JPH087251A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH087251A
JPH087251A JP13233094A JP13233094A JPH087251A JP H087251 A JPH087251 A JP H087251A JP 13233094 A JP13233094 A JP 13233094A JP 13233094 A JP13233094 A JP 13233094A JP H087251 A JPH087251 A JP H087251A
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JP
Japan
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substrate
magnetic recording
flatness
film thickness
recording medium
Prior art date
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Pending
Application number
JP13233094A
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English (en)
Inventor
Naoto Kamishiro
直人 神代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH087251A publication Critical patent/JPH087251A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄板の磁気記録用基板を用いて高温下でのス
パッタ成膜工程を経ても基板変形が少なく、平面度の良
い磁気記録媒体を提供することにある。 【構成】 非磁性基板1上に下地層としてNi−Pめっ
き膜1aを施して成る磁気記録用基板を用いた磁気記録
媒体において、磁気記録用基板の板厚が0.635mm以下
で、表裏面のNi−Pめっき膜1aの膜厚差を0.35μm
以下に設定する。高温スパッタ工程を経た磁気記録用基
板の平面度は5μm以下である。膜厚差を0.35μm以下
にすれば、反り変形の少ない状態で、基板薄板化に対応
可能であり、またスパッタ成膜の高温化に対応可能で高
保磁力の磁気記録媒体を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非磁性基板上にNi−
Pめっき膜を施して成る磁気記録用基板を用いた磁気記
録媒体に関し、特にその磁気記録用基板に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的な金属薄膜磁気記録ディスク(媒
体)の断面構造は、図5に示すように、非磁性基板1上
に非磁性のCr下地膜2を積層し、このCr下地膜2上
に強磁性合金のCo合金磁性膜3を薄膜状に積層した
後、この磁性膜3上に例えばポリマー質を加味したダイ
ヤモンドライクカーボンDLC(Diamond Like Carbon
n)のカーボン保護膜4を積層形成し、更にそのカーボン
保護膜4の上に液体潤滑材からなる潤滑膜5を設けたも
のである。非磁性基板1としてはAl合金,ガラス,カ
ーボン,チタン等が用いられるが、現在では主に、非磁
性基板1はAl合金基板で、この上に下地膜としてNi
−P(ニッケル−リン)めっき膜1aをコートし、その
表面を研磨(ポリッシュ)した磁気記録用基板が用いら
れている。
【0003】ところで、Al合金基板を用いた磁気記録
用基板の板厚は、3.5 インチ(95mm)径では1.27mm、2.
5 インチ(65mm)径では0.89mmが主流であったが、固定
磁気ディスク装置の大容量化,小型化に伴い板厚の薄板
化が進んでいる。因に、1.89インチ(48mm)径では0.63
5mm となる傾向がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気記
録用基板の板厚の薄板化は次のような問題点を惹起させ
る。即ち、磁気記録媒体の高容量化に伴い保磁力の高い
磁気記録媒体の製造が必要であり、高保磁力を得るには
できるだけ高温下でCr合金磁性膜をスパッタ成膜する
のが有利であるが、板厚の薄い上記の如き磁気記録用基
板を高温に加熱すると、基板変形(反り)が顕在化し
て、磁気記録媒体の平面度が劣化してしまう。
【0005】そこで上記問題点に鑑み、本発明の課題
は、薄板の磁気記録用基板を用いて高温下でのスパッタ
成膜工程を経ても基板変形が少なく、平面度の良い磁気
記録媒体を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の講じた手段は、非磁性基板上に下地層とし
てNi−Pめっき膜を施して成る磁気記録用基板を用い
た磁気記録媒体において、板厚が0.635mm 以下であり、
表裏面のNi−Pめっき膜の膜厚差が0.35μm以下であ
る磁気記録用基板を用いたことを特徴とする。そして、
そのNi−Pめっき膜の膜厚としては少なくとも7μm
であることが望ましい。非磁性基板としては例えばアル
ミニウム合金を用いることができる。
【0007】
【作用】基板変形はAl合金基板だけを高温下に置いて
も起こらないが、これにNi−Pめっき膜がコートされ
た薄板の磁気記録用基板で起こり、磁気記録用基板の表
裏面のNi−Pめっき膜の膜厚差に起因していることが
判明した。そして、磁気記録媒体の平面度を良くするに
は、表裏面のNi−Pめっき膜の膜厚差を少なくすれば
良いことが判明した。本発明では、Ni−Pめっき膜の
膜厚差0.35μm以下の磁気記録用基板を用いると、高温
処理後に得られた磁気記録用基板の平面度も良好なもの
で、5μm以下の平面度を実現できた。換言すれば、反
り変形の少ない状態で、基板の薄板化とスパッタ成膜の
高温化に対応することができる。
【0008】膜厚差は0.35μm以下とするが、Ni−P
めっき膜の膜厚は7μm以上とするのが望ましい。7μ
m以上にすると、板厚の薄板化の下でも強度を確保でき
る。
【0009】
【実施例】次に、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。
【0010】外径1.89インチ(48mm)で板厚0.635mm の
磁気記録用基板(Al合金基板上にNi−Pめっき膜を
施し、研磨したもの)についてめっき膜厚差を変えて加
熱してその変形度,平面度を確認した。ここで、基板に
おいて凸面をA面、凹面をB面とする。また平面度は、
レーザ光照射によるニュートンリングの干渉縞の本数を
中心から放射方向に数えて中心の変位量を算出するもの
である。凸面はプラス、凹面はマイナスである。なお、
下地膜としてのNi−Pめっき膜の膜厚は磁気記録媒体
の強度確保の点で7μm以上必要である。
【0011】図1はA面の熱処理後の平面度からA面の
熱処理前の平面度を差し引いた値(変形度)のNi−P
めっき膜厚差の依存性を示すグラフである。熱処理によ
って変形が発生しない場合は、変形度は0である。膜厚
差0.25μm以下で、変形度ゼロのデータは数例あった。
1例だけ変形度マイナスのもの(加熱処理によって平面
度が良くなるもの)があったが、この特異データはニュ
ートンリングが非同心円となったものから得られたもの
であるので、割愛できるデータである。図1からすれ
ば、膜厚差が大きくならば変形度(凸面度合い)も大き
くなっている。特性曲線aは略線形であり、標準偏差±
εに乗る曲線はa+ , a- 、標準偏差±2εに乗る曲線
はa++ ,a--である。
【0012】図2はB面の熱処理後の平面度からB面の
熱処理前の平面度を差し引いた値(変形度)のNi−P
めっき膜厚差の依存性を示すグラフである。図2のグラ
フは、基板の厚みがあるため、図1のグラフに対して正
負対称ではない。図2からすれば、膜厚差が大きくなら
ば変形度(凹面度合い)も大きくなっている。特性曲線
bは略線形であり、標準偏差±εに乗る曲線はb+ , b
- 、標準偏差±2εに乗る曲線はb++ ,b--である。
【0013】図3はA面の熱処理後の平面度のNi−P
めっき膜厚差の依存性を示すグラフである。この図から
明らかなように、膜厚差が大きいと、加熱後の平面度が
悪くなっており、膜厚差を少なくすることが必要であ
る。特性曲線Aは略線形であり、標準偏差±εに乗る曲
線はA+ , A- 、標準偏差±2εに乗る曲線はA++ ,A
--である。加熱後の平面度は一般に5μm以下にする必
要があるので、A面の平面度5μm以下にするには、め
っき膜厚差は0.35μm以下の磁気記録用基板を選定する
必要がある。
【0014】図4はB面の熱処理後の平面度のNi−P
めっき膜厚差の依存性を示すグラフである。この図から
明らかなように、膜厚差が大きいと、加熱後の平面度が
悪くなっている。B面の平面度5μm以下にするには、
めっき膜厚差は0.375 μm以下の磁気記録用基板を選定
する必要がある。
【0015】従って、A面,B面を共に平面度5μm以
下にするには、磁気記録用基板のめっき膜厚差を0.35μ
m以下に設定する必要がある。このような微小差の膜厚
差の設定は、例えば研磨工程において、砥粒の選定や、
研磨材の押し付け圧力を弱くしたり、研磨時間を短くす
ることにより達成される。
【0016】なお、上述のような膜厚差は、アルミニウ
ム合金基板に限らず、ガラス,チタン等の非磁性基板の
上にNi−Pめっき膜を施した磁気記録用基板にも適用
でき、平面度の良好な磁気記録媒体が得られる。また、
本発明は1.89インチの媒体に限らず、それ以上の外径の
媒体にも適用可能ある。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性基板上に下地層としてNi−Pめっ
き膜を施して成る磁気記録用基板を用いた磁気記録媒体
において、板厚が0.635mm 以下であり、表裏面のNi−
Pめっき膜の膜厚差が0.35μm以下である磁気記録用基
板を用いたことを特徴とするものであるから、次の効果
を奏する。
【0018】 基板変形は磁気記録用基板の表裏面の
Ni−Pめっき膜の膜厚差に起因していることが判明し
たが、Ni−Pめっき膜の膜厚差0.35μm以下の磁気記
録用基板を用いると、高温処理後に得られた磁気記録媒
体の平面度も良好なもので、5μm以下の平面度を実現
できた。換言すれば、反り変形の少ない状態で、基板の
薄板化に対応可能であり、またスパッタ成膜の高温化に
対応可能で高保磁力の磁気記録媒体を実現できる。
【0019】 Ni−Pめっき膜の膜厚を7μm以上
にすると、板厚の薄板化の下でも基板強度を確保でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例において、磁気記録用基板のA
面の熱処理後の平面度からA面の熱処理前の平面度を差
し引いた値(変形度)のNi−Pめっき膜厚差の依存性
を示すグラフである。
【図2】本発明の実施例において、磁気記録用基板のB
面の熱処理後の平面度からB面の熱処理前の平面度を差
し引いた値(変形度)のNi−Pめっき膜厚差の依存性
を示すグラフである。
【図3】本発明の実施例において、磁気記録用基板のA
面の熱処理後の平面度のNi−Pめっき膜厚差の依存性
を示すグラフである。
【図4】本発明の実施例において、磁気記録用基板のB
面の熱処理後の平面度のNi−Pめっき膜厚差の依存性
を示すグラフである。
【図5】一般的な金属薄膜磁気記録ディスク(媒体)の
断面構造を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
1…非磁性基板 1a…Ni−Pめっき膜 2…Cr下地膜 3…Co合金磁性膜 4…カーボン保護膜 5…潤滑膜。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性基板上に下地層としてNi−Pめ
    っき膜を施して成る磁気記録用基板を用いた磁気記録媒
    体において、 前記磁気記録用基板の板厚が0.635mm 以下であって、前
    記磁気記録用基板の表裏面の前記Ni−Pめっき膜の膜
    厚差が0.35μm以下であることを特徴とする磁気記録媒
    体。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の磁気記録媒体におい
    て、前記Ni−Pめっき膜の膜厚が7μm以上であるこ
    とを特徴とする磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載の磁気記録
    媒体において、前記非磁性基板はアルミニウム合金であ
    ることを特徴とする磁気記録媒体。
JP13233094A 1994-06-15 1994-06-15 磁気記録媒体 Pending JPH087251A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6740383B2 (en) 1998-05-27 2004-05-25 Fujitsu Limited Magnetic recording medium possessing a ratio of Hc(perpendicular) to Hc(horizontal) that is not more than 0.22 and magnetic recording disk device
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US11205453B2 (en) 2016-12-28 2021-12-21 Toyo Kohan Co., Ltd. Hard disk substrate and hard disk device including the hard disk substrate
US20230335162A1 (en) * 2022-04-13 2023-10-19 Western Digital Technologies, Inc. Magnetic recording disk with metallic layers having thicknesses configured to balance weight and rigidity of the disk

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