JPH07225193A

JPH07225193A - 表面検査装置及び表面検査方法

Info

Publication number: JPH07225193A
Application number: JP6037589A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Goto; 一夫後藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1994-02-10
Filing date: 1994-02-10
Publication date: 1995-08-22

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は表面検査装置及び表面検査方法におい
て、検査対象物の表面を画像処理によつて検査する際
に、正常領域と異常領域とを確実に領域分割して検査精
度を向上し得る。【構成】撮像手段１２によつて撮像された検査対象物の
表面１のアナログ信号データをアナログ−デイジタル変
換手段１９によつてデイジタル信号データに変換して、
原画像２３として記録媒体２０に記録し、記録媒体２０
に記録された原画像２３のデイジタル信号データに対し
て、制御手段１４により画像処理手段２１を介して、輝
度値に基づいてラベル付けすることにより、原画像２３
を輝度値に基づいて直接領域分割し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。産業上の利用分野従来の技術（図９）発明が解決しようとする課題課題を解決するための手段（図１〜図３）作用（図４）実施例（図１〜図８）発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は表面検査装置に関し、例
えばビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）の磁気ヘツド摺動
面の表面検査に適用し得る。

【０００３】

【従来の技術】従来、図９に示すように、ＶＴＲの磁気
ヘツドを製造する過程で、磁気ヘツドの摺動面１をスラ
イス加工により形成する際、図９（Ａ）に示すように、
フエライトの欠け２等の損傷が生じることがある。また
図９（Ｂ）に示すように、摺動面１を形成する際に生じ
た接合面の欠け３をそのまま接合したり、さらに図９
（Ｃ）に示すように、フエライトを結晶成長させる際に
用いる白金容器が溶融して、その溶融した白金４が摺動
面１に付着してしまうような場合がある。

【０００４】このため、これらの異常を見つけるのに顕
微鏡を用いた摺動面１の目視検査がなされているが、こ
の目視検査は長時間の緊張を伴う作業であるため作業者
にとつては大変な負担となる。さらに検査作業者の検査
能力には個人差があるので、検査結果にばらつきが生じ
るという問題があつた。そこで作業者の目視検査によら
ず、ＣＣＤ(charge coupled device) カメラにより磁気
ヘツドの摺動面１を撮像して、その画像をコンピユータ
を用いて画像処理して検査する方法が考えられる。

【０００５】例えばコンピユータを使つた画像処理によ
り摺動面１を検査する方法としては、撮像された摺動面
１の画像の濃淡に２値化の手法を適用して不良領域を探
し出す方法が考えられる。すなわち摺動面１を撮像した
とき、画像の画素の輝度が正常な部分と異常な部分とで
異なることを利用して、画素の輝度に対して、正常な部
分と異常な部分とを判別するための閾値を設定する。こ
れによつて画素の輝度が閾値以上の画素を１、閾値以下
の画素を０として、それぞれ正常な部分と異常な部分と
に対応させて領域を分離する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが２値化の手法
を用いた場合、検査する摺動面１上の明るさにむらがあ
つたり、照明が時間の経過と共に変化するような場合、
摺動面１上の正常部分と異常な部分とを判別する閾値の
基準がずれてくるという問題があつた。

【０００７】また検査対象が磁気ヘツドの摺動面１のよ
うに曲面である場合についても、曲面の中心部と周辺部
とでは表面の輝度が一定とならず、中心部と周辺部とで
は正常な部分と異常な部分とを判別する閾値が異なつて
くるという問題があつた。さらに検査対象面上に様々な
輝度で大きさの異なる領域が複数存在する場合、複数の
閾値が必要となり、２値化の閾値を設定することが困難
になるという問題があつた。

【０００８】このように画像処理により検査対象物の表
面を正常な部分と異常な部分とに正確に領域分割するこ
とが困難であつたため、画像処理による安定した表面検
査の実現は難しかつた。

【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、検査対象物の表面を画像処理によつて検査する際
に、正常領域と異常領域とを確実に領域分割して検査精
度を向上し得る表面検査装置を提案しようとするもので
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、検査対象物の表面１の画像を撮像
し、画像を輝度の違いに基づいて領域分割し、検査対象
物の表面を検査する表面検査装置において、検査対象物
１１の光学的な拡大画像を画像を得、当該光学的な拡大
画像を輝度値に応じたビデオ信号に変換する撮像手段１
２と、ビデオ信号をアナログ信号データからデイジタル
信号データに変換するアナログ−デイジタル変換手段１
９と、デイジタル信号を原画像２３として記録する記録
媒体２０と、記録媒体２０に記録されたデイジタル信号
データに対して、画像処理する画像処理手段２１と、記
録媒体２０中に記録された拡大画像のデイジタル信号デ
ータを画像処理手段２１を制御することにより、原画像
２３の領域を分割して領域の接続状態、接触状態、存在
位置及び面積を算出する制御手段１４とを備える。

【００１１】

【作用】撮像手段１２によつて撮像された検査対象物表
面１のアナログデ信号データをアナログ−デイジタル変
換手段１９によつてデイジタル信号データに変換して、
原画像２３として記録媒体２０に記録し、記録媒体２０
に記録された原画像２３のデイジタル信号データに対し
て、制御手段１４により画像処理手段２１を介して、輝
度値に基づいてラベル付けすることにより、原画像２３
を輝度を基に直接領域分割し得、これにより原画像２３
を構成する領域を容易に抽出することができる。

【００１２】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１３】図１において、１０は全体として表面検査
装置を示し、検査対象となる磁気ヘツド１１の摺動面１
を撮像する撮像部１２と、撮像部１２から送出される画
像データを基に摺動面１の画像処理を行う画像処理装置
１３と、画像処理されたデータを集計して、統計処理す
るシステムコントローラ１４とから構成される。

【００１４】撮像部１２では検査台１５上に検査対象物
の磁気ヘツド１１が固定され、この磁気ヘツド１１の摺
動面１を検査台１５の上方に設置された倍率400 倍の光
学顕微鏡１６によつて拡大して、光学顕微鏡１６の接眼
部１６Ａに取り付けたＣＣＤカメラ１７により撮像する
ようにされている。光学顕微鏡１６の鏡筒１６Ｂの横に
は対物部１６Ｃ下に置かれた摺動面１を落射照明する光
源となるハロゲンランプ１８が取り付けられている。

【００１５】ＣＣＤカメラ１７によつて撮像された摺動
面１の光学画像は光電変換され、その結果得られるビデ
オ信号は画像処理装置１３に送出される。図２に示すよ
うに、画像処理装置１３ではＣＣＤカメラ１７から送出
されたビデオ信号がアナログ−デイジタル変換器１９を
介してデイジタル信号に変換され、濃淡画像データとし
て、記録容量が512 ×480 ×8 〔bit 〕のフレームメモ
リ２０に記録される。システムコントローラ１４は、画
像処理プログラムに従つて画像処理プロセツサ２１を制
御して、このフレームメモリ２０に記録された画像デー
タに対して画像処理を行なう。

【００１６】また、フレームメモリ２０に記録されたデ
イジタルビデオデータをデイジタル−アナログ変換器２
２によつてアナログビデオデータに変換して、モニタ
（図示せず）で観察することができる。

【００１７】ＣＣＤカメラ１７によつて撮像され、画像
処理装置１３内のフレームメモリ２０に記録された摺動
面１の画像処理はシステムコントローラ１４によつて、
図３に示す表面検査手順ＳＰ１に従つてなされる。すな
わち表面検査手順ＳＰ１はステツプＳＰ１から開始さ
れ、先ずステツプＳＰ２において、ＣＣＤカメラ１７か
らフレームメモリ２０に画像データを送出し、ステツプ
ＳＰ３において、システムコントローラ１４によりフレ
ームメモリ２０に記録されている画像データを解析する
ことによつて、画像の中から摺動面１の存在領域を特定
する。

【００１８】ここで図４（Ａ）に示すように、摺動面１
の原画像２３の輝度は背景画像２４の輝度と比較して低
いので、ＣＣＤカメラ１７から送出される全体画像の輝
度を水平及び垂直方向に加算してそれぞれの方向におけ
る輝度のヒストグラムを作成することにより、原画像２
３とその背景画像２４とを分離することができる。次に
ステツプＳＰ４において摺動面１の画像の各画素に対し
てラベル付けを行い、これにより磁気ヘツド１１の原画
像２３の領域を分割する。

【００１９】ステツプＳＰ５では図４（Ｂ）に示すよう
に、ラベル付けすることによつて分割した領域の中から
図４（Ｃ）に示すように、本来、摺動面１を構成してい
るフエライト領域２５及び２６、センダスト領域２７及
び２８とガラス領域２９及び３０の領域を摺動面１のギ
ヤツプ１Ａを中心とした各領域の位置関係、領域面積及
び領域平均輝度を基に取り出す。さらに図４（Ｄ）に示
すように、摺動面１を構成している領域に接触又は包合
されている異常領域３１及び３２を取り出す。例えば異
常領域３１を取り出した場合、次のステツプＳＰ６にお
いて異常領域３１に対して他の領域３３が図５（Ａ）に
示すように独立関係にあるか、図５（Ｂ）又は図５
（Ｃ）に示すように接続関係にあるかを摺動面１の各領
域に対してそれぞれ調べる。同様に異常領域３２に対し
ても他の領域との接続状態を調べる。

【００２０】次にステツプＳＰ７において、ステツプＳ
Ｐ６において周囲の領域に対して、接続関係にあるとさ
れた異常領域３１又は３２が、その接続関係が正常な領
域３３又は３４に対して図５（Ｂ）に示すように接触関
係にあるのか、又は図５（Ｃ）に示すように包含関係に
あるのかを調べる。次のステツプＳＰ８では、存在位置
及び正常な領域に対する接触関係の認識された異常領域
３１及び３２を抽出する。次のステツプＳＰ９におい
て、異常領域３１及び３２の周囲に長方形を外接させる
ことによつて該異常領域３１及び３２の大きさを特定す
る。次のステツプＳＰ１０において異常領域３１及び３
２に外接する長方形と欠け不良の規格の大きさとをそれ
ぞれ比較して、規格値以上であればステツプＳＰ１１に
おいて不良品として選別され、規格値以内であればステ
ツプＳＰ１２において良品として選別され、ステツプＳ
Ｐ１３で表面検査手順ＳＰ１を終了する。

【００２１】表面検査手順におけるラベル付けの処理
は、先ず原画像２３の画素データとラベルを書き込むた
めのメモリ領域をフレームメモリ２０内に設ける。次に
原画像２３の１画素p(x,y)を取り出し、図６に示すよう
に、８連結条件に基づいた画素p(x,y)周囲の４画素a(x-
1,y-1)、b(x,y-1)、c(x+1,y-1)及びd(x-1,y)と比較す
る。ここでは比較する際の特徴として輝度値を用い、所
定の輝度差の範囲内で画素p(x,y)と輝度差が最も小さい
画素に対して同じラベルを付けこれをメモリに書き込
む。すなわち輝度差が存在した場合でも輝度差が緩やか
な所定領域内の画素に対しては、全ての画素に同一のラ
ベルが付けられる。

【００２２】すなわち、検査対象物表面の形状が曲面の
場合や照明にむらがある場合でも、同一成分により１つ
の領域を形成する所定領域内では、各画素間の輝度差が
緩やかなので、所定領域内の全ての画素に対して同一の
ラベルが付けられる。これに対して所定輝度差を越える
他領域の画素には異なつたラベルが付けられる。

【００２３】初めに取り出された画素p(x,y)の次に比較
の基準となる画素は、画素p(x,y)からｘ軸の正方向に１
つ移動した画素 p´(x+1 ,y)となる。以下ラスタ走査に
より比較基準の画素と８連結条件に基づいた周囲の４画
素との輝度値の比較がなされ、ラベル付けが画面全体に
亘つてなされる。これにより比較基準の画素と輝度値が
近い周囲の画素に同一のラベルが付され、付されたラベ
ルの違いにより、画像領域が分割される。

【００２４】表面検査手順におけるステツプＳＰ６の接
続領域の認識は、図７に示す領域間接続の認識手順ＳＰ
２０に従つて判断され、ステツプＳＰ２０から開始され
る。ステツプＳＰ２１において、抽出された異常領域３
１との接続状態を調べる周囲領域として、例えばフエラ
イト領域２５を抽出する。次にステツプＳＰ２２におい
て、異常領域３１とフエライト領域２５に一度同じラベ
ルを仮付けして初期設定する。次にステツプＳＰ２３に
おいて、再度異常領域３１とフエライト領域２５に対し
てラベル付けを行う。次のステツプＳＰ２４において、
ステツプＳＰ２３で付けたラベル数を数える。その結
果、ラベル数が１の場合はステツプＳＰ２５に移り、図
５（Ｂ）又は図５（Ｃ）に示すように、異常領域３１が
他の領域３３（又は３４）と接続していると認識され、
ラベル数が２の場合はステツプＳＰ２６において、図５
（Ａ）に示すように、異常領域３１が他の領域３３（又
は３４）と独立していると認識され、ステツプＳＰ２７
で終了する。

【００２５】表面検査手順におけるステツプＳＰ７の接
触領域の認識は、例えば異常領域３１周囲のラベル値を
検出し、全てのラベル値が同じであれば包含、そうでな
い場合は接触として、判別することができる。すなわち
領域間接触状態の認識は、図８に示す領域間接触の認識
手順ＳＰ３０によつてなされ、ステツプＳＰ３０から開
始され、ステツプＳＰ３１において、異常領域３１周囲
の所定領域を抽出する。次にステツプＳＰ３２におい
て、異常領域周囲の所定領域において１画素膨張の処理
を行い、ステツプＳＰ３３において、ステツプＳＰ３２
で得た１画素膨張させた画像と原画像２３との間でＸＯ
Ｒ演算する。これにより異常領域３１周囲の周囲１画素
データのみを取り出すことができる。

【００２６】次にステツプＳＰ３４において異常領域３
１の周囲１画素データから各輝度値のヒストグラムを算
出して、各輝度値に対応したラベル付けを行う。次にス
テツプＳＰ３５でラベル付けされた領域のラベルの種類
を数える。この結果、ラベル数が１の場合には、ステツ
プＳＰ３６において、図５（Ｃ）に示すように、異常領
域３１が正常領域３４に包含されていると認識される。
またラベル数が２以上になると、ステツプＳＰ３７にお
いて、図５（Ｂ）に示すように、異常領域３１が正常領
域３３に接触していると認識され、ステツプＳＰ３８で
領域間接触の認識手順は終了する。

【００２７】以上の構成において、検査台１５上に固定
された磁気ヘツド１１の摺動面１がハロゲンランプ１８
により落射照明される。落射照明された摺動面１の拡大
画像が光学顕微鏡１６によつて得られ、ＣＣＤカメラ１
７により撮像される。撮像された摺動面１の拡大画像は
光電変換され、アナログビデオ信号として画像処理装置
１３に送出される。画像処理装置１３では、送出された
ビデオ信号をアナログ−デイジタル変換器１１によりデ
イジタルビデオデータに変換して、フレームメモリ２０
に記録する。

【００２８】以下、システムコントローラ１４により表
面検査手順ＳＰ１に従つて画像データを解析する。すな
わちシステムコントローラ１４はステツプＳＰ１から入
つて、ステツプＳＰ２において、フレームメモリ２０に
記録されている原画像２３の画像データが読み出され、
次にステツプＳＰ３において、図４（Ａ）に示すよう
に、画像の輝度値を垂直方向及び水平方向に加算処理す
ることにより、摺動面１の原画像２３を背景画像２４か
ら抜き出す。次にシステムコントローラ１４は、ステツ
プＳＰ４で図４（Ｂ）に示すように、抜き出した原画像
２３の各画素に対して輝度値を基にラベル付けする。

【００２９】ここで摺動面１の表面形状が曲面をなすこ
とによつて、摺動面１上の中心部と周辺部で明るさが異
る場合や照明にむらがある場合でも各領域内では画素間
の輝度値の変化が緩やかなので同一領域を正確に認識
し、領域間の境界のように輝度差が大きい部分との区別
が容易にできる。これにより本来存在する正常領域と異
常領域とを予め閾値を設定することなく、輝度値を基に
直接領域分割することができる。

【００３０】次にシステムコントローラ１４は、ステツ
プＳＰ５において、図４（Ｃ）に示すように、摺動面１
に本来存在するフエライト領域２５及び２６、センダス
ト領域２７及び２８とガラス領域２９及び３０を抜き出
し、さらに図４（Ｄ）に示すように、異常領域３１（欠
け）、異常領域３２（白金不良又はむしれ）等の異常領
域を抽出する。次にシステムコントローラ１４はステツ
プＳＰ６において、異常領域３１（欠け）、異常領域３
２（白金不良又はむしれ）の他の領域に対する接続状態
を調べ、さらにステツプＳＰ７において、一段と正確に
他の領域との接触状態を調べる。これによつて、ＣＣＤ
カメラ１７によつて撮像された摺動面１の画像から、特
に異常領域３１（欠け）、異常領域３２（白金不良又は
むしれ）の領域に関して領域間の接触状態をも含めた詳
細な領域間の接続状態を得ることができる。

【００３１】次にシステムコントローラ１４はステツプ
ＳＰ８で異常領域３１及び３２を抽出し、次のステツプ
ＳＰ９で異常領域３１（欠け）と異常領域３２（白金不
良又はむしれ）の周囲にそれぞれ長方形を外接させて、
異常領域３１（欠け）と異常領域３２（白金不良又はむ
しれ）の大きさを特定する。次にシステムコントローラ
１４はステツプＳＰ１０において、異常領域３１（欠
け）と異常領域３２（白金不良又はむしれ）に外接させ
た長方形と不良の大きさ規格とを比較して、良品と規格
外の不良品とを選別して、ステツプＳＰ１３で終了す
る。

【００３２】以上の構成によれば、ＣＣＤカメラ１７に
より撮像し、画像処理装置１３のフレームメモリ２０に
記録した摺動面１の画像を輝度値に基づいてラベル付け
することによつて、摺動面１上が曲面形状であることに
より中心部と周辺部とで明るさに変化がある場合や照明
にむらがあるような場合でも同一領域を正確に認識する
ことができる。これによつて摺動面１の画像を輝度値を
基に直接領域分割することができ、本来存在する正常領
域と異常領域とを統一的に扱い、領域の特徴により容易
に異常領域を抽出することができる。

【００３３】また画素のラベル付けによつて、領域間の
接続状態を認識するようにしたことにより、異常領域が
本来存在する正常領域に対して独立しているのか接続し
ているかの描像が得ることができる。さらに画像のラベ
ル付けによつて、領域間の接触状態を認識するようにし
たことにより、正確に異常領域の位置及び輝度の情報を
得ることができ、これにより一段と精度よく異常領域を
抽出することができる。

【００３４】さらにＣＣＤカメラ１７により撮像した画
像を基にコンピユータの画像処理により摺動面１を構成
する領域を正確に検出して表面検査を行うことにより、
検査能力が安定し、検査結果のばらつき等のない表面検
査ができる。

【００３５】なお上述の実施例においては、ラベル付け
するために抽出する画素と、該画素と輝度を比較する該
画素周囲の画素を８連結条件に基づいて抽出した画素周
囲の４画素とした場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、比較する画素周囲の画素を４連結条件に基づ
いた図６に示す画素ｂ(x,y-1) 及びｄ(x-1,y) の周囲２
画素としても良い。

【００３６】また上述の実施例においては、領域間の接
触状態を調べる際、１画素膨張させる画素を異常領域周
囲の画素としているが、１画素膨張させる画素を異常領
域の画素としても、原画像との間のＸＯＲ演算の結果、
異常領域周囲の１画素を得ることができ、領域間の接触
状態を調べることができる。

【００３７】また上述の実施例においては、検査対象物
をＶＴＲの磁気ヘツド摺動面１の欠け、白金不良又はむ
しれ等としたが、本発明はこれに限らず、例えばフエラ
イト内部の気泡が摺動面１に現れたものや、フエライト
に白金が混入しているもの等を検出する場合に適用して
も良い。さらに輝度の違いが検出できるものであれば、
検査対象物はＶＴＲに関するものに限ることなく、カセ
ツトテープレコーダのヘツド等の他の検査対象物の表面
検査に適用することができる。

【００３８】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、撮像手段
によつて撮像された検査対象物の表面のアナログ画像デ
ータをアナログ−デイジタル変換手段によつてデイジタ
ル画像データに変換して、原画像として記録媒体に記録
し、該記録媒体に記録された検査対象物のデイジタル画
像データに対して、制御手段により画像処理手段を介し
て、輝度値に基づいてラベル付けすることにより、原画
像を輝度値によつて直接領域分割し得、これにより原画
像を構成する領域を容易に抽出することができる表面検
査装置及び表面検査方法を実現し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による表面検査装置の一実施例の全体構
成を示すブロツク図である。

【図２】本発明による画像処理装置及びシステムコント
ローラの構成を示すブロツク図である。

【図３】磁気ヘツド摺動面の表面検査手順の説明に供す
るフロチヤートである。

【図４】磁気ヘツド摺動面の画像処理の説明に供する略
線図である。

【図５】領域間接続状態及び領域間接触状態の説明に供
する略線図である。

【図６】ラベル付けの際に比較対象となる画素の説明に
供する略線図である。

【図７】領域間接続状態の認識の説明に供するフロチヤ
ートである。

【図８】領域間接触状態の認識の説明に供するフロチヤ
ートである。

【図９】検査対象となる異常領域の説明に供する略線図
である。

【符号の説明】

１……摺動面、１０……表面検査装置、１１……磁気ヘ
ツド、１２……撮像部、１３……画像処理装置、１４…
…システムコントローラ、１５……検査台、１６……光
学顕微鏡、１７……ＣＣＤカメラ、１８……ハロゲンラ
ンプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ１１Ｂ 5/455 Ｃ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象物の表面を撮像し、撮像すること
によつて得られた画像を輝度の違いに基づいて領域分割
することにより、上記検査対象物の表面を検査する表面
検査装置において、検査対象物の表面の光学的な拡大画像を得、当該光学的
な拡大画像を輝度値に応じたビデオ信号に変換する撮像
手段と、上記ビデオ信号をアナログ信号データからデイジタル信
号データに変換するアナログ−デイジタル変換手段と、上記デイジタル信号データを原画像として記録する記録
媒体と、上記記録媒体に記録された上記原画像に対して、画像処
理する画像処理手段と、上記画像処理手段を制御することにより、上記原画像の
領域を分割して当該領域間の接続状態、接触状態及び位
置を検出すると共に、さらに当該領域の面積を算出する
制御手段とを具えることを特徴とした表面検査装置。
【請求項２】上記撮像手段は、上記検査対象物の光学的
な拡大画像を得る光学顕微鏡と、当該光学顕微鏡の接眼
部に設置され、上記光学的拡大画像を上記輝度値に応じ
たビデオ信号に変換するＣＣＤカメラとで構成されるこ
とを特徴とした請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】上記検査対象物はＶＴＲの磁気ヘツド摺動
面であることを特徴とした請求項１又は請求項２に記載
の表面検査装置。
【請求項４】検査対象物の表面を撮像し、撮像すること
によつて得られた画像を輝度の違いに基づいて領域分割
することにより、上記検査対象物の表面を検査する表面
検査方法において、撮像手段により上記検査対象物の表面の光学的な拡大画
像を得、当該拡大画像の光学的輝度値に応じたビデオ信
号に変換し、上記ビデオ信号をアナログ信号データからデイジタル信
号データに変換すると共に、原画像として記録媒体に記
録し、上記原画像に対して輝度値に基づいてラベル付けするこ
とにより、上記原画像を上記ラベルに応じた領域に分割
し、上記領域間の接続状態、接触状態及び存在位置を検出す
ることにより、上記原画像を構成する領域を検出するこ
とを特徴とした表面検査方法。
【請求項５】上記原画像を構成する領域に異常領域があ
る場合には、上記原画像を構成する領域から上記異常領
域を抽出して、当該異常領域の面積を算出し、上記異常
領域の面積と所定面積とを比較して、上記異常領域の面
積が上記所定面積に比して大きい場合には上記検査対象
物を不良品として判定し、上記異常領域の面積が上記所
定面積に比して小さい場合には上記検査対象物を良品と
して判定することを特徴とした請求項４に記載の表面検
査方法。
【請求項６】上記ラベル付けは、上記原画像を構成する
各画素について、上記原画像から取り出した所定画素と
当該所定画素との８連結条件に基づいた周囲４画素とを
比較して、当該周囲４画素のうち、所定輝度差の範囲内
で最も輝度差が小さい画素に対して上記所定画素と同一
のラベルを付けることを特徴とした請求項４又は請求項
５に記載の表面検査方法。
【請求項７】上記原画像を構成する領域間の接続状態
は、当該原画像を構成する第１の領域と第２の領域とに
同一のラベルを付けて初期設定した後、再度ラベル付け
し、上記ラベル数が１の場合には、上記第１の領域と上
記第２の領域とは領域間に接続のない独立関係にあると
判定し、上記ラベル数が２の場合には、上記第１の領域
と上記第２の領域とは境界同士が接した接触関係にある
又は上記第２の領域内に上記第１の領域が完全に含まれ
た包含関係にあると判定されることを特徴とした請求項
４、請求項５又は請求項６に記載の表面検査方法。
【請求項８】上記原画像を構成する領域間の接触状態
が、上記接触関係又は上記包含関係のいずれに属するか
の判定は、上記第１の領域又は当該第１の領域周囲の所
定画素に対して１画素膨張した結果得られる画像と、上
記原画像との間で排他的論理和を演算し、その結果得ら
れる画像領域に対してラベル付けし、当該ラベル数が１
の場合には、上記第１の領域は上記第２の領域に完全に
包含された包含関係であると判定し、上記ラベル数が２
以上の場合には、上記第１の領域に対して上記第２の領
域は接触関係にあると判定することを特徴とした請求項
４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の表面検査
方法。
【請求項９】上記異常領域の面積は、当該異常領域に長
方形を外接させ、当該長方形の面積を算出することによ
つて検出されることを特徴とした請求項５、請求項６、
請求項７又は請求項８に記載の表面検査方法。