JPH0869768A

JPH0869768A - ゲッタおよびゲッタを備えた画像表示装置

Info

Publication number: JPH0869768A
Application number: JP20496194A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Uda; 芳己宇田; Shinichi Kawate; 信一河手
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-08-30
Filing date: 1994-08-30
Publication date: 1996-03-12
Anticipated expiration: 2015-06-26
Also published as: JP3056952B2

Abstract

(57)【要約】【目的】アウトガスの吸着能力を向上させ、ゲッタ近
くの輝度低下を防ぎ、ゲッタからの熱による影響を軽減
させ、複数のゲッタの位置合わせを行なわないで済むゲ
ッタおよびゲッタを備えた画像表示装置を提供する。【構成】蛍光体９を含むフェースプレート８と面状陰
極７を含むリアプレート６との間に、排気管１１が設け
られた枠１２を封着部１０により封着して密閉容器とし
た画像表示装置において、Ｕ字端部を曲げた複数個のサ
ポート５を一列に並べ、複数個のサポート５の曲げ部の
内側にワイヤーゲッタ１を取り付けて構成されたゲッタ
がリアプレート６上に、面状陰極７を囲み、かつゲッタ
フラッシュ方向が枠１２の内側面に向うように載置され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空容器内の真空度を
維持するゲッタ、およびゲッタを備えた画像表示装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、画像表示装置として、視野角、カ
ラー化、輝度等で優れた方法として陰極線管（ＣＲＴ）
が実用化されているが、近年、コンピューターによる情
報処理の高度化、テレビジョン放送の高画質化に伴な
い、高精細、大画面で平板状の画像表示装置に対するニ
ーズが急速に高まりつつある。

【０００３】このため、画像表示用として電子ビーム加
速型の平板状画像表示装置が、いくつか提案されてき
た。たとえば、特開昭５６−２８４４５号公報に示され
るように平面状の電子源を有し、この電子源から電子ビ
ームを引き出し、蛍光体画素に対応する多数の孔部を設
けた制御電極群により制御、加速して、平面状蛍光面に
照射し、所望の蛍光体画素を発光させる構成となってい
る。

【０００４】また、従来、電子源としては、熱電子源と
冷陰極電子源の２種類が知られている。冷陰極電子源に
は電界放出型（以下、「ＦＥ型」と略す）、金属／絶縁
層／金属型（以下、「ＭＩＭ型」と略す）や表面伝導型
電子放出素子等がある。

【０００５】ＦＥ型の例としてはＷ．Ｐ．Ｄｙｋｅ＆
Ｗ．Ｗ．ＤＯｌａｎ、”Ｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏ
ｎ”、ＡｄｖａｎｃｅｉｎＥｌｅｃｔｒｏｎＰｈ
ｙｓｉｃｓ、８、８９（１９５６）等が知られている。

【０００６】ＭＩＭ型の例としてはＣ．Ａ．Ｍｅａ
ｄ、”Ｔｈｅｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉｏｎａｍ
ｐｌｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、３２、６
４６（１９６１）やＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ、”Ｐｈｙｓ
ｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｉｎ−ｆｉ
ｌｍｆｉｅｌｄｅｍｉｓｓｉｏｎｃａｔｈｏｄ
ｅｓｗｉｔｈｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍｃｏｎｅｓ”、
Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、４７、５２４８（１９７
６）等が知られている。

【０００７】表面伝導型電子放出素子の例としては、エ
ム・アイ・エリンソン（Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ）等に
よって発表された冷陰極素子が知られている［ラジオ・
エンジニアリング・エレクトロン・フィジックス（Ｒａ
ｄｉＯ・Ｅｎｇ．Ｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｐｈｙｓ．）第１
０巻、１２９０〜１２９６頁、１９６５年］。これは、
基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流
を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利用するも
のである。

【０００８】これらの面状陰極を使用した平板型画像表
示装置は、陰極を使用するために長年に渡って内部を真
空に維持しなくてはならない。このため、蛍光体を含む
フェースプレートと面状陰極を含むリアプレートの間
に、長時間に渡り安定な低融点のガラスフリットを接着
層として設け、画像表示装置の本体である外囲器を封着
する。その後、外囲器を真空排気し、ゲッタフラッシュ
および封止をして気密にし真空容器として完成する。こ
のように外囲器の封着は一般にガラスフリットを溶融す
ることによって行なわれている。この様な封着工程にお
いて使用されるガラスフリットは、ＰｂＯ・Ｂ₂０₃系低
融点ガラス粉末に特殊なセラミックスをブレンドしたも
のが用いられる。

【０００９】このように、画像形成装置内を真空にして
使用しなくてはならない陰極を用いた画像表示装置の封
止後の真空度維持にはゲッタが用いられている。このゲ
ッタは、真空容器自身あるいは真空容器内のものからの
アウトガスを吸着することを目的に真空容器内に配置さ
れ、一般にはバリウムを主材料としたゲッタ材をパウダ
ー状にして金属製のコンテナに充填し、これを真空中で
加熱することによって、バリウムを真空容器内に蒸着
（すなわちゲッタフラッシュ）して用いるものである。

【００１０】従来、面状陰極を有する平板型画像表示装
置に使用されるゲッタは図８に示すようなものが用いら
れていた。

【００１１】ゲッタは図８に示すように、Ｕ字型のサポ
ート１０５を備え、サポート１０５の両端部に掛け渡さ
れるようにしてワイヤーゲッタ１０１が取り付けられて
いる。このようにサポート１０５とで閉ループを形成す
るワイヤーゲッタ１０１は、コンテナ１０３の開口部１
０４にパウダー１０２を充填して構成されている。

【００１２】図９は、図８に示したゲッタを画像表示装
置の内部に配置した状態を示している。

【００１３】図９に示すように、蛍光体１０８を含むフ
ェースプレート１０９と面状陰極１０７を含むリアプレ
ート１０６との間に封着部１１０を設けて密閉容器とし
て封着された画像表示装置において、リアプレート１０
６上にワイヤーゲッタ１０１がそのワイヤーゲッタ１０
１の開口部をフェースプレート１０９に向けて設置さ
れ、かつ、任意の位置に容器内を真空にするための排気
管１１１が設けられている。

【００１４】ワイヤーゲッタのフラッシュは、真空容器
としての製造工程である封着工程などを経た後、外部か
ら高周波誘導によってゲッタを加熱しゲッタフラッシュ
を完了する。この場合、ゲッタフラッシュが可能な理由
は、サポートがＵ字型でこの端部にワイヤゲッタが取り
付けてある構造であり、これがリング状の閉ループを形
成しているために、高周波を外部のコイルに印加し磁界
をゲッタの周囲で反転させた場合にゲッタとＵ字型サポ
ートの閉ループに電流が反転しながら流れ発熱が生じる
ためである。

【００１５】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、フ
ェースプレートとリアプレートの間隔が狭い平板状画像
表示装置を考えた場合、上記従来例では次のような欠点
があった。

【００１６】ゲッタのフラッシュ方向（ワイヤーゲッタ
の開口部の向き）が平行平板のフェースプレートに向い
ているため、 (1)ワイヤーゲッタの開口部とフェースプレートの内側
との距離が短いと、フラッシュされたゲッタ材の被着面
積が少なくなり、アウトガスの吸着能力が低くなった。

【００１７】(2)ゲッタフラッシュ方向が、パネルの蛍
光体側に向いているために、ゲッタ被着材料のまわり込
みによって、ゲッタ近くの蛍光体の輝度低下が見られ
た。このため、ゲッタの被着材料が蛍光体などのような
所望の部分ヘ被着するのを防ぐために、板状の遮蔽板を
被着面と蛍光体の間に設ける必要があった。

【００１８】(3)ガラスであるリアプレートにサポート
が接しているため、ゲッタ加熱によるゲッタ部の熱がサ
ポートを介した短い距離でリアプレートに伝わり、リア
プレートのガラスが割れることがあった。

【００１９】(4)ゲッタ効果を上げるため、あるいは大
画面の画像表示装置に対応するため複数のゲッタを配置
する場合に、それぞれのゲッタに対して位置合せが必要
であり、製造時の無駄が多かった。

【００２０】そこで本発明は、上述のような問題点に鑑
みてなされたものであって、アウトガスの吸着能力が向
上し、ゲッタ近くの輝度低下を防ぎ、ゲッタからの熱に
よる影響を軽減させ、複数のゲッタの位置合わせを行な
わないで済むゲッタ、およびゲッタを備えた画像表示装
置を提供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のゲッタは、直線状に配列された複数個のサポ
ートに掛け渡されるようにして蒸着型のワイヤーゲッタ
が保持され、かつ該ワイヤーゲッタのフラッシュ方向が
設置面に対して略平行になるように構成されたことを特
徴とする。

【００２２】このゲッタにおいて、前記複数個のサポー
トはそれぞれ、少なくとも一部分を曲げることにより、
前記ワイヤーゲッタを中空状態に保持する構造となって
いるものや、前記複数個のサポートの内、少なくとも一
つのサポートが曲げられて、前記ワイヤーゲッタを中空
状態に保持する構造となっているものである。

【００２３】また、前記各サポートはＵ字型形状であ
り、前記ワイヤーゲッタとでそれぞれ電気的に閉ループ
を構成しているものが好ましい。

【００２４】そして、前記ワイヤーゲッタは、一側面に
開口部が形成された金属製の棒状コンテナにゲッタ材を
パウダー状にして充填したものであり、前記サポート
は、前記ワイヤーゲッタのコンテナの比抵抗と同等かそ
れ以下の比抵抗を持つ金属であることが好ましい。

【００２５】さらに、複数の電子源が設けられたリアプ
レートと、該リアプレートに対向配置され該各電子源か
ら放出される電子線の照射により発光する蛍光部が設け
られたフェースプレートと、上記のいずれかのゲッタと
から少なくとも構成された、ゲッタを備えた画像表示装
置も本発明に属する。

【００２６】このゲッタを備えた画像表示装置におい
て、前記フェースプレートと前記リアプレートとに挟ま
れた空間にて前記ワイヤーゲッタのフラッシュ方向が前
記フェースプレート面または前記リアプレート面に対し
て略平行になるように前記ゲッタが配置されていること
が好ましく、前記ゲッタは、前記ワイヤーゲッタのフラ
ッシュ方向に対して複数配設されているものであっても
よい。

【００２７】この場合、前記複数のゲッタは、後列のゲ
ッタの少なくとも一部が前列のゲッタの背面、または該
前列のゲッタのサポート表面に被着するように配置され
ていることが好ましい。

【００２８】そして、上記のいずれかの画像表示装置
は、前記電子源として、表面伝導型電子放出素子または
冷陰極電子源または熱電子源を用いたことを特徴とす
る。

【００２９】本発明の特徴とするところは、真空容器の
真空度維持に用いられる蒸着型ゲッタにおいて、このゲ
ッタのフラッシュ方向がゲッタを配置した平面に対して
略平行にフラッシュするようにサポートを配置したもの
であり、このサポートは、少なくともその一部分を曲げ
て使用することによってワイヤーゲッタをサポートを介
して中空状態に保持できる構造としたものである。

【００３０】端部の曲げは、ワイヤーゲッタに配置され
ているサポートのうち、少なくとも一つのサポートの端
部を曲げることで、ワイヤーゲッタを空間に保持できる
ため、必ずしも全てのサポートを空間保持のために曲げ
る必要はない。

【００３１】また、サポート曲げ具合や曲げる箇所は、
ゲッタの開口部の方向、すなわちゲッタフラッシュ方向
がゲッタを配置した平面に対してほぼ平行になるよう考
慮して最適にする。

【００３２】さらに、このサポートはゲッタフラッシュ
を抵抗加熱によって行うことができるように、最低２本
の導電性のサポートをワイヤーゲッタに設ける。

【００３３】また、サポートの一形態として、ゲッタフ
ラッシュを高周波加熱によって行うことができるよう
に、サポートの形状を略Ｕ字型にし、この両端でワイヤ
ーゲッタを保持し、電気的に閉ループを持ち得る構造に
することもできる。この様なサポートの材質は、ワイヤ
ーゲッタのみ効果的に加熱できるように、ゲッタのコン
テナの比抵抗と同等かそれ以下の比抵抗を持つ金属にす
ればより効果的である。さらに、このゲッタはワイヤー
ゲッタに対してサポートが一つ以上並んだゲッタに対
し、その列方向にゲッタを複数配列させて使用すること
もできる。

【００３４】このゲッタを平板状の画像表示装置に配置
して使用することができる。このゲッタが適用できる平
板状画像表示装置は、その表示方法に電子を加速して蛍
光体を発光させる構造のもの、すなわち少なくとも電子
源と蛍光体が画像表示装置内に配置されているもので電
子を空間に放出させるために真空を要する画像表示装置
に使用することが出来る。したがって電子源を例示すれ
ば、表面伝導型放出素子、ＦＥ型、ワイヤー状の熱電子
源などを用いた画像表示装置に使用することができる。

【００３５】

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、複数個
のサポートに例えば高周波電圧が印加されると、各サポ
ートにおけるワイヤーゲッタが加熱され、設置面に対し
て略平行にゲッタ材がフラッシュされる。また、サポー
トにより中空状態にワイヤーゲッタが保持された場合に
は、ゲッタフラッシュ時のワイヤーゲッタの熱は他の部
材に直接伝わらないので、熱による影響は軽減される。

【００３６】このようなゲッタを平板状の画像表示装置
に用いた場合では、フェースプレートとリアプレートと
に挟まれた空間にてワイヤーゲッタのフラッシュ方向が
フェースプレート面またはリアプレート面に対して略平
行になるようにフラッシュされる。

【００３７】さらに、本発明のゲッタを画像表示装置内
で列方向に複数配置してフラッシュすることによって、
後列でフラッシュされたゲッタは、前列のゲッタの、ワ
イヤーゲッタ背面やサポート表面にもフラッシュするの
で、ゲッタ材料の被着面積を実質的に大きくすることが
可能となる。

【００３８】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００３９】図１および図２は、本発明のゲッタの一実
施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。

【００４０】本実施例のゲッタは、サポートにワイヤー
ゲッタをスポット溶接し、フラッシュ方向であるワイヤ
ーゲッタ開口部がゲッタを載置する平面に対して略平行
になるように、サポートの一部を曲げて作製した。

【００４１】すなわち、図１に示されるゲッタは、高周
波誘導加熱が可能なように略Ｕ字型に形成されたサポー
ト５の両端に掛け渡すようにして、コンテナ３にパウダ
ー２を充填してなるワイヤーゲッタ１を空間的に保持
し、かつワイヤーゲッタ１の開口部４がゲッタを載置す
る平面に対して略平行になるようにサポート５を曲げた
ものである。

【００４２】また、図２に示されるゲッタは、抵抗加熱
が可能な一対の棒状のサポート６の端部に掛けるように
して、コンテナ３にパウダー２を充填してなるワイヤー
ゲッタ１を空間的に保持し、かつワイヤーゲッタ１の開
口部４が平面に対して略平行になるようにサポート６を
曲げたものである。

【００４３】図３は本発明のゲッタの他の実施例を示
し、図１と同様に符号１はワイヤーゲッタ、符号５はサ
ポートである。図３の（ａ）から（ｈ）までは、サポー
ト５がＵ字型の場合を示し、このＵ字型のサポート５を
一列に複数個並べて配置したもので、ワイヤーゲッタ１
とサポート５との配置関係、およびサポート５の曲げ部
の位置を変更した変形例を示している。同図には、Ｕ字
型のサポート５をＵ字と読める方向からみた場合の平面
図と、平面に置かれたサポートを側面からみた場合の側
面図とが示してある。この図において、ゲッタを平面上
に置いて側面から見た時、サポート５に取り付けられて
いるワイヤーゲッタ１の開口部が全て図面視左に向くよ
うに示されている。

【００４４】同図（ａ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の上側にワイヤーゲッタ１を取り付けて構成さ
れたものである。

【００４５】同図（ｂ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の下側にワイヤーゲッタ１を取り付けて構成さ
れたものである。

【００４６】同図（ｃ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の曲げ部の内側にワイヤーゲッタ１を取り付け
て構成されたものである。

【００４７】同図（ｄ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の曲げ部の外側にワイヤーゲッタ１を取り付け
て構成されたものである。

【００４８】同図（ｅ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の曲げ部の外側にワイヤーゲッタ１を取り付け
て構成されたもので、同図（ｄ）とはサポート５に対す
るワイヤーゲッタ１の開口方向が異なる。

【００４９】同図（ｆ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
を曲げた複数個のサポート５を一列に並べ、複数個のサ
ポート５の曲げ部の内側にワイヤーゲッタ１を取り付け
て構成されたもので、同図（ｃ）とはサポート５に対す
るワイヤーゲッタ１の開口方向が違う。

【００５０】同図（ｇ）に示されるゲッタは、Ｕ字端部
とＵ字中央部を曲げた複数個のサポート５を一列に並
べ、複数個のサポート５の端部の内側にワイヤーゲッタ
１を取り付けて構成されたものである。

【００５１】同図（ｈ）に示されるゲッタは、Ｕ字型の
サポート５を一列に複数個並べ、複数のサポート５の下
側にワイヤーゲッタ１を取り付け、ワイヤーゲッタ１に
対して複数あるＵ字サポートの内、一部のサポートのＵ
字端部とＵ字中央部を曲げた構造のものである。

【００５２】上記のようなワイヤーゲッタは市販のもの
を用いた。このワイヤーゲッタは、コンテナの断面が台
形でその長辺部に開口部のあるもので、その台形断面の
長辺と高さがほぼ１ｍｍのものを使用した。さらに、サ
ポートには鉄とニッケルに銅の被覆をしたデュメット線
をカットしこれをＵ字状に曲げたものを使用した。

【００５３】作製方法は、デュメット線を図１に示した
ようにＵ字型に曲げた後、ワイヤーゲッタの開口部の方
向を規定した状態でデュメット線にワイヤーゲッタをス
ポット溶接して作製した。Ｕ字端部の曲げは溶接後に実
施した。

【００５４】このようにすることで、一列に並んだ複数
個のサポートにより中空に保持されたワイヤーゲッタを
作製することができた。

【００５５】さらに、図３の（ｂ）から（ｇ）に示した
変形例のゲッタは、Ｕ字状のサポートを側面方向から見
た場合に、ワイヤーゲッタは、載置面からのサポートの
高さに対してその間に取り付けられた構造であるため、
より狭ギャップの空間に設置することができる。

【００５６】また、図３の（ｃ）および（ｄ）に示した
変形例のゲッタは、ワイヤーゲッタの開口部をＵ字型サ
ポートの中央部の方向に向けて取り付けられているた
め、ゲッタフラッシュにおいては被ゲッタフラッシュ物
から一定の距離をおいてフラッシュする必要があるが、
この場合、被ゲッタフラッシュ物からの距離にサポート
のＵ字部の長さが含まれるためにゲッタ配置において、
ゲッタの占有面積から考えた場合の無駄が少ないという
効果がある。

【００５７】次に、上述したようなゲッタを備えた画像
表示装置について説明する。

【００５８】図４は、本発明のゲッタを備えた画像表示
装置の一実施例を示し、（ａ）は部分的に切り欠いてみ
た平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【００５９】図４（ａ）および図４（ｂ）に示すよう
に、蛍光体９を含むフェースプレート８と面状陰極７を
含むリアプレート６との間に、排気管１１が設けられた
枠１２を封着部１０により封着して密閉容器とした画像
表示装置において、図３の（ｃ）の状態に加工されたゲ
ッタがリアプレート６上に、面状陰極７を囲み、かつゲ
ッタフラッシュ方向が枠１２の内側面に向うように載置
されている。

【００６０】この画像表示装置の製造は、リアプレート
６上にゲッタを配置した後、排気管１１が設けられた枠
１２およびフェースプレート８を低融点ガラスフリット
を介してリアプレート６上に載置し、かつフェースプレ
ート８上から一定の荷重をかけながら焼成することによ
ってフリットにて封着し、真空容器であるところの画像
表示装置を製造した。

【００６１】その後、画像表示装置内部を排気管１１に
より真空に排気し、内部の吸着ガスを十分除去した後、
排気管１１を加熱溶断して封着する。封着の際、ゲッタ
の外側で、フェースプレート８またはリアプレート９の
近傍に配されたコイル（不図示）に高周波を印加するこ
とによって、ゲッタを誘導加熱し、Ｕ字型サポート５と
ワイヤーゲッタ１の閉ループを順次コイルを移動するこ
とにより加熱し、連続してゲッタフラッシュを実施し
た。このようなサポート５の材質は、ワイヤーゲッタ１
のみ効果的に加熱できるように、ワイヤーゲッタ１のコ
ンテナの比抵抗と同等かそれ以下の比抵抗を持つ金属に
すればより効果的である。またこの時、ゲッタは高周波
誘導加熱とパウダーの自己発熱反応と相俟って１０００
℃前後に加熱されたが、フェースプレート８やリアプレ
ート６であるガラス板は熱によって欠けたり割れたりす
ることはなかった。

【００６２】図５は、図４に示したゲッタの配置付近を
拡大したもので、ゲッタフラッシュ後の被着状態を示し
たものであり、符号１３がゲッタ被着部である。

【００６３】また、ゲッタフラッシュによる被着部分
は、図３の（ｃ）のようなゲッタがワイヤーゲッタ１の
開口部を画像表示装置の周辺部である枠１２の側面方向
に向けて配置された為に、図５に示すように枠側面をほ
ぼ中心として、フェースプレートとリアプレートの封着
部から内側に広がった。

【００６４】この実施例にてゲッタフラッシュした画像
表示装置は、その後、駆動回路を実装し画像を表示した
が、真空度の低下もなく画像を表示することができた。

【００６５】このゲッタは１本のワイヤーゲッタに多数
のＵ字型サポートが取り付けられた構造であるため、図
８に示したような一個のＵ字型サポートに一本のワイヤ
ーゲッタが取り付けられて成るＵ字型ゲッタを一度の位
置合わせで複数個配置することが可能であり、製造時の
位置合せ作業が１回で可能であった。

【００６６】このようなことから、ワイヤーゲッタに複
数個の略Ｕ字型サポートを一列に並べて取り付け、サポ
ート部の曲げによってワイヤーゲッタの開口部が画像表
示装置の周辺部である枠の側面方向に向くように、ワイ
ヤーゲッタを空間的に保持することによって、リアプレ
ートなどのガラスが割れることなく、ゲッタの被着面積
が広い画像表示装置を作製することが可能であった。

【００６７】図６は、本発明のゲッタを備えた画像表示
装置の他の実施例を示し、（ａ）は部分的に切り欠いて
みた平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【００６８】図６（ａ）および図６（ｂ）に示すよう
に、蛍光体９を含むフェースプレート８と面状陰極７を
含むリアプレート６との間に、排気管１１が設けられた
枠１２を封着部１０により封着して密閉容器とした画像
表示装置において、図３の（ｃ）の状態に加工されたゲ
ッタがリアプレート６上に画像表示装置の縦方向と横方
向ともに面状陰極７を囲んで２列に、かつゲッタフラッ
シュ方向が枠１２の内側面に向うように載置されてい
る。この場合ゲッタは、画像表示装置の周辺部である枠
の一側面に対して前後二列に、かつゲッタの長手方向に
互いにずらして配置されている。つまり、前列にあるそ
れぞれのＵ字型サポートの間の部分に、後列のそれぞれ
のＵ字型サポートのＵ字端部間のワイヤーゲッタ部の中
心部が位置するように配置した。

【００６９】この画像表示装置の製造は、図４および図
５に示した実施例と同様に、リアプレート６上にゲッタ
を配置した後、排気管１１が設けられた枠１２およびフ
ェースプレート８を低融点ガラスフリットを介してリア
プレート６上に載置し、かつフェースプレート８上から
一定の荷重をかけながら焼成することによってフリット
にて封着し、真空容器であるところの画像表示装置を製
造した。

【００７０】その後、画像表示装置内部を排気管１１に
より真空に排気し、内部の吸着ガスを十分除去した後、
排気管１１を加熱溶断して封着する。封着の際、ゲッタ
の外側で、フェースプレート８またはリアプレート９の
近傍に配されたコイル（不図示）に高周波を印加するこ
とによって、ゲッタを誘導加熱し、Ｕ字型サポート５と
ワイヤーゲッタ１の閉ループを順次コイルを移動するこ
とにより加熱し、連続してゲッタフラッシュを実施し
た。また、このようなサポート５の材質は、ワイヤーゲ
ッタ１のみ効果的に加熱できるように、ワイヤーゲッタ
１のコンテナの比抵抗と同等かそれ以下の比抵抗を持つ
金属にすればより効果的である。またこの時、ゲッタは
高周波誘導加熱とパウダーの自己発熱反応と相俟って１
０００℃前後に加熱されたが、フェースプレート８やリ
アプレート６であるガラス板は熱によって欠けたり割れ
たりすることはなかった。

【００７１】この時、ゲッタフラッシュによる被着部分
は、図３の（ｃ）のようなゲッタがワイヤーゲッタ１の
開口部を画像表示装置の周辺部である枠１２の側面方向
に向けて配置された為に、図５に示すように枠側面をほ
ぼ中心として、フェースプレートとリアプレートの封着
部から内側に広がった。

【００７２】ゲッタのフラッシュ方向（すなわち、ゲッ
タの開口部の方向）に対してゲッタを、前後二列に、か
つゲッタ蒸発部の中心の位置を互いにずらして配置した
為、後列のゲッタのゲッタ被着部は、前列のゲッタのゲ
ッタ被着部の間により多く被着し、被着面積をより多く
することができた。

【００７３】また、ゲッタフラッシュの順序は任意であ
るが、この実施例の場合は、ゲッタのフラッシュ方向に
対して、前列のゲッタを先にフラッシュした後、後列の
ゲッタをフラッシュしたところ、後列のゲッタの少なく
とも一部が、前列のゲッタの、ワイヤーゲッタ背面やサ
ポート表面に被着し、被着面積をより多くすることがで
きた。

【００７４】この実施例にてゲッタフラッシュした画像
表示装置は、その後、駆動回路を実装し画像を表示した
が、真空度の低下もなく画像を表示することができた。

【００７５】このゲッタは１本のワイヤーゲッタに多数
のＵ字型サポートが取り付けられた構造であるため、図
８に示したような一個のＵ字型サポートに一本のワイヤ
ーゲッタが取り付けられて成るＵ字型ゲッタを一度の位
置合わせで複数個配置することが可能であり、製造時の
位置合せ作業が１回で可能であった。

【００７６】このようなことから、ワイヤーゲッタに複
数個の略Ｕ字型サポートを一列に並べて取り付け、サポ
ート部の曲げによってワイヤーゲッタの開口部が画像表
示装置の周辺部である枠の側面方向に向くように、ワイ
ヤーゲッタを空間的に保持し、さらに、このような構成
のゲッタを列方向に複数配置することにより、リアプレ
ートなどのガラスが割れることなく、ゲッタの被着面積
が広い画像表示装置を作製することが可能であった。

【００７７】また、図４乃至図６に示した実施例では、
画像表示装置の面状陰極として表面伝導型電子放出素子
を使用した。

【００７８】この表面伝導型電子放出素子はフェースプ
レート上に、２つの電極とその間の電子放出部を含むフ
ィルムを半導体作製プロセスに準じたフォトリソエッチ
ング法を用いて作製した。実施図としては図４および図
６の面状陰極の位置に表面伝導型電子放出素子を配置し
た。その他は図４および図６に示した実施例と同様に、
本発明のゲッタを画像表示装置のゲッタとして周囲に配
置した。

【００７９】ここで、表面伝導型電子放出素子について
さらに詳述することにする。

【００８０】図７は、表面伝導型電子放出素子の基本的
な構成の一例を示すものであり、（ａ）はその平面図、
（ｂ）は縦断面図である。

【００８１】表面伝導型電子放出素子は図７に示すよう
に、絶縁性基板７１に備えられており、絶縁性基板７１
上には、素子電極７５，７６が一定間隔でそれぞれ配置
されている。この絶縁性基板上７１の各素子電極７５，
７６の間には、薄膜導電体７４が形成されている。薄膜
導電体７４には、電子を放出する電子放出部７３が薄膜
導電体７４に通電加熱を施すことにより形成されている
（特開平２−５６８２２号公報、特開平４−２８１３９
号公報参照）。

【００８２】電子放出部７３としては粒径が数十オング
ストローム程度の導電性微粒子からなり、電子放出部７
３以外の薄膜導電体７４は微粒子膜からなる。

【００８３】なおここで述べる微粒子膜とは、複数の微
粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子
が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに
隣接、あるいは重なり合った状態（島状も含む）の膜を
さす。

【００８４】またこれとは別に薄膜導電体７４には、導
電性微粒子が分散されたカーボン薄膜等の場合がある。

【００８５】薄膜導電体７４の具体例を挙げるならば、
Ｐｂ、Ｒｕ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚ
ｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂなどの金属、ＰｂＯ、ＳｎＯ
₂、Ｉｎ₂Ｏ₃、ＰｂＯ、Ｓｂ₂Ｏ₃などの酸化物、ＨｆＢ
2、ＺｒＢ2、ＬａＢ6、ＣｅＢ6、ＹＢ4、ＧｄＢ4などの
硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、Ｗ
Ｃなどの炭化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮなどの窒化
物、Ｓｉ、Ｇｅなどの半導体、カーボン、ＡｇＭｇ、Ｎ
ｉＣｕなどである。

【００８６】そして、薄膜導電体７４は、真空蒸着法、
スパッタ法、化学的気相堆積法、分散塗布法、ディッピ
ング法、スピナー法などによって形成される。

【００８７】また、上記のような表面伝導型電子放出素
子を電子源とし、ゲッタフラッシュした画像表示装置
は、その後、駆動回路を実装し画像を表示したところ、
真空度の低下もなく画像を表示することができた。

【００８８】尚、図６に示した実施例では、前列および
後列のゲッタにおいてゲッタ蒸発部の中心の位置をずら
して配置したが、ずらさずに配置してもよい。また、ゲ
ッタを３列、４列など更に多数列としてもよい。

【００８９】このように、より前列に配置されているゲ
ッタの、ワイヤーゲッタ背面やサポート表面を積極的に
利用することにより、ゲッタの被着面積をより大きくす
ることができる。

【００９０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、直線状に
配列された複数個のサポートに掛け渡されるようにして
蒸着型のワイヤーゲッタを保持したことにより、従来技
術のような一個のサポートに一本のワイヤーゲッタが取
り付けられて成るゲッタを一度の位置合わせで複数個配
置することができ、製造時の位置合せ作業が１回で済
む。さらに各サポートに掛け渡されたワイヤーゲッタの
開口部の方向が一直線上に配置されるために、ゲッタフ
ラッシュの被着エリアが均一にできる。

【００９１】また、ワイヤーゲッタのフラッシュ方向が
設置面に対して略平行になるように構成したことによ
り、画像表示装置に用いた場合には、ゲッタフラッシュ
の被着エリアが広くなり、したがってアウトガスの吸着
能力が向上する。さらに、ゲッタフラッシュ方向が、パ
ネル中央部の面状陰極や蛍光体から離れる方向となるた
めに、ゲッタ被着材料による素子の特性劣化や蛍光体の
輝度低下などがなくなる。そして、サポートを曲げて
ワイヤーゲッタを中空状態に保持する構造となっている
ことにより、ゲッタフラッシュ時のワイヤーゲッタの熱
が他の部材に影響しないで済み、特に画像表示装置の場
合には、リアプレートやフェースプレートなどのガラス
が割れることがなくなる。

【００９２】さらに、後列のゲッタの少なくとも一部が
前列のゲッタのワイヤーゲッタ背面、または該前列のゲ
ッタのサポート表面に被着するように、本発明のゲッタ
を配置するようにしたことにより、実質的なゲッタの被
着面積を更に大きくすることができる。

【００９３】従って、本発明のゲッタは特に平板状の画
像表示装置のゲッタとして適しており、さらに内部空間
が増加することによって、大容量のゲッタ被着が必要と
なる大画面の画像表示装置をも容易に実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のゲッタの一実施例を示し、（ａ）は平
面図、（ｂ）は側面図である。

【図２】本発明のゲッタの一実施例を示し、（ａ）は平
面図、（ｂ）は側面図である。

【図３】本発明のゲッタの他の実施例を示し、（ａ）か
ら（ｈ）までは、サポートがＵ字型の場合を示し、この
Ｕ字型のサポートを一列に複数個並べて配置したもの
で、ワイヤーゲッタとサポートとの配置関係、およびサ
ポートの曲げ部の位置を変更した変形例を示している。

【図４】本発明のゲッタを備えた画像表示装置の一実施
例を示し、（ａ）は部分的に切り欠いてみた平面図、
（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】図４に示したゲッタの配置付近を拡大したもの
で、ゲッタフラッシュ後の被着状態を示す図である。

【図６】本発明のゲッタを備えた画像表示装置の他の実
施例を示し、（ａ）は部分的に切り欠いてみた平面図、
（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【図７】表面伝導型電子放出素子の基本的な構成の一例
を示すものであり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は縦断
面図である。

【図８】従来の平板型画像表示装置に使用されるゲッタ
を示す斜視図である。

【図９】図８に示したゲッタを画像表示装置の内部に配
置した状態を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ワイヤーゲッタ２パウダー３コンテナ４開口部５，６サポート７面状陰極８フェースプレート９蛍光体１０封着部１１排気管１２枠１３ゲッタ被着部７１絶縁性基板７３電子放出部７４薄膜導電体７５，７６素子電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直線状に配列された複数個のサポートに
掛け渡されるようにして蒸着型のワイヤーゲッタが保持
され、かつ該ワイヤーゲッタのフラッシュ方向が設置面
に対して略平行になるように構成されたことを特徴とす
るゲッタ。
【請求項２】前記複数個のサポートはそれぞれ、少な
くとも一部分を曲げることにより、前記ワイヤーゲッタ
を中空状態に保持する構造となっていることを特徴とす
る、請求項１に記載のゲッタ。
【請求項３】前記複数個のサポートの内、少なくとも
一つのサポートが曲げられて、前記ワイヤーゲッタを中
空状態に保持する構造となっていることを特徴とする、
請求項１に記載のゲッタ。
【請求項４】前記各サポートはＵ字型形状であり、前
記ワイヤーゲッタとでそれぞれ電気的に閉ループを構成
していることを特徴とする、請求項１に記載のゲッタ。
【請求項５】前記ワイヤーゲッタは、一側面に開口部
が形成された金属製の棒状コンテナにゲッタ材をパウダ
ー状にして充填したものであることを特徴とする、請求
項１に記載のゲッタ。
【請求項６】前記サポートは、前記ワイヤーゲッタの
コンテナの比抵抗と同等かそれ以下の比抵抗を持つ金属
であることを特徴とする、請求項５に記載のゲッタ。
【請求項７】複数の電子源が設けられたリアプレート
と、該リアプレートに対向配置され該各電子源から放出
される電子線の照射により発光する蛍光部が設けられた
フェースプレートと、請求項１乃至６のいずれか１項に
記載のゲッタとから少なくとも構成された、ゲッタを備
えた画像表示装置。
【請求項８】前記フェースプレートと前記リアプレー
トとに挟まれた空間にて前記ワイヤーゲッタのフラッシ
ュ方向が前記フェースプレート面または前記リアプレー
ト面に対して略平行になるように前記ゲッタが配置され
ていることを特徴とする、請求項７に記載のゲッタを備
えた画像表示装置。
【請求項９】前記ゲッタは、前記ワイヤーゲッタのフ
ラッシュ方向に対して複数配設されていることを特徴と
する、請求項８に記載のゲッタを備えた画像表示装置。
【請求項１０】前記複数のゲッタは、後列のゲッタの
少なくとも一部が前列のゲッタのワイヤーゲッタ背面、
または該前列のゲッタのサポート表面に被着するように
配置されていることを特徴とする、請求項９に記載のゲ
ッタを備えた画像表示装置。
【請求項１１】前記電子源として、表面伝導型電子放
出素子または冷陰極電子源または熱電子源を用いたこと
を特徴とする、請求項７乃至１０のいずれか１項に記載
のゲッタを備えた画像表示装置。