JPH0866880A - ロボット制御方法 - Google Patents
ロボット制御方法Info
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- JPH0866880A JPH0866880A JP20096094A JP20096094A JPH0866880A JP H0866880 A JPH0866880 A JP H0866880A JP 20096094 A JP20096094 A JP 20096094A JP 20096094 A JP20096094 A JP 20096094A JP H0866880 A JPH0866880 A JP H0866880A
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- output
- signal
- time
- mechanical
- pulse signal
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 復帰原点の位置が変動することのないロボッ
ト制御方法を提供する。 【構成】 初期設定動作で、動作部材が原点領域に存す
るときに出力される機械的原点復帰信号23の出力開始時
期と、動作部材が所定角度回転する度に発生されるパル
ス信号21の発生時期との間の前記動作部材の回転角度R1
を検出し、該回転角度R1が前記機械的原点復帰信号23の
予想最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域221
〜223内にある場合に、前記機械的原点復帰信号23の出
力開始時期からその直後のパルス信号出力時点までの範
囲を禁止範囲に設定しておき、原点復帰動作において前
記機械的原点復帰信号が出力されている状態で前記パル
ス信号が発生された時に前記ステッピングモータを停止
させる際、前記禁止範囲内で前記機械的原点復帰信号23
の出力が開始された場合でも、その直後のパルス信号の
発生時点では前記ステッピングモータを停止させない。
ト制御方法を提供する。 【構成】 初期設定動作で、動作部材が原点領域に存す
るときに出力される機械的原点復帰信号23の出力開始時
期と、動作部材が所定角度回転する度に発生されるパル
ス信号21の発生時期との間の前記動作部材の回転角度R1
を検出し、該回転角度R1が前記機械的原点復帰信号23の
予想最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域221
〜223内にある場合に、前記機械的原点復帰信号23の出
力開始時期からその直後のパルス信号出力時点までの範
囲を禁止範囲に設定しておき、原点復帰動作において前
記機械的原点復帰信号が出力されている状態で前記パル
ス信号が発生された時に前記ステッピングモータを停止
させる際、前記禁止範囲内で前記機械的原点復帰信号23
の出力が開始された場合でも、その直後のパルス信号の
発生時点では前記ステッピングモータを停止させない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】ロータリーエンコーダや変位計を
設けていないオープンループ制御型のロボットを制御す
るロボット制御方法にかかり、特に原点復帰動作の精度
を向上させるロボット制御方法に関する。
設けていないオープンループ制御型のロボットを制御す
るロボット制御方法にかかり、特に原点復帰動作の精度
を向上させるロボット制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年は、スパッタやエッチングのための
半導体製造装置には、マルチチャンバータイプの装置が
用いられるようになってきた。
半導体製造装置には、マルチチャンバータイプの装置が
用いられるようになってきた。
【0003】このようなマルチチャンバータイプの装置
には、例えば図5に示すのように、4個の処理室101
1、1012、1013、1014と各処理室の中心に配置
された搬送室1031、1032と、前記搬送室10
31、1032を結ぶ中間室104と、ウェハーが投入さ
れるカセット室1021、1022とから成るマルチチャ
ンバータイプの半導体製造装置100がある。
には、例えば図5に示すのように、4個の処理室101
1、1012、1013、1014と各処理室の中心に配置
された搬送室1031、1032と、前記搬送室10
31、1032を結ぶ中間室104と、ウェハーが投入さ
れるカセット室1021、1022とから成るマルチチャ
ンバータイプの半導体製造装置100がある。
【0004】該半導体製造装置100は、前記各搬送室
1031、1032内に配置された基板搬送ロボット10
5により、前記カセット室1021、1022に置かれた
ウェハーを、前記各処理室1011、1012、10
13、1014の間で、矢印で示したように入出、移動さ
せてウェハーの処理を行うものである。
1031、1032内に配置された基板搬送ロボット10
5により、前記カセット室1021、1022に置かれた
ウェハーを、前記各処理室1011、1012、10
13、1014の間で、矢印で示したように入出、移動さ
せてウェハーの処理を行うものである。
【0005】この基板搬送ロボット105の動作を簡単
に説明すると、図6を参照し、該基板搬送ロボット10
5は、回転軸115と、該回転軸115に取付けられた
アーム113と、該アーム113に取付けられたウェハ
ー保持部114と、前記回転軸115を回転させるステ
ッピングモータ119と、該ステッピングモータ119
を駆動するモータドライバ118と、該モータドライバ
118を制御する制御装置116を有しており、前記回
転軸115は前記制御装置116で、前記ウェハー保持
部114に置かれたウェハーの移動先の位置に応じた角
度だけ回転する搬送動作を行うように構成されている。
に説明すると、図6を参照し、該基板搬送ロボット10
5は、回転軸115と、該回転軸115に取付けられた
アーム113と、該アーム113に取付けられたウェハ
ー保持部114と、前記回転軸115を回転させるステ
ッピングモータ119と、該ステッピングモータ119
を駆動するモータドライバ118と、該モータドライバ
118を制御する制御装置116を有しており、前記回
転軸115は前記制御装置116で、前記ウェハー保持
部114に置かれたウェハーの移動先の位置に応じた角
度だけ回転する搬送動作を行うように構成されている。
【0006】前記制御装置116は駆動パルス117を
前記モータドライバ118に出力し、該モータドライバ
118は、前記駆動パルス117が256個入力される
と、A相出力電流とB相出力電流とから成る2相の出力
電流を一周期T1分だけ、前記ステッピングモータ11
9に供給するように構成されており、前記ステッピング
モータ119は、前記出力電流の位相が前記一周期T1
分供給されると、前記回転軸115を4°(deg)回転す
るように設定されている。従って、前記駆動パルス11
7が1個入力されると、前記ステッピングモータ119
は、前記回転軸115を1°/64(deg)回転させるこ
ととなり、この角度が前記ステッピングモータ119の
最小の回転単位であるステップ角度となる。
前記モータドライバ118に出力し、該モータドライバ
118は、前記駆動パルス117が256個入力される
と、A相出力電流とB相出力電流とから成る2相の出力
電流を一周期T1分だけ、前記ステッピングモータ11
9に供給するように構成されており、前記ステッピング
モータ119は、前記出力電流の位相が前記一周期T1
分供給されると、前記回転軸115を4°(deg)回転す
るように設定されている。従って、前記駆動パルス11
7が1個入力されると、前記ステッピングモータ119
は、前記回転軸115を1°/64(deg)回転させるこ
ととなり、この角度が前記ステッピングモータ119の
最小の回転単位であるステップ角度となる。
【0007】前記モータドライバ118は、A相出力電
流の大きさがピークに達する毎パルス信号を出力するよ
うに設定されているので、該パルス信号は、前記駆動パ
ルス117が256パルス入力される毎に出力されるこ
ととなる。
流の大きさがピークに達する毎パルス信号を出力するよ
うに設定されているので、該パルス信号は、前記駆動パ
ルス117が256パルス入力される毎に出力されるこ
ととなる。
【0008】前記回転軸115は外枠120で保護され
ており、該外枠120の内側の所定位置には磁気センサ
ー121が取付られており、該磁気センサー121は、
前記回転軸115に取付けられたマグネット122の磁
気を検出すると、前記制御装置116に機械的原点復帰
信号126を出力するように構成されている。
ており、該外枠120の内側の所定位置には磁気センサ
ー121が取付られており、該磁気センサー121は、
前記回転軸115に取付けられたマグネット122の磁
気を検出すると、前記制御装置116に機械的原点復帰
信号126を出力するように構成されている。
【0009】前記基板搬送ロボット105の上面図の図
7(a)と、タイミングチャートの図7(b)、(c)とを参
照して、この基板搬送ロボット105の原点復帰動作を
説明する。
7(a)と、タイミングチャートの図7(b)、(c)とを参
照して、この基板搬送ロボット105の原点復帰動作を
説明する。
【0010】前記搬送動作が終了して原点復帰動作が開
始されると、前記制御装置116は前記回転軸115を
反時計回りの方向に回転させ始める。前記磁気センサー
121が前記マグネット122に近づいていき、前記マ
グネット122の取付位置と前記磁気センサー121の
検出感度で定まる原点領域125内に入ると、該磁気セ
ンサー121は前記マグネット122の磁気を検出し、
機械的原点復帰信号126の出力を開始する。
始されると、前記制御装置116は前記回転軸115を
反時計回りの方向に回転させ始める。前記磁気センサー
121が前記マグネット122に近づいていき、前記マ
グネット122の取付位置と前記磁気センサー121の
検出感度で定まる原点領域125内に入ると、該磁気セ
ンサー121は前記マグネット122の磁気を検出し、
機械的原点復帰信号126の出力を開始する。
【0011】前記機械的原点復帰信号126の出力開始
時期を時期U1とし、図7(b)のように、該時期U1では
パルス信号127は出力されていないものとすると、前
記回転軸115の回転が更に回転し、A相出力電流の大
きさがピークに達する時期U2になると、前記パルス信
号127が出力される。
時期を時期U1とし、図7(b)のように、該時期U1では
パルス信号127は出力されていないものとすると、前
記回転軸115の回転が更に回転し、A相出力電流の大
きさがピークに達する時期U2になると、前記パルス信
号127が出力される。
【0012】前記制御装置116は、前記機械的原点復
帰信号126が入力されている状態で前記パルス信号1
27が入力された時に、前記駆動パルス117の出力が
停止され、前記ステッピングモータ119を止めるよう
に構成されているので、前記時期U2の前記回転軸11
5の位置が復帰原点となる。
帰信号126が入力されている状態で前記パルス信号1
27が入力された時に、前記駆動パルス117の出力が
停止され、前記ステッピングモータ119を止めるよう
に構成されているので、前記時期U2の前記回転軸11
5の位置が復帰原点となる。
【0013】しかしながら、当初は図7(b)のように、
機械的原点復帰信号126の出力開始時期U1は、パル
ス信号127の出力時期U2よりも前だったが、経時変
化等によって移動し、図7(c)のように、前記パルス信
号127の出力時期U2の後の時期U3で立ち上がるよう
になった場合には、その次にパルス信号が出力される時
期U4まで回転が停止されず、前記時期U4のときの前記
回転軸115の位置が復帰用原点となってしまう。
機械的原点復帰信号126の出力開始時期U1は、パル
ス信号127の出力時期U2よりも前だったが、経時変
化等によって移動し、図7(c)のように、前記パルス信
号127の出力時期U2の後の時期U3で立ち上がるよう
になった場合には、その次にパルス信号が出力される時
期U4まで回転が停止されず、前記時期U4のときの前記
回転軸115の位置が復帰用原点となってしまう。
【0014】かかる不都合は、前記機械的原点復帰信号
の出力開始時期が、前記パルス信号127の出力時期を
跨いで移動した場合に発生する。特に、前記パルス信号
127の出力時期と前記機械的原点復帰信号126の立
ち上り時期とが接近していた場合に発生し易すいので、
その場合には、磁気センサー取付け位置の微調整を行な
って、前記機械的原点復帰信号126の出力開始時期と
前記パルス信号127の出力時期とを離間させるように
されていたが、この取付位置の調整作業は煩雑であり、
また、信頼性も低いという問題があった。
の出力開始時期が、前記パルス信号127の出力時期を
跨いで移動した場合に発生する。特に、前記パルス信号
127の出力時期と前記機械的原点復帰信号126の立
ち上り時期とが接近していた場合に発生し易すいので、
その場合には、磁気センサー取付け位置の微調整を行な
って、前記機械的原点復帰信号126の出力開始時期と
前記パルス信号127の出力時期とを離間させるように
されていたが、この取付位置の調整作業は煩雑であり、
また、信頼性も低いという問題があった。
【0015】更に、上記不都合は、前記磁気センサー
(リードスイッチ)とマグネットの組合せを用いた場合ば
かりでなく、発光素子と半導体受光素子とを組合せた場
合であっても、発光素子の輝度の劣化や半導体受光素子
の感度劣化等によって生じてしまい、解決が望まれてい
た。
(リードスイッチ)とマグネットの組合せを用いた場合ば
かりでなく、発光素子と半導体受光素子とを組合せた場
合であっても、発光素子の輝度の劣化や半導体受光素子
の感度劣化等によって生じてしまい、解決が望まれてい
た。
【0016】また、復帰原点が変動してしまう場合は、
単なる感度変化だけではなく、センサー故障の前兆であ
る場合もあり、対策が望まれていた。
単なる感度変化だけではなく、センサー故障の前兆であ
る場合もあり、対策が望まれていた。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の不都合に鑑みて創作されたもので、その目的は、復
帰原点の位置が変動することのないロボット制御方法を
提供することにある。
術の不都合に鑑みて創作されたもので、その目的は、復
帰原点の位置が変動することのないロボット制御方法を
提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、所定のステップ角度を単位
として回転するステッピングモータと、前記ステッピン
グモータで駆動される動作部材と、前記ステッピングモ
ータが、前記ステップ角度の所定の整数倍の基準角度だ
け前記動作部材を回転させる度にパルス信号を発生する
パルス信号発生手段と、復帰するべき原点領域に前記動
作部材が存するときに機械的原点復帰信号を出力する位
置センサとを備えるロボットの原点復帰動作に際し、前
記機械的原点復帰信号が出力されている状態で前記パル
ス信号が発生された時に前記ステッピングモータを停止
させるロボット制御方法であって、初期設定動作で、前
記機械的原点復帰信号の出力開始時期と前記パルス信号
の発生時期との間で前記動作部材が回転した回転角度を
算出し、該回転角度が、前記機械的原点復帰信号の予想
最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域内にある
か否かを判別し、前記回転角度が前記判定領域内にある
場合に、前記機械的原点復帰信号の出力開始時期から、
その直後のパルス信号出力開始時期までの範囲を禁止範
囲に設定し、原点復帰動作において、前記禁止範囲内で
前記機械的原点復帰信号の出力が開始された場合は、そ
の直後の前記パルス信号の出力時点では前記ステッピン
グモータを停止させないことを特徴とし、請求項2記載
の発明は、請求項1記載のロボット制御方法であって、
前記初期設定動作は、該初期設定動作時の前記機械的原
点復帰信号の出力開始時期を基準として、前記位置セン
サの予想劣化量に応じた安全動作範囲を設定し、前記原
点復帰動作は、原点復帰動作時における前記回転角度
が、前記安全動作範囲内であるか否かを判別し、前記安
全動作範囲外であった場合に、異常処理を行うことを特
徴とする。
に、請求項1記載の発明は、所定のステップ角度を単位
として回転するステッピングモータと、前記ステッピン
グモータで駆動される動作部材と、前記ステッピングモ
ータが、前記ステップ角度の所定の整数倍の基準角度だ
け前記動作部材を回転させる度にパルス信号を発生する
パルス信号発生手段と、復帰するべき原点領域に前記動
作部材が存するときに機械的原点復帰信号を出力する位
置センサとを備えるロボットの原点復帰動作に際し、前
記機械的原点復帰信号が出力されている状態で前記パル
ス信号が発生された時に前記ステッピングモータを停止
させるロボット制御方法であって、初期設定動作で、前
記機械的原点復帰信号の出力開始時期と前記パルス信号
の発生時期との間で前記動作部材が回転した回転角度を
算出し、該回転角度が、前記機械的原点復帰信号の予想
最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域内にある
か否かを判別し、前記回転角度が前記判定領域内にある
場合に、前記機械的原点復帰信号の出力開始時期から、
その直後のパルス信号出力開始時期までの範囲を禁止範
囲に設定し、原点復帰動作において、前記禁止範囲内で
前記機械的原点復帰信号の出力が開始された場合は、そ
の直後の前記パルス信号の出力時点では前記ステッピン
グモータを停止させないことを特徴とし、請求項2記載
の発明は、請求項1記載のロボット制御方法であって、
前記初期設定動作は、該初期設定動作時の前記機械的原
点復帰信号の出力開始時期を基準として、前記位置セン
サの予想劣化量に応じた安全動作範囲を設定し、前記原
点復帰動作は、原点復帰動作時における前記回転角度
が、前記安全動作範囲内であるか否かを判別し、前記安
全動作範囲外であった場合に、異常処理を行うことを特
徴とする。
【0019】
【作用】先ず初期設定動作を行い、動作部材が原点領域
に存するときに出力される機械的原点復帰信号の出力開
始時期と、動作部材が所定角度回転する度に発生される
パルス信号の発生時期との間に前記動作部材が回転した
回転角度を算出し、該回転角度が前記機械的原点復帰信
号の予想最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域
内にある場合に、前記機械的原点復帰信号の出力開始時
期からその直後のパルス信号出力時期までの範囲を禁止
範囲に設定しておく。
に存するときに出力される機械的原点復帰信号の出力開
始時期と、動作部材が所定角度回転する度に発生される
パルス信号の発生時期との間に前記動作部材が回転した
回転角度を算出し、該回転角度が前記機械的原点復帰信
号の予想最大ずれ量に応じて設定される所定の判定領域
内にある場合に、前記機械的原点復帰信号の出力開始時
期からその直後のパルス信号出力時期までの範囲を禁止
範囲に設定しておく。
【0020】そして、原点復帰動作において、前記機械
的原点復帰信号が出力されている状態で前記パルス信号
が発生された時に前記ステッピングモータを停止させる
際、前記禁止範囲内で前記機械的原点復帰信号の出力が
開始された場合は、その直後のパルス信号の発生時点で
は前記ステッピングモータを停止させないようにすれ
ば、原点復帰動作時における機械的原点復帰信号の出力
開始時期が初期設定動作時における機械的原点復帰信号
の出力開始時期から変動し、パルス信号の出力時期を跨
いで移動してしまった場合でも前記復帰原点の位置が移
動してしまうことはない。
的原点復帰信号が出力されている状態で前記パルス信号
が発生された時に前記ステッピングモータを停止させる
際、前記禁止範囲内で前記機械的原点復帰信号の出力が
開始された場合は、その直後のパルス信号の発生時点で
は前記ステッピングモータを停止させないようにすれ
ば、原点復帰動作時における機械的原点復帰信号の出力
開始時期が初期設定動作時における機械的原点復帰信号
の出力開始時期から変動し、パルス信号の出力時期を跨
いで移動してしまった場合でも前記復帰原点の位置が移
動してしまうことはない。
【0021】更に、前記初期設定作業において、初期設
定動作時の前記機械的原点復帰信号の出力開始時期を基
準として、前記位置センサの予想劣化量に応じた安全動
作範囲を設定し、原点復帰動作における前記回転角度の
大きさと前記安全動作範囲とを比較すれば、原点復帰動
作における機械的原点復帰信号の出力開始時期が、前記
安全動作範囲を超えて移動してしまっているか否かを判
別することができる。
定動作時の前記機械的原点復帰信号の出力開始時期を基
準として、前記位置センサの予想劣化量に応じた安全動
作範囲を設定し、原点復帰動作における前記回転角度の
大きさと前記安全動作範囲とを比較すれば、原点復帰動
作における機械的原点復帰信号の出力開始時期が、前記
安全動作範囲を超えて移動してしまっているか否かを判
別することができる。
【0022】そして、前記安全動作範囲外となっていた
場合には、故障や動作不良等の異常事態が発生したと想
定し、異常処理を行うようにすれば、故障を未然に防止
することができる。
場合には、故障や動作不良等の異常事態が発生したと想
定し、異常処理を行うようにすれば、故障を未然に防止
することができる。
【0023】
【実施例】本発明装置の実施例を図面を用いて説明す
る。
る。
【0024】図1を参照し、2は本発明に用いられるロ
ボットの一例である基板搬送ロボットである。
ボットの一例である基板搬送ロボットである。
【0025】この基板搬送ロボット2は超高真空のマル
チチャンバータイプの半導体処理装置に用いられるもの
であり、ステッピングモータ51、52を有しており、そ
れぞれ動作部材である回転軸41、42に取付けられてい
る。この2つの回転軸41、42は、回転軸41を外軸、
回転軸42を内軸とする同軸構造となっており、前記ス
テッピングモータ51、52が動作すると、同一の回転軸
線3の回りに、時計方向にも、反時計方向にも、それぞ
れ独立して回転し得るように構成されている。
チチャンバータイプの半導体処理装置に用いられるもの
であり、ステッピングモータ51、52を有しており、そ
れぞれ動作部材である回転軸41、42に取付けられてい
る。この2つの回転軸41、42は、回転軸41を外軸、
回転軸42を内軸とする同軸構造となっており、前記ス
テッピングモータ51、52が動作すると、同一の回転軸
線3の回りに、時計方向にも、反時計方向にも、それぞ
れ独立して回転し得るように構成されている。
【0026】前記回転軸41と前記回転軸42にはそれぞ
れアーム61、62が取付けられており、該アーム61、
62には、それぞれ揺動自在にリンク部材71、72が取
付けられており、該リンク部材71とリンク部材72に
は、回動自在に基板保持部8が取付けられ、前記回転軸
41、42と、前記ステッピングモータ51、52とは、筺
体12に納められている。
れアーム61、62が取付けられており、該アーム61、
62には、それぞれ揺動自在にリンク部材71、72が取
付けられており、該リンク部材71とリンク部材72に
は、回動自在に基板保持部8が取付けられ、前記回転軸
41、42と、前記ステッピングモータ51、52とは、筺
体12に納められている。
【0027】前記回転軸41、42には、マグネット
91、92が取付けられ、位置センサーである2つの磁気
センサー101、102が前記筺体12の外側の前記マグ
ネット91、92とそれぞれの取付位置に応じて設けられ
ている。前記磁気センサー101、102は、前記マグネ
ット91、92の取付位置と、それぞれの検出感度で定ま
る原点領域内に入ると機械的原点復帰信号を出力するよ
うに構成されている。
91、92が取付けられ、位置センサーである2つの磁気
センサー101、102が前記筺体12の外側の前記マグ
ネット91、92とそれぞれの取付位置に応じて設けられ
ている。前記磁気センサー101、102は、前記マグネ
ット91、92の取付位置と、それぞれの検出感度で定ま
る原点領域内に入ると機械的原点復帰信号を出力するよ
うに構成されている。
【0028】この基板搬送ロボット2は、ブロック図の
図2に示すように、制御装置15と、モータドライバ1
61、162と、ステッピングモータ51、52とを有して
おり、該モータドライバ161、162は、制御装置15
と、前記ステッピングモータ51、52にそれぞれ接続さ
れ、前記制御装置15は前記ステッピングモータ51、
52を所望角度だけ回転させるために、駆動パルスを前
記モータドライバ161、162に出力するように構成さ
れている。
図2に示すように、制御装置15と、モータドライバ1
61、162と、ステッピングモータ51、52とを有して
おり、該モータドライバ161、162は、制御装置15
と、前記ステッピングモータ51、52にそれぞれ接続さ
れ、前記制御装置15は前記ステッピングモータ51、
52を所望角度だけ回転させるために、駆動パルスを前
記モータドライバ161、162に出力するように構成さ
れている。
【0029】前記モータドライバ161、162は、前記
駆動パルスが256個入力されると、前記ステッピング
モータ51、52に、A相出力電流とB相出力電流とから
成る2相の出力電流を、それぞれ一周期だけ供給するよ
うに構成されており、前記ステッピングモータ51、52
は、前記出力電流が一周期供給されると、前記回転軸4
1、42を各々4°(deg)回転するように設定されてい
る。従って、前記駆動パルス1個につき前記ステッピン
グモータ51、52は1°/64(deg)づつ回転すること
になるので、この角度が前記ステッピングモータ51、
52の最小の回転単位であるステップ角度となる。
駆動パルスが256個入力されると、前記ステッピング
モータ51、52に、A相出力電流とB相出力電流とから
成る2相の出力電流を、それぞれ一周期だけ供給するよ
うに構成されており、前記ステッピングモータ51、52
は、前記出力電流が一周期供給されると、前記回転軸4
1、42を各々4°(deg)回転するように設定されてい
る。従って、前記駆動パルス1個につき前記ステッピン
グモータ51、52は1°/64(deg)づつ回転すること
になるので、この角度が前記ステッピングモータ51、
52の最小の回転単位であるステップ角度となる。
【0030】前記モータードライバー161、162は、
それぞれパルス信号発生手段171、172を内蔵してお
り、該パルス信号発生手段171、172は、前記ステッ
ピングモータドライバー161、162の出力する前記2
相の出力電流のうち、A相出力電流の大きさがピークに
達する毎にパルス信号を出力するように設定されている
ので、前記制御装置15には、前記回転軸41、42が4
°回転する度にパルス信号が入力される。
それぞれパルス信号発生手段171、172を内蔵してお
り、該パルス信号発生手段171、172は、前記ステッ
ピングモータドライバー161、162の出力する前記2
相の出力電流のうち、A相出力電流の大きさがピークに
達する毎にパルス信号を出力するように設定されている
ので、前記制御装置15には、前記回転軸41、42が4
°回転する度にパルス信号が入力される。
【0031】前記制御装置15はCPU8に接続され、
該CPU8には記憶装置7が接続されており、前記CP
U8は、該記憶装置7内の不揮発性の記憶部分に記憶さ
れた本発明方法の処理手順と、前記磁気センサー101
の特性に応じた予想最大ずれ量Rmaxとに基づいて、前
記制御装置15を動作させるように構成されている。
該CPU8には記憶装置7が接続されており、前記CP
U8は、該記憶装置7内の不揮発性の記憶部分に記憶さ
れた本発明方法の処理手順と、前記磁気センサー101
の特性に応じた予想最大ずれ量Rmaxとに基づいて、前
記制御装置15を動作させるように構成されている。
【0032】図4(a)は、前記基板搬送ロボット2の、
前記回転軸41、42のうち、外軸の回転軸41の原点復
帰動作を説明するためのフローチャートである。ここで
は、前記回転軸41の備える前記マグネット91が、前記
磁気センサー101の検出感度の範囲外の位置から原点
領域に近づいていくものとする。
前記回転軸41、42のうち、外軸の回転軸41の原点復
帰動作を説明するためのフローチャートである。ここで
は、前記回転軸41の備える前記マグネット91が、前記
磁気センサー101の検出感度の範囲外の位置から原点
領域に近づいていくものとする。
【0033】本実施例の処理はステップS1から開始さ
れる。該ステップS1は、前記CPU8により、前記磁
気センサー101の出力と前記パルス発生手段171の出
力とを監視し、前記機械的原点復帰信号23の出力開始
を検出すると、前記回転軸41が回転する角度ωの計測
を開始し、処理をステップS2に移行させる。
れる。該ステップS1は、前記CPU8により、前記磁
気センサー101の出力と前記パルス発生手段171の出
力とを監視し、前記機械的原点復帰信号23の出力開始
を検出すると、前記回転軸41が回転する角度ωの計測
を開始し、処理をステップS2に移行させる。
【0034】前記ステップS2は、前記機械的原点復帰
信号21が出力されている状態で、前記パルス信号21
が出力されると、一旦前記ステッピングモータ51の動
作を停止させると共に、前記回転軸41が回転した角度
ωの計測を終了する。そして、該角度ωから、前記機械
的原点復帰信号23の出力開始の時期と、該出力開始時
期から最も近くで出力されたパルス信号21との間の角
度ω’を算出し、該ω’を回転角度R1として前記記憶
装置7内の不揮発性の記憶領域に記憶させる。
信号21が出力されている状態で、前記パルス信号21
が出力されると、一旦前記ステッピングモータ51の動
作を停止させると共に、前記回転軸41が回転した角度
ωの計測を終了する。そして、該角度ωから、前記機械
的原点復帰信号23の出力開始の時期と、該出力開始時
期から最も近くで出力されたパルス信号21との間の角
度ω’を算出し、該ω’を回転角度R1として前記記憶
装置7内の不揮発性の記憶領域に記憶させる。
【0035】前記回転角度R1の算出に際し、図3(b)
のように、前記機械的原点復帰信号23よりも後で前記
最も近いパルス信号が出力されていた場合と、図3
(a)、(c)のように、前記機械的原点復帰信号23の前
に前記最も近いパルス信号が出力されている場合とがあ
る。前記機械的原点復帰信号23の後に前記最も近いパ
ルス信号が出力されていた場合には、前記回転角度R1
はプラスの値とし、逆に、前記機械的原点復帰信号23
の出力開始時期よりも前に、前記最も近いパルス信号が
出力されていた場合には、前記回転角度R1はマイナス
の値とするものとする。
のように、前記機械的原点復帰信号23よりも後で前記
最も近いパルス信号が出力されていた場合と、図3
(a)、(c)のように、前記機械的原点復帰信号23の前
に前記最も近いパルス信号が出力されている場合とがあ
る。前記機械的原点復帰信号23の後に前記最も近いパ
ルス信号が出力されていた場合には、前記回転角度R1
はプラスの値とし、逆に、前記機械的原点復帰信号23
の出力開始時期よりも前に、前記最も近いパルス信号が
出力されていた場合には、前記回転角度R1はマイナス
の値とするものとする。
【0036】前記回転角度R1を記憶させると、処理を
ステップS3に移行させる。
ステップS3に移行させる。
【0037】該ステップS3では、初期設定動作(原点
復帰キャリフ゛レーション)か、通常の原点復帰動作かを判断す
る。初期設定動作であれば処理をステップS4に移行さ
せ、原点復帰動作であれば処理をステップS5に移行さ
せる。
復帰キャリフ゛レーション)か、通常の原点復帰動作かを判断す
る。初期設定動作であれば処理をステップS4に移行さ
せ、原点復帰動作であれば処理をステップS5に移行さ
せる。
【0038】まず、初期設定動作であった場合について
説明する。前記ステップS4はキャリブレーションステ
ップであり、基板搬送ロボットの据えつけ作業終了時や
メンテナンス作業終了後等の初期設定作業時に一回行わ
れる。図4(b)に、その詳細な処理手順を示す。
説明する。前記ステップS4はキャリブレーションステ
ップであり、基板搬送ロボットの据えつけ作業終了時や
メンテナンス作業終了後等の初期設定作業時に一回行わ
れる。図4(b)に、その詳細な処理手順を示す。
【0039】図4(b)を参照し、該キャリブレーション
ステップS4の処理はステップT1から開始される。
ステップS4の処理はステップT1から開始される。
【0040】前記ステップT1では前記回転角度R1が、
図3で示す判定領域221〜223の範囲にあるか否かを
判断する。
図3で示す判定領域221〜223の範囲にあるか否かを
判断する。
【0041】この判定領域221〜223の大きさは予想
最大ずれ量Rmax(2°)と等しく、且つ、前記パルス信
号の出力時期を中心として、±1°(deg)の幅に設定さ
れている。
最大ずれ量Rmax(2°)と等しく、且つ、前記パルス信
号の出力時期を中心として、±1°(deg)の幅に設定さ
れている。
【0042】ここで、図3(a)のように、前記回転角度
R1が前記判定領域221〜223の範囲内に納まってい
た場合には、該キャリブレーションステップS4の処理
は終了し、処理は図4(a)で示す次のステップS6へ移
行する。
R1が前記判定領域221〜223の範囲内に納まってい
た場合には、該キャリブレーションステップS4の処理
は終了し、処理は図4(a)で示す次のステップS6へ移
行する。
【0043】一方、図3(b)、(c)のように、前記回転
角度R1の大きさが、前記判定領域221〜223の範囲
内になかった場合は、処理をステップT2に移行させ
る。
角度R1の大きさが、前記判定領域221〜223の範囲
内になかった場合は、処理をステップT2に移行させ
る。
【0044】前記ステップT2は、禁止領域算出ステッ
プであり、Rmax/2+R1 の値を算出し、記憶装置内
の不揮発性領域に記憶して禁止領域Bを、Rmax/2+
R1で示される時期と、その直後のパルス信号の出力時
期との間に設定し、処理をステップT3に移行させる。
プであり、Rmax/2+R1 の値を算出し、記憶装置内
の不揮発性領域に記憶して禁止領域Bを、Rmax/2+
R1で示される時期と、その直後のパルス信号の出力時
期との間に設定し、処理をステップT3に移行させる。
【0045】ステップT3とステップT4は安全動作範囲
算出ステップであり、前記回転角度R1の値に基づい
て、前記磁気センサーの予想最大劣化量に応じ、安全動
作範囲を設定する。この安全動作範囲は、初期設定動作
時の機械的原点復帰信号の出力開始時期よりも前の時期
に設定される左側安全領域L1と、初期設定動作時の機
械的原点復帰信号の出力開始時期よりも後の時期に設定
される右側安全領域L2とから構成されており、前記ス
テップT3は、前記左側安全領域L1の端部の値をRmax
/2+R1 として算出し、前記記憶装置7内の不揮発性
の記憶部分に記憶させ、前記ステップT4に移行させ
る。
算出ステップであり、前記回転角度R1の値に基づい
て、前記磁気センサーの予想最大劣化量に応じ、安全動
作範囲を設定する。この安全動作範囲は、初期設定動作
時の機械的原点復帰信号の出力開始時期よりも前の時期
に設定される左側安全領域L1と、初期設定動作時の機
械的原点復帰信号の出力開始時期よりも後の時期に設定
される右側安全領域L2とから構成されており、前記ス
テップT3は、前記左側安全領域L1の端部の値をRmax
/2+R1 として算出し、前記記憶装置7内の不揮発性
の記憶部分に記憶させ、前記ステップT4に移行させ
る。
【0046】前記ステップT4は、前記右側安全領域L2
の端部の値を Rmax/2−R1 として算出し、前記記憶
装置7内の不揮発性の記憶部分に記憶させ、処理をステ
ップS6に移行させる。
の端部の値を Rmax/2−R1 として算出し、前記記憶
装置7内の不揮発性の記憶部分に記憶させ、処理をステ
ップS6に移行させる。
【0047】前記ステップS6は前記回転角度R1が、前
記禁止領域Bの範囲内にあるか否かを判断する。図3
(a)のように、禁止領域Bの範囲外にある場合は、この
ときの回転軸41の位置を復帰原点として原点復帰動作
を終了させる。終了後は、図4(a)と同様の処理手順に
よって、内軸である回転軸42の原点復帰動作を行う。
記禁止領域Bの範囲内にあるか否かを判断する。図3
(a)のように、禁止領域Bの範囲外にある場合は、この
ときの回転軸41の位置を復帰原点として原点復帰動作
を終了させる。終了後は、図4(a)と同様の処理手順に
よって、内軸である回転軸42の原点復帰動作を行う。
【0048】一方、図3(b)、(c)のように、前記回転
角度R1が禁止領域B内にある場合は処理をステップS7
に移行させる。
角度R1が禁止領域B内にある場合は処理をステップS7
に移行させる。
【0049】前記ステップS7は、停止状態にあった前
記回転軸41の回転を再開させ、処理をステップS8に移
行させる。
記回転軸41の回転を再開させ、処理をステップS8に移
行させる。
【0050】前記ステップS8では、前記機械的原点復
帰信号23が出力されている状態で、前記パルス信号2
1が出力されると、前記制御装置15が前記ステッピン
グモータ161へ出力する駆動パルスを停止させ、前記
ステッピングモータ51の動作も停止させる。前記パル
ス信号21は時期P3で出力されるので、該時期P3のと
きの前記回転軸41の位置を復帰原点に定め、回転軸41
の初期設定動作を終了させる。
帰信号23が出力されている状態で、前記パルス信号2
1が出力されると、前記制御装置15が前記ステッピン
グモータ161へ出力する駆動パルスを停止させ、前記
ステッピングモータ51の動作も停止させる。前記パル
ス信号21は時期P3で出力されるので、該時期P3のと
きの前記回転軸41の位置を復帰原点に定め、回転軸41
の初期設定動作を終了させる。
【0051】外軸の回転軸41の初期設定動作が終了す
ると、内軸の回転軸42の初期設定動作も同様に行われ
る。
ると、内軸の回転軸42の初期設定動作も同様に行われ
る。
【0052】そして、前記回転軸41、42の初期設定動
作が終了すると、前記ウェハー保持部114上に置かれ
たシリコン基板を所望位置に搬送し、再び図4(a)に示
す処理手順に従って原点復帰動作を行う。
作が終了すると、前記ウェハー保持部114上に置かれ
たシリコン基板を所望位置に搬送し、再び図4(a)に示
す処理手順に従って原点復帰動作を行う。
【0053】この原点復帰動作の処理もステップS1か
ら開始する。該ステップS1は、初期設定動作時と同様
に、前記機械的原点復帰信号23の出力開始により、前
記回転軸41が回転する角度ωの計測を開始し、前記ス
テップS2が、前記機械的原点復帰信号21が出力され
ている状態で、前記パルス信号21が出力されると、一
旦前記ステッピングモータ51の動作を停止させる。更
に、初期設定動作と同様に、原点復帰動作時においても
回転角度R1を求め、処理を前記ステップS3に移行させ
る。
ら開始する。該ステップS1は、初期設定動作時と同様
に、前記機械的原点復帰信号23の出力開始により、前
記回転軸41が回転する角度ωの計測を開始し、前記ス
テップS2が、前記機械的原点復帰信号21が出力され
ている状態で、前記パルス信号21が出力されると、一
旦前記ステッピングモータ51の動作を停止させる。更
に、初期設定動作と同様に、原点復帰動作時においても
回転角度R1を求め、処理を前記ステップS3に移行させ
る。
【0054】このときは通常の原点復帰動作なので、前
記ステップS3は処理をステップS5に移行させる。
記ステップS3は処理をステップS5に移行させる。
【0055】原点復帰動作が行われるときには初期設定
動作は一度行われており、左側安全領域L1の端の値と
右側安全領域L2の端値とは既に記憶されている。従っ
て、前記ステップS5は、該記憶された値に基づいて、
原点復帰動作時に算出された回転角度R1が、前記安全
領域の範囲にあるか否かを判断する。
動作は一度行われており、左側安全領域L1の端の値と
右側安全領域L2の端値とは既に記憶されている。従っ
て、前記ステップS5は、該記憶された値に基づいて、
原点復帰動作時に算出された回転角度R1が、前記安全
領域の範囲にあるか否かを判断する。
【0056】前記左側安全領域L1の端部の値と前記右
側安全領域L2の端部の値とは、共に初期設定時におけ
る機械的原点復帰信号23の出力開始時期のを示す回転
角度R1を基準として、±1°の幅に設定されているの
で、原点復帰動作時の機械的原点復帰信号23の出力開
始時期を、初期設定動作時の出力開始時期を基準とし
て、±1°以上変動したか否かを検出することができ
る。
側安全領域L2の端部の値とは、共に初期設定時におけ
る機械的原点復帰信号23の出力開始時期のを示す回転
角度R1を基準として、±1°の幅に設定されているの
で、原点復帰動作時の機械的原点復帰信号23の出力開
始時期を、初期設定動作時の出力開始時期を基準とし
て、±1°以上変動したか否かを検出することができ
る。
【0057】そして、原点復帰動作時における回転角度
R1が、前記安全領域の範囲外となっていた場合は、機
械的原点復帰信号23の出力開始時期が初期設定動作時
から1°を超えて動いてしまっているので、かかる事態
が発生するのは前記磁気センサー101が故障する直前
であると評価して、処理を異常処理ステップS9に移行
させ、警報を出力して回転軸41の原点復帰動作を終了
させる。
R1が、前記安全領域の範囲外となっていた場合は、機
械的原点復帰信号23の出力開始時期が初期設定動作時
から1°を超えて動いてしまっているので、かかる事態
が発生するのは前記磁気センサー101が故障する直前
であると評価して、処理を異常処理ステップS9に移行
させ、警報を出力して回転軸41の原点復帰動作を終了
させる。
【0058】前記原点復帰動作における回転角度R1が
前記安全範囲内にある場合は、前記磁気センサー101
は正常に動作しているので、処理をS6に移行させる。
前記安全範囲内にある場合は、前記磁気センサー101
は正常に動作しているので、処理をS6に移行させる。
【0059】該ステップS6は、前記回転軸R1が、初期
設定動作で設定された禁止領域B内にあるか否かを判断
する。該禁止領域Bも、前記安全範囲L1、L2の端部の
値と同様に、初期設定動作時の機械的原点復帰信号の出
力開始時期を基準に算出されており、原点復帰動作時に
おける前記回転角度R1が前記禁止領域の中にない場合
には、その時の機械的原点復帰信号23は禁止領域B内
で立ち上がっておらず、この停止している前記回転軸4
1の位置を復帰原点として原点復帰動作を終了する。
設定動作で設定された禁止領域B内にあるか否かを判断
する。該禁止領域Bも、前記安全範囲L1、L2の端部の
値と同様に、初期設定動作時の機械的原点復帰信号の出
力開始時期を基準に算出されており、原点復帰動作時に
おける前記回転角度R1が前記禁止領域の中にない場合
には、その時の機械的原点復帰信号23は禁止領域B内
で立ち上がっておらず、この停止している前記回転軸4
1の位置を復帰原点として原点復帰動作を終了する。
【0060】ところで、図3(b)の機械的原点復帰信号
23のように、初期設定時も禁止領域B内で出力が開始
されていたものが、原点復帰動作時にも禁止領域B内で
出力が開始されるものの他、初期設定動作時には、図3
(c)の機械的原点復帰信号23のように、禁止領域Bの
範囲外の時期P4で出力が開始されていたが、原点復帰
動作時にはこれが移動して、図3(c)の機械的原点復帰
信号23’のように、禁止領域B内の時期P5で出力が
開始されることもある。どちらの場合にも、時期P2で
の回転軸41の位置を復帰原点とせず、処理をステップ
S7に移行させ、停止していた前記回転軸41の回転を再
開させ、処理をステップS8に移行させる。
23のように、初期設定時も禁止領域B内で出力が開始
されていたものが、原点復帰動作時にも禁止領域B内で
出力が開始されるものの他、初期設定動作時には、図3
(c)の機械的原点復帰信号23のように、禁止領域Bの
範囲外の時期P4で出力が開始されていたが、原点復帰
動作時にはこれが移動して、図3(c)の機械的原点復帰
信号23’のように、禁止領域B内の時期P5で出力が
開始されることもある。どちらの場合にも、時期P2で
の回転軸41の位置を復帰原点とせず、処理をステップ
S7に移行させ、停止していた前記回転軸41の回転を再
開させ、処理をステップS8に移行させる。
【0061】この時は、前記機械的原点復帰信号23’
は出力され続けているので、次にパルス信号21が時期
P3で出力されると、前記機械的原点復帰信号23’が
出力されている状態で前記パルス信号21が出力される
条件が成立するので、ステップS8は、前記ステッピン
グモータ51の動作を停止させ、該時期P3の前記回転軸
41の位置を復帰原点として該回転軸41の原点復帰動作
を終了させる。
は出力され続けているので、次にパルス信号21が時期
P3で出力されると、前記機械的原点復帰信号23’が
出力されている状態で前記パルス信号21が出力される
条件が成立するので、ステップS8は、前記ステッピン
グモータ51の動作を停止させ、該時期P3の前記回転軸
41の位置を復帰原点として該回転軸41の原点復帰動作
を終了させる。
【0062】前記回転軸41の原点復帰動作が終了する
と、前記回転軸42の原点復帰動作も同様に行われる。
と、前記回転軸42の原点復帰動作も同様に行われる。
【0063】このように、初期設定動作時に、前記パル
ス信号21が出力時期と前記磁気信号23の出力開始時
期とが近接していた場合には、そのパルス信号21が出
力される位置は復帰原点とされないので、復帰原点の位
置が移動してしまうということはなく、繰り返し精度の
良い原点復帰動作を行うことができる。
ス信号21が出力時期と前記磁気信号23の出力開始時
期とが近接していた場合には、そのパルス信号21が出
力される位置は復帰原点とされないので、復帰原点の位
置が移動してしまうということはなく、繰り返し精度の
良い原点復帰動作を行うことができる。
【0064】なお、上記実施例に用いられた基板搬送ロ
ボット2には、2相ステッピングモータを用いたが、5
相ステッピングモータも使用でき、また、マイクロステ
ップ駆動型モータの他、普通のステップ駆動型モータド
ライバーも使用でき、また、前記磁気センサー(リード
スイッチ)とマグネットの組合せばかりでなく、発光素
子と半導体受光素子と遮光板の組合せを用いてもよい。
ボット2には、2相ステッピングモータを用いたが、5
相ステッピングモータも使用でき、また、マイクロステ
ップ駆動型モータの他、普通のステップ駆動型モータド
ライバーも使用でき、また、前記磁気センサー(リード
スイッチ)とマグネットの組合せばかりでなく、発光素
子と半導体受光素子と遮光板の組合せを用いてもよい。
【0065】また、前記判定領域は、パルス信号21の
出力位置を基準として±1°の範囲に設定され、安全動
作範囲は、初期設定時の機械的原点復帰信号23の出力
開始を基準として±1°の範囲を算出して設定したが、
この値は最大限、前記パルス信号21が出力される間隔
の半分である、±2°まで広げることができる。
出力位置を基準として±1°の範囲に設定され、安全動
作範囲は、初期設定時の機械的原点復帰信号23の出力
開始を基準として±1°の範囲を算出して設定したが、
この値は最大限、前記パルス信号21が出力される間隔
の半分である、±2°まで広げることができる。
【0066】更に、本発明は基板搬送ロボットに限定さ
れるものではなく、原点復帰動作を行うロボットに広く
適用でき、また、動作部材は回転軸に限定されるもので
はなく、直線運動を行うものであってもよい。
れるものではなく、原点復帰動作を行うロボットに広く
適用でき、また、動作部材は回転軸に限定されるもので
はなく、直線運動を行うものであってもよい。
【0067】
【発明の効果】位置センサーが劣化して検出感度が変化
したり、メンテナンス作業で位置センサーの取付位置が
動いてしまい、機械的原点復帰信号の出力開始時期がパ
ルス信号の出力時期を跨いで移動した場合でも、復帰原
点の位置は変動しない。
したり、メンテナンス作業で位置センサーの取付位置が
動いてしまい、機械的原点復帰信号の出力開始時期がパ
ルス信号の出力時期を跨いで移動した場合でも、復帰原
点の位置は変動しない。
【0068】また、機械的原点復帰信号の出力開始時期
とパルス信号の出力時期とが近接していた場合でも、復
帰原点が変動しやすいということはないので、位置セン
サー取付けの際、位置を微調整する必要がない。
とパルス信号の出力時期とが近接していた場合でも、復
帰原点が変動しやすいということはないので、位置セン
サー取付けの際、位置を微調整する必要がない。
【図1】 本発明が用いられるロボットの一例の図
【図2】 そのロボットのブロック図
【図3】 (a)、(b)、(c)本発明のタイミングチャー
トの一例
トの一例
【図4】 (a)本発明の一実施例のフローチャート
(b)その一部の詳細なフローチャート
(b)その一部の詳細なフローチャート
【図5】 ロボット制御方法が用いられる半導体装置の
図
図
【図6】 ロボットのブロック図とタイミングチャート
【図7】 従来のロボット制御方法の動作原理を説明す
るための図
るための図
【符号の説明】 2……基板搬送ロボット 41、42……第2回転軸 51、52……ステッピングモータ 91、92……マグ
ネット 101、102……位置センサー 15……制御装置 161、162……モータドライバ 171、172…
…パルス発生手段 23……機械的原点復帰信号 21……パルス信号 221〜223……判定領域 B……禁止領域 L1、L2……安全動作範囲
ネット 101、102……位置センサー 15……制御装置 161、162……モータドライバ 171、172…
…パルス発生手段 23……機械的原点復帰信号 21……パルス信号 221〜223……判定領域 B……禁止領域 L1、L2……安全動作範囲
Claims (2)
- 【請求項1】所定のステップ角度を単位として回転する
ステッピングモータと、 前記ステッピングモータで駆動される動作部材と、 前記ステッピングモータが、前記ステップ角度の所定の
整数倍の基準角度だけ前記動作部材を回転させる度にパ
ルス信号を発生するパルス信号発生手段と、 復帰するべき原点領域に前記動作部材が存するときに機
械的原点復帰信号を出力する位置センサとを備えるロボ
ットの原点復帰動作に際し、 前記機械的原点復帰信号が出力されている状態で前記パ
ルス信号が発生された時に前記ステッピングモータを停
止させるロボット制御方法であって、 初期設定動作で、前記機械的原点復帰信号の出力開始時
期と前記パルス信号の発生時期との間で前記動作部材が
回転した回転角度を算出し、 該回転角度が、前記機械的原点復帰信号の予想最大ずれ
量に応じて設定される所定の判定領域内にあるか否かを
判別し、 前記回転角度が前記判定領域内にある場合に、前記機械
的原点復帰信号の出力開始時期から、その直後のパルス
信号出力時期までの範囲を禁止範囲に設定し、 原点復帰動作において、前記禁止範囲内で前記機械的原
点復帰信号の出力が開始された場合は、その直後の前記
パルス信号の出力時点では前記ステッピングモータを停
止させないことを特徴とするロボット制御方法。 - 【請求項2】前記初期設定動作は、初期設定動作時の前
記機械的原点復帰信号の出力開始時期を基準として、前
記位置センサの予想劣化量に応じた安全動作範囲を設定
し、 前記原点復帰動作は、原点復帰動作時における前記回転
角度が、前記安全動作範囲内であるか否かを判別し、 前記安全動作範囲外であった場合に、異常処理を行うこ
とを特徴とする請求項1記載のロボット制御方法。
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JP20096094A JP3375746B2 (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | ロボット制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP20096094A JP3375746B2 (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | ロボット制御方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011104814A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 株式会社イズミフードマシナリ | 粉体供給装置におけるミキシングノズル |
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JP2015145052A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | キヤノン株式会社 | ロボットアームの原点設定方法、及びロボットアームの原点復帰方法 |
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1994
- 1994-08-25 JP JP20096094A patent/JP3375746B2/ja not_active Expired - Lifetime
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