JPH0872279A - 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
厚膜型サーマルヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0872279A JPH0872279A JP6207636A JP20763694A JPH0872279A JP H0872279 A JPH0872279 A JP H0872279A JP 6207636 A JP6207636 A JP 6207636A JP 20763694 A JP20763694 A JP 20763694A JP H0872279 A JPH0872279 A JP H0872279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal head
- heating resistor
- manufacturing
- printing
- thick film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚膜型サーマルヘッドにおいて、発熱ドット
の形状が略矩形となり、且つ高密度の印字可能な製造方
法を提供することを目的とする。 【構成】 絶縁基板１上に複数の電極を形成し、前記電
極と接続される線状の発熱抵抗体４を形成する工程を備
える厚膜型サーマルヘッドの製造方法において、発熱抵
抗体４の長辺方向と直交する端部をサンドブラストによ
って除去する工程を有することを特徴とする。
の形状が略矩形となり、且つ高密度の印字可能な製造方
法を提供することを目的とする。 【構成】 絶縁基板１上に複数の電極を形成し、前記電
極と接続される線状の発熱抵抗体４を形成する工程を備
える厚膜型サーマルヘッドの製造方法において、発熱抵
抗体４の長辺方向と直交する端部をサンドブラストによ
って除去する工程を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、サーマルヘッドの製
造方法に関し、詳しくは発熱抵抗体の抵抗値ばらつきが
小さく、高密度印字可能な厚膜型サーマルヘッドの製造
方法に関する。
造方法に関し、詳しくは発熱抵抗体の抵抗値ばらつきが
小さく、高密度印字可能な厚膜型サーマルヘッドの製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、サーマルヘッドには発熱抵抗
体の材料及びその製造方法の違いにより大きく分けて薄
膜型と厚膜型とに分けられ、特性と製造方法にそれぞれ
一長一短がある。薄膜型は、絶縁材料のアルミナ基板上
に金属またはその酸化物あるいは窒化物を蒸着あるいは
スパッタリングをして発熱抵抗体を形成し、それをエッ
チングして所定の形状に精度良く仕上げたもので、発熱
抵抗体の各ドット間の抵抗値のばらつきが小さく、特に
高密度印字や高い印字品位が要求されるサーマルヘッド
に用いられている。
体の材料及びその製造方法の違いにより大きく分けて薄
膜型と厚膜型とに分けられ、特性と製造方法にそれぞれ
一長一短がある。薄膜型は、絶縁材料のアルミナ基板上
に金属またはその酸化物あるいは窒化物を蒸着あるいは
スパッタリングをして発熱抵抗体を形成し、それをエッ
チングして所定の形状に精度良く仕上げたもので、発熱
抵抗体の各ドット間の抵抗値のばらつきが小さく、特に
高密度印字や高い印字品位が要求されるサーマルヘッド
に用いられている。
【０００３】一方、厚膜型は、絶縁材料のアルミナ基板
にペースト状の材料を用い、スクリーン印刷によって電
極及び発熱抵抗体のパターン形成を行っており、これを
印刷・乾燥・焼成する簡単な方法と設備により安価に製
造できる特徴を有する。
にペースト状の材料を用い、スクリーン印刷によって電
極及び発熱抵抗体のパターン形成を行っており、これを
印刷・乾燥・焼成する簡単な方法と設備により安価に製
造できる特徴を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の厚膜型サーマル
ヘッドでは発熱抵抗体が印刷・乾燥・焼成にて形成され
ているので、薄膜型と比較して発熱抵抗体の形状の正確
な制御が難しく抵抗値のばらつきが大きいとか、微細な
パターン形成に不利であるなどの欠点がある。ところ
で、厚膜型サーマルヘッドでは発熱抵抗体の各ドット長
（個別電極のピッチ）は発熱抵抗体に接続される金属電
極のパターン配置で決まり、ドット幅はペースト状の発
熱抵抗体のスクリーン印刷による塗布幅で決まるが、Ｆ
ＡＸ等で使用されている一般的なサーマルヘッドの印字
密度は約３６０ドット／インチが採用され、この場合、
１ドット長を構成する金属電極のパターンのピッチは約
７０μｍとなる。そして、厚膜型サーマルプリントヘッ
ドの発熱抵抗体の各ドット幅は、発熱抵抗体の印刷に用
いられるスクリーンの開口部の寸法及び抵抗体ペースト
の条件を調整しても約１２０μｍより小さくすることが
難しく、更に高密度印字に対応しようとすると、厚膜型
サーマルヘッドの発熱抵抗体のドット形状が発熱抵抗体
幅方向に長い長方形に近似した形状となり、高密度印字
に対応することが出来ないと言う問題点があった。
ヘッドでは発熱抵抗体が印刷・乾燥・焼成にて形成され
ているので、薄膜型と比較して発熱抵抗体の形状の正確
な制御が難しく抵抗値のばらつきが大きいとか、微細な
パターン形成に不利であるなどの欠点がある。ところ
で、厚膜型サーマルヘッドでは発熱抵抗体の各ドット長
（個別電極のピッチ）は発熱抵抗体に接続される金属電
極のパターン配置で決まり、ドット幅はペースト状の発
熱抵抗体のスクリーン印刷による塗布幅で決まるが、Ｆ
ＡＸ等で使用されている一般的なサーマルヘッドの印字
密度は約３６０ドット／インチが採用され、この場合、
１ドット長を構成する金属電極のパターンのピッチは約
７０μｍとなる。そして、厚膜型サーマルプリントヘッ
ドの発熱抵抗体の各ドット幅は、発熱抵抗体の印刷に用
いられるスクリーンの開口部の寸法及び抵抗体ペースト
の条件を調整しても約１２０μｍより小さくすることが
難しく、更に高密度印字に対応しようとすると、厚膜型
サーマルヘッドの発熱抵抗体のドット形状が発熱抵抗体
幅方向に長い長方形に近似した形状となり、高密度印字
に対応することが出来ないと言う問題点があった。
【０００５】上述の問題点を解決するために、厚膜型サ
ーマルヘッドの発熱抵抗体幅を調整する技術が、特開昭
６２−２８２６２号に開示され、これによれば発熱抵抗
体の両縁をエッチングにて除去する製造方法が開示され
ている。そして、特開昭６２−４２８５７号には、発熱
抵抗体の両縁をレーザーカットにて除去する製造方法が
開示されている。
ーマルヘッドの発熱抵抗体幅を調整する技術が、特開昭
６２−２８２６２号に開示され、これによれば発熱抵抗
体の両縁をエッチングにて除去する製造方法が開示され
ている。そして、特開昭６２−４２８５７号には、発熱
抵抗体の両縁をレーザーカットにて除去する製造方法が
開示されている。
【０００６】しかし、上述の従来の製造方法でも、特開
昭６２−２８２６２号のように発熱抵抗体の両縁をエッ
チングで除去する場合、化学反応によるエッチング加工
を所望の寸法で厳密にコントロールするのが難しい為
に、上述の厚膜型サーマルヘッドの高密度印字可能な寸
法に加工するのが困難であるという問題点があった。さ
らに、特開昭６２−４２８５７号のように発熱抵抗体の
両縁をレーザーカットにて除去する場合、レーザーによ
る加熱により、発熱抵抗体の抵抗値が変化することで、
ドット毎の抵抗値にばらつきが生じ、発熱抵抗体の形状
を高密度印字可能に形成しても、各ドットの発熱にばら
つきが生じてしまうという問題点があった。
昭６２−２８２６２号のように発熱抵抗体の両縁をエッ
チングで除去する場合、化学反応によるエッチング加工
を所望の寸法で厳密にコントロールするのが難しい為
に、上述の厚膜型サーマルヘッドの高密度印字可能な寸
法に加工するのが困難であるという問題点があった。さ
らに、特開昭６２−４２８５７号のように発熱抵抗体の
両縁をレーザーカットにて除去する場合、レーザーによ
る加熱により、発熱抵抗体の抵抗値が変化することで、
ドット毎の抵抗値にばらつきが生じ、発熱抵抗体の形状
を高密度印字可能に形成しても、各ドットの発熱にばら
つきが生じてしまうという問題点があった。
【０００７】本発明は、発熱ドットの形状が略矩形とな
り、且つ高密度の印字可能な厚膜型サーマルヘッドの製
造方法を提供することを目的とする。
り、且つ高密度の印字可能な厚膜型サーマルヘッドの製
造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】従来の課題を解決するた
めに、本願の請求項１に記載の発明は、絶縁基板上に複
数の電極を形成し、前記電極と接続される線状の発熱抵
抗体を形成する工程を備える厚膜型サーマルヘッドの製
造方法において、発熱抵抗体の長辺方向と直交する端部
をサンドブラストによって除去する工程を有することを
特徴としている。
めに、本願の請求項１に記載の発明は、絶縁基板上に複
数の電極を形成し、前記電極と接続される線状の発熱抵
抗体を形成する工程を備える厚膜型サーマルヘッドの製
造方法において、発熱抵抗体の長辺方向と直交する端部
をサンドブラストによって除去する工程を有することを
特徴としている。
【０００９】
【発明の作用及び効果】厚膜型サーマルヘッドの製造方
法において、絶縁基板上に複数の電極を形成し、前記電
極と接続される線状の発熱抵抗体を形成する工程におい
て、発熱抵抗体の長辺方向と直交する端部をサンドブラ
ストによって除去する工程を有したことにより、発熱抵
抗体に加熱すること無く幅方向の寸法加工が可能とな
り、発熱抵抗体の抵抗値変化を起こすこと無く、高密度
印字可能な厚膜型サーマルヘッドを製造できるという効
果を有する。
法において、絶縁基板上に複数の電極を形成し、前記電
極と接続される線状の発熱抵抗体を形成する工程におい
て、発熱抵抗体の長辺方向と直交する端部をサンドブラ
ストによって除去する工程を有したことにより、発熱抵
抗体に加熱すること無く幅方向の寸法加工が可能とな
り、発熱抵抗体の抵抗値変化を起こすこと無く、高密度
印字可能な厚膜型サーマルヘッドを製造できるという効
果を有する。
【００１０】そして、厚膜型サーマルヘッドの製造方法
において、発熱抵抗体の幅方向の寸法加工をサンドブラ
ストによって行うことで、発熱抵抗体の各発熱ドットの
幅と長さの寸法が略同一となる。それにより、発熱ドッ
トの形状が略正方形となるので、印字品位の高い厚膜型
サーマルヘッドが製造可能になるだけでなく、階調印字
等の様々な印字が可能な厚膜型サーマルヘッドが製造可
能になるという効果を有する。
において、発熱抵抗体の幅方向の寸法加工をサンドブラ
ストによって行うことで、発熱抵抗体の各発熱ドットの
幅と長さの寸法が略同一となる。それにより、発熱ドッ
トの形状が略正方形となるので、印字品位の高い厚膜型
サーマルヘッドが製造可能になるだけでなく、階調印字
等の様々な印字が可能な厚膜型サーマルヘッドが製造可
能になるという効果を有する。
【００１１】さらに、厚膜型サーマルヘッドの製造方法
において、発熱抵抗体の幅方向の寸法加工をサンドブラ
ストによって行うことで、エッチング液等の洗浄処理の
設備等を用いることなく発熱抵抗体の寸法加工が可能に
なり、簡便で環境汚染の恐れなく厚膜型サーマルヘッド
を製造可能になるという効果を有する。
において、発熱抵抗体の幅方向の寸法加工をサンドブラ
ストによって行うことで、エッチング液等の洗浄処理の
設備等を用いることなく発熱抵抗体の寸法加工が可能に
なり、簡便で環境汚染の恐れなく厚膜型サーマルヘッド
を製造可能になるという効果を有する。
【００１２】
【実施例】以下本発明の厚膜型サーマルヘッドの製造方
法の一実施例を図１を用いて説明する。基板１はアルミ
ナセラミックよりなり、基板１の表面には全面に印字熱
の効率化と表面の平滑化のためにグレーズ層（図示せ
ず）が形成されている。基板１のグレーズ層上に共通電
極２と個別電極３を形成する。共通電極２及び個別電極
３は金よりなるペーストを印刷・乾燥・焼成してそれぞ
れ所望のパターンに形成されている。（図１（ａ）） そして、共通電極２と個別電極３上を横断するように発
熱抵抗体４を形成する。発熱抵抗体４は、酸化ルテニウ
ムよりなるペーストを印刷・乾燥・焼成して形成されて
おり、その断面形状が略半円形状である。（図１
（ｂ）） 次に、発熱抵抗体４の全体と、共通電極２及び個別電極
３の一部を覆うように感光性のドライフィルム５を被着
させる。ドライフィルム５は従来のエッチング処理等に
用いられるものよりも耐摩耗性に富んだ感光性の樹脂フ
ィルムを用いて形成している。（図１（ｃ）） 基板１上に被着させたドライフィルム５を露光・現像し
て発熱抵抗体の両縁に沿って延びる形状の開口部６を形
成する。（図１（ｄ）） その後、投射材（研磨材）を高速で投射する周知のサン
ドブラスト法にて開口部６を介して発熱抵抗体４の不要
部分を除去して、形状を整えつつ所望の寸法の発熱抵抗
体４を残す。この時、サーマルヘッドの印字効率を向上
させるために、発熱抵抗体４のドット幅方向の中央部分
を残して除去すると、発熱抵抗体４の両縁のなだらかに
高さが高くなっていく部分が無くなるので、電極面から
略直角方向に発熱抵抗体４が突出した形状となり、記録
媒体に対する発熱抵抗体の接触性が向上するだけでな
く、サーマルヘッドを駆動したときの発熱抵抗体４での
熱エネルギーが集中するため、印字効率を向上させるこ
とが可能になる。（図１（ｅ）） 最後に、パターンニングされたドライフィルム５を除去
し、発熱抵抗体４、共通電極２及び個別電極３を保護す
る保護層（図示せず）を形成して厚膜型サーマルヘッド
が形成される。（図１（ｆ）） 上述のように、厚膜型サーマルヘッドの製造方法におい
て、発熱抵抗体をサンドブラストにて整形することによ
り、例えば６００ドット／インチのサーマルヘッドを製
造する場合、共通電極と個別電極のピッチは約２１．２
μｍ、１ドット長を形成する個別電極の電極ピッチは約
４２．３μｍに形成することができる。このとき、１ド
ットの形状が平面視略正方形となるように１ドット幅と
なる残存させる発熱抵抗体４の寸法を約４２μｍ程度と
することで、厚膜型サーマルヘッドを発熱させたときの
ドット形状も正方形に近似した形状となり、高密度印字
が可能になるだけでなく、印字文字の品位が向上すると
いう効果を有している。
法の一実施例を図１を用いて説明する。基板１はアルミ
ナセラミックよりなり、基板１の表面には全面に印字熱
の効率化と表面の平滑化のためにグレーズ層（図示せ
ず）が形成されている。基板１のグレーズ層上に共通電
極２と個別電極３を形成する。共通電極２及び個別電極
３は金よりなるペーストを印刷・乾燥・焼成してそれぞ
れ所望のパターンに形成されている。（図１（ａ）） そして、共通電極２と個別電極３上を横断するように発
熱抵抗体４を形成する。発熱抵抗体４は、酸化ルテニウ
ムよりなるペーストを印刷・乾燥・焼成して形成されて
おり、その断面形状が略半円形状である。（図１
（ｂ）） 次に、発熱抵抗体４の全体と、共通電極２及び個別電極
３の一部を覆うように感光性のドライフィルム５を被着
させる。ドライフィルム５は従来のエッチング処理等に
用いられるものよりも耐摩耗性に富んだ感光性の樹脂フ
ィルムを用いて形成している。（図１（ｃ）） 基板１上に被着させたドライフィルム５を露光・現像し
て発熱抵抗体の両縁に沿って延びる形状の開口部６を形
成する。（図１（ｄ）） その後、投射材（研磨材）を高速で投射する周知のサン
ドブラスト法にて開口部６を介して発熱抵抗体４の不要
部分を除去して、形状を整えつつ所望の寸法の発熱抵抗
体４を残す。この時、サーマルヘッドの印字効率を向上
させるために、発熱抵抗体４のドット幅方向の中央部分
を残して除去すると、発熱抵抗体４の両縁のなだらかに
高さが高くなっていく部分が無くなるので、電極面から
略直角方向に発熱抵抗体４が突出した形状となり、記録
媒体に対する発熱抵抗体の接触性が向上するだけでな
く、サーマルヘッドを駆動したときの発熱抵抗体４での
熱エネルギーが集中するため、印字効率を向上させるこ
とが可能になる。（図１（ｅ）） 最後に、パターンニングされたドライフィルム５を除去
し、発熱抵抗体４、共通電極２及び個別電極３を保護す
る保護層（図示せず）を形成して厚膜型サーマルヘッド
が形成される。（図１（ｆ）） 上述のように、厚膜型サーマルヘッドの製造方法におい
て、発熱抵抗体をサンドブラストにて整形することによ
り、例えば６００ドット／インチのサーマルヘッドを製
造する場合、共通電極と個別電極のピッチは約２１．２
μｍ、１ドット長を形成する個別電極の電極ピッチは約
４２．３μｍに形成することができる。このとき、１ド
ットの形状が平面視略正方形となるように１ドット幅と
なる残存させる発熱抵抗体４の寸法を約４２μｍ程度と
することで、厚膜型サーマルヘッドを発熱させたときの
ドット形状も正方形に近似した形状となり、高密度印字
が可能になるだけでなく、印字文字の品位が向上すると
いう効果を有している。
【００１３】更に、サンドブラスト加工後の寸法を考慮
して最初に発熱抵抗体を印刷する際に、若干幅広に印刷
しておくと、サンドブラスト加工で除去する発熱抵抗体
部分は増加するが、完成された発熱抵抗体の盛り上がり
の高さが高くなり、記録媒体に対する発熱抵抗体の接触
性が向上し、印字効率が向上するという効果を有する。
して最初に発熱抵抗体を印刷する際に、若干幅広に印刷
しておくと、サンドブラスト加工で除去する発熱抵抗体
部分は増加するが、完成された発熱抵抗体の盛り上がり
の高さが高くなり、記録媒体に対する発熱抵抗体の接触
性が向上し、印字効率が向上するという効果を有する。
【００１４】本発明は、上述の実施例に記載の形状、材
料及び寸法等の構成に特に限定されるものではない。
料及び寸法等の構成に特に限定されるものではない。
【図１】本発明の厚膜型サーマルヘッドの製造方法の手
順を示す説明図
順を示す説明図
１・・・・基板 ２・・・・共通電極 ３・・・・個別電極 ４・・・・発熱抵抗体 ５・・・・ドライフィルム ６・・・・開口部
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上に複数の電極を形成し、前記
電極と接続される線状の発熱抵抗体を形成する工程を備
える厚膜型サーマルヘッドの製造方法において、 発熱抵抗体の長辺方向と直交する端部をサンドブラスト
によって除去する工程を有することを特徴とするサーマ
ルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207636A JPH0872279A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207636A JPH0872279A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0872279A true JPH0872279A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16543077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6207636A Pending JPH0872279A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0872279A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018192694A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP6207636A patent/JPH0872279A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018192694A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0872279A (ja) | 厚膜型サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH08310024A (ja) | 薄膜型サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3072359B2 (ja) | 薄膜型サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3470824B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JP4748864B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| US5701659A (en) | Method of making a thin film thermal printhead | |
| JP3645741B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2615633B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2951178B2 (ja) | ライン型サーマルプリントヘッドの構造 | |
| JP2002011899A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2863283B2 (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
| JP4164064B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2579389B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH0226761A (ja) | サーマルヘッドの発熱抵抗体形成方法 | |
| JP3261145B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP3072360B2 (ja) | 薄膜型サーマルプリントヘッドの製造方法 | |
| JPH04249164A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH03227660A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2963245B2 (ja) | 厚膜型サーマルプリントヘッドの製造方法 | |
| JP2544143B2 (ja) | 端面型サ―マルヘッドの製造方法 | |
| JP3497870B2 (ja) | コーナヘッド型サーマルヘッド製造方法 | |
| JPS6248570A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPH05286156A (ja) | 薄膜型サーマルプリントヘッドの製造方法 | |
| JPS60248366A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JP2965339B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 |