JPH0871303A

JPH0871303A - 薬液回収精製装置

Info

Publication number: JPH0871303A
Application number: JP20861194A
Authority: JP
Inventors: Michiaki Nomura; 三千昭野村; Yasuhiro Takahashi; 康弘高橋; Toshiaki Shirai; 俊昭白井
Original assignee: Japan Oxygen Co Ltd; Nippon Sanso Corp
Current assignee: Japan Oxygen Co Ltd; Nippon Sanso Corp
Priority date: 1994-09-01
Filing date: 1994-09-01
Publication date: 1996-03-19

Abstract

(57)【要約】【目的】半導体工場等で排出される硫酸、フッ化水素
酸、硝酸、硫酸、イソプロピルアルコールおよびアンモ
ニア水等の廃薬液を効率良く、かつ安全に精製し、再利
用可能な薬液を製造する薬液回収精製装置の提供。【構成】被処理薬液２ａを収容し該液を加熱する加熱
手段を備えた蒸留塔と、該蒸留塔から導出された各成分
の蒸気を冷却凝縮する凝縮器４を備えた薬液回収精製装
置であって、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留
塔本体２と、該蒸留塔本体２の外面に設けられた導電性
の加熱用金属酸化膜（加熱手段）１０ｂと、該加熱用金
属酸化膜１０ｂに接続された電源１２とを備えたことを
特徴とする薬液回収精製装置１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体工場において半導
体製造工程で排出される廃薬液を精製回収する蒸留方式
の薬液回収精製装置に係わり、更に詳細には、薬液回収
精製における加熱、保温を効率よく行うことができるエ
ネルギー効率が良好な薬液回収精製装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体工場においては、ウエハー
の洗浄工程、エッチング工程、フォトレジストの剥離工
程などの半導体製造工程で、硫酸、フッ化水素酸、硝
酸、塩酸、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、アンモ
ニア水及び各種の現像液等の薬液が多量に使用され、そ
の使用後に多量の廃酸や廃アルカリ等の廃液が生じる。
そのため廃液の処理が問題となっているが、最近上述の
薬液の中でも特に多量に使用されている、硫酸、フッ化
水素酸およびＩＰＡについては、回収、精製して、上述
した半導体の製造工程等で再利用することが試みられる
ようになってきており、各種の廃薬液再生方法の開発が
進められている。

【０００３】かかる廃薬液を再生する方法としては、例
えば、硫酸の場合は蒸留法、ＩＰＡの場合は、蒸留法ま
たはパーベーパレーション膜分離法と蒸発法の組み合わ
せによる方法などが挙げられる。ところが、このような
方法で行う薬液の再生においては、いずれも被処理薬液
を加熱する工程が必要であり、被処理薬液を収容してい
る蒸留塔本体の加熱方法やそれらの周辺の配管等の保温
方法が問題となっている。このような被処理薬液の加熱
方法や配管等の保温方法においては、加熱炉、マントル
ヒータ、赤外線ヒータ等の加熱手段を用いて、蒸留塔本
体や配管の外部から熱を伝導することにより、被処理薬
液を間接的に加熱、保温する方法が採用されていた。

【０００４】このような間接的に加熱する方法に用いら
れる従来の薬液回収精製装置としては、減圧単蒸留法に
用いられる硫酸回収精製装置が知られている。この種の
硫酸回収精製装置は、廃硫酸を収容する蒸留塔本体と、
この蒸留塔本体の底部の下方に設けられた上述したよう
な加熱手段と、上記蒸留塔本体から導出された硫酸蒸気
等を冷却して凝縮、液化する凝縮器とを備えてなるもの
である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような被処理薬液の加熱手段として加熱炉、マントル
ヒータ、赤外線ヒータ等を用いた従来の薬液回収精製装
置にあっては、次のような問題があった。被処理薬液の
加熱手段が蒸留塔本体の外部からの伝導による間接的な
加熱であるため、熱効率が悪くヒートロスが大きく、従
って被処理薬液の精製速度が低く処理量が小さかった。
また、蒸留塔本体の外部から熱を与えることによって、
蒸留塔本体内部の被処理薬液を加熱するため、上記加熱
手段と接触する蒸留塔本体の外壁と被処理薬液と接触し
ている蒸留塔本体の内壁との温度差が非常に大きくなり
蒸留塔本体が破壊し易く、半導体工場などで使用される
硫酸などの強い被処理薬液を処理する場合、安全性にお
いて不安があった。さらに、従来技術であるマントルヒ
ータ、ブラケットヒータ等の加熱手段を用いた場合、蒸
留塔本体が覆われてしまうため蒸留塔本体内部の被処理
薬液の状態を観察することができず、蒸留塔本体内で異
常が起きている場合発見が困難であった。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、半導体工場等で排出される硫酸、フッ化水素酸、硝
酸、硫酸、イソプロピルアルコールおよびアンモニア水
等の廃薬液を効率良く、かつ安全に精製し、再利用可能
な薬液を製造する薬液回収精製装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる薬液回収
精製装置は、被処理薬液を収容し該液を加熱する加熱手
段を備えた蒸留塔と、該蒸留塔から導出された各成分の
蒸気を冷却凝縮する凝縮器を備えた薬液回収精製装置で
あって、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本
体と、該蒸留塔本体の外面に設けられた導電性の金属酸
化膜と、該金属酸化膜に接続された電源とを備えたこと
を特徴とする。

【０００８】上記金属酸化膜の表面に金属膜からなる電
極を設け、該電極に電源を接続してもよい。上記蒸留塔
本体を構成する電気絶縁材料としては、ガラス類および
セラミックスのうちから選択される無機質材からなるも
のを用いるのが好ましい。上記金属酸化膜を構成する材
料としては、錫の酸化物とアンチモンの酸化物とからな
るものを用いるのが好ましい。上記金属酸化膜を構成す
る材料が、アンチモン１〜５モル％、残部錫からなる酸
化物であることが好ましい。上記金属酸化膜の厚さは、
０．１〜１．０μｍであることが好ましい。上記被処理
薬液としては、硫酸、フッ化水素酸、硝酸、塩酸、イソ
プロピルアルコールおよびアンモニア水のうちの少なく
とも１種を主成分とする薬液であることを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明による薬液回収精製装置にあっては、蒸
留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本体と、該蒸留塔
本体の外面に設けられた導電性の金属酸化膜と、該金属
酸化膜に接続された電源とを備えたことにより、該金属
酸化膜に通電すると、上記電気絶縁材料と金属酸化膜の
伝導性の複合効果によって、蒸留塔本体の金属酸化膜が
設けられていない側の面（内面）からは、金属酸化膜が
設けられている側の面（外面）からに比べて約２倍の熱
が輻射熱の形で放出され、蒸留塔本体内に収容された被
処理薬液を蒸留塔本体の内面からの輻射熱により直接加
熱することができ、熱効率が向上する。これは、金属酸
化膜に通電すると、該金属酸化膜と蒸留塔本体をなす電
気絶縁材料との境界部で発熱し、その熱が輻射熱となる
が、この輻射熱のうち蒸留塔本体の方に向けて放射され
たものは電気絶縁材料を透過し、蒸留塔本体内に到達
し、一方、金属酸化膜の方に向けて放射されたものは該
金属酸化膜で反射した後、電気絶縁材料を透過し、蒸留
塔本体内に到達するからであると考えられる。また、こ
のように金属酸化膜自体が輻射熱を反射できることか
ら、輻射熱が外部に逃げるのを防ぐことができ、ヒート
ロスが少なくなる。

【００１０】さらに、上述のように蒸留塔本体内に収容
された被処理薬液を蒸留塔本体の内面からの輻射熱によ
り直接加熱することができることから、蒸留塔本体の内
面と外面との温度差がほとんどなく、また、その温度は
収容されている被処理薬液の温度に近いため、蒸留塔本
体にかかる熱的応力が低減するので、熱歪みによって蒸
留塔本体が破壊することが防止される。また、金属酸化
膜を錫の酸化物とアンチモンの酸化物から構成すること
により、金属酸化膜は透明性を有するものとなり、蒸留
塔本体内の被処理薬液の状態を観察することが可能であ
る。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は、本発明の係わる薬液回収精製装置の一実施
例を示す図であり、この薬液回収精製装置１は、被処理
薬液２ａを収容するため蒸留塔本体２と、この蒸留塔本
体２の外面に設けられた導電性の金属酸化膜３と、上記
蒸留塔本体２に接続された凝縮器４と、該凝縮器４に接
続された凝縮液分配系５と、上記凝縮器４に接続されて
蒸留系内を排気する排気装置６とを備えて構成されてい
る。

【００１２】上記被処理薬液２ａは、硫酸、フッ化水素
酸、硝酸、塩酸、イソプロピルアルコールおよびアンモ
ニア水のうちの少なくとも１種を主成分とする薬液であ
る。上記蒸留塔本体２は、電気を通さない電気絶縁材料
からなり、被処理薬液２ａ及び蒸留時に発生する薬液蒸
気に腐蝕され難いような耐薬品性が優れた材料からな
り、かつ内部を減圧状態として操作可能な耐圧強度を有
する容器が用いられ、好ましくは石英ガラスや硬質ホウ
珪酸ガラスなどのガラス類および磁気質のセラミックス
のうちから選択される無機質材からなる容器が用いら
れ、さらに好ましくは少なくとも一部がガラス類からな
る容器が用いられる。

【００１３】ここでの石英ガラスの具体例としては、Ｔ
−１０３０（商品名；東芝セラミックス株式会社製）、
ヘラックス（商品名；信越石英株式会社製）などが挙げ
られる。硬質ホウ珪酸ガラスの具体例としては、パイレ
ックスガラス（商品名；イワキガラス株式会社製、IWAK
I CODE 7740）などが挙げられる。セラミックスの具体
例としては、ＡＣＥ−９９５（商品名；西村陶芸株式会
社製）などが挙げられる。この蒸留塔本体２の上部に
は、蒸留初期に発生する低沸点成分（主に水分）の蒸気
と薬液蒸気との分離を向上させるためのラシヒリング等
の充填材が充填された充填層７が設けられている。この
蒸留塔本体２内には、被処理薬液２ａの温度を測定する
ための温度計８、蒸留塔本体２内の圧力を測定するため
の圧力計９が設けられている。この蒸留塔本体２の外面
は、導電性の金属酸化膜３により被覆されている。

【００１４】この金属酸化膜３は、蒸留塔本体２の上部
の外面を被覆し、蒸留塔本体２の上部を保温するための
保温用金属酸化膜１０ａと、蒸留塔本体２の下部の外面
を被覆し、蒸留塔本体２内に収容されている廃硫酸溶液
２ａを加熱するための加熱用金属酸化膜（加熱手段）１
０ｂとから構成されている。

【００１５】金属酸化膜３をなす材料としては、電気抵
抗値が５〜１００Ω程度で、成膜が可能なものが用いら
れ、好ましくは耐薬品性が優れるもの、より好ましくは
ＮＥＳＡガラス（商品名；株式会社池田硝子製のＥＣ
ＧＬＡＳＳ）、ＩＴＯ、酸化カドミウムスズ、錫の酸化
物とアンチモンの酸化物とからなるものなどの透明性を
有するものが用いられる。ここでの電気抵抗値は金属酸
化膜３の厚さによって勘案されるが、具体的には厚さ
０．５μｍ、熱量が８００Ｗのもので、後述する電源１
２の電圧が１００Ｖのとき１２．５Ω程度、あるいは電
源１２の電圧が２００Ｖのとき５０．０Ω程度である。
金属酸化膜３は、蒸留塔本体２内の被処理薬液２ａの状
態を観察可能とするために、少なくとも一部が上述の透
明性を有する材料から構成されていることが好ましい。

【００１６】この金属酸化膜３の厚さは、０．１〜１．
０μｍ程度、より好ましくは０．３〜０．７μｍ程度で
ある。金属酸化膜３の厚さが０．１μｍ未満と薄いと、
ヒーター抵抗が大きくなり、ある一定のヒーター出力を
得る為には高い電圧を必要とする。一方、１．０μｍを
超えて厚いと、ヒーター抵抗が小さくなり、低い電圧で
操作できるが、均一な良質の膜ができにくいという問題
がある。金属酸化膜３をなす材料として、錫の酸化物と
アンチモンの酸化物とからなるものを用いる場合、アン
チモン１〜５モル％、残部錫からなる酸化物であること
が好ましい。錫のモル％が９９％を超えると、ヒーター
抵抗が大きくなる。また、錫のモル％が９５％未満であ
っても、ヒーター抵抗が大きくなる。最も好ましくは、
アンチモン２モル％、残部錫からなる酸化物のとき、ヒ
ーター抵抗が最も小さくなる。

【００１７】この加熱用金属酸化膜１０ｂの外面にはＡ
ｇ膜、Ａｕ膜などの金属膜からなる電極１１が設けら
れ、該電極１１には電源１２が接続されており、電源１
２を入れて加熱用金属酸化膜１０ｂに通電すると、蒸留
塔本体２の内面から輻射熱が放出され、蒸留塔本体２内
に収容された被処理薬液２ａを蒸留塔本体２の内面から
の輻射熱により直接加熱することができるようになって
いる上記電極１１の厚みとしては、１００〜１０００μ
ｍ程度である。電極１１の厚みが１００μｍ未満では抵
抗が大きくなり電極部で熱を生ずる。また１０００μｍ
を超えて厚くしても熱は生じにくくなるが、経済的には
不利となる。

【００１８】また、保温用金属酸化膜１０ａの外面に
は、上記加熱用金属酸化膜１０ｂの外面に設けられた電
極１１と略同様の金属膜からなる電極１３が設けられ、
該電極１３には電源１３ｃが接続されており、電源１３
ｃを入れて保温用金属膜１０ａに通電すると、蒸留塔本
体２の内面から輻射熱が放出され、蒸留塔本体２の上部
を保温できるようになっている。上記加熱用金属酸化膜
１０ｂと上記蒸留塔本体２の間には、該蒸留塔本体２の
外面の温度を測定するための温度計１４が埋設されてい
る。

【００１９】上記蒸留塔本体２には、被処理薬液２ａを
塔内に導入する被処理薬液供給管１５と、蒸留塔本体２
の底部から被処理薬液２ａを導出する第１のドレン管１
６とが設けられている。これら被処理薬液供給管１５と
第１のドレン管１６とには、それぞれ弁１５ａ，１６ａ
が介在されている。また、この蒸留塔本体２の上部に
は、塔内で発生した蒸気を凝縮器４に導く管１７が設け
られている。

【００２０】凝縮器４は、薬液蒸気に腐蝕され難いよう
な材料からなり、かつ内部を減圧状態として操作可能な
耐圧強度を有する容器であり、好ましくは厚肉のガラス
やセラミックス、さらに好ましくは石英ガラスまたはホ
ウ珪酸ガラス製の容器である。この凝縮器４内には、冷
却水を流通させて凝縮器４内に導入された蒸気を冷却し
て凝縮、液化させる冷却用の蛇管１８が配設されてい
る。凝縮器４の底部には凝縮器４内から凝縮液分配系５
に凝縮液を導出するための管１９と、排気装置６に接続
される管２０とが取付けられている。

【００２１】上記凝縮液分配系５は、製品タンク２１
と、凝縮器４と製品タンク２１とを接続する管１９と、
この管１９に介在された第１の切換弁２３と、管１９の
第１の切換弁２３と凝縮器４との間で分岐された第２の
ドレン管２４と、この第２のドレン管２４に介在された
第２の切換弁２５とを備えて構成されている。製品タン
ク２１内には、冷却水を流通させて製品タンク２１内に
導入された製品薬液４０を冷却する冷却用の蛇管２６が
配設されており、さらに底部には弁２７ａを有する製品
薬液抜出管２７が取付けられている。このような凝縮液
分配系５は、第１、第２の切換弁２３，２５の開閉操作
によって、凝縮器４底部から管１９を通して導出される
凝縮液を、第２のドレン管２４と製品タンク２１とのい
ずれかに導入される凝縮液供給方向の切換ができるよう
になっている。

【００２２】上記排気装置６は、真空ポンプ３０と、こ
の真空ポンプ３０と凝縮器４との間に配設された管２０
に介在された吸収塔３１とを備えて構成されている。吸
収塔３１の上部には、蒸留塔本体２の頂部から発生する
温度の高い薬液成分を含んだ気相が直接真空ポンプ３０
へ吸引されることにより真空ポンプ３０が腐食し、故障
の原因となるのを防止するための充填層３２が設けられ
ており、一方、下部には管２０を通して導入される気相
を再度冷却し、気相中の低沸点成分を液化するための冷
却管３３が配設されている。吸収塔３１内には、充填層
３２と吸収塔３１の頂部との間に空隙部３１ａが形成さ
れており、また、充填層３２と冷却管３３との間にも空
隙部３１ｂが形成されている。

【００２３】吸収塔３１の空隙部３１ｂには、上記充填
層３２に吸収された薬液成分を後述する循環液に吸収さ
せるための第１の排出管３４が取付けられており、一
方、吸収塔３１の空隙部３１ａには、蒸留塔本体２の底
部に取付けられた第１のドレン管１６と、凝縮器４に取
付けられた管２０と、凝縮器４に接続された管１９から
分岐された第２のドレン管２４とがそれぞれ接続されて
いる。

【００２４】また、吸収塔３１の底部には、内部に溜っ
た液体を排出するための第２の排出管３５が設けられて
おり、この第２の排出管３５にはポンプ３６が介在され
ており、このポンプ３６より下流側には上記第１の排出
管３４が接続されている。

【００２５】次に、金属酸化膜３の形成例について説明
するが、この例では、蒸留塔本体２が硬質ホウ珪酸ガラ
ス（イワキガラス株式会社製のパイレックスガラス；商
品名）からなるものを用い、この蒸留塔本体２の下部の
外面に錫の酸化物とアンチモンの酸化物とからなる加熱
用金属酸化膜（加熱手段）１０ｂを形成し、該加熱用金
属酸化膜１０ｂの表面にＡｇ膜からなる電極１１を設
け、さらに該電極１１に電源１２を接続する場合につい
て説明する。まず、洗浄した蒸留塔本体２を電気炉等で
約６５０〜７００℃まで加熱する。ついで、この電気炉
から取り出した蒸留塔本体２が冷えないうちに、予め用
意しておいた塩化錫と塩化アンチモンの塩化物（アンチ
モン１〜５モル％、残部錫からなる塩化物）水溶液を蒸
留塔本体２の下部の外面に約１０秒吹き付ける。する
と、この塩化物水溶液が電気炉で加熱され高温になって
いる蒸留塔本体２の下部の外表面に接触し熱分解によ
り、導電性の加熱用金属酸化膜１０ｂが形成される。こ
こでは、加熱用金属酸化膜１０ｂの厚さを０．１〜１．
０μｍ程度となるようにするために塩化物水溶液の吹き
付け時間ならびに吹き付け量は適宜勘案される。その
後、室温まで冷却しアルコール、純粋等の溶剤で加熱用
金属酸化膜１０ｂが形成されている蒸留塔本体２を洗浄
する。ついで、電極１１形成用のＡｇ膜材料を上記加熱
用金属酸化膜１０ｂの表面の一部にコーティングして電
極１１を形成した後、この電極１１に陽極端子１１ａ、
陰極端子１１ｂを接続する。最後に、これら陽極端子１
１ａ、陰極端子１１ｂに電源１２を接続することにより
形成できる。また、保温用金属酸化膜１０ａを形成する
場合は、塩化錫と塩化アンチモンの塩化物水溶液の吹き
付け位置を蒸留塔本体２の上部の外面とする以外は、上
述の加熱用金属酸化膜１０ｂを形成する場合と略同様の
方法により形成できる。

【００２６】次に、上記薬液回収精製装置１の運転例に
ついて説明するが、この例では被処理薬液２ａが廃硫酸
溶液である場合について述べる。まず、精製すべき所定
量の廃硫酸溶液２ａを被処理薬液供給管１５より蒸留塔
本体２に導入する。この廃硫酸溶液２ａの濃度は６０〜
９０ｗｔ％であり、不純物は殆ど水分であり、この他不
純物として微量の金属成分などを含んでいる。ついで、
第２の切換弁２５を開とし、それ以外の弁を閉として排
気装置６の真空ポンプ３０を駆動し、精製装置１の全系
を２０Ｔｏｒｒ以下、好ましくは約１０Ｔｏｒｒ程度ま
で減圧する。この圧力を維持しながら、電源１２を入れ
て加熱用金属酸化膜１０ｂに通電し、蒸留塔本体２内に
収容されている廃硫酸溶液２ａを加熱する。また、これ
とともに電源１３ｃを入れて保温用金属酸化膜１０ａに
通電し、蒸留塔本体２の上部を保温する。

【００２７】そして、蒸留塔本体２内の廃硫酸溶液２ａ
が約１３０℃まで加熱されると、徐々に廃硫酸溶液２ａ
中の水分の蒸発が始まり、廃硫酸溶液２ａの濃縮が始ま
る。さらに、蒸留塔本体２内の廃硫酸溶液２ａを加熱し
続け、液温が約１９０℃に達すると、廃硫酸溶液２ａの
濃度は約９６ｗｔ％にまで濃縮される。この間蒸発した
水蒸気は、蒸留塔本体２の上部に配した充填層７を通過
して同伴する硫酸の量を極力抑制された後、管１７を通
って凝縮器４内に導かれる。凝縮器４内に導入された水
蒸気は、その内部に配設された蛇管１８に接触し、冷却
されて凝縮し、水分が多く含まれる液が凝縮器４底部に
貯留してくる。そこで第２の切換弁２５を開き、凝縮器
４底部に貯留した水分を多く含む凝縮液を管２４を通し
て、吸収塔３１の空隙部３１ａに導入する。この間、蒸
留塔本体２内の廃硫酸溶液２ａの硫酸濃度は上昇する。

【００２８】蒸留塔本体２内の廃硫酸溶液２ａが製品硫
酸濃度、例えば９６ｗｔ％を超えた時点で第２の切換弁
２５を閉じ、第１の切換弁２３を開き、さらに蒸留塔本
体２内の廃硫酸溶液２ａの温度が２００℃以上、好まし
くは２００〜２１０℃に達するまで加熱昇温させる。そ
の結果、蒸留塔本体２内では硫酸が気化し始める。気化
した硫酸は凝縮器４内に導入され、冷却されて凝縮し、
高純度の（９６ｗｔ％以上の）硫酸液となって凝縮器４
の底部へ流下し、さらに第１の切換弁２３を通過し製品
タンク２１内に導入される。

【００２９】蒸留の初期には、凝縮器４内で凝縮した硫
酸が流下する間に、凝縮器４３の内壁に付着した水分等
の不純物を同伴しているので、硫酸濃度は目標値よりも
低下している。そこで、第１の切換弁２３を閉じ、第２
の切換弁２５を開いておき、蒸留塔本体２内の廃硫酸溶
液２ａの温度を上昇させて硫酸の気化が開始されてか
ら、暫くの間は凝縮された硫酸を流下させ、第２の切換
弁２５と第２のドレン管２４を通して吸収塔３１の空隙
部３１ａに導入する洗浄操作を行い、その後、第２の切
換弁２５を閉じ、第１の切換弁２３を開とすることによ
って、凝縮器４で凝縮された硫酸を製品タンク２１に導
入させる。

【００３０】上記洗浄操作の時間は、硫酸の生成速度と
凝縮器４の流路長さなどに応じて適宜設定されるが、好
ましくは硫酸の気化開始から６０〜１８０秒程度とされ
る。この洗浄時間が上記範囲より短時間であると、凝縮
器４や管１９内の水分等の不純物の除去が充分でなくな
り、製品タンク２１内に流下する製品硫酸４０の濃度低
下を招く。一方、洗浄時間が上記範囲より長くなると、
製品硫酸４０の回収率が低下するので好ましくない。

【００３１】凝縮器４から管２０を通って導出される気
相中には、硫酸の微粒子（ミスト）が同伴されている場
合がある。この硫酸分によって真空ポンプ３０が腐食し
たり、外気に排出されるのを防ぐために、上記気相を凝
縮器４と真空ポンプ３０との間に設けられた吸収塔３１
内に導入し、冷却器３３に接触させることによって液化
し、この液体を吸収塔３１の底部に溜めるようになって
いる。一方、上記冷却器３３によって液化されない残り
の気相は充填層３２を通されることによって、硫酸の微
粒子が捕集され、ポンプ３６を作動させることにより上
記液体を循環させ、この循環液に上記充填層３２に補集
された硫酸の微粒子が吸収されるとともに気相の温度が
下げられるようになっており、循環液の一部が定期的に
排出されるようになっている。

【００３２】この蒸留処理を継続して行い、蒸留塔本体
２の廃硫酸溶液２ａが減少して残存液が無くなったなら
ば、電源１２、１３ｃをオフにして加熱用金属酸化膜１
０ｂならびに保温用金属酸化膜１０ａへの通電を停止
し、第１の切換弁２３を閉とし、弁１５ａを開けて被処
理薬液供給管１５を通して蒸留塔本体２に精製処理する
べき廃硫酸溶液２ａを導入し、上述した蒸留処理工程を
繰り返し行う。この廃硫酸溶液精製処理を行って、蒸留
塔本体２の底部に金属塩などの廃硫酸溶液２ａ中の不純
物が残渣となって貯蓄された場合には、弁１６ａを開に
してその残渣を第１のドレン管１６通って吸収塔２１内
に導入し、さらに第２の排出管３５を通って排出する。
また、製品タンク２１内の製品硫酸４０を抜き出すに
は、第１の切換弁２３を閉にし、弁２７ａを開にし、製
品薬液抜出管２７を通して製品硫酸４０を外部に抜き出
す。製品タンク２１から抜き出された製品硫酸４０は、
半導体向上などの硫酸使用生産ラインに供給されて再利
用される。

【００３３】上記薬液回収精製装置１の運転例では、被
処理薬液２ａが廃硫酸溶液である場合について説明した
がこれに限らず、硫酸、フッ化水素酸、硝酸、塩酸、イ
ソプロピルアルコールおよびアンモニア水のうちの少な
くとも１種を主成分とする薬液にも適用できるものであ
り、これらの場合、蒸留塔本体２内の被処理薬液２ａの
加熱温度や蒸留時間等の蒸留条件は適宜選択される。

【００３４】上記薬液回収精製装置１にあっては、蒸留
塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本体２と、該蒸留塔
本体２の下部の外面に設けられた導電性の加熱用金属酸
化膜１０ｂと、該加熱用金属酸化膜１０ｂに接続された
電源１２を備えたことにより、該加熱用金属酸化膜１０
ｂに通電すると、上記電気絶縁材料と加熱用金属酸化膜
１０ｂの伝導性の複合効果によって、蒸留塔本体２の内
面からは、外面に比べて約２倍の熱が輻射熱の形で放出
され、蒸留塔本体２内に収容された被処理薬液２ａを蒸
留塔本体２の内面からの輻射熱により直接加熱すること
ができる。また、加熱用金属酸化膜１０ｂが輻射熱を反
射するので輻射熱が外部に逃げるのが防止される。従っ
て熱効率が向上するとともにヒートロスも少なくなるの
で、被処理薬液２ａの精製速度が速くなり、処理量も増
加するという利点がある。

【００３５】また、被処理薬液２ａを蒸留塔本体２の内
面からの輻射熱により直接加熱することができることか
ら、蒸留塔本体２の内面と外面との温度差が著しく小さ
くなり、また、その温度は収容されている被処理薬液２
ａの温度に近いため、蒸留塔本体２にかかる熱的応力が
低減するので、熱歪みによって蒸留塔本体２が破壊する
ことが少なくなり、安全性が向上する。さらに、加熱用
金属酸化膜１０ｂを錫の酸化物とアンチモンの酸化物か
ら構成することにより加熱用金属酸化膜１０ｂは透明性
を有するものとなり、蒸留塔本体２内の被処理薬液２ａ
の状態を観察することができ、蒸留塔本体２内に異常が
起きている場合に発見することができる。

【００３６】従って、上記薬液回収精製装置１によれ
ば、半導体工場等で排出される硫酸、フッ化水素酸、硝
酸、塩酸、イソプロピルアルコールおよびアンモニア水
等の廃薬液を効率良く、かつ安全に精製し、再利用可能
な製品薬液を提供することが可能である。

【００３７】［実験例］（実施例）図１の薬液回収精製装置１と同様の系統の装
置を用意し、実施例の精製装置とした。この精製装置の
仕様は次の通りであった。（Ｉ）保温用金属酸化膜（保温手段）１０ａ：厚さ０．５μｍ混合モル比が９８：２である錫の酸化物とアンチモンの酸化物製加熱用金属酸化膜（加熱手段）１０ｂ：厚さ０．５μｍ混合モル比が９８：２である錫の酸化物とアンチモンの酸化物製（II）蒸留塔本体２：（加熱時間比較実験用）厚さ５ｍ
ｍの硬質ホウ珪酸ガラス製、下部フラスコ部容積３リッ
トル（廃硫酸回収精製実験用）厚さ５ｍｍの硬質ホウ珪酸ガ
ラス製、下部フラスコ部容積３リットル（III）凝縮器４：硬質ホウ珪酸ガラス製、水冷式（IV）製品タンク２１：硬質ホウ珪酸ガラス製、容積１
０リットル（Ｖ）真空ポンプ３０：ドライポンプ、最大排気速度３
００リットル／分（VI）上記（II）〜（Ｖ）を連結する管：硬質ホウ珪酸
ガラス製

【００３８】（比較例）加熱手段が８００Ｗの熱量でニ
クロム線とガラスウール等の断熱材とから構成されるマ
ントルヒータであり、保温手段がブラケットヒータであ
る以外は上記実施例の精製装置と同様の系統の装置を用
意した。この装置を比較例（従来例）の精製装置とし
た。

【００３９】（加熱時間比較実験）実施例の精製装置の
蒸留塔本体と比較例の精製装置の蒸留塔本体内に、それ
ぞれ濃度が９６ｗｔ％の硫酸溶液１．５リットルを入れ
た後、これら硫酸溶液を約１０ｔｏｒｒの減圧下で各精
製装置に設けられた加熱手段を用いて室温（２０℃）か
ら沸点（２０１℃）まで加熱し、このときの蒸留塔本体
内の硫酸溶液ならびに蒸留塔本体の外表面の上昇温度
（℃）と経過時間（分）との関係を調べた。その結果を
図２に示す。図２中、実線−ａは実施例の精製装置の
蒸留塔本体内の硫酸溶液の上昇温度（℃）と経過時間
（分）との関係を示すものであり、実線−ｂは実施例
の精製装置の蒸留塔本体の外表面の上昇温度（℃）と経
過時間（分）の関係を示すものである。また、破線−
ａは比較例の精製装置の蒸留塔本体内の硫酸溶液の上昇
温度（℃）と加熱時間（分）の関係を示すものであり、
破線−ｂは比較例の精製装置の蒸留塔本体の外表面の
上昇温度（℃）と加熱時間（分）の関係を示すものであ
る。

【００４０】図２に示した結果から明らかなように、マ
ントルヒータを加熱手段とした比較例の精製装置の蒸留
塔本体では、２０℃の硫酸溶液が２８分間で２０１℃に
達し、蒸留塔本体の外表面に設けられた温度計は４２０
℃を示しており、また加熱効率は５４％であった。これ
に対して導電性の金属酸化膜を加熱手段とした実施例の
精製装置の蒸留塔本体では、２０℃の硫酸溶液が２１分
間で２０１℃まで達し、蒸留塔本体の外表面に設けられ
た温度計の温度は蒸留塔本体内に設けられた温度計の温
度と殆ど変わらず、また、加熱効率は７１％であった。

【００４１】ここでの加熱効率は以下のようにして計算
した値である。濃度が９６ｗｔ％の硫酸溶液１．５リッ
トルを８００Ｗの熱量で２０℃から２０１℃まで完全な
理想条件で加熱した場合所要時間は１５分である。即ち硫酸溶液の容量：１．５リットル、硫酸密度（ρ）：１．８３ｋｇ／ｌ、硫酸の比熱（ｃ）：０．３５ｋｃａｌ／ｋｇ℃、ヒーター容量：０．８ｋｗ換算係数：８６０ｋｃａｌ／ｈ／ｋｗである。そして、この時間（１５分）を、導電性の金属
酸化膜を加熱手段とした実施例の精製装置とマントルヒ
ータを加熱手段とした比較例の精製装置を用いてそれぞ
れ加熱したときの蒸留塔本体内の硫酸溶液の温度が２０
℃から２０１℃まで上昇するのに要した時間でそれぞれ
割った値を加熱効率とした。

【００４２】この加熱比較実験の結果から、導電性の金
属酸化膜を加熱手段とした実施例の精製装置は、マント
ルヒータを加熱手段とした比較例の精製装置と比べて、
１．３３倍の速さで被加熱物を加熱することができ、加
熱速度が速いことがわかった。実施例の精製装置では、
導電性の金属酸化膜を加熱手段としたことにより、この
金属酸化膜に通電すると、輻射エネルギーが発生し、該
輻射エネルギーにより硫酸溶液を直接加熱することがで
き、さらにこの金属酸化膜自体に輻射エネルギーを遮断
する効果があるため熱が外部に逃げず、ヒートロスが少
なくなり熱効率が良くなったためと考えられる。

【００４３】また、マントルヒータを加熱手段とした比
較例の精製装置の場合、蒸留塔本体の外部から熱を内部
の硫酸溶液へ伝導することにより加熱しているため、蒸
留塔本体の外表面の温度は蒸留塔本体内の硫酸溶液の温
度よりも高くなり、蒸留塔本体内の硫酸溶液の温度と、
蒸留塔本体の外面との温度差（曲線−ａの水平部分の
温度と−ｂの水平部分の温度差）は約２２０℃となり
熱的応力が非常に大きく蒸留塔本体への負担がかかり、
該蒸留塔本体が破壊しやすいことが分った。これに対し
て、導電性の金属酸化膜を加熱手段とした実施例の製造
装置の場合は、硫酸溶液を蒸留塔本体の内面からの輻射
熱により直接加熱することができるため、蒸留塔本体内
の硫酸溶液と蒸留塔本体の外面との温度差が極めて小さ
く、温度差は５℃を超えていないことが分った。

【００４４】（廃硫酸回収精製実験）上記導電性の金属
酸化膜を蒸留塔本体の各部の加熱及び保温手段した実施
例の精製装置と、マントルヒータを蒸留塔本体の下部の
加熱手段とし、ブランケットヒータを蒸留塔本体の上部
の保温手段とした比較例の精製装置を用いる２種類の精
製方法により、濃度８０ｗｔ％の廃硫酸溶液からの精製
回収実験を行い比較した。

【００４５】実施例の精製装置１を用いる第一の精製方
法では、まず、濃度９６ｗｔ％以上の硫酸溶液１．５リ
ットルが収容されている蒸留塔本体２内に上記８０ｗｔ
％の廃硫酸溶液１リットルを供給したところ、蒸留塔本
体２内の硫酸濃度は９１ｗｔ％となった。ついで、加熱
用金属酸化膜に通電し、上記蒸留塔本体２内の廃硫酸溶
液を減圧下で加熱し、また、これとともに保温用金属酸
化膜に通電し、上記蒸留塔本体２の上部を保温し、上述
した薬液回収精製装置の運転例に従って蒸留塔本体２内
の廃硫酸溶液の濃度が９６ｗｔ％になるまで濃縮精製し
た。この濃縮された製品硫酸を製品タンク２１内へ回収
し廃硫酸溶液を収容する蒸留塔本体２内の廃硫酸溶液の
容量が１．５リットルに減少するまで回収し続けた。こ
のような操作を繰り返し、製品硫酸を得た。この実施例
の精製装置を用いる第一の精製方法では、一回の操作で
製品硫酸を約０．８リットル（１．４７ｋｇ）回収する
ことができ、また、一回の操作に要する時間は８２分で
あり、製品硫酸速度は９．８ｍＬ／ｍｉｎであった。

【００４６】比較例の精製装置を用いる第二の精製方法
では、加熱手段としてマントルヒータを用い、かつ保温
手段としてブランケットヒータを用いた以外は上記第一
の精製方法と同様にして蒸留塔本体内の廃硫酸溶液の容
量が１．５リットルに減少するまで回収し続けた。この
比較例の回収精製装置を用いる第二の精製方法では、一
回の操作に要する時間は９８分であり、製品硫酸の製造
速度は８．２ｍＬ／ｍｉｎであった。

【００４７】廃硫酸回収精製実験結果から、蒸留塔本体
の加熱及び保温手段を導電性の金属酸化膜とした実施例
の精製装置は、蒸留塔本体の加熱手段がマントルヒータ
であり、かつ保温手段がブラケットヒータとした比較例
の精製装置よりも、製品硫酸の製造速度を約２０％向上
できることがわかった。なお、上記実験例においては、
蒸留塔本体の材質を硬質ホウ珪酸ガラス製としたが、セ
ラミックス等の磁器製を用いてもほぼ同様の実験結果が
得られる。また、上記実験例においては、廃硫酸溶液を
回収精製する場合について実験を行ったが、硫酸、フッ
化水素酸、硝酸、塩酸、イソプロピルアルコールおよび
アンモニア水のうちの少なくとも１種を主成分とする薬
液であっても同様の実験結果が得られる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明の薬液回収精
製装置にあっては、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からな
る蒸留塔本体と、該蒸留塔本体の外面に設けられた導電
性の金属酸化膜と、該金属酸化膜に接続された電源とを
備えたものであるので、該金属酸化膜に通電すると、上
記電気絶縁材料と金属酸化膜の伝導性の複合効果によっ
て、蒸留塔本体の金属酸化膜の内面からは、外面に比べ
て約２倍の熱が輻射熱の７形で放出され、蒸留塔本体内
に収容された被処理薬液を蒸留塔本体の内面からの輻射
熱により直接加熱することができる。また、金属酸化膜
が輻射熱を反射するので輻射熱が外部に逃げるのが防止
される。従って、本発明の薬液回収精製装置を用いるこ
とにより、熱効率が向上するとともにヒートロスも少な
くなるので、マントルヒータ、ブラケットヒータのよう
に蒸留塔本体外部からの伝導による間接的な加熱手段を
用いた従来の精製装置に比べて被処理薬液の精製速度が
速くなり、処理量も増加し、製品薬液の製造速度の向上
が可能である。

【００４９】また、蒸留塔本体内に収容された被処理薬
液を蒸留塔本体の内面からの輻射熱により直接加熱する
ことができることから、蒸留塔本体の内面と外面との温
度差が著しく小さくなり、また、その温度は収容されて
いる被処理薬液の温度に近いため、蒸留塔本体にかかる
熱的応力が低減するので、蒸留塔本体にかかる負担が少
なくなり、蒸留塔本体が破壊することが少なくなり、安
全性が向上する。

【００５０】さらに、金属酸化膜を錫の酸化物とアンチ
モンの酸化物から構成することにより金属酸化膜は透明
性を有するものとなるので、マントルヒータ、ブラケッ
トヒータのように間接的な加熱手段を用いた従来の精製
装置では蒸留塔本体内の被処理薬液の状態を観察するこ
とができなかったのが、本発明により蒸留塔本体内の被
処理薬液の状態を観察することができ、蒸留塔本体内に
異常が起きている場合に発見することができ、事故の発
生を未然に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の薬液回収精製装置の一実施例を示す
構成図である。

【図２】金属酸化膜を加熱手段とした実施例の精製装
置ならびにマントルヒータを加熱手段とした比較例の精
製装置のそれぞれについて、蒸留塔本体内の硫酸溶液な
らびに蒸留塔本体の外表面の上昇温度（℃）と経過時間
（分）との関係を示したグラフである。

【符号の説明】

１・・・薬液回収精製装置、２・・・蒸留塔本体、２ａ・・・被
処理薬液（廃硫酸溶液）、３・・・金属酸化膜、４・・・凝縮
器、１０ａ・・・保温用金属酸化膜、１０ｂ・・・加熱用金属
酸化膜（加熱手段）、１１・・・電極、１２・・・電源。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年９月２８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は、本発明に係わる薬液回収精製装置の一実施
例を示す図であり、この薬液回収精製装置１は、被処理
薬液２ａを収容するための蒸留塔本体２と、この蒸留塔
本体２の外面に設けられた導電性の金属酸化膜３と、上
記蒸留塔本体２に接続された凝縮器４と、該凝縮器４に
接続された凝縮液分配系５と、上記凝縮器４に接続され
て蒸留系内を排気する排気装置６とを備えて構成されて
いる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２５】次に、金属酸化膜３の形成例について説明
するが、この例では、蒸留塔本体２が硬質ホウ珪酸ガラ
ス（イワキガラス株式会社製のパイレックスガラス；商
品名）からなるものを用い、この蒸留塔本体２の下部の
外面に錫の酸化物とアンチモンの酸化物とからなる加熱
用金属酸化膜（加熱手段）１０ｂを形成し、該加熱用金
属酸化膜１０ｂの表面にＡｇ膜からなる電極１１を設
け、さらに該電極１１に電源１２を接続する場合につい
て説明する。まず、洗浄した蒸留塔本体２を電気炉等で
約６５０〜７００℃まで加熱する。ついで、この電気炉
から取り出した蒸留塔本体２が冷えないうちに、予め用
意しておいた塩化錫と塩化アンチモンの塩化物（アンチ
モン１〜５モル％、残部錫からなる塩化物）水溶液を蒸
留塔本体２の下部の外面に約１０秒吹き付ける。する
と、この塩化物水溶液が電気炉で加熱され高温になって
いる蒸留塔本体２の下部の外表面に接触し熱分解によ
り、導電性の加熱用金属酸化膜１０ｂが形成される。こ
こでは、加熱用金属酸化膜１０ｂの厚さを０．１〜１．
０μｍ程度となるようにするために塩化物水溶液の吹き
付け時間ならびに吹き付け量は適宜勘案される。その
後、室温まで冷却しアルコール、純水等の溶剤で加熱用
金属酸化膜１０ｂが形成されている蒸留塔本体２を洗浄
する。ついで、電極１１形成用のＡｇ膜材料を上記加熱
用金属酸化膜１０ｂの表面の一部にコーティングして電
極１１を形成した後、この電極１１に陽極端子１１ａ、
陰極端子１１ｂを接続する。最後に、これら陽極端子１
１ａ、陰極端子１１ｂに電源１２を接続することにより
形成できる。また、保温用金属酸化膜１０ａを形成する
場合は、塩化錫と塩化アンチモンの塩化物水溶液の吹き
付け位置を蒸留塔本体２の上部の外面とする以外は、上
述の加熱用金属酸化膜１０ｂを形成する場合と略同様の
方法により形成できる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】蒸留の初期には、凝縮器４内で凝縮した硫
酸が流下する間に、凝縮器４の内壁に付着した水分等の
不純物を同伴しているので、硫酸濃度は目標値よりも低
下している。そこで、第１の切換弁２３を閉じ、第２の
切換弁２５を開いておき、蒸留塔本体２内の廃硫酸溶液
２ａの温度を上昇させて硫酸の気化が開始されてから、
暫くの間は凝縮された硫酸を流下させ、第２の切換弁２
５と第２のドレン管２４を通して吸収塔３１の空隙部３
１ａに導入する洗浄操作を行い、その後、第２の切換弁
２５を閉じ、第１の切換弁２３を開とすることによっ
て、凝縮器４で凝縮された硫酸を製品タンク２１に導入
させる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】上記洗浄操作の時間は、硫酸の生成速度と
凝縮器４の流路長さなどに応じて適宜設定されるが、好
ましくは硫酸の気化開始から６０〜１８０秒程度とされ
る。この洗浄時間が上記範囲より短時間であると、凝縮
器４や管１９内の水分等の不純物の除去が充分でなくな
り、製品タンク２１内に流下する製品硫酸の濃度低下を
招く。一方、洗浄時間が上記範囲より長くなると、製品
硫酸の回収率が低下するので好ましくない。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】この蒸留処理を継続して行い、蒸留塔本体
２の廃硫酸溶液２ａが減少して残存液が無くなったなら
ば、電源１２、１３ｃをオフにして加熱用金属酸化膜１
０ｂならびに保温用金属酸化膜１０ａへの通電を停止
し、第１の切換弁２３を閉とし、弁１５ａを開けて被処
理薬液供給管１５を通して蒸留塔本体２に精製処理する
べき廃硫酸溶液２ａを導入し、上述した蒸留処理工程を
繰り返し行う。この廃硫酸溶液精製処理を行って、蒸留
塔本体２の底部に金属塩などの廃硫酸溶液２ａ中の不純
物が残渣となって貯蓄された場合には、弁１６ａを開に
してその残渣を第１のドレン管１６通って吸収塔２１内
に導入し、さらに第２の排出管３５を通って排出する。
また、製品タンク２１内の製品硫酸を抜き出すには、第
１の切換弁２３を閉にし、弁２７ａを開にし、製品薬液
抜出管２７を通して製品硫酸を外部に抜き出す。製品タ
ンク２１から抜き出された製品硫酸は、半導体向上など
の硫酸使用生産ラインに供給されて再利用される。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明の薬液回収精
製装置にあっては、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からな
る蒸留塔本体と、該蒸留塔本体の外面に設けられた導電
性の金属酸化膜と、該金属酸化膜に接続された電源とを
備えたものであるので、該金属酸化膜に通電すると、上
記電気絶縁材料と金属酸化膜の伝導性の複合効果によっ
て、蒸留塔本体の金属酸化膜の内面からは、外面に比べ
て約２倍の熱が輻射熱の形で放出され、蒸留塔本体内に
収容された被処理薬液を蒸留塔本体の内面からの輻射熱
により直接加熱することができる。また、金属酸化膜が
輻射熱を反射するので輻射熱が外部に逃げるのが防止さ
れる。従って、本発明の薬液回収精製装置を用いること
により、熱効率が向上するとともにヒートロスも少なく
なるので、マントルヒータ、ブラケットヒータのように
蒸留塔本体外部からの伝導による間接的な加熱手段を用
いた従来の精製装置に比べて被処理薬液の精製速度が速
くなり、処理量も増加し、製品薬液の製造速度の向上が
可能である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理薬液を収容し該液を加熱する加熱
手段を備えた蒸留塔と、該蒸留塔から導出された各成分
の蒸気を冷却凝縮する凝縮器を備えた薬液回収精製装置
であって、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本体と、該
蒸留塔本体の外面に設けられた導電性の金属酸化膜と、
該金属酸化膜に接続された電源とを備えたことを特徴と
する薬液回収精製装置。
【請求項２】上記金属酸化膜の表面に金属膜からなる
電極が設けられ、該電極に電源が接続されてなることを
特徴とする請求項１記載の薬液回収精製装置。
【請求項３】上記蒸留塔本体を構成する電気絶縁材料
が、ガラス類およびセラミックスのうちから選択される
無機質材からなるものである請求項１または２記載の薬
液回収精製装置。
【請求項４】上記金属酸化膜が錫の酸化物とアンチモ
ンの酸化物とからなるものである請求項１〜３のいずれ
かに記載の薬液回収精製装置。
【請求項５】上記金属酸化膜を構成する材料が、アン
チモン１〜５モル％、残部錫からなる酸化物であること
を特徴とする請求項４記載の薬液回収精製装置。
【請求項６】上記金属酸化膜の厚さが０．１〜１．０
μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに
記載の薬液回収精製装置。
【請求項７】被処理薬液が、硫酸、フッ化水素酸、硝
酸、塩酸、イソプロピルアルコールおよびアンモニア水
のうちの少なくとも１種を主成分とする薬液であること
を特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の薬液回収
精製装置。