領域周囲を完全に
取り出すことが難しいという問題があつた。特に追跡す
べき対象の形状が複雑になると局所的な微小構造のルー
プに陥つてしまう場合や、行き止まり等があり一層難し
くなる。

【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、形状の複雑な検査対象領域に対しても形状の特徴を
検査基準として容易に検査し得る表面検査方法及び表面
検査装置を提案しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、検査対象（２）の表面（２０）の
基準画像（２１Ａ）と被検査画像（２１Ｂ）とを形状比
較して検査対象（２）の表面形状を検査する表面検査装
置（１）において、検査対象（２）に応じて生成される
デイジタル画像データから得られる基準画像（２１Ａ）
を表面形状に応じて領域分割して境界線（２６）の線画
像を抽出し、当該線画像を形状に応じて線分に分割し、
所定面積を有する境界線領域とし、デイジタル画像デー
タから得られる被検査画像（２１Ｂ）を表面形状に応じ
て領域分割して境界線（２６）の線画像を抽出して当該
線画像を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素幅に
画素膨張処理して対応する境界線領域と線分間で比較す
ることによつて形状を検査する。

【００１１】また本発明では、検査対象（２）の表面の
基準画像（２１Ａ）と被検査画像（２１Ｂ）とを形状比
較して検査対象（２）の表面形状を検査する表面検査装
置（１）において、検査対象（２）に応じて生成される
デイジタル画像データから得られる基準画像（２１Ａ）
を表面形状に応じて領域分割して境界線（２６）の線画
像を抽出し、当該線画像を形状に応じて線分に分割し、
所定面積を有する境界線領域とし、デイジタル画像デー
タから得られる被検査画像（２１Ｂ）を表面形状に応じ
て領域分割して境界線（２６）の線画像を抽出して当該
線画像を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素幅に
画素膨張処理して対応する境界線領域と線分間で比較す
ることによつて形状を検査する画像処理手段（５、８）
とを備える。

【００１２】

【作用】検査対象（２）に応じて生成されるデイジタル
画像データから得られる基準画像（２１Ａ）を表面形状
に応じて領域分割して境界線（２６）の線画像を抽出
し、形状に応じて線分に分割し、所定面積を有する境界
線領域（２７）とし、デイジタル画像データから得られ
る被検査画像（２１Ｂ）を領域分割し、各領域間の境界
線（２６）を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素
幅に変換して、境界線領域（２７）と境界線（２６）と
の対応する線分間で形状比較することにより、境界線
（２６）形状の微妙な変化を所定画素幅と境界線領域
（２７）に吸収して、安定した表面検査ができる。

【００１３】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１４】図１において、１は全体として表面検査装
置を示し、検査対象となる磁気ヘツド２の摺動面は光学
顕微鏡３により拡大され、ＣＣＤカメラ４によつて撮像
される。ＣＣＤカメラ４によつて撮像された摺動面の光
学画像は光電変換され、ビデオ信号として画像処理装置
５に送出される。

【００１５】図２に示すように、画像処理装置５では、
ＣＣＤカメラ４から送出されてきたビデオ信号をアナロ
グデイジタル変換器（Ａ／Ｄ）６によつてデイジタル信
号に変換した後、濃淡画像データとしてフレームメモリ
７に一旦記憶する。フレームメモリ７は１画面分のメモ
リ容量を512 ×480 ×８〔bits〕として、複数画面分の
画像記憶容量を有する。

【００１６】システムコントローラ８は、ＣＰＵ(centr
al processing unit) ９の制御によつて画像処理のアプ
リケーシヨンプログラム(software)１０に従つて画像処
理プロセツサ１１を制御し、フレームメモリ７に記憶さ
れた濃淡画像データに対して様々な画像処理を実行す
る。画像処理が実行された濃淡画像データはデイジタル
アナログ変換器（Ｄ／Ａ）１２によつて、デイジタルア
ナログ変換され、デイスプレイ１３に送出され画像表示
される。

【００１７】ここで用いられている光学顕微鏡３は、倍
率が400 倍のもので鏡筒の横に取付けられるハロゲンラ
ンプ１４により検査対象を落射照明する。また磁気ヘツ
ド２はチツプ厚が約50〔μｍ〕のものを検査対象として
いる。図３に検査対象の磁気ヘツド２の摺動面２０の検
査基準となる原画像２１Ａを示す。摺動面２０は輝度の
高い方から、センダスト２２、フエライト２３及びガラ
ス２４の３種類の素材で構成されている。実際の検査画
像では、これに背景が加わり、全部で４種類の輝度領域
が存在する。

【００１８】この摺動面２０上の検出しようとする不良
としては、例えば、図４（Ａ）に示すように、磁気ヘツ
ド２のフエライト２３部分の端面から生じた欠け（矢印
ａで示す）が本来直線状であるはずの外形線にくぼみの
生じたものがある。同様に図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）に
示すように、センダスト２２とフエライト２３の境界
部、ガラス２４とフエライト２３の境界部等において発
生する欠け（矢印ｂ、ｃで示す）が検査において不良検
査の対象となる。

【００１９】ここで磁気ヘツドの摺動面２０の検査は、
図５に示す摺動面検査手順に従つてなされる。摺動面検
査手順はステツプＳＰ１から開始されると、ステツプＳ
Ｐ２において、ＣＣＤカメラ４によつて撮像され画像処
理装置５のフレームメモリ７に記憶された濃淡画像デー
タからなる検査対象の原画像２１Ｂ（図６（Ａ））を取
り込み、次のステツプＳＰ３において前処理を施す。

【００２０】前処理として先ず、コントラスト強調によ
り、入力される検査対象の原画像２１Ｂが照明の条件や
摺動面２０の状態により生じるコントラストのばらつき
を無くす。コントラスト強調は、画面内に含まれる明る
さの最大と最小を検出して、各々をフレームメモリ７に
記憶されるデータの最大値と最小値に変換する。ここで
は輝度が８〔bits〕で表されるので、最大値と最小値は
それぞれ255 と０になるように輝度を変換する。

【００２１】このとき画面内に含まれる幾つかの輝度グ
ループ、すなわちセンダスト２２、フエライト２３、ガ
ラス２４及び背景２５の面積がほぼ等しくなるような領
域のデータを利用すると輝度の比較条件が揃い、変換処
理はより効果的となる。さらにコントラスト強調に加
え、輝度変化の２次微分値を原画像２１Ｂに加え、エツ
ジ強調することにより領域の境界がより一層鮮明にな
る。

【００２２】次にステツプＳＰ４では、コントラスト強
調及びエツジ強調された検査画像を領域分割する。ここ
ではセンダスト２２、フエライト２３、ガラス２４及び
背景２５の画像が領域ラベル付け手法によつて領域分割
される（図６（Ｂ））。このようにしてラベル付けによ
り領域分割された摺動面２０の検査画像を用いて、続く
ステツプＳＰ５で、これから検査対象とする領域をセン
ダスト２２、フエライト２３、ガラス２４の中から一つ
だけ取り出し（図６（Ｃ））、続くステツプＳＰ６でエ
ツジ抽出処理し、境界線部分が１画素で形成される当該
検査対象領域の境界線２６を抽出する（図７（Ａ））。

【００２３】ここで図７（Ｂ）に示すように、例えば摺
動面２０の基準画像２１Ａの右側のフエライト２３領域
から境界線２６の線画像を抽出して、この境界線２６を
水平線ａ、斜め線ｂ、上に凸な曲線ｃ及び水平線ｄに分
解する。このようにして抽出した境界線２６の特徴は、
予めアプリケーシヨンプログラム１０に組み込んでお
く。次のステツプＳＰ７において、検査対象の原画像２
１Ｂの境界線２６をこの４種類の線分に分割する。この
ようにして境界線２６は、原画像２１Ａとのパターンマ
ツチング法によつて分割され線分に切り出される（図７
（Ｂ））。さらに、続くステツプＳＰ８で異常部分が抽
出される（図７（Ｃ））。

【００２４】すなわち、図８に示すように、水平線でな
る境界線２６に対しては細長い矩形のパターン領域２７
を用意し、そのパターン領域２７を境界線２６に重ねた
とき（図８（Ａ））、重なりが最も大きくなる位置を見
つける。重なりが最も大きくなる位置は、表示画面の縦
方向をｙ軸方向とし、パターン領域２７を重ねる位置の
ｙ座標を変えていつたときの矩形領域に含まれる画素数
の変化（図８（Ｂ））を見て、画素数の変化が急峻な所
の位置を見つけることで境界線２６を代表する直線を見
つけることができる。この結果、水平線の場合にはこの
ときのｙ座標で直線が代表される。ここでマツチングの
ための領域の変位方向は領域の外側から内側に向かうよ
うにする。これにより境界線２６がマツチング領域内の
画素数が輝度レベルが０から急増する点として求めら
れ、変化点として検出し易くなる。

【００２５】また境界線２６が斜め直線の場合には傾斜
した長方形のパターン領域を用いて水平線のときと同様
のマツチングを実行する。さらに境界線２６が曲線によ
り形成されている場合は、曲線が数式によつて表現でき
るときは数式を当てはめて、曲線部分を画素膨張させて
パターン領域を得る。また曲線が数式によつて表現でき
ない場合は、曲線の形状に対応した適当な図形、例えば
矩形を対角線で切断した三角形を当てはめ、数式から得
るパターン領域に代用する。このように、境界線２６部
分を所定画素幅からなる面積を持つた領域に変換して、
パターン領域との間で境界線２６のマツチングをとるこ
とにより、境界線２６に含まれる多少のゆがみや傾斜と
いつたものの影響を緩和して形状検査することができ
る。

【００２６】続くステツプＳＰ９で抽出された異常部分
に対して水平、垂直プロフアイルを利用して異常部分の
大きさを認識する。先ず、図９に示すように、パターン
マツチングで得られた境界線２６に対応する直線又は曲
線２８を基準として、検査基準となる正常範囲２９を数
式として設定する。この正常範囲２９からはみ出して抽
出された境界線２６の異常部分２６Ａ（図９（Ａ））の
画像データを表示画面の垂直及び水平方向に加算する。
これにより異常部分２６Ａの存在領域を認識することが
できる（図９（Ｂ））。

【００２７】続くステツプＳＰ１０で異常部分２６Ａの
大きさを検査基準と比較して合否判定し、良品の場合は
ステツプＳＰ１１に移り、また検査基準値以上の面積を
もつ不良品である場合はステツプＳＰ１２に移り、ステ
ツプＳＰ１３で摺動面検査手順を終了する。

【００２８】ここでステツプＳＰ４に示す領域分割の際
のラベル付け手法を説明する。ラベル付けは、先ず、原
画像の画素データとラベルを書き込むためのメモリ領域
をフレームメモリ７内に設ける。次に図１０に示すよう
に、原画像の１画素p(x ,y)を取り出し、８連結条件に
基づいた画素p(x ,y) 周囲の４画素a( x−1 ,y−1)、b
(x ,y−1)、c( x＋1 ,y−1)及びd( x−1 ,y) と比較す
る。ここでは比較する際の特徴として輝度値を用い、所
定の輝度差の範囲内で画素p(x ,y) と輝度差が最も小さ
い画素に対して同じラベルを付け、これをメモリに書き
込む。すなわち輝度差が存在した場合でも輝度差が緩や
かな所定範囲内の画素に対しては、全ての画素に対して
同一のラベルが付けられる。

【００２９】すなわち、検査対象物表面の形状が曲面の
場合や照明にむらがある場合でも、同一成分により１つ
の領域を形成する所定領域内では、各画素間の輝度差が
緩やかなので、所定領域内の全ての画素に対して同一の
ラベルが付けられる。これに対して所定輝度差を越える
他領域の画素には異なつたラベルが付けられる。

【００３０】初めに取り出された画素p(x,y)の次に比較
の基準となる画素は、画素p(x,y)からｘ軸の正方向に１
つ移動した画素 p´(x＋1,y)となる。以下ラスタ走査に
より比較基準の画素と８連結条件に基づいた周囲の４画
素との間で輝度値が比較され、ラベル付けが画面全体に
亘つて実行される。これにより比較基準の画素と輝度値
が近い周囲の画素に対して同一のラベルが付けられ、付
けられたラベルの違いにより、画像領域が分割される。

【００３１】さらにラベル付けによる画像の領域分割の
際には、領域間の接続状態が調べられる。図１１に示す
ように、接続状態を調べる対象領域を領域３０と領域３
１とすると、領域間の接続状態の認識は、図１２に示す
領域間接続の認識手順に従つてなされる。すなわち領域
間接続の認識手順はステツプＳＰ２０から開始され、先
ずステツプＳＰ２１で領域３０と領域３１を抽出する。
次にステツプＳＰ２２において、領域３１と領域３０に
一度同じラベルを仮付けして初期設定する。

【００３２】次にステツプＳＰ２３において、再度、領
域３１と領域３０に対してラベル付けする。次のステツ
プＳＰ２４において、ステツプＳＰ２３で付けたラベル
数を数える。その結果、ラベル数が１の場合はステツプ
ＳＰ２５に移り、領域３１が他の領域３０と接続してい
ると認識され（図１１（Ｂ）又は図１１（Ｃ））、ラベ
ル数が２の場合はステツプＳＰ２６に移り、領域３１が
他の領域３０と独立していると認識され（図１１
（Ａ））、ステツプＳＰ２７で終了する。

【００３３】また領域同士が接触状態にある場合、領域
間の接触状態は、図１３に示す接触領域の認識手順によ
つて認識される。すなわち接触領域の認識手順はステツ
プＳＰ３０で開始され、ＳＰ３１で領域抽出するとステ
ツプＳＰ３２で領域３１周囲の所定領域において１画像
膨張処理を行い、ステツプＳＰ３３において、ステツプ
ＳＰ３２で得た１画像膨張させた画像とＸＯＲ(exclusi
veor) 演算する。これにより領域３１周囲の周囲１画素
データのみを取り出すことができる。

【００３４】次にステツプＳＰ３４において、領域３１
の周囲１画素データから各輝度値のヒストグラムを算出
して、各輝度値に応じたラベル付けを実施する。つぎに
ステツプＳＰ３５でラベル付けされた領域のラベルの種
類を数える。この結果、ラベル数が１の場合には、ステ
ツプＳＰ３６において、図１１（Ｃ）に示すように、領
域３１が領域３０に包含されていると認識される。また
ラベル数が２以上になると、ステツプＳＰ３７におい
て、図１１（Ｂ）に示すように、領域３１が領域３０に
接触していると認識され、ステツプＳＰ３８で領域間接
触の認識手順は終了する。このように領域間の接続状
態、接触状態を認識させることにより、正確に異常領域
の位置及び輝度の情報を得ることができるようになり、
一段と精度の高い領域抽出ができる。

【００３５】以上の構成において、磁気ヘツド２の摺動
面２０上の不良を図４に示す摺動面検査手順に従つて検
査する。先ずステツプＳＰ１において、摺動面検査手順
が開始されると、ステツプＳＰ２でＣＣＤカメラ４によ
つて撮像された摺動面２０の原画像２１ＢをＣＰＵ制御
によつて画像処理ボード５のフレームメモリ７に一旦記
憶する。続くステツプＳＰ３でフレームメモリ７に記憶
された原画像２１Ｂに対してＣＰＵ制御によつてコント
ラスト強調及びエツジ強調による前処理が施される。

【００３６】次のステツプＳＰ４ではＣＰＵ制御によつ
て、前処理を施した摺動面２０上の画像をセンダスト２
２、フエライト２３、ガラス２４及び背景２５の画像に
領域ラベル付け手法によつて領域分割する。ステツプＳ
Ｐ５ではこの検査画像から検査する対象領域として例え
ばフエライト２３領域だけを抽出し、続くステツプＳＰ
６でＣＰＵ制御により、境界線に対してエツジ抽出処理
し、線幅が１画素で形成される領域境界線を取り出す。
このように検査対象を領域分割し、各領域毎に形状比較
することにより、複数の領域で形成される検査対象の各
領域の寸法のばらつきに対処することができる。

【００３７】次のステツプＳＰ７では、ＣＰＵ制御によ
りアプリケーシヨンプログラム１０に従つてフエライト
２３の領域を水平線ａ、斜め線ｂ、上に凸な曲線ｃ及び
水平線ｄから構成される４種類の線分に分割する。この
ように４種類の線分に分割された境界線画像からは、続
くステツプＳＰ８でＣＰＵ制御によるパターンマツチン
グ法によつて異常部分２６Ａが抽出される。このように
境界線２６を４種類の線分に分割することにより、検査
する境界線の形状そのものが微妙に変化するようなもの
に対しても、形状変化をパターン領域２７に吸収するこ
とで変化に応じた検査ができる。

【００３８】さらに摺動面検査手順では、続くステツプ
ＳＰ９で、基準となる境界線分の形状と実際の異常部分
２６Ａの形状との差分を垂直、水平プロフアイルを用い
て求める。この結果、ＣＰＵ９はステツプＳＰ１０にお
いて、差分が一定値以内にある場合は、ステツプＳＰ１
１に移り磁気ヘツド２は良品であると判定する。また差
分が所定値以上の隔たりがあるとステツプＳＰ１２に移
り磁気ヘツド２を不良品と判定してステツプＳＰ１３に
移り、摺動面検査手順を終了する。

【００３９】以上の構成によれば、検査対象を領域分割
した後、検査領域の境界線を線分に分割し、所定の面積
を有する境界線領域に変換して、所定画素幅を有する境
界線領域間でマツチング手法を用いて境界線の形状不良
を検出することにより、検査対象の境界線形状そのもの
が微妙に変化するような場合でも、検査対象領域の境界
線の追跡によつて境界線分の微細構造に陥ることが未然
に回避し得る。

【００４０】さらに複数の領域で形成された検査対象の
各領域の寸法のばらつきに応じて検査でき、境界線に多
少のゆがみや傾斜がある場合でも、そのゆがみや傾斜が
境界線領域の面積に吸収され、ゆがみや傾斜による影響
が判定結果に及ばないようにし得る。

【００４１】なお上述の実施例においては、８ミリビデ
オの磁気ヘツドの摺動面の表面検査に用いる場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、ビデオヘツド以外
のフロツピイデイスクヘツド、ハードデイスクヘツド等
のヘツド摺動面に対して用いるようにしても良い。さら
に正常品の形状特徴が予め分かつている検査対象で、異
常部分が輝度の違いとして検出できるような不良であれ
ば、対象をヘツド摺動面に限ることなく、広く一般的な
製品外形の検査に用いるようにしても良い。

【００４２】また上述の実施例においては、検査対象画
像を画像領域分割する際の手法として領域ラベル付け手
法を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、例えば、輝度のヒストグラムから２つの閾値を設定
し、特定の輝度領域の画素のみを残し、２値化処理によ
つて領域分割する挟み込み２値化の手法を用いても良
い。

【００４３】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、検査対象
に応じてデイジタル画像データの基準画像を表面形状に
応じて領域分割して境界線の線画像を抽出し、形状に応
じて線分に分割し、所定面積を有する境界線領域とし、
デイジタル画像データの被検査画像を領域分割し、各領
域間の境界線を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画
素幅に変換して、境界線領域と境界線との対応する線分
間で形状比較することにより、境界線形状の微妙な変化
を所定画素幅と境界線領域に吸収して、安定した表面検
査ができる表面検査方法及び表面検査装置を実現し得
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による表面検査装置の構成を
示すブロツク図である。

【図２】画像処理装置及びシステムコントローラを示す
ブロツク図である。

【図３】磁気ヘツドの摺動面の原画像を示す略線図であ
る。

【図４】磁気ヘツドの摺動面の不良状態を示す略線図で
ある。

【図５】磁気ヘツドの摺動面の検査手順を示すフローチ
ヤートである。

【図６】磁気ヘツドの摺動面の検査領域抽出の方法を示
す略線図である。

【図７】磁気ヘツドの摺動面の異常領域抽出の方法を示
す略線図である。

【図８】境界線の矩形パターン領域の変位と画素数の変
位とを示す略線図である。

【図９】異常部分の抽出と水平及び垂直プロフアイルに
よる大きさの認識を示す略線図である。

【図１０】ラベル付けの際に比較対象となる画素の説明
に供する略線図である。

【図１１】領域間接続状態及び領域間接触状態の説明に
供する略線図である。

【図１２】領域間接続状態の認識の説明に供するフロー
チヤートである。

【図１３】領域間接触状態の認識の説明に供するフロー
チヤートである。

【符号の説明】

１……表面検査装置、２……磁気ヘツド、３……光学顕
微鏡、４……ＣＣＤカメラ、５……画像処理装置、６…
…アナログデイジタル変換器、７……フレームメモリ、
８……システムコントローラ、９……ＣＰＵ、１０……
アプリケーシヨンプログラム、１１……画像処理プロセ
ツサ、１２……デイジタルアナログ変換器１３……デイ
スプレイ、２０……摺動面、２１……原画像、２２……
センダスト、２３……フエライト、２４……ガラス、２
６……境界線、２７……パターン領域、３０……領域、
３１……異常領域。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象の表面の基準画像と被検査画像と
を形状比較して上記検査対象の表面形状を検査する表面
検査方法において、上記検査対象に応じて生成されるデイジタル画像データ
から得られる上記基準画像を上記表面形状に応じて領域
分割して境界線の線画像を抽出し、当該線画像を形状に
応じて線分に分割し、所定面積を有する境界線領域と
し、上記デイジタル画像データから得られる上記被検査
画像を上記表面形状に応じて領域分割して境界線の線画
像を抽出して当該線画像を形状に応じた線分に分割し、
かつ所定画素幅に画素膨張処理して対応する上記境界線
領域と線分間で比較することによつて形状を検査するこ
とを特徴とする表面検査方法。
【請求項２】上記被検査画像を画素の輝度分布の状態に
応じて異なつたラベルを付すことによつて領域分割する
ことを特徴とする請求項１に記載の表面検査方法。
【請求項３】上記検査対象は磁気ヘツドの摺動面である
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の表面検
査方法。
【請求項４】検査対象の表面の基準画像と被検査画像と
を形状比較して上記検査対象の表面形状を検査する表面
検査装置において、上記検査対象に応じて生成されるデイジタル画像データ
から得られる上記基準画像を上記表面形状に応じて領域
分割して境界線の線画像を抽出し、当該線画像を形状に
応じて線分に分割し、所定面積を有する境界線領域と
し、上記デイジタル画像データから得られる上記被検査
画像を上記表面形状に応じて領域分割して境界線の線画
像を抽出して当該線画像を形状に応じた線分に分割し、
かつ所定画素幅に画素膨張処理して対応する上記境界線
領域と線分間で比較することによつて形状を検査する画
像処理手段とを具えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項５】上記画像処理手段は、上記被検査画像を画
素の輝度分布の状態に応じて異なつたラベルを付すこと
によつて領域分割することを特徴とする請求項４に記載
の表面検査装置。
【請求項６】上記検査対象は磁気ヘツドの摺動面である
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の表面検
査装置。